JP2000015470A - Machining head of laser beam machine - Google Patents
Machining head of laser beam machineInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工機の
加工ヘッドに関し、更に詳しくは、レーザ加工時の信頼
性が高く、ランニングコストの上昇を抑制できるレーザ
加工機の加工ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a processing head of a laser processing machine, and more particularly to a processing head of a laser processing machine which has high reliability during laser processing and can suppress an increase in running cost.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は、従来のレーザ加工機の固体レー
ザ発振器および加工ヘッドを示す説明図である。固体レ
ーザ発振器１０００の固体レーザには、例えばＹＡＧレ
ーザを用いる。発振器ヘッド１には、共振器２が内蔵さ
れている。共振器２は、部分反射ミラー３と全反射ミラ
ー４とを対向させ、この間に励起光源５および励起媒体
である固体素子６を配置した構成である。励起光源５と
固体素子６とは、キャビティ７に内蔵されている。2. Description of the Related Art FIG. 5 is an explanatory view showing a solid-state laser oscillator and a processing head of a conventional laser processing machine. As the solid-state laser of the solid-state laser oscillator 1000, for example, a YAG laser is used. The resonator 2 is built in the oscillator head 1. The resonator 2 has a configuration in which a partial reflection mirror 3 and a total reflection mirror 4 are opposed to each other, and an excitation light source 5 and a solid-state element 6 as an excitation medium are arranged between the reflection mirror 3 and the total reflection mirror 4. The excitation light source 5 and the solid state element 6 are housed in the cavity 7.
【０００３】また、共振器２のレーザビーム光軸上に
は、拡大レンズ８およびコリメートレンズ９が配置され
ている。コリメートレンズ９に対向して集光レンズ１０
が配置されている。コリメートレンズ９と集光レンズ１
０との間には、ビームシャッタ１１が配置してある。ビ
ームシャッタ１１は、レーザビームＲを遮る可動の反射
ミラー１２を有する。反射ミラー１２の下方には、反射
させたレーザビームＲを吸収するダンパー１３が配置さ
れている。A magnifying lens 8 and a collimating lens 9 are arranged on the optical axis of the laser beam of the resonator 2. Condensing lens 10 facing collimating lens 9
Is arranged. Collimating lens 9 and condenser lens 1
A beam shutter 11 is disposed between the shutters. The beam shutter 11 has a movable reflection mirror 12 that blocks the laser beam R. Below the reflecting mirror 12, a damper 13 that absorbs the reflected laser beam R is arranged.
【０００４】集光レンズ１０は、レンズビーム光軸方向
に可動である。また、この集光レンズ１０およびファイ
バーホルダ１４から、光ファイバー入射部１５が構成さ
れる。ファイバーホルダ１４には、光ファイバー１６が
取り付けてある。光ファイバー１６は、発振器ヘッド１
から導出して加工ヘッド２２０に至る。The condenser lens 10 is movable in the direction of the optical axis of the lens beam. The condenser lens 10 and the fiber holder 14 constitute an optical fiber entrance 15. The optical fiber 16 is attached to the fiber holder 14. The optical fiber 16 is connected to the oscillator head 1
And reaches the processing head 220.
【０００５】図６は、加工ヘッド２２０の構造を示す断
面図である。光ファイバー１６は、ファイルイバホルダ
２１に取り付けてある。ファイバホルダ２１は、筐筒２
２上部のファイバホルダ取付部２３にて固定されてい
る。また、筐筒２２は、内部に２枚の集光レンズ２４，
２５と、保護ガラス２６とを保持している。この筐筒２
２の外周には、加工ヘッド支持部２７が設けてある。加
工ヘッド支持部２７は、レーザ加工機の移動部やロボッ
トの先端（図示省略）等に取り付けられる。なお、符号
Ｗは、ワークを示す。FIG. 6 is a sectional view showing the structure of the processing head 220. The optical fiber 16 is attached to the filer holder 21. The fiber holder 21 is attached to the housing 2
It is fixed at the upper fiber holder mounting portion 23. The housing 22 has two condensing lenses 24,
25 and a protective glass 26. This case 2
A processing head support portion 27 is provided on the outer periphery of 2. The processing head support 27 is attached to a moving part of the laser processing machine, a tip (not shown) of the robot, or the like. The symbol W indicates a work.
【０００６】つぎに、この固体レーザ発振器１０００の
動作について説明する。励起光源５により固体素子６が
励起されると、部分反射鏡３と全反射鏡４との間でレー
ザ発振が起こる。共振器２から出射したレーザビームＲ
は、拡大レンズ８を通過することにより広げられ、コリ
メートレンズ１０を通過することにより平行ビームとな
る。ここで、レーザビームＲを出射させない場合は、ビ
ームシャッタ１１によってレーザビームＲを遮断する。Next, the operation of the solid-state laser oscillator 1000 will be described. When the solid-state element 6 is excited by the excitation light source 5, laser oscillation occurs between the partial reflection mirror 3 and the total reflection mirror 4. Laser beam R emitted from resonator 2
Is expanded by passing through a magnifying lens 8 and becomes a parallel beam by passing through a collimating lens 10. Here, when the laser beam R is not emitted, the laser beam R is blocked by the beam shutter 11.
【０００７】反射ミラー１２は、通常、位置Ａにある
が、レーザビームＲを遮断するときは位置Ｂに移動す
る。位置Ｂに反射ミラー１２があるときは、レーザビー
ムＲがこの反射ミラー１２で反射されダンパー１３に至
る。ダンパー１３の表面はレーザビーム吸収体で構成さ
れているから、レーザビームＲのエネルギーは熱に変換
される。なお、ダンパー１３には、放熱用の水冷装置が
設けてある（図示省略）。The reflection mirror 12 is usually at the position A, but moves to the position B when the laser beam R is cut off. When the reflecting mirror 12 is located at the position B, the laser beam R is reflected by the reflecting mirror 12 and reaches the damper 13. Since the surface of the damper 13 is formed of a laser beam absorber, the energy of the laser beam R is converted into heat. The damper 13 is provided with a water cooling device for heat radiation (not shown).
