JP2000018927A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JP2000018927A JP2000018927A JP10187758A JP18775898A JP2000018927A JP 2000018927 A JP2000018927 A JP 2000018927A JP 10187758 A JP10187758 A JP 10187758A JP 18775898 A JP18775898 A JP 18775898A JP 2000018927 A JP2000018927 A JP 2000018927A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の方向から見た外観を同時に検査するこ
とができる外観検査装置を提供すること。 【解決手段】 被検査体４が載置される検査ステージ１
上方に、前記被検査体４を照らす照明３と、カメラ２と
を備え、前記被検査体４の周囲に、この被検査体４の側
面を観察する側面観察手段を備え、前記カメラ２が、前
記被検査体４の上面と前記側面観察手段がとらえた被検
査体４の側面画像とを検査画像として取り込むものであ
る外観検査装置とする。また、被検査体４が、半導体パ
ッケージである場合、より一層好適である。さらに、照
明３が、環状体であるものとすること、側面観察手段
が、斜め上方に向けて設置された一枚以上の鏡５である
ものとすることが望ましい。
とができる外観検査装置を提供すること。 【解決手段】 被検査体４が載置される検査ステージ１
上方に、前記被検査体４を照らす照明３と、カメラ２と
を備え、前記被検査体４の周囲に、この被検査体４の側
面を観察する側面観察手段を備え、前記カメラ２が、前
記被検査体４の上面と前記側面観察手段がとらえた被検
査体４の側面画像とを検査画像として取り込むものであ
る外観検査装置とする。また、被検査体４が、半導体パ
ッケージである場合、より一層好適である。さらに、照
明３が、環状体であるものとすること、側面観察手段
が、斜め上方に向けて設置された一枚以上の鏡５である
ものとすることが望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外観検査装置に関
し、とくに、半導体パッケ−ジなどの外観ボイド検査な
どに好適に使用され、複数の方向から見た外観を同時に
検査することができる外観検査装置に関する。
し、とくに、半導体パッケ−ジなどの外観ボイド検査な
どに好適に使用され、複数の方向から見た外観を同時に
検査することができる外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、外観検査は、半導体パッケー
ジなどの外観検査の一つとして画像処理などの方法によ
って行われている。しかしながら、従来の外観検査で
は、一度に一方向から見た面のみしか検査することがで
きないため、手間がかかり、問題となっていた。
ジなどの外観検査の一つとして画像処理などの方法によ
って行われている。しかしながら、従来の外観検査で
は、一度に一方向から見た面のみしか検査することがで
きないため、手間がかかり、問題となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記事情に
鑑みてなされたもので、複数の方向から見た外観を同時
に検査することができる外観検査装置を提供することを
課題としている。
鑑みてなされたもので、複数の方向から見た外観を同時
に検査することができる外観検査装置を提供することを
課題としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題は、被検査体が
載置される検査ステージ上方に、前記被検査体を照らす
照明と、カメラとを備え、前記被検査体の周囲に、この
被検査体の側面を観察する側面観察手段を備え、前記カ
メラが、前記被検査体の上面と前記側面観察手段がとら
えた被検査体の側面画像とを検査画像として取り込むも
のであることを特徴とする外観検査装置によって解決で
きる。また、被検査体が、半導体パッケージである場
合、より一層好適である。さらに、照明が、環状体であ
る外観検査装置とすることが望ましい。さらにまた、側
面観察手段が、斜め上方に向けて設置された一枚以上の
鏡である外観検査装置とすることが望ましい。
載置される検査ステージ上方に、前記被検査体を照らす
照明と、カメラとを備え、前記被検査体の周囲に、この
被検査体の側面を観察する側面観察手段を備え、前記カ
メラが、前記被検査体の上面と前記側面観察手段がとら
えた被検査体の側面画像とを検査画像として取り込むも
