JP2000039566A - Enlarging observation device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡等の光学機
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を立体化し
て表示する拡大観察装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnifying observation apparatus for stereoscopically displaying an optically magnified image of an observation object obtained through an optical device such as a microscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】顕微鏡などの光学機器においては、立体
的な観察対象物の像を観察する場合、被写界深度により
その像の一部がぼやけてしまうことがある。この場合に
は、焦点位置を変化させたり、倍率を変化させるなどし
て、観察したい部分を鮮明にする作業を行なう。2. Description of the Related Art In an optical apparatus such as a microscope, when observing a three-dimensional image of an object to be observed, a part of the image may be blurred due to the depth of field. In this case, an operation of clarifying a portion to be observed is performed by changing a focal position or a magnification.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物における被写界深度以上
の深さを有する段差を同時に観察することができない。
たとえば、半導体装置における配線パターン等の段差を
有する観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観
察できないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行
うことができない。このため、従来においては、顕微鏡
などの光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象
物の観察したい領域の全てについて焦点があった画像を
得る技術への要求が存在した。However, in the prior art, particularly in optical equipment such as a microscope with a high magnification, the depth of field is extremely shallow, so that a sharp portion of the image is very small, and the object to be observed is very small. At the same time, a step having a depth greater than the depth of field cannot be observed at the same time.
For example, in an observation target having a step such as a wiring pattern in a semiconductor device, a high portion and a low portion of the step may not be observed at the same time, so that the wiring pattern cannot be inspected quickly. For this reason, conventionally, there has been a demand for a technique for obtaining a focused image for all the regions to be observed of the observation target object irrespective of the depth of field of an optical device such as a microscope.
【０００４】一方、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。さらに、立体
的な画像であっても、観察対象物に対して一定の視点、
視野および角度からのみの画像であるため、観察対象物
の観察したい領域を迅速に画像表示装置に表示するのが
難しかった。[0004] On the other hand, even if an image in which all of the region of the object to be observed is focused is obtained, this image is a two-dimensional image. In some cases, it is difficult to recognize the three-dimensional shape of the observation target from the two-dimensional image. For a technique for obtaining a three-dimensional image from a two-dimensional image of an observation target, see, for example, the article “Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer (1992) 8: 351-360 ". In order to stereoscopically recognize the displayed image, for example, special glasses for the left and right eyes for stereoscopic viewing are used. It is not practical because it requires a certain point of view,
Since the image is obtained only from the field of view and the angle, it is difficult to quickly display the region of the observation target to be observed on the image display device.
【０００５】本発明は、上述の従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、観察対象物の光学拡大像を三次元デ
ータ化して、観察対象物の観察したい領域を任意の視
点、視野および角度から立体画像として観察することが
可能な拡大観察装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and converts an optically magnified image of an observation target into three-dimensional data so that a region to be observed of the observation target can be set at an arbitrary viewpoint, visual field, or the like. It is an object of the present invention to provide a magnifying observation device capable of observing a stereoscopic image from an angle.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、観察対象物の
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して任意の相対位置に移動させ位置決めする移動位
置決め制御手段と、前記光学拡大手段を前記観察対象物
に対して複数の相対位置に移動位置決めして撮像した複
数の画像データを取得する画像データ入力手段と、前記
複数の画像データから立体的な三次元画像データを生成
する三次元画像データ生成手段と、前記観察対象物の前
記三次元画像データに基づく立体画像を指定された条件
で立体的に表示する画像表示手段とを有する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an optical magnifying means for obtaining an optically magnified image of an object to be observed, an image pickup means for taking the optically magnified image, and Movement positioning control means for moving and positioning to any relative position, and image data input means for moving and positioning the optical magnifying means at a plurality of relative positions with respect to the observation target and acquiring a plurality of image data taken. A three-dimensional image data generating unit configured to generate three-dimensional image data from the plurality of image data, and a three-dimensional image based on the three-dimensional image data of the observation target object being stereoscopically displayed under designated conditions. Image display means.
【０００７】本発明では、光学拡大手段を通じて得られ
た観察対象物の光学拡大像を撮像手段によって撮像した
複数の画像データから三次元画像データが生成される。
この三次元画像データが画像表示手段によって画像表示
手段に指定された条件で立体的に表示されるため、光学
拡大像を単に撮像したのでは認識できない観察対象物の
立体形状が表示される。In the present invention, three-dimensional image data is generated from a plurality of image data obtained by imaging the optically enlarged image of the observation object obtained through the optical enlarging means.
Since the three-dimensional image data is three-dimensionally displayed by the image display means under the conditions specified by the image display means, the three-dimensional shape of the observation target object that cannot be recognized by simply capturing the optically enlarged image is displayed.
【０００８】前記画像表示手段における条件は、三次元
画像データにおける前記観察対象物の所定の軸に関する
回転角度および前記観察対象物の拡大率である。The conditions in the image display means are a rotation angle of the observation object with respect to a predetermined axis in three-dimensional image data and an enlargement ratio of the observation object.
【０００９】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
々の画像データから焦点の合っている合焦点画像データ
を抽出し、これら各合焦点画像データに基づいて三次元
データ化して三次元画像データを生成する。The three-dimensional image data generating means extracts focused in-focus image data from each of the image data, and converts the three-dimensional image data into three-dimensional data based on each of the focused image data. Generate.
【００１０】前記三次元画像データ生成手段は、前記各
合焦点画像データの各画素情報から得られる前記観察対
象物の光学拡大像に対する高さ情報に基づいて前記各合
焦点画像データを合成して前記三次元画像データを生成
する。The three-dimensional image data generating means synthesizes each of the focused image data based on height information for an optically enlarged image of the observation object obtained from each pixel information of each of the focused image data. The three-dimensional image data is generated.