【０００８】ビームシャッター１１を作動させなけれ
ば、レーザビームＲは光ファイバー入射部１５に至る。
固体レーザにおいては、光ファイバー１６を介してレー
ザビームＲを伝送する場合が少なくないが、この場合、
レーザビームＲを光ファイバー１６に整合性良く入射さ
せる必要がある。光ファイバー入射部１５が係る機能を
持つ。平行化されたレーザビームＲは光ファイバー入射
部１５の集光レンズ１０により集光されて、光ファイバ
ー入射端面１６ａに入射する。If the beam shutter 11 is not operated, the laser beam R reaches the optical fiber entrance 15.
In a solid-state laser, the laser beam R is often transmitted through the optical fiber 16, but in this case,
The laser beam R needs to be incident on the optical fiber 16 with good consistency. The optical fiber entrance 15 has such a function. The collimated laser beam R is condensed by the condensing lens 10 of the optical fiber incident part 15 and is incident on the optical fiber incident end face 16a.
【０００９】これによってレンズビームＲが光ファイバ
ー内を伝播する。集光レンズ１０は、レーザビームＲの
焦点位置が光ファイバー入射端面１６ａに一致するよう
に、移動制御される。また、ファイバーホルダ１４は、
レーザビームＲの焦点位置と光ファイバー入射端面１６
ａを一致させるため、レンズビーム光軸に対して垂直な
方向に移動可能である。As a result, the lens beam R propagates in the optical fiber. The movement of the condenser lens 10 is controlled such that the focal position of the laser beam R coincides with the optical fiber incident end face 16a. Further, the fiber holder 14
Focus position of laser beam R and optical fiber incident end face 16
In order to make a coincide, the lens can be moved in a direction perpendicular to the optical axis of the lens beam.
【００１０】光ファイバー１６内を伝播したレーザビー
ムＲは、加工ヘッド２２０側の光ファイバー出射端面１
６ｂから出射する。出射したレーザビームＲは、集光レ
ンズ２５、２４により集光され、保護ガラス２６を通過
し、ワークＷ表面に照射される。保護ガラス２６は、ワ
ークＷ側に配置され、レーザ加工時に発生する非加工物
からのスパッタやヒュームによる汚れを防止する。保護
ガラス２６は汚れやすく、それゆえ交換頻度が高い。The laser beam R propagated in the optical fiber 16 is applied to the optical fiber exit end face 1 on the processing head 220 side.
6b. The emitted laser beam R is condensed by the condenser lenses 25 and 24, passes through the protective glass 26, and irradiates the surface of the work W. The protective glass 26 is disposed on the work W side, and prevents contamination due to spatter or fume from a non-processed object generated during laser processing. The protective glass 26 is easily soiled and therefore frequently replaced.
【００１１】上記レーザ加工機により加工を実施した場
合、保護ガラス２６において反射光が発生する。コーテ
ィングしていない保護ガラス２６の反射率は、ＹＡＧレ
ーザの場合、おおむね５％〜８％である。反射した光
は、図７に示すように、もと来た経路とは異なる経路を
通って筐筒２２を逆行し、主に、ファイバホルダ取付部
２３の集光レンズに相対した筐筒内側面２３ａに当たる
ことになる。When processing is performed by the laser processing machine, reflected light is generated on the protective glass 26. The reflectance of the uncoated protective glass 26 is approximately 5% to 8% in the case of a YAG laser. As shown in FIG. 7, the reflected light travels backward through the casing 22 through a path different from the original path, and mainly the inner surface of the casing facing the condenser lens of the fiber holder mounting portion 23. 23a.
【００１２】さらに、ワークＷにおいて反射光が発生
し、この反射光が筐筒２２内に戻ってくる。特にレーザ
ビームＲにとって反射率の高いワークＷ（例えばアル
ミ、銅、白色のもの）を加工する場合に、反射量が多く
なる。通常、加工点はレーザビームＲの焦点位置に設定
するが、この場合、ほとんどの反射光は前記焦点位置か
ら発生する。Further, reflected light is generated on the work W, and the reflected light returns into the casing 22. In particular, when processing a workpiece W (for example, aluminum, copper, or white one) having a high reflectance for the laser beam R, the amount of reflection increases. Usually, the processing point is set at the focal position of the laser beam R. In this case, most of the reflected light is generated from the focal position.
【００１３】筐筒内を逆行した反射光は、集光レンズ２
４、２５を通って元のファイバー出射端面１６ｂに至る
が、加工点が焦点からずれている場合や、焦点で加工し
ていてもワークＷに厚みがあって焦点以外の部分で反射
光が発生した場合などでは、反射光がファイバホルダ取
付部２３の筐筒内側面２３ａに当たることになる。The reflected light that has traveled backward in the housing is collected by the condenser lens 2.
4 and 25, the light reaches the original fiber emission end face 16b. However, when the processing point is out of focus, or when the work is processed at the focus, the work W is thick and reflected light is generated at a portion other than the focus. In such a case, the reflected light impinges on the inner surface 23 a of the housing of the fiber holder mounting portion 23.
【００１４】通常、筐筒２２やファイバホルダ取付部２
３には黒色メッキが施されているため、ＹＡＧレーザの
吸収率が高い。従って、加工時において発生する反射光
がファイバホルダ取付部２３の筐筒内側面２３ａに当た
り、この部分において主にレーザビームＲが吸収されて
熱が発生する。ファイバホルダ取付部２３で発生した熱
は筐筒２２に伝わり、その大部分は加工ヘッド支持部２
７を介して放熱される。Normally, the housing 22 and the fiber holder mounting portion 2
3 is black-plated, so that the YAG laser has a high absorptance. Therefore, the reflected light generated at the time of processing hits the inner surface 23a of the housing of the fiber holder mounting portion 23, and the laser beam R is mainly absorbed in this portion to generate heat. The heat generated in the fiber holder mounting portion 23 is transmitted to the housing 22, and most of the heat is
The heat is dissipated through 7.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のレーザ加工機の加工ヘッド２２０では、熱の発生源
がファイバホルダ取付部２３であるため、ファイバホル
ダ２１の温度が高くなる、また、これに伴ってファイバ
ホルダ２１に取り付けてある光ファイバー１６の温度が
上昇してしまう。光ファイバー１６は、被覆に樹脂が使
用されているから、温度が高くなると樹脂が軟化する。
このため、高負荷の加工（連続加工、高出力加工）にお
いて、光ファイバー１６の信頼性が低下するという問題
点があった。However, in the processing head 220 of the above-mentioned conventional laser beam machine, since the heat generation source is the fiber holder mounting portion 23, the temperature of the fiber holder 21 becomes high. Accordingly, the temperature of the optical fiber 16 attached to the fiber holder 21 increases. Since the resin is used for coating the optical fiber 16, the resin softens as the temperature increases.
