JP2000074839A - Ipc spectral analyzing device with protecting gas release port - Google Patents
Ipc spectral analyzing device with protecting gas release portInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、誘導結合プラズマ
分光分析装置に関し、特に、コーン先端部以外の箇所に
保護ガス放出用の開口を設けた誘導結合プラズマ分光分
析装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inductively coupled plasma spectrometer, and more particularly, to an inductively coupled plasma spectrometer having an opening for releasing a protective gas at a location other than the tip of a cone.
【０００２】[0002]
【従来の技術】誘導結合プラズマを利用した分析装置に
は誘導結合プラズマ発光分析装置と誘導結合プラズマ質
量分析装置がある。前者は試料を含むプラズマから出さ
れた光を分光分析するものであり、後者は試料を含むプ
ラズマから放射されるイオンを質量分析するものであ
る。前者である誘導結合プラズマ発光分析装置の概要を
図４を参照しながら説明する。図４は全体構成図を示す
ものであり、まずプラズマ発光部から見てみると、１は
プラズマを発生させるプラズマトーチであって、中央に
試料供給口２が配設され、それを二重に囲むようにガス
供給口３，４が設けられ、該供給口２，３，４から下流
部をトーチ管の外から囲うように誘導コイル６が配設さ
れている。上記試料供給口２はチャンバー７に連通して
おり、該チャンバー内は液体の試料９がネブライザ８に
より噴霧ガスの供給量に応じた適宜の濃度で霧状にされ
て満たされている。プラズマトーチ１に供給されるガス
は一般にはアルゴンガスであるが、これが供給され誘導
コイル６にＲＦジェネレータ２０からの高周波電圧が印
加されるとプラズマトーチ１にプラズマ光源５が点火さ
れる。この際、ガスの供給にともない試料供給口２は負
圧が生じチャンバー７内のガス中に霧状に散布されてい
る試料をプラズマ中に吸引する。その際にプラズマから
発せられる光には供給ガスアルゴンと試料の元素に特有
の励起光が含まれることになる。また、試料液中には既
知の元素（標準試料）を既知の濃度で混入させておき、
未知の被分析試料を比較分析法により分析する方法が一
般的である。次に、この光の成分を分光器を介してスペ
クトル毎の光量として検出し、それを解析して試料成分
とその量を特定するのであるが、最近の装置はコンピュ
ータ２３が組み込まれており、各元素の励起光の波長情
報はＲＯＭ等に蓄積されていて、操作者はＣＲＴ２４に
表示される操作手順プログラムに従って、順次対話形式
でエレクトロニクスコンソール２２から指示を出し容易
に作業を進めることができるようになっている。分析結
果はスペクトル表示の他、例えば成分毎の定量的なデー
タとして一覧表の形で得ることもできる。2. Description of the Related Art Inductively coupled plasma analyzers include an inductively coupled plasma emission analyzer and an inductively coupled plasma mass analyzer. The former is for spectroscopic analysis of light emitted from the plasma containing the sample, and the latter is for mass analysis of ions emitted from the plasma containing the sample. An outline of the former inductively coupled plasma emission analyzer will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows an overall configuration diagram. First, when viewed from the plasma light emitting portion, reference numeral 1 denotes a plasma torch for generating plasma, which is provided with a sample supply port 2 at the center, and which is doubled. Gas supply ports 3 and 4 are provided so as to surround, and an induction coil 6 is disposed so as to surround a downstream portion from the supply ports 2, 3 and 4 from outside the torch tube. The sample supply port 2 communicates with a chamber 7, and the inside of the chamber is filled with a liquid sample 9 by a nebulizer 8 at an appropriate concentration corresponding to the supply amount of the spray gas. The gas supplied to the plasma torch 1 is generally argon gas, but when this gas is supplied and a high-frequency voltage from the RF generator 20 is applied to the induction coil 6, the plasma light source 5 is ignited to the plasma torch 1. At this time, a negative pressure is generated in the sample supply port 2 with the supply of the gas, and the sample sprayed in the gas in the chamber 7 in a mist state is sucked into the plasma. At this time, the light emitted from the plasma includes the supply gas argon and the excitation light unique to the element of the sample. In addition, a known element (standard sample) is mixed in the sample solution at a known concentration,
A method of analyzing an unknown analyte by a comparative analysis method is generally used. Next, the light component is detected as a light amount for each spectrum via a spectroscope, and the light component is analyzed to specify the sample components and the amounts thereof. A recent apparatus incorporates a computer 23, The wavelength information of the excitation light of each element is stored in a ROM or the like, so that the operator can sequentially issue instructions from the electronics console 22 in an interactive manner according to the operation procedure program displayed on the CRT 24 so that the operation can be easily performed. It has become. The analysis result can be obtained in the form of a list, for example, as quantitative data for each component in addition to the spectrum display.
