JP2000024801A - Machining method for noble metal - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、貴金属の加工方
法、例えばホログラムレンズ形成用のガラスリヒートプ
レス成形型に成膜した貴金属薄膜面に回折光学パターン
を形成する加工方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for processing a noble metal, for example, a method for forming a diffractive optical pattern on a surface of a noble metal thin film formed on a glass reheat press mold for forming a hologram lens.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、光ディスクの急速な普及により光
ディスク再生装置等の量産化と共に、これの高性能化及
び低コスト化の研究が盛んに行われている。2. Description of the Related Art In recent years, due to the rapid spread of optical disks, studies have been actively conducted on mass production of optical disk reproducing devices and the like, as well as higher performance and lower cost thereof.
【０００３】光ディスク再生装置内の光ピックアップ
は、内蔵されているレーザダイオードから出射光を光デ
ィスクに照射し、この光ディスクからの反射光をフォト
ダイオードで受光し、その光量の変化をモニタすること
により光ディスク内の情報を読み取る。An optical pickup in an optical disk reproducing apparatus irradiates an optical disk with light emitted from a built-in laser diode, receives light reflected from the optical disk by a photodiode, and monitors a change in the amount of the light. Read the information inside.
【０００４】このような光学系は多数のレンズやハーフ
ミラー等を用いて構成されていたが、図６に示すような
回折格子１８を形成するパターンの溝１７を加工したホ
ログラムレンズ１６や、フレネルレンズなどを用いるこ
とにより、ピックアップ内の部品を削減できるため、こ
のような光学素子が用いられるようになってきている。[0004] Such an optical system has been constituted by using a large number of lenses, half mirrors and the like. A hologram lens 16 having grooves 17 of a pattern forming a diffraction grating 18 as shown in FIG. By using a lens or the like, the number of components in the pickup can be reduced, and thus such an optical element has been used.
【０００５】そして、近年、幾何光学を用いた非球面レ
ンズのみならず、回折光学を用いた光学素子が開発さ
れ、光ディスク再生装置等に用いるホログラムレンズの
微細溝の形状は、必ずしも図６に示すような同心円状で
はなく複雑な曲線状の溝を形成したものも存在するが、
このような曲線状の溝はエッチングによっては設計通り
の断面形状や形状精度を得ることが難しく、施盤により
加工せざるを得ないのが実情である。In recent years, not only aspherical lenses using geometrical optics but also optical elements using diffractive optics have been developed, and the shape of the fine grooves of the hologram lens used in an optical disk reproducing device or the like is not necessarily shown in FIG. There are also those that form complicated curved grooves instead of such concentric circles,
It is difficult to obtain a cross-sectional shape and a shape accuracy as designed by etching depending on such a curved groove, and in fact, it has to be processed by a lathe.
【０００６】しかし、このような加工は普通の施盤では
行うことができず、例えば図７に示すように、制御され
てＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動し、凸面又は凹面に対しても複
雑な形状の溝加工及び同心円状の溝加工が可能な施盤が
開発され公知となっているが、このような機能を有する
施盤でなければ加工することができない。[0006] However, such processing cannot be performed with a normal lathe. For example, as shown in FIG. 7, the processing is controlled and driven in the X, Y, and Z directions, and even a convex or concave surface is complicated. Lathes capable of forming grooves and concentric grooves have been developed and are known, but they cannot be machined unless they have such a function.
【０００７】図７に示した施盤は、ベース２１上に、Ｙ
方向に駆動するＹテーブル２２のフランジ２２ａにＹ方
向と直交するＸ方向に駆動するＸテーブル２３が設けら
れ、このＸテーブル２３に固設された保持部２４にバイ
ト２５が取付けられ、これらの対向位置には、Ｘ、Ｙ方
向に直交するＺ方向に駆動するＺテーブル２６が配さ
れ、このＺテーブル２６上にはＺ方向を軸とする回動台
２７が設けられている。[0007] The lathe shown in FIG.
