JP2000024969A - Teaching device for work carrying robot - Google Patents
Teaching device for work carrying robotInfo
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク搬送ロボッ
トの教示装置に関し、特に冗長自由度をもつワーク搬送
ロボットを正規姿勢に迅速に教示することができるワー
ク搬送ロボットの教示装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a teaching device for a work transfer robot, and more particularly to a teaching device for a work transfer robot capable of quickly teaching a work transfer robot having a redundant degree of freedom to a normal posture.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、ガラス基板やウェハ等のワー
クをクリーンルーム内でワーク搬送ロボットを用いて所
定のカセットから取り出し、他のカセット等に収納させ
るワーク搬送システムがある。このワーク搬送ロボット
は教示処理によって指示された所定の搬送制御を行う。2. Description of the Related Art Conventionally, there is a work transfer system in which a work such as a glass substrate or a wafer is taken out of a predetermined cassette using a work transfer robot in a clean room and stored in another cassette or the like. The work transfer robot performs a predetermined transfer control instructed by the teaching process.
【０００３】例えば、図５（ａ）は、ワーク搬送ロボッ
トＲ１によってカセット５０に格納されたワークＷ１を
取り出す状態を示しており、ワークＷ１は、ハンドＨ２
上に載置され、旋回軸４３を左回転、第１軸４４を右回
転、第２軸４５を左回転させてハンドＨを旋回軸方向に
縮めることによってカセット５０から取り出される。こ
の際、ハンドＨ２は、旋回軸４３と第２軸４５とを結ぶ
直線上を移動する。その後、ハンドＨ２上に載置された
ワークＷ１がカセット５０の外に移動した段階でロボッ
ト本体４１を走行軸４８上で移動させて他のカセットの
前面まで移動させ、ハンドＨ２を伸長させることによっ
て他のカセット内に収納する。この場合におけるハンド
Ｈ２のカセット５０に対する方向づけは、旋回角４３を
回転させることによって行われる。For example, FIG. 5A shows a state in which a work W1 stored in a cassette 50 is taken out by a work transfer robot R1, and the work W1 is a hand H2.
The hand H is retracted from the cassette 50 by rotating the rotating shaft 43 counterclockwise, rotating the first shaft 44 clockwise, and rotating the second shaft 45 counterclockwise to contract the hand H in the rotating shaft direction. At this time, the hand H2 moves on a straight line connecting the turning shaft 43 and the second shaft 45. Thereafter, when the work W1 placed on the hand H2 moves out of the cassette 50, the robot body 41 is moved on the traveling shaft 48 to the front of another cassette, and the hand H2 is extended. Store in another cassette. The orientation of the hand H2 with respect to the cassette 50 in this case is performed by rotating the turning angle 43.
【０００４】ここで、ワーク搬送ロボットＲ１に教示す
る際、図５（ｂ）に示すようにカセット５０におけるワ
ークＷ１の取り出し方向が旋回軸４３の中心から外れた
方向にある場合、ハンドＨ２は第２軸４５と旋回軸４３
の中心とを結ぶ線上を移動する軌跡を描くため、ハンド
Ｈ２は、カセット５０の内壁に当接し、ハンドＨ２上の
ワークＷ１に位置ずれが生じ、最悪の場合、ワークＷ１
が破損してしまう。このため、ワーク搬送ロボットＲ１
に対する教示は、図５（ａ）に示すように、カセット５
０におけるワークＷ１の取り出し方向が第２軸４５と旋
回軸４３の中心とを結ぶ直線上にある正規姿勢として教
示しなければならない。Here, when teaching the work transfer robot R1, if the direction of taking out the work W1 from the cassette 50 is out of the center of the turning shaft 43 as shown in FIG. Two axes 45 and swivel axis 43
The hand H2 abuts against the inner wall of the cassette 50 to draw a locus that moves on a line connecting the center of the hand H2, and the work W1 on the hand H2 is displaced. In the worst case, the work W1
Will be damaged. Therefore, the work transfer robot R1
The teaching for the cassette 5 is as shown in FIG.
It must be taught as a normal posture in which the take-out direction of the workpiece W1 at 0 is on a straight line connecting the second axis 45 and the center of the turning axis 43.