【０００３】分光分析のための分光器１１の配置には該
分光器の光入射口をプラズマトーチの軸方向に合わせ、
プラズマの発生方向（軸方向）から光を入射させる方式
（図４に示したものはこのタイプである。）と、該光入
射口をプラズマトーチの軸と垂直の方向に合わせ、プラ
ズマの横方向から光を入射させる方式とがある。この二
つの方式にはそれぞれ一長一短があり、状況に応じて何
れかの方式が選択されている。すなわち、プラズマの発
生方向と直交する方向から光を分光器に取り入れる方式
のものに比べ、プラズマの発生方向から光を取り入れる
方式の場合には、感度が向上する長所があり、感度のよ
い分析を行うためには、プラズマの発生方向から光を分
光器に取り入れる方式が望ましい。一方、プラズマの発
生方向から光を分光器に取り入れる方式は、プラズマの
発生方向と直交する方向から光を分光器に取り入れる場
合に比べ、試料中の共存物質による分析値への影響が大
きく、正確さに劣る。このため、正確さを求める場合
は、プラズマの発生方向と直交する方向から光を分光器
に取り入れる方式が望ましいといえる。また、プラズマ
の発生方向から光を取り入れる方式の場合には、高温の
プラズマから光学系への熱伝達は大きく、プラズマの熱
から分光器１１を保護する必要が生じ、プラズマトーチ
１と分光器１１との間には光開口を兼ねた熱遮断のため
のコーン１０が配設される構成が採られている。そして
このコーンは熱遮断効果を高めるため、水による冷却手
段を設けている。コーンの冷却はプラズマ温度にも影響
し、温度が低下すると感度が低くなるという問題を生じ
る。また、光学系をプラズマによる熱から保護するため
に、コーンとレンズとの間に保護ガス（プラズマガスと
同じアルゴンを用いる。）を供給して空冷をしている。
その際、構造的にコーンの先端部開口からプラズマに向
かって保護ガスが放出されることになる。このガス放出
によってプラズマが光学系にまで入り込むことを防ぐ作
用をするが、反面、該放出ガスがプラズマに影響してし
まい、炎状のプラズマを乱しプラズマが不安定となって
しまうという問題がある。特に、コーンの材料例えば銅
もプラズマによって加熱され、励起して特有の光を出す
が、放出される保護ガスの影響でプラズマが乱されると
この銅の発光状態も不安定となり、分光情報上のノイズ
となる。このように、保護ガスによる冷却方式は冷却効
果とプラズマの安定との狭間で、ガス供給には微量調整
精度が求められるという厄介な問題を伴っている。In order to arrange a spectroscope 11 for spectroscopic analysis, a light entrance of the spectroscope is aligned with an axial direction of a plasma torch.
