JP2000007423A - Composite material and its production - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複合材料及びその
製造方法に関し、さらに詳しくは、半導体製造装置や液
晶ディスプレイ製造装置などの部材、例えば、反応チャ
ンバや、発熱体を埋設した大型ヒータなどの耐高温部材
として好適に用いることのできる複合材料及びその製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite material and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a member for a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal display manufacturing apparatus, such as a reaction chamber or a large heater having a heating element embedded therein. The present invention relates to a composite material that can be suitably used as a high temperature resistant member and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造装置における耐高温部材とし
ては、軽量性、熱伝導性の観点から、鋳鉄やアルミニウ
ムが広く用いられている。また、最近は、優れた機械的
強度、熱伝導性、及び耐腐食性の観点から、構造材とし
て汎用されつつある窒化アルミニウムなどを母材とし、
その空隙をアルミニウムで埋めた、セラミックス／金属
複合材料を用いる試みもなされている。このような複合
材料を製造する方法としては、比較的単純で、ニアネッ
トシェイプに製造が可能であり、複雑形状部材や大型部
材の製造に好適に用いることができるとの観点から、Ｌ
ａｎｘｉｄｅプロセスに代表されるように、炭化ケイ素
やアルミナなどのセラミックスなどからなる母材に、溶
融金属を自発含浸させる方法、または加圧含浸、および
真空含浸などによって含浸させる方法が用いられてい
る。2. Description of the Related Art Cast iron and aluminum are widely used as high temperature resistant members in semiconductor manufacturing equipment from the viewpoint of light weight and thermal conductivity. In recent years, from the viewpoint of excellent mechanical strength, thermal conductivity, and corrosion resistance, aluminum nitride and the like, which are being widely used as structural materials, are used as a base material,
Attempts have been made to use a ceramic / metal composite material in which the voids are filled with aluminum. As a method of manufacturing such a composite material, L is relatively simple, can be manufactured in a near-net shape, and can be suitably used for manufacturing a complex-shaped member or a large-sized member.
As typified by the anxide process, a method of spontaneously impregnating a molten metal into a base material made of ceramics such as silicon carbide and alumina, or a method of impregnating by impregnation under pressure and vacuum is used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法は、プリフォームに溶融金属を含浸させるというプロ
セスを経るため、複合材料に占める金属の割合が多くな
りすぎ、セラミックスと金属とが３次元的に結合するこ
とできず、十分な機械的強度を得ることができないとい
う問題を生じていた。また、プリフォームを構成するセ
ラミックス粒子及び含浸金属の種類によっては、前記プ
リフォームと前記含浸金属との濡れ性が必ずしも良好で
ないこと、及び前記プリフォームと前記含浸金属とが反
応してしまい脆弱な反応生成物ができることによって
も、十分な機械的強度を得ることができないという問題
も生じていた。その結果として、耐熱性についても十分
なものを得ることができず、高温での機械的強度及び耐
クリープ特性に劣るという問題があった。However, in the above method, since the preform is subjected to a process of impregnating the molten metal, the ratio of the metal in the composite material is too large, and the ceramic and the metal are three-dimensionally formed. There has been a problem that they cannot be joined and sufficient mechanical strength cannot be obtained. Also, depending on the type of ceramic particles and the impregnated metal constituting the preform, the wettability between the preform and the impregnated metal is not necessarily good, and the preform and the impregnated metal react and are fragile. Even if a reaction product is formed, there has been a problem that sufficient mechanical strength cannot be obtained. As a result, there was a problem that sufficient heat resistance could not be obtained and mechanical strength at high temperatures and creep resistance were poor.