For this reason, there has been a problem that the reliability of the optical fiber 16 is reduced in high-load processing (continuous processing, high-power processing).
【００１６】例えば、アルミ合金製のファイバホルダ取
付部２３に黒色のアルマイト処理を施し、定格出力５０
０Ｗで連続加工した場合、約２分の加工でファイバホル
ダ２１の温度が１００℃を超えた。また、ファイバホル
ダ取付部２３の吸収率を下げるため、ファイバホルダ取
付部２３に、一般的な機械加工を施した場合であって
も、表面粗さがＹＡＧレーザの波長（１．０６μｍ）よ
り大きいため相当の吸収が発生し、約５分で１００℃を
超えた。For example, a black alumite treatment is applied to the fiber holder mounting portion 23 made of an aluminum alloy, and the rated output 50
In the case of continuous processing at 0 W, the temperature of the fiber holder 21 exceeded 100 ° C. in about 2 minutes. Further, in order to reduce the absorptance of the fiber holder mounting portion 23, even when the fiber holder mounting portion 23 is subjected to general machining, the surface roughness is larger than the wavelength (1.06 μm) of the YAG laser. Therefore, considerable absorption occurred, and the temperature exceeded 100 ° C. in about 5 minutes.
【００１７】一方、保護ガラス２６表面に反射防止コー
ティングを施すことが考えられるが、反射防止コーティ
ングを施すと価格が高くなり、ランニングコストが上昇
するという問題点があった。On the other hand, it is conceivable to apply an anti-reflection coating on the surface of the protective glass 26. However, if the anti-reflection coating is applied, there is a problem that the price increases and the running cost increases.
【００１８】この発明は、上記に鑑みてなされたもので
あって、レーザ加工時の信頼性が高く、ランニングコス
トの上昇を抑制できるレーザ加工機を得ることを目的と
する。The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a laser processing machine which has high reliability during laser processing and can suppress an increase in running cost.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明によるレーザ加工機の加工ヘッドは、レ
ーザビームを集光する集光レンズと、内部に集光レンズ
を保持した筐筒と、筐筒内であって集光レンズのワーク
側に配置した保護ガラスと、レーザ発振器により発振し
たレーザビームを伝播する光ファイバと、光ファイバを
保持したファイバホルダと、筐筒端部に固定されると共
に、光ファイバ出射端面が筐筒内側面から沈んで位置す
るようにファイバホルダを取り付けたファイバホルダ取
付部と、筐筒およびファイバホルダ取付部のうち、全部
または一部に施した鏡面仕上げ部と、を備えたものであ
る。In order to achieve the above-mentioned object, a processing head of a laser beam machine according to the present invention comprises a condenser lens for condensing a laser beam and a housing holding the condenser lens inside. And a protective glass placed inside the housing on the work side of the condenser lens, an optical fiber that propagates the laser beam oscillated by the laser oscillator, a fiber holder holding the optical fiber, and fixed to the end of the housing And a fiber holder mounting portion in which the fiber holder is mounted such that the optical fiber output end face is located below the inner surface of the housing, and a mirror finish applied to all or a part of the housing and the fiber holder mounting portion. And a part.
【００２０】集光レンズにて反射した反射光は、筐筒内
を逆光してファイバホルダ取付部の筐体内側面に至る。
ファイバホルダ取付部にはファイバホルダと共に光ファ
イバが取り付けてあるが、この光ファイバは、ファイバ
ホルダ取付部の筐体内側面から沈んで位置しているた
め、反射光が光ファイバに直接あたりにくい。また、筐
体およびファイバホルダ取付部の筐体内側面に鏡面仕上
げ部を備えたので、この鏡面仕上げ部で反射光を更に反
射させることができる。この結果、光ファイバの温度上
昇を抑えることができるから、加工ヘッドの信頼性が高
まる。また、保護ガラス表面に反射防止コーティングを
施すことなく、光ファイバの温度上昇を抑制できるか
ら、加工ヘッドの価格を抑えることができる。The light reflected by the condenser lens is back-lit inside the housing and reaches the inner surface of the housing of the fiber holder mounting portion.
The optical fiber is attached to the fiber holder attaching portion together with the fiber holder. However, since the optical fiber is located sunk from the inner surface of the housing of the fiber holder attaching portion, the reflected light hardly hits the optical fiber directly. In addition, since the mirror and the inside surface of the housing of the housing and the fiber holder mounting portion are provided with a mirror finish, the reflected light can be further reflected by the mirror finish. As a result, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed, so that the reliability of the processing head is improved. Further, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed without applying an anti-reflection coating on the surface of the protective glass, so that the cost of the processing head can be suppressed.
【００２１】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、レーザビームを集光する集光レンズと、内部に集
光レンズを保持した筐筒と、筐筒内であって集光レンズ
のワーク側に配置した保護ガラスと、レーザ発振器によ
り発振したレーザビームを伝播する光ファイバと、光フ
ァイバを保持するファイバホルダと、ファイバホルダを
取り付けると共に筐筒端部に固定され、筐筒内側面に鏡
面仕上げ部を設けた金属製のファイバホルダ取付部と、
を備えたものである。A processing head of a laser beam machine according to the next invention comprises a condenser lens for condensing a laser beam, a casing holding the condenser lens therein, and a work side of the condenser lens in the casing. Protective glass placed in the box, an optical fiber that propagates the laser beam oscillated by the laser oscillator, a fiber holder that holds the optical fiber, and a fiber holder that is attached and fixed to the end of the housing. Metal fiber holder mounting part provided with a part,
It is provided with.