A method in which light is incident from the plasma generation direction (axial direction) (the type shown in FIG. 4 is of this type), and the light incident port is aligned with the direction perpendicular to the axis of the plasma torch, and the lateral direction of plasma There is a method in which light is incident from the surface. Each of these two methods has advantages and disadvantages, and either method is selected according to the situation. In other words, in comparison with the method in which light is introduced into the spectroscope from a direction perpendicular to the direction in which plasma is generated, the method in which light is introduced from the direction in which plasma is generated has the advantage that sensitivity is improved. For this purpose, it is desirable to adopt a system in which light is introduced into the spectroscope from the direction in which plasma is generated. On the other hand, the method of taking light into the spectrometer from the direction of plasma generation has a greater effect on the analysis value due to the coexisting substance in the sample than the case of taking light into the spectrometer from the direction perpendicular to the direction of plasma generation. Inferior. For this reason, when accuracy is required, it can be said that a method of taking light into the spectroscope from a direction orthogonal to the direction in which plasma is generated is desirable. In the case of a system in which light is taken in from the direction of plasma generation, heat transfer from the high-temperature plasma to the optical system is large, and it becomes necessary to protect the spectroscope 11 from the heat of the plasma. A configuration is adopted in which a cone 10 that also serves as an optical aperture and that serves as a heat shield is disposed between the cone 10 and the optical aperture. The cone is provided with a cooling means using water in order to enhance the heat blocking effect. Cooling the cone also affects the plasma temperature, causing a problem of lowering sensitivity as the temperature decreases. Further, in order to protect the optical system from heat due to plasma, a protective gas (using the same argon as the plasma gas) is supplied between the cone and the lens to perform air cooling.
At that time, the protective gas is structurally released toward the plasma from the opening at the tip of the cone. This release of gas acts to prevent the plasma from entering the optical system, but on the other hand, the released gas affects the plasma, disturbing the flame-like plasma and making the plasma unstable. is there. In particular, the material of the cone, for example, copper, is also heated by the plasma and excited to emit a specific light. However, if the plasma is disturbed by the effect of the released protective gas, the light emission state of the copper becomes unstable and the spectral information becomes Noise. As described above, the cooling method using the protective gas has a troublesome problem that the gas supply requires a minute adjustment accuracy between the cooling effect and the stability of the plasma.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的課題は、
これらの問題を解決するもの、すなわち分析感度が良い
プラズマの発生方向から光を取り入れる方式を採用し、
放出される保護ガスのプラズマへの影響を少なくして安
定した分析を可能にするとともに、保護ガスの供給に精
度を要求されない新規な構造の誘導結合型プラズマ分光
分析装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide:
A solution to these problems, that is, adopting a method of taking in light from the direction of plasma generation with good analysis sensitivity,
An object of the present invention is to provide an inductively-coupled plasma spectroscopic analyzer having a novel structure, which enables stable analysis by reducing the influence of a released protective gas on plasma, and which does not require high precision in the supply of the protective gas.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】誘導結合型プラズマ分光
分析装置の構造を、放出される保護ガスがプラズマに影
響を及ぼさないようにコーン先端部開口とは異なる部分
に保護ガス放出用の主たる開口を設けるように構成す
る。The structure of the inductively coupled plasma spectrometer is changed to a main opening for protecting gas discharge at a portion different from the cone tip opening so that the released protective gas does not affect the plasma. Is provided.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】本発明は、まず分析感度が良いプ
ラズマの発生方向から光を取り入れる方式を採用するも
のであって、プラズマの先端近傍にコーンを配設し、分
光器に対する熱的遮断と分光器光学系の開口部とする方
式のものである。コーンの材料に銅の他アルミニウムと
いった金属、真鍮やステンレスといった合金を用いる点
では従来のものと特に変わりはない。コーンの構造は基
本的には円錐形の形状をしており、その基部は円錐部底
面より広い面で短い筒長の円筒形状となっているのが一
般的である。そして、円錐軸に沿って頂部から底部に向
かってテーパー状に光路が広がって形成されている。分
光器光学系をプラズマの熱から保護するため、コーンと
分光器光学系との間に保護ガスが供給されるが、本発明
は放出される保護ガスがプラズマに影響を及ぼさないよ
うにコーン先端部開口とは異なる部分に保護ガス放出用
の主たる開口を設けた排気路を光路孔と連通するように
構成するものである。ここで主たる開口というのはその
開口面積がコーン先端部開口の面積より広いという意味
である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention first employs a method of taking in light from the direction of generation of plasma with good analysis sensitivity. A cone is arranged near the tip of the plasma to thermally shut off the spectroscope. And an aperture of a spectroscope optical system. There is no particular difference from the conventional one in that a metal such as aluminum and an alloy such as brass and stainless steel are used for the material of the cone in addition to copper. The structure of the cone is basically in the shape of a cone, and its base is generally a cylindrical shape having a shorter cylinder length than the bottom surface of the cone. The optical path is formed so as to be tapered from the top to the bottom along the conical axis. In order to protect the spectroscope optics from the heat of the plasma, a protective gas is supplied between the cone and the spectroscope optics.However, the present invention uses a cone tip so that the released protective gas does not affect the plasma. An exhaust path provided with a main opening for releasing the protective gas at a portion different from the opening is configured to communicate with the optical path hole. Here, the main opening means that the opening area is larger than the area of the cone tip opening.
