JP2000043277A - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 インクジェットヘッドの加工を容易にすると
共に、回路設計を容易にする。 【解決手段】 圧電体１の一面より圧力室３となる第１
の溝３０を形成し第１溝３０内面に内面電極２ａを形成
する。第１溝３０解放側に、内面電極２ａに導通する内
面電極取り出し層５ａを設け、内面電極取り出し層５ａ
の解放面の一部に剥離可能なカバー層７を設ける。更に
第１溝３０形成面側を覆う第１絶縁体層を形成し、スペ
ース室となる第２の溝を形成する。２溝内の圧電体１壁
面と第１絶縁体層の解放面を覆う外面電極を形成すし、
第１絶縁体層の一部と外面電極の一部を除去する。内面
電極取り出し層５ａの上に第２絶縁体層を形成する。第
２絶縁体層の一部を削って内面電極取り出し層５ａに導
通する内面電極導通部を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリンタ、プロッ
タ、ファクシミリや複写機等の文字・画像の印字記録に
使用されるオンデマンド方式のインクジェット記録用の
ヘッド、特に圧電体によるバイモルフ効果を利用した変
形により、圧力室内のインクをノズルを介して外部に吐
出するインクジェットヘッドの製造方法及びその構造に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年のオフィスオートメーション環境に
おいて、プリンタ等の記録装置の存在は不可欠であり、
これらの記録装置のパーソナルユース向けのものも普及
している。このうちプリンタでは、ワイヤを磁気駆動
し、インクリボン及び用紙を介してプラテンに押圧する
ことで印字を行うワイヤ駆動型のプリンタに比べ、騒音
が発生せず、比較的高速に印字でき、且つ一枚当たりの
印字コストも低いために、インクジェット式のプリンタ
が注目を浴びている。

【０００３】図４及び図５は、これらのプリンタ、その
他のインクジェット式記録装置に用いられるインクジェ
ットヘッドのうち、圧電体のバイモルフ効果をポンプ構
成に利用したものの基本構成を示している。即ち圧電体
１とこれとは異種の物とを接合し、その両側に電極２ａ
及び２ｂを設けた構成（但しその異種の物を電極の一方
２ａとしても良い）を圧力室３内のインクの圧力変動を
生ずる構成として用い、これらの電極間に電圧を印加す
ることでバイモルフ効果を得て、その変形を利用して該
圧電体１に隣接した圧力室３内のインクに圧力を加え、
該インクを外部に吐出するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記構成のインクジェ
ットヘッドを製造する場合、図６及び７に示すように、
圧電体１に対し圧力室３とスペース室４を構成する溝を
平行に設け、その内面に電極２ａ及び２ｂを形成してお
り、該電極の一方（図では厚みのある内面電極２ａ）を
圧電体とは異種の物とし、バイモルフ効果を得るための
複合板状部材としている。これらの電極を外部の電圧印
加制御回路につなげるために、電極取り出し構成とし
て、これらの図面に示されるように、溝形成面側とは別
の２面に、メッキ等により、夫々電極取り出し部５ｃ及
び５ｄを形成している（図７は図６の丁度反対側を示し
ている）。尚、スペース室４は、隣接する圧力室３の間
に介在し、一方の圧力室３が変形した場合に、隣接する
圧力室３へその変形が及ばないようにするためのもので
ある。

【０００５】上記電極には、圧力室に備えられたどの圧
電体の駆動にも共通に使用される共通電極と、インクを
吐出させる圧力室の各圧電体の電圧印加を選択的に行う
ために使用される個別電極とがある。そのうち、個別電
極に使用される構成では、図６に示されるように、１イ
ンク吐出構成毎に、電極取り出し部５ｃに切り込み６ｃ
を入れ、隣接するインク吐出構成と絶縁しなければなら
ない。また共通電極でも隣接する溝に形成された電極
（個別電極）と絶縁する必要があり、そのために、図８
に示すように、共通電極に通ずる圧電体１の他面に一旦
導通用の切り込み６ｄを形成した上で、メッキ等により
上記電極取り出し部５ｄをその全面に形成し、その後外
面を削り取って、溝内に残された電極取り出し部５ｄだ
けを残すようにしている。