【００１１】前記観察対象物の各位置の前記光学拡大像
に対する高さ情報を直接測定する三次元位置測定手段を
有し、前記三次元画像データ生成手段は、前記三次元位
置測定手段によって得られた高さ情報に基づいて前記各
合焦点画像データを合成して三次元画像データを生成す
る。There is provided a three-dimensional position measuring means for directly measuring height information of each position of the observation object with respect to the optically enlarged image, and the three-dimensional image data generating means is obtained by the three-dimensional position measuring means. The three-dimensional image data is generated by combining the in-focus image data based on the height information.
【００１２】前記画像表示手段は、画面上で前記観察対
象物の表示のための視点、視野および角度を設定するた
めの指示手段を有する。The image display means has an instruction means for setting a viewpoint, a visual field, and an angle for displaying the observation object on a screen.
【００１３】前記光学拡大手段は、光学式顕微鏡であ
る。The optical magnification means is an optical microscope.
【００１４】前記観察対象物に対して複数の方向から設
けられた複数の光学拡大手段と、前記各光学拡大像を撮
像する複数の撮像手段と、前記各光学拡大手段を前記観
察対象物に対して任意の相対位置に移動させ位置決めす
る複数の移動位置決め手段とを有し、三次元画像データ
生成手段は、前記各光学拡大手段および各撮像手段によ
って前記観察対象物に対して異なる相対位置で撮像され
た複数の画像データから立体的な三次元画像データをそ
れぞれ生成し、これら各三次元画像データを合成する。[0014] A plurality of optical magnifying means provided in a plurality of directions with respect to the observation object, a plurality of imaging means for taking each of the optical magnified images, and each of the optical magnifying means with respect to the observation object. A plurality of moving positioning means for moving and positioning the object to an arbitrary relative position, and the three-dimensional image data generating means captures images at different relative positions with respect to the observation target by the optical magnifying means and the imaging means. Three-dimensional three-dimensional image data is generated from the plurality of pieces of image data thus obtained, and these three-dimensional image data are combined.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図１において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部１と、画像処理／駆動制御装置３
１と、画像表示装置５１とを有する。撮像部１は、ベー
ス２上に設けられたＸＹテーブル３と、ベース２上に立
設されたコラム９にＺ軸方向に移動自在に設けられた顕
微鏡鏡筒７と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた撮像装置
８と、顕微鏡鏡筒７に取り付けられた対物レンズ６と、
コラム９に設けられた照明装置１０とを有する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a microscope magnification observation system according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a microscope magnification observation system according to the present embodiment includes an imaging unit 1 and an image processing / drive control device 3.
1 and an image display device 51. The imaging unit 1 includes an XY table 3 provided on a base 2, a microscope barrel 7 movably provided in a Z-axis direction on a column 9 erected on the base 2, and an attachment to the microscope barrel 7. The image pickup device 8, the objective lens 6 attached to the microscope lens barrel 7,
And a lighting device 10 provided in the column 9.
【００１６】ＸＹテーブル３は、図示しないスライダに
よってベース２上をＸ軸およびＹ軸方向に移動自在に保
持されており、ＸＹテーブル３上に観察対象物Ｗが載置
される。ＸＹテーブル３には、ＸＹテーブル３をＸ軸方
向に沿って移動位置決めするためのＸ軸送り機構４が設
けられている。Ｘ軸送り機構４は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＸ軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、ＸＹテーブル３
には、ＸＹテーブル３をＹ軸方向に沿って移動位置決め
するためのＹ軸送り機構５が設けられている。Ｙ軸送り
機構５は、Ｘ軸送り機構４と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがＸＹテーブル３
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、ＸＹテーブル３がＹ軸方
向の任意の位置に位置決めされる。The XY table 3 is held by a slider (not shown) on the base 2 so as to be movable in the X-axis and Y-axis directions, and the observation object W is placed on the XY table 3. The XY table 3 is provided with an X-axis feed mechanism 4 for moving and positioning the XY table 3 along the X-axis direction. The X-axis feed mechanism 4 is composed of, for example, an electric motor and a feed screw. It is positioned at an arbitrary position in the X-axis direction. XY table 3
Is provided with a Y-axis feed mechanism 5 for moving and positioning the XY table 3 along the Y-axis direction. Like the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5 includes, for example, an electric motor and a feed screw.
The XY table 3 is positioned at an arbitrary position in the Y-axis direction by screwing the feed screw with an electric motor.
【００１７】顕微鏡鏡筒７は、観察対象物Ｗの光学拡大
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒７に内蔵された電動モータにより駆動される。対
物レンズ６は、観察対象物Ｗを光学的に拡大するために
顕微鏡鏡筒７の先端に設けられている。The microscope lens barrel 7 is for obtaining an optically enlarged image of the observation object W, and is composed of, for example, a zoom-type combination lens. The zoom lens is driven by an electric motor built in the microscope lens barrel 7. The objective lens 6 is provided at the tip of the microscope lens barrel 7 for optically enlarging the observation object W.
【００１８】撮像装置８は、例えばＣＣＤ(charge coup
led device) 撮像素子を用いたカラーカメラであり、顕
微鏡鏡筒７の上端に設けられており、対物レンズ６およ
び顕微鏡鏡筒７を通じて拡大された観察対象物Ｗの光学
拡大像を撮像する。The imaging device 8 is, for example, a CCD (charge coup).
led device) is a color camera using an image pickup device, is provided at the upper end of the microscope lens barrel 7, and captures an optically enlarged image of the observation target W enlarged through the objective lens 6 and the microscope lens barrel 7.
