JP2000022286A - 電子回路装置 - Google Patents

電子回路装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 回路基板とICの接着強度の高い、耐環境信
頼性の高い半導体装置を得る。 【解決手段】 ポリイミドフイルム等の絶縁基板上にパ
ターンが形成してある回路基板のIC接続用端子と隣接
して接着補強を目的としたパターンを配置し、ICと回
路基板の接着力が向上することで温度変化による信頼性
が向上する。また、ポリイミドなど透湿性の高い基板に
対しては耐湿による信頼性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、携帯機器等や、電子手
帳に使用されている液晶を駆動するためのドライバーI
Cやメモリーやコントローラ等のベアチップ実装してい
る電子回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体ICのベアチップ実装は、
回路基板と半導体素子を接着を用いて接続する場合、I
CのパットにAuからなるバンプをメッキで形成したメ
ッキバンプやワイヤーボンディングを応用したスタッド
バンプを用いて、回路基板に異方性導電膜で圧着する
か、または銀ペーストをバンプに転写して基板と接続
し、その間にアンダーフィルを充填し接続していた。
【0003】また、金属拡散接続を用いて接続する場
合、ICのバンプに半田を用い、基板の電極に半田付け
しアンダーフィルを充填する工法とICのバンプにAu
を用い基板側の電極にSnメッキを行ない、Au−Sn
拡散接続を行いアンダーフィルを充填していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】半導体ICの接続信頼
性は、どの接続方式においてもアンダーフィルまたは、
異方性導電膜のバインダーの特性が非常に重要である。
アンダーフィルや異方性導電膜のバインダーは、ICと
回路基板の線膨張係数の違いによる長期信頼性を得るた
めに、硬化時の拘束力や線膨張係数,ヤング率などの特
性が重要である。
【0005】しかし、接続部の破壊のメカニズムの一つ
に、実装したICのバンプより中央側の絶縁基板とアン
ダーフィルまたは異方性導電膜のバインダーの剥がれに
よって接続がオープンになる。特にポリイミドフイルム
にCuを蒸着及びメッキにより形成したフイルム基板に
半導体ICを実装したCOFの場合、ポリイミドとの接
着性が非常に悪いため、信頼性が向上しなかった。
【0006】本発明は、この問題を解決するものであ
る。
【0007】
【問題が解決するための手段】本問題を解決するため
に、少なくとも回路基板にICがフェイスダウン実装し
ている電子回路装置において、 ICと回路基板の接続
は、電極の接続部以外のエリアに接着剤からなるアンダ
ーフィルや異方性導電膜ではバインダーによりICの回
路面と回路基板を接着補強する。
【0008】ここで回路基板には、ICと接続するパタ
ーンが形成されており、そのパターンに隣接してダミー
もしくは一部の電気信号端子と接続したパターンを形成
して、ポリイミド等よりなる絶縁基板との接着エリアを
少なくし、ポリイミド等より接着力の高いパターンとの
接着エリアを大きくすることで、信頼性を向上した。上
記のように構成した電子回路装置は、温度変化等による
基板とICの熱ストレスによる信頼性が向上し、安定し
た品質の電子回路装置が得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を、実施
例に示す。
【0010】
【実施例】(実施例1)以下に本発明の実施例を図面に
基づいて説明する。図1は本発明の電子回路装置の実施
例1の断面図である。25ミクロンのポリイミドからな
る絶縁基板1に8ミクロンのCuに無電界Niメッキを
し更に置換金メッキをしたパターン2からなる回路基板
であって、信頼性を向上するための接着補強用パターン
3が形成してある。実装はメッキバンプを形成したIC
4を異方性導電膜5で熱圧着して接続した構造である。
接続ピッチは70ミクロンである。接着補強用パターン
3は、ICと接続してあるパターンと全面100ミクロ
ンのスペースをあけて配置した。この構造では異方性導
電膜のバインダーと絶縁基板との接着エリアが大幅に削
減できる。この構造では、接着補強用パターン3を配置
する事で、回路基板の線膨張係数がポリイミドだけの場
合7.2×10-6であるがパターンを配置する事で、
9.9×10-6と大きくなるが、基板との接着力が大幅
に向上するため信頼性が向上した。
【0011】回路基板のメッキはAuよりはSnの方が
より接着力が高い。パターン3は、1つにする必要はな
く、分割して配置しても良しストライプ状に形成して配
置しても良い。 (実施例2)図2は本発明の電子回路装置の実施例2の
断面図である。25ミクロンのポリイミドからなる絶縁
基板1に8ミクロンのCuに無電界Snメッキをした回
路基板であって、接着補強用のパターン3が形成してあ
る。ICにはメッキバンプを形成したIC4を熱圧着で
Au−Sn接続を行なった。
【0012】接続のプロセスは、回路基板にほぼパター
ン3のエリアを充填できるアンダーフィル1を塗布して
おき、ICを位置合わせし仮置きする。この時パターン
3とIC4の間にアンダーフィル1が充填できる。次に
Au−Sn接続する温度と圧力で熱圧着する。この時同
時にアンダーフィル1は硬化する。このアンダーフィル
1はポリイミドよりSnメッキへの接着力が高い。
【0013】更にバンプ周辺を保護するために紫外線硬
化型のアンダーフィル2を塗布し紫外線で硬化する。ア
ンダーフィル2は、基本的にはUV硬化であるが、嫌気
性を触媒として硬化が進む特性の接着剤を用いる事でU
Vが当たらない部分も最終的には硬化することが出来
る。
【0014】アンダーフィル1は嫌気性を触媒として硬
化が進む特性の接着剤でも熱硬化性接着剤でも良い。上
記の様にアンダーフィルを2つの工程に分けて充填する
必要はなく、接続後にICの側面に塗布し、毛細管現象
で充填し硬化しても良い。
【0015】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、アンダー
フィルや異方性導電膜のバインダーと絶縁基板の接着力
が弱い接着剤でも接着補強用パターンを配置する事でI
Cの接続信頼性を向上する事が出来る。また、COFの
場合ポリイミドは耐湿性が悪いが、この接着補強用パタ
ーンが防湿バリアとなり一層信頼性を向上する事ができ
た。また、異方性導電膜の場合、ICのバンプと回路基
板のパターンを粒子で接続するがバインダーはこの粒子
を押え込む拘束力が必要である。この拘束力は温度によ
ってバインダーが緩むことで低下する。この緩みは線膨
張係数に依存するが、本発明のパターンによってバイン
ダーの層を薄く出来るので、緩む量が減り一層信頼性が
向上できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による実施例1の実装部の断面図
【図2】本発明による実施例1のフイルム基板のパター
ン上面図
【図3】本発明による実施例2の実装部の断面図
【図4】従来の実施例の実装部の断面
【符号の説明】
1 絶縁基板 2 パターン 3 接着補強用パターン 4 IC 5 異方性導電膜 6 アンダーフィル1 7 アンダーフィル2