【０００６】上記のような切り込み加工を行う場合、圧
力室３及びスペース室４を構成する溝加工を施す面とは
別の面を加工面とする必要があり、その度に該ヘッドの
向きを変えて固定し、加工面を上にしなければならず、
１インク吐出構成が２ｍｍ以下のサイズのヘッドでは、
加工が困難になり、生産効率及び生産歩留まりが低下す
るという問題があった。

【０００７】また圧力室３及びスペース室４と直交する
面に形成される電極取り出し部５ｃ及び５ｄでは、イン
クジェットヘッドの前面と後面等の２面（図６及び７参
照）から電圧印加制御回路につなげる構成が必要とな
り、インク吐出構成が複数ユニットとなるインクジェッ
トヘッドの構成では、これらの電源導通回路が混みいっ
て複雑になって、回路設計上問題であった。

【０００８】本発明は従来技術の以上のような問題に鑑
み創案されたもので、その第１の目的は、１つの面から
の加工で済むインクジェットヘッドの製造方法を提供
し、インクジェットヘッドの加工を容易にせんとするも
のである。また第２の目的は、各電極につながる電極取
り出し部の構成を１つの面に集めたヘッド構造を提供
し、回路設計を容易にせんとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そのため本発明の請求項
１のインクジェットヘッド製造方法に関する構成は、圧
電体の一面より圧力室となる第１の溝を形成する第１溝
形成工程と、第１溝内面に内面電極を形成する内面電極
形成工程と、第１溝解放側に、内面電極に導通する内面
電極取り出し層を設ける内面電極取り出し層形成工程
と、該内面電極取り出し層の解放面の一部に剥離可能な
カバー層を設けるカバー層形成工程と、前記内面電極取
り出し層及びカバー層を含む第１溝形成面側を覆う絶縁
体層を形成する絶縁体層形成工程と、該絶縁体層側から
圧電体の壁を残して第１溝に隣接するスペース室となる
第２の溝を形成する第２溝形成工程と、該第２溝内の圧
電体壁面と前記絶縁体層の解放面を覆う外面電極を形成
する外面電極形成工程と、前記カバー層を剥離せしめて
その上部に形成された絶縁体層の一部と外面電極の一部
を除去し、前記内面電極取り出し層を露出せしめるカバ
ー層剥離工程とを含むことを特徴としている。

【００１０】また請求項２のインクジェットヘッド製造
方法に関する構成は、圧電体の一面より圧力室となる第
１の溝を形成する第１溝形成工程と、第１溝内面に内面
電極を形成する内面電極形成工程と、第１溝解放側に、
内面電極に導通する内面電極取り出し層を設ける内面電
極取り出し層形成工程と、該内面電極取り出し層の解放
面の一部に剥離可能なカバー層を設けるカバー層形成工
程と、前記内面電極取り出し層及びカバー層を含む第１
溝形成面側を覆う第１絶縁体層を形成する第１絶縁体層
形成工程と、該第１絶縁体層側から圧電体の壁を残して
第１溝に隣接するスペース室となる第２の溝を形成する
第２溝形成工程と、該第２溝内の圧電体壁面と前記第１
絶縁体層の解放面を覆う外面電極を形成する外面電極形
成工程と、前記カバー層を剥離せしめてその上部に形成
された第１絶縁体層の一部と外面電極の一部を除去する
カバー層剥離工程と、露出した前記内面電極取り出し層
の上に第２絶縁体層を形成する第２絶縁体層形成工程
と、該第２絶縁体層の一部を削って内面電極取り出し層
に導通する内面電極導通部を形成する内面電極導通部形
成工程とを含むことを特徴としている。

【００１１】上記両構成とも、全工程において、一つの
面からの加工で済むことになる。但し、請求項１では、
カバー層剥離工程で、加工が完了しているが、そのた
め、カバー層の剥離によって露出した内面電極取り出し
層が、外面電極と共に、加工面側に露出することにな
り、該内面電極取り出し層と外面電極とを電圧印加制御
回路につなげれば良い。これに対し、請求項２では、カ
バー層剥離工程後に更に第２絶縁体層形成工程及び内面
電極導通部形成工程とを実施することになるが、第２絶
縁体層が形成されることによって、内面電極導通部と外
面電極との絶縁はより確実になる。また内面電極導通部
と外面電極とが段差がなく同一平面上に形成することが
できるため、電圧印加制御回路につなげる回路設計がし
易くなる。

