JP2000065075A - Rolling bearing - Google Patents

Rolling bearing

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JP2000065075A
JP2000065075A JP11105597A JP10559799A JP2000065075A JP 2000065075 A JP2000065075 A JP 2000065075A JP 11105597 A JP11105597 A JP 11105597A JP 10559799 A JP10559799 A JP 10559799A JP 2000065075 A JP2000065075 A JP 2000065075A
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JP
Japan
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bearing
shield plate
rolling
inner ring
particles
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JP11105597A
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Japanese (ja)
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Toyohisa Yamamoto
豊寿 山本
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Original Assignee
NSK Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rolling bearing capable of being sufficiently used in the clean atmosphere and the vacuum environment for a semiconductor manufacturing device and having little particles scattering from the bearing to the outside. SOLUTION: A sheet-like permanent magnet 8 is fixed on the surface of the bearing inner space side of a shield plate 6. Magnetic fluid 7 is stuck to the permanent magnet 8. An inner ring 2 and a cage front surface 5 are constituted of non magnetic materials. Particles generated in a bearing are attracted to the magnet 8, caught and held, if they are magnetic substances. Moreover, they are caught and held in the magnetic fluid 7 to be stuck to the magnet 8 regardless of magnetism.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、真空環境下や、ク
リーンルーム、半導体製造装置など清浄な雰囲気を必要
とする環境下等において使用する転がり軸受に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rolling bearing for use in a vacuum environment or in an environment requiring a clean atmosphere such as a clean room or a semiconductor manufacturing apparatus.

【０００２】[0002]

【従来の技術】油やグリースを用いて潤滑を行う構造の
転がり軸受は、高速回転や高荷重条件下等においても作
動することができ、様々な分野で使用されている。しか
し、軸受の回転時に油やグリースが軸受外部に飛散し、
また、高温や真空環境下で通常の油やグリースを用いる
と、これらの蒸発によるガス（アウトガス）が軸受外部
に放出されるなど、軸受外部の環境を汚染してしまう。2. Description of the Related Art Rolling bearings having a structure in which lubrication is performed using oil or grease can operate even under high-speed rotation and high-load conditions, and are used in various fields. However, when the bearing rotates, oil and grease scatter outside the bearing,
Further, when ordinary oil or grease is used in a high-temperature or vacuum environment, the environment outside the bearing is contaminated, for example, a gas (outgas) resulting from evaporation of the oil or grease is released to the outside of the bearing.

【０００３】このため、クリーンルーム、半導体製造装
置、液晶パネル製造装置等のように清浄な環境を必要と
する場合や真空環境下においては、通常の油やグリース
を用いて潤滑を行う構造の転がり軸受を使用することが
できない。そこで、従来にあっては、清浄な環境を必要
とする半導体製造装置等や真空環境下においては、保持
器に固体潤滑剤等を混合した自己潤滑性を有する複合材
を使用したり、軸受の各構成要素の表面に予め固体潤滑
剤からなる被膜を形成した固体潤滑軸受を使用してい
る。又は、潤滑剤として、蒸気圧が低く且つ稠度の小さ
いフッ素系グリースを用いて潤滑する軸受が使用され
る。Therefore, when a clean environment is required, such as in a clean room, a semiconductor manufacturing apparatus, a liquid crystal panel manufacturing apparatus, or the like, or in a vacuum environment, the rolling bearing is structured to lubricate with ordinary oil or grease. Can not be used. Therefore, conventionally, in a semiconductor manufacturing apparatus or the like that requires a clean environment or in a vacuum environment, a self-lubricating composite material in which a solid lubricant or the like is mixed in a cage is used, or a bearing is used. A solid lubricated bearing in which a coating made of a solid lubricant is formed on the surface of each component in advance is used. Alternatively, a bearing lubricated with a fluorine-based grease having a low vapor pressure and a small consistency is used as a lubricant.

【０００４】上記自己潤滑性を有する保持器を組み込ん
だ軸受では、軸受の回転に伴い保持器と転動体が摺動す
ることにより、保持器から転動体、内輪軌道、及び外輪
軌道に移着して形成される薄い固体潤滑膜により軸受の
潤滑を行う。一方、上記固体潤滑被膜を施した軸受で
は、予め軸受の各構成要素の表面に形成された被膜がせ
ん断、劈開することにより、母材同士の直接接触を防止
することにより軸受の潤滑を行う。In a bearing incorporating the self-lubricating cage, the cage and the rolling element slide with the rotation of the bearing, so that the bearing is transferred from the cage to the rolling element, the inner raceway and the outer raceway. The bearing is lubricated by the thin solid lubricating film formed. On the other hand, in the bearing provided with the solid lubricating coating, the coating formed on the surface of each component of the bearing in advance shears and cleaves to prevent direct contact between the base materials, thereby lubricating the bearing.

【０００５】また、軸受内部で発生した摩耗粒子等のパ
ーティクルが軸受外部へ飛散することを抑えるために、
軸受の外側に磁性流体シールを設置した軸受もある。こ
の磁性流体シールは、磁性体からなる回転軸の周りに磁
石を非接触に設置することで磁気回路を構成すると共
に、当該回転軸と磁石との間の空間に磁性流体を充満し
て保持することにより、軸受内部空間を外部空間から遮
断し、軸受内部から飛散する摩耗粒子等のパーティクル
を低減するものである。In order to prevent particles such as abrasion particles generated inside the bearing from scattering outside the bearing,
In some bearings, a magnetic fluid seal is provided outside the bearing. This magnetic fluid seal forms a magnetic circuit by disposing a magnet around a rotating shaft made of a magnetic material in a non-contact manner, and fills and holds a magnetic fluid in a space between the rotating shaft and the magnet. Thus, the bearing internal space is shut off from the external space, and particles such as abrasion particles scattered from inside the bearing are reduced.

【０００６】また、従来、軸受内部で発生した摩耗粒子
等のパーティクルが、軸受外部に飛散することを抑える
ために、軸受内部における軸方向両側にそれぞれシール
ド板を設けたり、軸受の外部に対し、軸と軸受箱の各々
に溝等を有する部材を組み合わせて配置することにより
ラビリンスシールを設けたりしている。ここで、上記従
来のシールド板は、内輪と外輪の径差を幅とした環状の
板状部材であって、径方向一端部側が内輪又は外輪の一
方に固定されると共に、径方向他端部側が外輪又は内輪
の他方と非接触状態で対向配置される非板触型となって
いる。Conventionally, in order to prevent particles such as abrasion particles generated inside the bearing from scattering outside the bearing, shield plates are provided on both sides in the axial direction inside the bearing. A labyrinth seal is provided by arranging a member having a groove or the like in combination with each of the shaft and the bearing box. Here, the conventional shield plate is an annular plate-like member having a width that is equal to the diameter difference between the inner ring and the outer ring, and one end in the radial direction is fixed to one of the inner ring and the outer ring, and the other end in the radial direction. The side is a non-plate contact type that is disposed to face the other of the outer ring or the inner ring in a non-contact state.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体素子をは
じめ、各種電子素子においては、高集積化、微細化等が
進んでいる。これに伴い、製造過程中に半導体素子など
の表面に付着する微小なパーティクルが、製品の性能、
信頼性、歩留まり等に及ぼす悪影響が増大している。こ
のため、半導体製造装置等のように清浄な環境を必要と
する箇所で使用される軸受に対し、軸受から外部に飛散
する粒子及びアウトガス等が少ないことが要求され、そ
の要求はますます高まる傾向にある。In recent years, high integration and miniaturization of various electronic elements such as semiconductor elements have been advanced. Along with this, fine particles adhering to the surface of semiconductor devices etc. during the manufacturing process will cause product performance,
The adverse effects on reliability, yield, etc. are increasing. For this reason, bearings used in places requiring a clean environment, such as semiconductor manufacturing equipment, are required to reduce the amount of particles and outgas that scatter from the bearing to the outside. It is in.

【０００８】しかしながら、上記固体潤滑軸受は何れ
も、保持器と被膜等の摺動に伴い、摺動部から摩耗粒子
が発生して脱落することは避けられず、この摩耗粒子が
軸受外部に飛散してしまうため、上記の要求に対して十
分に対応できていない状況にある。また、上記摩耗粒子
は主に固体潤滑剤であるから、軸受の回転に伴い摺動部
から摩耗粒子が脱落することは、最終的には母材同士が
直接接触することになり、その結果、軸受トルクの急激
な上昇や焼き付きが生じて、寿命低下の原因となるおそ
れも考えられる。However, in any of the solid lubricated bearings described above, it is inevitable that wear particles are generated and fall off from the sliding portion as the cage and the coating slide, and the wear particles scatter outside the bearing. As a result, the above-mentioned demands cannot be sufficiently satisfied. Further, since the wear particles are mainly a solid lubricant, the wear particles fall off from the sliding portion with the rotation of the bearing, and eventually the base materials come into direct contact with each other, and as a result, It is also conceivable that a sudden increase or seizure of the bearing torque may occur, which may shorten the life of the bearing.

【０００９】また、上記フッ素系グリースで潤滑する構
造の軸受においても、軸受の回転に伴い、グリースがせ
ん断され、遠心力により軸受外部に飛散し易い。一方、
軸受の外側に磁性流体シールを設置する場合には、相対
回転する両部品が共に磁性体であるために、両部品間で
磁気誘導が生じて磁気回路が作成され軸受回転に対する
制動作用が生じると共に当該回転軸と磁石との間に磁性
流体を充満する構造であるため、回転トルク、特に、起
動時におけるトルクが非常に大きくなる難点がある。ま
た、回転に伴うせん断や軸受内部空間と外部空間との圧
力差により、磁性流体自身が飛散してしまうおそれがあ
るという問題点もある。このため、上記の要求に対して
十分に対応できていない状況にある。Also, in a bearing having a structure lubricated with the above-mentioned fluorine-based grease, the grease is sheared with the rotation of the bearing and easily scattered outside the bearing due to centrifugal force. on the other hand,
When a magnetic fluid seal is installed on the outside of the bearing, both parts that rotate relative to each other are magnetic substances, so that magnetic induction occurs between the two parts, a magnetic circuit is created, and a braking action against rotation of the bearing occurs. Since the magnetic fluid is filled between the rotating shaft and the magnet, there is a problem that the rotating torque, particularly the torque at the time of starting, becomes very large. In addition, there is also a problem that the magnetic fluid itself may be scattered due to shearing due to rotation or a pressure difference between the bearing inner space and the outer space. For this reason, it is in a situation where the above-mentioned demand cannot be fully met.

【００１０】また、軸受内部で発生した摩耗粒子等のパ
ーティクルは、重力や遠心力等によって、内輪外径面や
外輪内径面の軸方向両端部に溜まり易い。しかしなが
ら、上記従来の非接触型シールド板にあっては、内輪外
径面若しくは外輪内径面の軸方向両端部と一定の隙間を
有して非接触状態となっているため、つまり、摩耗粒子
等のパーティクルが溜まりやすい箇所に軸受外部に連通
する隙間が形成されているため、パーティクルが上記隙
間を通過して軸受外部に飛散してしまうおそれがあると
いう問題点がある。また、軸受の外部に対し、軸と軸受
箱の各々に溝などを有する部材を配置してラビリンスシ
ールを設ける場合には、部材の構造が複雑となり、ま
た、輪受の外部に部材を配置する空間が必要となるので
転がり軸受を設ける装置の大型化に繋がるという問題点
がある。Further, particles such as abrasion particles generated inside the bearing tend to accumulate at both axial ends of the inner ring outer diameter surface and the outer ring inner diameter surface due to gravity, centrifugal force and the like. However, the conventional non-contact type shield plate is in a non-contact state with a certain gap between both ends of the inner ring outer diameter surface or the outer ring inner diameter surface in the axial direction. Since a gap communicating with the outside of the bearing is formed in a portion where the particles easily accumulate, there is a problem that the particles may scatter outside the bearing through the gap. Further, when a member having a groove or the like is disposed on each of the shaft and the bearing box to provide a labyrinth seal outside the bearing, the structure of the member becomes complicated, and the member is disposed outside the bearing. Since a space is required, there is a problem that the device for providing the rolling bearing becomes large in size.

【００１１】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、半導体製造装置等の清浄な雰囲気を必
要とする用途や真空環境下等で十分に使用可能な、軸受
から外部に飛散するパーティクルが少ない転がり軸受を
提供することを課題としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is intended for use in semiconductor manufacturing equipment or the like requiring a clean atmosphere or in a vacuum environment. It is an object of the present invention to provide a rolling bearing with less particles scattered in the bearing.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のうち請求項１に記載した発明は、内輪と外
輪との間の軸受内部に、保持器で保持された複数個の転
動体が介装されると共に軸方向両側にシールド板を付け
た転がり軸受において、軸受内部で生成される摩耗粒子
等のパーティクルを当該軸受内部で捕獲保持するパーテ
ィクル捕捉手段を、軸受内部空間側の上記内輪、外輪、
及びシールド板の面、保持器表面、及び転動体表面のう
ちの少なくとも一つの面に設けたことを特徴とする転が
り軸受を提供するものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 of the present invention is directed to a plurality of bearings held by a retainer inside a bearing between an inner ring and an outer ring. In a rolling bearing in which rolling elements are interposed and shield plates are attached on both sides in the axial direction, a particle capturing means for capturing and holding particles such as abrasion particles generated inside the bearing inside the bearing is provided on the bearing internal space side. The inner ring, outer ring,
And a rolling bearing provided on at least one of a surface of a shield plate, a surface of a cage, and a surface of a rolling element.

【００１３】ここで、保持器表面にパーティクル捕捉手
段を設けない場合には、保持器がない総転動体形式の転
がり軸受に対して、本発明が適用可能であることはいう
までもない。また、請求項２に係る発明のシールド板を
併用しても勿論構わない。本発明によれば、保持器及び
シールド板の少なくとも一つの面に設けられたパーティ
クル捕捉手段によって軸受内部空間内で上記いずれかの
面にパーティクルが捕獲保持されることで、軸受外部へ
の漏洩が抑制される。Here, when the particle capturing means is not provided on the surface of the cage, it is needless to say that the present invention can be applied to a rolling bearing of a total rolling element type having no cage. Also, the shield plate of the invention according to claim 2 may be used in combination. According to the present invention, particles are captured and held on any one of the surfaces in the bearing internal space by the particle capturing means provided on at least one surface of the cage and the shield plate, so that leakage to the outside of the bearing is prevented. Is suppressed.

【００１４】ここで、上記パーティクル捕捉手段として
は、例えば、次の（１）〜（３）の３つの手段及びその
３つの手段を任意に組み合わせた手段が考えられる。 （１）上記軸受内部空間側に位置する内輪、外輪、保持
器及びシールド板の少なくとも一つの面に、永久磁石を
付着する等により磁力を帯びさせ、当該面に磁性流体を
付着することでパーティクル捕捉手段を構成すると共
に、その面に所定間隔を開けて対向する表面を非磁性体
で構成する。Here, as the above-mentioned particle capturing means, for example, the following three means (1) to (3) and a means obtained by arbitrarily combining the three means can be considered. (1) At least one surface of the inner ring, the outer ring, the cage and the shield plate located on the bearing inner space side is given a magnetic force by attaching a permanent magnet or the like, and particles are attached by attaching a magnetic fluid to the surface. In addition to constituting the capturing means, a surface facing the surface at a predetermined interval is formed of a non-magnetic material.

【００１５】例えば、少なくとも、上記シールド板の軸
受内部側の面に対し磁性流体を表面に付着した永久磁石
を固定し、かつ、その永久磁石と径方向で非接触に対向
する上記内輪の表面を非磁性体で構成する。又は、少な
くとも、非磁性体で構成される上記シールド板の半径方
向端部と所定隙間を保持して非接触に対向する上記内輪
若しくは外輪の表面に、シート状等の永久磁石を被着
し、上記永久磁石の表面に磁性流体を付着させて構成す
る。又は、上記内輪及び上記保持器で互いに対向する表
面、或いは上記外輪及び上記保持器で互いに対向する表
面の少なくとも一つにおいて、一方の表面を非磁性体で
構成し、これに対向する他方の面にシート状等の永久磁
石を被着し、更に、上記永久磁石の表面に磁性流体を付
着させて構成する。For example, at least a permanent magnet having a magnetic fluid adhered to the surface thereof is fixed to a surface of the shield plate inside the bearing, and the surface of the inner ring which faces the permanent magnet in a non-contact manner in the radial direction is fixed. It is made of a non-magnetic material. Or, at least, a sheet-like permanent magnet is adhered to the surface of the inner ring or the outer ring which faces the non-contact while maintaining a predetermined gap and a radial end of the shield plate made of a non-magnetic material, The permanent magnet is formed by attaching a magnetic fluid to the surface. Alternatively, at least one of the surfaces facing each other in the inner ring and the retainer, or the surfaces facing each other in the outer ring and the retainer, one surface is formed of a non-magnetic material, and the other surface facing the other is A permanent magnet in the form of a sheet, and a magnetic fluid is adhered to the surface of the permanent magnet.

【００１６】上記構成を採用すると、軸受内部で発生し
た磁性体からなるパーティクルは、上記磁力を帯びた面
（以下、磁石面と呼ぶ）の磁界により捕獲される。ま
た、上記磁石面上に付着させた磁性流体中に、磁性体或
いは非磁性体に関わらず摩耗粒子等のパーティクルが捕
獲され保持される。更に、上記構成に加えて、上記磁石
面に溝を設けるとよい。そうすると、この溝や溝の角部
に磁性流体が集中して溜まり、より多くの摩耗粒子を捕
獲して保持することができる。When the above configuration is adopted, particles made of a magnetic material generated inside the bearing are captured by the magnetic field on the surface having a magnetic force (hereinafter, referred to as a magnet surface). Further, particles such as abrasion particles are captured and held in the magnetic fluid adhered on the magnet surface regardless of the magnetic material or the non-magnetic material. Further, in addition to the above configuration, a groove may be provided on the magnet surface. Then, the magnetic fluid concentrates and accumulates in the grooves and the corners of the grooves, so that more wear particles can be captured and held.