【００１９】顕微鏡鏡筒７は、コラム９内に内蔵された
図示しないＺ軸送り機構によって、Ｚ軸方向の任意の位
置に移動可能となっている。Ｚ軸送り機構は、上記した
Ｘ軸送り機構４およびＹ軸送り機構５と同様に、たとえ
ば、電動モータと送りネジで構成され、送りネジが顕微
鏡鏡筒７に固定された固定部材に螺合され、この送りネ
ジが電動モータによって回転駆動されることにより、顕
微鏡鏡筒７がＺ軸方向の任意の位置に位置決めされる。
これにより、顕微鏡鏡筒７の焦点位置を観察対象物Ｗに
対して任意の高さに設定することができる。The microscope lens barrel 7 can be moved to an arbitrary position in the Z-axis direction by a Z-axis feed mechanism (not shown) built in the column 9. The Z-axis feed mechanism, like the X-axis feed mechanism 4 and the Y-axis feed mechanism 5 described above, is composed of, for example, an electric motor and a feed screw, and the feed screw is screwed to a fixing member fixed to the microscope barrel 7. Then, the feed screw is driven to rotate by the electric motor, whereby the microscope lens barrel 7 is positioned at an arbitrary position in the Z-axis direction.
Thereby, the focal position of the microscope lens barrel 7 can be set to an arbitrary height with respect to the observation target W.
【００２０】照明装置１０は、観察対象物Ｗに光を照ら
すために、顕微鏡鏡筒８に取り付けられている。照明装
置１０から照射された光は、顕微鏡鏡筒８および対物レ
ンズ１０を通って観察対象物Ｗを上方から照らす。The illumination device 10 is attached to the microscope lens barrel 8 to illuminate the observation object W with light. Light emitted from the illumination device 10 illuminates the observation target W from above through the microscope lens barrel 8 and the objective lens 10.
【００２１】画像処理／駆動制御装置３１は、上記した
Ｘ軸送り機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構の
各電動モータの駆動制御を行い、顕微鏡鏡筒７を任意の
三次元位置に位置決めする。また、画像処理／駆動制御
装置３１は、上記した撮像装置８の撮像した画像データ
を取り込んで、この画像データに所定の処理を施し、複
数の画像データを合成して三次元画像データを生成し、
これを画像表示装置５１に表示する。画像処理／駆動制
御装置３１は、たとえば、パーソナルコンピュータに画
像処理用ボードおよびモーターコントロールボードを付
加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパーソ
ナルコンピュータに備えることによって構成することが
できる。画像表示装置５１は、たとえば、パーソナルコ
ンピュータ用のモニタを使用することができる。また、
画像処理／駆動制御装置３１には、マウス４０が接続さ
れている。マウス４０は、マウス４０を移動させること
によって画像表示装置５１に出力されたマウスポインタ
３２ａの画面上での位置を設定する信号を画像処理／駆
動制御装置３１に対して出力したり、また、マウス４０
に設けられた操作ボタン４０ａの操作によって、画像表
示装置５１に所定の位置に表示された画像処理／駆動制
御装置３１の行う所定の処理機能を実行させる信号を画
像処理／駆動制御装置３１に対して出力したりする。The image processing / drive control device 31 controls the driving of the electric motors of the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5, and the Z-axis feed mechanism, and moves the microscope barrel 7 to an arbitrary three-dimensional position. Position. Further, the image processing / drive control device 31 captures the image data captured by the above-described imaging device 8, performs predetermined processing on the image data, and combines the plurality of image data to generate three-dimensional image data. ,
This is displayed on the image display device 51. The image processing / drive control device 31 can be configured, for example, by adding an image processing board and a motor control board to a personal computer, and providing software for operating these boards in the personal computer. As the image display device 51, for example, a monitor for a personal computer can be used. Also,
The mouse 40 is connected to the image processing / drive control device 31. The mouse 40 outputs a signal for setting the position on the screen of the mouse pointer 32 a output to the image display device 51 by moving the mouse 40 to the image processing / drive control device 31. 40
By operating the operation button 40a provided on the image processing / drive control device 31, a signal for executing a predetermined processing function performed by the image processing / drive control device 31 displayed on the image display device 51 at a predetermined position is transmitted to the image processing / drive control device 31. Output.
【００２２】図２は、画像処理／駆動制御装置３１の一
構成例を示す説明図である。画像処理／駆動制御装置３
１は、位置制御部３２と、画像データ入力部３２と、画
像データ記憶部３４と、合焦点画像データ抽出部３５
と、三次元画像データ合成部３６と、三次元画像表示部
３７とを有する。位置制御部３２は、上記したＸ軸送り
機構４、Ｙ軸送り機構５およびＺ軸送り機構１１の各電
動モータの回転位置制御を行い、観察対象物Ｗと顕微鏡
鏡筒７を目標位置に移動する位置決め制御を行う。たと
えば、位置制御部３２は、観察対象物ＷのＸ軸およびＹ
軸方向の目標位置および顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向の目標
位置に移動させる位置指令を生成し、この位置指令を各
電動モータＭの回転指令量に換算してモータドライバＤ
ｒに出力する。モータドライバＤｒは各回転指令量にし
たがって各電動モータＭを回転駆動制御する。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the image processing / drive control device 31. Image processing / drive control device 3
1 is a position control unit 32, an image data input unit 32, an image data storage unit 34, a focused image data extraction unit 35
And a three-dimensional image data synthesizing unit 36 and a three-dimensional image display unit 37. The position control unit 32 controls the rotational position of each electric motor of the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5, and the Z-axis feed mechanism 11, and moves the observation target W and the microscope lens barrel 7 to target positions. To perform positioning control. For example, the position control unit 32 controls the X axis and the Y axis of the observation target W.