のであることを特徴とする外観検査装置によって解決で
きる。また、被検査体が、半導体パッケージである場
合、より一層好適である。さらに、照明が、環状体であ
る外観検査装置とすることが望ましい。さらにまた、側
面観察手段が、斜め上方に向けて設置された一枚以上の
鏡である外観検査装置とすることが望ましい。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の外観検査装置の一例を示した側面図で
ある。図１において符号１は、半導体パッケ−ジなどの
被検査体が載置される検査ステージである。この検査ス
テージ１上方には、検査画像を取り込むカメラ２が備え
られている。前記検査ステージ１と前記カメラ２との間
には、被検査体を照らす照明３が備えられている。ま
た、前記検査ステージ１上には、図２に示すように、被
検査体４が載置されている。そして、この被検査体４を
囲むように、４枚の鏡５が斜め上方向に向けられて備え
られている。
図１は、本発明の外観検査装置の一例を示した側面図で
ある。図１において符号１は、半導体パッケ−ジなどの
被検査体が載置される検査ステージである。この検査ス
テージ１上方には、検査画像を取り込むカメラ２が備え
られている。前記検査ステージ１と前記カメラ２との間
には、被検査体を照らす照明３が備えられている。ま
た、前記検査ステージ１上には、図２に示すように、被
検査体４が載置されている。そして、この被検査体４を
囲むように、４枚の鏡５が斜め上方向に向けられて備え
られている。
【０００６】この鏡５は、被検査体４の外観検査を行う
に際し、検査画像として、被検査体４の上面とともに前
記カメラ２によって取り込まれるように、被検査体４に
近接して設置される。この鏡５と被検査体４との距離
は、３〜１５ｍｍ程度の範囲とするのが好ましい。ま
た、この鏡５の角度は、前記鏡５が前記カメラ２によっ
て検査画像として取り込まれた際に、被検査体４の側面
が映された状態となるように好ましく調節される。具体
的には、例えば、５０度程度の角度となるように調節さ
れて、設置される。ここでの鏡５としては、とくに限定
されないが、平面鏡と、それを一定の角度に調節した状
態で支持する台とからなるものなどが好ましく使用され
る。
に際し、検査画像として、被検査体４の上面とともに前
記カメラ２によって取り込まれるように、被検査体４に
近接して設置される。この鏡５と被検査体４との距離
は、３〜１５ｍｍ程度の範囲とするのが好ましい。ま
た、この鏡５の角度は、前記鏡５が前記カメラ２によっ
て検査画像として取り込まれた際に、被検査体４の側面
が映された状態となるように好ましく調節される。具体
的には、例えば、５０度程度の角度となるように調節さ
れて、設置される。ここでの鏡５としては、とくに限定
されないが、平面鏡と、それを一定の角度に調節した状
態で支持する台とからなるものなどが好ましく使用され
る。
【０００７】ここで使用されるカメラ１としては、被検
査体４の外観を画像として取り込むことができるもので
あれば、とくに限定されないが、例えば、ＣＣＤカメラ
などが好ましく使用される。また、照明３としては、前
記カメラ１の視界を遮ることなく、検査ステージ１上の
被検査体４をむらなく照明することができる環状体のも
のが好ましく、具体的には、例えば、中心に穴が設けら
れ、複数のＬＥＤ（発光ダイオード）が備えられている
ＬＥＤリング照明などが好ましく使用される。
査体４の外観を画像として取り込むことができるもので
あれば、とくに限定されないが、例えば、ＣＣＤカメラ
などが好ましく使用される。また、照明３としては、前
記カメラ１の視界を遮ることなく、検査ステージ１上の
被検査体４をむらなく照明することができる環状体のも
のが好ましく、具体的には、例えば、中心に穴が設けら
れ、複数のＬＥＤ（発光ダイオード）が備えられている
ＬＥＤリング照明などが好ましく使用される。
【０００８】このような外観検査装置を用いて、被検査
体４の外観検査を行うには、まず、図２に示すように、
検査ステージ１上のほぼ中心に、被検査体４を載置し、
ついで、被検査体４の上面とともに鏡５に映された前記
被検査体４の側面が検査画像として取り込まれるよう
に、鏡５の角度と、カメラの高さおよびピントとを調節
し、前記カメラ２によって、被検査体４の上面および側
面を検査画像として取り込み、得られた検査画像を検査
する方法などによって行われる。
体４の外観検査を行うには、まず、図２に示すように、
検査ステージ１上のほぼ中心に、被検査体４を載置し、
ついで、被検査体４の上面とともに鏡５に映された前記
被検査体４の側面が検査画像として取り込まれるよう