【００２２】集光ガラスを通過したレーザビームは、保
護ガラスおよびワーク表面で反射する。この反射光は、
筐筒内を逆光し、ファイバホルダ取付部の筐筒内側面に
至る。しかし、ファイバホルダ取付部の筐筒内側面に
は、鏡面仕上げ部が設けられているから、この反射光を
再び反射する。このため、ファイバホルダ取付部が加熱
されにくいから。光ファイバの温度上昇を抑えることが
でき、加工ヘッドの信頼性を高めることができる。ま
た、保護ガラス表面に反射防止コーティングを施すこと
なく、光ファイバの温度上昇を抑制できるから、加工ヘ
ッドの価格を抑えることができる。The laser beam that has passed through the condenser glass reflects on the protective glass and the work surface. This reflected light
The light inside the case is backlit and reaches the inside surface of the case at the fiber holder mounting portion. However, since a mirror-finished portion is provided on the inner surface of the housing of the fiber holder attaching portion, the reflected light is reflected again. Therefore, the fiber holder mounting portion is not easily heated. The temperature rise of the optical fiber can be suppressed, and the reliability of the processing head can be improved. Further, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed without applying an anti-reflection coating on the surface of the protective glass, so that the cost of the processing head can be suppressed.
【００２３】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、上記レーザ加工機の加工ヘッドにおいて、前記鏡
面仕上げ部の表面粗さを、１．０６マイクロミリメート
ル未満としたものである。According to another aspect of the present invention, there is provided a machining head for a laser beam machine, wherein the surface roughness of the mirror-finished portion is less than 1.06 μm.
【００２４】鏡面仕上げ部の表面粗さが、１．０６マイ
クロミリメートル未満とすれば、ＹＡＧレーザの波長よ
りも短くなるので、反射光を吸収しにくくなる。このた
め、光ファイバの温度上昇を効果的に抑制できる。If the surface roughness of the mirror-finished portion is less than 1.06 μm, the wavelength becomes shorter than the wavelength of the YAG laser, so that it becomes difficult to absorb the reflected light. For this reason, the temperature rise of the optical fiber can be effectively suppressed.
【００２５】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、上記レーザ加工機の加工ヘッドにおいて、前記鏡
面仕上げ部に代えて、レーザ光反射コーティング部を設
けたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a machining head for a laser beam machine, wherein the laser beam reflecting coating portion is provided in place of the mirror-finished portion in the machining head for the laser beam machine.
【００２６】レーザ光反射コーティング部により反射率
がさらに向上する。このため、光ファイバの温度上昇を
さらに抑制できるから、高出力のレーザ加工を連続して
行える。The reflectivity is further improved by the laser light reflecting coating. For this reason, since the temperature rise of the optical fiber can be further suppressed, high-power laser processing can be performed continuously.
【００２７】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、レーザビームを集光する集光レンズと、内部に集
光レンズを保持した筐筒と、筐筒内であって集光レンズ
のワーク側に配置した保護ガラスと、レーザ発振器によ
り発振したレーザビームを伝播する光ファイバと、光フ
ァイバを保持したファイバホルダと、筐筒端部に固定さ
れると共にファイバホルダを取り付けたファイバホルダ
取付部と、筐筒内であってファイバホルダ取付部の直前
に設けたレーザ光を吸収する吸収部と、を備えたもので
ある。A processing head of a laser beam machine according to the next invention comprises a condenser lens for condensing a laser beam, a casing holding the condenser lens therein, and a work side of the condenser lens in the casing. A protective glass, an optical fiber that propagates a laser beam oscillated by a laser oscillator, a fiber holder that holds the optical fiber, and a fiber holder mounting part that is fixed to the end of the housing and that has the fiber holder mounted thereon. An absorption section provided in the housing and immediately before the fiber holder mounting section for absorbing laser light.
【００２８】筐筒内にて、ファイバホルダ取付部の直前
にレーザ光の吸収部を設ければ、係る吸収部が反射光を
吸収するから反射光がファイバホルダ取付部に到達しに
くい。このため、光ファイバの温度上昇を抑制できるよ
うになり、加工ヘッドの信頼性を高めることができる。
また、保護ガラス表面に反射防止コーティングを施すこ
となく、光ファイバの温度上昇を抑制できるから、加工
ヘッドの価格を抑えることができる。If the laser beam absorbing portion is provided in the housing immediately before the fiber holder attaching portion, the reflected light hardly reaches the fiber holder attaching portion because the absorbing portion absorbs the reflected light. For this reason, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed, and the reliability of the processing head can be improved.
Further, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed without applying an anti-reflection coating on the surface of the protective glass, so that the cost of the processing head can be suppressed.
【００２９】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、レーザビームを集光する集光レンズと、内部に集
光レンズを保持した筐筒と、筐筒内であって集光レンズ
のワーク側に配置した保護ガラスと、レーザ発振器によ
り発振したレーザビームを伝播する光ファイバと、光フ
ァイバを保持したファイバホルダと、筐筒端部に固定さ
れると共にファイバホルダを取り付けたファイバホルダ
取付部と、ファイバホルダ取付部に設けた温度センサ
と、温度センサの検出信号に基づき前記レーザ発振器の
レーザ発振を停止するレーザ発振停止制御部と、を備え
たものである。A processing head of a laser beam machine according to the next invention comprises a condenser lens for condensing a laser beam, a casing holding the condenser lens therein, and a work side of the condenser lens in the casing. A protective glass, an optical fiber that propagates a laser beam oscillated by a laser oscillator, a fiber holder that holds the optical fiber, and a fiber holder mounting part that is fixed to the end of the housing and that has the fiber holder mounted thereon. A temperature sensor provided in the fiber holder mounting portion; and a laser oscillation stop controller for stopping laser oscillation of the laser oscillator based on a detection signal of the temperature sensor.
【００３０】反射光により光ファイバの温度が上昇する
と、光ファイバに軟化が生じてしまうので、係る温度上
昇が起こる前に温度センサで周囲の温度を検出し、所定
温度以上になったときにレーザ発振を停止するようにし
た。このようにすれば、光ファイバに損傷を与えること
がないので、加工ヘッドの信頼性が向上する。When the temperature of the optical fiber rises due to the reflected light, the optical fiber is softened. Therefore, the ambient temperature is detected by a temperature sensor before the temperature rise occurs. Oscillation stopped. In this way, the optical fiber is not damaged, and the reliability of the processing head is improved.
【００３１】つぎの発明によるレーザ加工機の加工ヘッ
ドは、上記レーザ加工機の加工ヘッドにおいて、さら
に、ファイバホルダ取付部に設けた温度センサと、温度
センサの検出信号に基づき前記レーザ発振器のレーザ発
振を停止するレーザ発振停止制御部と、を備えたもので
ある。The processing head of the laser processing machine according to the next invention is the processing head of the above-mentioned laser processing machine, further comprising: a temperature sensor provided at a fiber holder attaching portion; And a laser oscillation stop controller for stopping the operation.