【００１７】以上の作用によって、軸受内部で発生した
摩耗粒子等のパーティクルは、軸受の外部に飛散するこ
とが阻止され、外部の環境を汚染することがない。ま
た、上記磁性流体を付着させた磁石面と対向する表面を
非磁性体で構成することで、相対回転する部品のうちの
非磁性体からなる面は磁気誘導されず、上記磁性流体が
磁石面に対向する面に付着することがない。この結果、
軸受内部空間内に磁性流体を配置しても、軸受の回転ト
ルクが小さく、かつ、回転に伴い磁性流体に作用するせ
ん断力や遠心力が小さいために、磁性流体自身の飛散は
殆どない。By the above operation, particles such as abrasion particles generated inside the bearing are prevented from scattering outside the bearing, and the outside environment is not polluted. In addition, since the surface facing the magnet surface to which the magnetic fluid is attached is made of a nonmagnetic material, the surface of the non-magnetic material among the relatively rotating parts is not magnetically induced, and the magnetic fluid is not magnetized. It does not adhere to the surface facing the surface. As a result,
Even if the magnetic fluid is arranged in the bearing internal space, the magnetic fluid itself hardly scatters because the rotational torque of the bearing is small and the shearing force and centrifugal force acting on the magnetic fluid with the rotation are small.

【００１８】（２）上記シールド板の軸受内部空間側の
面、あるいは、内輪及び外輪において軸受内部空間を構
成する表面のうち転動体と接触しない表面、の少なくと
も一つに、微小な凹凸を形成してパーティクル捕捉手段
を構成する。上記構成により、軸受内部で発生した摩耗
粒子等のパーティクルを物理吸着する軸受内部の表面積
が増加し、かつ、摩耗粒子等を捕獲し保持する微小な凹
凸が、軸受内部の表面上に多数配置される。(2) Minute irregularities are formed on at least one of the surface of the shield plate on the bearing internal space side or the surface of the inner ring and the outer ring which does not contact the rolling element among the surfaces constituting the bearing internal space. Thus, a particle capturing means is configured. With the above configuration, the surface area inside the bearing for physically adsorbing particles such as wear particles generated inside the bearing is increased, and a large number of fine irregularities for capturing and holding the wear particles are arranged on the surface inside the bearing. You.

【００１９】この結果、軸受内部で発生した摩耗粒子等
のパーティクルは、軸受内部空間内で効果的に捕獲され
て保持されて軸受外部に飛散することを防止される。 （３）軸受内部で、軸受作動時に互いに接触し摺動する
２以上の軸受部品表面同士を、帯電列において互いに対
極に位置する材料から形成することでパーティクル捕捉
手段を構成する。As a result, particles such as abrasion particles generated inside the bearing are effectively captured and held in the bearing internal space, and are prevented from scattering outside the bearing. (3) Inside the bearing, two or more bearing component surfaces that contact and slide with each other during operation of the bearing are formed of materials that are located opposite to each other in the charging train, thereby forming a particle capturing unit.

【００２０】例えば、互いに摺接する転動体と保持器に
ついて、転動体表面に固体潤滑被膜を形成し、且つ、保
持器ポケットを、上記固体潤滑被膜の材料とは帯電列に
おいて互いに対極に位置する材料から形成する。対極と
は、静電気的に、一方が正極であれば他方が負極を形成
するという意味である。なお、保持器がない総転動体形
式の軸受においては、転動体同士が軸受作動時に摺動す
るので、任意の転動体（表面）と、当該転動体と互いに
隣り合う転動体（表面）とを、帯電列において互いに対
極に位置する材料で形成することも考えられる。この場
合に、上記転動体表面を固体潤滑被膜で形成することが
好ましい。For example, for the rolling element and the cage that are in sliding contact with each other, a solid lubricating film is formed on the surface of the rolling element, and the cage pocket is made of a material that is opposite to the material of the solid lubricating film in the charging train. Formed from The counter electrode means that if one is a positive electrode, the other forms a negative electrode. In addition, in a bearing of a total rolling element type having no retainer, since the rolling elements slide during the operation of the bearing, an arbitrary rolling element (surface) and a rolling element (surface) adjacent to the rolling element are required. It is also conceivable that the electrodes are formed of materials that are located opposite to each other in the charging train. In this case, it is preferable to form the surface of the rolling element with a solid lubricating film.

【００２１】この構成を採用することで、上記保持器ポ
ケットの表面と転動体表面（その表面に形成された固体
潤滑被膜等）が軸受作動時に互いに摺動することによ
り、両者の間に静電気が生じ、摺動面およびその近傍の
表面、さらには、保持器や転動体等から発生する摩耗粒
子等のパーティクルが帯電する。続けて、この摩擦帯電
により、保持器や転動体等から発生した摩耗粒子等のパ
ーティクルが摺動面に吸着し、保持されることにより、
軸受外部に飛散することを効果的に抑制する。By employing this configuration, the surface of the cage pocket and the surface of the rolling element (such as a solid lubricating film formed on the surface) slide with each other during operation of the bearing, so that static electricity is generated between the two. As a result, particles such as abrasion particles and the like generated from the sliding surface and the surface in the vicinity thereof, as well as from the cage and the rolling elements are charged. Subsequently, particles such as abrasion particles generated from the cage and the rolling elements are attracted to and held on the sliding surface by the frictional electrification.
It effectively suppresses scattering to the outside of the bearing.

【００２２】また、固体潤滑軸受にあっては、摩擦帯電
により摺動面に留まるパーティクルは主に固体潤滑剤で
あるから、結果的に摩擦帯電により上記固体潤滑剤が摺
動面に保持され脱落し難くなるので、より長期間にわた
り潤滑性を維持することができ、軸受の寿命向上に繋が
る。ここで、上記（１）〜（３）の構成を単独で使用し
ても良いが、上記３つの構成を組み合わせることで、更
に軸受外部へのパーティクルの飛散等を抑えることがで
きる。In a solid lubricated bearing, particles that remain on the sliding surface due to frictional charging are mainly solid lubricants. As a result, the solid lubricant is retained on the sliding surface by frictional charging and falls off. Therefore, lubrication can be maintained for a longer period of time, which leads to an increase in the life of the bearing. Here, the above configurations (1) to (3) may be used alone, but by combining the above three configurations, scattering of particles to the outside of the bearing can be further suppressed.

【００２３】次に、請求項２に記載した発明は、内輪と
外輪との間の軸受内部における軸方向両側にそれぞれシ
ールド板を備える転がり軸受において、上記各シールド
板は、内輪に固定されて外輪に向けて延在する第１シー
ルド板と外輪に固定されて内輪に向けて延在する第２シ
ールド板との組によりそれぞれ構成され、上記組を構成
する第１シールド板と第２シールド板との先端部同士
は、軸方向で対向する部分を有すると共に所定隙間を保
持して非接触状態に設定されてラビリンスシールを構成
することを特徴とする転がり軸受を提供するものであ
る。Next, according to a second aspect of the present invention, there is provided a rolling bearing having shield plates on both sides in the axial direction inside a bearing between an inner ring and an outer ring, wherein the shield plates are fixed to the inner ring and the outer ring is provided. And a second shield plate fixed to the outer ring and extending toward the inner ring, the first shield plate and the second shield plate forming the above set. Are provided with a portion that faces each other in the axial direction and is set in a non-contact state while maintaining a predetermined gap, thereby forming a labyrinth seal, thereby providing a rolling bearing.

【００２４】ここで、本発明が対象とする転がり軸受
は、保持器を持たない総転動体形式の転がり軸受、及び
保持器を有する転がり軸受のいずれにも適用することが
できる。また、第１シールド板及び第２シールド板のど
ちらが軸受の外方側に配置されても同様な作用を発揮す
る。また、上記第１シールド板及び第２シールド板は、
２枚以上あっても良い。Here, the rolling bearing to which the present invention is applicable can be applied to both a rolling bearing of a total rolling element type having no cage and a rolling bearing having a cage. Further, the same effect is exhibited regardless of which of the first shield plate and the second shield plate is arranged on the outer side of the bearing. In addition, the first shield plate and the second shield plate include:
There may be two or more.

【００２５】本発明によれば、内輪および外輪の両端部
の各々に固定された第１及び第２シールド板の先端部同
士でラビリンスシールを構成することから、簡単で、し
かもコンパクトな構造にすることが可能となる。また、
上記ラビリンスシールが形成される位置は、内輪と外輪
の間の径方向途中位置であるので、軸受内部で発生した
摩耗粒子等のパーティクルが溜まりやすい内輪外径面及
び外輪内径面における軸方向両端部にはラビリンスシー
ルを形成するための隙間を設ける必要がない。この結
果、軸受内部で発生した摩耗粒子等が軸受の外部に飛散
することを効果的に防止することができる。According to the present invention, since the labyrinth seal is formed by the distal ends of the first and second shield plates fixed to both ends of the inner ring and the outer ring, the structure is simple and compact. It becomes possible. Also,
Since the labyrinth seal is formed at a radially intermediate position between the inner ring and the outer ring, both ends in the axial direction of the inner ring outer diameter surface and the outer ring inner diameter surface where particles such as abrasion particles generated inside the bearing easily accumulate. Need not be provided with a gap for forming a labyrinth seal. As a result, it is possible to effectively prevent wear particles and the like generated inside the bearing from scattering outside the bearing.

【００２６】このため、軸受内部で発生した摩耗粒子等
が、軸受の外部に飛散することを効果的に防止し、外部
の環境を汚染することがなく、半導体製造装置等の清浄
な雰囲気を必要とする用途や真空環境下等において好適
に使用することができる。Therefore, it is possible to effectively prevent wear particles and the like generated inside the bearing from scattering to the outside of the bearing, to prevent the external environment from being polluted, and to maintain a clean atmosphere such as a semiconductor manufacturing apparatus. It can be suitably used in applications such as in a vacuum environment.

【００２７】[0027]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態につい
て、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は以下の
実施形態に限定されるものではない。ここで、下記第１
〜７の実施形態は、磁気作用及び磁性流体を利用して、
パーティクルを捕獲保持する実施形態である。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the following embodiments. Here, the first
Embodiments 7 to 7 utilize magnetic action and a magnetic fluid,
This is an embodiment for capturing and holding particles.

【００２８】また、下記第８及び９の実施形態は、物理
吸着（微小凹凸）によってパーティクルを捕獲保持する
実施形態である。また、下記第１０〜１７の実施形態
は、静電気作用を利用してパーティクルを捕獲保持する
実施形態である。また、下記第１８〜２５の実施形態
は、請求項２の発明に係る実施形態である。The following eighth and ninth embodiments are embodiments in which particles are captured and held by physical adsorption (fine irregularities). Further, the following tenth to seventeenth embodiments are embodiments in which particles are captured and held by utilizing electrostatic action. The following eighteenth to twenty-fifth embodiments are embodiments according to the second aspect of the present invention.

【００２９】ここで、上記各実施形態は単独で用いる必
要はなく、上記第１〜２５の実施形態を適宜、組み合わ
せて用いることで、より確実に軸受内で発生したパーテ
ィクルを軸受外部に飛散させることなく、真空環境下や
清浄な雰囲気環境下、発塵を少なくできる転がり軸受を
提供できる。 ［第１の実施形態］まず、第１の実施形態について説明
する。Here, it is not necessary to use each of the above-described embodiments independently, and by appropriately combining the above-described first to twenty-fifth embodiments, particles generated in the bearing are more reliably scattered to the outside of the bearing. Thus, it is possible to provide a rolling bearing that can reduce dust generation under a vacuum environment or a clean atmosphere environment. [First Embodiment] First, a first embodiment will be described.

【００３０】図１は、本発明に係わる転がり軸受の第１
の実施形態を示す要部断面図である。本実施形態の転が
り軸受１は、図１に示すように、内輪２と外輪３との間
に複数の転動体４を配するとともに、保持器５により上
記転動体４を円周方向に沿って等間隔に保持している。FIG. 1 shows a first embodiment of a rolling bearing according to the present invention.
It is principal part sectional drawing which shows embodiment. In the rolling bearing 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 1, a plurality of rolling elements 4 are arranged between an inner ring 2 and an outer ring 3, and the rolling elements 4 are circumferentially moved by a retainer 5. It is held at equal intervals.

【００３１】また、軸受内部における軸方向両端部に
は、それぞれシールド板６が配置されている。このシー
ルド板６は、内輪２の外径と外輪３の内径との径差を幅
とする環状の板状部材であり、外径側端部が外輪３の内
径面に取付けられている。更に、上記シールド板６の軸
受内部側の面に、磁性流体７を表面に付着したシート状
等の永久磁石８が被着して磁石面が形成される。さら
に、少なくとも上記永久磁石と半径方向で非接触に対向
する上記内輪の表面が非磁性体で形成されている。Further, shield plates 6 are disposed at both ends in the axial direction inside the bearing. The shield plate 6 is an annular plate-like member having a width equal to the difference between the outer diameter of the inner ring 2 and the inner diameter of the outer ring 3, and the outer diameter end is attached to the inner diameter surface of the outer ring 3. Further, a sheet-like permanent magnet 8 having a magnetic fluid 7 adhered to the surface thereof is adhered to the surface of the shield plate 6 on the inner side of the bearing to form a magnet surface. Further, at least a surface of the inner race which faces the permanent magnet in a non-contact manner in a radial direction is formed of a non-magnetic material.

【００３２】例えば、上記内輪２自体を非磁性ステンレ
ス鋼やセラミックス等の非磁性体で構成してもよいし、
上記内輪２が磁性体からなる場合には、上記シールド板
６の内径方向先端と対向する面に非磁性体からなる被膜
やスリーブを配置して上記シールド板６と対向する表面
部分だけを非磁性体としても良い。なお、上記シールド
板６の軸受内部側の面（磁石面）と対向する保持器５表
面も非磁性体であることが好ましい。For example, the inner ring 2 itself may be made of a non-magnetic material such as non-magnetic stainless steel or ceramics.
When the inner ring 2 is made of a magnetic material, a coating or sleeve made of a non-magnetic material is arranged on the surface facing the inner diameter end of the shield plate 6 so that only the surface portion facing the shield plate 6 is non-magnetic. Good as a body. In addition, it is preferable that the surface of the cage 5 facing the surface (magnet surface) on the bearing inner side of the shield plate 6 is also a non-magnetic material.

【００３３】上記構成により、軸受内部で発生した摩耗
粒子等のパーティクルは、上記シールド板６の軸受内部
空間側の面位置においては磁界及び磁性流体７により捕
獲保持される。また、上記シールド板６の内径方向先端
部と、当該先端部と所定隙間を有して非接触に対向する
上記内輪２の表面との間の小さな隙間においては、上記
パーティクルは、磁界、磁性流体及びラビリンス効果に
より捕獲されて外部への飛散が防止され、該軸受１の内
部空間に保持される。With the above configuration, particles such as abrasion particles generated inside the bearing are captured and held by the magnetic field and the magnetic fluid 7 at the surface position of the shield plate 6 on the bearing internal space side. In a small gap between the tip of the shield plate 6 in the radial direction and the surface of the inner race 2 which faces the tip of the inner ring 2 in a non-contact manner with a predetermined gap, the particles are magnetically or magnetically fluid. Further, it is trapped by the labyrinth effect and is prevented from scattering to the outside, and is held in the internal space of the bearing 1.

【００３４】この結果、該軸受１の外部に飛散すること
が防止されるため、軸受１外部の環境を汚染することが
ない。また、外輪３が回転する場合には、上記シールド
板６と外輪３とのはめあい面に、ゴム等の弾性体を挟ん
だり、接着剤等を充填する等して、はめあい面間の微小
な隙間をなくすと、軸受内部で発生した摩耗粒子等が軸
受外部に飛散することを更に効果的に防止される。以下
に説明する他の各実施形態についても同様である。As a result, it is prevented that the bearing 1 is scattered outside, so that the environment outside the bearing 1 is not polluted. Further, when the outer ring 3 rotates, an elastic body such as rubber is sandwiched between the fitting surfaces of the shield plate 6 and the outer ring 3 or an adhesive or the like is filled, so that a minute gap between the fitting surfaces is formed. By eliminating the above, it is possible to more effectively prevent wear particles and the like generated inside the bearing from scattering outside the bearing. The same applies to the other embodiments described below.

【００３５】ここで、従来の軸受と同様に、内輪２の外
周面や外輪３の内周面、転動体４の表面等に固体潤滑被
膜を形成してもよいし、保持器５の材料として自己潤滑
性を有する複合材料を用いてもよい。また、潤滑剤とし
てグリースを用いることもできる。また、上記実施形態
では、永久磁石８を固定することで磁石面を構成してい
るが、シールド板６自体を磁化させるなど、他の方法に
よって磁石面を構成させても良い。以下に説明する他の
実施形態についても同様である。Here, similarly to the conventional bearing, a solid lubricating film may be formed on the outer peripheral surface of the inner ring 2, the inner peripheral surface of the outer ring 3, the surface of the rolling element 4, and the like. A composite material having self-lubricating properties may be used. Grease can also be used as a lubricant. Further, in the above embodiment, the magnet surface is configured by fixing the permanent magnet 8, but the magnet surface may be configured by another method such as magnetizing the shield plate 6 itself. The same applies to other embodiments described below.

