JP2000075151A - Central wavelength adjustment method for asymmetric directional coupler type wavelength filter and asymmetric directional coupler type wavelength filter - Google Patents
Central wavelength adjustment method for asymmetric directional coupler type wavelength filter and asymmetric directional coupler type wavelength filterInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、非対称方
向性結合器型波長フィルタの中心波長調整方法および非
対称方向性結合器型波長フィルタに関するものである。
さらに詳しくは、この出願の発明は、製造誤差等によっ
て所望値からずれたフィルタ中心波長を精度良く、且つ
簡便にトリミングして所望値に調整することのできる、
新しい非対称方向性結合器型波長フィルタの中心波長調
整方法、および所望値に調整された中心波長を有する非
対称方向性結合器型波長フィルタに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for adjusting the center wavelength of an asymmetric directional coupler type wavelength filter and an asymmetric directional coupler type wavelength filter.
More specifically, the invention of this application is capable of accurately and easily trimming a filter center wavelength deviated from a desired value due to a manufacturing error or the like and adjusting the filter center wavelength to a desired value.
The present invention relates to a method for adjusting the center wavelength of a new asymmetric directional coupler wavelength filter and an asymmetric directional coupler wavelength filter having a center wavelength adjusted to a desired value.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその課題】従来より、高度情報化の進展
に伴い、大容量通信化、高機能化を実現すべく、光信号
の双方向通信や多重通信などを行なう波長多重アクセス
ネットワークに関する技術が盛んに研究、開発されてき
ている。この波長多重アクセスネットワークを構築する
上で基本要素となる素子の一つとして、光導波路を用い
た非対称方向性結合器型波長フィルタがある。2. Description of the Related Art Conventionally, a technology relating to a wavelength division multiplexing access network for performing two-way communication and multiplex communication of optical signals in order to realize large-capacity communication and high functionality with the advance of advanced information technology. Has been actively researched and developed. One of the basic elements for constructing this wavelength division multiplexing access network is an asymmetric directional coupler type wavelength filter using an optical waveguide.
【０００３】非対称方向性結合器型波長フィルタは、図
７に例示したように、コアおよびクラッドそれぞれの屈
折率差、コアの幅、コアの厚さが互いに異なる、つまり
波長λに対する伝播定数βの依存性である分散特性が互
いに異なる二つの光導波路（１）および光導波路（２）
が組み合わされた構造を有しており、図８に例示したよ
うに、あるフィルタ中心波長λ0 でのみ光導波路（１）
の伝播定数β1 と光導波路（２）の伝播定数β2 が一致
するように設計される。この伝播定数βと比例関係にあ
る等価屈折率ｎeqに関しても、図９に例示したように、
光導波路（１）の等価屈折率ｎeq (1) および光導波路
（２）の等価屈折率ｎeq (2) が中心波長λ 0 においての
み一致する。このような構造によって、波長λ0 の光信
号のみが各導波路相互に乗り移り、ＡＤＤ／ＤＲＯＰ動
作が行なわれるようになる。したがって、この非対称方
向性結合器型波長フィルタの動作原理は干渉計や共振器
を用いた波長フィルタとは異なる。An asymmetric directional coupler type wavelength filter is shown in FIG.
As illustrated in FIG.
The fold difference, core width, and core thickness are different from each other.
The dispersion characteristic, which is the dependence of the propagation constant β on the wavelength λ,
Two different optical waveguides (1) and (2)
Has a combined structure, as shown in FIG.
A certain filter center wavelength λ0Only in optical waveguide (1)
Propagation constant β1And the propagation constant β of the optical waveguide (2)TwoMatches
Designed to be. In proportion to this propagation constant β
Equivalent refractive index neqAs shown in FIG. 9,
Equivalent refractive index n of the optical waveguide (1)eq (1)And optical waveguide
(2) equivalent refractive index neq (2)Is the center wavelength λ 0At
Only match. With such a structure, the wavelength λ0Koshin
Signal is transferred between each waveguide, and ADD / DROP operation
The work will be performed. So this asymmetric way
The operating principle of a directional coupler type wavelength filter is an interferometer or a resonator.