【０００４】本発明は、十分な機械的強度及び耐熱性、
さらには耐腐食性を有する新たな複合材料、及びその製
造方法を提供することを目的とする。[0004] The present invention provides sufficient mechanical strength and heat resistance,
It is another object of the present invention to provide a new composite material having corrosion resistance and a method for producing the same.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、セラミックス
粒子Ａと、このセラミックス粒子Ａと異なる炭化物粒子
Ｂと、この炭化物粒子Ｂの構成元素である金属Ｃと、炭
素Ｄとが、互いに３次元的に結合してなることを特徴と
する複合材料である。According to the present invention, a ceramic particle A, a carbide particle B different from the ceramic particle A, a metal C which is a constituent element of the carbide particle B, and carbon D are three-dimensionally interconnected. It is a composite material characterized by being bonded together.
【０００６】また、本発明は、セラミックス粒子Ａと炭
素Ｄ又は炭素Ｄを含む化合物とを混合して混合体を形成
する工程と、前記混合体を成形してプリフォームを形成
する工程と、前記プリフォームに金属Ｃを含浸させ、前
記金属Ｃと前記炭素Ｄとを反応させて、金属Ｃを構成成
分とする炭化物粒子Ｂを生成する工程と、を含んでなる
ことを特徴とする、複合材料の製造方法である。Further, the present invention provides a method of forming a mixture by mixing ceramic particles A and carbon D or a compound containing carbon D, a step of forming the mixture to form a preform, Impregnating the preform with metal C and reacting the metal C with the carbon D to produce carbide particles B containing the metal C as a constituent. It is a manufacturing method of.
【０００７】例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）から
なるセラミックス粒子Ａと炭素（Ｃ）Ｄとからなるプリ
フォームに、金属Ｃとして金属シリコン（Ｓｉ）を含浸
させると、前記金属シリコンの少なくとも一部は、 Ｓｉ＋Ｃ→ＳｉＣ （１） なる反応を生じ、炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなる炭化物
粒子Ｂを生成する。したがって、金属シリコンを多量に
含浸させた場合においても、前記金属シリコンの少なく
とも一部は炭化ケイ素に変化するため、複合材料に占め
る金属の量が多くなるのを防止することができる。For example, when a preform made of ceramic particles A made of aluminum nitride (AlN) and carbon (C) D is impregnated with metal silicon (Si) as metal C, at least a part of the metal silicon becomes A reaction of Si + C → SiC (1) occurs to generate carbide particles B made of silicon carbide (SiC). Therefore, even when a large amount of metal silicon is impregnated, at least a part of the metal silicon is changed to silicon carbide, so that an increase in the amount of metal in the composite material can be prevented.
【０００８】本発明の製造方法によれば、複合材料中の
金属の占める割合が多くなり過ぎない、最適な割合に調
節することができるため、セラミックス粒子Ａと、この
セラミックス粒子Ａと異なる炭化物粒子Ｂと、前記炭化
物粒子Ｂの構成元素である金属Ｃと、炭素Ｄとが、互い
に３次元的に結合してなる、機械的強度に優れた本発明
の複合材料を得ることができる。また、本発明の複合材
料の製造方法によれば、セラミックスＡと炭化物Ｂの異
なる２種類の粒子が存在することになり、材料の破壊靱
性が向上するという利点がある。According to the production method of the present invention, the ratio of the metal in the composite material does not become too large and can be adjusted to an optimum ratio. Therefore, the ceramic particles A and the carbide particles different from the ceramic particles A B, a metal C as a constituent element of the carbide particles B, and carbon D are three-dimensionally bonded to each other to obtain a composite material of the present invention having excellent mechanical strength. Further, according to the method for producing a composite material of the present invention, there are two types of particles having different ceramics A and carbide B, and there is an advantage that the fracture toughness of the material is improved.
【０００９】また、本発明の製造方法によれば、上記３
次元的な結合に加えて、上記（１）の反応によって炭化
ケイ素などの高い耐熱性を有する炭化物粒子Ｂをも生成
するため、耐熱性に優れた本発明の複合材料を製造する
ことができる。さらに、上記反応（１）にあずかること
なく、複合材料中に残留した金属シリコンなどの金属Ｃ
は、前記セラミックス粒子Ａと炭化物粒子Ｂとのすき間
を埋めるようにして存在するため、含浸時において、プ
リフォームや成形体が収縮することがなく、ニアネット
シェイプに本発明の複合材料を製造することができる。Further, according to the manufacturing method of the present invention, the above 3
In addition to the dimensional bonding, the reaction (1) also produces carbide particles B having high heat resistance such as silicon carbide, so that the composite material of the present invention having excellent heat resistance can be produced. Further, the metal C such as metal silicon remaining in the composite material without participating in the above reaction (1)
Exists so as to fill the gap between the ceramic particles A and the carbide particles B, so that the preform or the molded body does not shrink during the impregnation, and the composite material of the present invention is manufactured in a near net shape. be able to.