【０００５】特に、カセット５０とワークＷ１との間の
間隙ｄは数ミリ程度の余裕しかなく、ワーク搬送ロボッ
トＲ１に対する教示には非常に高い精度が要求される。In particular, the gap d between the cassette 50 and the work W1 has a margin of only a few millimeters, and very high precision is required for teaching the work transfer robot R1.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述したようにワーク
搬送ロボットを用いてワークの搬送制御を行う場合、ま
ず教示を行わなければならないが、カセットの取り出
し、あるいは収納方向（以下、「アクセス方向」とい
う。）とハンドの伸縮方向とを一致させる教示は、図５
に示すような冗長自由度をもったワーク搬送ロボットに
対して行う場合、多大な労力と時間がかかるという問題
点があった。As described above, when controlling the transfer of a work using the work transfer robot, the teaching must first be performed, but the cassette must be taken out or stored (hereinafter referred to as the "access direction"). The teaching of matching the direction of expansion and contraction of the hand is shown in FIG.
However, when the method is applied to a work transfer robot having a redundancy degree of freedom as shown in FIG.
【０００７】なぜなら、教示者は、図５においてハンド
Ｈ２をカセット５０近傍の所定位置に設定してこの所定
位置を維持させることと、ワーク搬送ロボットＲ１自体
が正規姿勢にあることとの両方を確認し、調整する必要
があり、各軸の微動調整の繰り返しとなるからである。
端的に言えば、教示者は、やや遠方にある所定位置に設
定したハンドＨ２の位置が変化しないように気を付けな
がら、手前にあるロボット本体４１を走行軸上で移動
し、旋回軸４３等の軸を回転させて正規姿勢を取る調整
をしなければならないからである。The instructor confirms that the hand H2 is set at a predetermined position near the cassette 50 in FIG. 5 to maintain the predetermined position, and that the work transfer robot R1 itself is in a normal posture in FIG. This is because it is necessary to make an adjustment, and the fine movement adjustment of each axis is repeated.
In short, the instructor moves the robot body 41 on the near side on the traveling axis while taking care not to change the position of the hand H2 set at a predetermined position slightly distant, and moves the turning axis 43 and the like. This is because it is necessary to make an adjustment to take a normal posture by rotating the axis of the.
【０００８】しかも、最終的なハンドＨ２の位置を維持
したワーク搬送ロボットＲ１の正規姿勢を得るまでの教
示時間が長くなり、例えばロボット本体４１を走行軸４
８上で繰り返し駆動させることになるため、ギヤやボー
ルスクリュー等の発塵量を増大させ、クリーンルーム内
のクリーン度を低下させるという問題点があった。In addition, the teaching time for obtaining the normal posture of the workpiece transfer robot R1 maintaining the final position of the hand H2 is lengthened.
8, the amount of dust generated by gears, ball screws and the like is increased, and the cleanliness in the clean room is reduced.
【０００９】そこで、本発明はかかる問題点を除去し、
ワーク搬送ロボットの教示を容易かつ短時間に行うこと
ができるワーク搬送ロボットの教示装置を提供すること
を目的とする。Therefore, the present invention eliminates such a problem,
An object of the present invention is to provide a work transfer robot teaching device that can easily and quickly teach a work transfer robot.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段および効果】第１の発明
は、少なくとも走行軸、旋回軸およびハンド手首軸を有
してハンドの位置制御を行い、該ハンド上に載置される
ワークの搬送制御を行うワーク搬送ロボットの教示装置
において、初期教示された前記ハンドの位置および方向
を含めた前記ワーク搬送ロボットの初期姿勢を検出する
検出手段と、前記ハンドの位置および方向を維持した前
記ワーク搬送ロボットの正規姿勢位置を演算する演算手
段と、前記正規姿勢位置をもとに少なくとも前記走行
軸、旋回軸およびハンド手首軸を駆動させて前記ワーク
搬送ロボットを正規姿勢に移動させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段による駆動開始を指示する駆動指示手
段とを具備したことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, the position of a hand is controlled by at least having a traveling axis, a turning axis, and a hand wrist axis, and a transfer control of a work placed on the hand is performed. Detecting means for detecting the initial posture of the work transfer robot including the position and direction of the hand taught initially, and the work transfer robot maintaining the position and direction of the hand Calculating means for calculating the normal posture position, and drive control means for driving at least the traveling axis, the turning axis and the hand wrist axis based on the normal posture position to move the work transfer robot to the normal posture.