It is different from the wavelength filter using.
【０００４】しかしながら、このような非対称方向性結
合器型波長フィルタでは、その製作時に発生する種々の
誤差などによって、実際のフィルタ中心波長が設計値よ
りもずれてしまい、ＡＤＤ／ＤＲＯＰ動作を精度良く実
現できないことがあるといった問題があり、そのフィル
タ中心波長のズレを補正する技術の開発が強く望まれて
いた。However, in such an asymmetric directional coupler type wavelength filter, the actual center wavelength of the filter deviates from the design value due to various errors generated during the manufacture thereof, and the ADD / DROP operation can be performed with high accuracy. There is a problem that it may not be realized, and there has been a strong demand for the development of a technique for correcting the deviation of the filter center wavelength.
【０００５】そこで、この出願の発明は、以上の通りの
事情に鑑みてなされたものであり、従来技術の問題点を
解消し、製作誤差などに起因するフィルタ中心波長のず
れを精度良く、且つ簡単にトリミング補正して、所望値
に調整することのできる、新しい非対称方向性結合器型
波長フィルタの中心波長調整方法、および所望値に調整
されたフィルタ中心波長を有する非対称方向性結合器型
波長フィルタを提供することを目的としている。Therefore, the invention of this application has been made in view of the circumstances described above, and solves the problems of the prior art, and accurately and accurately eliminates the shift of the filter center wavelength due to a manufacturing error. A new method of adjusting the center wavelength of an asymmetric directional coupler type wavelength filter that can be easily trimmed and adjusted to a desired value, and an asymmetric directional coupler type wavelength having a filter center wavelength adjusted to a desired value It is intended to provide a filter.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この出願の発明は、上記
の課題を解決するものとして、伝播定数の波長依存性が
異なる二つの光導波路が組み合わされてなる非対称方向
性結合器型波長フィルタにおいて、一方の光導波路のク
ラッド層の一部をフォトブリーチ性ポリシランにより形
成し、このフォトブリーチ性ポリシランに対して紫外線
を照射し、その照射強度、照射時間、および照射波長を
調整することにより、フィルタ中心波長を所望値にする
ことを特徴とする非対称方向性結合器型波長フィルタの
中心波長調整方法（請求項１）を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an asymmetric directional coupler type wavelength filter in which two optical waveguides having different wavelength dependences of propagation constants are combined. A part of the cladding layer of one of the optical waveguides is formed of photobleachable polysilane, and the photobleachable polysilane is irradiated with ultraviolet light, and its irradiation intensity, irradiation time, and irradiation wavelength are adjusted to thereby form a filter. A method of adjusting the center wavelength of an asymmetric directional coupler type wavelength filter characterized by setting the center wavelength to a desired value is provided.
【０００７】また、この出願の発明は、伝播定数の波長
依存性が異なる二つの光導波路が組み合わされてなる非
対称方向性結合器型波長フィルタであって、一方の光導
波路のクラッド層の一部がフォトブリーチ性ポリシラン
によりなり、このフォトブリーチ性ポリシランに対する
紫外線照射の照射強度、照射時間、および照射波長が調
整されて所望値とされたフィルタ中心波長を有すること
を特徴とする非対称方向性結合器型波長フィルタ（請求
項２）をも提供する。Further, the invention of this application is an asymmetric directional coupler type wavelength filter in which two optical waveguides having different wavelength dependences of propagation constants are combined, and a part of a cladding layer of one of the optical waveguides. Is made of photobleachable polysilane, and the irradiation intensity, irradiation time, and irradiation wavelength of the ultraviolet light irradiation to the photobleachable polysilane are adjusted to have a desired filter center wavelength, so that the asymmetric directional coupler is characterized in that A type wavelength filter (Claim 2) is also provided.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】この出願の発明は、非対称方向性
結合器型波長フィルタの一方の光導波路のクラッド層の
一部にフォトブリーチ性ポリシランを用い、このフォト
ブリーチ性ポリシランに対して紫外線照射することで、
フィルタ中心波長λ0 を所望値となるように調整するこ
とを特徴としたものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention of this application uses a photobleachable polysilane for a part of a cladding layer of one optical waveguide of an asymmetric directional coupler type wavelength filter, and irradiates the photobleachable polysilane with ultraviolet light. by doing,
This is characterized in that the filter center wavelength λ 0 is adjusted to a desired value.