【００１２】更に請求項３の構成は、上記製造方法によ
って形成されるインクジェットヘッドの構造と同一とな
るものであるが、下記のような構造を有することで、各
電極につながる電極取り出し部の構成を１つの面に集め
ることができ、回路設計を容易にすることができると言
う別の面の効果を奏するものである。その具体的構成と
しては、圧電体の壁面を挟んで圧力室側に内面電極とス
ペース室側にその異極となる対電極を有し、両電極に電
圧を印加した際に圧電体と電極の少なくとも一方との間
に生ずるバイモルフ効果によってこれらの変形を生ぜし
め、圧力室内部に充填されたインクを外部に吐出するイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記圧力室の上方に設け
られ内面電極に導通する内面電極取り出し層と、該内面
電極取り出し層の一部の上方に設けられた絶縁体層と、
該絶縁体層の上に設けられ、且つスペース室内の対電極
をその一部として含む外面電極とを有することを特徴と
している。

【００１３】他方請求項４の構成は、圧電体の壁面を挟
んで圧力室側に内面電極とスペース室側にその異極とな
る対電極を有し、両電極に電圧を印加した際に圧電体と
電極の少なくとも一方との間に生ずるバイモルフ効果に
よってこれらの変形を生ぜしめ、圧力室内部に充填され
たインクを外部に吐出するインクジェットヘッドにおい
て、前記圧力室の上方に設けられ内面電極に導通する内
面電極取り出し層と、該内面電極取り出し層の一部の上
方に設けられた第１絶縁体層と、該第１絶縁体層の上に
設けられ、且つスペース室内の対電極をその一部として
含む外面電極と、内面電極取り出し層の残りの上部に設
けられた第２絶縁体層と、該第２絶縁体層の一部を削っ
て内面電極取り出し層に導通する内面電極導通部とを有
することを特徴としている。

【００１４】上記両構成とも、各電極につながる電極取
り出し部の構成を１つの面に集めることができ、回路設
計を容易にすることができるようになる。但し、請求項
３では、内面電極取り出し層と外面電極とが、１つの面
側に露出することになり、該内面電極取り出し層と外面
電極とを電圧印加制御回路につなげれば良いが、請求項
４では、第２絶縁体層が形成されることによって、内面
電極導通部と外面電極との絶縁はより確実になるという
特有の利点がある。また内面電極導通部と外面電極とが
段差がなく同一平面上に形成することができるため、上
記と同様に、電圧印加制御回路につなげる回路設計がよ
りし易くなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態につき、説
明する。図１〜図３は、本願請求項２に係るインクジェ
ットヘッドの製造方法を示している。同図に示すよう
に、圧電体１の一面より圧力室３となる第１の溝３０を
形成する第１溝形成工程（図１(ａ)参照）と、第１溝３
０内面に内面電極２ａを形成する内面電極形成工程（図
１(ｂ)参照）と、第１溝３０解放側に、内面電極２ａに
導通する内面電極取り出し層５ａを設ける内面電極取り
出し層形成工程（図１(ｃ)参照）と、該内面電極取り出
し層５ａの解放面の一部に剥離可能なカバー層７を設け
るカバー層形成工程（図１(ｄ)参照）と、前記内面電極
取り出し層５ａ及びカバー層７を含む第１溝３０形成面
側を覆う第１絶縁体層８を形成する第１絶縁体層形成工
程（図２(ｅ)参照）と、該第１絶縁体層８側から圧電体
１の壁を残して第１溝３０に隣接するスペース室４とな
る第２の溝４０を形成する第２溝形成工程（図２(ｆ)参
照）と、該第２溝４０内の圧電体１壁面と前記第１絶縁
体層８の解放面を覆う外面電極２ｂを形成する外面電極
形成工程（図２(ｇ)参照）と、前記カバー層７を剥離せ
しめてその上部に形成された第１絶縁体層８の一部と外
面電極２ｂの一部を除去するカバー層剥離工程（図２
(ｈ)参照）と、露出した前記内面電極取り出し層５ａの
上に第２絶縁体層９を形成する第２絶縁体層形成工程
（図３(ｉ)参照）と、該第２絶縁体層９の一部を削って
内面電極取り出し層５ａに導通する内面電極導通部５ｂ
を形成する内面電極導通部形成工程（図３(ｊ)（ｋ）参
照）とを含む工程からなる。

