JP2000053446A - Processing to make hole in photosensitive glass plate - Google Patents
Processing to make hole in photosensitive glass plateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性ガラス板へ
の孔開け加工方法に関するものである。さらに詳しく
は、感光性ガラス板の表裏それぞれに孔開け加工を行う
ための技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a hole in a photosensitive glass plate. More specifically, the present invention relates to a technique for perforating the front and back of a photosensitive glass plate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクジェットヘッドのノズルやドット
プリンタのワイヤガイド等には、途中で径寸法の変わる
段差が形成された段付き孔が使用されている。このよう
な段付き孔を形成する方法は、特開平２−９２８３９号
公報、特開平６−２２７８４３号公報および特開平６−
２８６１３号公報に開示されている。2. Description of the Related Art A stepped hole having a step whose diameter changes in the middle thereof is used for a nozzle of an ink jet head or a wire guide of a dot printer. A method for forming such a stepped hole is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Hei 2-92939, Hei 6-227843 and Hei 6-27843.
No. 28613.
【０００３】これらの先行技術のうち、特開平２−９２
８３９号公報に開示されている段付き孔の形成方法で
は、まず、２枚の感光性ガラス板に対してそれぞれ別々
にマスク露光して潜像を形成した後、熱処理して潜像を
結晶化する。次に、２枚の感光性ガラス板のそれぞれに
エッチングを行って各潜像部分を除去することにより、
２枚の感光性ガラス板にそれぞれ異なる径寸法の貫通孔
を形成し、しかる後に２つの貫通孔が重なるように２枚
の感光性ガラス板を貼り合わせることにより段付き孔を
形成する。[0003] Of these prior arts, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-92
In the method of forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent No. 839, first, a latent image is formed by separately exposing two photosensitive glass plates by mask exposure, and then heat treatment is performed to crystallize the latent image. I do. Next, by etching each of the two photosensitive glass plates to remove each latent image portion,
Through holes having different diameters are respectively formed in the two photosensitive glass plates, and then the two photosensitive glass plates are bonded so that the two through holes overlap, thereby forming a stepped hole.
【０００４】また、特開平６−２２７８４３号公報に開
示されている段付き孔の形成方法では、まず、感光性ガ
ラス板にマスク露光を行って第１の潜像を形成した後、
熱処理して第１の潜像を結晶化した後、第１の潜像と重
なる領域にマスク露光を行い、第１の潜像より径の大き
な第２の潜像を形成する。次に、感光性ガラス板にエッ
チングを行うことにより、すでに結晶化している第１の
潜像部分のみを除去し、第２の潜像の内側に小径孔を形
成する。次に、感光性ガラス板を再び熱処理して第２の
潜像を結晶化した後、第２の潜像の内側に形成された小
径孔に耐エッチング材からなるシール材を充填する一
方、第２の潜像の一方の端面部をシール材で覆う。次
に、感光性ガラス板にエッチングを行うことにより、第
２の潜像のうち、シール材で覆われた側とは反対側の端
面部から所定の深さ分のみを除去し、シール材で覆った
側に第２の潜像の一部を残す。しかる後に、シール材を
除去することにより、段付き孔を形成する。In the method of forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-227843, a photosensitive glass plate is first exposed to a mask to form a first latent image.
After heat treatment to crystallize the first latent image, mask exposure is performed on a region overlapping with the first latent image to form a second latent image having a larger diameter than the first latent image. Next, by etching the photosensitive glass plate, only the first latent image portion that has already been crystallized is removed, and a small-diameter hole is formed inside the second latent image. Next, after heat-treating the photosensitive glass plate again to crystallize the second latent image, a small-diameter hole formed inside the second latent image is filled with a sealing material made of an etching-resistant material. One end face of the latent image 2 is covered with a sealing material. Next, by etching the photosensitive glass plate, only a predetermined depth of the second latent image is removed from the end surface on the side opposite to the side covered with the sealing material, and the second latent image is removed with the sealing material. Leave part of the second latent image on the covered side. Thereafter, a stepped hole is formed by removing the sealing material.
【０００５】さらに、特開平６−２８６１６３号公報に
開示されている段付き孔の形成方法では、まず、感光性
ガラス板にマスク露光を行い、感光性ガラス板を貫通す
る第１の潜像を形成し、次に、感光性ガラス板に第１の
潜像と重ねる領域に対してマスク露光を行い、第１の潜
像よりも浅くて大きい第２の潜像を形成する。次に、感
光性ガラス板を熱処理して第１および第２の潜像を結晶
化し、しかる後にエッチングして第１および第２の潜像
部分を一括して除去することにより段付き孔を形成す
る。Further, in the method of forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-286163, first, a photosensitive glass plate is exposed to a mask to form a first latent image penetrating the photosensitive glass plate. Then, mask exposure is performed on an area of the photosensitive glass plate that overlaps the first latent image to form a second latent image that is shallower and larger than the first latent image. Next, the photosensitive glass plate is heat-treated to crystallize the first and second latent images and then etched to collectively remove the first and second latent image portions to form stepped holes. I do.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に開示されている感光性ガラス板への段付き孔の形成
方法には、次のような問題がある。However, the method of forming a stepped hole in a photosensitive glass plate disclosed in the above publication has the following problems.
【０００７】まず、特開平２−９２８３９号公報に開示
されている段付き孔の形成方法では、２枚の感光性ガラ
ス板にそれぞれ形成した潜像の大きさが異なるので、感
光性ガラス板に熱処理を施した際に、２枚の感光性ガラ
ス板の熱収縮量に差が生じる。従って、２つの貫通孔が
正確に重なるように２枚の感光性ガラス板を精度よく貼
り合わせるのが難しい。このため、段付き孔の大径部分
と小径部分の位置関係がずれてしまうという問題があ
る。First, in the method of forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-92939, the sizes of the latent images formed on the two photosensitive glass plates are different from each other. When heat treatment is performed, a difference occurs between the heat shrinkage amounts of the two photosensitive glass plates. Therefore, it is difficult to accurately bond the two photosensitive glass plates so that the two through holes are accurately overlapped. For this reason, there is a problem that the positional relationship between the large diameter portion and the small diameter portion of the stepped hole is shifted.