【０００９】フォトブリーチ性ポリシランは紫外線照射
によって屈折率が変化する特性を有するものである。よ
り詳しくは、フォトブリーチ性ポリシランとは、ケイ素
原子が連続して５個以上連なった構造を有する有機ケイ
素ポリマーであり、具体的には下記の化１に示したよう
な構造を有するポリマーである。The photobleachable polysilane has a characteristic that its refractive index is changed by irradiation with ultraviolet rays. More specifically, the photobleachable polysilane is an organosilicon polymer having a structure in which five or more silicon atoms are continuously connected, and specifically, a polymer having a structure as shown in the following Chemical Formula 1. .
【００１０】[0010]
【化１】 Embedded image
【００１１】ただし、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 はそれぞれ１価
の炭化水素基、アルコキシ基、水素原子を、ｎ、ｍはそ
れぞれ０以上で、かつｎ＋ｍは５以上の整数を表す。こ
のようなポリシランは、一般に２５０ｎｍ以上の紫外領
域に吸収を有し、酸素存在下で紫外光を当てるとそのケ
イ素−ケイ素（Ｓｉ−Ｓｉ）結合が一部切断され、シロ
キサン（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）結合やシラノール（Ｓｉ−Ｏ
Ｈ）基に変換される。このことにより、ポリシランの紫
外吸収が減少するとともに、その屈折率も変化する。Here, R 1 , R 2 and R 3 each represent a monovalent hydrocarbon group, an alkoxy group or a hydrogen atom, n and m each represent an integer of 0 or more, and n + m represents an integer of 5 or more. Such a polysilane generally has an absorption in the ultraviolet region of 250 nm or more, and when irradiated with ultraviolet light in the presence of oxygen, its silicon-silicon (Si-Si) bond is partially broken to form siloxane (Si-O-Si). ) Bonds and silanols (Si-O
H). This reduces the ultraviolet absorption of polysilane and changes its refractive index.
【００１２】このようなポリシランの合成は公知の方法
で行なうことができる。たとえば、オルガノクロロシラ
ンのウルツカップリング反応（Ｒ．Ｄ．ミラー、Ｊ．ミ
クル；ケミカルレビュー第８９巻１３５９ページ（１９
８９年）参照）やアルコキシジシランの不均化反応（特
開平４−３１１７２７号公報参照）が例示される。たと
えば図１に示した例では、このようなフォトブリーチ性
ポリシランを用いて非対称方向性結合器型波長フィルタ
の一種である積層交叉型波長フィルタの上部の光導波路
（１）の上部クラッド（１１）を形成する。そして、こ
のフォトブリーチ性ポリシラン製上部クラッド（１１）
に紫外線を照射すると、その屈折率、つまり上部クラッ
ド（１１）の屈折率が変化することになる。このように
して屈折率が変化されると、それに従って伝播定数およ
び分散特性が変化し、フィルタ中心波長が変化されるこ
とになる。The synthesis of such a polysilane can be carried out by a known method. For example, a wurtz coupling reaction of organochlorosilane (RD Miller, J. Mickle; Chemical Review Vol. 89, p. 1359 (19
1989)) and the disproportionation reaction of alkoxydisilane (see JP-A-4-31727). For example, in the example shown in FIG. 1, the upper clad (11) of the optical waveguide (1) above the laminated cross-wavelength filter, which is a kind of the asymmetric directional coupler-type wavelength filter, using such photobleachable polysilane. To form Then, this photobleachable polysilane upper clad (11)
When ultraviolet rays are irradiated on the substrate, its refractive index, that is, the refractive index of the upper cladding (11) changes. When the refractive index is changed in this way, the propagation constant and the dispersion characteristics are changed accordingly, and the filter center wavelength is changed.