【００１６】上記の第１溝形成工程では、例えば圧電体
１の表面をダイシングソー等で削り取ることで、第１溝
３０の形成が可能となる。もちろん露光技術やスクリー
ン印刷・厚盛り印刷技術等を用いて溝を形成しても良
い。

【００１７】次の内面電極形成工程では、第１溝３０を
形成した側に、導電性を有するメッキを付けたり、或い
は真空蒸着等により導電性を有する蒸着層を設けたり、
或いは薄膜層を形成した後、圧力室３面側のみ該メッキ
等が残るようにこれらのメッキ等を施した面を研磨す
る。

【００１８】前記内面電極取り出し層形成工程では、圧
力室３を閉塞する天板になるような導電性の内面電極取
り出し層５ａを、フィルム状の導電性接着剤等により、
該圧力室３の上に接着する。内面電極２ａは共通電極と
なるため、各圧力室３を閉塞する内面電極取り出し層５
ａは櫛状に形成しても良い。

【００１９】前記カバー層形成工程では、上記内面電極
取り出し層５ａ上の共通電極を最終的に構成することに
なる内面電極導通部形成予定位置に、カバーフィルムか
らなるカバー層７を張り、マスキングを行う。

【００２０】前記第１絶縁体層形成工程では、内面電極
取り出し層５ａを付着させた面の全体に、メッキ、真空
蒸着或いは各種印刷法等により、絶縁体を付着させ、第
１絶縁体層８を形成する。

【００２１】前記第２溝形成工程では、第１絶縁体層８
側から、その表面をダイシングソー等で削り取ること
で、圧電体１の壁を残して第１溝３０に隣接するスペー
ス室４となる第２の溝４０を形成する。もちろん、上述
の第１溝形成工程と同様、露光技術やスクリーン印刷・
厚盛り印刷技術等を用いて溝を形成しても良い。

【００２２】前記外面電極形成工程では、スペース室４
の第２溝４０を形成した側及び第１絶縁体層８表面側に
メッキ、或いは導電性を有する蒸着層（真空蒸着法等で
形成）や薄膜層を形成した後、スペース室４の一番深い
部分（スペース室底面）で、隣接する圧力室３用の外面
電極を構成することになるメッキ或いは蒸着層・薄膜層
と切り離して絶縁し、個別電極である外面電極２ｂを形
成する。

【００２３】前記カバー層剥離工程では、最終的に共通
電極を構成するために、前記カバー層７のマスキングを
剥離し、前記内面電極取り出し層５ａを露出せしめる。

【００２４】前記第２絶縁体層形成工程では、個別電極
部を構成する外面電極２ｂを隠さないように、露出した
内面電極取り出し層５ａ上に、メッキ、真空蒸着或いは
各種印刷法等により、絶縁体を付着させ、第２絶縁体層
９を形成する。

【００２５】前記内面電極導通部形成工程では、共通電
極を形成するために、まず、内面電極取り出し層５ａが
表面に現れるように、ダイシングソー等で削り取ること
で、各圧力室３に対応した溝５０を形成し（図３（ｊ）
参照）、次に個別電極である外面電極２ｂに重ならない
ようにカバーして、メッキ、或いは導電性を有する蒸着
層や薄膜層を形成し、共通電極である内面電極導通部５
ｂを形成する（図３（ｋ）参照）。

【００２６】その後、ノズル板（図示なし）を接着し、
インク供給路（図示なし）等を形成する。尚、圧力室３
内にインクを満たし、電圧を印加したところ、インク粒
子が吐出するのを確認できた。