【００１０】なお、本発明で言う「３次元的な結合」と
は、セラミックス粒子Ａ、炭化物粒子Ｂ、金属Ｃ、炭素
Ｄが、外部的な力を必要とすることなく、自力によって
自ら結合しているような状態を言い、例えば、これらの
界面が、含浸や反応焼結によって結合している状態、あ
るいは、機械的な外部圧力を加えた後に各粒子が物理的
に係合しているような状態を総称するものである。In the present invention, "three-dimensional bonding" means that the ceramic particles A, carbide particles B, metal C, and carbon D are bonded together by themselves without requiring external force. For example, these interfaces are bonded by impregnation or reaction sintering, or each particle is physically engaged after applying a mechanical external pressure. This is a general term for the various states.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明を発明の実施の形態
に基づいて詳細に説明する。まず、セラミックス粒子Ａ
及び炭素Ｄ、あるいは炭素Ｄを含む化合物を、イソプロ
パノールなどの溶媒に分散させた後、液状アクリル共重
合物などの有機バインダと混合させ、大型ポットミルで
１〜１００時間攪拌混合し、その後乾燥して、混合粉を
製造する。この乾燥は、均一な混合を得るためスプレー
ドライ法により行うことが好ましい。次いで、油圧プレ
ス機などにより５０〜７０００ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で
加圧成形することにより、プリフォームを製造する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments of the present invention. First, ceramic particles A
And carbon D, or a compound containing carbon D, after being dispersed in a solvent such as isopropanol, mixed with an organic binder such as a liquid acrylic copolymer, stirred and mixed in a large pot mill for 1 to 100 hours, and then dried To produce mixed powder. This drying is preferably performed by a spray drying method to obtain a uniform mixture. Next, a preform is manufactured by press-molding at a pressure of 50 to 7000 kgf / cm 2 using a hydraulic press or the like.
【００１２】なお、セラミックス粒子Ａなどを溶媒に分
散させる代わりに、簡易的にセラミックス粒子Ａにエタ
ノールなどを噴霧して混合させて混合粉を得、これを加
圧成形することによってプリフォームを製造することも
できる。Instead of dispersing the ceramic particles A in a solvent, the ceramic particles A are simply sprayed with ethanol or the like and mixed to obtain a mixed powder, which is then subjected to pressure molding to produce a preform. You can also.
【００１３】セラミックス粒子Ａ及び炭素Ｄを含んでな
る前記プリフォームを十分乾燥させた後、金属Ｃのビュ
レットの上面にこのプリフォームを配置したものを大型
るつぼの中に入れる。次いで、大型の加熱炉に前記るつ
ぼを配置して、非酸化性雰囲気中、６００〜２０００℃
で０．５〜２４時間加熱処理を行う。すると、大型るつ
ぼ内の金属Ｃは溶融して、前記プリフォーム中に浸透
し、含浸処理が実施される。After sufficiently drying the preform containing the ceramic particles A and the carbon D, the preform placed on the upper surface of the metal C buret is placed in a large crucible. Next, the crucible is placed in a large heating furnace, and is placed in a non-oxidizing atmosphere at 600 to 2000 ° C.
For 0.5 to 24 hours. Then, the metal C in the large crucible is melted and permeates into the preform, and the impregnation is performed.