【００３６】［第２の実施形態］次に、第２の実施形態
について図面を参照しつつ説明する。なお、上記第１の
実施形態と同様な部品等については同一の符号を付し
て、その詳細は省略する。図２は、本発明に係わる転が
り軸受の第２の実施形態を示す要部断面図である。[Second Embodiment] Next, a second embodiment will be described with reference to the drawings. Note that the same reference numerals are given to the same components and the like as those in the first embodiment, and the details are omitted. FIG. 2 is a cross-sectional view of a principal part showing a second embodiment of the rolling bearing according to the present invention.

【００３７】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１の実施形態の軸受と同じであるが、上記永久磁石
８の表面に溝９を設け、上記溝９やその角部等に上記磁
性流体７が集中的に溜まるようにしたものである。これ
により、永久磁石８の上に設けた溝９やその角部等に集
中した磁性流体７が、より多くの摩耗粒子等を捕獲して
保持する。この結果、上記第１の実施形態の軸受より
も、該軸受１の外部に摩耗粒子等が飛散することを防止
して、該軸受１の外部環境を汚染することがない。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the bearing of the first embodiment, except that a groove 9 is provided on the surface of the permanent magnet 8 and the groove 9 and its corners are formed on the surface of the permanent magnet 8. The magnetic fluid 7 is accumulated intensively. Thus, the magnetic fluid 7 concentrated on the groove 9 provided on the permanent magnet 8 and its corners captures and holds more wear particles and the like. As a result, compared to the bearing of the first embodiment, the scattering of wear particles and the like to the outside of the bearing 1 is prevented, and the outside environment of the bearing 1 is not polluted.

【００３８】ここで、上記第１及び第２の実施形態で
は、シールド板６を外輪３に固定した例を示している
が、磁性流体７及び永久磁石８を配置したシールド板６
を、図３に示すように、内輪２に固定してもよい。この
場合には、上記永久磁石８の外径方向端部と所定隙間を
有して非接触に対向する上記外輪３の表面を、非磁性体
で構成することで、上記と同様の作用効果が得られる。Here, in the first and second embodiments, the shield plate 6 is fixed to the outer race 3, but the shield plate 6 in which the magnetic fluid 7 and the permanent magnet 8 are arranged is shown.
May be fixed to the inner ring 2 as shown in FIG. In this case, the same effect as described above can be obtained by forming the surface of the outer race 3 which is opposed to the outer diameter end of the permanent magnet 8 in a non-contact manner with a predetermined gap with a non-magnetic material. can get.

【００３９】［第３の実施形態］次に、第３の実施形態
について図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形
態と同様な部品等については同一の符号を付して、その
詳細は省略する。図４は、本発明に係わる転がり軸受の
第３の実施形態を示す要部断面図である。[Third Embodiment] Next, a third embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the same components and the like as in the above embodiment, and the details are omitted. FIG. 4 is a sectional view of a principal part showing a third embodiment of the rolling bearing according to the present invention.

【００４０】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１の実施形態の軸受と同じであるが、上記シールド
板６を非磁性体で構成している。そして、そのシールド
板６の内径方向先端と所定隙間を有して非接触に対向す
る上記内輪２の表面に、シート状等の永久磁石８を固定
し、その永久磁石８の表面に磁性流体７を付着させて、
ラビリンスシールを構成したものである。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the bearing of the first embodiment, but the shield plate 6 is made of a non-magnetic material. A permanent magnet 8 in the form of a sheet is fixed on the surface of the inner ring 2 which faces the inner ring 2 with a predetermined gap from the inner diameter end of the shield plate 6 in a non-contact manner. To attach
A labyrinth seal is configured.

【００４１】これにより、上記シールド板６の内径方向
先端と、当該先端と所定隙間を有して非接触に対向する
上記内輪２の表面との間に形成された小さな隙間におい
ては、軸受内部で発生した摩耗粒子等が、磁界、磁性流
体及びラビリンス効果により捕獲され、該軸受１の内部
空間に保持される。この結果、摩耗粒子等が、該軸受１
の外部に飛散することが防止されるため、該軸受１外部
の環境を汚染することがない。Thus, in the small gap formed between the tip of the shield plate 6 in the radial direction and the surface of the inner ring 2 which faces the tip in a non-contact manner with a predetermined gap, the inside of the bearing is reduced. The generated wear particles and the like are captured by the magnetic field, the magnetic fluid, and the labyrinth effect, and are retained in the internal space of the bearing 1. As a result, wear particles and the like are generated by the bearing 1.
Is prevented from being scattered outside, so that the environment outside the bearing 1 is not polluted.

【００４２】ここで、図４では、シールド板６が外輪３
に固定され、永久磁石８上に溝が形成されていない場合
を図示しているが、上記他の実施形態と同様に、永久磁
石８上に磁性流体７が溜まるような溝を設けてもよい
し、また、シールド板６を内輪２に固定してもよい。 ［第４の実施形態］次に、第４の実施形態について図面
を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様な部
品等については同一の符号を付して、その詳細は省略す
る。Here, in FIG. 4, the shield plate 6 is
Is illustrated, and a groove is not formed on the permanent magnet 8, but a groove may be provided on the permanent magnet 8 so as to store the magnetic fluid 7, as in the other embodiments. Alternatively, the shield plate 6 may be fixed to the inner ring 2. [Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the same components and the like as in the above embodiment, and the details are omitted.

【００４３】図５は、本発明に係わる転がり軸受の第４
の実施形態を示す要部断面図である。本実施形態の転が
り軸受の基本構成は、上記第１の実施形態の軸受と同じ
であるが、内輪２の肩部側面に、上記磁性流体７を表面
に付着させた永久磁石８を配置し、かつ、上記永久磁石
８と軸方向で非接触に対向するシールド板６の先端を非
磁性体としたものである。FIG. 5 shows a fourth embodiment of the rolling bearing according to the present invention.
It is principal part sectional drawing which shows embodiment. The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the bearing of the first embodiment, except that a permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface of the shoulder of the inner ring 2 is disposed on the side surface of the shoulder. In addition, the end of the shield plate 6 which faces the permanent magnet 8 in a non-contact manner in the axial direction is made of a non-magnetic material.

【００４４】この構成により、軸受内部で発生した摩耗
粒子等は、磁界及び磁性流体７により捕獲保持され、摩
耗粒子の軸受外部への飛散を防止する。ここで、図５で
は、シールド板６が外輪３に固定され、永久磁石８上に
は溝がない場合を図示しているが、上記他の実施形態と
同様に、永久磁石８上に磁性流体７が溜まるような溝を
設けたり、シールド板６を内輪２に固定し、かつ、外輪
３の肩部側面に対し、磁性流体７を表面に付着させた永
久磁石８を固定してもよい。With this configuration, wear particles and the like generated inside the bearing are captured and held by the magnetic field and the magnetic fluid 7, thereby preventing the wear particles from scattering outside the bearing. Here, FIG. 5 shows a case where the shield plate 6 is fixed to the outer race 3 and there is no groove on the permanent magnet 8, but the magnetic fluid is placed on the permanent magnet 8 similarly to the other embodiments. It is also possible to provide a groove for accommodating 7, fix the shield plate 6 to the inner race 2, and fix a permanent magnet 8 having a magnetic fluid 7 adhered to the surface of the shoulder of the outer race 3.

【００４５】［第５の実施形態］次に、第５の実施形態
について図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形
態と同様な部品等については同一の符号を付して、その
詳細は省略する。図６は、本発明に係わる転がり軸受の
第５の実施形態を示す要部断面図である。[Fifth Embodiment] Next, a fifth embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the same components and the like as in the above embodiment, and the details are omitted. FIG. 6 is a sectional view of a principal part showing a fifth embodiment of the rolling bearing according to the present invention.

【００４６】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第４の実施形態の軸受と同じであるが、上記内輪２の
肩部側面に固定した永久磁石８の表面に溝９を設けると
共に、永久磁石８と軸方向で非接触に対向する非磁性体
からなるシールド板６の先端を上記溝９の中に入り込ま
せてラビリンス構造としたものである。この構成によっ
て、軸受内部で発生した摩耗粒子等が、磁界、磁性流体
７及びラビリンス効果により捕獲保持され、摩耗粒子の
軸受外部への飛散を防止する。The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the bearing of the fourth embodiment, except that a groove 9 is provided on the surface of a permanent magnet 8 fixed to the side surface of the shoulder of the inner ring 2. The tip of a shield plate 6 made of a non-magnetic material that faces the permanent magnet 8 in a non-contact manner in the axial direction is inserted into the groove 9 to form a labyrinth structure. With this configuration, wear particles and the like generated inside the bearing are captured and held by the magnetic field, the magnetic fluid 7, and the labyrinth effect, thereby preventing the wear particles from scattering outside the bearing.

【００４７】ここで、図６では、シールド板６が外輪３
に固定されている場合を図示しているが、他の実施形態
と同様に、シールド板６を内輪２に固定し、外輪３の肩
部側面に、上記と同様に磁性流体７及び溝を有する永久
磁石８を設置して、ラビリンス構造を形成するようにし
てもよい。 ［第６の実施形態］次に、第６の実施形態について図面
を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様な部
品等については同一の符号を付して、その詳細は省略す
る。Here, in FIG. 6, the shield plate 6 is
Is shown, but the shield plate 6 is fixed to the inner ring 2 and the magnetic fluid 7 and the groove are provided on the side surface of the shoulder of the outer ring 3 in the same manner as in the other embodiments. The labyrinth structure may be formed by installing the permanent magnet 8. [Sixth Embodiment] Next, a sixth embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the same components and the like as in the above embodiment, and the details are omitted.

【００４８】図７は、本発明に係わる転がり軸受の第６
の実施形態を示す要部断面図である。本実施形態の転が
り軸受の基本構成は、上記第４の実施形態の軸受と同じ
であるが、内輪２の肩部側面と共に半径方向を向く肩部
表面にも、上記磁性流体７を表面に付着させた上記永久
磁石８を配置し、かつ、上記永久磁石８と非接触に半径
方向で対向する保持器の表面が非磁性体で構成されてい
る。FIG. 7 shows a sixth embodiment of the rolling bearing according to the present invention.
It is principal part sectional drawing which shows embodiment. The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the bearing of the fourth embodiment, except that the magnetic fluid 7 adheres to the shoulder surface of the inner ring 2 as well as to the shoulder surface facing in the radial direction. The surface of the retainer on which the permanent magnet 8 is disposed and which faces the permanent magnet 8 in a non-contact manner in a non-contact manner is formed of a non-magnetic material.

【００４９】これにより、軸受内部で発生した摩耗粒子
等が、磁界及び磁性流体７により捕獲され、摩耗粒子の
軸受外部への飛散を防止する。ここで、図７では、内輪
２の肩部にだけ、磁性流体７を表面に付着させた永久磁
石８を配置しているが、外輪３の肩部、或いは内輪２及
び外輪３の両者の肩部に対して、上記磁性流体７を表面
に付着させた上記永久磁石８を配置し、これらに対向す
る保持器５の表面を非磁性体で構成させてもよい。ま
た、他の実施形態と同様に、永久磁石８の表面に上記磁
性流体７が溜まる溝９を設けてもよい。Thus, the wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the magnetic field and the magnetic fluid 7, and the wear particles are prevented from scattering outside the bearing. Here, in FIG. 7, the permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface is disposed only at the shoulder of the inner ring 2, but the shoulder of the outer ring 3 or the shoulders of both the inner ring 2 and the outer ring 3. The permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface may be disposed on the portion, and the surface of the retainer 5 facing the permanent magnet 8 may be made of a non-magnetic material. Further, similarly to the other embodiments, a groove 9 for storing the magnetic fluid 7 may be provided on the surface of the permanent magnet 8.

【００５０】また、肩部側面と対向するシールド板６の
先端部を非磁性体としてもよい。 ［第７の実施形態］次に、第７の実施形態について図面
を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様な部
品等については同一の符号を付して、その詳細は省略す
る。図８は、本発明に係わる転がり軸受の第７の実施形
態を示す要部断面図である。The tip of the shield plate 6 facing the shoulder side surface may be made of a non-magnetic material. [Seventh Embodiment] Next, a seventh embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the same components and the like as in the above embodiment, and the details are omitted. FIG. 8 is a sectional view of a principal part showing a rolling bearing according to a seventh embodiment of the present invention.

【００５１】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１の実施形態の軸受と同じであるが、内輪２及び保
持器５において互いに対向する表面のうち、上記保持器
５の表面に、上記磁性流体７を表面に付着させた永久磁
石８を配置すると共に、永久磁石８と対向する内輪２の
表面を非磁性体で構成したものである。これにより、上
記内輪２及び上記保持器５間の小さな隙間において、軸
受内部で発生した摩耗粒子等が磁界及び磁性流体７によ
り捕獲され、摩耗粒子等の軸受外部への飛散を防止す
る。The basic configuration of the rolling bearing according to the present embodiment is the same as that of the bearing according to the first embodiment. However, of the surfaces of the inner ring 2 and the cage 5 that face each other, A permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to its surface is arranged, and the surface of the inner ring 2 facing the permanent magnet 8 is made of a non-magnetic material. Thus, in the small gap between the inner ring 2 and the retainer 5, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the magnetic field and the magnetic fluid 7, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented.

【００５２】ここで、図８は、上記保持器５の上記内輪
２に対向する面に対して上記磁性流体７を表面に付着さ
せた上記永久磁石８を配置した場合を図示しているが、
上記保持器５の外輪３に対向する面、或いは内輪２及び
外輪３に対向する面の両者に上記磁性流体７を表面に付
着させた上記永久磁石８を配置し、これらに対向する上
記外輪３、或いは内輪２の表面を非磁性体で構成しても
よいし、他の実施形態と同様に、上記永久磁石８の表面
に上記磁性流体７が溜まる溝９を設けてもよい。Here, FIG. 8 shows a case where the permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface of the cage 5 facing the inner ring 2 is arranged.
The permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface thereof is disposed on the surface of the cage 5 facing the outer ring 3 or on both the surfaces of the inner ring 2 and the outer ring 3. Alternatively, the surface of the inner ring 2 may be made of a non-magnetic material, or a groove 9 for storing the magnetic fluid 7 may be provided on the surface of the permanent magnet 8 as in the other embodiments.

【００５３】［第８の実施形態］次に、第８の実施形態
について説明する。なお、上記実施形態と同様な部品等
については同一の符号を付して説明する。本実施形態及
び下記第９の実施形態は、シールド板表面等に微小凹凸
を設けた例である。[Eighth Embodiment] Next, an eighth embodiment will be described. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. The present embodiment and the following ninth embodiment are examples in which minute irregularities are provided on the surface of a shield plate or the like.

【００５４】図９は、本発明に係わる転がり軸受の第８
の実施形態を示す要部断面図である。本実施形態の転が
り軸受１は、図９に示すように、内輪２と外輪３との間
に複数の転動体４を配するとともに、保持器５により上
記転動体４を円周方向に沿って等間隔に保持している。FIG. 9 shows an eighth embodiment of the rolling bearing according to the present invention.
It is principal part sectional drawing which shows embodiment. In the rolling bearing 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 9, a plurality of rolling elements 4 are arranged between an inner ring 2 and an outer ring 3, and the rolling elements 4 are circumferentially moved by a retainer 5. It is held at equal intervals.

【００５５】また、軸受内部における軸方向両端部に
は、それぞれシールド板が配置されている。このシール
ド板６は、内輪２の外径と外輪３の内径との径差を幅と
する環状の板状部材であり、外径側端部が外輪３の内径
面に固定されている。本実施形態においては、図１０に
示すように、更に、少なくとも上記シールド板６の軸受
内部側面に、微小な凹凸が形成されている。Shield plates are arranged at both ends in the axial direction inside the bearing. The shield plate 6 is an annular plate-like member having a width equal to a difference between the outer diameter of the inner ring 2 and the inner diameter of the outer ring 3, and an outer diameter side end portion is fixed to the inner diameter surface of the outer ring 3. In the present embodiment, as shown in FIG. 10, at least on the inner surface of the bearing of the shield plate 6, fine irregularities are formed.

【００５６】上記微小は凹凸は、バレル加工、ショット
ピーニング、ホーニング、研削等の機械的加工やエッチ
ング等の化学的加工等により、少なくとも上記シールド
板６の軸受内部側面に形成する。上記構成によりパーテ
ィクルを捕獲する軸受内部での表面積が増加して、軸受
内部で発生した摩耗粒子等は、上記シールド板６上の微
小な凹凸を有する表面で捕獲されて、該軸受１の内部空
間に保持される。この結果、従来よりも多くパーティク
ルが軸受内部に捕獲保持されるので、該軸受１の外部に
飛散することが低減して、該軸受１の外部環境を汚染す
ることがない。The minute irregularities are formed at least on the inner side surface of the bearing of the shield plate 6 by mechanical processing such as barrel processing, shot peening, honing, and grinding, and chemical processing such as etching. With the above configuration, the surface area inside the bearing that captures particles increases, and wear particles and the like generated inside the bearing are captured on the surface having minute irregularities on the shield plate 6, and the internal space of the bearing 1 is reduced. Is held. As a result, more particles are trapped and held inside the bearing than in the related art, so that scattering to the outside of the bearing 1 is reduced, and the environment outside the bearing 1 is not polluted.