It generates a position command to move to the target position in the axial direction and the target position in the Z-axis direction of the microscope lens barrel 7, converts this position command into a rotation command amount of each electric motor M, and outputs a motor driver D
output to r. The motor driver Dr controls the rotation of each electric motor M according to each rotation command amount.
【００２３】画像データ入力部３３は、顕微鏡鏡筒７の
Ｚ軸方向の複数の目標位置に移動位置決めして撮像した
複数の画像データを取得する。画像データ記憶部３４
は、画像データ入力部３３に入力された撮像装置８によ
って撮像された数値化された複数の画像データを記憶保
持する。合焦点画像データ抽出部３５は、画像データ記
憶部３４に記憶された各画像データの焦点の合った領域
のみを抽出する。The image data input section 33 acquires a plurality of image data obtained by moving and positioning the microscope lens barrel 7 at a plurality of target positions in the Z-axis direction. Image data storage unit 34
Stores and holds a plurality of digitized image data captured by the imaging device 8 and input to the image data input unit 33. The in-focus image data extraction unit 35 extracts only an in-focus area of each image data stored in the image data storage unit 34.
【００２４】ここで、焦点の合っている画像データの抽
出原理について説明する。たとえば、図３に示すよう
に、ＸＹテーブル３上に載置して観察する対象として、
四角錐状の観察対象物Ｗの場合について説明する。図３
において、観察対象物Ｗに対して先端に対物レンズ６が
設けられた顕微鏡鏡筒７のＺ軸方向位置をＰA 、ＰB お
よびＰC のように変化させてＸＹテーブル３上に載置さ
れた観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像する。Here, the principle of extracting the focused image data will be described. For example, as shown in FIG. 3, as an object placed on the XY table 3 for observation,
The case of a quadrangular pyramid-shaped observation target W will be described. FIG.
In the above, the position of the microscope barrel 7 provided with the objective lens 6 at the tip with respect to the observation target W is changed in the Z-axis direction as PA, PB and PC, and the observation target placed on the XY table 3 is changed. An optically enlarged image of the object W is captured.
【００２５】たとえば、顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置
ＰA に移動して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画
像データＧには、図４（ａ）に示すように、焦点の合っ
た合焦点領域Ｒ1 と焦点の合わないぼやけた非合焦点領
域Ｒ2 とが存在する。合焦点領域Ｒ1 は、ＸＹテーブル
３の載置面と四角錐状の観察対象物Ｗの錐面の下部領域
からなる。For example, as shown in FIG. 4 (a), the image data G obtained by moving the microscope lens barrel 7 to the position PA in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of the observation object W is focused. There is an in-focus region R1 and a blurred out-of-focus region R2 out of focus. The in-focus region R1 is composed of the mounting surface of the XY table 3 and the lower region of the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W.
【００２６】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰB に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｂ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。Image data G obtained by moving the microscope lens barrel 7 to the position PB in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of the observation object W
As shown in FIG. 4 (b), only the region corresponding to the intermediate region of the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W has the focal region R
4 and the areas corresponding to the lower area and the top area of the mounting surface of the XY table 3 and the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W are out-of-focus areas R3 and R5.
【００２７】顕微鏡鏡筒７をＺ軸方向の位置ＰC に移動
して観察対象物Ｗの光学拡大像を撮像した画像データＧ
には、図４（ｃ）に示すように、四角錐状の観察対象物
Ｗの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域Ｒ
4 となり、ＸＹテーブル３の載置面と四角錐状の観察対
象物Ｗの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域Ｒ3 およびＲ5 となる。Image data G obtained by moving the microscope lens barrel 7 to a position PC in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of the observation object W.
As shown in FIG. 4C, only the region corresponding to the intermediate region of the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation target W is focused on the focal point region R.
4 and the areas corresponding to the lower area and the top area of the mounting surface of the XY table 3 and the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W are out-of-focus areas R3 and R5.
【００２８】このように、画像データＧの観察対象物Ｗ
および対物レンズ６の有する被写界深度に対応する領域
のみが合焦点領域となり、図４（ａ）〜図４（ｃ）の合
焦点領域を合成することにより、画像データＧの全ての
領域で焦点の合った画像データを得ることができる。し
かしながら、たとえば、観察対象物の形状を知らない場
合には、合焦点画像データから観察対象物の立体形状を
認識することができない。As described above, the observation object W of the image data G is
Only the region corresponding to the depth of field of the objective lens 6 is the focal region, and by combining the focal regions of FIGS. 4A to 4C, the entire region of the image data G can be obtained. In-focus image data can be obtained. However, for example, when the shape of the observation target is not known, the three-dimensional shape of the observation target cannot be recognized from the focused image data.