【００２７】以上のようにして製造されたインクジェッ
トヘッドの構成は、請求項４の構造を有することにな
る。即ち、圧電体１の壁面を挟んで圧力室３側に内面電
極２ａとスペース室４側にその異極となる対電極を有す
ると共に、前記圧力室３の上方に設けられ内面電極２ａ
に導通する内面電極取り出し層５ａと、該内面電極取り
出し層５ａの一部の上方に設けられた第１絶縁体層８
と、該第１絶縁体層８の上に設けられ、且つスペース室
４内の対電極をその一部として含む外面電極２ｂと、内
面電極取り出し層５ａの残りの上部に設けられた第２絶
縁体層９と、該第２絶縁体層９の一部を削って内面電極
取り出し層５ａに導通する内面電極導通部５ｂとを有し
ている。

【００２８】またカバー層剥離工程後の第２絶縁体層形
成工程と内面電極導通部形成工程とを実施しなければ、
請求項１のインクジェットヘッド製造工程と同じにな
り、それによってできる構成は、内面電極取り出し層５
ａの露出した部分で構成される個別電極と、それより高
い位置に上面が形成された共通電極である外面電極２ｂ
とを有しており、段差が生ずることになる。その構成
は、ちょうど請求項３のインクジェットヘッドの構成と
同じである。

【００２９】更に、上記構成は、従来の図５に示した構
成に相当するインクジェットヘッド（圧力室３の両側に
圧電体１で構成される複合板状部材を有するヘッド構
成）につき、本発明法を適用した場合の製造工程につき
示したが、それに限定されず、従来の図４に示した構成
に相当するインクジェットヘッド（圧力室３の片側に圧
電体１で構成される複合板状部材を有するヘッド構成）
に対しても適用可能であることは言うまでもない。

【００３０】

【発明の効果】以上詳述した請求項１乃至２のインクジ
ェットヘッド製造方法によれば、全工程において、一つ
の面からの加工で済むため、加工が容易になり、結果的
にヘッドの生産効率及び生産歩留まりが向上するという
優れた効果を有している。また請求項２の方法では、第
２絶縁体層が形成されることによって、内面電極導通部
と外面電極との絶縁はより確実になると共に、内面電極
導通部と外面電極とが段差がなく同一平面上に形成する
ことができるため、電圧印加制御回路につなげる回路設
計がし易くなるといった利点も有している。

【００３１】更に請求項３乃至４のインクジェットヘッ
ドの構成によれば、各電極につながる電極取り出し部の
構成を１つの面に集めることができ、回路設計を容易に
することができるようになる。その場合、請求項４の構
成では、請求項２の構成の場合と同様、第２絶縁体層に
よって、内面電極導通部と外面電極との絶縁がより確実
になると共に、内面電極導通部と外面電極とが段差がな
いため、電圧印加制御回路につなげる回路設計がよりし
易くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願請求項２に係るインクジェットヘッドの製
造方法を示す工程説明図である。