に、鏡５の角度と、カメラの高さおよびピントとを調節
し、前記カメラ２によって、被検査体４の上面および側
面を検査画像として取り込み、得られた検査画像を検査
する方法などによって行われる。
【０００９】このような外観検査装置は、被検査体４が
載置される検査ステージ１上方に、前記被検査体４を照
らす照明３と、カメラ２とを備え、前記被検査体４の周
囲に、この被検査体４の側面を観察する４枚の鏡５を備
え、前記カメラ２が、前記被検査体４の上面と前記４枚
の鏡５がとらえた被検査体４の側面画像とを検査画像と
して取り込むものであるので、被検査体４の上面ととも
に鏡５に映された前記被検査体４の４方向の側面を検査
画像として取り込むことができ、被検査体４外観におけ
る上面および側面を同時に検査することができるものと
なる。
載置される検査ステージ１上方に、前記被検査体４を照
らす照明３と、カメラ２とを備え、前記被検査体４の周
囲に、この被検査体４の側面を観察する４枚の鏡５を備
え、前記カメラ２が、前記被検査体４の上面と前記４枚
の鏡５がとらえた被検査体４の側面画像とを検査画像と
して取り込むものであるので、被検査体４の上面ととも
に鏡５に映された前記被検査体４の４方向の側面を検査
画像として取り込むことができ、被検査体４外観におけ
る上面および側面を同時に検査することができるものと
なる。
【００１０】また、本発明の外観検査装置は、上述のよ
うに、側面観察手段として、４枚の鏡５を斜め上方向に
向けて備えてなるものとすることができるが、側面を観
察することができ、かつ、前記カメラによって検査画像
として取り込むことが可能な手段であれば任意の手段と
することができ、例えば、以下のような手段とすること
も可能であり、とくに限定されない。 （１）鏡５の枚数を、一枚以上の任意の枚数としたもの （２）鏡５を被検査体に向けて設置し、その位置に対応
するようにカメラを移動させて検査画像として取り込む
もの （３）鏡５を複数の鏡からなる光学鏡としたもの さらに、本発明の外観検査装置は、上述のように、一つ
のカメラ２を備えてなるものとすることができるが、必
要に応じて、複数のカメラ２を備えてなるものとするこ
ともできる。さらにまた、本発明の外観検査装置は、上
述のように、一つの照明３を備えてなるものとすること
ができるが、必要に応じて、複数の照明３を備えてなる
ものとすることもできる。
うに、側面観察手段として、４枚の鏡５を斜め上方向に
向けて備えてなるものとすることができるが、側面を観
察することができ、かつ、前記カメラによって検査画像
として取り込むことが可能な手段であれば任意の手段と
することができ、例えば、以下のような手段とすること
も可能であり、とくに限定されない。 （１）鏡５の枚数を、一枚以上の任意の枚数としたもの （２）鏡５を被検査体に向けて設置し、その位置に対応
するようにカメラを移動させて検査画像として取り込む
もの （３）鏡５を複数の鏡からなる光学鏡としたもの さらに、本発明の外観検査装置は、上述のように、一つ
のカメラ２を備えてなるものとすることができるが、必
要に応じて、複数のカメラ２を備えてなるものとするこ
ともできる。さらにまた、本発明の外観検査装置は、上
述のように、一つの照明３を備えてなるものとすること
ができるが、必要に応じて、複数の照明３を備えてなる
ものとすることもできる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を、実施例を示して詳しく説明
するが、本発明は、この実施例にのみ限定されるもので
はない。図１に示した外観検査装置を用いて、半導体パ
ッケージの外観ボイドの検査を行った。すなわち、図２
に示すように、被検査体４である半導体パッケージを載
置し、ついで、半導体パッケージの上面とともに鏡５に
映された側面が前記半導体パッケージの検査画像として
取り込まれるように、鏡５の角度を５０度とし、これに
合わせてカメラ２の高さおよびピントを調節し、前記カ
メラ２によって、半導体パッケージの上面および側面を
検査画像として取り込み、検査画像を得た。
するが、本発明は、この実施例にのみ限定されるもので
はない。図１に示した外観検査装置を用いて、半導体パ
ッケージの外観ボイドの検査を行った。すなわち、図２
に示すように、被検査体４である半導体パッケージを載
置し、ついで、半導体パッケージの上面とともに鏡５に
映された側面が前記半導体パッケージの検査画像として
取り込まれるように、鏡５の角度を５０度とし、これに
合わせてカメラ２の高さおよびピントを調節し、前記カ
メラ２によって、半導体パッケージの上面および側面を
検査画像として取り込み、検査画像を得た。
【００１２】このようにして得られた検査画像に対し、