【００１３】すなわち、フォトブリーチ性ポリシランを
上部クラッド（１１）に用い、それに対する紫外線の照
射強度、照射時間、および照射波長を調整するだけで、
精度良く、且つ簡単に、上部光導波路（１）の等価屈折
率を制御することができ、フィルタ中心波長λ0 を、製
作誤差などに起因する設計値等の所望値からのずれを補
正して、所望値となるように調整することができる。That is, the photobleachable polysilane is used for the upper clad (11), and the irradiation intensity, irradiation time and irradiation wavelength of the ultraviolet light are simply adjusted.
The equivalent refractive index of the upper optical waveguide (1) can be controlled accurately and easily, and the center wavelength λ 0 of the filter is corrected from a desired value such as a design value caused by a manufacturing error. , Can be adjusted to a desired value.
【００１４】ところで、図１に例示した非対称方向性結
合器型フィルタの一種である積層交叉型波長フィルタで
は、上部の光導波路（１）はリッジ型（またはチャネル
型）光導波路、下部の光導波路（２）はＡＲＲＯＷ型
（またはＳＬＣ−ＡＲＲＯＷ型）光導波路であり、それ
らが基板（２６）上においてＸ字状に交叉して積層され
た構造となっている。In the meantime, in the laminated crossing wavelength filter which is a kind of the asymmetric directional coupler type filter illustrated in FIG. 1, the upper optical waveguide (1) is a ridge type (or channel type) optical waveguide, and the lower optical waveguide is. (2) is an ARROW type (or SLC-ARROW type) optical waveguide, which has a structure in which these are crossed and laminated in an X-shape on a substrate (26).
【００１５】もちろん、非対称方向性結合器型波長フィ
ルタは、図１に例示したような積層構造に限定されるも
のではなく、ＡＤＤ／ＤＲＯＰ動作を行なう様々な構造
を有するものに適用させることができる。たとえば、下
部光導波路（２）にもリッジ型光導波路が用いられてい
てよい。各光導波路（１）（２）はＸ字状に交叉してい
なくても、たとえば図２に例示したように、任意結合長
Ｌの部分だけ上下の導波路が平行に配置された結合部分
が設けられて積層された構造とすることもできる。ま
た、積層型ではなく、同一面内に二つの導波路を配置す
ることもできる。Of course, the asymmetric directional coupler type wavelength filter is not limited to the laminated structure illustrated in FIG. 1, but can be applied to those having various structures for performing ADD / DROP operation. . For example, a ridge type optical waveguide may be used also for the lower optical waveguide (2). Even if the optical waveguides (1) and (2) do not intersect in an X-shape, for example, as shown in FIG. 2, a coupling portion in which upper and lower waveguides are arranged in parallel only by an arbitrary coupling length L is illustrated. It is also possible to provide a laminated structure provided. Further, two waveguides can be arranged in the same plane instead of the stacked type.
【００１６】さらにまた、上述の例では、フォトブリー
チ性ポリシランは、積層交叉形波長フィルタにおける上
部光導波路（１）の上部クラッド（１１）に用いている
が、屈折率変化により伝播定数変化および分散特性変化
を介して中心波長変化が実現できればよいので、上部ク
ラッドだけではなく、側面のクラッド或いはクラッド層
の一部分などのようにクラッド層の一部に用いられれば
よい。Furthermore, in the above-mentioned example, the photobleachable polysilane is used for the upper cladding (11) of the upper optical waveguide (1) in the laminated cross-wavelength filter. Since it is sufficient that the center wavelength change can be realized through the characteristic change, it may be used not only for the upper cladding but also for a part of the cladding layer such as a side cladding or a part of the cladding layer.
【００１７】また、同一面内に二つの光導波路を配置し
た構造の非対称方向性結合器型波長フィルタでは、どち
らか一方の光導波路のクラッド層の一部がフォトブリー
チ性ポリシランにより形成されていればよい。以下、添
付した図面に沿って実施例を示し、この発明の実施の形
態についてさらに詳しく説明する。In an asymmetric directional coupler type wavelength filter having a structure in which two optical waveguides are arranged in the same plane, a part of a cladding layer of one of the optical waveguides may be formed of photobleachable polysilane. I just need. Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings, and embodiments of the present invention will be described in further detail.