【００５７】ここで、上記シールド板６の軸受内部側面
以外の表面、例えば上記内輪２と対向する面等にも微小
な凹凸を形成させてもよい。また、従来の軸受と同様
に、内輪２の外周面（軌道面）や外輪３の内周面（軌道
面）、転動体４の表面に固体潤滑剤からなる被膜を形成
してもよいし、保持器５に固体潤滑剤等を混合した自己
潤滑性を有する複合材料を用いてもよいし、潤滑剤とし
てグリースを用いることもできる。Here, minute irregularities may be formed on the surface of the shield plate 6 other than the inner surface of the bearing, for example, the surface facing the inner ring 2 or the like. Further, similarly to the conventional bearing, a coating made of a solid lubricant may be formed on the outer peripheral surface (track surface) of the inner ring 2, the inner peripheral surface (track surface) of the outer ring 3, and the surface of the rolling element 4. A self-lubricating composite material obtained by mixing a solid lubricant or the like in the cage 5 may be used, or grease may be used as the lubricant.

【００５８】また、上記シールド板６を、図１１に示す
ように、上記内輪２に固定しても、上記と同様の作用効
果が得られる。 ［第９の実施形態］次に、第９の実施形態について説明
する。なお、上記実施形態と同様な部品等については同
一の符号を付して説明する。Further, even if the shield plate 6 is fixed to the inner race 2 as shown in FIG. 11, the same function and effect as described above can be obtained. [Ninth Embodiment] Next, a ninth embodiment will be described. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals.

【００５９】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第８の実施形態の軸受と同じであるが、内輪２及び外
輪３について、上記シールド板６と内輪２と外輪３で囲
まれた軸受内部空間に存在する表面のうち、上記転動体
４が転走する軌道面以外の表面に微小な凹凸を形成させ
たものである。これにより、軸受内部で発生した摩耗粒
子等は、上記内輪２において微小な凹凸を有する表面で
捕獲されて、該軸受１の内部空間に保持され、該軸受１
の外部に飛散することが防止されるため、該軸受１の外
部環境を汚染することがない。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the bearing of the eighth embodiment, except that the inner ring 2 and the outer ring 3 are surrounded by the shield plate 6, the inner ring 2 and the outer ring 3. Among the surfaces existing in the internal space, minute irregularities are formed on the surface other than the raceway surface on which the rolling elements 4 roll. As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured on the surface having minute irregularities on the inner ring 2 and held in the internal space of the bearing 1.
Is prevented from being scattered outside, so that the external environment of the bearing 1 is not polluted.

【００６０】なお、上記実施形態では、内輪２及び外輪
３の両者の表面に微小な凹凸を有するが、上記内輪２あ
るいは上記外輪３の一方のみに微細な凹凸を形成しても
よい。また、図１に示すような表面に微細な凹凸を有す
る上記シールド板６と組み合わせると更によい。さら
に、上記実施形態８及び実施形態９のように微小凹凸に
よってパーティクル捕捉手段を構成すると同時に、当該
微小凹凸を形成しない他の面に対して、上記実施形態１
〜７で示したような、磁性流体を付着した永久磁石を固
定してパーティクル捕捉手段を構成して、さらに、軸受
内部で発生したパーティクルを、該軸受１の内部空間に
捕獲保持させるようにして、さらに該軸受１の外部に飛
散することを防止するようにしてもよい。In the above embodiment, the surface of both the inner ring 2 and the outer ring 3 has minute irregularities. However, minute irregularities may be formed on only one of the inner ring 2 and the outer ring 3. It is more preferable to combine with the shield plate 6 having fine irregularities on the surface as shown in FIG. Further, the particle capturing means is constituted by the minute unevenness as in the eighth and ninth embodiments, and at the same time, the first embodiment is applied to the other surface on which the minute unevenness is not formed.
7, a particle capturing means is configured by fixing a permanent magnet to which a magnetic fluid is attached, and particles generated inside the bearing are captured and held in the internal space of the bearing 1. In addition, it may be possible to prevent scattering outside the bearing 1.

【００６１】［第１０の実施形態］次に、第１０の実施
形態について説明する。なお、上記実施形態と同様な部
品等については同一の符号を付して説明する。本実施形
態から第１７の実施形態までは、固体潤滑転がり軸受に
ついて静電気作用を利用してパーティクルを捕獲保持す
るものである。なお、潤滑は固体潤滑に限定されるもの
ではない。[Tenth Embodiment] Next, a tenth embodiment will be described. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. From the present embodiment to the seventeenth embodiment, the solid lubricated rolling bearing captures and holds particles by utilizing an electrostatic action. The lubrication is not limited to solid lubrication.

【００６２】図１２は、本発明に係わる固体潤滑転がり
軸受の第１０の実施形態を示す要部断面図である。本実
施形態の転がり軸受の基本構成は、上記第８の実施形態
の軸受と同じである。但し、本実施形態においては、転
動体４および保持器５を構成する材料が、帯電列におい
て互いに対極に位置する物質を含有するように、上記両
部品の材料の組み合わせを規定している。FIG. 12 is a sectional view of a principal part showing a tenth embodiment of a solid lubricated rolling bearing according to the present invention. The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the bearing of the eighth embodiment. However, in the present embodiment, the combination of the materials of the above-mentioned two parts is defined so that the materials constituting the rolling elements 4 and the retainers 5 include substances located at opposite poles in the charging train.

【００６３】例えば、上記保持器５をフッ素樹脂を含有
する材料で形成した場合、上記転動体４を、帯電列にお
いてフッ素樹脂と対極に位置する物質、例えば、窒化物
系セラミックス、酸化物系セラミックス、雲母、フッ素
雲母、鉛、銀、金、ガラス、ナイロン、ポリアイミド、
ポリアセタール、ポリアミドイミド等を含有する材料で
形成する。For example, when the retainer 5 is formed of a material containing a fluororesin, the rolling element 4 is made of a material which is located opposite to the fluororesin in the charging line, for example, a nitride ceramic, an oxide ceramic. , Mica, fluoromica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyamide,
It is formed of a material containing polyacetal, polyamideimide, and the like.

【００６４】ここで、フッ素樹脂としては、ポリテトラ
フルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレ
ン〜エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、パーフルオロアル
コキシ（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン〜ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロ
エチレン〜エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリビニ
リデンフルオライド（ＰＶｄＦ）等を使用することがで
きる。Here, as the fluororesin, polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), perfluoroalkoxy (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP) ), Polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer (ECTFE), polyvinylidene fluoride (PVdF), and the like.

【００６５】また、窒化物系セラミックスとしては、窒
化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、サイアロン（Ｓｉａｌｏ
ｎ）、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（Ａｌ
Ｎ）等を使用することができる。酸化物系セラミックス
としては、部分安定化ジルコニア（ＺｒＯ2 ）、アルミ
ナ（Ａ１2 Ｏ3 ）、コージェライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ
2 Ｏ3 ・５ＳｉＯ2 ）、チタン酸アルミニウム（Ａ１2
Ｏ3 ・ＴｉＯ2 ）等を使用することができる。The nitride ceramics include silicon nitride (Si 3 N 4 ) and sialon (Sialo).
n), boron nitride (BN), aluminum nitride (Al
N) etc. can be used. Examples of oxide ceramics include partially stabilized zirconia (ZrO 2 ), alumina (A1 2 O 3 ), cordierite (2MgO · 2Al).
2 O 3 · 5SiO 2 ), aluminum titanate (A1 2
O 3 .TiO 2 ) can be used.

【００６６】なお、上記転動体４および上記保持器５を
構成する材料を、互いに上記とは逆に規定することもで
きる。転動体４および保持器５を構成する材料の組み合
わせを、上記の如く規定すると、転がり軸受１の回転に
伴い、上記両部品が摺動して、摩擦することにより、摺
動面およびその近傍の表面や、保持器５や転動体４等か
ら発生した摩耗粒子等が帯電し、摺動面およびその近傍
に吸着して保持される。The materials forming the rolling element 4 and the retainer 5 can be defined to be opposite to each other. When the combination of the materials forming the rolling element 4 and the retainer 5 is defined as described above, the two parts slide and rub with the rotation of the rolling bearing 1, so that the sliding surface and the vicinity thereof are Wear particles and the like generated from the surface, the cage 5, the rolling elements 4, and the like are charged, and are attracted and held on the sliding surface and the vicinity thereof.

【００６７】この結果、軸受内部で発生した摩耗粒子等
の軸受外部に飛散することを効果的に抑制することがで
きる。また、摩擦帯電により摺動面に留まる摩耗粒子等
は主に固体潤滑剤であるから、摩擦帯電により固体潤滑
剤が摺動面およびその近傍に保持されて脱落しないの
で、より長期間にわたり潤滑性を維持することができ、
それだけ軸受の寿命が長くなる。As a result, scattering of wear particles and the like generated inside the bearing to the outside of the bearing can be effectively suppressed. In addition, wear particles that remain on the sliding surface due to triboelectric charging are mainly solid lubricants, and the solid lubricant is retained on the sliding surface and its vicinity and does not fall off due to triboelectric charging, so lubricating properties can be maintained for a longer period of time. Can be maintained,
The service life of the bearing is prolonged accordingly.

【００６８】このように、軸受内部で発生した摩耗粒子
等は、摩擦帯電により摺動面およびその近傍に保持さ
れ、転がり軸受１の外部に飛散することが防止されるた
め、該軸受１外部の環境を汚染することがなく、かつ、
寿命が長くなる。ここで、従来の軸受と同様に、内輪軌
道２ａや外輪軌道３ａに固体潤滑被膜を形成してもよい
し、内輪２あるいは外輪３の一方の両端部にシールド板
６を設置することもできる。As described above, the abrasion particles and the like generated inside the bearing are held on the sliding surface and the vicinity thereof by frictional charging, and are prevented from being scattered outside the rolling bearing 1. Without polluting the environment, and
Long life. Here, similarly to the conventional bearing, a solid lubricating film may be formed on the inner raceway 2a or the outer raceway 3a, or the shield plates 6 may be provided on both ends of the inner race 2 or the outer race 3.

【００６９】［第１１の実施形態］次に、第１１の実施
形態について図面を参照しつつ説明する。なお、上記実
施形態と同様な部品等については同一の符号を付して説
明する。図１３は、本発明に係わる固体潤滑転がり軸受
の第１１の実施形態を示す要部断面図である。[Eleventh Embodiment] Next, an eleventh embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG. 13 is a sectional view of a principal part showing an eleventh embodiment of a solid lubricated rolling bearing according to the present invention.

【００７０】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１０の実施形態の軸受と同じであるが、転動体４の
表面に予め固体潤滑被膜１０が形成され、その固体潤滑
被膜１０と保持器５が、帯電列において互いに対極に位
置する物質を含有するように、構成したものである。例
えば、上記保持器５をフッ素樹脂を含有する材料で形成
した場合、上記転動体４に処理した固体潤滑被膜１０
を、帯電列においてフッ素樹脂と対極に位置する物質、
例えば、雲母、フッ素雲母、鉛、銀、金、ガラス、ナイ
ロン、窒化物系セラミックス、酸化物系セラミックス、
ポリアイミド、ポリアセタール、ポリアミドイミド等を
含有する材料で形成する。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the bearing of the tenth embodiment, except that a solid lubricating film 10 is formed on the surface of the rolling element 4 in advance, and the solid lubricating film 10 The device 5 is configured so as to contain substances located opposite to each other in the charging train. For example, when the cage 5 is formed of a material containing a fluorine resin, the solid lubricating film 10
Is a substance located opposite the fluororesin in the charging train,
For example, mica, fluorine mica, lead, silver, gold, glass, nylon, nitride ceramics, oxide ceramics,
It is formed of a material containing polyimide, polyacetal, polyamideimide and the like.

【００７１】作用・効果は、上記第１０の実施形態と同
様である。 ［第１２の実施形態］次に、第１２の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図１
４は、本発明に係わる固体潤滑転がり軸受の第１２の実
施形態を示す要部断面図である。The operation and effect are the same as those of the tenth embodiment. [Twelfth Embodiment] Next, a twelfth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 4 is a sectional view of a principal part showing a twelfth embodiment of the solid lubricated rolling bearing according to the present invention.

【００７２】この転がり軸受１は、鋼製保持器５の表面
に固体潤滑被膜１０を被着し、その固体潤滑被膜１０お
よび転動体４を、帯電列において互いに対極に位置する
物質を含有する材料で構成したものである。例えば、上
記保持器５の表面に処理した固体潤滑被膜１０をフッ素
樹脂を含有する材料で形成した場合、上記転動体４を、
帯電列においてフッ素樹脂と対極に位置する物質、例え
ば、窒化物系セラミックス、酸化物系セラミックス、雲
母、フッ素雲母、鉛、銀、金、ガラス、ナイロン、ポリ
アイミド、ポリアセタール、ポリアミドイミド等を含有
する材料で形成する。In this rolling bearing 1, a solid lubricating coating 10 is applied to the surface of a steel cage 5, and the solid lubricating coating 10 and the rolling elements 4 are made of a material containing substances which are located opposite to each other in the charging train. It consists of. For example, when the treated solid lubricating film 10 is formed on the surface of the cage 5 from a material containing a fluororesin, the rolling elements 4
Materials that are located opposite to the fluororesin in the charging line, such as materials containing nitride ceramics, oxide ceramics, mica, fluoromica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyimide, polyacetal, polyamideimide, etc. Formed.

【００７３】作用・効果は、上記第１０の実施形態と同
様である。 ［第１３の実施形態］次に、第１３の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図１
５は、本発明に係わる固体潤滑転がり軸受の第１３の実
施形態を示す要部断面図である。The operation and effect are the same as in the tenth embodiment. [Thirteenth Embodiment] Next, a thirteenth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 5 is a sectional view of a principal part showing a thirteenth embodiment of the solid lubricated rolling bearing according to the present invention.

【００７４】この転がり軸受１は、鋼製保持器５および
転動体４の各々の表面に固体潤滑被膜１０ａおよび１０
ｂが形成され、その両固体潤滑被膜１０ａおよび１０ｂ
を、帯電列において互いに対極に位置する物質を含有す
る材料で構成したものである。例えば、上記保持器５の
表面に処理した固体潤滑被膜１０ａをフッ素樹脂を含有
する材料で形成した場合、上記転動体４に処理した固体
潤滑被膜１０ｂを、帯電列においてフッ素樹脂と対極に
位置する物質、例えば、雲母、フッ素雲母、鉛、銀、
命．ガラス、ナイロン、窒化物系セラミックス、酸化物
系セラミックス、ポリアイミド、ポリアセタール、ポリ
アミドイミド等を含有する材料で形成する。The rolling bearing 1 has solid lubricating coatings 10 a and 10 a on the surfaces of the steel cage 5 and the rolling element 4.
b are formed, and both solid lubricating coatings 10a and 10b
Are made of a material containing substances that are located opposite to each other in the charging train. For example, when the solid lubricating film 10a treated on the surface of the cage 5 is formed of a material containing a fluororesin, the solid lubricating film 10b treated on the rolling element 4 is positioned opposite to the fluororesin in the charging line. Substances such as mica, fluoromica, lead, silver,
life. It is formed of a material containing glass, nylon, nitride ceramics, oxide ceramics, polyimide, polyacetal, polyamideimide and the like.

【００７５】作用・効果は、上記第１０の実施形態と同
様である。 ［第１４の実施形態］次に、第１４の実施形態について
説明する。なお、上記実施形態と同様な部品等について
は同一の符号を付して説明する。図１６は、本発明に係
わる固体潤滑転がり軸受の第１４の実施形態を示す要部
断面図である。The operation and effect are the same as in the tenth embodiment. [Fourteenth Embodiment] Next, a fourteenth embodiment will be described. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG. 16 is a sectional view of a main part of a solid lubricated rolling bearing according to a fourteenth embodiment of the present invention.

【００７６】この転がり軸受１は、上記保持器５がな
く、内輪２と外輪３との間に複数の転動体４を配する総
転動体形式の転がり軸受である。そして、任意の転動体
４ａと当該転動体４ａに摺動する転動体４ｂを、帯電列
において互いに対極に位置する物質を含有する材料で構
成したものである。図１６では、上記任意の転動体４ａ
を１個置きに配置した例を示しているが、２個以上置き
であっても良いし、等間隔でなくてもよい。This rolling bearing 1 is a rolling bearing of a total rolling element type having no retainer 5 and having a plurality of rolling elements 4 disposed between an inner ring 2 and an outer ring 3. Further, the arbitrary rolling element 4a and the rolling element 4b sliding on the rolling element 4a are made of a material containing substances located opposite to each other in the charging train. In FIG. 16, the above-mentioned arbitrary rolling element 4a
Are shown in every other unit, but two or more units may be arranged or may not be arranged at equal intervals.

【００７７】例えば、任意の転動体４ａをフッ素樹脂を
含有する材料で形成する場合には、隣り合う転動体４ｂ
は、帯電列においてフッ素樹脂と対極に位置する物質、
例えば、窒化物系セラミックス、酸化物系セラミック
ス、雲母、フッ素雲母、鉛、銀、金、ガラス、ナイロ
ン、ポリアイミド、ポリアセタール、ポリアミドイミド
等を含有する材料で形成することができる。For example, when an arbitrary rolling element 4a is formed of a material containing a fluorine resin, the adjacent rolling elements 4b
Is a substance located opposite the fluororesin in the charging train,
For example, it can be formed of a material containing a nitride ceramic, an oxide ceramic, mica, fluorine mica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyamide, polyacetal, polyamideimide, and the like.

【００７８】なお、上記転動体４ａの強度が十分でない
場合には、その直径を僅かに小さくてもよい。作用・効
果は、上記第１０の実施形態と同様である。 ［第１５の実施形態］次に、第１５の実施形態について
説明する。なお、上記実施形態と同様な部品等について
は同一の符号を付して説明する。When the strength of the rolling element 4a is not sufficient, its diameter may be slightly smaller. The operation and effect are the same as those of the tenth embodiment. [Fifteenth Embodiment] Next, a fifteenth embodiment will be described. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals.