黒色欠陥検出処理を行い、以下に示す検査すべき部分の
ボイド検査を行った。 ［上面検査エリア］半導体パッケージ上面における外形
から０．１ｍｍ以上内側部分。 ［側面検査エリア］半導体パッケージ側面における外形
から０．１ｍｍ以上内側部分。 結果を図３に示す。図３において、符号７は、検査画像
であり、符号ａは上面検査エリア、符号ｂは側面検査エ
リアであり、符号６は、ボイドである。
黒色欠陥検出処理を行い、以下に示す検査すべき部分の
ボイド検査を行った。 ［上面検査エリア］半導体パッケージ上面における外形
から０．１ｍｍ以上内側部分。 ［側面検査エリア］半導体パッケージ側面における外形
から０．１ｍｍ以上内側部分。 結果を図３に示す。図３において、符号７は、検査画像
であり、符号ａは上面検査エリア、符号ｂは側面検査エ
リアであり、符号６は、ボイドである。
【００１３】その結果、検査画像７上には、上面検査エ
リアａと側面検査エリアｂとが同時に示され、それぞれ
の部分のボイド６を同時に検出することが可能であるこ
とを確認できた。このことから、本発明の外観ボイド検
査装置により、上面検査エリアａと側面検査エリアｂと
を同時に検査できることがあきらかとなった。
リアａと側面検査エリアｂとが同時に示され、それぞれ
の部分のボイド６を同時に検出することが可能であるこ
とを確認できた。このことから、本発明の外観ボイド検
査装置により、上面検査エリアａと側面検査エリアｂと
を同時に検査できることがあきらかとなった。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の外観検査
装置は、被検査体が載置される検査ステージ上方に、前
記被検査体を照らす照明と、カメラとを備え、前記被検
査体の周囲に、この被検査体の側面を観察する側面観察
手段を備え、前記カメラが、前記被検査体の上面と前記
側面観察手段がとらえた被検査体の側面画像とを検査画
像として取り込むものであるので、被検査体の上面とと
もに前記被検査体の一以上の方向の側面を検査画像とし
て取り込むことができ、被検査体外観における上面およ
び側面を同時に検査することができる外観検査装置とす
ることができる。また、照明が、環状体である外観検査
装置とすることで、カメラの視界を遮ることなく、検査
ステージ上の被検査体をむらなく照明することができ、
より一層すぐれたものとすることができる。さらに、側
面観察手段を、斜め上方に向けて設置された一枚以上の
鏡とすることで、容易に、被検査体外観における上面お
よび側面を同時に検査することができる外観検査装置と
することができる。
装置は、被検査体が載置される検査ステージ上方に、前
記被検査体を照らす照明と、カメラとを備え、前記被検
査体の周囲に、この被検査体の側面を観察する側面観察
手段を備え、前記カメラが、前記被検査体の上面と前記
側面観察手段がとらえた被検査体の側面画像とを検査画
像として取り込むものであるので、被検査体の上面とと
もに前記被検査体の一以上の方向の側面を検査画像とし
て取り込むことができ、被検査体外観における上面およ
び側面を同時に検査することができる外観検査装置とす
ることができる。また、照明が、環状体である外観検査
装置とすることで、カメラの視界を遮ることなく、検査
ステージ上の被検査体をむらなく照明することができ、
より一層すぐれたものとすることができる。さらに、側
面観察手段を、斜め上方に向けて設置された一枚以上の
鏡とすることで、容易に、被検査体外観における上面お
よび側面を同時に検査することができる外観検査装置と
することができる。
【図１】 本発明の側面検査装置の一例を示した側面図
である。
である。
【図２】 図１に示した外観検査装置の検査ステージ上
の状況の一例を示した平面図である。
の状況の一例を示した平面図である。
【図３】 本発明の外観検査装置を用いて得られた検査
画像の一例を示した図である。
画像の一例を示した図である。
１・・・検査ステ−ジ ２・・・カメラ ３・・・光源 ４・・・被検査体 ５・・・鏡 ６・・・ボイド ７・・・検査画像 ａ・・・上面検査エリア ｂ・・・側面検査エリア
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査体が載置される検査ステージ上方
に、前記被検査体を照らす照明と、カメラとを備え、 前記被検査体の周囲に、この被検査体の側面を観察する
側面観察手段を備え、 前記カメラが、前記被検査体の上面と前記側面観察手段
がとらえた被検査体の側面画像とを検査画像として取り
込むものであることを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 被検査体が、半導体パッケージであるこ