【００３２】さらに、上記レーザ加工機に、温度センサ
とレーザ発振停止制御部を設ければ、相乗効果により加
工ヘッドの信頼性を高めることができる。Furthermore, if the laser processing machine is provided with a temperature sensor and a laser oscillation stop control unit, the reliability of the processing head can be improved by a synergistic effect.
【００３３】[0033]
【発明の実施の形態】以下、この発明に係るレーザ加工
機の加工ヘッドにつき図面を参照しつつ詳細に説明す
る。なお、この実施の形態によりこの発明が限定される
ものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A processing head of a laser processing machine according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the embodiment.
【００３４】実施の形態１．図１は、この発明の実施の
形態１に係るレーザ加工機の加工ヘッドの構造を示す断
面図である。本図において、従来の加工ヘッドと同様の
構成要素には同一の符号を付するものとし、当該構成要
素については説明を省略する。この加工ヘッド２０にお
いて、ファイバホルダ取付部２３は、アルミニウム製で
あり、その筐筒２２内側面（集光レンズ２５と相対する
面）には鏡面仕上げ部２８が設けられている。Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a processing head of a laser processing machine according to Embodiment 1 of the present invention. In this drawing, the same components as those of the conventional processing head are denoted by the same reference numerals, and the description of the components will be omitted. In the processing head 20, the fiber holder mounting portion 23 is made of aluminum, and a mirror-finished portion 28 is provided on the inner side surface of the housing 22 (the surface facing the condenser lens 25).
【００３５】鏡面仕上げ部２８は、機械加工によって形
成することができる。この鏡面仕上げ部２８の表面粗さ
は、ＹＡＧレーザの波長よりも小さい、０．５μｍとす
る。表面粗さをレーザ波長よりも小さくするのは、レー
ザ光の吸収を小さくするためである。また、鏡面仕上げ
部２８により反射光を反射するようにしているので、保
護ガラス２６には、コーティングを施さない安価なもの
を用いることができる。なお、ファイバホルダ取付部２
３をアルミニウム製とし、これに対してＹＡＧレーザを
用いたのは、レーザ光の反射効率が高いからである。The mirror-finished portion 28 can be formed by machining. The surface roughness of the mirror-finished portion 28 is set to 0.5 μm, which is smaller than the wavelength of the YAG laser. The reason for making the surface roughness smaller than the laser wavelength is to reduce the absorption of laser light. In addition, since the reflected light is reflected by the mirror-finished portion 28, an inexpensive uncoated glass can be used for the protective glass 26. The fiber holder mounting part 2
3 is made of aluminum, and a YAG laser is used for this because the reflection efficiency of the laser light is high.
【００３６】この加工ヘッド２０を用い、従来同様に定
格出力５００Ｗで約２分間の連続加工を行った結果、フ
ァイバホルダ２１の温度を５０℃以下に抑えることがで
きた。また、この条件下で加工すれば、光ファイバ１６
の軟化が発生しないことが判った。以上から、ファイバ
ホルダ取付部２３の筐筒内側面２３ａに鏡面仕上げ部２
８を設けることで、光ファイバ１６の温度上昇を抑制す
ることができた。また、光ファイバ１６の損傷を防止す
ることができた。As a result of continuous processing for about 2 minutes at a rated output of 500 W using the processing head 20 in the same manner as before, the temperature of the fiber holder 21 could be suppressed to 50 ° C. or less. Further, if processing is performed under these conditions, the optical fiber 16
It was found that no softening occurred. As described above, the mirror-finished portion 2 is provided on the inner surface 23a of the housing
By providing 8, the temperature rise of the optical fiber 16 could be suppressed. Further, the damage of the optical fiber 16 could be prevented.
【００３７】さらに、ファイバホルダ取付部２３の筐筒
内側面２３ａから沈んだ位置に光ファイバ出射端面１６
ｂを設けたので、反射光が到達しにくい。このため、上
記鏡面仕上げ部２８との相乗効果により光ファイバ１６
の温度上昇を抑制できる。なお、筐筒壁面２２ａに鏡面
仕上げ部を設けてもよい。このようにすれば、筐体２２
自体の温度上昇を抑えることができる。Further, the optical fiber exit end face 16 is located at a position sunk from the inner surface 23a of the housing of the fiber holder attaching portion 23.
Since b is provided, it is difficult for reflected light to reach. Therefore, the optical fiber 16 has a synergistic effect with the mirror-finished portion 28.
Temperature rise can be suppressed. Note that a mirror-finished portion may be provided on the casing wall surface 22a. By doing so, the housing 22
The temperature rise of itself can be suppressed.
【００３８】実施の形態２．図２は、この発明の実施の
形態２に係るレーザ加工機の加工ヘッドを示す断面図で
ある。この実施の形態２に係る加工ヘッド１２０は、フ
ァイバホルダ取付部２３の筐筒内側面２３ａに、レーザ
反射コーティング２９を施した点に特徴がある。その他
の構成は実施の形態１の加工ヘッド２０と同じであるか
ら説明を省略する。レーザ反射コーティングとは、例え
ば反射率の高い金属のコーティングや、誘電体多層膜コ
ーティングなどが挙げられる。金属コーティングは、メ
ッキや蒸着などの方法によって形成する。また、誘電体
多層膜コーティングは、蒸着により形成する。Embodiment 2 FIG. 2 is a sectional view showing a processing head of a laser processing machine according to Embodiment 2 of the present invention. The processing head 120 according to the second embodiment is characterized in that a laser reflection coating 29 is applied to the inner surface 23 a of the housing of the fiber holder mounting portion 23. The other configuration is the same as that of the processing head 20 according to the first embodiment, and a description thereof will not be repeated. The laser reflection coating includes, for example, a metal coating having a high reflectance, a dielectric multilayer coating, and the like. The metal coating is formed by a method such as plating or vapor deposition. The dielectric multilayer coating is formed by vapor deposition.