【００７９】図１７は、本発明に係わる固体潤滑転がり
軸受の第１５の実施形態を示す要部断面図である。本実
施形態の転がり軸受の基本構成は、上記第１４の実施形
態の軸受と同じであるが、所定玉数置き（図では１個置
きであるが、２個以上置きであっても良いし、等間隔で
なくてもよい）に、転動体４ａの表面に固体潤滑被膜１
０ａを施し、その転動体４ａと摺動する互いに隣り合う
転動体４ｂと上記固体潤滑被膜１０ａとを、帯電列にお
いて互いに対極に位置する物質を含有する材料で構成し
たものである。FIG. 17 is a sectional view showing a fifteenth embodiment of the solid lubricated rolling bearing according to the present invention. The basic configuration of the rolling bearing according to the present embodiment is the same as that of the bearing according to the fourteenth embodiment. However, every predetermined number of balls (every one in the drawing, but may be two or more, The solid lubricating film 1 may be formed on the surface of the rolling element 4a.
0a, and the rolling elements 4b sliding on the rolling elements 4a and the solid lubricating film 10a are made of a material containing substances located at opposite ends of each other in the charging line.

【００８０】例えば、任意の転動体４ａの表面に施され
た固体潤滑被膜１０をフッ素樹脂を含有する材料で形成
する場合には、隣り合う転勤体４ｂを、帯電列において
フッ素樹脂と対極に位置する物質、例えば、窒化物系セ
ラミックス、酸化物系セラミックス、雲母、フッ素雲
母、鉛、銀、金、ガラス、ナイロン、ポリアイミド、ポ
リアセタール、ポリアミドイミド等を含有する材料で形
成する。For example, when the solid lubricating film 10 applied to the surface of an arbitrary rolling element 4a is formed of a material containing a fluororesin, the adjacent rolling elements 4b are positioned opposite to the fluororesin in the charging line. For example, nitride-based ceramics, oxide-based ceramics, mica, fluoromica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyamide, polyacetal, polyamideimide and the like.

【００８１】なお、上記転動体４ｂの強度が十分でない
場合には、その直径を僅かに小さくしてもよい。作用・
効果は、上記第１０の実施形態と同様である。 ［第１６の実施形態］次に、第１６の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。If the strength of the rolling element 4b is not sufficient, its diameter may be slightly reduced. Action
The effects are the same as in the tenth embodiment. [Sixteenth Embodiment] Next, a sixteenth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals.

【００８２】図１８は、本発明に係わる固体潤滑転がり
軸受の第１６の実施形態を示す要部断面図である。本実
施形態の転がり軸受の基本構成は、上記第１５の実施形
態の軸受と同じであるが、所定玉数置き（図では１個置
きであるが、２個以上置きであっても良いし、等間隔で
なくてもよい）に、転動体４ａの表面に固体潤滑被膜１
０ａを施すと共に、その転動体４ａと摺動する互いに隣
り合う転動体４ｂにも別種の固体潤滑被膜１０ｂを形成
し、両固体潤滑被膜１０ａ，１０ｂを、帯電列において
互いに対極に位置する物質を含有する材料で構成したも
のである。FIG. 18 is a sectional view showing a sixteenth embodiment of the solid lubricated rolling bearing according to the present invention. The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the bearing of the fifteenth embodiment, but every predetermined number of balls (in the drawing, every other ball, but it may be every two or more, The solid lubricating film 1 may be formed on the surface of the rolling element 4a.
0a, and a different type of solid lubricating film 10b is also formed on the rolling elements 4b adjacent to each other to slide with the rolling elements 4a. It is composed of the contained material.

【００８３】例えば、任意の転動体４ａの表面に施され
た固体潤滑被膜１０を、フッ素樹脂を含有する材料で形
成した場合、隣り合う転動体４ｂの表面に施された固体
潤滑被膜１０ｂを帯電列においてフッ素樹脂と対極とな
る物質、例えば、雲母、フッ素雲母、鉛、銀、金、ガラ
ス、ナイロン、ポリアイミド、ポリアセタール、ポリア
ミドイミド、窒化物系セラミックス、酸化物系セラミッ
クス等を含有する材料で形成する。For example, when the solid lubricating film 10 applied to the surface of an arbitrary rolling element 4a is formed of a material containing a fluorine resin, the solid lubricating film 10b applied to the surface of the adjacent rolling element 4b is charged. Formed with a material that is a counter electrode to the fluororesin in the row, for example, a material containing mica, fluoromica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyimide, polyacetal, polyamideimide, nitride ceramics, oxide ceramics, etc. I do.

【００８４】作用・効果は、上記第１０の実施形態と同
様である。 ［第１７の実施形態］次に、第１７の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図１
９は、本発明に係わる固体潤滑転がり軸受の第１７の実
施形態を示す要部断面図である。The operation and effect are the same as in the tenth embodiment. [Seventeenth Embodiment] Next, a seventeenth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 9 is a sectional view of a principal part showing a seventeenth embodiment of the solid lubricated rolling bearing according to the present invention.

【００８５】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１５の実施形態の軸受と同じであるが、所定玉数置
き（図では３個置きであるが、４個以上置きであっても
良いし、等間隔でなくてもよい）に、任意の転動体４ａ
の表面に固体潤滑被膜１０ａを施すと共に、その転動体
４ａと摺動する互いに隣り合う２個の転動体４の一方の
転動体４ｂにも別種の固体潤滑被膜１０ｂを形成したも
のであり、上記任意の転動体４ａの表面に施された固体
潤滑被膜１０ａおよびこれと摺動する互いに隣り合う転
動体４ｂの表面に施された固体潤滑被膜１０ｂが、帯電
列において互いに対極に位置する物質を含有する材料で
構成され、さらに、転動体４ｂからみて転動体４ａとは
反対の位置に、固体潤滑被膜１０ａと同等の材料から構
成される転動体４ｃを配置し、該転動体４ｃは両側とも
固体潤滑被膜１０ｂを形成した転動体４ｂと接触するよ
うに配置することにより、構成したものである。The basic configuration of the rolling bearing according to the present embodiment is the same as that of the bearing according to the fifteenth embodiment, except that every predetermined number of balls (every three in the figure, but every four or more). Good and not necessarily at equal intervals), any rolling element 4a
A solid lubricating coating 10a of another kind is formed on one rolling element 4b of two rolling elements 4 adjacent to each other, which slides with the rolling element 4a. The solid lubricating coating 10a applied to the surface of the arbitrary rolling element 4a and the solid lubricating coating 10b applied to the surface of the adjacent rolling element 4b sliding on the rolling element 4a contain substances which are located opposite to each other in the charging train. In addition, a rolling element 4c composed of a material equivalent to the solid lubricating film 10a is disposed at a position opposite to the rolling element 4a when viewed from the rolling element 4b, and the rolling element 4c is solid on both sides. It is configured by arranging it so as to be in contact with the rolling element 4b on which the lubricating film 10b is formed.

【００８６】例えば、任意の転動体４ａの表面に施され
た固体潤滑被膜１０ａをフッ素樹脂を含有する材料で形
成した場合、隣り合う転動体４ｂの表面に施された固体
潤滑被膜１０ｂを帯電列においてフッ素樹脂と対極とな
る物質、例えば、窒化物系セラミックス、酸化物系セラ
ミックス、雲母、フッ素雲母、鉛、銀、金、ガラス、ナ
イロン、ポリアイミド、ポリアセタール、ポリアミドィ
イド等を含有する材料で形成する。更に、転動体４ｃ
は、固体潤滑被膜１０ａと同等であるフッ素樹脂を含有
する材料で形成する。For example, when the solid lubricating film 10a applied to the surface of an arbitrary rolling element 4a is formed of a material containing a fluororesin, the solid lubricating film 10b applied to the surface of the adjacent rolling element 4b is charged in a charged line. Formed with a material containing a fluororesin and a counter electrode, for example, nitride ceramics, oxide ceramics, mica, fluorine mica, lead, silver, gold, glass, nylon, polyamide, polyacetal, polyamideide, etc. I do. Further, the rolling element 4c
Is formed of a material containing a fluororesin which is equivalent to that of the solid lubricating film 10a.

【００８７】なお、上記転動体４ｃの強度が十分でない
場合には、その直径を僅かに小さくすることもできる。
作用・効果は、上記第１０の実施形態と同様である。こ
こで、上記１０〜１７の実施形態に示されるような静電
気作用を利用しパーティクル捕捉手段と併せて、上記第
１〜７の実施形態に示されるような磁気作用を利用した
パーティクル捕捉手段、及び、第８、９の実施形態に示
されるような物理吸着（微小凹凸）を利用したパーティ
クル捕捉手段を任意に組み合わせることで、さらに、軸
受内部で発生したパーティクルは、軸受内部に捕獲保持
され、転がり軸受１の外部に飛散することが防止される
ため、該軸受１外部の環境をさらに汚染することがな
く、かつ、寿命が長くなる。When the strength of the rolling element 4c is not sufficient, the diameter can be slightly reduced.
The operation and effect are the same as those of the tenth embodiment. Here, in combination with the particle capturing means utilizing the electrostatic action as shown in the above-described 10 to 17 embodiments, the particle capturing means utilizing the magnetic action as shown in the above-described first to seventh embodiments, and By arbitrarily combining the particle capturing means utilizing physical adsorption (fine irregularities) as shown in the eighth and ninth embodiments, the particles generated inside the bearing are further captured and held inside the bearing and rolled. Since scattering to the outside of the bearing 1 is prevented, the environment outside the bearing 1 is not further polluted, and the life is extended.

【００８８】［第１８の実施形態］次に、第１８の実施
形態について図面を参照しつつ説明する。なお、上記実
施形態と同様な部品等については同一の符号を付して説
明する。図２１は、本発明に係わる転がり軸受の第１８
の実施形態を示す要部断面図である。[Eighteenth Embodiment] Next, an eighteenth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG. 21 shows an eighteenth embodiment of the rolling bearing according to the present invention.
It is principal part sectional drawing which shows embodiment.

【００８９】本実施形態の転がり軸受は、図２ｌに示す
ように、内輪２と外輪３との間に複数の転動体４を配す
ると共に、保持器５により転動体４を円周方向に沿って
等間隔に保持することで構成される。ただし、本実施形
態にあっては、軸方向両側にそれぞれ配置される各シー
ルド板６が、それぞれ第１シールド板６Ａ及び第２シー
ルド板６Ｂの組から構成されている。In the rolling bearing of this embodiment, as shown in FIG. 21, a plurality of rolling elements 4 are arranged between the inner ring 2 and the outer ring 3, and the rolling elements 4 are moved along the circumferential direction by the retainer 5. It is constituted by holding at equal intervals. However, in the present embodiment, each shield plate 6 arranged on both sides in the axial direction is formed of a set of a first shield plate 6A and a second shield plate 6B.

【００９０】第１シールド板６Ａは、内輪２の外径と外
輪３の内径との径差よりも小さい幅の環状の板状部材で
あって、内径側端部が内輪２に固定されて外輪３に向け
て延在している。また、第２シールド板６Ｂは、内輪２
の外径と外輪３の内径との径差よりも小さい幅の環状の
板状部材であって、外径側端部が外輪３に固定されて内
輪２に向けて延在している。その組を構成する第１シー
ルド板６Ａと第２シールド板６Ｂとの先端部同士は、所
定隙間を保持して非接触状態に軸方向で対向することに
よりラビリンスシールを構成する。The first shield plate 6A is an annular plate-like member having a width smaller than the diameter difference between the outer diameter of the inner ring 2 and the inner diameter of the outer ring 3, and the inner ring-side end is fixed to the inner ring 2 and the outer ring 3. In addition, the second shield plate 6B is
An annular plate-shaped member having a width smaller than the diameter difference between the outer diameter of the outer ring and the inner diameter of the outer ring 3, the outer diameter side end portion of which is fixed to the outer ring 3 and extends toward the inner ring 2. The end portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B constituting the set form a labyrinth seal by being opposed to each other in a non-contact state in the axial direction while maintaining a predetermined gap.

【００９１】上記構成により、軸受内部で発生した摩耗
粒子等のパーティクルは、ラビリンス効果により捕獲さ
れて軸受１の内部空間に保持されるために、軸受１の外
部に飛散することが防止される。この結果、軸受１外部
の環境を汚染することがない。特に、パーティクルが溜
まりやすい内輪２外径面及び外輪３内径面における軸方
向両端部にラビリンスシール用の間隙を形成する必要が
ないので、より有効にパーティクルの軸受外部への飛散
が防止される。With the above configuration, particles such as abrasion particles generated inside the bearing are trapped by the labyrinth effect and held in the internal space of the bearing 1, so that they are prevented from scattering outside the bearing 1. As a result, the environment outside the bearing 1 is not polluted. In particular, since there is no need to form a gap for labyrinth sealing at both axial ends of the outer diameter surface of the inner ring 2 and the inner diameter surface of the outer ring 3 where particles easily accumulate, scattering of the particles to the outside of the bearing is more effectively prevented.

【００９２】ここで、外輪３が回転する構成の場合に
は、第２シールド板６Ｂの外径側端部と外輪３とのはめ
あい面に、ゴム等の弾性体を挟んだり、接着剤等を充填
する等して、はめあい面間の隙間をなくすと、軸受内部
で発生した摩耗粒子等が軸受外部に飛散することを更に
効果的に防止する。また、図２１においては、第１及び
第２シールド板６Ａ及び６Ｂの先端部同士が、内輪２と
外輪３との間の径方向略中間点で対向配置させることで
ラビリンスシールを構成しているが、上記対向する位置
は、径方向略中間点に限定されず内輪２と外輪３の間の
径方向途中位置であるならば任意である。Here, when the outer ring 3 is configured to rotate, an elastic body such as rubber is sandwiched between the outer diameter side end of the second shield plate 6B and the outer ring 3, or an adhesive or the like is applied. If the gap between the fitting surfaces is eliminated by filling or the like, wear particles and the like generated inside the bearing are more effectively prevented from scattering outside the bearing. In FIG. 21, the labyrinth seal is formed by disposing the tip portions of the first and second shield plates 6A and 6B to face each other at a substantially intermediate point in the radial direction between the inner ring 2 and the outer ring 3. However, the opposing position is not limited to a substantially intermediate point in the radial direction, and is arbitrary as long as it is a radially intermediate position between the inner ring 2 and the outer ring 3.

【００９３】また、従来の軸受と同様に、内輪２の外周
面（軌道面）や外輪３の内周面（軌道面）、転動体４の
表面（転動面）に固体潤滑被膜を形成してもよいし、保
持器５に自己潤滑性複合材料を用いてもよい。また、潤
滑剤としてグリースを用いることもできる。また、保持
器５は無くても良い。また、図２１では、第２シールド
板６Ｂが第１シールド板６Ａよりも軸方向外方に配置し
た例を図示しているが、第１シールド板６Ａの方が相対
的に軸方向外方に配置されるように構成しても同様な作
用・効果を発揮する。Further, similarly to the conventional bearing, a solid lubricating film is formed on the outer peripheral surface (track surface) of the inner ring 2, the inner peripheral surface (track surface) of the outer ring 3, and the surface (rolling surface) of the rolling element 4. Alternatively, the cage 5 may be made of a self-lubricating composite material. Grease can also be used as a lubricant. Further, the retainer 5 may not be provided. FIG. 21 illustrates an example in which the second shield plate 6B is disposed axially outward from the first shield plate 6A, but the first shield plate 6A is relatively axially outward. Even if it is configured to be arranged, the same operation and effect are exhibited.

【００９４】また、適宜、上記第１実施形態〜第１７実
施形態で説明したパーティクル捕獲手段を併用して、パ
ーティクルの軸受外部への飛散を更に防止するようにし
ても良い。以下の実施形態であっても同様である。 ［第１９の実施形態］次に、第１９の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。Further, the particles may be further prevented from being scattered outside the bearing by appropriately using the particle capturing means described in the first to seventeenth embodiments. The same applies to the following embodiments. [Nineteenth Embodiment] Next, a nineteenth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals.

【００９５】図２２は、本実施形態に係わる転がり軸受
の第１９の実施形態を示す要部断面図である。本実施形
態の転がり軸受の基本構成は、上記第１８の実施形態の
転がり軸受と同様であるが、第１シールド板６Ａ及び第
２シールド板６Ｂの先端部が、所定隙間を保持しつつ、
共に内側に１回折れ曲がりＬ字型になっている。FIG. 22 is a sectional view showing a nineteenth embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment. The basic configuration of the rolling bearing according to the present embodiment is the same as that of the rolling bearing according to the eighteenth embodiment, except that the distal ends of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B maintain a predetermined gap.
Both are bent inward by one turn and are L-shaped.

【００９６】すなわち、本実施形態の第１シールド板６
Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部は、軸方向で非接触
に対向する部分と径方向で非接触に対向する部分を持っ
てラビリンスシールが形成されている。これにより、軸
受内部で発生した摩耗粒子等がラビリンス効果により捕
獲され、摩耗粒子等の軸受外部への飛散を防止する。特
に、第１シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端
部に、径方向で非接触に対向する部分を有する点で、上
記第１８の実施形態に比べてパーティクルを捕獲して保
持する能力が向上している。That is, the first shield plate 6 of the present embodiment
A labyrinth seal is formed at the distal end portions of A and the second shield plate 6B so as to have a portion facing non-contact in the axial direction and a portion facing non-contact in the radial direction. As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented. In particular, compared to the eighteenth embodiment, the first shield plate 6A and the second shield plate 6B have the ability to capture and hold particles compared to the eighteenth embodiment in that the distal end portions have radially non-contact portions. Has improved.

【００９７】他の構造や、作用・効果は、上記第１８の
実施形態と同様である。 ［第２０の実施形態］次に、第２０の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図２
３は、本実施形態に係わる転がり軸受の第２０の実施形
態を示す要部断面図である。The other structures, functions and effects are the same as those of the eighteenth embodiment. Twentieth Embodiment Next, a twentieth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 3 is a sectional view of a principal part showing a twentieth embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment.

【００９８】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１８の実施形態の転がり軸受と同様であるが、第１
シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部が、共
に、内側に１回と外側に１回の計２回折れ曲がり、これ
らが非接触に一定の隙間を保持して対向することによ
り、ラビリンスシールが形成される。これにより、輪受
内部で発生した摩耗粒子等がラビリンス効果により捕獲
され、摩耗粒子等の軸受外部への飛散を防止する。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the rolling bearing of the eighteenth embodiment.
Both ends of the shield plate 6A and the second shield plate 6B bend twice, once inward and once outward, so that they face each other in a non-contact manner while maintaining a certain gap, thereby forming a labyrinth seal. Is formed. As a result, wear particles and the like generated inside the wheel bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented.

【００９９】他の構造や、作用・効果は、上記実施形態
と同様である。 ［第２１の実施形態］次に、第２１の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図２
４は、本実施形態に係わる転がり軸受の第２１の実施形
態を示す要部断面図である。The other structures, functions and effects are the same as those of the above embodiment. [Twenty-First Embodiment] Next, a twenty-first embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 4 is a sectional view of a principal part showing a twenty-first embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment.

【０１００】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１８の実施形態の転がり軸受と同様であるが、第１
シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部が、共
に、内側に１回と外側に２回の計３回折れ曲がり、これ
らが非接触に一定の隙間を保持して対向することによ
り、ラビリンスシールが形成される。これにより、軸受
内部で発生した摩耗粒子等がラビリンス効果により捕獲
され、摩耗粒子等の軸受外部への飛散を防止する。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the rolling bearing of the eighteenth embodiment.
Both ends of the shield plate 6A and the second shield plate 6B bend three times, once inward and twice outward, so that they face each other in a non-contact manner while maintaining a certain gap, thereby forming a labyrinth seal. Is formed. As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented.

【０１０１】他の構造や、作用・効果は、上記実施形態
と同様である。 ［第２２の実施形態］次に、第２２の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図２
５は、本実施形態に係わる転がり軸受の第２２の実施形
態を示す要部断面図である。The other structures, functions and effects are the same as those of the above embodiment. [Twenty-second embodiment] Next, a twenty-second embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 5 is a sectional view of a principal part showing a twenty-second embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment.

【０１０２】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１８の実施形態の転がり軸受と同様であるが、第１
シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部が、共
に、内側に１回と外側に２回と内側に１回の計４回折れ
曲がり、これらが非接触に隙間を保持して対向すること
によりラビリンスシールが形成される。これにより、軸
受内部で発生した摩耗粒子等がラビリンス効果により捕
獲され、摩耗粒子の軸受外部への飛散を防止する。The basic configuration of the rolling bearing of this embodiment is the same as that of the rolling bearing of the eighteenth embodiment.
The distal ends of the shield plate 6A and the second shield plate 6B are both bent once inward, twice outward, and once inward, a total of four times, and these are opposed to each other while holding a gap in a non-contact manner. A labyrinth seal is formed. As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles to the outside of the bearing is prevented.

【０１０３】他の構造や、作用・効果は、上記実施形態
と同様である。 ［第２３の実施形態］次に、第２３の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。図２
６は、本実施形態に係わる転がり軸受の第２３の実施形
態を示す要部断面図である。The other structures, functions and effects are the same as those of the above embodiment. [Twenty-third Embodiment] Next, a twenty-third embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG.
FIG. 6 is a sectional view of a principal part showing a twenty-third embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment.

【０１０４】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１８の実施形態の転がり軸受と同様であるが、第１
シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部の形状
が異なる。すなわち、第２シールド板６Ｂの先端は、内
側に２回折れ曲がって断面略コ字状に形成され、これと
非接触に一定の隙間を保持して対向する第１シールド板
６Ａの先端が内側に１回と外側に１回の計２回折れ曲が
ることにより、ラビリンスシールを形成する。The basic configuration of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the rolling bearing of the eighteenth embodiment.
The shapes of the tip portions of the shield plate 6A and the second shield plate 6B are different. In other words, the tip of the second shield plate 6B is bent twice inward and formed in a substantially U-shaped cross section, and the tip of the first shield plate 6A facing the other is held in a non-contact manner while maintaining a certain gap. The labyrinth seal is formed by bending once and outward twice in total.

【０１０５】これにより、軸受内部で発生した摩耗粒子
等がラビリンス効果により捕獲され、摩耗粒子等の軸受
外部への飛散を防止する。なお、第１シールド板６Ａ及
び第２シールド板６Ｂの先端部の形状を、逆の組み合わ
せにしてもよい。他の構造や、作用・効果は、上記実施
形態と同様である。As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented. In addition, the shapes of the tip portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B may be reversed. Other structures, operations, and effects are the same as those in the above embodiment.

【０１０６】［第２４の実施形態］次に、第２４の実施
形態について図面を参照しつつ説明する。なお、上記実
施形態と同様な部品等については同一の符号を付して説
明する。図２７は、本実施形態に係わる転がり軸受の第
２４の実施形態を示す要部断面図である。Twenty-fourth Embodiment Next, a twenty-fourth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals. FIG. 27 is a cross-sectional view of a principal part showing a twenty-fourth embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment.

【０１０７】本実施形態の転がり軸受の基本構成は、上
記第１８の実施形態の転がり軸受と同様であるが、第１
シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部の形状
が異なる。すなわち、第２シールド板６Ｂの先端部は内
側に３回折れ曲がり、これと非接触に―定の隙間を保持
して対向する第１シールド板６Ａの先端部は、内側に１
回と外側に２回の計３回折れ曲がることにより、ラビリ
ンスシールを形成する。The basic structure of the rolling bearing of the present embodiment is the same as that of the rolling bearing of the eighteenth embodiment.
The shapes of the tip portions of the shield plate 6A and the second shield plate 6B are different. That is, the distal end of the second shield plate 6B is bent three times inward, and the distal end of the first shield plate 6A, which is opposed to the first shield plate 6A in a non-contact manner while maintaining a certain gap, is inwardly bent by one.
The labyrinth seal is formed by bending three times outward and outward twice in total.

【０１０８】これにより、軸受内部で発生した摩耗粒子
等がラビリンス効果により捕獲され、摩耗粒子等の軸受
外部への飛散を防止する。なお、第１シールド板６Ａ及
び第２シールド板６Ｂの先端部の形状を、逆の組み合わ
せにしてもよい。他の構造や、作用・効果は、上記実施
形態と同様である。 ［第２５の実施形態］次に、第２５の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。なお、上記実施形態と同様
な部品等については同一の符号を付して説明する。Thus, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented. In addition, the shapes of the tip portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B may be reversed. Other structures, operations, and effects are the same as those in the above embodiment. [Twenty-fifth Embodiment] Next, a twenty-fifth embodiment will be described with reference to the drawings. Note that parts and the like that are the same as those in the above embodiment will be described with the same reference numerals.

【０１０９】図２８は、本実施形態に係わる転がり軸受
の第２５の実施形態を示す要部断面図である。本実施形
態の転がり軸受の基本構成は、上記第１８の実施形態の
転がり軸受と同様であるが、第１シールド板６Ａ及び第
２シールド板６Ｂの先端部の形状が異なる。すなわち、
第２シールド板６Ｂの先端部は、内側に１回と外側に２
回と内側に２回の計５回折れ曲がり、これと非接触に一
定の隙間を保持して対向する第１シールド板６Ａの先端
部が、内側に１回と外側に１回の計２回折れ曲がること
により、ラビリンスシールを形成する。これにより、軸
受内部で発生した摩耗粒子等がラビリンス効果により捕
獲され、摩耗粒子等の軸受外部への飛散を防止する。な
お、第１シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端
部の形状を、逆の組み合わせにしてもよい。FIG. 28 is a sectional view of a principal part showing a twenty-fifth embodiment of the rolling bearing according to the present embodiment. The basic configuration of the rolling bearing according to the present embodiment is the same as that of the rolling bearing according to the eighteenth embodiment, except that the shapes of the distal end portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B are different. That is,
The tip of the second shield plate 6B is once inside and two outside.
The first shield plate 6A is bent twice inward and inward twice, and the front end portion of the first shield plate 6A opposed to the non-contacted first shield plate 6A is bent twice inward and outward once. Thereby, a labyrinth seal is formed. As a result, wear particles and the like generated inside the bearing are captured by the labyrinth effect, and scattering of the wear particles and the like to the outside of the bearing is prevented. In addition, the shapes of the tip portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B may be reversed.

【０１１０】他の構造や、作用・効果は、上記実施形態
と同様である。ここで、軸方向両側に配置されるシール
ド板６は、同一のラビリンス構成となっている必要はな
く、第１８〜２５の実施形態で示した第１シールド板６
Ａ及び第２シールド板６Ｂの先端部で形成されるラビリ
ンス構成を適宜組み合わせて使用しても良い。The other structures, functions and effects are the same as those of the above embodiment. Here, the shield plates 6 arranged on both sides in the axial direction do not need to have the same labyrinth configuration, and the first shield plate 6 shown in the eighteenth to twenty-fifth embodiments is not required.
A and a labyrinth configuration formed at the distal end of the second shield plate 6B may be used in appropriate combination.

【０１１１】また、第１シールド板６Ａ及び第２シール
ド板６Ｂの先端部で形成されるラビリンス構成も上記実
施形態の各構成に限定されるものではない。要は、組を
構成する第１シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂの
先端部が少なくとも軸方向で非接触状態で対向する部分
を持たせてラビリンスシールが構成されていればよい。Further, the labyrinth structure formed by the distal end portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B is not limited to each of the above embodiments. In short, it is sufficient that the labyrinth seal is configured so that the distal end portions of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B constituting the set have at least parts that face each other in the non-contact state in the axial direction.

【０１１２】また、上記実施形態では、組を構成する第
１シールド板６Ａ及び第２シールド板６Ｂがそれぞれ１
枚ずつの場合を例に説明したが、第１シールド板６Ａ及
び第２シールド板６Ｂが２枚以上ずつあっても良い。例
えば、第１シールド板６Ａを２枚、軸方向に所定間隔を
開けて配列させ、軸方向における当該２枚の第１シール
ド板６の間に第２シールド板６Ｂを配置するようにして
ラビリンスシールを構成しても良い。In the above embodiment, each of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B constituting the set has one
Although the case of each sheet has been described as an example, two or more first shield plates 6A and second shield plates 6B may be provided. For example, a labyrinth seal is formed by arranging two first shield plates 6A at predetermined intervals in the axial direction and disposing a second shield plate 6B between the two first shield plates 6 in the axial direction. May be configured.

【０１１３】[0113]

【実施例】まず、以下の実施例で使用される軸受発塵試
験装置を使用した試験方法について、説明する。図２０
は、その軸受発塵試験装置の概略図である。試験軸受１
１は、２個を対としてハウジング１２内に装着され、上
記試験軸受１１にはコイルスプリング１３によりアキシ
アル荷重が負荷される。そして、上記試験軸受１１は、
モータ１４により、ベルト１５、プーリ１６、磁性流体
シール付き回転導入機１７を介して、回転される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a test method using a bearing dust tester used in the following embodiments will be described. FIG.
1 is a schematic view of a bearing dust test apparatus. Test bearing 1
1 is mounted in a housing 12 in pairs, and an axial load is applied to the test bearing 11 by a coil spring 13. And the test bearing 11 is
It is rotated by a motor 14 via a belt 15, a pulley 16, and a rotation introducing device 17 with a magnetic fluid seal.

【０１１４】この軸受発塵試験装置２０は、クラス１０
０レベルのクリーンベンチ内に設置されている。そし
て、軸受の回転に伴い、上記試験軸受１５から外部に飛
散した塵埃は、ホッパに落ち、続いてレーザー光散乱式
のパーティクルカウンタ１９に送られて、塵埃粒子の数
が計測される。また、下記の各実施例における試験条件
は、次の通りである。 ・試験軸受 ：型番６０８玉軸受（内輪：８mm、外
輪：２２mm、幅７mm） ・雰囲気 ：大気、常温 ・アキシアル荷重：１９．６Ｎ ・回転達度 ：１０００ｒｐｍ（但し、第３の実施
例では６００ｒｐｍ） ［第１の実施例］まず、第１の実施例について説明す
る。本実施例は、上記第１〜７の実施形態に対応する本
願発明に基づく転がり軸受についてのパーティクルの飛
散防止効果を確認するものである。The bearing dust test apparatus 20 is of class 10
It is installed in a 0 level clean bench. The dust scattered outside from the test bearing 15 with the rotation of the bearing falls to the hopper, and is then sent to a laser light scattering type particle counter 19, where the number of dust particles is measured. The test conditions in each of the following examples are as follows. -Test bearing: Model No. 608 ball bearing (Inner ring: 8 mm, outer ring: 22 mm, width 7 mm)-Atmosphere: Atmosphere, normal temperature-Axial load: 19.6 N-Degree of rotation: 1000 rpm (However, 600 rpm in the third embodiment) [First Embodiment] First, a first embodiment will be described. The present example confirms the effect of preventing the particles from scattering about the rolling bearing according to the present invention corresponding to the first to seventh embodiments.

【０１１５】第１の実施例は、本願発明に基づく実施例
１〜１２の転がり軸受及び、比較例１〜２の転がり軸受
について、表１に示すように設定して、上記軸受発塵試
験装置を使用した試験を行ったものである。即ち、上記
各転がり軸受１を、内輪２、外輪３、転動体４及び保持
器５を共通とし、上記シールド板６の軸受内部側面に、
或いは、上記シールド板６の先端と所定隙間を有して非
接触に対向する上記内輪２の面や肩部表面に、或いは、
上記内輪２と対向する上記保持器５の面に対して、上記
磁性流体７を表面に付着させた上記永久磁石８を配置し
ているか否か、及び、該永久磁石８の表面に上記溝９を
有するか否かを、表１に示す如く変えて製作して、上記
発塵試験を行ったものである。In the first embodiment, the rolling bearings of Examples 1 to 12 and the rolling bearings of Comparative Examples 1 and 2 based on the present invention were set as shown in Table 1, and the above-mentioned bearing dust test apparatus was used. The test was performed using That is, the above-mentioned rolling bearings 1 share the inner ring 2, the outer ring 3, the rolling elements 4 and the retainer 5, and are provided on the bearing inner side surface of the shield plate 6.
Alternatively, on the surface of the inner ring 2 or the surface of the shoulder portion, which faces the tip of the shield plate 6 in a non-contact manner with a predetermined gap, or
Whether or not the permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface thereof is arranged on the surface of the retainer 5 facing the inner ring 2, and whether the groove 9 is formed on the surface of the permanent magnet 8. Was manufactured as shown in Table 1 and subjected to the above dust generation test.

【０１１６】ここで、比較例１、２は、従来の非接触型
のＳＵＳ３０４製シールド板を有する転がり軸受であ
る。また、実施例１〜３、７〜９は、内輪２及び外輪３
が非磁性ステンレス鋼であるＹＨＤ５０で、転動体がＳ
ｉ3 Ｎ4 の軸受である。実施例４〜６、１０〜ｌ２及び
比較例１〜２は、内輪２、外輪３及び転動体がＳＵＳ４
４０Ｃであり、実施例５は内輪２の外周面及び外輪３の
内周面にバインダーにより結合したフッ素樹脂の焼成膜
（膜厚３μｍ）を形成した軸受である。Here, Comparative Examples 1 and 2 are rolling bearings having a conventional non-contact type SUS304 shield plate. Examples 1 to 3 and 7 to 9 correspond to the inner ring 2 and the outer ring 3.
Is YHD50 made of non-magnetic stainless steel, and the rolling element is S
i 3 N 4 bearing. In Examples 4 to 6, 10 to 12 and Comparative Examples 1 and 2, the inner ring 2, the outer ring 3, and the rolling elements were SUS4.
Example 5 is a bearing in which a fired film (thickness: 3 μm) of a fluororesin bonded by a binder is formed on the outer peripheral surface of the inner ring 2 and the inner peripheral surface of the outer ring 3.

【０１１７】実施例１〜３、８、９では、シールド板６
の軸受内部側面に磁性流体７を表面に付着させた永久磁
石８を配置した。実施例１〜３は、図１に示される本発
明の第１実施形態に相当し、実施例８及び９は、図２に
示される本発明の第２実施形態に相当する。実施例４、
５、及び１０では、内輪２のシールド板６先端と対向す
る面に磁性流体７を表面に付着させた永久磁石８を配置
した、実施例４、５、及び１０は、図４に示される本発
明の第３実施形態に相当する。In Examples 1 to 3, 8, and 9, the shield plate 6
A permanent magnet 8 having a magnetic fluid 7 adhered to the surface was disposed on the inner side surface of the bearing. Examples 1 to 3 correspond to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, and Examples 8 and 9 correspond to the second embodiment of the present invention shown in FIG. Example 4,
In Examples 5, 5, and 10, a permanent magnet 8 having a magnetic fluid 7 adhered to the surface of the inner ring 2 facing the tip of the shield plate 6 was disposed. Examples 4, 5, and 10 show the book shown in FIG. This corresponds to a third embodiment of the invention.

【０１１８】実施例６及び１１では、保持器５と対向す
る内輪２の肩部に磁性流体７を表面に付着させた永久磁
石８を配置した。実施例６及び１１は、図７に示される
本発明の第６実施形態に相当する。実施例１２では、内
輪２と対向する保持器５の面に磁性流体７を表面に付着
させた永久磁石８を配置した。実施例７、１２は、図８
に示される本発明の第７実施形態に相当する。In Examples 6 and 11, the permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface thereof was disposed on the shoulder of the inner ring 2 facing the retainer 5. Examples 6 and 11 correspond to the sixth embodiment of the present invention shown in FIG. In Example 12, the permanent magnet 8 having the magnetic fluid 7 adhered to the surface of the retainer 5 facing the inner ring 2 was arranged. Embodiments 7 and 12 are shown in FIG.
Corresponds to the seventh embodiment of the present invention.

【０１１９】実施例８〜１２では、永久磁石８の表面に
溝９を設けた。実施例２、９及び比較例２ではフッ素グ
リース（ダイキン工業社製デムナムＬ２００）を転がり
軸受１の内部に０．１ｇ封入した。なお、実施例１〜１
２におけるシールド板６の材質はＳＵＳ３０４である。
保持器は、上記実施例及び比較例のいずれの場合におい
ても、テトラフルオロエチレン〜エチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）とチタン酸カリウム繊維からなる複合材を射出
成形により作成した冠型保持器を用いた。In Examples 8 to 12, the grooves 9 were provided on the surface of the permanent magnet 8. In Examples 2 and 9 and Comparative Example 2, 0.1 g of fluorine grease (Demnum L200 manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was sealed in the rolling bearing 1. Examples 1 to 1
The material of the shield plate 6 in SUS304 is SUS304.
In each of the above Examples and Comparative Examples, the cage was made of a tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (E
A crown type retainer prepared by injection molding a composite material comprising TFE) and potassium titanate fiber was used.

【０１２０】[0120]

【表１】 [Table 1]

【０１２１】上記試験結果による発塵量も、表１中に併
記する。上記試験結果から分かるように、、少なくと
も、上記シールド板６の軸受内部側面、或いは、上記シ
ールド板の先端と対向する上記内輪２の表面や肩部表
面、或いは上記保持器の上記内輪２と対向する表面に、
磁性流体を表面に付着させた永久磁石を有する場合（実
施例１〜１２）には、従来の非接触シールド型転がり軸
受（比較例１、２）と比較して、発塵量が大幅に少ない
ことがわかる。The amount of dust generated according to the above test results is also shown in Table 1. As can be seen from the test results, at least the inner surface of the bearing of the shield plate 6, the surface of the inner ring 2 facing the tip of the shield plate or the surface of the shoulder, or the inner ring 2 of the cage is opposed to the inner ring 2. On the surface
When a permanent magnet having a magnetic fluid adhered to the surface is provided (Examples 1 to 12), the amount of dust generation is significantly smaller than that of a conventional non-contact shielded rolling bearing (Comparative Examples 1 and 2). You can see that.

【０１２２】このように、内輪２、外輪３及びシールド
板６で囲まれる上記転がり軸受１の内部空間にある上記
内輪２、外輪３、保持器５及びシールド板６の少なくと
も一つの面に、磁性流体７を表面に付着した永久磁石８
を配置し、かつ、上記永久磁石８と非接触に対向する面
を非磁性体で構成すると、軸受内部で発生した摩耗粒子
が磁界及び磁性流体により捕獲され、軸受内部に保持さ
れるので、軸受外部の環境を汚染することがなく、清浄
な雰囲気を必要とする環境下等で好適に使用することが
できる。As described above, at least one surface of the inner ring 2, the outer ring 3, the retainer 5, and the shield plate 6 in the inner space of the rolling bearing 1 surrounded by the inner ring 2, the outer ring 3, and the shield plate 6 has a magnetic property. Permanent magnet 8 with fluid 7 attached to its surface
When the surface facing the permanent magnet 8 is made of a non-magnetic material, wear particles generated inside the bearing are captured by the magnetic field and the magnetic fluid and held inside the bearing. It can be suitably used in an environment that requires a clean atmosphere without polluting the external environment.

【０１２３】［第２の実施例］次に、第２の実施例につ
いて説明する。本実施例は、上記第８、９の実施形態
（図９）に対応する本願発明に基づく転がり軸受でのパ
ーティクルの飛散防止効果を確認するものである。第２
の実施例は、本願発明に基づく実施例１〜１３の転がり
軸受及び、比較例１〜３の転がり軸受について、表２に
示すように設定して、上記軸受発塵試験装置２０を使用
した試験を行ったものである。[Second Embodiment] Next, a second embodiment will be described. The present example confirms the effect of preventing the particles from scattering in the rolling bearing according to the present invention corresponding to the eighth and ninth embodiments (FIG. 9). Second
In the example, the rolling bearings of Examples 1 to 13 based on the present invention and the rolling bearings of Comparative Examples 1 to 3 were set as shown in Table 2 and a test using the bearing dust test apparatus 20 was performed. It was done.

【０１２４】すなわち、上記各転がり軸受１を、内輪
２、外輪３、転動体４及びシールド板６を共通とし、上
記シールド板６の軸受内部側の面、あるいは、上記内輪
２及び外輪３の軌道面以外の表面について、表２に示す
ように微小凹凸の有無を設定して個々に製作し、上記発
塵試験を行ったものである。微小凹凸は、ショットピー
ニングにより形成した。That is, each of the rolling bearings 1 shares the inner ring 2, the outer ring 3, the rolling elements 4 and the shield plate 6, and the surface of the shield plate 6 on the bearing inner side, or the track of the inner ring 2 and the outer ring 3 For the surfaces other than the surface, the presence / absence of fine irregularities was set as shown in Table 2, and each was manufactured and subjected to the above dust generation test. The minute unevenness was formed by shot peening.

【０１２５】ここで、内輪２、外輪３及び転動体４はＳ
ＵＳ４４０Ｃ製、シールド板６はＳＵＳ３０４製であ
る。また、実施例１〜３、７、９、１１〜１３では、シ
ールド板６の軸受内部側面に微小凹凸を形成した。実施
例４では内輪２の軌道面以外の表面に微小凹凸を形成
し、実施例５では外輪３の軌道面以外の表面に微小凹凸
を形成した。実施例６、８、１０では、シールド板６の
軸受内部側面、内輪２及び外輪３の軌道面以外の表面に
微小凹凸を形成した。Here, the inner race 2, the outer race 3, and the rolling elements 4 are S
The shield plate 6 is made of SUS304 made of US440C. In Examples 1 to 3, 7, 9, and 11 to 13, minute irregularities were formed on the inner surface of the shield plate 6 inside the bearing. In Example 4, minute irregularities were formed on the surface of the inner race 2 other than the raceway surface, and in Example 5, minute irregularities were formed on the surface of the outer race 3 other than the raceway surface. In Examples 6, 8, and 10, minute irregularities were formed on surfaces other than the bearing inner side surface of the shield plate 6 and the raceway surfaces of the inner ring 2 and the outer ring 3.

【０１２６】実施例１、３〜１０及び比較例１〜３で
は、テトラフルオロエチレン〜エチレン共重合体（ＥＴ
ＦＥ）とチタン酸カリウム繊維からなる複合材を射出成
形により作成した冠型保持器を用いた。実施例７〜１０
及び比較例３では、内輪２、外輪３、転動体の表面にフ
ッ素樹脂をバインダーで結合した焼成膜を形成した。実
施例２、１１〜１３は、ＳＵＳ３０４製波形保持器を用
い、実施例１１、１２ではＳＵＳ３０４製波形保持器の
表面に、予め、フッ素樹脂粒子が含浸された無電解ニッ
ケル被膜を介してフッ素樹脂被膜を成膜し、実施例１３
ではＳＵＳ３０４製波形保持器、内輪２及び外輪３の表
面に、予め、フッ素樹脂粒子が含浸された無電解ニッケ
ル被膜を介してフッ素樹脂被膜を成膜した。実施例２、
３、１２及び比較例２ではフッ素系グリース（ダイキン
工業社製デムナムＬ２００）を上記転がり軸受１の内部
空間に０．１ｇ封入した。In Examples 1, 3 to 10 and Comparative Examples 1 to 3, the tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ET
A crown type retainer prepared by injection molding a composite material composed of FE) and potassium titanate fiber was used. Examples 7 to 10
In Comparative Example 3, a fired film in which a fluororesin was bonded with a binder was formed on the surfaces of the inner ring 2, the outer ring 3, and the rolling elements. In Examples 2 and 11 to 13, a SUS304 waveform holder was used. In Examples 11 and 12, the surface of the SUS304 waveform holder was coated with a fluororesin through an electroless nickel film impregnated with fluororesin particles in advance. Example 13
On the surface of the SUS304 waveform holder, the inner ring 2 and the outer ring 3, a fluororesin coating was previously formed via an electroless nickel coating impregnated with fluororesin particles. Example 2,
In Examples 3 and 12 and Comparative Example 2, 0.1 g of a fluorine-based grease (Demnum L200 manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was sealed in the internal space of the rolling bearing 1.

【０１２７】[0127]

【表２】 [Table 2]

【０１２８】上記試験結果による発塵量も、表１中に併
記する。上記試験結果から分かるように、上記シールド
板６の軸受内部側面、上記内輪２２及び外輪３の表面等
に、微小な凹凸を形成した場合（実施例１〜１３）に
は、微少な凹凸がない場合（比較例１〜３）に比べて、
発塵量が格段に少ないことがわかる。The amount of dust generated according to the test results is also shown in Table 1. As can be seen from the above test results, when minute irregularities are formed on the inner surface of the bearing of the shield plate 6 and the surfaces of the inner ring 22 and the outer ring 3 (Examples 1 to 13), there are no minute irregularities. In comparison with the case (Comparative Examples 1 to 3),
It can be seen that the amount of dust generation is extremely small.

【０１２９】なお、実施例６、８、１０に示されるよう
に、微小凹凸を設ける面が多い程、軸受外部への発塵量
が少ない。すなわち、シールド板６の軸受内部側面、あ
るいは、内輪２及び外輪３において転動体４と接触しな
い表面の少なくとも一つに、微小な凹凸が形成すること
で、軸受内部で発生した摩耗粒子等が軸受内部空間の表
面上に効果的に保持され、軸受外部の環境を汚染するこ
とがなく、真空環境下や清浄な雰囲気を必要とする環境
下等にも好適に使用することができる。As shown in the sixth, eighth and tenth embodiments, the greater the number of surfaces on which minute irregularities are provided, the less the amount of dust generated outside the bearing. That is, by forming minute irregularities on at least one of the inner surface of the shield plate 6 and the surface of the inner ring 2 and the outer ring 3 that does not contact the rolling elements 4, wear particles and the like generated inside the bearing are reduced. It is effectively held on the surface of the internal space, does not pollute the environment outside the bearing, and can be suitably used in a vacuum environment or an environment requiring a clean atmosphere.

【０１３０】［第３の実施例］次に、第３の実施例につ
いて説明する。本実施例は、上記第１０〜１７の実施形
態に対応する本願発明に基づく転がり軸受でのパーティ
クルの飛散防止効果などを確認するものである。第３の
実施例は、本願発明に基づく実施例１〜１４の転がり軸
受及び、比較例１〜３の転がり軸受について、表３に示
すように設定して、上記軸受発塵試験装置を使用した試
験を行ったものである。[Third Embodiment] Next, a third embodiment will be described. The present example confirms the effect of preventing the particles from scattering in the rolling bearing according to the present invention corresponding to the tenth to seventeenth embodiments. In the third example, the rolling bearings of Examples 1 to 14 and the rolling bearings of Comparative Examples 1 to 3 based on the present invention were set as shown in Table 3 and the above-mentioned bearing dust test apparatus was used. The test was performed.

【０１３１】すなわち、上記各転がり軸受１を、内輪
２、外輪３および非接触形シールド板６を共通とし転動
体４、保持器５および固体潤滑被膜１０の材料を表１に
示す如く変えて製作して発塵試験を行ったものである。
実施例１及び２は、図１２に示される本発明の第１０の
実施形態に対応し、内輪２及び外輪３はＳＵＳ４４０
Ｃ、保持器はテトラフルオロエチレン〜エチレン共重合
体（ＥＴＦＥ）とチタン酸カリウム繊維とポリテトラフ
ルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる複合材を射出成形
により作成した冠型保持器である。That is, each of the above-mentioned rolling bearings 1 is manufactured by sharing the inner ring 2, the outer ring 3 and the non-contact type shield plate 6 and changing the materials of the rolling elements 4, the retainer 5 and the solid lubricating film 10 as shown in Table 1. And a dusting test was performed.
Examples 1 and 2 correspond to the tenth embodiment of the present invention shown in FIG. 12, and the inner race 2 and the outer race 3 are made of SUS440.
C, the cage is a crown-shaped cage made by injection molding of a composite material comprising tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), potassium titanate fiber, and polytetrafluoroethylene (PTFE).

【０１３２】実施例１では転動体は部分安定化ジルコニ
ア（ＺｒＯ2 ）であり、実施例２では転動体は窒化けい
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）である。実施例３〜７は、図１３に示
される本発明の第１１の実施形態に対応し、内輪２、外
輪３、及び転動体はＳＵＳ４４０Ｃであり、転動体の表
面に表３に示される各種被膜を施してある。実施例３〜
６では、保持器はテトラフルオロエチレン〜エチレン共
重合体（ＥＴＦＥ）とチタン酸カリウム繊維とポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる複合材を射出
成形により作成した冠型保持器であり、実施例７では、
保持器は炭素繊維で強化したポリイミドを機械加工で作
成したもみぬき保持器である。In Example 1, the rolling element is partially stabilized zirconia (ZrO 2 ), and in Example 2, the rolling element is silicon nitride (Si 3 N 4 ). Examples 3 to 7 correspond to the eleventh embodiment of the present invention shown in FIG. 13. The inner ring 2, the outer ring 3, and the rolling elements are SUS440C, and various coatings shown in Table 3 are provided on the surfaces of the rolling elements. Has been given. Examples 3 to
In No. 6, the retainer is a crown-shaped retainer made by injection molding of a composite material comprising tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), potassium titanate fiber, and polytetrafluoroethylene (PTFE). Then
The cage is a hollow cage made by machining a polyimide reinforced with carbon fiber.

【０１３３】実施例８は、図１４に示される本発明の第
１２の実施形態に対応し、内輪２と外輪３はＳＵＳ４４
０Ｃであり、転動体は窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）であ
り、保持器はＳＵＳ３０４製波形保持器の表面に、フッ
素樹脂粒子が含浸された無電解ニッケル被膜を介してフ
ッ素樹脂被膜を成膜した（Ｎｉ−ＰＴＦＥ被膜）。実施
例９は、図１５に示される本発明の第１３実施形態に対
応し、内輪２、外輪３、及び転動体はＳＵＳ４４０Ｃで
ある。実施例９では、転動体の表面にフッ素樹脂粒子が
含浸された無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜
を成膜し（Ｎｉ−ＰＴＦＥ被膜）、保持器はＳＵＳ３０
４製波形保持器で、その表面に銀被膜を施した。Example 8 corresponds to the twelfth embodiment of the present invention shown in FIG. 14, and the inner race 2 and the outer race 3 are made of SUS44.
0C, the rolling elements are silicon nitride (Si 3 N 4 ), and the retainer is a fluororesin coating formed on the surface of a SUS304 corrugated retainer through an electroless nickel coating impregnated with fluororesin particles. Filmed (Ni-PTFE coating). Example 9 corresponds to the thirteenth embodiment of the present invention shown in FIG. 15, and the inner race 2, the outer race 3, and the rolling elements are SUS440C. In Example 9, a fluororesin film was formed on the surface of the rolling element via an electroless nickel film impregnated with fluororesin particles (Ni-PTFE film), and the retainer was SUS30.
The surface was coated with a silver coating using a four-piece wave retainer.

【０１３４】実施例１０及び１１は、図１６に示される
本発明の第１４実施形態に対応する。実施例１０では、
内輪２及び外輪３はＳＵＳ４４０Ｃ、転動体４ａは部分
安定化ジルコニア（ＺｒＯ2 ）、転動体４ｂはポリテト
ラオロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）であり、実施例１１で
は、内輪２及び外輪３はＳＵＳ４４０Ｃ、転動体４ａは
窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、転動体４ｂはポリテトラオ
ロエチレン樹脂（ＰＴＦＥ）である。Examples 10 and 11 correspond to the fourteenth embodiment of the present invention shown in FIG. In Example 10,
The inner ring 2 and the outer ring 3 are SUS440C, the rolling elements 4a are partially stabilized zirconia (ZrO 2 ), and the rolling elements 4b are polytetrafluoroethylene resin (PTFE). In Example 11, the inner ring 2 and the outer ring 3 are SUS440C, The moving body 4a is made of silicon nitride (Si 3 N 4 ), and the rolling element 4b is made of polytetrafluoroethylene resin (PTFE).

【０１３５】実施例１２では、図１７に示される本発明
の第１５実施形態に対応し、内輪２及び外輪３はＳＵＳ
４４０Ｃであり、転動体４ａは窒化けい素（Ｓｉ
3 Ｎ4 ）、転動体４ｂはＳＵＳ４４０Ｃで、転動体４ｂ
の表面にフッ素樹脂粒子が含浸された無電解ニッケル被
膜を介してフッ素樹脂被膜１０を成膜（Ｎｉ−ＰＴＦＥ
被膜）した。The twelfth embodiment corresponds to the fifteenth embodiment of the present invention shown in FIG.
440C, and the rolling elements 4a are made of silicon nitride (Si
3 N 4 ), the rolling element 4b is SUS440C, and the rolling element 4b
Of a fluororesin film 10 via an electroless nickel film impregnated with fluororesin particles on the surface of Ni (PTFE) (Ni-PTFE)
Coating).

【０１３６】実施例ｌ３では、図１８に示される本発明
の第１５実施形態に対応し、内輪２、外輪３、及び転動
体４ａ、４ｂはＳＵＳ４４０Ｃで、転動体４ａの表面に
銀被膜１０ａを成膜し、転動体４ｂの表面にフッ素樹脂
粒子が含浸された無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹
脂被膜１０ｂを成膜（Ｎｉ−ＰＴＦＥ被膜）した。実施
例１４では、図１９に示される本発明の第１７実施形態
に対応し、内輪２及び外輪３はＳＵＳ４４０Ｃであり、
転動体４ａおよび４ｂはＳＵＳＵ４４０Ｃ、転動体４ｃ
は窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）であり、転動体４ａの表面
に銀被膜１０ａを成膜し、転動体４ｂの表面にフッ素樹
脂粒子が含浸された無電解ニッケル被膜を介してフッ素
樹脂被膜１０ｂを成膜（Ｎｉ−ＰＴＦＥ被膜）した。Example 13 corresponds to the fifteenth embodiment of the present invention shown in FIG. 18, in which the inner ring 2, the outer ring 3, and the rolling elements 4a and 4b are SUS440C, and the surface of the rolling element 4a is covered with a silver coating 10a. A film was formed, and a fluororesin film 10b was formed (Ni-PTFE film) on the surface of the rolling element 4b via an electroless nickel film impregnated with fluororesin particles. Example 14 corresponds to the seventeenth embodiment of the present invention shown in FIG. 19, in which the inner ring 2 and the outer ring 3 are SUS440C,
The rolling elements 4a and 4b are SUSU440C and the rolling elements 4c
Is silicon nitride (Si 3 N 4 ), a silver coating 10a is formed on the surface of the rolling element 4a, and a fluororesin coating is formed on the surface of the rolling element 4b via an electroless nickel coating impregnated with fluororesin particles. 10b was formed into a film (Ni-PTFE film).

【０１３７】比較例１〜３は、内輪２、外輪３、及び転
動体がＳＵＳ４４０Ｃに軸受である。比較例１及び２で
は保持器を配置し、比較例１の保持器はテトラフルオロ
エチレン〜エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）とチタン酸カ
リウム繊維からなる複合材を射出成形により作成した冠
型保持器であり、比較例２の保持器はテトラフルオロエ
チレン〜エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）とチタン酸カリ
ウム繊維とポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）か
らなる複合材を射出成形により作成した冠型保持器であ
る。また、比較例２及び３では、転動体の表面に各々、
二硫化タングステン（ＷＳ2 ）被膜及び銀被膜を形成し
た。In Comparative Examples 1 to 3, the inner ring 2, the outer ring 3, and the rolling elements are SUS440C bearings. In Comparative Examples 1 and 2, a retainer was provided. The retainer of Comparative Example 1 was a crown-shaped retainer prepared by injection molding a composite material comprising tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE) and potassium titanate fiber. The cage of Comparative Example 2 is a crown-shaped cage made by injection molding of a composite material comprising tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), potassium titanate fiber, and polytetrafluoroethylene (PTFE). In Comparative Examples 2 and 3, the surface of the rolling element was
A tungsten disulfide (WS 2 ) coating and a silver coating were formed.

【０１３８】[0138]

【表３】 [Table 3]

【０１３９】上記試験結果による発塵量及びトルク寿命
も、表３中に併記する。表３中のトルク寿命は、軸受の
回転開始時から、軸受の回転トルクが定常状態と比較し
急激に上昇した時点までの作動時間と定義する。上記試
験結果から分かるように、互いに接触し摺動する保持器
と転動体、互いに隣り合う転動体自身あるいはそれに予
め形成した被膜等を、帯電列において互いに対極に位置
する材料で形成する場合（実施例１〜１４）には、両部
材が帯電列において互いに対極に位置する材料で形成し
ない場合（比較例１〜３）に比べて、発塵量並びに軸受
の耐久性（トルク寿命）ともに、格段に優れていること
がわかる。The amount of dust generation and the torque life based on the above test results are also shown in Table 3. The torque life in Table 3 is defined as the operation time from the start of the rotation of the bearing to the time when the rotational torque of the bearing sharply increases as compared with the steady state. As can be seen from the above test results, the case where the cage and the rolling element, which are in contact with and slide with each other, the rolling element itself adjacent to each other, or a coating previously formed on the rolling element itself, or the like, is formed of a material which is located opposite to each other in the charging train (implementation). In Examples 1 to 14), both the amount of generated dust and the durability of the bearing (torque life) are remarkably different from those in the case where both members are not formed of materials located opposite to each other in the charging train (Comparative Examples 1 to 3). It turns out that it is excellent.

【０１４０】すなわち、本実施例の転がり軸受では、保
持器、転動体、固体潤滑被膜から発生した摩耗粒子や摺
動面等が摩擦帯電することにより、軸受内部で発生した
摩耗粒子等は、その摺動した接触面およびその近傍に捕
獲・保持される。そのため、軸受内部では発生した摩耗
粒子等が、軸受外部に飛散して軸受外部環境を汚染する
ことがなく、長期間使用することができ、真空環境下や
清浄な雰囲気を必要とする環境下等にも好適に使用する
ことができる。That is, in the rolling bearing of this embodiment, the wear particles and the sliding particles generated from the cage, the rolling elements and the solid lubricating film are frictionally charged. It is captured and held on the sliding contact surface and its vicinity. Therefore, the wear particles generated inside the bearing do not scatter outside the bearing and contaminate the outside environment of the bearing, and can be used for a long period of time, such as in a vacuum environment or an environment requiring a clean atmosphere. Can also be suitably used.

【０１４１】［第４の実施例］次に、第４の実施例につ
いて説明する。本実施例は、上記第１８〜２５の実施形
態に対応する本願発明に基づく転がり軸受でのパーティ
クルの飛散防止効果を確認するものである。第４の実施
例は、本願発明に基づく実施例１〜９の転がり軸受、及
び、比較例１及び２の転がり軸受について、表４に示す
ように設定して、上記軸受発塵試験装置を使用した試験
を行ったものである。[Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment will be described. This example confirms the effect of preventing the particles from scattering in the rolling bearing according to the present invention corresponding to the eighteenth to twenty-fifth embodiments. In the fourth embodiment, the rolling bearings of Examples 1 to 9 based on the present invention and the rolling bearings of Comparative Examples 1 and 2 are set as shown in Table 4 and the above-mentioned bearing dust test apparatus is used. The following test was performed.

【０１４２】すなわち、転がり軸受１について、内輪
２、外輪３、転動体４及び保持器５を共通とし、シール
ド板６をそれぞれ変更して行ったものである。実施例１
〜９の転がり軸受では、表４に示す如く、対応する上記
実施形態で説明した第１シールド板６Ａ及び第２シール
ド板６Ｂの組からなるシールド板６を採用した。また比
較例１及び２の転がり軸受のシールド板としては、図９
に示す形状と同等の形状からなる従来の非接触型のシー
ルド板（ただし、本発明のパーティクル捕捉手段（微少
凹凸等）の無いもの）を採用した。That is, in the rolling bearing 1, the inner ring 2, the outer ring 3, the rolling elements 4, and the retainer 5 are shared, and the shield plate 6 is changed. Example 1
In the rolling bearings Nos. 1 to 9, as shown in Table 4, the shield plate 6 composed of the pair of the first shield plate 6A and the second shield plate 6B described in the corresponding embodiment was adopted. As a shield plate of the rolling bearings of Comparative Examples 1 and 2, FIG.
A conventional non-contact type shield plate having a shape equivalent to the shape shown in (1), provided that there is no particle capturing means (fine unevenness or the like) of the present invention.

【０１４３】なお、実施例１、３〜９および比較例１で
は、内輪２、外輪３および転動体４に予め二硫化タング
ステンからなる固体潤滑被膜を形成している。また、実
施例２および比較例２ではフッ素系グリースを該軸受１
の内部空間に封入した。また、各保持器５は、ポリフッ
化ビニデン樹脂（ＰＶｄＦ）をマトリックとし、ティス
モ（商品名：大塚化学社製）を２０wt％含有させたもの
を使用した。In Examples 1, 3 to 9 and Comparative Example 1, a solid lubricating film made of tungsten disulfide is formed on the inner ring 2, the outer ring 3 and the rolling elements 4 in advance. In Example 2 and Comparative Example 2, the bearing 1
In the internal space. Each cage 5 was made of polyvinylidene fluoride resin (PVdF) as a matrix and contained 20% by weight of Tismo (trade name: manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.).

【０１４４】そして、図２０に示した軸受発塵試験装置
を用いて、上述の各実施例と同様の試験方法にて、軸受
から外部に飛散する粒子数を計測した。上記試験の試験
条件は次の通りである。 ・試験軸受：型番６０８玉軸受（内輪：８ｍｍ、外輪：
２２ｍｍ、幅７ｍｍ） ・雰囲気 ：大気、常温 ・アキシアル荷重：１９．６Ｎ ・回転速度：１０００ｒｐｍThen, the number of particles scattered from the bearing to the outside was measured by the same test method as in each of the above embodiments using the bearing dust test apparatus shown in FIG. The test conditions for the above test are as follows.・ Test bearing: Model number 608 ball bearing (Inner ring: 8mm, Outer ring:
・ Atmosphere: Atmosphere, room temperature ・ Axial load: 19.6N ・ Rotation speed: 1000 rpm

【０１４５】[0145]

【表４】 [Table 4]

【０１４６】上記試験結果による発塵量も、表４に併記
する。上記試験結果から、内輪２および外輪３の各々に
第１又は第２シールド板６Ａ、６Ｂを固定し、かつ、両
者６Ａ、６Ｂの先端を内輪２と外輪３の間の径方向途中
位置で一定の隙間を保持して非接触に対向させることに
よってラビリンスシールを構成した場合（実施例１〜
９）には、内輪２外径面の軸方向両端部とシールド板が
隙間を有する従来の非接触型シールド板の場合（比較例
１および２）に比べて、発塵量が格段に少ないことが分
かる。The amount of dust generated according to the above test results is also shown in Table 4. From the above test results, the first or second shield plate 6A, 6B is fixed to each of the inner ring 2 and the outer ring 3, and the ends of both 6A, 6B are fixed at a radially intermediate position between the inner ring 2 and the outer ring 3. When the labyrinth seal is constituted by holding the gap and making it face in a non-contact manner (Examples 1 to 3)
In 9), the amount of dust generation is significantly smaller than in the case of a conventional non-contact type shield plate having a gap between both ends in the axial direction of the outer surface of the inner ring 2 and the shield plate (Comparative Examples 1 and 2). I understand.

【０１４７】[0147]

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１に係
る転がり軸受を採用すると、軸受内部で発生した摩耗粒
子等のパーティクルは、パーティクル捕捉手段によっ
て、内・外輪表面、保持器表面、シールド板表面、若し
くは転動体表面に捕獲保持されるので、軸受内部で発生
した摩耗粒子等のパーティクルが、軸受外部に飛散して
軸受外部環境を汚染することが長期に渡って防止でき
て、当該軸受を長期間使用することができ、真空環境下
や清浄な雰囲気を必要とする環境下等にも好適に使用す
ることができるという効果がある。As described above, when the rolling bearing according to the first aspect is adopted, particles such as abrasion particles generated inside the bearing are covered by the particle capturing means with the inner / outer ring surface, the cage surface, and the shield. Since it is captured and held on the plate surface or the rolling element surface, it is possible to prevent particles such as abrasion particles generated inside the bearing from scattering to the outside of the bearing and contaminating the external environment of the bearing for a long period of time. Can be used for a long period of time, and can be suitably used in a vacuum environment or an environment requiring a clean atmosphere.

【０１４８】また、請求項２に係る転がり軸受を採用し
た場合には、シールド板の形状を工夫するだけでラビリ
ンスシールの構造が簡単でコンパクトとなり、かつ、軸
受内部で発生した摩耗粒子等が効果的に軸受内部空間に
保持される。この結果、軸受外部の環境を汚染すること
がなく、真空環境下や清浄な雰囲気を必要とする環境下
等にも好適に使用することができるという効果がある。In the case where the rolling bearing according to the second aspect is adopted, the labyrinth seal structure is simple and compact only by devising the shape of the shield plate, and the abrasion particles and the like generated inside the bearing are effective. It is held in the bearing internal space. As a result, there is an effect that the environment outside the bearing is not polluted, and the bearing can be suitably used in a vacuum environment or an environment requiring a clean atmosphere.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第２の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a second embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る他の転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a main part of another rolling bearing according to a second embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第３の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a third embodiment of the present invention.

【図５】本発明の第４の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a fourth embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第５の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a fifth embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第６の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a sixth embodiment of the present invention.

【図８】本発明の第７の実施の形態に係る転がり軸受の
要部断面図である。FIG. 8 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a seventh embodiment of the present invention.

【図９】本発明の第８、第９の実施の形態に係る転がり
軸受の要部断面図である。FIG. 9 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to eighth and ninth embodiments of the present invention.

【図１０】本発明の実施の形態に係る微小凹凸の例を示
す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of minute unevenness according to the embodiment of the present invention.

【図１１】本発明の第８、第９の実施の形態に係る他の
転がり軸受の要部断面図である。FIG. 11 is a sectional view of a principal part of another rolling bearing according to the eighth and ninth embodiments of the present invention.

【図１２】本発明の第１０の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 12 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a tenth embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の第１１の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 13 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to an eleventh embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第１２の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 14 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a twelfth embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第１３の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 15 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a thirteenth embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の第１４の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 16 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a fourteenth embodiment of the present invention.

【図１７】本発明の第１５の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 17 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a fifteenth embodiment of the present invention.

【図１８】本発明の第１６の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 18 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a sixteenth embodiment of the present invention.

【図１９】本発明の第１７の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 19 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a seventeenth embodiment of the present invention.

【図２０】本発明の実施例で使用する軸受発塵試験装置
を示す概略図である。FIG. 20 is a schematic view showing a bearing dust test apparatus used in an embodiment of the present invention.

【図２１】本発明の第１８の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 21 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to an eighteenth embodiment of the present invention.

【図２２】本発明の第１９の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 22 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a nineteenth embodiment of the present invention.

【図２３】本発明の第２０の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 23 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a twentieth embodiment of the present invention.

【図２４】本発明の第２１の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 24 is a sectional view of a principal part of a rolling bearing according to a twenty-first embodiment of the present invention.

【図２５】本発明の第２２の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 25 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a twenty-second embodiment of the present invention.

【図２６】本発明の第２３の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 26 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a twenty-third embodiment of the present invention.

【図２７】本発明の第２４の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 27 is a fragmentary cross-sectional view of a rolling bearing according to a twenty-fourth embodiment of the present invention.

【図２８】本発明の第２５の実施の形態に係る転がり軸
受の要部断面図である。FIG. 28 is a sectional view of a main part of a rolling bearing according to a twenty-fifth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 転がり軸受 ２ 内輪 ３ 外輪 ４ 転動体 ５ 保持器 ６ シールド板 ６Ａ 第１シールド板 ６Ｂ 第２シールド板 ７ 磁性流体 ８ 永久磁石 ９ 溝 １０ 固体潤滑被膜 ２０ 軸受発塵試験装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rolling bearing 2 Inner ring 3 Outer ring 4 Rolling element 5 Cage 6 Shield plate 6A 1st shield plate 6B 2nd shield plate 7 Magnetic fluid 8 Permanent magnet 9 Groove 10 Solid lubricating film 20 Bearing dust tester

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 内輪と外輪との間の軸受内部に、保持器
で保持された複数個の転動体が介装されると共に軸方向
両側にシールド板を付けた転がり軸受において、 軸受内部で生成される摩耗粒子等のパーティクルを当該
軸受内部で捕獲保持するパーティクル捕捉手段を、軸受
内部空間側の上記内輪、外輪、及びシールド板の各面、
保持器表面、及び転動体表面のうちの少なくとも一つの
面に設けたことを特徴とする転がり軸受。1. A rolling bearing in which a plurality of rolling elements held by a retainer are interposed inside a bearing between an inner ring and an outer ring and shield plates are attached on both axial sides, wherein the rolling element is formed inside the bearing. Particle capturing means for capturing and holding particles such as worn particles inside the bearing, the inner ring, the outer ring, and each surface of the shield plate on the bearing internal space side,
A rolling bearing provided on at least one of a cage surface and a rolling element surface. 【請求項２】 内輪と外輪との間の軸受内部における軸
方向両側にそれぞれシールド板を備える転がり軸受にお
いて、 上記各シールド板は、内輪に固定されて外輪に向けて延
在する第１シールド板と外輪に固定されて内輪に向けて
延在する第２シールド板との組によりそれぞれ構成さ
れ、上記組を構成する第１シールド板と第２シールド板
との先端部同士は、軸方向で対向する部分を有すると共
に所定隙間を保持して非接触状態に設定されてラビリン
スシールを構成することを特徴とする転がり軸受。2. A rolling bearing comprising shield plates on both sides in the axial direction inside a bearing between an inner ring and an outer ring, wherein each shield plate is fixed to the inner ring and extends toward the outer ring. And a pair of second shield plates fixed to the outer ring and extending toward the inner ring, and the distal ends of the first shield plate and the second shield plate constituting the above-mentioned pair are axially opposed to each other. A rolling bearing having a portion that is set to be in a non-contact state while maintaining a predetermined gap and forming a labyrinth seal.
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