An X table 23 that is driven in the X direction orthogonal to the Y direction is provided on a flange 22a of the Y table 22 that is driven in the direction, and a cutting tool 25 is attached to a holding portion 24 fixed to the X table 23. At a position, a Z table 26 that is driven in a Z direction orthogonal to the X and Y directions is arranged, and a turntable 27 having the Z direction as an axis is provided on the Z table 26.
【０００８】非加工物２９は回動台２７の先端に固着さ
れ、上記したＸ、Ｙ、Ｚの各テーブルのそれぞれが綿密
な制御の下で所定の動作を行うことによって、バイト２
５で非加工物２９の面に複雑なパターンの切削加工を行
うことができるようになっている。The non-processed object 29 is fixed to the tip of the turntable 27, and each of the X, Y, and Z tables performs a predetermined operation under careful control, whereby the cutting tool 2 is moved.
5, a complicated pattern cutting process can be performed on the surface of the non-processed object 29.
【０００９】このような回折光学パターンを有するレン
ズは複製により量産が容易であるため、上記の如き施盤
を用いて成形型を作製しておけば量産が可能であり、例
えばガラスリヒートプレス成形により作製される。[0009] Since a lens having such a diffractive optical pattern can be easily mass-produced by duplication, mass-production is possible by preparing a mold using the above-mentioned lathe, for example, by glass reheat press molding. Is done.
【００１０】このガラスリヒートプレスによる成形時に
はこのプレス型が高温化するため、プレス型の成形面に
は高耐熱性の貴金属のような超硬金属をスパッタリング
により成膜し、施盤にダイヤモンドバイトを取付け、圧
縮空気を用いたオイルミストを切削面に供給しながら、
成膜面に微細な矩形、三角形及び曲面等からなる回折光
学パターンを形成する（図１参照）。[0010] Since the press mold is heated to a high temperature during the molding by the glass reheat press, a super hard metal such as a noble metal having high heat resistance is formed on the molding surface of the press mold by sputtering, and a diamond tool is attached to the lathe. While supplying oil mist using compressed air to the cutting surface,
A diffractive optical pattern composed of minute rectangles, triangles, curved surfaces, and the like is formed on the film formation surface (see FIG. 1).
【００１１】この成膜材料としては主に貴金属が用いら
れるが、貴金属はバルク状態では硬度は高くないもの
の、スパッタリングなどで成膜した貴金属薄膜は硬度が
高いため、ガラスリヒートプレス成形の成形型によく使
用されている。Noble metals are mainly used as the film forming material. However, noble metals do not have a high hardness in a bulk state, but a noble metal thin film formed by sputtering or the like has a high hardness. Often used.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
如く、従来は成形型に成膜した貴金属薄膜面に、図７の
如き装置を用いて所定の回折光学パターンが形成されて
いるが、オイルミストの圧力媒体として圧縮空気が用い
られているため、ダイヤモンドバイトが酸化し炭化され
易く、刃先が摩耗し易い。従って、貴金属薄膜の切削精
度が所定通りに得られないことがある。However, as described above, conventionally, a predetermined diffractive optical pattern is formed on the surface of a noble metal thin film formed on a mold using an apparatus as shown in FIG. Since compressed air is used as the pressure medium, the diamond tool is easily oxidized and carbonized, and the cutting edge is easily worn. Therefore, the cutting precision of the noble metal thin film may not be obtained as predetermined.
【００１３】図８（ａ）は、このような従来の切削加工
方による切削加工後のダイヤモンドバイト１１の刃先１
１ａの顕微鏡写真（図８（ｂ）のＢ部）であり、刃先１
１ａが摩耗した状態を示している。FIG. 8A shows the cutting edge 1 of the diamond cutting tool 11 after the cutting by the conventional cutting method.
8 is a microscope photograph (part B in FIG. 8B) of FIG.
1a shows a worn state.
【００１４】また、図９は、このように摩耗したダイヤ
モンドバイト１１で切削加工された貴金属薄膜の被加工
面の顕微鏡写真であり、ダイヤモンドバイト１１の切れ
が悪いために刃先１１ａの摩耗による引き目が加工面に
観察される。FIG. 9 is a photomicrograph of the processed surface of the noble metal thin film cut with the diamond tool 11 worn in this way. The cutting edge of the diamond tool 11 due to abrasion of the cutting edge 11a due to poor cutting of the diamond tool 11 is shown. Are observed on the machined surface.