And a drive instructing means for instructing the drive control means to start driving.
【００１１】第１の発明では、初期教示されたハンドの
位置および方向を維持したワーク搬送ロボットの正規姿
勢を自動的にとることができるので、教示処理が容易と
なり、また教示処理にかかる時間が短縮するという効果
を有する。According to the first aspect of the present invention, the normal posture of the work transfer robot can be automatically maintained while maintaining the position and direction of the hand taught initially, so that the teaching process is facilitated and the time required for the teaching process is increased. It has the effect of shortening.
【００１２】第２の発明は、第１の発明において、前記
ワーク搬送ロボットは、クリーンルーム内で教示され、
該クリーンルーム内で前記ワークを搬送制御することを
特徴とする。In a second aspect based on the first aspect, the work transfer robot is taught in a clean room,
The work is transported and controlled in the clean room.
【００１３】第２の発明では、第１の発明によってワー
ク搬送ロボットの教示処理時の駆動回数、時間が少なく
なるので、結果的にクリーンルーム内におけるゴミ等の
発生が少なくなり、クリーン度を維持することができる
という効果を有する。In the second invention, the number of times of driving and the time during the teaching process of the work transfer robot are reduced according to the first invention. As a result, the generation of dust and the like in the clean room is reduced, and the cleanness is maintained. It has the effect of being able to.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１５】図１は、本発明の実施の形態であるワーク
搬送ロボットの教示装置による教示処理を説明する説明
図である。図１において、ワーク搬送ロボットＲは、ク
リーンルーム内に配置され、ハンドＨ上にカセット２０
内のワークＷを載置して取り出し、他のカセットに搬送
し、あるいは他のカセットから搬送されたワークＷをカ
セット２０内に収納する。ワークＷは、長方形薄型平板
のガラス基板である。FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining a teaching process by a teaching device of a work transfer robot according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a work transfer robot R is disposed in a clean room, and a cassette 20 is placed on a hand H.
The work W is loaded and taken out and transported to another cassette, or the work W transported from another cassette is stored in the cassette 20. The work W is a rectangular thin flat glass substrate.
【００１６】ワーク搬送ロボットＲは、図２に示すよう
に、ロボット本体１内のモータＭ２によって回転駆動さ
れる旋回軸３に第１アーム６の基部が結合し、旋回軸３
の回転に従って第１アーム６は旋回する。第１アーム６
の先端にはモータＭ３が設置され、このモータＭ３によ
って回転駆動される第１軸４に第２アーム７の基部が結
合し、第１軸４の回転に従って第２アームは回転する。
さらに、第２アームの先端にはモータＭ４が設置され、
このモータＭ４によって回転駆動される第２軸５にハン
ドＨの基部が結合し、第２軸５の回転に従ってハンドＨ
が回転する。また、ロボット本体１は、モータＭ１の駆
動によって走行軸８上を移動することができる。これら
旋回軸３、第１軸４、第２軸５の回転、および走行軸８
上の移動は、ロボットコントローラ１０の制御のもとに
行われる。また、ロボットコントローラ１０の制御は、
ティーチングボックス１５を用いて予め設定された教示
処理の内容に従って行われる。As shown in FIG. 2, the base of the first arm 6 is connected to the turning shaft 3 which is driven to rotate by the motor M2 in the robot body 1, and
The first arm 6 turns according to the rotation of. First arm 6
A motor M3 is provided at the end of the first arm 4. The base of the second arm 7 is coupled to the first shaft 4 that is driven to rotate by the motor M3, and the second arm rotates as the first shaft 4 rotates.
Further, a motor M4 is provided at the tip of the second arm,
The base of the hand H is connected to the second shaft 5 that is rotationally driven by the motor M4, and the hand H is rotated in accordance with the rotation of the second shaft 5.
Rotates. The robot body 1 can move on the traveling axis 8 by driving the motor M1. The rotation of the turning shaft 3, the first shaft 4, and the second shaft 5, and the traveling shaft 8
The upward movement is performed under the control of the robot controller 10. The control of the robot controller 10 is as follows.
This is performed in accordance with the contents of the teaching process set in advance using the teaching box 15.