【００２９】そこで、三次元画像データ合成部３６で
は、合焦点画像データ抽出部３５で抽出された各合焦点
画像データにＺ軸方向の高さ情報を付与して、これらＺ
軸方向の高さ情報を付与した各合焦点画像データを合成
して、三次元画像データを生成する。合焦点画像データ
へのＺ軸方向の高さ情報の付与は、たとえば、、論文”
Image processing and synthesis for extended depth
of optical microscopes, The Visual Computer(1992)
8:351-360" に開示された技術を用いることができる。
この技術では、合焦点画像データ抽出部３５で抽出され
た合焦点画像データの各画素（ピクセル）に対応して、
各画素の強度に対応した高さｈと各画素の色に対応した
色を有する柱状データを形成することにより、観察対象
物Ｗの立体形状を再構成する。三次元画像データ合成部
３６で生成される三次元画像データは、観察対象物Ｗの
立体形状を再構成した柱状データ群と、各柱状データの
色からなる。Therefore, the three-dimensional image data synthesizing section 36 adds height information in the Z-axis direction to each of the focused image data extracted by the focused image data extracting section 35, and
Three-dimensional image data is generated by synthesizing the respective focused image data to which the height information in the axial direction has been added. The addition of the height information in the Z-axis direction to the focused image data can be performed, for example, by referring to a paper “
Image processing and synthesis for extended depth
of optical microscopes, The Visual Computer (1992)
8: 351-360 ".
According to this technology, corresponding to each pixel (pixel) of the focused image data extracted by the focused image data extracting unit 35,
By forming columnar data having a height h corresponding to the intensity of each pixel and a color corresponding to the color of each pixel, the three-dimensional shape of the observation target W is reconstructed. The three-dimensional image data generated by the three-dimensional image data synthesizing unit 36 includes a columnar data group obtained by reconstructing the three-dimensional shape of the observation target W and colors of the columnar data.
【００３０】画像処理表示部３７は、三次元画像データ
合成部３６で生成された観察対象物Ｗの三次元画像デー
タを画像表示装置５１に立体的に表示する機能を有し、
たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処理を行う
グラフィック回路から構成することができる。また、画
像処理表示部３７は、三次元画像データ合成部３６で生
成された観察対象物Ｗの三次元画像データを任意の視
点、視野（画角）および角度で画像表示装置５１に表示
させる。本実施形態では、三次元画像データの表示の際
の視点、視野および角度は、マウス４０の操作によって
設定することができる。すなわち、画像処理表示部３７
は、観察対象物Ｗの三次元画像データを表示するための
視点、視野および角度を変更設定するための設定スイッ
チを画像表示装置５１に表示する。マウス４０を操作し
て画像表示装置５１に表示されたマウスポインタ３２ａ
を各設定スイッチの場所に移動させ、マウス４０の操作
ボタン４０ａを操作することで、設定スイッチの有する
機能を実行させることができる。The image processing and display unit 37 has a function of displaying the three-dimensional image data of the observation object W generated by the three-dimensional image data synthesizing unit 36 on the image display device 51 in three dimensions.
For example, it can be composed of graphic software or a graphic circuit for performing image processing. Further, the image processing display unit 37 causes the image display device 51 to display the three-dimensional image data of the observation target W generated by the three-dimensional image data combining unit 36 at an arbitrary viewpoint, a visual field (angle of view), and an angle. In the present embodiment, the viewpoint, field of view, and angle at the time of displaying the three-dimensional image data can be set by operating the mouse 40. That is, the image processing display unit 37
Displays on the image display device 51 a setting switch for changing and setting the viewpoint, the field of view, and the angle for displaying the three-dimensional image data of the observation target object W. The mouse pointer 32a displayed on the image display device 51 by operating the mouse 40
Is moved to the position of each setting switch, and by operating the operation button 40a of the mouse 40, the function of the setting switch can be executed.
【００３１】図６は、図３に示した四角錐状の観察対象
物Ｗの画像データを三次元画像データ合成部３６におい
て合成した三次元画像データを画像処理表示部３７によ
って画像表示装置５１に表示した場合の画面一例を示す
図である。なお、図６において示す四角錐状の観察対象
物Ｗは、実際には、柱状のデータ群の集合によって立体
的に再現される。図６に示す画面上には、観察対象物Ｗ
の三次元画像データをＸ軸に関して回転させるＸ軸方向
回転スイッチ４１と、Ｙ軸に関して回転させるＹ軸方向
回転スイッチ４２と、観察対象物Ｗの三次元画像データ
の拡大縮小率を設定するための拡大縮小スイッチ４３と
が表示されている。Ｘ軸方向回転スイッチ４１、Ｙ軸方
向回転スイッチ４２および拡大縮小スイッチ４３はダイ
アル状のスイッチであり、これらのスイッチはマウス４
０によって回転させることができる。Ｘ軸方向回転スイ
ッチ４１およびＹ軸方向回転スイッチ４２をマウス４０
によって操作することで、観察対象物Ｗの三次元画像デ
ータの視点および角度を任意に変更設定でき、拡大縮小
スイッチ４３によって観察対象物Ｗの三次元画像データ
の視野を任意の変更設定することが可能となる。FIG. 6 shows the three-dimensional image data obtained by combining the image data of the quadrangular pyramid-shaped observation object W shown in FIG. It is a figure showing an example of a screen at the time of displaying. The quadrangular pyramid-shaped observation target W shown in FIG. 6 is actually reproduced three-dimensionally by a set of columnar data groups. On the screen shown in FIG.
An X-axis direction rotation switch 41 for rotating the three-dimensional image data about the X-axis, a Y-axis direction rotation switch 42 for rotating the three-dimensional image data about the Y-axis, and an enlargement / reduction ratio of the three-dimensional image data of the observation target W are set. An enlargement / reduction switch 43 is displayed. The X-axis direction rotation switch 41, the Y-axis direction rotation switch 42, and the enlargement / reduction switch 43 are dial switches.
Can be rotated by zero. The X-axis rotation switch 41 and the Y-axis rotation switch 42 are
, The viewpoint and angle of the three-dimensional image data of the observation target W can be arbitrarily changed and set, and the enlargement / reduction switch 43 can arbitrarily change and set the visual field of the three-dimensional image data of the observation target W. It becomes possible.