【０００７】このように構成した装置のコーンの分光器
側に保護ガスを供給すると、コーン底部に穿設された光
路孔へ保護ガスが流れ込み、コーン先端部開口からも一
部保護ガスの放出はなされるが、それより開口面積が広
い開口部が設けられているので、大部分の保護ガスはそ
ちらの開口部から放出されることになる。その開口部は
放出ガスがプラズマの炎には直接かからない場所に設け
られているため、分光器光学系の冷却に必要な十分な量
のガスを供給してもコーン先端部開口からの保護ガスの
放出は僅かであるから、プラズマを乱すことも少なく、
コーン先端部が過度に冷却されることもなく、銅のよう
なコーン材料元素の励起状態は安定される。その際、僅
かながらもコーン先端部開口からガスが放出されるの
で、プラズマのコーンの光路内への侵入は防止される。
すなわち、熱遮断効果を担保した上で、保護ガスのプラ
ズマに及ぼす影響は少ないものとすることができる。When the protective gas is supplied to the spectroscope side of the cone of the apparatus configured as described above, the protective gas flows into an optical path hole formed in the bottom of the cone, and a part of the protective gas is not released from the opening at the tip of the cone. However, since the opening having a larger opening area is provided, most of the protective gas is discharged from the opening. Since the opening is provided in a place where the emitted gas does not come into direct contact with the plasma flame, even if a sufficient amount of gas necessary for cooling the spectroscope optics is supplied, the protective gas from the cone tip opening is supplied. Since the emission is small, it does not disturb the plasma,
The excited state of the cone material element such as copper is stabilized without excessive cooling of the cone tip. At this time, gas is slightly emitted from the cone tip opening, so that plasma is prevented from entering the optical path of the cone.
In other words, the effect of the protective gas on the plasma can be reduced while securing the heat blocking effect.
【０００８】[0008]
【実施例１】図１に本発明の１実施例を示す。図１Ａは
この実施例の正面図、図１Ｂは図１Ａのｂ−ｂ断面図、
図１Ｃは図１Ａのｃ−ｃ断面図、そして図１Ｄは斜視図
である。コーンには円錐軸に沿って光路孔103が穿設さ
れており、コーン先端部のプラズマ側から底部の分光器
側にかけて径が広くなるテーパー形状の光路となってい
るのは従来のものと同様である。この実施例の特徴は図
から明らかなようにコーンの円筒状の基部に放射状に複
数本のガス放出路104を設けた点にある。図では放出路
が４本のものを示したがこの数に限定されるものではな
く、プラズマ側のコーン先端部開口101の面積より放出
口105の面積の和が十分大きければよい。コーンの分光
器側から保護ガスが供給され、底部開口102より供給さ
れた保護ガスの大部分はコーン基部に設けられている放
射状の放出路104を経て基部周面の放出口105からパージ
されるため、周辺には遮蔽物がないことが好ましく、コ
ーンは中空に浮かせて支持する形態が適している。Embodiment 1 FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. 1A is a front view of this embodiment, FIG. 1B is a sectional view taken along line bb of FIG. 1A,
1C is a cross-sectional view taken along the line cc of FIG. 1A, and FIG. 1D is a perspective view. The cone has an optical path hole 103 along the cone axis, and the tapered optical path has a diameter that increases from the plasma side at the tip of the cone to the spectrometer at the bottom. It is. The feature of this embodiment is that a plurality of gas discharge paths 104 are provided radially at the cylindrical base of the cone as is apparent from the drawing. Although four emission paths are shown in the figure, the number is not limited to this number, and it is sufficient that the sum of the areas of the emission ports 105 is sufficiently larger than the area of the cone tip opening 101 on the plasma side. The protective gas is supplied from the spectroscope side of the cone, and most of the protective gas supplied from the bottom opening 102 is purged from the outlet 105 on the base peripheral surface via the radial discharge path 104 provided in the cone base. Therefore, it is preferable that there is no shield around the periphery, and a form in which the cone is supported by being suspended in a hollow is suitable.