【０００８】また、特開平６−２２７８４３号公報に開
示されている段付き孔の形成方法では、感光性ガラス板
を熱処理して第１の潜像を結晶化させた後、第２の潜像
を形成するための露光を行う。従って、第２の潜像を形
成するための露光を行う際には、第１の潜像を結晶化さ
せるための熱処理によって感光性ガラス板に熱収縮が起
きているので、第２の潜像を形成する際のマスク合わせ
が難しい。このため、第２の潜像の位置を精度よく設定
できない。それ故、この方法でも、段付き孔の大径部分
と小径部分の位置関係がずれてしまう。また、第２の潜
像に対するエッチング深さによって小径部分の深さ寸法
や大径部分の深さ寸法が決まるが、このような深さ寸法
を高い精度で制御できるほどエッチング条件を管理する
のは困難である。しかも、第２の潜像の途中までしかエ
ッチングしないので、第２潜像の残された部分の表面が
孔内の段差面となるが、この第２の潜像の残された部分
の表面を平坦にエッチングするのは困難である。このた
め、段付き孔の内面は粗いものとなってしまう。In the method for forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-227843, a photosensitive glass plate is heat-treated to crystallize a first latent image and then to form a second latent image. Exposure for forming is performed. Therefore, when the exposure for forming the second latent image is performed, the heat treatment for crystallizing the first latent image causes thermal contraction of the photosensitive glass plate. It is difficult to align the mask when forming the mask. For this reason, the position of the second latent image cannot be set accurately. Therefore, even in this method, the positional relationship between the large diameter portion and the small diameter portion of the stepped hole is shifted. In addition, the depth of the small diameter portion and the depth of the large diameter portion are determined by the etching depth of the second latent image. However, it is difficult to control the etching condition so that such a depth can be controlled with high accuracy. Have difficulty. Moreover, since the etching is performed only halfway through the second latent image, the surface of the remaining portion of the second latent image becomes a stepped surface in the hole, but the surface of the remaining portion of the second latent image is removed. It is difficult to etch flat. For this reason, the inner surface of the stepped hole becomes rough.
【０００９】さらに、特開平６−２８６１６３号公報に
開示されている段付き孔の形成方法では、第２の潜像を
形成する際の露光量によって段付き孔の大径部分の深さ
寸法を決めることになるが、このような深さ寸法を高い
精度で制御できるほど露光量を管理するのは困難であ
る。Further, in the method of forming a stepped hole disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-286163, the depth dimension of the large-diameter portion of the stepped hole is adjusted by the exposure amount when forming the second latent image. As will be determined, it is difficult to control the exposure so that such a depth dimension can be controlled with high accuracy.
【００１０】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
感光性ガラスからなる板材の表裏に高い位置精度で、か
つ、深さ寸法の精度の高い孔をそれぞれ形成することの
できる感光性ガラス板への孔開け加工方法を提供するこ
とにある。[0010] In view of the above problems, an object of the present invention is to provide:
It is an object of the present invention to provide a method for forming a hole in a photosensitive glass plate that can form holes with high positional accuracy and high accuracy in depth dimensions on the front and back of a plate made of photosensitive glass.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の感光性ガラス板への孔開け加工方法は、紫
外線を遮光する遮光フィルムを挟んで第１の感光性ガラ
ス板と第２の感光性ガラス板とを重ねた状態に基板同士
を仮固定する仮固定工程と、前記第１の感光性ガラス板
に第１のマスクを介して紫外線を照射して第１の潜像部
を形成するとともに、前記第２の感光性ガラス板に第２
のマスクを介して紫外線を照射して第２の潜像部を形成
する露光工程と、前記第１および第２の感光性ガラス板
の間から前記遮光フィルムを抜き取るフィルム抜取り工
程と、前記第１および第２の感光性ガラス板同士を密着
させた状態で前記第１および第２の感光性ガラス板に熱
処理を行って前記第１および第２の潜像部を結晶化する
とともに前記第１および第２の感光性ガラス板同士を融
着させて積層ガラスとする熱処理工程と、前記積層ガラ
スから前記第１および第２の潜像部をエッチング除去す
ることにより当該積層ガラスの表裏に孔を形成するエッ
チング工程とを有することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a method for forming a hole in a photosensitive glass plate according to the present invention is characterized in that the first photosensitive glass plate and the first photosensitive glass plate are sandwiched by a light-shielding film for shielding ultraviolet rays. A temporary fixing step of temporarily fixing the substrates in a state where the two photosensitive glass plates are overlapped with each other, and irradiating the first photosensitive glass plate with ultraviolet rays through a first mask to form a first latent image portion. And forming a second photosensitive glass plate on the second photosensitive glass plate.
An exposure step of irradiating ultraviolet rays through a mask to form a second latent image portion, a film extracting step of extracting the light-shielding film from between the first and second photosensitive glass plates, The first and second photosensitive glass plates are subjected to a heat treatment in a state in which the first and second photosensitive glass plates are in close contact with each other to crystallize the first and second latent image portions, and the first and second latent image portions are crystallized. A heat treatment step of fusing the photosensitive glass plates together to form a laminated glass, and etching to form holes on the front and back of the laminated glass by etching away the first and second latent image portions from the laminated glass. And a process.
【００１２】本発明では、仮固定工程において第１およ
び第２の感光性ガラス板を重ねた状態で仮固定してか
ら、第１および第２の感光性ガラス板に対する露光工
程、熱処理工程、およびエッチング工程を行うので、第
１および第２の感光性ガラス板のいずれに対しても熱処
理によって熱膨張や熱収縮が生じる前に露光工程を行う
ことになる。従って、第１および第２の感光性ガラス板
のそれぞれに形成した第１および第２の潜像部（第１お
よび第２の潜像部をエッチング除去することによって形
成される各孔）の間に高い位置精度を確保できる。ま
た、第１および第２の感光性ガラス板を重ねる際に第１
および第２の感光性ガラス板を高い精度で位置合わせす
る必要がないので、感光性ガラス板に対してアライメン
トマークを付けたり、感光性ガラス板を位置合わせする
ための高価な設備を準備する必要がない。In the present invention, in the temporary fixing step, the first and second photosensitive glass plates are temporarily fixed in an overlapped state, and then the first and second photosensitive glass plates are exposed, a heat treatment step, Since the etching step is performed, the exposure step is performed on both the first and second photosensitive glass plates before thermal expansion or contraction occurs due to the heat treatment. Therefore, between the first and second latent image portions (each hole formed by etching and removing the first and second latent image portions) formed on the first and second photosensitive glass plates, respectively. High positional accuracy. In addition, when the first and second photosensitive glass plates are stacked,
In addition, since it is not necessary to align the second photosensitive glass plate with high accuracy, it is necessary to provide an alignment mark on the photosensitive glass plate and to prepare expensive equipment for aligning the photosensitive glass plate. There is no.