【００３９】このように、ファイバホルダ取付部２３の
筐筒内側面２３ａにレーザ反射コーティング２９を施す
ことにより、９９％程度の反射率を得ることができる。
実施の形態１に係る鏡面仕上げ部２８の反射率が９０％
程度であることに比べて、高い反射率を得られるから、
光ファイバ１６の温度上昇を更に抑制することができ
る。この結果、光ファイバ１６が損傷しにくくなり、加
工ヘッド１２０の信頼性を向上させることができる。ま
た、光ファイバ１６の温度上昇を抑制できる分、高出力
のレーザ加工を連続的に行えるようになる。As described above, by applying the laser reflection coating 29 to the inner surface 23a of the housing of the fiber holder mounting portion 23, a reflectance of about 99% can be obtained.
The reflectance of the mirror-finished portion 28 according to the first embodiment is 90%
Since it is possible to obtain a high reflectance compared to the degree,
The temperature rise of the optical fiber 16 can be further suppressed. As a result, the optical fiber 16 is less likely to be damaged, and the reliability of the processing head 120 can be improved. In addition, high power laser processing can be performed continuously because the temperature rise of the optical fiber 16 can be suppressed.
【００４０】実施の形態３．図３は、この発明の実施の
形態３に係る加工ヘッドを示す断面図である。この実施
の形態３に係る加工ヘッド１３０は、実施の形態１に係
る加工ヘッド２０と略同様の構成であるが、ファイバホ
ルダ取付部２３の直前にレーザ光を吸収する吸収部３０
を設けた点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同
様であるため、説明を省略する。吸収部３０は、輪形状
であって筐筒壁面２２ａに設ける。吸収部３０の開口３
１は、光ファイバ出射端面１６ｂの直前に位置し、レー
ザビームＲの光路となる。吸収部３０には、例えばＹＡ
Ｇレーザの場合、可視光と吸収特性が似ているため、可
視的に色が黒いものが適する。従って、吸収部３０に
は、アルミニウムに黒色アルマイト（着色陽極酸化被
膜）を施したものや、金属に黒色メッキ（黒色クロメー
ト、黒色Ｃｕメッキなど）を施したもの、黒色のセラミ
ックス（ＳｉＣ，ＴｉＯ2 など）を施したものを用いる
ことができる。Embodiment 3 FIG. 3 is a sectional view showing a working head according to Embodiment 3 of the present invention. The processing head 130 according to the third embodiment has substantially the same configuration as the processing head 20 according to the first embodiment, but has an absorption section 30 that absorbs laser light immediately before the fiber holder mounting section 23.
Is different. The other configuration is the same as that of the first embodiment, and the description is omitted. The absorbing section 30 has a ring shape and is provided on the casing wall surface 22a. Opening 3 of absorber 30
Numeral 1 is located immediately before the optical fiber exit end face 16b and is an optical path of the laser beam R. For example, YA
In the case of the G laser, since the absorption characteristics are similar to those of visible light, those having a visually black color are suitable. Therefore, the absorber 30 is made of aluminum having black alumite (colored anodized film), metal having black plating (black chromate, black Cu plating, etc.), or black ceramics (SiC, TiO 2). Etc.) can be used.
【００４１】保護ガラス２６およびワークＷ表面からの
反射光は、集光レンズ２４を通過して逆行する。ところ
が、ファイバホルダ取付部２３の直前には吸収部３０が
設けてあるから、逆行した反射光の大部分は、この吸収
部３０によって吸収される。吸収された反射光は熱にな
るが、筐筒２２に設けた加工ヘッド支持部２７を通じて
放熱される。このため、ファイバホルダ取付部２３の温
度上昇が少なくなり、これに伴い光ファイバ１６の温度
上昇が抑制される。この結果、加工ヘッド１３０の信頼
性が向上する。The light reflected from the protective glass 26 and the surface of the work W passes through the condenser lens 24 and goes backward. However, since the absorbing section 30 is provided immediately before the fiber holder mounting section 23, most of the reflected light that has returned in the backward direction is absorbed by the absorbing section 30. The absorbed reflected light becomes heat, but is radiated through the processing head support portion 27 provided in the casing 22. For this reason, the temperature rise of the fiber holder mounting portion 23 is reduced, and the temperature rise of the optical fiber 16 is suppressed accordingly. As a result, the reliability of the processing head 130 is improved.
【００４２】実施の形態４．図４は、この発明の実施の
形態４に係る加工ヘッドを示す構成図である。この実施
の形態４に係る加工ヘッド１４０は、実施の形態１に係
る加工ヘッド２０と略同様の構成であるが、ファイバホ
ルダ取付部２３に温度センサ３２を取り付けた点が異な
る。その他の構成は、実施の形態１と同様であるから説
明を省略する。温度センサ３２は、ファイバホルダ取付
部２３の温度を検出するものであって、制御装置３４に
接続されている。この制御装置３４は、ＣＰＵ３５とメ
モリ３６から構成されている。また、制御装置３４に
は、共振器（図５参照）が接続されており、当該制御装
置３４により共振器のオン・オフを制御する。Embodiment 4 FIG. 4 is a configuration diagram showing a processing head according to Embodiment 4 of the present invention. The processing head 140 according to the fourth embodiment has substantially the same configuration as the processing head 20 according to the first embodiment, except that the temperature sensor 32 is mounted on the fiber holder mounting portion 23. The other configuration is the same as that of the first embodiment, and the description is omitted. The temperature sensor 32 detects the temperature of the fiber holder mounting section 23, and is connected to the control device 34. The control device 34 includes a CPU 35 and a memory 36. A resonator (see FIG. 5) is connected to the control device 34, and the control device 34 controls on / off of the resonator.
【００４３】温度センサ３２の検出した信号は、制御装
置３４に送られる。制御装置３４のメモリ３６には、所
定の温度が記憶されている。制御装置３４は、メモリ３
６に記憶している所定温度と温度センサ３２の検出した
温度とを比較する。比較の結果、温度センサ３２の温度
がメモリ３６に記憶した所定温度よりも高い場合、共振
器をオフする。温度センサ３２の温度がメモリ３６に記
憶した所定温度よりも低い場合には、共振器のオン状態
を維持する。上記所定の温度は、光ファイバ１６が軟化
する温度よりも低く設定しておく。The signal detected by the temperature sensor 32 is sent to the control device 34. A predetermined temperature is stored in the memory 36 of the control device 34. The control device 34 includes the memory 3
6 is compared with the temperature detected by the temperature sensor 32. As a result of the comparison, when the temperature of the temperature sensor 32 is higher than the predetermined temperature stored in the memory 36, the resonator is turned off. When the temperature of the temperature sensor 32 is lower than the predetermined temperature stored in the memory 36, the ON state of the resonator is maintained. The predetermined temperature is set lower than the temperature at which the optical fiber 16 softens.