【００１５】従って、従来の加工方法では、ダイヤモン
ドバイトの寿命が短いばかりでなく、高精度な切削加工
が困難であると共に、作製した成形型の寿命も短いた
め、製品の低コスト化を防げる要因となっている。Therefore, in the conventional processing method, not only the life of the diamond tool is short, but also it is difficult to perform high-precision cutting, and the life of the formed mold is short. It has become.
【００１６】そこで本発明の目的は、ダイヤモンドバイ
トの如き切削工具の摩耗を防止して工具を高寿命化させ
ると共に、高精度な加工を容易にして生産製を高め、低
コストで良質な製品が得られる貴金属の加工方法を提供
することにある。Accordingly, an object of the present invention is to prevent wear of a cutting tool such as a diamond bite to extend the life of the tool, to facilitate high-precision machining, to increase production, and to produce a low-cost, high-quality product. An object of the present invention is to provide a method for processing the obtained noble metal.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は被加工物
である貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行
うに際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被
加工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金
属の加工方法に係るものである。That is, according to the present invention, when a predetermined portion of a noble metal to be processed is removed and processed into a predetermined shape, an inert gas is used as a pressure medium and oil is applied to a surface of the noble metal to be processed. The present invention relates to a method for processing a noble metal, characterized by supplying mist.
【００１８】本発明によれば、貴金属を加工する際に、
不活性ガスを圧力媒体として貴金属の加工面にオイルミ
ストを供給するので、ダイヤモンドバイトの如き加工具
の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加工
具が摩耗し難く、加工具の寿命を延ばすことができると
共に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加
工されることにより、生産製を高めてコストが低減した
良質な製品が得られる優れた貴金属の加工方法を提供す
ることができる。According to the present invention, when processing a noble metal,
Since the oil mist is supplied to the processing surface of the noble metal using the inert gas as a pressure medium, oxidation and carbonization of a processing tool such as a diamond bite can be prevented. As a result, the processing tool is less likely to wear, the life of the processing tool can be extended, and the workpiece is processed with high precision by the tool without wear, thereby increasing the production quality and reducing the cost. It is possible to provide an excellent method for processing a noble metal, which can provide an excellent product.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明を好ましい実施の形
態に従い説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described according to preferred embodiments.
【００２０】図１に、本発明の実施の形態による成形型
の切削加工の状態を示す要部の概略図を示す。FIG. 1 is a schematic view of a main part showing a cutting state of a molding die according to an embodiment of the present invention.
【００２１】ホログラムレンズ状に形成されたガラスリ
ヒートプレスの成形型（雌型）１の中央の凹部に、スパ
ッタリングにより成膜した貴金属薄膜２の面をバイト
（例えばダイヤモンドバイト）により、所定の回折光学
パターンの溝３をノズル５からオイルミスト６を供給し
ながら切削している状態であるが、、図示の如く被加工
物と切削工具及びオイルミスト供給部とが相対的に移動
又は変位しながら、前記貴金属の被加工面に切削加工を
行うことが望ましい。そして、成形型１は耐熱性が高
く、貴金属薄膜２の密着の良い超硬合金（例えばコバル
トレスのタングステンカーバイト）を用いることが好ま
しい。The surface of the noble metal thin film 2 formed by sputtering is formed in a central concave portion of a glass reheat press forming die (female die) 1 formed in a hologram lens shape by a cutting tool (for example, a diamond cutting tool) by a predetermined diffractive optics. While the groove 3 of the pattern is being cut while the oil mist 6 is being supplied from the nozzle 5, the workpiece, the cutting tool and the oil mist supply unit are relatively moved or displaced as shown in the drawing. It is desirable to perform a cutting process on the surface to be processed of the noble metal. The mold 1 is preferably made of a cemented carbide having high heat resistance and good adhesion of the noble metal thin film 2 (for example, cobalt-less tungsten carbide).