【００１３】また、仮固定工程によって仮固定され、か
つ、露光工程によってマスク露光された第１および第２
の感光性ガラス板は、熱処理工程で起こる自己融着によ
って仮固定された位置関係のまま自動的に貼り合わされ
る。また、熱処理工程では、別々に熱処理を施す方法と
は違い、第１および第２の感光性ガラス板が同一条件下
で溶融するので、熱収縮量が同等である。従って、第１
の感光性ガラス板と第２の感光性ガラス板とを貼り合わ
せる際の誤差によって第１および第２の潜像部の間の位
置精度（第１および第２の潜像部に相当する部分に形成
された孔の間の位置精度）が低下するということがな
い。しかも、第１の感光性ガラス板と第２の感光性ガラ
ス板とは自己融着により貼り合わされるので、貼り合わ
せに際して応力が発生しない。それ故、第１の感光性ガ
ラス板と第２の感光性ガラス板の接合強度が高いという
利点もある。Also, the first and second masks temporarily fixed in the temporary fixing step and mask-exposed in the exposure step are provided.
Are automatically bonded together in a temporarily fixed positional relationship by self-fusion that occurs in a heat treatment process. In the heat treatment step, unlike the method in which the heat treatment is performed separately, the first and second photosensitive glass plates are melted under the same condition, so that the heat shrinkage amounts are the same. Therefore, the first
The positional accuracy between the first and second latent image portions (in the portion corresponding to the first and second latent image portions) depends on an error in bonding the photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate to each other. The position accuracy between the formed holes is not reduced. Moreover, since the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate are bonded by self-fusion, no stress is generated at the time of bonding. Therefore, there is also an advantage that the bonding strength between the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate is high.
【００１４】さらに、第１の感光性ガラス板と第２の感
光性ガラス板との間に遮光フィルムを挟んだ状態で露光
工程を行うので、第１の潜像部の深さ寸法は第１の感光
性ガラス板の厚さ寸法に一致し、第２の潜像部の深さ寸
法は第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致する。従っ
て、露光量が変動しても、第１および第２の潜像部の各
深さ寸法は第１および第２の感光性ガラス板の厚さ寸法
に一致する。しかも、エッチング工程では、潜像部に対
するエッチングを途中で停止させる方法とは違って、第
１および第２の感光性ガラス板に形成された第１および
第２の潜像部全体を除去するので、エッチング時間が変
動しても、そこに形成される孔の深さ寸法は、第１およ
び第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致するので、第
１および第２の感光性ガラス板のそれぞれに形成した孔
の深さ寸法の精度が高い。Further, since the exposure step is performed with the light-shielding film sandwiched between the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate, the depth dimension of the first latent image portion is the first latent image portion. And the depth dimension of the second latent image portion coincides with the thickness dimension of the second photosensitive glass plate. Therefore, even if the exposure amount fluctuates, each depth dimension of the first and second latent image portions matches the thickness dimension of the first and second photosensitive glass plates. Moreover, in the etching step, unlike the method of stopping the etching of the latent image portion halfway, the entire first and second latent image portions formed on the first and second photosensitive glass plates are removed. Even if the etching time varies, the depth dimension of the hole formed therein matches the thickness dimension of the first and second photosensitive glass plates, so that the first and second photosensitive glass plates The accuracy of the depth dimension of the hole formed in each of the above is high.
【００１５】さらにまた、潜像部とそうでない部分の境
界面が孔の内面となるので、潜像部の途中までしかエッ
チング除去しない方法と比較して、内面が平滑な孔を形
成できる。Furthermore, since the boundary surface between the latent image portion and the portion other than the latent image portion becomes the inner surface of the hole, a hole having a smoother inner surface can be formed as compared with the method in which etching is removed only halfway through the latent image portion.
【００１６】本発明では、第１および第２の感光性ガラ
ス板の間で異なる位置に潜像部を形成することにより、
これらの感光性ガラス板からなる積層ガラスの表裏に独
立した孔を形成してもよいが、前記露光工程において、
前記第１の潜像部と前記第２の潜像部とが互いに異なる
径寸法をもって重なるように露光すれば、前記積層ガラ
スに対して段付き孔を形成することができる。In the present invention, by forming latent image portions at different positions between the first and second photosensitive glass plates,
Although independent holes may be formed on the front and back of the laminated glass composed of these photosensitive glass plates, in the exposure step,
If exposure is performed so that the first latent image portion and the second latent image portion overlap with different diameters, a stepped hole can be formed in the laminated glass.
【００１７】本発明において、前記仮固定工程では、前
記熱処理工程で消失可能な接着剤を用いて前記第１の感
光性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板とを仮固定す
ることが好ましい。このように構成すると、第１および
第２の感光性ガラス板同士を手間をかけずに仮固定でき
るとともに、第１および第２の感光性ガラス板を熱処理
して相互に融着させる際に接着剤が自動的に消失するの
で、融着後に仮固定を解除する手間を省くことができ
る。In the present invention, in the temporary fixing step, it is preferable that the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate are temporarily fixed using an adhesive which can be eliminated in the heat treatment step. . With this configuration, the first and second photosensitive glass plates can be temporarily fixed without any trouble, and can be bonded when the first and second photosensitive glass plates are heat-treated and fused to each other. Since the agent disappears automatically, the trouble of releasing the temporary fixing after the fusion can be saved.