【００３２】以上のように、本実施形態によれば、画像
表示装置５１に表示された観察対象物Ｗの三次元画像を
見ながら、画像表示装置５１の画面上で、視点・視野・
角度を瞬時に変えることができ、観察対象物Ｗの観察し
たい場所を容易に表示することができる。また、本実施
形態によれば、Ｘ軸方向回転スイッチ４１およびＹ軸方
向回転スイッチ４２を操作することによって、画像表示
装置５１に観察対象物Ｗの三次元画像をいずれの角度か
らも表示できるので、例えば、光学式顕微鏡等の光学機
器では困難な観察対象物Ｗの斜め方向からの光学拡大像
を表示および観察することが可能になる。また、三次元
画像を回転させながら観察することができるので、二次
元画像では得ることができない立体感を得ることができ
る。また、立体視用の眼鏡を使うことなく、観察対象物
Ｗの奥行き方向の状態を観察することができる。また、
本実施形態によれば、合成した三次元画像は、パーソナ
ルコンピュータの画面上のデータとして劣化させること
なく、保存・複製や転送ができる。As described above, according to the present embodiment, while viewing the three-dimensional image of the observation object W displayed on the image display device 51, the viewpoint, the visual field,
The angle can be changed instantaneously, and the position of the observation target W to be observed can be easily displayed. Further, according to the present embodiment, the three-dimensional image of the observation target W can be displayed on the image display device 51 from any angle by operating the X-axis direction rotation switch 41 and the Y-axis direction rotation switch 42. For example, it becomes possible to display and observe an optically enlarged image of the observation target W from an oblique direction, which is difficult with an optical device such as an optical microscope. In addition, since it is possible to observe a three-dimensional image while rotating it, it is possible to obtain a three-dimensional effect that cannot be obtained with a two-dimensional image. Further, it is possible to observe the state of the observation target W in the depth direction without using stereoscopic glasses. Also,
According to the present embodiment, the synthesized three-dimensional image can be stored, copied, or transferred without deteriorating as data on the screen of the personal computer.
【００３３】上記した実施形態では、顕微鏡鏡筒７を通
じて取り込んだ画像を処理することにより、画像データ
から観察対象物Ｗの高さ方向（Ｚ軸方向）の位置情報を
得ているが、たとえば、レーザー式の測距型のセンサを
Ｘ軸およびＹ軸方向にスキャニングして観察対象物Ｗの
高さ情報を得ることも可能である。観察対象物ＷのＺ軸
方向の高さ情報に基づいて、上記した各合焦点画像デー
タを三次元画像データ合成部３６において合成すること
により、さらに精度がよく高画質の画像を表示すること
ができるようになる。In the above embodiment, the position information in the height direction (Z-axis direction) of the observation object W is obtained from the image data by processing the image taken through the microscope lens barrel 7. For example, The height information of the observation target W can be obtained by scanning a laser distance measuring sensor in the X-axis and Y-axis directions. By synthesizing each of the above focused image data in the three-dimensional image data synthesizing unit 36 based on the height information of the observation target W in the Z-axis direction, it is possible to display a high-quality image with higher accuracy. become able to.
【００３４】また、上述した実施形態では、観察対象物
Ｗを対物レンズ７および顕微鏡鏡筒８を通じてＺ軸方向
に沿って真上から見ているので、観察対象物Ｗの立体形
状によっては、影になる領域の情報を得ることができ
ず、上述した実施形態の構成では、三次元画像データ合
成部３６において三次元画像を合成するときに、不自然
な画像になる。この問題を解消するために、観察対象物
Ｗを種々の方向から撮像できるように、対物レンズ６、
顕微鏡鏡筒７および撮像装置８からなる撮像部を複数用
意して、それぞれ観察対象物Ｗに対して異なる方向に設
置し異なる向きに設置する。また、対物レンズ６および
顕微鏡鏡筒７の光軸方向に各撮像部を移動させる送り機
構を設ける。各撮像装置８では、上述した実施形態と同
様に複数の位置において、観察対象物Ｗの光学拡大像を
撮像し、複数の画像データを得る。これら複数の画像デ
ータから、上述した実施形態と同様に、複数の三次元画
像データを生成し、これらの三次元画像データを合成し
て一つの三次元画像データとする。このような構成とす
ることにより、観察対象物Ｗを実際の立体形状により近
い状態で、画像表示装置５１に表示することが可能とな
る。In the above-described embodiment, the observation target W is viewed from directly above the Z-axis direction through the objective lens 7 and the microscope lens barrel 8, and therefore, depending on the three-dimensional shape of the observation target W, shadows may be generated. In the configuration of the above-described embodiment, when the three-dimensional image data combining unit 36 combines the three-dimensional images, an unnatural image is obtained. In order to solve this problem, the objective lens 6 is used so that the observation object W can be imaged from various directions.