【００１８】[0018]
【実施例】この発明の非対称方向性結合器型波長フィル
タにおいて積層交叉型波長フィルタの構造を用いて紫外
線照射によりフィルタ中心波長λ0 が調整された場合の
フィルタ特性の測定例を示す。本実施例では、フォトブ
リーチ性ポリシランがトルエンに１０％程度混合された
溶液を用い、この溶液を、室温の空気中において上部光
導波路（１）のコア（１２）および分離層（１３）上に
滴下した後、温度を６０℃程度に上げた空気中において
乾燥させて溶媒を揮発させ、固めることにより、上部ク
ラッド（１１）を形成した。なお、上部クラッド（１
１）の膜厚は特に限定されるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of measurement of filter characteristics when the filter center wavelength λ 0 is adjusted by irradiating ultraviolet rays using the structure of a laminated cross-wavelength filter in the asymmetric directional coupler type wavelength filter of the present invention will be described. In this embodiment, a solution in which about 10% of photobleachable polysilane is mixed with toluene is used, and this solution is placed on the core (12) and the separation layer (13) of the upper optical waveguide (1) in the air at room temperature. After the dropwise addition, the resultant was dried in air at a temperature raised to about 60 ° C. to evaporate and solidify the solvent, thereby forming an upper clad (11). The upper clad (1
The film thickness of 1) is not particularly limited.
【００１９】まず、このフォトブリーチ性ポリシラン溶
液の紫外線照射に対する屈折率を測定した。ライトガイ
ド付きのＵＶライトを光源として用い、その紫外線をス
ペクトル中心波長（この光源の場合では、複数スペクト
ル線の中の一番強いスペクトルの波長）３７０ｎｍに調
整し、強度を６０．９ｍＷ／ｃｍ2 として５５０秒程度
の照射を室温の空気中において行なったところ、図３に
例示したように、屈折率が約１．４４８から１．４２７
まで減少変化した。よって、紫外線の照射強度、照射時
間、および照射波長の調整により、屈折率を制御できる
ことがわかる。First, the refractive index of this photobleachable polysilane solution with respect to ultraviolet irradiation was measured. A UV light with a light guide is used as a light source, and the ultraviolet light is adjusted to a spectral center wavelength (in this case, the wavelength of the strongest spectrum among a plurality of spectral lines) of 370 nm, and the intensity is 60.9 mW / cm 2. When irradiation was performed for about 550 seconds in air at room temperature, as shown in FIG. 3, the refractive index was about 1.448 to 1.427.
Changed to decrease. Therefore, it is understood that the refractive index can be controlled by adjusting the irradiation intensity, irradiation time, and irradiation wavelength of the ultraviolet light.
【００２０】次に、このデータを用い、図１の非対称方
向性結合器型波長フィルタを構成する上部光導波路
（１）のコア（１２）および分離層（１３）、下部光導
波路の上部コア層（２１）、ストライプ横閉じ込め層
（＝ＳＬＣ層）（２２）、下部コア層（２３）、第一ク
ラッド（２４）、第二クラッド（２５）、および基板
（２６）それぞれの材料、厚さ、屈折率ｎを図４および
表１に示したように設計した場合について、フィルタ中
心波長λ0 の変化を計算により求めた。Next, using this data, the core (12) and the separation layer (13) of the upper optical waveguide (1) and the upper core layer of the lower optical waveguide constituting the asymmetric directional coupler type wavelength filter of FIG. (21), stripe lateral confinement layer (= SLC layer) (22), lower core layer (23), first clad (24), second clad (25), and substrate (26). When the refractive index n was designed as shown in FIG. 4 and Table 1, the change in the filter center wavelength λ 0 was obtained by calculation.