【００４４】また、上記実施の形態１〜３の加工ヘッド
２０、１２０、１３０に上記温度センサ３２と制御装置
３４とを設けてもよい。このようにすれば、光ファイバ
１６の温度管理を十分に行えるから、加工ヘッドの信頼
性がより向上する。The processing heads 20, 120, and 130 of the first to third embodiments may be provided with the temperature sensor 32 and the control device 34. With this configuration, the temperature of the optical fiber 16 can be sufficiently controlled, and the reliability of the processing head is further improved.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るレ
ーザ加工器機の加工ヘッドによれば、光ファイバを、フ
ァイバホルダ取付部の筐体内側面から沈んで位置させ、
さらに、筐筒内に鏡面仕上げを施したので、これらの相
乗効果により光ファイバの温度上昇を抑えることができ
る。このため、加工ヘッドの信頼性が高まる。また、保
護ガラス表面に反射防止コーティングを施すことなく、
光ファイバの温度上昇を抑制できるから、加工ヘッドの
価格を抑えることができる。As described above, according to the processing head of the laser processing machine according to the present invention, the optical fiber is positioned so as to sink from the inner surface of the housing of the fiber holder mounting portion.
Furthermore, since the mirror finish is applied to the inside of the casing, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed by the synergistic effect of these. For this reason, the reliability of the processing head is improved. Also, without applying an anti-reflection coating on the protective glass surface,
Since the temperature rise of the optical fiber can be suppressed, the cost of the processing head can be suppressed.
【００４６】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、ファイバホルダ取付部の筐筒内側面には、
鏡面仕上げ部が設けたので、反射光を再び反射すること
ができる。このため、光ファイバの温度上昇を抑え、加
工ヘッドの信頼性を高めることができる。また、保護ガ
ラス表面に反射防止コーティングを施さずにすむから、
加工ヘッドの価格を抑えることができる。According to the processing head of the laser processing machine according to the next invention, the inner surface of the housing of the fiber holder mounting portion is provided with:
Since the mirror-finished portion is provided, the reflected light can be reflected again. Therefore, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed, and the reliability of the processing head can be increased. Also, since it is not necessary to apply an anti-reflection coating on the protective glass surface,
The price of the processing head can be reduced.
【００４７】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、鏡面仕上げ部の表面粗さを、１．０６マイ
クロミリメートル未満としたので、ＹＡＧレーザの波長
よりも短くなり、反射光を吸収しにくくなる。このた
め、光ファイバの温度上昇を効果的に抑制できる。According to the processing head of the laser beam machine according to the next invention, since the surface roughness of the mirror-finished portion is less than 1.06 μm, it becomes shorter than the wavelength of the YAG laser and absorbs reflected light. It becomes difficult to do. For this reason, the temperature rise of the optical fiber can be effectively suppressed.
【００４８】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、鏡面仕上げ部に代えて、レーザ光反射コー
ティング部を設けたので、良好な反射率が得られる。こ
のため、光ファイバの温度上昇をさらに抑制できるか
ら、その分、高出力のレーザ加工を連続して行える。According to the processing head of the laser processing machine according to the next invention, since the laser light reflection coating portion is provided instead of the mirror finish portion, a good reflectance can be obtained. For this reason, the temperature rise of the optical fiber can be further suppressed, and accordingly, high-power laser processing can be performed continuously.
【００４９】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、ファイバホルダ取付部の直前にレーザ光の
吸収部を設けたので、反射光がファイバホルダ取付部に
到達しにくい。このため、光ファイバの温度上昇を抑制
できるようになり、加工ヘッドの信頼性を高めることが
できる。また、保護ガラス表面に反射防止コーティング
を施す必要がないので、加工ヘッドの価格を抑えること
ができる。According to the processing head of the laser beam machine according to the next invention, since the laser light absorbing portion is provided immediately before the fiber holder mounting portion, the reflected light hardly reaches the fiber holder mounting portion. For this reason, the temperature rise of the optical fiber can be suppressed, and the reliability of the processing head can be improved. Further, since there is no need to apply an antireflection coating to the surface of the protective glass, the cost of the processing head can be reduced.
【００５０】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、ファイバホルダ取付部に温度センサを設
け、温度センサの検出信号に基づき前記レーザ発振器の
レーザ発振を停止するようにした。このため、温度が上
昇して光ファイバに軟化が生じる前にレーザ発振を停止
することができるから、光ファイバに損傷を与えること
がないので、加工ヘッドの信頼性が向上する。According to the processing head of the laser beam machine according to the next invention, the temperature sensor is provided in the fiber holder mounting portion, and the laser oscillation of the laser oscillator is stopped based on the detection signal of the temperature sensor. Therefore, laser oscillation can be stopped before the temperature rises and the optical fiber is softened, so that the optical fiber is not damaged, and the reliability of the processing head is improved.
【００５１】つぎの発明に係るレーザ加工機の加工ヘッ
ドによれば、上記レーザ加工機に、さらに、温度センサ
とレーザ発振停止制御部を設けたので、相乗効果により
加工ヘッドの信頼性を高めることができる。According to the processing head of the laser processing machine according to the next invention, since the laser processing machine is further provided with a temperature sensor and a laser oscillation stop control unit, the reliability of the processing head is improved by a synergistic effect. Can be.
【図１】 この発明の実施の形態１に係るレーザ加工機
の加工ヘッドの構造を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a processing head of a laser processing machine according to Embodiment 1 of the present invention.
【図２】 この発明の実施の形態２に係るレーザ加工機
の加工ヘッドの構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a structure of a processing head of a laser processing machine according to Embodiment 2 of the present invention.
【図３】 この発明の実施の形態３に係る加工ヘッドを
示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a processing head according to Embodiment 3 of the present invention.
【図４】 この発明の実施の形態４に係る加工ヘッドを
示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing a processing head according to Embodiment 4 of the present invention.
【図５】 従来におけるレーザ加工機の固体レーザ発振
器および加工ヘッドを示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory view showing a solid-state laser oscillator and a processing head of a conventional laser processing machine.
【図６】 図５に示した加工ヘッドを示す断面図であ
る。6 is a cross-sectional view showing the processing head shown in FIG.