【０００９】[0009]
【実施例２】図２に本発明の他の実施例を示す。図２Ａ
は正面図、図２Ｂは図２Ａはｂ−ｂ断面図である。この
実施例は保護ガスの主たる放出口をコーンの円錐面部に
設けたものである。この実施例も保護ガス放出口105の
全開口面積はコーン先端部開口101の面積より大きくと
られている。そして、コーンの円錐部に穿設された保護
ガス放出口105の位置は、放出される保護ガスがプラズ
マに影響を及ぼさない箇所である。Embodiment 2 FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. FIG. 2A
2B is a front view, and FIG. 2B is a cross-sectional view of FIG. In this embodiment, the main outlet of the protective gas is provided on the conical surface of the cone. Also in this embodiment, the total opening area of the protective gas discharge port 105 is set larger than the area of the cone tip opening 101. The position of the protective gas discharge port 105 formed in the conical portion of the cone is a position where the released protective gas does not affect the plasma.
【００１０】[0010]
【実施例３】図３に本発明の更に異なる実施例を示す。
この例は主たる放出口をコーンにではなく、コーンの取
り付け部材１５に設けた例である。コーン１０の底部中
央には雄ネジの切られたボルト状の取付部106が延在
し、分光器光学系と一体構造のコーンの取り付け部材１
５に設けられた雌ネジ孔151と螺合して取り付けられて
いる。そしてこの取り付け部材１５にはガス放出孔152
が穿設されている。このガス放出孔の有効面積がコーン
先端部開口の面積より大きいことは他の実施例と同様で
ある。なお、図３中１６は保護ガス供給弁であり、コー
ンと分光器光学系の間に適量の保護ガスを供給する。Embodiment 3 FIG. 3 shows still another embodiment of the present invention.
In this example, the main discharge port is provided not in the cone but in the cone mounting member 15. At the center of the bottom of the cone 10, a bolt-shaped mounting portion 106 with a male thread extends, and a cone mounting member 1 integrated with the spectroscope optical system.
5 is screwed and attached to the female screw hole 151 provided in the connector 5. The mounting member 15 has a gas release hole 152.
Are drilled. As in the other embodiments, the effective area of the gas discharge hole is larger than the area of the opening at the tip of the cone. In FIG. 3, a protection gas supply valve 16 supplies an appropriate amount of protection gas between the cone and the spectroscope optical system.
【００１１】以上本発明の実施例を３例示したが、要は
保護ガス放出口の全開口面積はコーン先端部開口の面積
より大きくとること、コーンに穿設される保護ガス放出
口の位置は、放出される保護ガスがプラズマに影響を及
ぼさない箇所であることを条件として設計すればよく、
種々の変形設計が可能である。また、放出口の数は必ず
しも複数である必要はなく、１つであっても冷却効果が
確保でき、コーン先端部開口からの保護ガスの量が適度
に押さえられればよい。Although three embodiments of the present invention have been described above, the point is that the total opening area of the protective gas discharge port is larger than the area of the cone tip opening, and the position of the protective gas discharge port formed in the cone is as follows. , Should be designed on condition that the released protective gas does not affect the plasma,
Various deformation designs are possible. Further, the number of the discharge ports does not necessarily have to be plural, and even if it is one, the cooling effect can be ensured, and the amount of the protective gas from the opening at the tip of the cone can be appropriately suppressed.