【００１８】本発明において、前記第１および第２の感
光性ガラス板を備える前記積層ガラスに、さらに第３の
感光性ガラス板を積層し、前記第３の積層ガラス板にも
孔を形成することにより、さらに複雑な形状の孔や凹部
を形成してもよい。In the present invention, a third photosensitive glass plate is further laminated on the laminated glass provided with the first and second photosensitive glass plates, and a hole is also formed in the third laminated glass plate. By doing so, holes or recesses having more complicated shapes may be formed.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の感光性ガラス板への孔開け加工方法の実施の形態を説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the method for perforating a photosensitive glass plate according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２０】［段付き孔の形成方法］図１（Ａ）〜
（Ｆ）は、本発明の感光性ガラス板への孔開け加工方法
を示す説明図である。これらの図を参照して、感光性ガ
ラス板に段付き孔を形成する方法を説明する。[Method of Forming Stepped Hole] FIGS.
(F) is an explanatory view showing a method of perforating a photosensitive glass plate of the present invention. With reference to these drawings, a method of forming a stepped hole in the photosensitive glass plate will be described.
【００２１】図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、まず、
ＬｉＯ2 などを含有する感光性ガラス板（第１および第
２の感光性ガラス板１、２）を２枚、準備する。この感
光性ガラス板は、紫外線照射された部分に熱処理を施す
と、リチウムシリケート（Ｓｉ−ＬｉＯ2 ）の微細な結
晶が析出し、このような微細な結晶が析出した部分は弗
酸（フッ化水素酸）系のエッチングによってエッチング
除去できる性質を有する。そこで、本形態では、このよ
うな性質を利用して、表裏に孔の形成された感光性ガラ
スからなる板材（後述する積層ガラス）を製造すること
を特徴とする。As shown in FIGS. 1A and 1B, first,
Two photosensitive glass plates (first and second photosensitive glass plates 1 and 2) containing LiO 2 or the like are prepared. When the photosensitive glass plate is subjected to a heat treatment at a portion irradiated with ultraviolet rays, fine crystals of lithium silicate (Si—LiO 2 ) are precipitated. It has the property that it can be removed by etching with (hydrogen acid) -based etching. Therefore, the present embodiment is characterized in that a plate material (laminated glass described later) made of photosensitive glass having holes formed on the front and back sides is manufactured using such properties.
【００２２】本形態では、２枚の感光性ガラス板のう
ち、第１の感光性ガラス板１の厚さ寸法はｔ１であり、
第２の感光性ガラス板２の厚さ寸法はｔ２である。In this embodiment, of the two photosensitive glass plates, the thickness of the first photosensitive glass plate 1 is t1,
The thickness dimension of the second photosensitive glass plate 2 is t2.
【００２３】（仮固定工程）このように準備した２枚の
感光性ガラス板のうち、図１（Ａ）に示すように、第１
の感光性ガラス板１の上面に紫外線を遮光する遮光フィ
ルム３を重ね、次に、図１（Ｂ）に示すように、遮光フ
ィルム３の上に第２の感光性ガラス板２を重ねる。ここ
で、遮光フィルム３は、第１および第２の感光性ガラス
板１、２の寸法よりも長めであるため、遮光フィルム３
は、第１および第２の感光性ガラス板１、２の間からは
み出た状態にある。(Temporary Fixing Step) Of the two photosensitive glass plates thus prepared, as shown in FIG.
A light-shielding film 3 for shielding ultraviolet rays is overlaid on the upper surface of the photosensitive glass plate 1, and then a second photosensitive glass plate 2 is overlaid on the light-shielding film 3 as shown in FIG. Here, since the light-shielding film 3 is longer than the dimensions of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2,
Is protruding from between the first and second photosensitive glass plates 1 and 2.
【００２４】本形態では、遮光フィルム３は、例えば黒
色の塩化ビニルフィルムであって、その厚さは５〜１０
μｍである。In the present embodiment, the light-shielding film 3 is, for example, a black vinyl chloride film having a thickness of 5 to 10 mm.
μm.
【００２５】次に、遮光フィルム３を挟んだ状態に重ね
合わされた第１および第２の感光性ガラス板１、２の側
面に対して接着剤４を塗布して、第１および第２の感光
性ガラス板１、２を仮固定する。Next, an adhesive 4 is applied to the side surfaces of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 which are overlapped with the light shielding film 3 interposed therebetween, and the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are applied. Temporary glass plates 1 and 2 are temporarily fixed.
【００２６】この際に、第１および第２の感光性ガラス
板１、２を仮固定する接着剤４、４が遮光フィルム３に
付着しないようにする。従って、後の工程で遮光フィル
ム３の一端部３１を引っ張れば、第１および第２の感光
性ガラス板１、２の間から遮光フィルム３を引き抜くこ
とができる。At this time, the adhesives 4 for temporarily fixing the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are not attached to the light-shielding film 3. Therefore, if the one end 31 of the light-shielding film 3 is pulled in a later step, the light-shielding film 3 can be pulled out from between the first and second photosensitive glass plates 1 and 2.
【００２７】（露光工程）次に、図１（Ｃ）に示すよう
に、第１の感光性ガラス板１の表面１２に紫外線を遮光
する第１のマスク５を位置合わせして取り付ける。第１
のマスク５には第１の円形窓５１が形成されている。ま
た、第２の感光性ガラス板２の表面２２には紫外線を遮
光する第２のマスク６を位置合わせして取り付ける。第
２のマスク６には第１の円形窓５１よりも大きめの第２
の円形窓６１が形成されている。ここで、第１および第
２のマスク５、６を第１および第２の感光性ガラス板
１、２の表面１２、２２に正確に位置合わせすれば、第
１の円形窓５１の中心と第２の円形孔の中心は第１およ
び第２の感光性ガラス板１、２の表面１２、２２に垂直
な軸線Ｌ上で重なる。(Exposure Step) Next, as shown in FIG. 1C, a first mask 5 for shielding ultraviolet rays is positioned and attached to the surface 12 of the first photosensitive glass plate 1. First
The mask 5 has a first circular window 51 formed therein. In addition, a second mask 6 for shielding ultraviolet rays is positioned and attached to the surface 22 of the second photosensitive glass plate 2. The second mask 6 has a second circular window 51 which is larger than the first circular window 51.