【００２１】[0021]
【表１】 [Table 1]
【００２２】なお、コア（１２）の幅は４．００μｍと
している。図５は、その計算結果を例示したものであ
る。この図５から明らかなように、フォトブリーチ性ポ
リシラン製の上部クラッド（１１）の屈折率ｎp の変化
（１．４４８から１．４２７までの範囲）にしたがっ
て、フィルタ中心波長λ0 が約４０ｎｍの範囲で変化し
ている。すなわち、フィルタ中心波長λ0 を約４０ｎｍ
の範囲でトリミング調整することができることがわかっ
た。The width of the core (12) is 4.00 μm. FIG. 5 illustrates the calculation result. As is clear from FIG. 5, the filter center wavelength λ 0 is about 40 nm according to the change in the refractive index n p of the upper cladding (11) made of photobleachable polysilane (range from 1.448 to 1.427). In the range. That is, the filter center wavelength λ 0 is set to about 40 nm.
It was found that the trimming can be adjusted in the range of.
【００２３】そこで、この設計を基に非対称方向性結合
器型フィルタを製作し、フィルタ応答スペクトルを測定
することにより、紫外線照射によるフィルタ中心波長λ
0 の変化を測定して、フィルタ特性を確認した。この測
定では、紫外線の照射強度を５６ｍＷ／ｃｍ2 とした。
紫外線照射前のフィルタ中心波長は１５６７．４８ｎ
ｍ、ＦＷＨＭは３．９２ｎｍであり、また、上下の光導
波路（１）（２）を０．１２°の交叉構造として、サイ
ドローブを−２０ｄＢ以下に抑制している。Therefore, an asymmetric directional coupler type filter is manufactured on the basis of this design, and the filter response spectrum is measured.
The change in 0 was measured to confirm the filter characteristics. In this measurement, the irradiation intensity of the ultraviolet light was set to 56 mW / cm 2 .
The center wavelength of the filter before UV irradiation is 156.48 n
m and FWHM are 3.92 nm, and the upper and lower optical waveguides (1) and (2) have a crossover structure of 0.12 ° to suppress the side lobe to -20 dB or less.
【００２４】図６は、この場合における測定結果を示し
たものであり、この図６から、約５１０秒間の紫外線照
射によって１５０８．７６ｎｍまでフィルタ中心波長が
変化しているのが確認できた。したがって、フィルタ中
心波長を、変化範囲内において設計値からのずれをトリ
ミング補正して、設計値と精度良く一致させることが容
易に実現できる。FIG. 6 shows the measurement results in this case. From FIG. 6, it was confirmed that the filter center wavelength was changed to 1508.76 nm by the irradiation of ultraviolet rays for about 510 seconds. Therefore, it is possible to easily realize that the center wavelength of the filter is trimmed to correct the deviation from the design value within the change range, and is accurately matched with the design value.
【００２５】もちろん、この発明は以上の例に限定され
るものではなく、細部については様々な態様が可能であ
る。たとえば、紫外線の照射強度、照射時間、および照
射波長は、用いるフォトブリーチ性ポリシランの種類や
波長フィルタの製造状態や紫外線照射時の環境などに基
づいて異なってくるので、それぞれの場合に適した強
度、時間および波長の調整を行なうことが望まれる。し
たがって、照射強度、照射時間、および照射波長の具体
的数値に関しては、フィルタ中心波長の変化や所望値へ
の調整が実現できれば、特に限定されるものではない。Of course, the present invention is not limited to the above examples, and various embodiments are possible in detail. For example, the irradiation intensity, irradiation time, and irradiation wavelength of ultraviolet light vary depending on the type of photobleachable polysilane to be used, the manufacturing condition of the wavelength filter, the environment at the time of ultraviolet irradiation, and the like. , Time and wavelength adjustments are desired. Therefore, the specific numerical values of the irradiation intensity, the irradiation time, and the irradiation wavelength are not particularly limited as long as the change of the filter center wavelength and the adjustment to the desired value can be realized.