【００１４】また、上記ビュレットを使用する代わり
に、金属Ｃの融液を予め製造しておき、この融液に、非
酸化性雰囲気中、６００〜２０００℃で、０．５〜２４
時間、前記プリフォームを接触させて、含浸させること
もできる。上記含浸処理中において、「課題を解決すべ
き手段」で述べたように、金属Ｃの少なくとも一部が炭
素Ｄと反応して、金属Ｃを構成元素とする炭化物を生成
する。Instead of using the above buret, a melt of metal C is prepared in advance, and the melt is added to the melt in a non-oxidizing atmosphere at 600 to 2000 ° C. for 0.5 to 24 hours.
The preform may be contacted and impregnated for a period of time. During the impregnation process, at least a part of the metal C reacts with the carbon D to generate a carbide containing the metal C as a constituent element, as described in “Means to Solve the Problem”.
【００１５】一方、前記プリフォーム中に含浸した金属
Ｃの内、炭化物の生成に寄与しない溶融状態の残留金属
Ｃは、セラミックス粒子Ａと炭化物とのすき間に侵入し
て、前記すき間を埋めるように前記プリフォーム中に残
留する。プリフォーム中の炭素Ｄはそのほとんどが溶融
状態の金属Ｃと反応し、炭化物を生成するが、一部の炭
素Ｄは反応に寄与せず、遊離炭素として残留する。含浸
処理終了後に、前記プリフォームを室温まで冷却する
と、前記炭化物からなる炭化物粒子Ｂを得る。On the other hand, of the metal C impregnated in the preform, the residual metal C in a molten state that does not contribute to the formation of carbide enters the gap between the ceramic particles A and the carbide so as to fill the gap. It remains in the preform. Most of the carbon D in the preform reacts with the metal C in a molten state to form carbide, but some carbon D does not contribute to the reaction and remains as free carbon. After completion of the impregnation, the preform is cooled to room temperature to obtain carbide particles B made of the carbide.
【００１６】以上のような工程を経て、セラミックス／
金属複合材料を製造することにより、セラミックス粒子
Ａと、炭化物粒子Ｂと、前記炭化物粒子Ｂの構成元素で
ある金属Ｃと、炭素Ｄとが、互いに３次元的に結合して
なる本発明の複合材料を製造することができる。Through the above steps, the ceramic /
By producing a metal composite material, the composite according to the present invention, in which ceramic particles A, carbide particles B, metal C as a constituent element of the carbide particles B, and carbon D are three-dimensionally bonded to each other. Material can be manufactured.
【００１７】上記複合材料の製造方法における非酸化性
雰囲気としては、窒素（Ｎ2 ）アルゴン（Ａｒ）などの
不活性ガスなどを用いることができる。As the non-oxidizing atmosphere in the method for producing a composite material, an inert gas such as nitrogen (N 2 ) or argon (Ar) can be used.
【００１８】また、セラミックス粒子Ａとしては、特に
限定されるものでなく、汎用のセラミックスを使用する
ことができるが、機械的特性、熱伝導特性、及び耐食性
の観点から、窒化物であることが好ましく、特に、窒化
アルミニウムであることが好ましい。The ceramic particles A are not particularly limited, and general-purpose ceramics can be used. However, from the viewpoints of mechanical properties, heat conduction properties, and corrosion resistance, nitrides may be used. Preferably, and particularly preferably, aluminum nitride.
【００１９】金属Ｃについても、炭素Ｄと反応して炭化
物を生成するものであれば、特に限定されるものではな
いが、複合材料全体の軽量化やセラミックスに対する良
好な濡れ性といった観点から、シリコン若しくはシリコ
ン合金、又はアルミニウム若しくはアルミニウム合金で
あることが好ましい。また、この金属Ｃは、セラミック
ス粒子Ａを構成する金属と必ずしも異なっている必要は
なく、同じ金属であってもよい。The metal C is not particularly limited as long as it reacts with the carbon D to form a carbide. However, from the viewpoint of reducing the weight of the whole composite material and good wettability to ceramics, silicon Alternatively, a silicon alloy, aluminum, or an aluminum alloy is preferable. Further, the metal C does not necessarily need to be different from the metal constituting the ceramic particles A, and may be the same metal.