【図２】その製造方法の続きを示す工程説明図である。

【図３】同じくその製造方法の続きを示す工程説明図で
ある。

【図４】インクジェット式記録装置に用いられる圧電体
のバイモルフ効果をポンプ構成に利用した従来のインク
ジェットヘッドの基本構成を示す斜視図である。

【図５】同じく圧電体のバイモルフ効果をポンプ構成に
利用した従来のインクジェットヘッドの他の構成を示す
斜視図である。

【図６】圧電体に圧力室とスペース室及び各電極並びに
電極取り出し部の形成されたところを示すインクジェッ
トヘッド構成の斜視図である。

【図７】上記図面の反対側面から見たインクジェットヘ
ッド構成の斜視図である。

【図８】圧電体の他面に共通電極導通用の切り込みを形
成した状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 圧電体 ２ａ、２ｂ 電極 ３ 圧力室 ４ スペース室 ５ａ 内面電極取り出し層 ５ｂ 内面電極導通部 ５ｃ、５ｄ 電極取り出し部 ６ｃ、６ｄ 切り込み ７ カバー層 ８，９ 絶縁体層 ３０ 第１溝 ４０ 第２溝 ５０ 溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 義明 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 薮 亮輔 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 溝渕 勇雄 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 吉田 雄二 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF66 AF93 AG12 AG44 AG92 AG93 AP02 AP22 AP54 AP55 BA03 BA14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電体の一面より圧力室となる第１の溝
   を形成する第１溝形成工程と、第１溝内面に内面電極を
   形成する内面電極形成工程と、第１溝解放側に、内面電
   極に導通する内面電極取り出し層を設ける内面電極取り
   出し層形成工程と、該内面電極取り出し層の解放面の一
   部に剥離可能なカバー層を設けるカバー層形成工程と、
   前記内面電極取り出し層及びカバー層を含む第１溝形成
   面側を覆う絶縁体層を形成する絶縁体層形成工程と、該
   絶縁体層側から圧電体の壁を残して第１溝に隣接するス
   ペース室となる第２の溝を形成する第２溝形成工程と、
   該第２溝内の圧電体壁面と前記絶縁体層の解放面を覆う
   外面電極を形成する外面電極形成工程と、前記カバー層
   を剥離せしめてその上部に形成された絶縁体層の一部と
   外面電極の一部を除去し、前記内面電極取り出し層を露
   出せしめるカバー層剥離工程とを含むインクジェットヘ
   ッド製造方法。
2. 【請求項２】 圧電体の一面より圧力室となる第１の溝
   を形成する第１溝形成工程と、第１溝内面に内面電極を
   形成する内面電極形成工程と、第１溝解放側に、内面電
   極に導通する内面電極取り出し層を設ける内面電極取り
   出し層形成工程と、該内面電極取り出し層の解放面の一
   部に剥離可能なカバー層を設けるカバー層形成工程と、
   前記内面電極取り出し層及びカバー層を含む第１溝形成
   面側を覆う第１絶縁体層を形成する第１絶縁体層形成工
   程と、該第１絶縁体層側から圧電体の壁を残して第１溝
   に隣接するスペース室となる第２の溝を形成する第２溝
   形成工程と、該第２溝内の圧電体壁面と前記第１絶縁体
   層の解放面を覆う外面電極を形成する外面電極形成工程
   と、前記カバー層を剥離せしめてその上部に形成された
   第１絶縁体層の一部と外面電極の一部を除去するカバー
   層剥離工程と、露出した前記内面電極取り出し層の上に
   第２絶縁体層を形成する第２絶縁体層形成工程と、該第
   ２絶縁体層の一部を削って内面電極取り出し層に導通す
   る内面電極導通部を形成する内面電極導通部形成工程と
   を含むインクジェットヘッド製造方法。
3. 【請求項３】 圧電体の壁面を挟んで圧力室側に内面電
   極とスペース室側にその異極となる対電極を有し、両電
   極に電圧を印加した際に圧電体と電極の少なくとも一方
   との間に生ずるバイモルフ効果によってこれらの変形を
   生ぜしめ、圧力室内部に充填されたインクを外部に吐出
   するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力室の上方
   に設けられ内面電極に導通する内面電極取り出し層と、
   該内面電極取り出し層の一部の上方に設けられた絶縁体
   層と、該絶縁体層の上に設けられ、且つスペース室内の
   対電極をその一部として含む外面電極とを有することを
   特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 圧電体の壁面を挟んで圧力室側に内面電
   極とスペース室側にその異極となる対電極を有し、両電
   極に電圧を印加した際に圧電体と電極の少なくとも一方
   との間に生ずるバイモルフ効果によってこれらの変形を
   生ぜしめ、圧力室内部に充填されたインクを外部に吐出
   するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力室の上方
   に設けられ内面電極に導通する内面電極取り出し層と、
   該内面電極取り出し層の一部の上方に設けられた第１絶
   縁体層と、該第１絶縁体層の上に設けられ、且つスペー
   ス室内の対電極をその一部として含む外面電極と、内面
   電極取り出し層の残りの上部に設けられた第２絶縁体層
   と、該第２絶縁体層の一部を削って内面電極取り出し層
   に導通する内面電極導通部とを有することを特徴とする
   インクジェットヘッド。