【００２２】そしてこの場合、オイルミストの圧力媒体
となる不活性ガスとして窒素を用いることが望ましい
が、不活性ガスであれば、例えばアルゴン、ヘリウム、
ネオン、クリプトン等も用いることができる。このよう
に不活性ガスを用いることによりバイト４の酸化及び炭
化を防止することができる。In this case, it is desirable to use nitrogen as an inert gas serving as a pressure medium for the oil mist, but if it is an inert gas, for example, argon, helium,
Neon, krypton, and the like can also be used. By using the inert gas in this way, oxidation and carbonization of the cutting tool 4 can be prevented.
【００２３】また、前記オイルミストの材料としては、
高粘性のオイルでは良好なミストが形成されないため、
例えば灯油系オイル程度の粘度を有する第３石油類から
なる群より選ばれた少なくとも一種を用いることが望ま
しい。Further, as a material of the oil mist,
Since good mist is not formed with highly viscous oil,
For example, it is desirable to use at least one selected from the group consisting of third petroleums having a viscosity similar to that of kerosene oil.
【００２４】このような加工方法は、スパッタリングに
より形成した貴金属（単元素及び複合元素の両方を含
む）薄膜の切削を行うのに好適であるが、蒸着膜の切削
にも適用することができる。又、加工の対象は薄膜に限
らず貴金属製品であってもよく、これらの研削にも適用
することができる。Such a processing method is suitable for cutting a noble metal (including both a single element and a composite element) thin film formed by sputtering, but can also be applied to cutting of a vapor-deposited film. Further, the object to be processed is not limited to a thin film, but may be a precious metal product, and can be applied to the grinding of these.
【００２５】また、貴金属の切削加工を行う場合、切削
工具としてダイヤモンドバイトを用いることが好適であ
り、このダイヤモンドバイトも不活性ガスを圧力媒体と
するオイルミストの供給により酸化や炭化が防止され、
寿命を延ばすことができる。When cutting a precious metal, it is preferable to use a diamond tool as a cutting tool, and the diamond tool is also prevented from being oxidized and carbonized by supplying an oil mist using an inert gas as a pressure medium.
Life can be extended.
【００２６】上記した如く、ガラスリヒートプレス成形
型の回折光学パターンの切削を行うのに好適であるが、
これ以外にも、例えば図５に示すように、フレネルレン
ズ及びホログラムレンズ等の切削加工にも適用するこが
できる。図５は、樹脂系の材料（例えばポリカーボネー
ト）からなるホログラムレンズ１４の凸面に回折光学パ
ターン１５を本実施の形態により切削加工している状態
を示している。As described above, it is suitable for cutting a diffractive optical pattern of a glass reheat press mold.
In addition, as shown in FIG. 5, for example, the present invention can be applied to cutting of a Fresnel lens and a hologram lens. FIG. 5 shows a state where the diffractive optical pattern 15 is cut on the convex surface of the hologram lens 14 made of a resin material (for example, polycarbonate) according to the present embodiment.
【００２７】[0027]
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。Embodiments of the present invention will be described below.
【００２８】前記した実施の形態に従い、図１に示した
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３／ｍｍ厚さに成膜したＩ
ｒ（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加
工した。According to the above-described embodiment, a blaze hologram is sputtered on a cemented carbide mold 1 made of cobaltless tungsten carbide by using the apparatus shown in FIG. I formed to a thickness of mm
A groove 3 having a predetermined pattern was cut on the surface of the r (iridium) film 2.
【００２９】切削加工に用いたバイト４は天然の単結晶
ダイヤモンド製で、先端角３５度で極めてシャープエッ
ジ（使用限界は刃先の先端Ｒ≦０．５μｍ）なものであ
る。The cutting tool 4 used for cutting is made of natural single crystal diamond and has an extremely sharp edge with a tip angle of 35 ° (use limit: tip R of the cutting edge ≦ 0.5 μm).
【００３０】切削加工の１パスは約１０００ｍで、切り
込み深さは最大で０．７μｍであり、仕上げ加工として
は１パスで行った。One pass of the cutting was about 1000 m, the cutting depth was 0.7 μm at the maximum, and the finishing was performed in one pass.