Circular window 61 is formed. Here, if the first and second masks 5 and 6 are accurately aligned with the surfaces 12 and 22 of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2, the center of the first circular window 51 and the second The centers of the two circular holes overlap on an axis L perpendicular to the surfaces 12, 22 of the first and second photosensitive glass plates 1, 2.
【００２８】このようにマスクされた第１の感光性ガラ
ス板１の表面１２に対して垂直に紫外線を照射する。こ
のようにすると、第１の感光性ガラス板１には、第１の
円形窓５１に対応する断面形状をもって第１の感光性ガ
ラス板１の厚さ方向に延びる円柱状の第１の潜像部１１
が形成される。すなわち、第１および第２の感光性ガラ
ス板１、２の間には遮光フィルム３が挟まれているの
で、第１の感光性ガラス板１の表面１２に照射した紫外
線は第１の感光性ガラス板１を透過するが、遮光フィル
ム３によって遮光され、第２の感光性ガラス板２には届
かない。Ultraviolet rays are irradiated perpendicularly to the surface 12 of the first photosensitive glass plate 1 thus masked. Thus, the first photosensitive glass plate 1 has a columnar first latent image extending in the thickness direction of the first photosensitive glass plate 1 with a sectional shape corresponding to the first circular window 51. Part 11
Is formed. That is, since the light-shielding film 3 is sandwiched between the first and second photosensitive glass plates 1 and 2, the ultraviolet light radiated to the surface 12 of the first photosensitive glass plate 1 Although transmitted through the glass plate 1, it is shielded from light by the light-shielding film 3 and does not reach the second photosensitive glass plate 2.
【００２９】また、第２の感光性ガラス板２の表面２２
に対しても垂直に紫外線を照射する。このようにする
と、第２の感光性ガラス板２には、第２の円形窓６１に
対応する断面形状をもって第２の感光性ガラス板２の厚
さ方向に延びる円柱状の第２の潜像部２１が形成され
る。すなわち、第１および第２の感光性ガラス板１、２
の間には遮光フィルム３が挟まれているので、第２の感
光性ガラス板２の表面２２に照射した紫外線は第２の感
光性ガラス板２を透過するが、遮光フィルム３によって
遮光され、第１の感光性ガラス板１には届かない。The surface 22 of the second photosensitive glass plate 2
Are also irradiated with ultraviolet rays vertically. In this way, the second photosensitive glass plate 2 has a columnar second latent image extending in the thickness direction of the second photosensitive glass plate 2 with a sectional shape corresponding to the second circular window 61. The part 21 is formed. That is, the first and second photosensitive glass plates 1, 2
Since the light-shielding film 3 is interposed therebetween, the ultraviolet light applied to the surface 22 of the second photosensitive glass plate 2 passes through the second photosensitive glass plate 2, but is shielded by the light-shielding film 3, It does not reach the first photosensitive glass plate 1.
【００３０】（フィルム抜取り工程）次に、図１（Ｄ）
に示すように、第１および第２の感光性ガラス板１、２
の間から遮光フィルム３を引き抜き取る。(Film Extraction Step) Next, FIG.
As shown in FIG. 1, the first and second photosensitive glass plates 1 and 2
The light-shielding film 3 is pulled out from between.
【００３１】そして、第１および第２の感光性ガラス板
１、２を挟むような荷重をかけて第１および第２の感光
性ガラス板１、２の互いに対峙した内面１３、２３同士
を密着させる。この際に、第１および第２の感光性ガラ
ス板１、２が位置ずれしないようにする。Then, the inner surfaces 13 and 23 of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 facing each other are adhered to each other by applying a load so as to sandwich the first and second photosensitive glass plates 1 and 2. Let it. At this time, the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are prevented from being displaced.
【００３２】（熱処理工程）このようにして第１および
第２の感光性ガラス板１、２を密着させたまま、第１お
よび第２の感光性ガラス板１、２に熱処理（熱現像処
理）を施す。その結果、図１（Ｅ）に示すように、第１
および第２の感光性ガラス板１、２に形成された第１お
よび第２の潜像部１１、２１が結晶化し、エッチングさ
れやすくなる。また、第１および第２の感光性ガラス板
１、２の相互に密着した内面１３、２３同士が自己融着
して、１枚の感光性ガラス板７（積層ガラス）が形成さ
れる。さらに、第１および第２の感光性ガラス板１、２
を仮固定していた接着剤７は熱によって消失する。(Heat treatment step) The first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are heat-treated (thermal development process) while the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are kept in close contact with each other. Is applied. As a result, as shown in FIG.
In addition, the first and second latent image portions 11 and 21 formed on the second photosensitive glass plates 1 and 2 are crystallized and are easily etched. Further, the inner surfaces 13 and 23 of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 which are in close contact with each other are self-fused to form one photosensitive glass plate 7 (laminated glass). Further, the first and second photosensitive glass plates 1, 2
Is temporarily fixed by heat.
【００３３】（エッチング工程）次に、感光性ガラス板
７をフッ酸等のエッチング液に浸漬することにより、感
光性ガラス板７に形成されている第１および第２の潜像
部１１、２１を除去する。このようにすると、図１
（Ｆ）に示すように、感光性ガラス板７には、第１の潜
像部１１が除去されて形成された小径孔部分１４と、第
２の潜像部２１が除去されて形成された大径孔部分２４
とが連結された段付き孔８が形成される。(Etching Step) Next, the first and second latent image portions 11, 21 formed on the photosensitive glass plate 7 are immersed in an etching solution such as hydrofluoric acid. Is removed. In this case, FIG.
As shown in (F), the photosensitive glass plate 7 is formed by removing the small diameter hole portion 14 formed by removing the first latent image portion 11 and by removing the second latent image portion 21. Large diameter hole 24
And a stepped hole 8 is formed.