【００１７】図１において、ハンドＨは、上述したロボ
ットコントローラ１０の制御のもと、各軸の回転、走行
軸上の移動を制御することによって任意の軌跡を描くこ
とができる。但し、制御処理上の簡略化のため、ハンド
Ｈは、第２軸５と旋回軸３とを結ぶ直線上の軌跡を描く
という制限がある。これは、ハンドＨの伸縮動作は、旋
回軸３、第１軸４、第２軸５を所定の比率で回転させる
ことによって実現できるからである。例えば、ハンドＨ
を伸長させる場合、旋回軸３をα度右回転させ、第１軸
４を２α度左回転させ、第２軸５をα度右回転させると
いう簡単な制御によって実現できる。In FIG. 1, the hand H can draw an arbitrary trajectory by controlling the rotation of each axis and the movement on the traveling axis under the control of the robot controller 10 described above. However, for simplicity in control processing, there is a restriction that the hand H draws a locus on a straight line connecting the second axis 5 and the turning axis 3. This is because the expansion and contraction operation of the hand H can be realized by rotating the turning shaft 3, the first shaft 4, and the second shaft 5 at a predetermined ratio. For example, hand H
Can be realized by simple control of rotating the turning shaft 3 rightward by α degrees, rotating the first shaft 4 leftward by 2α degrees, and rotating the second shaft 5 rightward by α degrees.
【００１８】ここで、図１に示すように、カセット２０
におけるワークＷの取り出し方向が必ずしも走行軸８
（ｘ軸）に垂直とならないで配置される場合ある。この
ような場合、教示者がハンドＨをカセット２０のワーク
Ｗの取り出し位置に教示しても、通常、カセット２０に
おけるワークＷの取り出し方向とハンドＨのアクセス方
向（伸縮動作方向）とを一度で一致させることは困難で
ある。なお、図１では、カセット２０におけるワークの
取り出し方向と走行軸８とを垂直にしないで示したが、
垂直である場合にも、カセットの設置誤差等の要因によ
り、カセット２０におけるワークＷの取り出し方向とハ
ンドＨのアクセス方向とを一致させることは困難であ
る。Here, as shown in FIG.
The direction of taking out the workpiece W at
In some cases, they are arranged without being perpendicular to the (x-axis). In such a case, even if the instructor teaches the hand H to the take-out position of the work W of the cassette 20, usually, the take-out direction of the work W in the cassette 20 and the access direction of the hand H (extendable / retractable operation direction) are simultaneously performed. It is difficult to match. In FIG. 1, the direction in which the work is taken out of the cassette 20 and the traveling shaft 8 are not perpendicular to each other.
Even when it is vertical, it is difficult to make the direction of taking out the work W from the cassette 20 and the direction of access of the hand H coincide with each other due to factors such as a cassette installation error.
【００１９】そこで、本発明の実施の形態では、教示者
がハンドＨの向きと位置とを初期教示として教示する
と、このハンドＨの向きと位置とを維持したまま、カセ
ット２０におけるワークの取り出し方向とハンドＨのア
クセス方向とが一致した正規姿勢に自動的に移動させる
ようにする。Therefore, in the embodiment of the present invention, when the instructor teaches the direction and position of the hand H as initial teaching, the work take-out direction in the cassette 20 is maintained while maintaining the direction and position of the hand H. And the hand H is automatically moved to a normal posture in which the access direction matches.
【００２０】図１において、初期教示の状態でワーク搬
送ロボットＲは正規姿勢の状態ではなく、旋回軸３は走
行軸（ｘ軸）上の座標ｘ１に位置している。また、初期
教示の状態で、ハンドＨの向きは正規姿勢のアクセス方
向を向いており、ハンドＨを結合する第２軸５の位置は
ｘｙ座標上、点Ｐ（ｘｈ，ｙｈ）にある。従って、旋回
軸３の位置をｘ軸上、ｘ２に移動し、これに対応して旋
回軸３を左回転して第１アーム６を第１アーム６’の位
置にし、第１軸４を左回線して第２アーム７を第２アー
ム７’の位置にし、第２軸５を右回転してハンドＨを維
持するようにすればよい。この関係をｘｙ座標を用いて
説明する。In FIG. 1, the work transfer robot R is not in the normal posture in the state of the initial teaching, and the turning axis 3 is located at the coordinate x1 on the traveling axis (x axis). Further, in the state of the initial teaching, the hand H is oriented in the access direction of the normal posture, and the position of the second axis 5 connecting the hand H is at the point P (xh, yh) on the xy coordinates. Accordingly, the position of the turning shaft 3 is moved to the position x2 on the x-axis. In response to this, the turning shaft 3 is rotated counterclockwise to move the first arm 6 to the position of the first arm 6 'and move the first shaft 4 to the left. The second arm 7 may be set to the position of the second arm 7 ′ by connecting the line, and the second shaft 5 may be rotated clockwise to maintain the hand H. This relationship will be described using xy coordinates.
【００２１】初期教示の状態で、点Ｐと旋回軸３の中心
とを結ぶ直線と、ｘ軸とのなす角度はθｂであり、ハン
ドＨの向きは正規姿勢におけるハンドＨのアクセス方向
と一致し、ｘ軸とのなす角度は（θａ＋θｂ）である。In the state of the initial teaching, the angle between the straight line connecting the point P and the center of the turning axis 3 and the x-axis is θb, and the direction of the hand H matches the access direction of the hand H in the normal posture. , X-axis is (θa + θb).
【００２２】ここで、点Ｐ（ｘｈ，ｙｈ）の座標は、点
Ｐ（ｘｈ，ｙｈ）と点（ｘ１，０）との距離をｒ１と
し、点Ｐ（ｘｈ，ｙｈ）と点（ｘ２，０）との距離をｒ
２とすると、 Ｐ（ｘｈ，ｙｈ）＝（ｘ１＋ｒ１cosθａ，ｒ１sinθ
ａ）＝（ｘ２＋ｒ２cos（θａ＋θｂ），ｒ２sin（θａ
＋θｂ）） となる。従って、各ｘ成分およびｙ成分が等しいので、 ｘ１＋ｒ１cosθａ＝ｘ２＋ｒ２cos（θａ＋θｂ） （１） ｒ１sinθａ＝ｒ２sin（θａ＋θｂ） （２） が成立する。この（１）式および（２）式の連立方程式
を解くと、 ｒ２＝ｒ１sinθａ／sin（θａ＋θｂ） ｘ２＝ｘ１＋ｒ１cosθａ−ｒ１sinθａ／tan（θａ＋
θｂ） を得る。Here, the coordinates of the point P (xh, yh) are represented by the distance r1 between the point P (xh, yh) and the point (x1, 0), and the points P (xh, yh) and the point (x2, y2). The distance from 0) to r
Assuming that 2, P (xh, yh) = (x1 + r1 cos θa, r1 sin θ
a) = (x2 + r2cos (θa + θb), r2sin (θa
+ Θb)). Therefore, since each x component and y component are equal, x1 + r1cosθa = x2 + r2cos (θa + θb) (1) r1sinθa = r2sin (θa + θb) (2) holds. Solving the simultaneous equations of equations (1) and (2) gives: r2 = r1 sin θa / sin (θa + θb) x2 = x1 + r1 cos θa−r1 sin θa / tan (θa +
θb).
【００２３】従って、初期教示の状態における距離ｒ１
を距離ｒ２にし、旋回軸３の位置ｘ１を位置ｘ２に移動
させる各軸の制御を行うことによって、ハンドＨを初期
教示の方向および位置に維持したまま、ワーク搬送ロボ
ットＲを正規姿勢にすることができる。Accordingly, the distance r1 in the state of the initial teaching is
Is set to the distance r2, and the control of each axis for moving the position x1 of the turning axis 3 to the position x2 is performed, so that the work transfer robot R is brought into the normal posture while maintaining the hand H in the initial teaching direction and position. Can be.
【００２４】このため、ロボットコントローラ１０は図
２に示すように、初期教示位置検出部１１が初期教示の
状態における旋回軸３，第１軸４，第２軸５，および走
行軸８の位置を検出し、座標値算出部１２は、検出した
値から各軸のｘｙ座標上の位置を算出する。正規姿勢位
置算出部１３は、座標値算出部１２が算出した値をもと
に上述したｒ２とｘ２とを求め、正規姿勢時における各
軸の値を算出する。そして、モータ駆動制御部１４は、
正規姿勢位置算出部１３が算出した値に従って各軸を駆
動制御し、ワーク搬送ロボットＲを正規姿勢に移動させ
る。For this reason, as shown in FIG. 2, the robot controller 10 determines the positions of the turning axis 3, the first axis 4, the second axis 5, and the traveling axis 8 when the initial teaching position detecting section 11 is in the initial teaching state. Upon detection, the coordinate value calculation unit 12 calculates the position on the xy coordinates of each axis from the detected values. The normal posture position calculation unit 13 obtains the above-described r2 and x2 based on the values calculated by the coordinate value calculation unit 12, and calculates the value of each axis in the normal posture. Then, the motor drive control unit 14
Each axis is driven and controlled according to the value calculated by the normal posture position calculation unit 13 to move the work transfer robot R to the normal posture.
【００２５】次に、図３に示すフローチャートを参照し
て、ロボットコントローラ１０による教示処理手順につ
いて説明する。Next, the procedure of the teaching process by the robot controller 10 will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
【００２６】図３において、まず教示者によって初期教
示、すなわちハンドＨの位置（Ｐ点）および方向（アク
セス方向、すなわちカセット２０の側壁に平行な方向）
が教示される（ステップＳ１）と、初期教示位置検出部
１１は、各軸、すなわち旋回軸３、第１軸４、第２軸
５、および走行軸８の現在位置の値を取得する（ステッ
プＳ２）。その後、座標値算出部１２は、この取得され
た値をもとに、初期教示の状態における第２軸５の座標
値、ｘ１，ｒ１，θａ，θｂを算出する（ステップＳ
３）。そして、正規姿勢位置算出部１３は、上述した
（１）式および（２）式の連立方程式の解である正規姿
勢の状態における第２軸５の座標値、ｘ２，ｒ２，θ
ａ，θｂを算出し（ステップＳ４）、さらに正規姿勢の
状態における各軸の駆動量（移動量）を算出する（ステ
ップＳ５）。その後、ティーチングボックス１５の正規
姿勢指示ボタン１４が教示者によって押下されることに
よる正規姿勢への移動指示があったか否かを判断し（ス
テップＳ６）、正規姿勢への移動指示がない場合はステ
ップＳ１に移行して上述した処理を繰り返し、正規姿勢
への移動指示があった場合、モータ駆動制御部１４は、
ステップＳ５で算出された駆動量をもとに各モータＭ１
〜Ｍ４を駆動制御して各軸を駆動させ、ワーク搬送ロボ
ットＲを正規姿勢に移動させる（Ｓ７）制御を行って本
処理を終了する。In FIG. 3, first, the instructor initially teaches, that is, the position (point P) and direction of the hand H (access direction, ie, a direction parallel to the side wall of the cassette 20).
Is taught (step S1), the initial taught position detection unit 11 acquires the values of the current position of each axis, that is, the turning axis 3, the first axis 4, the second axis 5, and the traveling axis 8 (step S1). S2). Thereafter, the coordinate value calculating unit 12 calculates the coordinate values x1, r1, θa, and θb of the second axis 5 in the state of the initial teaching based on the obtained values (Step S).
3). Then, the normal posture position calculation unit 13 calculates the coordinate values of the second axis 5 in the normal posture state, x2, r2, θ, which are the solutions of the simultaneous equations of the above equations (1) and (2).
a and θb are calculated (step S4), and the drive amount (movement amount) of each axis in the normal posture state is calculated (step S5). Thereafter, it is determined whether or not there has been an instruction to move to the normal posture by pressing the normal posture instruction button 14 of the teaching box 15 by the teacher (step S6). If there is no instruction to move to the normal posture, step S1 is performed. And the above-described processing is repeated, and when there is an instruction to move to the normal posture, the motor drive control unit 14
Each motor M1 is determined based on the drive amount calculated in step S5.
To M4 to drive the respective axes to move the work transfer robot R to the normal posture (S7), and terminate the present process.
【００２７】このようにして上述した実施の形態では、
ハンドＨに対する所望の位置と方向とを初期教示するの
みでワーク搬送ロボットＲに対する正規姿勢位置を自動
的に教示することができ、教示処理を容易かつ短時間に
行うことができる。In the above-described embodiment,
Only by initially teaching the desired position and direction to the hand H, the normal posture position to the work transfer robot R can be automatically taught, and the teaching process can be performed easily and in a short time.