【００３１】オイルミストの構成は不活性ガスとして窒
素ガスを用いた。そしてオイルは第３石油類のパレス
（ＰＳ−ＦＭ−Ａ）：（商品名、パレス化学株式会社
製）を使用した。The configuration of the oil mist used nitrogen gas as an inert gas. The oil used was a third petroleum palace (PS-FM-A): (trade name, manufactured by Palace Chemical Co., Ltd.).
【００３２】図２（ａ）は本実施例による使用後のダイ
ヤモンドバイト４の刃先４ａの顕微鏡写真であり、図２
（ｂ）におけるＡ部を示している。そして、この図は、
ダイヤモンドバイト４の刃先４ａが摩耗していないこと
を示している。FIG. 2A is a photomicrograph of the cutting edge 4a of the diamond cutting tool 4 after use according to the present embodiment.
4A illustrates a portion A in FIG. And this figure is
This indicates that the cutting edge 4a of the diamond cutting tool 4 is not worn.
【００３３】また、図３は、切削加工後のＩｒ膜２面を
示す顕微鏡写真であり、図９により既述した従来法に比
べ、良好な面粗度で溝３が高精度に形成されたことが観
察できる。FIG. 3 is a photomicrograph showing the surface of the Ir film 2 after the cutting process. The groove 3 was formed with higher surface roughness and higher precision than the conventional method described above with reference to FIG. You can observe that.
【００３４】切削性を向上させるための公知例として、
ニッケルにリンを配合させた材料を用いて切削性を向上
させているものもあるが、硬度的には低く、ガラスリヒ
ートプレス成形において、面精度、面粗度の経時的悪化
が見られる。As a known example for improving the machinability,
Although there is a material in which machinability is improved by using a material in which phosphorus is mixed with nickel, the hardness is low, and surface precision and surface roughness are deteriorated with time in glass reheat press molding.
【００３５】図４は、本実施例によるダイヤモンドバイ
トと従来法によるダイヤモンドバイトとの寿命の傾向を
示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the tendency of the life of the diamond tool according to the present embodiment and the diamond tool according to the conventional method.
【００３６】即ち、図１に示した如き、同一規格の成形
型１にＩｒ膜２を同じ膜厚で成膜し、上記した本実施例
による切削条件と従来法による切削条件とにおける、所
定の切削溝加工後のそれぞれのダイヤモンドバイト刃先
の摩耗度合及び耐用溝加工本数を示すものである。That is, as shown in FIG. 1, an Ir film 2 is formed in the same thickness on a molding die 1 of the same standard, and the Ir film 2 has a predetermined thickness under the cutting conditions according to the present embodiment and the cutting conditions according to the conventional method. It shows the degree of wear and the number of durable grooving of each diamond bit after cutting.
【００３７】これによれば、従来法によるダイヤモンド
バイト刃先は、ほぼ１本の溝加工で使用限界である０．
５μｍを超える摩耗が見られる。これに対して本実施例
の場合は非常に摩耗が少なく、７０本の溝加工に使用後
も使用限界に達していないことから、本実施例の有効性
を顕著に示している。According to this, the cutting edge of a diamond cutting tool according to the conventional method has a working limit of approximately one groove.
Wear exceeding 5 μm is observed. On the other hand, in the case of the present embodiment, the wear of the present embodiment is extremely small, and the use limit has not been reached even after use for machining 70 grooves.
【００３８】本実施例によれば、貴金属薄膜の切削加工
時に、窒素等の不活性ガスを圧力媒体とするオイルミス
トを切削面に供給しながら切削加工することにより、ダ
イヤモンドバイト刃先の酸化や炭化を防止して刃先の摩
耗を防止することができる。従って、磨耗のない刃先で
超精密に高精度な切削加工が実現され、加工面の面密度
および面粗度を向上させることができる。According to the present embodiment, during cutting of a noble metal thin film, cutting is performed while supplying an oil mist using an inert gas such as nitrogen as a pressure medium to the cutting surface, thereby oxidizing or carbonizing the cutting edge of the diamond cutting tool. And wear of the cutting edge can be prevented. Therefore, ultra-precise and high-precision cutting can be realized with a wear-free cutting edge, and the surface density and surface roughness of the processed surface can be improved.