【００３４】［本形態の効果］本形態の加工方法によれ
ば、仮固定工程において第１および第２の感光性ガラス
板１、２を重ねた状態で仮固定してから、第１および第
２の感光性ガラス板１、２に対する露光工程、熱処理工
程、およびエッチング工程を行うので、第１および第２
の感光性ガラス板１、２のいずれに対しても熱処理によ
って熱膨張や熱収縮が生じる前に露光工程を行うことに
なる。従って、第１の感光性ガラス板１に形成した第１
の潜像部１１の中心と第２の感光性ガラス板２に形成し
た第２の潜像部２１の中心とを完全に一致させることが
できる。このため、第１の潜像部１１をエッチング除去
することにより形成された小径孔部分１４の中心軸線Ｌ
１と第２の潜像部２１をエッチング除去することにより
形成された大径孔部分２４の中心軸線Ｌ２とが完全に一
致した位置精度の高い段付き孔８を形成することができ
る。また、第１および第２の感光性ガラス板１、２を重
ねる際に第１および第２の感光性ガラス板１、２を高い
精度で位置合わせする必要がないので、感光性ガラス板
に対してアライメントマークを付けたり、感光性ガラス
板を位置合わせするための高価な設備を準備する必要が
ない。[Effects of the present embodiment] According to the working method of the present embodiment, the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are temporarily fixed in an overlapping state in the temporary fixing step, and then the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are temporarily fixed. The first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are subjected to an exposure step, a heat treatment step, and an etching step.
The exposure process is performed before any of the photosensitive glass plates 1 and 2 undergoes thermal expansion or thermal contraction due to heat treatment. Therefore, the first photosensitive glass plate 1
And the center of the second latent image portion 21 formed on the second photosensitive glass plate 2 can be completely matched. Therefore, the central axis L of the small-diameter hole portion 14 formed by etching the first latent image portion 11 is removed.
By removing the first and second latent image portions 21 by etching, it is possible to form the stepped hole 8 with high positional accuracy, in which the central axis L2 of the large-diameter hole portion 24 completely matches. In addition, when the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are overlapped, it is not necessary to align the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 with high accuracy. There is no need to prepare expensive equipment for making alignment marks and aligning the photosensitive glass plate.
【００３５】また、仮固定工程によって仮固定され、か
つ、露光工程によってマスク露光された第１および第２
の感光性ガラス板１、２は、熱処理工程で起こる自己融
着によって仮固定された位置関係のまま自動的に貼り合
わされる。また、熱処理工程では、別々に熱処理を施す
方法とは違い、第１および第２の感光性ガラス板１、２
が同一条件下で溶融するので、熱収縮量が同等である。
従って、第１の感光性ガラス板１と第２の感光性ガラス
板２とを貼り合わせる際の誤差によって第１および第２
の潜像部１１、２１の間の位置精度、ひいては第１およ
び第２の潜像部１１、２１に相当する部分に形成される
段付き孔８の小径孔部分１４と大径孔部分２４との間の
位置精度が低下するということがない。Further, the first and second masks temporarily fixed in the temporary fixing step and exposed by the mask in the exposure step are used.
The photosensitive glass plates 1 and 2 are automatically bonded together in a temporarily fixed positional relationship by self-fusion that occurs in a heat treatment process. In the heat treatment step, unlike the method in which heat treatment is performed separately, the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are different from each other.
Melt under the same conditions, and thus have the same heat shrinkage.
Accordingly, the first and second photosensitive glass plates 1 and the second photosensitive glass plate 2 may be bonded to each other by an error when the first and second photosensitive glass plates 2 are bonded to each other.
And the large-diameter hole portion 24 of the stepped hole 8 formed in the portion corresponding to the first and second latent image portions 11 and 21. Is not reduced.
【００３６】しかも、第１の感光性ガラス板と第２の感
光性ガラス板とは自己融着により貼り合わされるので、
貼り合わせに際して応力が発生しない。それ故、第１の
感光性ガラス板１と第２の感光性ガラス板２の接合強度
が高いという利点もある。Moreover, since the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate are bonded by self-fusion,
No stress is generated during bonding. Therefore, there is also an advantage that the bonding strength between the first photosensitive glass plate 1 and the second photosensitive glass plate 2 is high.
【００３７】さらに、第１の感光性ガラス板１と第２の
感光性ガラス板２との間に遮光フィルムを挟んだ状態で
露光工程を行うので、第１の潜像部１１の深さ寸法ｄ１
は第１の感光性ガラス板の厚さ寸法ｔ１に一致し、第２
の潜像部２１の深さ寸法ｄ２は第２の感光性ガラス板２
の厚さ寸法ｔ２に一致する。従って、露光量が変動して
も、第１および第２の潜像部１１、２１の各深さ寸法ｄ
１、ｄ２は第１および第２の感光性ガラス板１、２の厚
さ寸法ｔ１、ｔ２に一致する。従って露光量を管理する
ことによって潜像部の深さ寸法を決める方法とは違い、
第１および第２の潜像部１１、２１の深さ寸法ｄ１、ｄ
２を容易に、かつ、正確に決めることができる。しか
も、エッチング工程では、潜像部に対するエッチングを
途中で停止させる方法とは違って、第１および第２の感
光性ガラス板１、２に形成された第１および第２の潜像
部１１、２１の全体を除去するので、エッチング時間が
変動しても、そこに形成される小径孔部分１４と大径孔
部分２４の深さ寸法ｄ１、ｄ２は、第１および第２の感
光性ガラス板１、２の厚さ寸法ｔ１、ｔ２に一致する。
従って、第１および第２の感光性ガラス板１、２のそれ
ぞれに形成した小径孔部分１４と大径孔部分２４の深さ
寸法ｄ１、ｄ２の精度が高い。それ故、深さ寸法の精度
が高い段付き孔８を形成できる。Further, since the exposure process is performed with the light-shielding film sandwiched between the first photosensitive glass plate 1 and the second photosensitive glass plate 2, the depth dimension of the first latent image portion 11 is increased. d1
Corresponds to the thickness t1 of the first photosensitive glass plate,
Of the latent image portion 21 of the second photosensitive glass plate 2
Corresponds to the thickness t2. Therefore, even if the exposure amount fluctuates, each depth dimension d of the first and second latent image portions 11 and 21
1 and d2 correspond to the thickness dimensions t1 and t2 of the first and second photosensitive glass plates 1 and 2, respectively. Therefore, unlike the method of determining the depth size of the latent image portion by controlling the exposure amount,
Depth dimensions d1, d of first and second latent image portions 11, 21
2 can be easily and accurately determined. Moreover, in the etching step, unlike the method of stopping the etching of the latent image portion halfway, the first and second latent image portions 11 formed on the first and second photosensitive glass plates 1 and 2, 21 is removed, the depths d1 and d2 of the small-diameter hole portion 14 and the large-diameter hole portion 24 formed therein are changed to the first and second photosensitive glass plates even if the etching time varies. This corresponds to the thickness dimensions t1 and t2 of 1 and 2.
Therefore, the accuracy of the depth dimensions d1 and d2 of the small-diameter hole portion 14 and the large-diameter hole portion 24 formed in the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 is high. Therefore, the stepped hole 8 with high depth dimension accuracy can be formed.
【００３８】さらにまた、第１および第２の潜像部１
１、２１とそうでない部分の境界面が段付き孔８の内面
となるので、内面が平滑な段付き孔８を形成できる。Further, the first and second latent image portions 1
Since the boundary surface between the portions 1 and 21 and the other portion is the inner surface of the stepped hole 8, the stepped hole 8 having a smooth inner surface can be formed.
【００３９】また、仮固定工程では、第１の感光性ガラ
ス板１と第２の感光性ガラス板２とを仮固定するのに接
着剤４を用いているので、第１および第２の感光性ガラ
ス板１、２同士を手間をかけずに仮固定できる。また、
この接着剤４は、熱処理工程で第１および第２の感光性
ガラス板１、２同士が自己融着して積層ガラスとなる際
に熱によって自動的に消失してしまうので、融着後に仮
固定を解除する手間を省くことができる。In the temporary fixing step, since the adhesive 4 is used to temporarily fix the first photosensitive glass plate 1 and the second photosensitive glass plate 2, the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are fixed. Temporary glass plates 1 and 2 can be temporarily fixed without trouble. Also,
The adhesive 4 automatically disappears due to heat when the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 are self-fused into a laminated glass in a heat treatment process. The trouble of releasing the fixation can be saved.
【００４０】［その他の実施の形態］なお、上記形態で
は、露光工程において、第１の潜像部１１と第２の潜像
部２１とが互いに異なる径寸法をもって重なるように露
光することにより、積層ガラス７に対して段付き孔８を
形成しているが、第１および第２の感光性ガラス板の間
で異なる位置に潜像部を形成することにより、これらの
感光性ガラス板からなる積層ガラスの表裏に独立した孔
を形成してもよい。[Other Embodiments] In the above embodiment, in the exposure step, the first latent image portion 11 and the second latent image portion 21 are exposed so that they overlap with different diameters. The stepped hole 8 is formed in the laminated glass 7, but by forming a latent image portion at a different position between the first and second photosensitive glass plates, the laminated glass composed of these photosensitive glass plates is formed. Independent holes may be formed on the front and back of the device.
【００４１】また、第１および第２の感光性ガラス板
１、２を備える積層ガラス７に、さらに第３の感光性ガ
ラス板を積層し、この第３の積層ガラス板にも孔を形成
することにより、さらに複雑な形状の孔や凹部を形成す
ることができる。Further, a third photosensitive glass plate is further laminated on the laminated glass 7 provided with the first and second photosensitive glass plates 1 and 2, and a hole is formed in the third laminated glass plate. This makes it possible to form holes and recesses having more complicated shapes.
【００４２】例えば、図２（Ａ）に示すように、仮固定
工程および露光工程を行うことにより、遮光フィルム３
を挟んで重ね合わされ、かつ、第１および第２の潜像部
１１、２１が形成された状態の第１および第２の感光性
ガラス板１、２に対して、図２（Ｂ）に示すように、遮
光フィルム３Ａを挟んで第３の感光性ガラス板９を仮固
定する。次に、第３の感光性ガラス板９の表面に、円形
窓９３が形成されたマスク９２を介して紫外線を照射し
て、第３の潜像部９１を形成する。次に、フィルム抜取
り工程を行い、しかる後に熱処理工程を行うことによ
り、図２（Ｃ）に示すように、第１〜第３の感光性ガラ
ス板１、２、９同士を融着させると共に、潜像部１１、
２１、９１が結晶化された積層ガラス７Ａを形成する。
この積層ガラス７Ａをエッチング液に浸漬することによ
り、図２（Ｄ）に示すように、積層ガラス７Ａに形成さ
れた潜像部１１、２１、９１を除去する。その結果、積
層ガラス７Ａには、潜像部１１、２１、９１に対応する
３つの孔１４、２４、９４が組み合わされた複雑な形状
の孔８Ａが形成される。For example, as shown in FIG. 2A, by performing a temporary fixing step and an exposure step,
FIG. 2 (B) shows the first and second photosensitive glass plates 1 and 2 in a state where the first and second latent image portions 11 and 21 are overlapped with each other and the first and second latent image portions 11 and 21 are formed. Thus, the third photosensitive glass plate 9 is temporarily fixed with the light-shielding film 3A interposed therebetween. Next, the surface of the third photosensitive glass plate 9 is irradiated with ultraviolet rays through a mask 92 in which a circular window 93 is formed to form a third latent image portion 91. Next, by performing a film removing step and then performing a heat treatment step, as shown in FIG. 2C, the first to third photosensitive glass plates 1, 2, and 9 are fused together, Latent image section 11,
21 and 91 form the crystallized laminated glass 7A.
By immersing the laminated glass 7A in an etchant, the latent image portions 11, 21, 91 formed on the laminated glass 7A are removed as shown in FIG. 2 (D). As a result, in the laminated glass 7A, a hole 8A having a complicated shape in which three holes 14, 24, and 94 corresponding to the latent image portions 11, 21, and 91 are combined is formed.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の感光性ガ
ラス板への孔開け加工方法では、熱処理を施す前に第１
および第２の感光性ガラス板に対して露光工程を行うの
で、第１および第２の感光性ガラス板に形成する第１お
よび第２の潜像部の間に高い位置精度を確保できる。ま
た、第１および第２の感光性ガラス板は、熱処理工程で
起こる自己融着によって仮固定された位置関係のまま貼
り合わされるので、第１および第２の潜像部の間の位置
精度は低下しない。従って、第１および第２の潜像部を
除去することによって形成される各孔の間に高い位置精
度を確保できる。さらに、第１の感光性ガラス板と第２
の感光性ガラス板との間に遮光フィルムを挟んだ状態で
露光工程を行うので、第１および第２の潜像部の各深さ
寸法は第１および第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一
致する。しかも、エッチング工程では、第１および第２
の感光性ガラス板に形成された第１および第２の潜像部
全体を除去するので、そこに形成される孔の深さ寸法は
第１および第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致す
る。従って、第１および第２の感光性ガラス板のそれぞ
れに形成した孔の深さ寸法の精度が高い。さらにまた、
潜像部とそうでない部分の境界面が孔の内面となるの
で、内面が平滑な孔を形成できる。As described above, in the method for boring a photosensitive glass plate according to the present invention, the first process is performed before the heat treatment.