【００１２】[0012]
【発明の効果】本発明は、誘導結合型プラズマ分光分析
装置として検出感度のよいプラズマの発生方向から光を
取り入れる方式を採用し、この方式の課題である分光器
等光学系のプラズマからの熱的遮蔽を確保するものであ
って、従来この方式の短所であったプラズマの不安定さ
に起因する検出情報の不正確さを克服したものである。
すなわち、誘導結合型プラズマ分光分析装置の構造を、
放出される保護ガスがプラズマに影響を及ぼさないよう
にコーン先端部開口とは異なる部分に保護ガス放出用の
主たる開口を設けるように構成することにより、光学系
の保護のための冷却がプラズマ自体の冷却を及ぼし感度
を低下させたり、放出されるガスがプラズマ状態を乱し
発光状態を変動させたり、例えば銅といったコーン材料
元素の励起に変動を与えるなどの現象を防止できるた
め、従来プラズマの発生方向から光を取り入れる方式の
短所とされていたところを克服し、安定した分析を可能
にした画期的なものである。The present invention employs a method of taking in light from the direction of generation of plasma with good detection sensitivity as an inductively coupled plasma spectrometer, and the heat from the plasma of an optical system such as a spectroscope, which is the subject of this method. It is intended to ensure the proper shielding, and to overcome the inaccuracy of the detected information due to the instability of the plasma, which was a disadvantage of the conventional method.
That is, the structure of the inductively coupled plasma spectrometer is
In order to prevent the emitted protective gas from affecting the plasma, a main opening for releasing the protective gas is provided at a part different from the opening at the tip of the cone, so that cooling for protecting the optical system is performed by the plasma itself. The conventional plasma can be prevented from cooling down, lowering the sensitivity, preventing the emitted gas from disturbing the plasma state and fluctuating the light emission state, and changing the excitation of the cone material element such as copper. This is an epoch-making system that overcomes the disadvantages of taking in light from the direction of generation and enables stable analysis.
【００１３】更に、コーン先端部開口から放出される量
は少なく、大部分のガスはプラズマに影響を及ぼすこと
のない箇所から放出されるので、供給ガス量には微妙な
精度が要求されなくなり、従来保護ガス冷却方式がもっ
ていた冷却効果とプラズマの安定との狭間で、ガス供給
には微量調整精度が求められるという厄介な問題も解決
できた。しかも、そのことによって、調整バルブにも高
価な精密機種を用いる必要はなくなり、安価な繁用の調
整バルブを用いることが出来るため、コスト的にも大き
な効果をもたらすものである。Furthermore, the amount of gas released from the opening at the tip of the cone is small, and most of the gas is released from a location that does not affect the plasma. In the narrow gap between the cooling effect and the plasma stability, which were conventionally provided by the protective gas cooling method, the troublesome problem that the gas supply requires a minute adjustment accuracy was solved. In addition, this eliminates the need for using an expensive precision model for the adjustment valve, and allows the use of an inexpensive and commonly used adjustment valve, resulting in a great effect in terms of cost.
【図１】 本発明の１実施例を示す図で、Ａは正面図、
ＢはＡのｂ−ｂ断面図、ＣはＡのｃ−ｃ断面図、Ｄはそ
の斜視図である。FIG. 1 is a view showing one embodiment of the present invention, wherein A is a front view,
B is a bb sectional view of A, C is a cc sectional view of A, and D is a perspective view thereof.
【図２】 本発明の他の実施例を示す図で、Ａは正面
図、ＢはＡのｂ−ｂ断面図である。FIG. 2 is a view showing another embodiment of the present invention, wherein A is a front view, and B is a bb sectional view of A.