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも絶縁基板にパターンが形成し
    てある回路基板に、ICがフェイスダウン実装してある
    電子回路装置において、 回路基板は、ICと接続するパターンが形成しており、
    そのパターンに隣接してダミーもしくは一部の電気信号
    端子と接続した接着補強用のパターンを形成してある事
    を特徴とする電子回路装置。
  2. 【請求項2】 絶縁基板にパターン有する回路基板に、
    ICがフェイスダウン実装された電子回路装置におい
    て、 前記回路基板は、前記ICと電気的に接続する複数のパ
    ターンを有し、前記複数のパターンに離間して配置した
    ダミーまたは一部の電気信号端子と接続した接着補強用
    のパターンを有する事を特徴とする電子回路装置。
JP18505898A 1998-06-30 1998-06-30 電子回路装置 Expired - Lifetime JP3278055B2 (ja)

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JP18505898A JP3278055B2 (ja) 1998-06-30 1998-06-30 電子回路装置
TW088110204A TW451605B (en) 1998-06-30 1999-06-17 Electronic circuit device
EP99305052A EP0969503A3 (en) 1998-06-30 1999-06-28 Electronic circuit device
US09/342,424 US6528889B1 (en) 1998-06-30 1999-06-29 Electronic circuit device having adhesion-reinforcing pattern on a circuit board for flip-chip mounting an IC chip

Applications Claiming Priority (1)