Since the exposure step is performed on the first and second photosensitive glass plates, high positional accuracy can be secured between the first and second latent image portions formed on the first and second photosensitive glass plates. In addition, since the first and second photosensitive glass plates are bonded together in a temporarily fixed positional relationship by self-fusion that occurs in the heat treatment process, the positional accuracy between the first and second latent image portions is improved. Does not drop. Therefore, high positional accuracy can be ensured between the holes formed by removing the first and second latent image portions. Further, the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate
Since the exposure step is performed with the light-shielding film sandwiched between the first and second photosensitive glass plates, the depth dimension of the first and second latent image portions is the thickness of the first and second photosensitive glass plates. Match the dimensions. Moreover, in the etching step, the first and second
Since the entirety of the first and second latent image portions formed on the photosensitive glass plate is removed, the depth dimension of the hole formed therein is reduced to the thickness dimension of the first and second photosensitive glass plates. Matches. Therefore, the precision of the depth dimension of the holes formed in each of the first and second photosensitive glass plates is high. Furthermore,
Since the boundary surface between the latent image portion and the portion other than the latent image portion is the inner surface of the hole, the inner surface can form a smooth hole.
【図１】（Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の感光性ガラス板へ
の孔開け加工方法を示す説明図である。FIGS. 1A to 1F are explanatory views showing a method for perforating a photosensitive glass plate according to the present invention.
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の感光性ガラス板へ
の孔開け加工方法によって複雑な形状の孔を形成する方
法を示す説明図である。FIGS. 2A to 2D are explanatory views showing a method of forming a hole having a complicated shape by a method of perforating a photosensitive glass plate according to the present invention.
１ 第１の感光性ガラス板 ２ 第２の感光性ガラス板 ３、３Ａ 遮光フィルム ４ 接着剤 ５ 第１のマスク ６ 第２のマスク ７、７Ａ 感光性ガラス板（積層ガラス） ８ 段付き孔 ９ 第３の感光性ガラス板 １１ 第１の潜像部 ２１ 第２の潜像部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st photosensitive glass plate 2 2nd photosensitive glass plate 3, 3A light shielding film 4 adhesive 5 1st mask 6 2nd mask 7, 7A photosensitive glass plate (laminated glass) 8 stepped hole 9 Third photosensitive glass plate 11 First latent image portion 21 Second latent image portion
Claims (4)
第１の感光性ガラス板と第２の感光性ガラス板とを重ね
た状態に基板同士を仮固定する仮固定工程と、前記第１
の感光性ガラス板に第１のマスクを介して紫外線を照射
して第１の潜像部を形成するとともに、前記第２の感光
性ガラス板に第２のマスクを介して紫外線を照射して第
２の潜像部を形成する露光工程と、前記第１および第２
の感光性ガラス板の間から前記遮光フィルムを抜き取る
フィルム抜取り工程と、前記第１および第２の感光性ガ
ラス板同士を密着させた状態で前記第１および第２の感
光性ガラス板に熱処理を行って前記第１および第２の潜
像部を結晶化するとともに前記第１および第２の感光性
ガラス板同士を融着させて積層ガラスとする熱処理工程
と、前記積層ガラスから前記第１および第２の潜像部を
エッチング除去することにより当該積層ガラスの表裏に
孔を形成するエッチング工程とを有することを特徴とす
る感光性ガラス板への孔開け加工方法。A temporary fixing step of temporarily fixing the substrates to each other in a state where the first photosensitive glass plate and the second photosensitive glass plate are stacked with a light-shielding film for shielding ultraviolet light interposed therebetween;
The photosensitive glass plate is irradiated with ultraviolet rays through a first mask to form a first latent image portion, and the second photosensitive glass plate is irradiated with ultraviolet rays through a second mask. An exposure step of forming a second latent image portion;
A film extracting step of extracting the light-shielding film from between the photosensitive glass plates, and performing a heat treatment on the first and second photosensitive glass plates in a state where the first and second photosensitive glass plates are in close contact with each other. A heat treatment step of crystallizing the first and second latent image portions and fusing the first and second photosensitive glass plates together to form a laminated glass; An etching step of forming a hole on the front and back of the laminated glass by etching away the latent image portion of (a).
前記第１の潜像部と前記第２の潜像部とが互いに異なる
径寸法をもって重なるように露光することにより、前記
積層ガラスに対して段付き孔を形成することを特徴とす
る感光性ガラス板への孔開け加工方法。2. The method according to claim 1, wherein in the exposing step,
A stepped hole is formed in the laminated glass by exposing the first latent image portion and the second latent image portion so as to overlap each other with different diameters. Drilling method for plate.
工程では、前記熱処理工程で除去可能な接着剤を用いて
前記第１の感光性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板
とを仮固定することを特徴とする感光性ガラス板への孔
開け加工方法。3. The temporary fixing step according to claim 1, wherein in the temporary fixing step, the first photosensitive glass sheet and the second photosensitive glass sheet are temporarily attached using an adhesive that can be removed in the heat treatment step. A method for forming a hole in a photosensitive glass plate, comprising fixing.
前記第１および第２の感光性ガラス板を備える前記積層
ガラスに、さらに第３の感光性ガラス板を積層し、前記
第３の積層ガラス板にも孔を形成することを特徴とする
感光性ガラス板への孔開け加工方法。4. The method according to claim 1, wherein
A third photosensitive glass plate is further laminated on the laminated glass provided with the first and second photosensitive glass plates, and a hole is also formed in the third laminated glass plate. Drilling method on glass plate.
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|---|---|---|---|
| JP21992898A JP2000053446A (en) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | Processing to make hole in photosensitive glass plate |
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