【図７】 反射光の反射経路を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a reflection path of reflected light.
２０ 加工ヘッド、２１ ファイルイバホルダ、２２
筐筒、２３ ファイバホルダ取付部、２４、２５ 集光
レンズ、２６ 保護ガラス、２７ 加工ヘッド支持部、
２８ 鏡面仕上げ部、２９ レーザ反射コーティング、
３０ 吸収部、３２ 温度センサ、３４ 制御装置。Reference Signs List 20 processing head, 21 filer holder, 22
Housing, 23 fiber holder mounting part, 24, 25 condenser lens, 26 protective glass, 27 processing head support,
28 mirror finish, 29 laser reflective coating,
30 absorption part, 32 temperature sensor, 34 control device.
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4E068 CA18 CB02 CB06 CB09 CC03 CD15 CE08 CF01 5F072 AB01 HH02 HH03 HH09 JJ09 KK26 KK30 MM08 MM09 YY06Continued on the front page F term (reference) 4E068 CA18 CB02 CB06 CB09 CC03 CD15 CE08 CF01 5F072 AB01 HH02 HH03 HH09 JJ09 KK26 KK30 MM08 MM09 YY06
Claims (7)
ラスと、 レーザ発振器により発振したレーザビームを伝播する光
ファイバと、 光ファイバを保持したファイバホルダと、 筐筒端部に固定されると共に、光ファイバ出射端面が筐
筒内側面から沈んで位置するようにファイバホルダを取
り付けたファイバホルダ取付部と、 筐筒およびファイバホルダ取付部のうち、全部または一
部に施した鏡面仕上げ部と、 を備えたことを特徴とするレーザ加工機の加工ヘッド。A condenser lens for condensing a laser beam, a casing holding the condenser lens therein, a protective glass disposed in the casing on the work side of the condenser lens, and a laser oscillator. An optical fiber that propagates the oscillated laser beam, a fiber holder that holds the optical fiber, and a fiber holder that is fixed to the end of the housing and that is positioned so that the output end face of the optical fiber sinks from the inner surface of the housing. A machining head for a laser beam machine, comprising: a fiber holder mounting portion; and a mirror-finished portion provided on all or a part of the housing and the fiber holder mounting portion.
ラスと、 レーザ発振器により発振したレーザビームを伝播する光
ファイバと、 光ファイバを保持するファイバホルダと、 ファイバホルダを取り付けると共に筐筒端部に固定さ
れ、筐筒内側面に鏡面仕上げ部を設けた金属製のファイ
バホルダ取付部と、 を備えたことを特徴とするレーザ加工機の加工ヘッド。2. A condensing lens for condensing a laser beam, a casing holding the condensing lens therein, a protective glass disposed in the casing on the work side of the condensing lens, and a laser oscillator. An optical fiber that propagates the oscillated laser beam, a fiber holder that holds the optical fiber, and a metal fiber holder that is attached to the fiber holder and fixed to the end of the housing, and has a mirror-finished part on the inner surface of the housing. A processing head of a laser processing machine, comprising:
６マイクロミリメートル未満であることを特徴とする請
求項１または２に記載のレーザ加工機の加工ヘッド。3. The mirror-finished portion has a surface roughness of 1.0.
The processing head of a laser processing machine according to claim 1, wherein the processing head is less than 6 μm.
射コーティング部を設けたことを特徴とする請求項１〜
３のいずれか一つに記載のレーザ加工機の加工ヘッド。4. A laser light reflecting coating part is provided in place of the mirror finish part.
3. The processing head of the laser processing machine according to any one of 3.
ラスと、 レーザ発振器により発振したレーザビームを伝播する光
ファイバと、 光ファイバを保持したファイバホルダと、 筐筒端部に固定されると共にファイバホルダを取り付け
たファイバホルダ取付部と、 筐筒内であってファイバホルダ取付部の直前に設けたレ
ーザ光を吸収する吸収部と、 を備えたことを特徴とするレーザ加工機の加工ヘッド。5. A condensing lens for condensing a laser beam, a housing holding the condensing lens therein, a protective glass disposed in the housing on the work side of the condensing lens, and a laser oscillator. An optical fiber for propagating the oscillated laser beam, a fiber holder holding the optical fiber, a fiber holder mounting portion fixed to the end of the housing and mounting the fiber holder, and a fiber holder mounting portion in the housing A processing head of a laser processing machine, comprising: an absorption section provided immediately before the laser light absorption section.
ラスと、 レーザ発振器により発振したレーザビームを伝播する光
ファイバと、 光ファイバを保持したファイバホルダと、 筐筒端部に固定されると共にファイバホルダを取り付け
たファイバホルダ取付部と、 ファイバホルダ取付部に設けた温度センサと、 温度センサの検出信号に基づき前記レーザ発振器のレー
ザ発振を停止するレーザ発振停止制御部と、 を備えたことを特徴とするレーザ加工機の加工ヘッド。6. A condensing lens for condensing a laser beam, a casing holding the condensing lens therein, a protective glass disposed in the casing on the work side of the condensing lens, and a laser oscillator. An optical fiber that propagates the oscillated laser beam, a fiber holder that holds the optical fiber, a fiber holder mounting part that is fixed to the end of the housing and has the fiber holder mounted thereon, and a temperature sensor that is provided in the fiber holder mounting part. A processing head for a laser processing machine, comprising: a laser oscillation stop control unit that stops laser oscillation of the laser oscillator based on a detection signal of a temperature sensor.
温度センサと、 温度センサの検出信号に基づき前記レーザ発振器のレー
ザ発振を停止するレーザ発振停止制御部と、 を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つ
に記載のレーザ加工機の加工ヘッド。7. A laser sensor comprising: a temperature sensor provided on a fiber holder mounting portion; and a laser oscillation stop controller for stopping laser oscillation of the laser oscillator based on a detection signal of the temperature sensor. Item 6. The processing head of the laser processing machine according to any one of Items 1 to 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18507698A JP3385214B2 (en) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | Laser processing machine head |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000015470A true JP2000015470A (en) | 2000-01-18 |
| JP3385214B2 JP3385214B2 (en) | 2003-03-10 |
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ID=16164407
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP3385214B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011016932A1 (en) * | 2011-04-13 | 2012-10-18 | Precitec Kg | Cassette for holding an optic in a laser processing head |
-
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| Date | Code | Title | Description |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |