JP2000054027A - リニアガイドレールの製造方法 - Google Patents

リニアガイドレールの製造方法

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JP2000054027A
JP2000054027A JP10223303A JP22330398A JP2000054027A JP 2000054027 A JP2000054027 A JP 2000054027A JP 10223303 A JP10223303 A JP 10223303A JP 22330398 A JP22330398 A JP 22330398A JP 2000054027 A JP2000054027 A JP 2000054027A
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hardening
quenching
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rail
heating
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Hideki Kokubu
秀樹 國分
Shinichi Suzuki
信一 鈴木
Manabu Ohori
學 大堀
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Abstract

(57)【要約】 【課題】製造コストが安価で且つ取付け穴のピッチ精度
が向上した高耐食なマルテンサイト系ステンレス製リニ
アガイドレールの製造方法を提供することを課題として
いる。 【解決手段】レース溝部2を高周波コイル4で1070
℃〜1200℃の範囲に加熱し水冷して焼入れを行った
後に、サブゼロ処理、焼戻し、曲げ矯正を行う。その後
に、取付け穴3の加工を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体などの精
密機器や食品関係に使用される直動案内軸受(リニアガ
イド)のレールの熱処理の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】通常のリニアガイドレールの製造では、
浸炭鋼を素材として浸炭処理したり、中炭素鋼を素材と
して高周波焼入れして製造される。
【0003】また、耐食性を要求される用途に使用され
るリニアガイドのレールには、焼入れにより高硬度が得
られる、SUS440Cなどのマルテンサイト系ステン
レス材が素材として用いられ、その焼入れとしては、従
来、ずぶ焼入れが採用されている。
【0004】ここで、SUS440Cは、高合金鋼であ
るので、高温で焼入れを行うとMS点が下がり、残留オ
ーステナイトが多くなりすぎて、レールとして要求され
るだけの高い硬度が得られない。このため、SUS44
0Cの熱処理は、加熱温度を十分に管理し合金成分を適
度に固溶させて焼入れする必要があることから、上記の
ようにずぶ焼が用いられていて、高周波焼入れなどは用
いられていない。
【0005】ずぶ焼の方法は、例えば、図9に示すヒー
トサイクルによる真空焼入れで熱処理され、製造工程
も、取付け穴の加工を行った後に焼入れが行われる。ま
た、焼入れにより、長物であるレールに熱処理で曲がり
やねじれが生じていることから、レールに力を加えて曲
がり直し(変形矯正)が行われ、さらに、焼戻し及び研
磨が行われて製品となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マルテ
ンサイト系ステンレス製のリニアガイドレールでは、従
来の熱処理が通常のレールとは違いズブ焼であるので、
転動体と摺接する機能面であるレース溝部だけでなく、
心部まで硬くなっている。この結果、抗張力が上がり、
熱処理後の変形矯正が難しいために、変形矯正に時間が
掛かったり矯正のためのコストが高くなるという問題が
ある。
【0007】しかも、リニアガイドレールの取付け穴
は、熱処理後では芯部まで硬化して穴を開けるのが困難
となるので、従来にあっては、上述のように熱処理前に
取付け穴の加工をしているが、熱処理により取付け穴が
変形・膨張することで、その分だけ取付け穴のピッチ精
度が劣化するという問題もある。
【0008】ここで、高周波焼入れおよびレーザ焼入れ
は、中炭素鋼製のリニアガイドレールでは使用実績はあ
るが、マルテンサイト系ステンレス鋼製のリニアガイド
レールでの使用実績はない。
【0009】これは、一般に使用される中炭素鋼製のレ
ールでは、炭素量が0.3%〜0.6%含有しているた
め、焼き鈍し状態のフェライト+パーライトで加熱する
ことにより、比較的容易に炭素を素地に固溶できるが、
マルテンサイト系ステンレスは、素材の段階でフェライ
ト中にM236 などの炭化物が析出した状態となってい
るために、高周波焼入れやレーザ焼入れ等の急速加熱を
採用した場合、ずぶ焼同様の温度(1000℃程度)で
は炭化物を十分に分解・固溶することができず不完全組
織となって、レールとして必要な硬さを確保できない。
このようなことから、素材が耐食性に優れたマルテンサ
イト系ステンレスの場合には、レーザ焼入れ法等が採用
されていないと想定される。つまり、マルテンサイト系
ステンレス鋼という材料特有の問題から、従来にあって
は高周波焼入れおよびレーザ焼入れが使用されていない
ことが分かる。
【0010】本発明は、以上のような問題点に着目して
なされたものであり、製造コストが安価で且つ取付け穴
のピッチ精度を向上できる高耐食なマルテンサイト系ス
テンレス製のリニアガイドレールの製造方法を提供する
ことを課題としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、マルテンサイト系ステンレス製リニアガ
イドのレールの製造方法において、レース溝部を部分焼
入れした後に取付け穴を開孔することを特徴とするリニ
アガイドレールの製造方法を提供するものである。
【0012】ここで、上記部分焼入れの処理としては、
例えば高周波電流等による誘導加熱後の焼入れや、レー
ザ光の照射によるレーザ焼入れ法が採用される。本発明
によれば、レース溝部の部分焼入れによって芯部の硬化
が防止されて、熱処理後であっても取付け穴の加工がで
き、取付け穴の精度が向上する。
【0013】しかも、レース溝部の表面層だけを硬化し
芯部は素材のままであるので、焼入れ後の変形矯正も容
易となる。ここで、レース溝部の底部と取付け穴との最
短距離が2mmを越える場合には、部分焼入れとして、高
周波焼入れ法を採用し、その焼入れ温度を1070℃〜
1200℃の範囲で処理し、その後サブゼロ処理するこ
とが好ましい。
【0014】SUS440C等のマルテンサイト系ステ
ンレス製のレールを、高周波焼入れにより1070℃〜
1200℃に加熱後焼入れることにより、レース溝部を
当該レース溝部に要求される硬度とするとができる(図
4参照)。また、この熱処理による変形はずぶ焼入れに
比べて大きくなるが、芯部を硬化させることがないの
で、容易に曲げ矯正することができ、変形矯正がずぶ焼
入れよりも容易となる。この結果、レール製造のための
トータル的なコストを安く提供することが出来る。ま
た、上述のように、取付け穴も後加工するので精度も上
げることができる。
【0015】また、レース溝部の底部と取付け穴との最
短距離が2mm以下の場合には、上記部分焼入れとして、
レーザ焼入れ法を採用し、そのときのエネルギー密度δ
を0.001〜0.05〔J/mm3 〕の範囲に設定す
ることが好ましい(図5参照)。さらには、上記エネル
ギー密度δを0.002〜0.04〔J/mm3 〕の範
囲に設定することが、より好ましい。
【0016】ここで、 エネルギー密度δ〔J/mm3 〕=レーザ出力〔w〕/
(照射面積〔mm2 〕×移動速度〔mm/sec 〕) と定義する。
【0017】このように設定することで、2mm以下の
浅い硬化層を狭い領域に形成することができ、しかもレ
ース溝として要求される硬さも確保される。また、同様
に必要な部分のみ硬化させるので熱処理変形も少なく、
さらに心部は硬化しないので、曲がり矯正が容易とな
る。また、焼入れ後に取付け穴が開けられるので、取付
けピッチ精度が向上する。
【0018】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施形態を
図面を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態の高周
波焼入れの方法を説明する概要図である。
【0019】その焼入れ設備は、レール1の両側、つま
りレース溝部2に対向させて一対の高周波加熱用コイル
4が配置され、高周波電流によりレース溝部2だけを加
熱できるようになっている。さらに、上記コイル4の間
には冷却水をレール1に吹き付け可能な冷却水噴射ノズ
ル5が配置されて、加熱後冷却水を噴射して焼入れを行
うことができるようになっている。
【0020】そして、図2に示すように、上記焼入れ設
備による焼入れ処理、サブセロ処理、焼戻し処理、曲げ
矯正処理の後に、取付け穴の加工、さらには研磨工程を
経て製品となる。
【0021】上記高周波コイル4による加熱は、コイル
4の電流及び加熱時間を制御してレース溝部2の表面温
度を1070℃〜1200℃の温度に加熱し、その後、
加熱を止めて冷却水噴射ノズル5からの冷却水を吹き付
けてレース溝部2の焼入れを行い、その後にサブゼロ処
理をする。
【0022】このように焼入れ処理を行うことで、レー
ス溝部2だけに部分焼入れが行われ、当該レース溝部2
に要求される硬さが確保される。この焼入れ処理後に曲
げ矯正を行うが、レース溝部2だけの部分焼入れである
ため、矯正量がずぶ焼き処理をする場合に比べて増加し
ていても、矯正処理が従来よりも容易に行われる。
【0023】この曲げ矯正の後に取付け穴3の加工が行
われるが、取付け穴3を加工する芯部は焼入れ硬化して
いないため、当該取付け穴3の加工が可能である。しか
も、焼入れ及び曲げ矯正後の加工となるため、加熱等の
悪影響が回避されて、取付け穴3のピッチ精度が向上す
る。
【0024】次に、第2の実施形態を説明する。本実施
形態は、図3に示すように、レース溝部2の底部分と取
付け穴3の位置との最短距離aが2mm以下の場合の例で
ある。図3中、符号6はレーザ焼入れ装置を示す。
【0025】本実施形態は、焼入れ処理としてレーザ焼
入れ法を使用したものである。レーザ焼入れ設備6は、
図3に示すように、不図示のレーザ発振器からのレーザ
ビームを反射鏡や光ファイバーで搬送し、集光レンズで
収束してレーザビームをレース溝部2の表面に照射する
ことで局部的な急熱・急冷を起こして焼入れをするもの
である。
【0026】ここで、本実施形態の焼入れ処理であるレ
ーザ焼入れは、狭い領域の焼入れに適用するものである
ので、熱容量が十分あれば、冷却水を必要とせずに熱伝
導による熱の拡散で焼入れできる。
【0027】しかし、焼入れ対象のレール1は体積が小
さいため、レール1の両側に冷却治具7をあてがい熱容
量を増やしている。また、レーザビームは、レース溝部
2の全体を焼入れるためや適当にエネルギー密度δを下
げてやるために、焦点をずらして行う。この幅は、集光
レンズ等のワークディスタンスを変化させることにより
行う。
【0028】レーザ焼入れによるエネルギー密度δは、
0.001〜0.05〔J/mm3 〕の範囲に設定した。
なお、エネルギー密度δの定義は前述の通りである。他
の工程(処理)の内容は、上記第1の実施形態と同様で
あり、また、作用・効果も上記第1の実施形態と同様で
ある。
【0029】
【実施例】上記第1の実施形態における焼入れ温度の妥
当性を検討すべく、加熱温度と表面硬さとの関係を求め
てみた。図4がその結果である。
【0030】ここで、上記焼入れ温度は、誘導加熱の加
熱時間を変えることで調整し、その加熱温度を放射温度
計により測定したものである。上記図4から分かるよう
に、誘導加熱による焼入れ温度を1070℃〜1225
℃の範囲に制御することで、レース溝部2の表面硬さ
を、ガイドレール1のレース溝部2に要求される目標硬
さHv595(HRC55)以上とすることができるこ
とが分かる。
【0031】ちなみに、ドブ焼きと同様な加熱温度であ
る1050℃では、硬さが不足しているのが分かる。次
に、上記第2の実施形態によるレーザ焼入れによるエネ
ルギー密度δの妥当性を検討すべく、そのエネルギー密
度δと表面硬さとの関係を求めてみた。図5がその結果
である。
【0032】この図5から分かるように、エネルギー密
度δを、0.001〜0.05〔J/mm3 〕の範囲にし
て焼入れることで、レース溝に要求される最低硬さHv
595(HRC55)以上とすることができる。
【0033】さらに好ましくは、エネルギー密度δを
0.002〜0.04〔J/mm3 ]の範囲に制御するこ
とが好ましい。この範囲に制御することで、安定してH
v650以上の硬さに焼入れすることができる。
【0034】ここで、エネルギー密度δを0.001未
満にすると、エネルギーが小さくて炭素の固溶が不十分
となり、不完全焼入れとなって硬さが低い値となると考
えられ、0.05を越えると、オーバヒートによって残
留オーステナイト(γR )が多くなって硬さが低い値と
なると考えられる。
【0035】また、部分焼入れとしての高周波焼入れ及
びレーザ焼入れの適用範囲を考えたとき、図6に示すよ
うに、焼入れ表面からの硬化深さdに対して、取付け穴
3の位置とレース溝部2の底部との最短距離位置aが2
mm以上確保できるレール1については、高周波焼入れ
が可能であるが、上記最短距離aがこれ以下の場合は、
高周波焼入れでは硬化深さdが芯部にまで到達してしま
うため、取付け穴3が後加工できなくなってしまう。し
たがって、上記最短距離aが2mm以下の場合には、レー
ザ焼入れが適当である。
【0036】また、上記取付け穴3の位置とレース溝部
2の底部との最短距離aが2mm以下の場合に、高周波
焼入れすると、硬化層が深すぎて、焼入れ硬化の影響を
受ける。このように、取付け穴3の後加工が出来ないの
で、従来と同様に取付け穴3を最初に開けてから上記高
周波焼入れを行ったところ、穴を開けた部分の肉が薄い
ため(上記最短距離a部分)、このa部分がオーバーヒ
ートにより溶融してしまい、安定した硬化層が得られな
かった。このため、最短距離aが2mm以下の高周波焼
入れでは取付け穴3を事前に開けておくことはできな
い。
【0037】以上の実施例の結果を、従来技術との比較
で表1に示す。
【0038】
【表1】
【0039】ここで、使用したレール1は、断面寸法は
図6に示す通りで、長さは300mmのレールを使用し
た。また、各焼入れの諸条件は、後述の通りである。変
形矯正処理は、変形量S(そり量)を測定し、図7に示
すように、長手方向に所定スパンづつ送りながら、3点
支持で荷重(加圧)をかけることによる矯正を繰り返し
行った。
【0040】変形量(そり量)Sの測定は、図8に示す
ように、一定の圧を掛けた状態で、基台に対するレール
1上面の高さHを測定し、その高さHと基準高さとの差
分によって求めた。
【0041】ここで、表1中、変形矯正限界率[%]と
は、下記式で表される変形矯正率の最大値、つまり矯正
可能な限界を表す。 変形矯正率=(元のそり量 − 矯正後のそり量)/
(元のそり量) また、表1中、時間比とは、従来法である比較例1で要
した処理時間を基準(1)とした割合である。
【0042】この表1から分かるように、比較例1によ
うに、ずぶ焼では、熱処理による変形量は比較的少ない
が、レール1は芯部までマルテンサイト変態しているた
め、変形矯正はしにくく、非常に時間と手間がかかり矯
正限界率も低くなっている。しかも、矯正後の変形量が
0.3mm以上のものは不良となってしまう。また、取
付け穴3精度は、熱処理の前にあけるので、熱処理後の
不規則な変形(膨張)により、悪くなっている。
【0043】これに対して、本願発明に基づく、高周波
焼入れ及びレーザ焼入れによる溝部2だけの部分焼入
れ、及びその後に取付け穴3の加工処理の場合では、熱
処理変形量はずぶ焼の場合に比べれば大きいものの芯部
は硬化していないため、変形矯正はずぶ焼よりも容易に
行え、しかも変形矯正率も高いので矯正時間も短くなっ
たことが分かる。
【0044】また。取付け穴3も後加工できるので取付
けピッチ精度も良くなる。このように本願発明に基づ工
程を採用すると、全体のコストが安くなった。なお、本
工程は、熱処理により硬化するマルテンサイト系ステン
レスであれば、いずれの材料であっても同様に使用でき
る。
【0045】ここで、表1における、各焼入れ法の条件
や諸元値等を下記に示す。 高周波焼入れ(図1参照) ・高周波焼入れ機:200kw30kHzトランジスタ
・インバータ式発振器を使用 焼入れ条件:310[V](焼入れ温度1000℃〜1
250℃に調整) 加熱後に水冷により焼入れを行う ・サブゼロ処理 :水冷後 −80℃×1時間 ・焼戻し処理 :170℃×1.5時間 レーザー焼入れ(図3参照) ・焼入れ装置 :5Kw マルチモードCO2 レーザ 焼入れ条件: 送り速度 0.5m/min 焦点はずし量 60mm ビーム幅 2mm(スキャニングによる)100Hz アシストガスとしてArガスを吹付けながら行った。
【0046】但し、冷却剤は使用しない。 ずぶ焼(図9参照) ・真空炉にて、1050℃で1時間保持して焼入れ後、
160℃で焼戻しを行った。
【0047】
【発明の効果】以上説明したきたように、本発明を採用
すると、製造コストも安く、且つ取付け穴のピッチ精度
も向上したマルテンサイト系ステンレス製のリニアガイ
ドレールの製造方法を提供することが出来るという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るリニアガイド
レールの高周波焼入れ方法を説明する図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る製造工程を示す図で
ある。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係るリニアガイド
レールのレーザ焼入れ方法を説明する図である。
【図4】高周波焼入れによる加熱温度と硬さの関係を示
す図である。
【図5】レーザ焼入れによるエネルギー密度と硬さの関
係を示す図である。
【図6】リニアガイドレールの取付け穴と硬化層との関
係を示した図である。
【図7】リニアガイドレールの曲がり直し方法(曲げ矯
正方法)の一例を示した図である。
【図8】リニアガイドレールの曲がり量を測定する方法
を説明する図である。
【図9】ずぶ焼(真空焼入れ)のヒートサイクルの例を
示す図である。
【符号の説明】
1 レール 2 レース溝部 3 取付け穴 4 誘導加熱コイル 5 ノズル 6 レーザ焼入れ設備 δ エネルギー密度 a レース溝部の底と取付け穴との最短距離 d 硬化層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F16C 29/06 F16C 29/06 (72)発明者 大堀 學 神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目5番50号 日本精工株式会社内 Fターム(参考) 3J104 AA23 AA64 AA74 AA76 BA05 CA03 CA20 DA16 DA17 4K042 AA05 BA03 BA06 BA10 BA13 CA16 DA01 DA02 DA06 DB01 DB04 DC02 DD04 EA01

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マルテンサイト系ステンレス製リニアガ
    イドのレールの製造方法において、レース溝部を部分焼
    入れした後に取付け穴を開孔することを特徴とするリニ
    アガイドレールの製造方法。
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