【００２６】また、フォトブリーチ性ポリシラン自身も
トルエンに混ぜられた溶液としての使用に限定されない
ことや、クラッド層の形成方法・手段もフォトブリーチ
性ポリシランを滴下して固まらせるだけに限定されない
ことは言うまでもない。たとえば、スピンコーティング
やディップコーティングなど、真空蒸着法やレーザーア
ブレージョン法などによっても形成できる。Further, it is not limited that the photobleachable polysilane itself is used as a solution mixed with toluene, and that the method and means for forming the cladding layer are not limited to merely dropping and hardening the photobleachable polysilane. Needless to say. For example, it can be formed by a vacuum evaporation method, a laser ablation method, or the like, such as spin coating or dip coating.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、フォトブリーチ性ポリシランを一方の光導波路の
クラッド層の一部に用い、それに対する紫外線照射を行
って、その照射強度、照射時間、および照射波長を調整
するだけで、精度良く、且つ簡単に、フィルタ中心波長
を所望の値にシフトさせることができ、したがって、製
作誤差等に起因するフィルタ中心波長のズレを補正し
て、高性能な非対称方向性結合器型波長フィルタを容易
に実現させることができる。As described in detail above, according to the present invention, photobleachable polysilane is used for a part of the cladding layer of one of the optical waveguides, and ultraviolet light is irradiated on the cladding layer, and the irradiation intensity, irradiation time, and irradiation time are used. By simply adjusting the wavelength, the center wavelength of the filter can be shifted accurately and easily to a desired value. A directional coupler type wavelength filter can be easily realized.
【図１】この発明の非対称方向性結合器型波長フィルタ
の一例を示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of an asymmetric directional coupler type wavelength filter according to the present invention.
【図２】この発明の非対称方向性結合器型波長フィルタ
の別の一例を示した斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing another example of the asymmetric directional coupler type wavelength filter of the present invention.
【図３】フォトブリーチ性ポリシラン溶液の紫外線照射
に対する屈折率特性を例示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a refractive index characteristic of a photobleachable polysilane solution with respect to ultraviolet irradiation.
【図４】図１の非対称方向性結合器型波長フィルタにお
ける各パラメータの一例を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of each parameter in the asymmetric directional coupler type wavelength filter of FIG. 1;
【図５】紫外線照射に対する上部クラッドの屈折率とフ
ィルタ中心波長との関係を例示した図である。FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the refractive index of the upper clad and the center wavelength of the filter with respect to ultraviolet irradiation.
【図６】フィルタ特性を例示した図である。FIG. 6 is a diagram illustrating filter characteristics.
【図７】従来の非対称方向性結合器型波長フィルタを例
示した概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a conventional asymmetric directional coupler type wavelength filter.
【図８】図７の非対称方向性結合器型波長フィルタにお
ける２つの光導波路の伝播定数の分散関係を例示した図
である。8 is a diagram illustrating a dispersion relation of propagation constants of two optical waveguides in the asymmetric directional coupler wavelength filter of FIG. 7;
【図９】図７の非対称方向性結合器型波長フィルタにお
ける２つの光導波路の等価屈折率の分散関係を例示した
図である。9 is a diagram illustrating a dispersion relation of equivalent refractive indices of two optical waveguides in the asymmetric directional coupler type wavelength filter of FIG. 7;
１ 光導波路 １１ 上部クラッド １２ コア １３ 分離層 ２ 光導波路 ２１ 上部コア層 ２２ ストライプ横閉じ込め層 ２３ 下部コア層 ２４ 第一クラッド ２５ 第二クラッド ２６ 基板 Reference Signs List 1 optical waveguide 11 upper clad 12 core 13 separation layer 2 optical waveguide 21 upper core layer 22 stripe lateral confinement layer 23 lower core layer 24 first clad 25 second clad 26 substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 信也 神奈川県川崎市高津区坂戸３−６−16 エ クセルハイム305号 (72)発明者 藩 伍根 東京都葛飾区立石２−26−７ (72)発明者 朱 世徳 神奈川県川崎市高津区坂戸３−18−12 パ レスアルカディア101号 (72)発明者 遠藤 壮一 神奈川県横浜市保土ヶ谷区星川３−19−21 ツカサハイツ204号 (72)発明者 鈴木 修一 神奈川県横浜市緑区鴨居４−12−12 (72)発明者 今井 高史 東京都港区六本木６丁目２番31号 東芝シ リコーン株式会社内 (72)発明者 壁田 桂次 東京都港区六本木６丁目２番31号 東芝シ リコーン株式会社内 (72)発明者 杉 信一郎 東京都港区六本木６丁目２番31号 東芝シ リコーン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 AA03 AA05 AB01 AB05 BB18 EE17 EE28 GG05 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Shinya Sato 3-6-16 Exelheim 305, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa (72) Inventor Goune 2-26-7, Tateishi, Katsushika-ku, Tokyo (72) ) Inventor Zhu Zetoku 3-18-12 Sakado, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Japan No. 101 (72) Inventor Soichi Endo 3-19-21, Hoshikawa, Hodogaya-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture 204 Tsukasa Heights 204 (72) Inventor Shuichi Suzuki 4-12-12 Kamoi, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Takashi Imai 6-31, Roppongi, Minato-ku, Tokyo Inside Toshiba Silicone Corporation (72) Inventor Keiji Hewata Minato, Tokyo 6-31, Roppongi-ku, Toshiba Silicone Corporation (72) Inventor Shinichiro Sugi 6-31, Roppongi, Minato-ku, Tokyo Toshiba Silicone Corporation F-ter (Reference) 2H047 AA03 AA05 AB01 AB05 BB18 EE17 EE28 GG05
Claims (2)
導波路が組み合わされてなる非対称方向性結合器型波長
フィルタにおいて、一方の光導波路のクラッド層の一部
をフォトブリーチ性ポリシランにより形成し、このフォ
トブリーチ性ポリシランに対して紫外線を照射し、その
照射強度、照射時間、および照射波長を調整することに
より、フィルタ中心波長を所望値にすることを特徴とす
る非対称方向性結合器型波長フィルタの中心波長調整方
法。In an asymmetric directional coupler type wavelength filter in which two optical waveguides having different wavelength dependences of propagation constants are combined, a part of a cladding layer of one of the optical waveguides is formed of photobleachable polysilane. Irradiating the photobleachable polysilane with ultraviolet light, and adjusting the irradiation intensity, irradiation time, and irradiation wavelength to set the filter center wavelength to a desired value. How to adjust the center wavelength of the filter.
導波路が組み合わされてなる非対称方向性結合器型波長
フィルタであって、一方の光導波路のクラッド層の一部
がフォトブリーチ性ポリシランによりなり、このフォト
ブリーチ性ポリシランに対する紫外線照射の照射強度、
照射時間、および照射波長が調整されて所望値とされた
フィルタ中心波長を有することを特徴とする非対称方向
性結合器型波長フィルタ。2. An asymmetric directional coupler type wavelength filter in which two optical waveguides having different wavelength dependences of propagation constants are combined, wherein a part of a cladding layer of one of the optical waveguides is made of photobleachable polysilane. In this case, the irradiation intensity of ultraviolet irradiation on this photobleachable polysilane,
An asymmetric directional coupler type wavelength filter characterized in that an irradiation time and an irradiation wavelength are adjusted to have a desired filter center wavelength.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24085398A JP2000075151A (en) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | Central wavelength adjustment method for asymmetric directional coupler type wavelength filter and asymmetric directional coupler type wavelength filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24085398A JP2000075151A (en) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | Central wavelength adjustment method for asymmetric directional coupler type wavelength filter and asymmetric directional coupler type wavelength filter |
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| Publication Number | Publication Date |
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ID=17065694
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| JP24085398A Pending JP2000075151A (en) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | Central wavelength adjustment method for asymmetric directional coupler type wavelength filter and asymmetric directional coupler type wavelength filter |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003087905A1 (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Polysilane thin films for directly patternable waveguides |
-
1998
- 1998-08-26 JP JP24085398A patent/JP2000075151A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003087905A1 (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Polysilane thin films for directly patternable waveguides |
| US7190871B2 (en) | 2002-04-09 | 2007-03-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Polysilane thin films for directly patternable waveguides |
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