【００２８】また、ワーク搬送ロボットＲに対する教示
が短時間で済むため、各軸の微動動作の繰り返しが低減
され、各軸の動作繰り返しに伴うゴミ等の発生が少なく
なり、特にクリーンルーム内で動作するワーク搬送ロボ
ットＲに教示する場合、クリーンルーム内のクリーン度
を劣化させることがない。Further, since teaching to the work transfer robot R is completed in a short time, repetition of fine movement of each axis is reduced, and generation of dust and the like due to repetition of operation of each axis is reduced, and the apparatus operates particularly in a clean room. When teaching to the work transfer robot R, the cleanliness in the clean room is not deteriorated.
【００２９】次に、図４を参照して、冗長自由度をもっ
た他のワーク搬送ロボットＲＲに上述した教示装置を適
用した場合について説明する。Next, a case where the above-described teaching device is applied to another work transfer robot RR having a redundancy degree of freedom will be described with reference to FIG.
【００３０】図４に示すワーク搬送ロボットＲＲは、旋
回軸３に対応する旋回軸３２と、この旋回軸３２の中心
に対して垂直に移動するスライド軸３１と、このスライ
ド軸３１の先端で軸３３で結合されるハンドＨ１を有す
る。また、旋回軸３２は、ワーク搬送ロボットＲのロボ
ット本体１と同様なロボット本体上に設置されるととも
に、このロボット本体には走行軸８と同様な走行軸が取
り付けられ、ｘ軸上を移動することができる。The work transfer robot RR shown in FIG. 4 has a turning shaft 32 corresponding to the turning shaft 3, a slide shaft 31 which moves perpendicularly to the center of the turning shaft 32, and an axis at the tip of the slide shaft 31. It has a hand H1 connected at 33. The turning axis 32 is installed on a robot body similar to the robot body 1 of the work transfer robot R, and a traveling axis similar to the traveling axis 8 is attached to the robot body and moves on the x axis. be able to.
【００３１】ワーク搬送ロボットＲＲは、旋回軸３２を
左右に回転させることによってスライド軸３１を旋回す
ることができ、スライド軸３１をスライドさせることに
よってハンドＨ１を旋回軸３２に対して前後に伸縮動作
を行うことができる。また、ハンドＨ１は、軸３３を中
心に左右に回転することができる。The work transfer robot RR can turn the slide shaft 31 by rotating the turn shaft 32 left and right, and by sliding the slide shaft 31, the hand H1 moves back and forth with respect to the turn shaft 32. It can be performed. In addition, the hand H1 can rotate left and right about the axis 33.
【００３２】従って、ワーク搬送ロボットＲＲの教示
は、初期教示時のハンドＨ１の位置Ｐ点とｘ軸上のｘ１
との距離をｒ１、およびｘ軸とｘ１−Ｐ線との角度をθ
ａとし、正規姿勢時の位置Ｐ点とｘ軸上のｘ２との距離
をｒ２、およびｘ軸とｘ２−Ｐ線との角度をθａ＋θｂ
とすることによって、ワーク搬送ロボットＲに対する教
示と同様にして行うことができる。この初期教示姿勢か
ら正規姿勢への移動は、スライド軸３１をｒ１からｒ２
にスライドさせ、旋回軸３２をθａからθａ＋θｂに回
転させ、走行軸をｘ１からｘ２に移動させ、軸３３をθ
ｂ分右回転させる制御を行うことによって達成すること
ができる。Therefore, the work transfer robot RR teaches the position P of the hand H1 at the time of the initial teaching and the position x1 on the x-axis.
, And the angle between the x-axis and the x1-P line is θ.
a, the distance between the point P in the normal posture and x2 on the x-axis is r2, and the angle between the x-axis and the x2-P line is θa + θb.
By doing so, the teaching can be performed in the same manner as the teaching to the work transfer robot R. The movement from the initial teaching posture to the normal posture is performed by moving the slide shaft 31 from r1 to r2.
, The turning axis 32 is rotated from θa to θa + θb, the traveling axis is moved from x1 to x2, and the axis 33 is shifted to θ.
This can be achieved by performing control to rotate right by b.
【図１】本発明の実施の形態であるワーク搬送ロボット
の教示装置による教示処理を説明する説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a teaching process performed by a teaching device of a work transfer robot according to an embodiment of the present invention.
【図２】ワーク搬送ロボットの構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a work transfer robot.
【図３】ワーク搬送ロボットの教示処理手順を示すフロ
ーチャートである。FIG. 3 is a flowchart illustrating a teaching processing procedure of the work transfer robot.