【図３】 本発明の更に異なる実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing still another embodiment of the present invention.
【図４】 誘導結合型プラズマ分光分析装置の全体構成
図を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an overall configuration diagram of an inductively coupled plasma spectrometer.
プラズマトーチ １ ＲＦジェネレータ
20 試料供給口 ２ ガスコントロール
部 21 ガス供給口 ３，４ プラズマ光源 ５ エレクトロニクス 誘導コイル ６ コンソー
ル 22 チャンバ ７ マイクロコンピュ
ータ 23 ネブライザ ８ ＣＲＴ
24 試料 ９ コーン先端部開口
101 コーン 10 底部開口
102 分光器 11 光路孔
103 集光系 12 ガス放出路
104 ドレイン排出口 13 ガス放出口
105 アルゴンガス 14 ボルト状取付部
106 コーン取り付け部材 15 雌ネジ孔
151 保護ガス供給弁 16 ガス放出孔
152Plasma torch 1 RF generator
20 Sample supply port 2 Gas control section 21 Gas supply port 3,4 Plasma light source 5 Electronics induction coil 6 Console 22 Chamber 7 Microcomputer 23 Nebulizer 8 CRT
24 Sample 9 Cone tip opening
101 cone 10 bottom opening
102 Spectrometer 11 Optical path hole
103 Condensing system 12 Gas emission path
104 Drain outlet 13 Gas outlet
105 Argon gas 14 Bolt mounting part
106 Cone mounting member 15 Female screw hole
151 Protective gas supply valve 16 Gas outlet
152
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G043 AA01 CA03 DA05 EA08 GA04 GB01 GB03 GB05 GB07 GB09 GB17 HA01 JA01 LA01 MA01 MA03 MA11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G043 AA01 CA03 DA05 EA08 GA04 GB01 GB03 GB05 GB07 GB09 GB17 HA01 JA01 LA01 MA01 MA03 MA11
Claims (4)
射させる方式のものにおいて、コーン先端部開口とは異
なる部分に分光器光学系を冷却する保護ガスの主たる放
出用開口を設けたことを特徴とする誘導結合型プラズマ
分光分析装置。1. A method in which light is incident on a spectroscope from a plasma generation direction, wherein a main discharge opening of a protective gas for cooling the spectroscope optical system is provided in a portion different from the cone tip opening. Characteristic inductively coupled plasma spectrometer.
た請求項１に記載の誘導結合型プラズマ分光分析装置。2. The inductively coupled plasma spectrometer according to claim 1, wherein a main emission opening is provided on a side of the cone.
放射状に複数個配置した請求項２に記載の誘導結合型プ
ラズマ分光分析装置。3. The inductively coupled plasma spectrometer according to claim 2, wherein a plurality of main emission openings are radially arranged on the peripheral surface of the cone base.
に設けた請求項１に記載の誘導結合型プラズマ分光分析
装置。4. The inductively coupled plasma spectrometer according to claim 1, wherein a main emission opening is provided on a wall surface of the cone mounting portion.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10243880A JP2000074839A (en) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | Ipc spectral analyzing device with protecting gas release port |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10243880A JP2000074839A (en) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | Ipc spectral analyzing device with protecting gas release port |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000074839A true JP2000074839A (en) | 2000-03-14 |
Family
ID=17110364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10243880A Pending JP2000074839A (en) | 1998-08-28 | 1998-08-28 | Ipc spectral analyzing device with protecting gas release port |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000074839A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101833764B1 (en) | 2016-09-30 | 2018-04-13 | 광운대학교 산학협력단 | Filtering device in vacuum deposition chamber and System for preventing optical fiber's surface contaminants |
-
1998
- 1998-08-28 JP JP10243880A patent/JP2000074839A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101833764B1 (en) | 2016-09-30 | 2018-04-13 | 광운대학교 산학협력단 | Filtering device in vacuum deposition chamber and System for preventing optical fiber's surface contaminants |
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