【００３９】また、上記した実施例は本発明の技術的思
想に基づいて種々に変形することができる。例えば、本
実施例における凹面への切削加工以外に、図５に示した
如き凸状面への切削加工や平面又は凹凸が混在する面の
切削加工にも適用することができる。また、被加工物は
貴金属薄膜に限らず、バルク状又は塊状の貴金属であっ
てもよい。The above embodiment can be variously modified based on the technical idea of the present invention. For example, in addition to the cutting of the concave surface in the present embodiment, the present invention can be applied to the cutting of a convex surface as shown in FIG. The workpiece is not limited to a noble metal thin film, but may be a bulk or bulk noble metal.
【００４０】また、上記した如く、被加工物、切削工具
及びオイルミスト供給部とが相対的に移動又は変位する
ものではなく、例えば、被加工物、切削工具及びオイル
ミスト供給部のうちいずれかが固定又は移動するフライ
ス施盤の如き切削加工にも適用することができる。これ
により将来的には全ての成膜のエッチングに代る除去方
法として期待できる。Further, as described above, the workpiece, the cutting tool, and the oil mist supply unit do not relatively move or displace, and for example, any one of the workpiece, the cutting tool, and the oil mist supply unit. It can also be applied to a cutting process such as a milling machine in which is fixed or moved. This can be expected in the future as a removal method instead of etching for all film formation.
【００４１】[0041]
【発明の作用効果】上述した如く、本発明は被加工物で
ある貴金属の所定部分を除去して所定形状に加工を行う
に際し、不活性ガスを圧力媒体として前記貴金属の被加
工面にオイルミストを供給することを特徴とする貴金属
の加工方法であるので、ダイヤモンドバイトの如き加工
具の酸化や炭化を防止することができる。その結果、加
工具が摩耗し難く、高寿命化させることができると共
に、摩耗のない加工具によって被加工物が高精度に加工
され、生産性の向上とともにコスト低減を可能にし、信
頼性の高い良質の製品を作製することができる。As described above, according to the present invention, when a predetermined portion of a precious metal as a workpiece is removed and processed into a predetermined shape, an oil mist is applied to the surface of the precious metal using an inert gas as a pressure medium. The method for processing a noble metal is characterized in that it is possible to prevent oxidation and carbonization of a processing tool such as a diamond tool. As a result, the processing tool is hardly worn and the service life can be prolonged, and the workpiece is processed with high accuracy by the processing tool without wear, thereby improving the productivity and reducing the cost and improving the reliability. Good quality products can be manufactured.
【図１】本発明の実施例によるガラスリヒートプレス成
形型の切削加工状態を示す要部の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a main part showing a cutting state of a glass reheat press mold according to an embodiment of the present invention.
【図２】同、実施例による使用後のダイヤモンドバイト
を示し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真、（ｂ）はダイヤモ
ンドバイトの概略図である。FIGS. 2A and 2B show a diamond tool after use according to the example, in which FIG. 2A is a photomicrograph of a cutting edge and FIG. 2B is a schematic view of the diamond tool.
【図３】同、実施例による切削加工後のＩｒ膜面を示す
顕微鏡写真である。FIG. 3 is a photomicrograph showing an Ir film surface after cutting according to the example.
【図４】同、実施例及び従来例によるダイヤモンドバイ
トの摩耗量と耐用切削本数を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the amount of wear and the number of durable cuts of the diamond tool according to the example and the conventional example.
【図５】同、変形例による切削加工状態を示す概略図で
ある。FIG. 5 is a schematic view showing a cutting state according to a modification.
【図６】フレネルレンズの一例を示し、（ａ）は側面
図、（ｂ）は正面図である。6A and 6B show an example of a Fresnel lens, wherein FIG. 6A is a side view and FIG. 6B is a front view.
【図７】公知の施盤の一例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a known lathe.
【図８】従来例による使用後のダイヤモンドバイトを示
し、（ａ）は刃先の顕微鏡写真（ｂ）ばダイヤモンドバ
イトの概略図である。FIG. 8 shows a diamond tool after use according to a conventional example, wherein (a) is a schematic view of a diamond tool according to a micrograph of the cutting edge (b).