【図４】本発明が適用される他のワーク搬送ロボットの
一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of another work transfer robot to which the present invention is applied.
【図５】ワーク搬送ロボットが正規姿勢にある場合と正
規姿勢にない場合の状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a state where the work transfer robot is in a normal posture and a case where the work transfer robot is not in a normal posture.
１…ロボット本体 ３…旋回軸 ４…第１軸 ５…第２
軸 ６…第１アーム ７…第２アーム ８…走行軸 １０…ロボットコントロ
ーラ １１…初期教示位置検出部 １２…座標値算出部 １３…正規姿勢位置算出部 １４…モータ駆動制御部 １５…ティーチングボックス １６…正規姿勢指示ボタ
ン ２０…カセット Ｒ…ワーク搬送ロボット Ｈ…ハンド Ｍ１〜Ｍ４…モ
ータ ｒ１，ｒ２…距離 θａ，θｂ…角度DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Robot main body 3 ... Revolving axis 4 ... 1st axis 5 ... 2nd
Axis 6 First arm 7 Second arm 8 Running axis 10 Robot controller 11 Initial teaching position detecting unit 12 Coordinate value calculating unit 13 Normal posture position calculating unit 14 Motor drive control unit 15 Teaching box 16 ... Regular posture instruction button 20 ... Cassette R ... Work transfer robot H ... Hands M1 to M4 ... Motor r1, r2 ... Distance θa, θb ... Angle
Claims (2)
手首軸を有してハンドの位置制御を行い、該ハンド上に
載置されるワークの搬送制御を行うワーク搬送ロボット
の教示装置において、 初期教示された前記ハンドの位置および方向を含めた前
記ワーク搬送ロボットの初期姿勢を検出する検出手段
と、 前記ハンドの位置および方向を維持した前記ワーク搬送
ロボットの正規姿勢位置を演算する演算手段と、 前記正規姿勢位置をもとに少なくとも前記走行軸、旋回
軸およびハンド手首軸を駆動させて前記ワーク搬送ロボ
ットを正規姿勢に移動させる駆動制御手段と、 前記駆動制御手段による駆動開始を指示する駆動指示手
段とを具備したことを特徴とするワーク搬送ロボットの
教示装置。1. A teaching device for a work transfer robot having at least a traveling axis, a turning axis and a hand wrist axis to control the position of a hand and to control the transfer of a work placed on the hand. Detecting means for detecting the initial posture of the work transfer robot including the determined position and direction of the hand; calculating means for calculating the normal posture position of the work transfer robot maintaining the position and direction of the hand; Drive control means for driving at least the traveling axis, the turning axis and the hand wrist axis based on the normal posture position to move the work transfer robot to the normal posture, and drive instruction means for instructing the drive control means to start driving. And a teaching device for a work transfer robot.
ーム内で教示され、該クリーンルーム内で前記ワークを
搬送制御することを特徴とする請求項１に記載のワーク
搬送ロボットの教示装置。2. The teaching device for a work transfer robot according to claim 1, wherein the work transfer robot is taught in a clean room, and controls the transfer of the work in the clean room.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19736698A JP2000024969A (en) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | Teaching device for work carrying robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19736698A JP2000024969A (en) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | Teaching device for work carrying robot |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024969A true JP2000024969A (en) | 2000-01-25 |
Family
ID=16373308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19736698A Pending JP2000024969A (en) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | Teaching device for work carrying robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024969A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018051464A1 (en) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 富士機械製造株式会社 | Conveyance arm device for machine tool |
| JPWO2020137799A1 (en) * | 2018-12-27 | 2021-10-07 | 川崎重工業株式会社 | Robot position correction method and robot |
-
1998
- 1998-07-13 JP JP19736698A patent/JP2000024969A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018051464A1 (en) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 富士機械製造株式会社 | Conveyance arm device for machine tool |
| JPWO2018051464A1 (en) * | 2016-09-15 | 2019-06-27 | 株式会社Ｆｕｊｉ | Transfer arm device for machine tools |
| JPWO2020137799A1 (en) * | 2018-12-27 | 2021-10-07 | 川崎重工業株式会社 | Robot position correction method and robot |
| JP7064623B2 (en) | 2018-12-27 | 2022-05-10 | 川崎重工業株式会社 | Robot position correction method and robot |
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