とを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。 - 【請求項３】 照明が、環状体であることを特徴とする
請求項１または請求項２記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 側面観察手段が、斜め上方に向けて設置
された一枚以上の鏡であることを特徴とする請求項１〜
請求項３のいずれかに記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10187758A JP2000018927A (ja) | 1998-07-02 | 1998-07-02 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10187758A JP2000018927A (ja) | 1998-07-02 | 1998-07-02 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000018927A true JP2000018927A (ja) | 2000-01-21 |
Family
ID=16211696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10187758A Pending JP2000018927A (ja) | 1998-07-02 | 1998-07-02 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000018927A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064387A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネルの外観検査装置 |
| JP2006113288A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 |
| EP2003597A2 (en) | 2007-06-13 | 2008-12-17 | NEC Corporation | Biometrical feature inputting system, image synthesizing apparatus, and image synthesizing method |
| JP2010122167A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Daiichi Jyushi Industrial Co Ltd | 表面検査方法とこれを利用した表面欠陥探知装置 |
| JP2013130535A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ３次元形状計測システム |
| CN106370119A (zh) * | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 北京机械工业自动化研究所 | 卷装外观检测方法及卷装外观检测装置 |
| EP1391721B1 (en) * | 2002-08-13 | 2019-03-13 | The Boeing Company | System for identifying defects in a composite structure |
| JP7209919B1 (ja) * | 2022-07-25 | 2023-01-20 | 三菱電機株式会社 | 物品の外観検査方法 |
-
1998
- 1998-07-02 JP JP10187758A patent/JP2000018927A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1391721B1 (en) * | 2002-08-13 | 2019-03-13 | The Boeing Company | System for identifying defects in a composite structure |
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| WO2024023888A1 (ja) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 三菱電機株式会社 | 物品の外観検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000606 |