A plurality of image pickup units each including the microscope lens barrel 7 and the image pickup device 8 are prepared, and are respectively set in different directions with respect to the observation target W and set in different directions. Further, a feed mechanism for moving each imaging unit in the optical axis direction of the objective lens 6 and the microscope lens barrel 7 is provided. Each of the imaging devices 8 captures an optically enlarged image of the observation target W at a plurality of positions as in the above-described embodiment, and obtains a plurality of image data. A plurality of three-dimensional image data is generated from the plurality of image data, as in the above-described embodiment, and these three-dimensional image data are combined into one three-dimensional image data. With such a configuration, the observation target W can be displayed on the image display device 51 in a state closer to the actual three-dimensional shape.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明によれば、画像表示装置に表示さ
れた観察対象物の三次元画像を見ながら、画像表示装置
の画面上で、視点・視野・角度を瞬時に変えることがで
き、対象物の観察したい場所を容易に表示することがで
きる。また、本発明によれば、観察対象物の三次元画像
を画像表示装置にいずれの角度からも表示できるので、
例えば、光学式顕微鏡等の光学機器では困難な観察対象
物の斜め方向からの光学拡大像を表示および観察するこ
とが可能になる。また、本発明によれば、三次元画像を
回転させながら観察することができるので、二次元画像
では得ることができない立体感を得ることができる。ま
た、本発明によれば、立体視用の眼鏡を使うことなく、
観察対象物の奥行き方向の状態を観察することができ
る。According to the present invention, the viewpoint, the visual field, and the angle can be instantaneously changed on the screen of the image display device while viewing the three-dimensional image of the observation object displayed on the image display device. It is possible to easily display a place where the object is desired to be observed. Further, according to the present invention, a three-dimensional image of the observation target can be displayed on the image display device from any angle,
For example, it becomes possible to display and observe an optically enlarged image of an observation object from an oblique direction, which is difficult with an optical device such as an optical microscope. Further, according to the present invention, since a three-dimensional image can be observed while being rotated, a three-dimensional effect that cannot be obtained with a two-dimensional image can be obtained. Further, according to the present invention, without using stereoscopic glasses,
It is possible to observe the state of the observation object in the depth direction.
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの構成を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a microscope magnification observation system according to an embodiment of the present invention.
【図２】本実施形態に係る画像処理／駆動制御装置３１
の一構成例を示す説明図である。FIG. 2 is an image processing / drive control device 31 according to the embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing one configuration example of FIG.
【図３】合焦点画像データ抽出部における合焦点画像デ
ータ領域の抽出原理を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a principle of extracting a focused image data area in a focused image data extracting unit;
【図４】顕微鏡鏡筒をＺ軸方向の各位置に移動させて観
察対象物の光学拡大像を撮像して得た画像データの例を
示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of image data obtained by moving a microscope lens barrel to each position in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of an observation target.
【図５】三次元画像データ合成部における三次元画像デ
ータの高さ情報を生成する方法を説明するための図であ
る。FIG. 5 is a diagram for explaining a method of generating height information of three-dimensional image data in a three-dimensional image data synthesizing unit.
【図６】三次元画像データ合成部において合成した三次
元画像データを画像処理表示部によって画像表示装置に
表示した場合の画面一例を示す図であるFIG. 6 is a diagram illustrating an example of a screen when the three-dimensional image data combined by the three-dimensional image data combining unit is displayed on the image display device by the image processing display unit.
１…撮像部、３…ＸＹテーブル、６…対物レンズ、７…
顕微鏡鏡筒、８…撮像装置、３１…画像処理／駆動制御
装置、３２…位置制御部、３３…画像データ入力部、３
４…画像データ記憶部、３５…合焦点画像データ抽出
部、３６…三次元画像データ合成部、３７…三次元画像
表示部、４０…マウス、５１…画像表示装置。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Image pick-up part, 3 ... XY table, 6 ... Objective lens, 7 ...
Microscope lens barrel, 8 imaging device, 31 image processing / drive control device, 32 position control unit, 33 image data input unit, 3
4 image data storage unit, 35 focused image data extraction unit, 36 three-dimensional image data synthesis unit, 37 three-dimensional image display unit, 40 mouse, 51 image display device.
Claims (8)
段と、 前記光学拡大像を撮像する撮像手段と、 前記光学拡大手段を前記観察対象物に対して任意の相対
位置に移動させ位置決めする移動位置決め制御手段と、 前記光学拡大手段を前記観察対象物に対して複数の相対
位置に移動位置決めして撮像した複数の画像データを取
得する画像データ入力手段と、 前記複数の画像データから立体的な三次元画像データを
生成する三次元画像データ生成手段と、 前記観察対象物の前記三次元画像データに基づく立体画
像を指定された条件で立体的に表示する画像表示手段と
を有する拡大観察装置。An optical magnification means for obtaining an optically magnified image of an observation object; an imaging means for photographing the optically magnified image; and moving the optical magnification means to an arbitrary relative position with respect to the observation object. Moving data control means; moving and positioning the optical magnifying means at a plurality of relative positions with respect to the observation target; and acquiring image data of a plurality of imaged images; Magnification observation having three-dimensional image data generation means for generating basic three-dimensional image data, and image display means for three-dimensionally displaying a three-dimensional image of the observation object based on the three-dimensional image data under designated conditions apparatus.
画像データにおける前記観察対象物の所定の軸に関する
回転角度および前記観察対象物の拡大率である請求項１
に記載の拡大観察装置。2. The condition in the image display means is a rotation angle of the observation target object with respect to a predetermined axis in three-dimensional image data and an enlargement ratio of the observation target object.
2. The magnifying observation device according to 1.
々の画像データから焦点の合っている合焦点画像データ
を抽出し、これら各合焦点画像データに基づいて三次元
データ化して三次元画像データを生成する請求項１に記
載の拡大観察装置。3. The three-dimensional image data generating means extracts focused in-focus image data from each of the image data, and converts the three-dimensional image data into three-dimensional data based on each of the in-focus image data. The magnifying observation device according to claim 1, which generates data.
合焦点画像データの各画素情報から得られる前記観察対
象物の光学拡大像に対する高さ情報に基づいて前記各合
焦点画像データを合成して前記三次元画像データを生成
する請求項３に記載の拡大観察装置。4. The three-dimensional image data generating means synthesizes each of the focused image data based on height information for an optically enlarged image of the observation object obtained from each pixel information of each of the focused image data. The magnifying observation apparatus according to claim 3, wherein the three-dimensional image data is generated by performing the processing.
に対する高さ情報を直接測定する三次元位置測定手段を
有し、 前記三次元画像データ生成手段は、前記三次元位置測定
手段によって得られた高さ情報に基づいて前記各合焦点
画像データを合成して三次元画像データを生成する請求
項３に記載の拡大観察装置。5. A three-dimensional position measuring means for directly measuring height information of each position of the observation object with respect to the optically enlarged image, wherein the three-dimensional image data generating means is provided by the three-dimensional position measuring means. The magnifying observation apparatus according to claim 3, wherein the in-focus image data is combined based on the obtained height information to generate three-dimensional image data.
象物の表示のための前記条件を設定するための指示手段
を有する請求項１に記載の拡大観察装置。6. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein said image display means has an instruction means for setting said condition for displaying said observation object on a screen.
請求項１に記載の拡大観察装置。7. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein said optical magnifying means is an optical microscope.
けられた複数の光学拡大手段と、 前記各光学拡大像を撮像する複数の撮像手段と、 前記各光学拡大手段を前記観察対象物に対して任意の相
対位置に移動させ位置決めする複数の移動位置決め手段
とを有し、 三次元画像データ生成手段は、前記各光学拡大手段およ
び各撮像手段によって前記観察対象物に対して異なる相
対位置で撮像された複数の画像データから立体的な三次
元画像データをそれぞれ生成し、これら各三次元画像デ
ータを合成する請求項１に記載の拡大観察装置。8. A plurality of optical magnifying means provided in a plurality of directions with respect to the observation object, a plurality of imaging means for taking each of the optical magnified images, And a plurality of movement positioning means for moving and positioning to an arbitrary relative position with respect to the three-dimensional image data generating means. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein three-dimensional three-dimensional image data is respectively generated from the plurality of image data captured in the step (b), and the three-dimensional image data is synthesized.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10209304A JP2000039566A (en) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | Enlarging observation device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10209304A JP2000039566A (en) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | Enlarging observation device |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000039566A true JP2000039566A (en) | 2000-02-08 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000039566A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6653633B2 (en) | 1999-07-09 | 2003-11-25 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| JP2005518570A (en) * | 2002-02-22 | 2005-06-23 | バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド | Focusable virtual microscope apparatus and method |
| JP2006126374A (en) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Olympus Corp | Image display method, program, and scanning confocal microscope |
| JP2007316993A (en) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Omron Corp | Image processor, method for selecting image data, and program for making computer execute the method |
| DE102008041523A1 (en) | 2007-08-29 | 2009-04-30 | Omron Corp. | Method for three-dimensional measurement and device for three-dimensional measurement |
| JP2009175334A (en) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Olympus Corp | Microscopic system, image forming method, and program |
| JP2016063522A (en) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | カシオ計算機株式会社 | Image processing system, method, and program |
| JP2017524994A (en) * | 2014-07-28 | 2017-08-31 | ノバルティス アーゲー | Depth of field magnification microscope and related apparatus, system and method |
-
1998
- 1998-07-24 JP JP10209304A patent/JP2000039566A/en active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7329868B2 (en) | 1999-07-09 | 2008-02-12 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US6653633B2 (en) | 1999-07-09 | 2003-11-25 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US6936818B2 (en) | 1999-07-09 | 2005-08-30 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US7642514B2 (en) | 1999-07-09 | 2010-01-05 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US7109485B2 (en) | 1999-07-09 | 2006-09-19 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam apparatus |
| US8306300B2 (en) | 2002-02-22 | 2012-11-06 | Olympus America Inc. | Focusable virtual microscopy apparatus and method |
| JP2005518570A (en) * | 2002-02-22 | 2005-06-23 | バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド | Focusable virtual microscope apparatus and method |
| JP2009075618A (en) * | 2002-02-22 | 2009-04-09 | Bacus Lab Inc | Method for forming and using virtual microscope slide |
| JP2009104161A (en) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | Method and apparatus for forming virtual microscope slide |
| JP2009104162A (en) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | Method for using virtual microscope slide |
| JP2009104163A (en) * | 2002-02-22 | 2009-05-14 | Bacus Lab Inc | Virtual microscope slide data structure |
| JP2006126374A (en) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Olympus Corp | Image display method, program, and scanning confocal microscope |
| JP2007316993A (en) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Omron Corp | Image processor, method for selecting image data, and program for making computer execute the method |
| DE102008041523A1 (en) | 2007-08-29 | 2009-04-30 | Omron Corp. | Method for three-dimensional measurement and device for three-dimensional measurement |
| US8564655B2 (en) | 2007-08-29 | 2013-10-22 | Omron Corporation | Three-dimensional measurement method and three-dimensional measurement apparatus |
| DE102008041523B4 (en) * | 2007-08-29 | 2020-09-03 | Omron Corp. | Method for three-dimensional measurement and device for three-dimensional measurement |
| JP2009175334A (en) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Olympus Corp | Microscopic system, image forming method, and program |
| JP4558047B2 (en) * | 2008-01-23 | 2010-10-06 | オリンパス株式会社 | Microscope system, image generation method, and program |
| US8350905B2 (en) | 2008-01-23 | 2013-01-08 | Olympus Corporation | Microscope system, image generating method, and program for practicing the same |
| JP2017524994A (en) * | 2014-07-28 | 2017-08-31 | ノバルティス アーゲー | Depth of field magnification microscope and related apparatus, system and method |
| JP2016063522A (en) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | カシオ計算機株式会社 | Image processing system, method, and program |
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