【図９】同、切削加工後の貴金属薄膜面をしめす顕微鏡
写真である。FIG. 9 is a micrograph showing the surface of the noble metal thin film after cutting.
１…ガラスリヒートプレス型、２…貴金属薄膜、３、１
５…溝、４…ダイヤモンドバイト、４ａ…刃先、５…ノ
ズル、６…オイルミスト、７…加工面、９…従来例の摩
耗傾向線、１０…実施例の摩耗傾向線、１４…ホログラ
ムレンズ1: Glass reheat press type 2: Noble metal thin film, 3, 1
Reference numeral 5: groove, 4: diamond bite, 4a: cutting edge, 5: nozzle, 6: oil mist, 7: machined surface, 9: wear tendency line of conventional example, 10: wear tendency line of example, 14: hologram lens
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【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１０年８月３１日（１９９８．８．３
１）[Submission date] August 31, 1998 (1998.
1)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２８[Correction target item name] 0028
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００２８】前記した実施の形態に従い、図１に示した
装置を用いて、ブレーズホログラムをコバルトレスのタ
ングステンカーバイトからなる超硬合金製の成形型１上
にスパッタ法により、約２〜３μｍ厚さに成膜したＩｒ
（イリジウム）膜２面に所定パターンの溝３を切削加工
した。According to the above-described embodiment, a blaze hologram is sputtered on a cemented carbide mold 1 made of cobaltless tungsten carbide to a thickness of about 2 to 3 μm using the apparatus shown in FIG. Ir deposited to a thickness
A groove 3 having a predetermined pattern was cut on the surface of the (iridium) film 2.
Claims (8)
して所定形状に加工を行うに際し、不活性ガスを圧力媒
体として前記貴金属の被加工面にオイルミストを供給す
ることを特徴とする貴金属の加工方法。When a predetermined portion of a noble metal to be processed is removed and processed into a predetermined shape, an oil mist is supplied to a surface to be processed of the noble metal using an inert gas as a pressure medium. Precious metal processing method.
ト供給部とが相対的に移動又は変位しながら、前記貴金
属の被加工面に切削加工を行う、請求項１に記載した貴
金属の加工方法。2. The method of processing a precious metal according to claim 1, wherein the processing of the precious metal is performed while the workpiece and the cutting tool and the oil mist supply unit relatively move or displace. .
求項１に記載した貴金属の加工方法。3. The method for processing a noble metal according to claim 1, wherein nitrogen is used as the inert gas.
類からなる群より選ばれた少なくとも一種を用いる、請
求項１に記載した貴金属の加工方法。4. The method according to claim 1, wherein at least one selected from the group consisting of third petroleums is used as the material of the oil mist.
の切削を行う、請求項１に記載した貴金属の加工方法。5. The method for processing a precious metal according to claim 1, wherein the precious metal thin film formed by sputtering is cut.
用いる、請求項１に記載した貴金属の加工方法。6. The method according to claim 1, wherein a diamond tool is used as the cutting tool.
ターンの切削を行う、請求項１に記載した貴金属の加工
方法。7. The method for processing a noble metal according to claim 1, wherein the diffraction optical pattern of the glass reheat press mold is cut.
削加工を行う、請求項１に記載した貴金属の加工方法。8. The method for processing a noble metal according to claim 1, wherein cutting of the Fresnel lens and the hologram lens is performed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192978A JP2000024801A (en) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Machining method for noble metal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192978A JP2000024801A (en) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Machining method for noble metal |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024801A true JP2000024801A (en) | 2000-01-25 |
Family
ID=16300212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10192978A Pending JP2000024801A (en) | 1998-07-08 | 1998-07-08 | Machining method for noble metal |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024801A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8220370B2 (en) * | 2002-02-04 | 2012-07-17 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method for machining of hard metals with reduced detrimental white layer effect |
| CN112171208A (en) * | 2020-09-30 | 2021-01-05 | 临沂华庚新材料科技有限公司 | Pipeline cutting process for ceramic lining pipe |
-
1998
- 1998-07-08 JP JP10192978A patent/JP2000024801A/en active Pending
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