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JP18505898A JP3278055B2 (ja) 1998-06-30 1998-06-30 電子回路装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007281172A (ja) * 2006-04-06 2007-10-25 Alps Electric Co Ltd 電子部品実装構造及びその製造方法
KR100919985B1 (ko) * 2002-10-22 2009-10-05 삼성테크윈 주식회사 반도체 팩키지용 필름 기판 및 이를 이용한 반도체 팩키지
JP2012033590A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Casio Comput Co Ltd 基板の接着方法、基板の実装構造、電子機器、及び基板
JP2016092400A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 株式会社リコー 配線部材の保持構造、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1143373C (zh) * 1998-07-01 2004-03-24 精工爱普生株式会社 半导体装置及其制造方法、电路基板和电子装置
US20030038356A1 (en) * 2001-08-24 2003-02-27 Derderian James M Semiconductor devices including stacking spacers thereon, assemblies including the semiconductor devices, and methods
JP3914732B2 (ja) * 2001-10-02 2007-05-16 鹿児島日本電気株式会社 回路基板の接続構造及び該接続構造を備えた液晶表示装置並びに液晶表示装置の実装方法
CN100403778C (zh) * 2003-04-22 2008-07-16 柯尼卡美能达精密光学株式会社 成像装置和安装该成像装置的便携式终端设备
US20050110126A1 (en) * 2003-11-25 2005-05-26 Kai-Chiang Wu Chip adhesive
JP3833669B2 (ja) * 2004-04-08 2006-10-18 シャープ株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法
TWI305390B (en) * 2005-09-07 2009-01-11 Ind Tech Res Inst Chip structure, chip package structure and manufacturing thereof
JP5147678B2 (ja) * 2008-12-24 2013-02-20 新光電気工業株式会社 微細配線パッケージの製造方法
TWI384603B (zh) * 2009-02-17 2013-02-01 Advanced Semiconductor Eng 基板結構及應用其之封裝結構
US9373559B2 (en) * 2014-03-05 2016-06-21 International Business Machines Corporation Low-stress dual underfill packaging
JP6430843B2 (ja) * 2015-01-30 2018-11-28 株式会社ジェイデバイス 半導体装置
WO2018159023A1 (ja) * 2017-03-01 2018-09-07 住友電気工業株式会社 フレキシブルプリント配線板、接続体の製造方法及び接続体

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3871015A (en) * 1969-08-14 1975-03-11 Ibm Flip chip module with non-uniform connector joints
JPS57176738A (en) * 1981-04-23 1982-10-30 Seiko Epson Corp Connecting structure for flip chip
US4937653A (en) * 1988-07-21 1990-06-26 American Telephone And Telegraph Company Semiconductor integrated circuit chip-to-chip interconnection scheme
JPH02185050A (ja) * 1989-01-12 1990-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の実装方法
JP2833111B2 (ja) * 1989-03-09 1998-12-09 日立化成工業株式会社 回路の接続方法及びそれに用いる接着剤フィルム
JPH0379063A (ja) * 1989-08-22 1991-04-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP2956199B2 (ja) * 1990-11-06 1999-10-04 セイコーエプソン株式会社 半導体装置の構造
JPH0637143A (ja) * 1992-07-15 1994-02-10 Toshiba Corp 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP3194553B2 (ja) * 1993-08-13 2001-07-30 富士通株式会社 半導体装置の製造方法
US5400950A (en) * 1994-02-22 1995-03-28 Delco Electronics Corporation Method for controlling solder bump height for flip chip integrated circuit devices
KR100194130B1 (ko) * 1994-03-30 1999-06-15 니시무로 타이죠 반도체 패키지
JP2571024B2 (ja) * 1994-09-28 1997-01-16 日本電気株式会社 マルチチップモジュール
DE69618458T2 (de) * 1995-05-22 2002-11-07 Hitachi Chemical Co Ltd Halbleiterteil mit einem zu einem verdrahtungsträger elektrisch verbundenem chip
JPH09306954A (ja) * 1996-05-20 1997-11-28 Hitachi Ltd 半導体装置及びその実装方法並びに実装構造体
JPH10144727A (ja) * 1996-11-14 1998-05-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体素子の実装方法および半導体素子を実装した電子装置
JPH10163608A (ja) * 1996-11-29 1998-06-19 Nec Corp プリント配線板及びその製造方法
US5953814A (en) * 1998-02-27 1999-09-21 Delco Electronics Corp. Process for producing flip chip circuit board assembly exhibiting enhanced reliability

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919985B1 (ko) * 2002-10-22 2009-10-05 삼성테크윈 주식회사 반도체 팩키지용 필름 기판 및 이를 이용한 반도체 팩키지
JP2007281172A (ja) * 2006-04-06 2007-10-25 Alps Electric Co Ltd 電子部品実装構造及びその製造方法
JP2012033590A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Casio Comput Co Ltd 基板の接着方法、基板の実装構造、電子機器、及び基板
JP2016092400A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 株式会社リコー 配線部材の保持構造、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置

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