【００２０】本発明における複合材料中の炭素Ｄは黒
鉛、部分結晶化カーボン、アモルファスカーボン、ダイ
アモンドなどのいずれの形態で存在していてもよい。ま
た、本発明の製造方法における出発原料としては、上記
のような形態のいかなる炭素を用いてもよいし、フェノ
ール樹脂などの有機物、Ｌｉ2 ＣＯ3 などの炭酸塩、Ｂ
4 Ｃなどの炭化物など、いかなる形態の炭素含有化合物
を用いてもよい。The carbon D in the composite material in the present invention may exist in any form such as graphite, partially crystallized carbon, amorphous carbon, diamond and the like. Further, as a starting material in the production method of the present invention, any carbon in the above-mentioned form may be used, an organic substance such as a phenol resin, a carbonate such as Li 2 CO 3 , B
Any form of carbon-containing compound such as a carbide such as 4 C may be used.
【００２１】セラミックス粒子Ａと、上記にようにして
生成した炭化物粒子Ｂとは、機械的強度の観点から、互
いに他方に対する溶解度を有し、少なくとも部分的に、
互いに固溶していることが好ましい。また、高い機械的
強度と耐熱性を得るためには、複合材料に対する前記金
属Ｃの含有量が、０．１〜５０体積％であることが好ま
しく、さらには、０．１〜２０体積％であることが好ま
しい。さらに、高い機械的強度と耐熱性を得るために
は、前記複合材料の開気孔率は１０％以下であることが
好ましく、さらには、３％以下であることが好ましい。The ceramic particles A and the carbide particles B formed as described above have solubility in each other from the viewpoint of mechanical strength, and at least partially
It is preferable that they are dissolved in each other. In order to obtain high mechanical strength and heat resistance, the content of the metal C in the composite material is preferably 0.1 to 50% by volume, and more preferably 0.1 to 20% by volume. Preferably, there is. Furthermore, in order to obtain high mechanical strength and heat resistance, the open porosity of the composite material is preferably 10% or less, and more preferably 3% or less.
【００２２】上記製造方法により、本発明の複合材料を
製造すると、金属Ｃは、含浸処理後のプリフォーム又は
焼結体の表面に部分的に露出する。金属Ｃとして耐食性
の低い金属を用いた場合、前記表面に露出した部分が腐
食し、さらに、この腐食した部分が核となって腐食が進
行するため、複合材料の耐腐食性が全体として低下する
場合がある。したがって、このような場合においては、
前述のようにして得られたプリフォーム及び焼結体を窒
素含有雰囲気中で加熱処理やプラズマ処理などを施し、
前記表面に露出した金属Ｃを窒化させて、耐腐食性を付
与することが好ましい。When the composite material of the present invention is manufactured by the above manufacturing method, the metal C is partially exposed on the surface of the preform or sintered body after the impregnation. When a metal having low corrosion resistance is used as the metal C, the portion exposed to the surface corrodes, and furthermore, the corroded portion becomes a nucleus and the corrosion proceeds, so that the corrosion resistance of the composite material is reduced as a whole. There are cases. Therefore, in such a case,
The preform and the sintered body obtained as described above are subjected to heat treatment or plasma treatment in a nitrogen-containing atmosphere,
It is preferable that the metal C exposed on the surface is nitrided to impart corrosion resistance.
【００２３】この加熱処理は、０．１〜１０００気圧の
窒素ガス、あるいはアンモニアガス雰囲気中、４５０〜
１８００℃で、０．５〜１００時間加熱処理することに
よって行う。なお、製造工程簡略化のために、前記表面
に露出した金属Ｃを窒化させる以前に、前記複合材料の
表面に研削加工などを施すことが好ましい。また、複合
材料全体の耐腐食性を向上させるために、複合材料の表
面全体に酸化膜を設けることもできる。酸化膜の形成方
法としては、大気中、３００−１８００℃で加熱処理す
る方法、ゾルゲル法などのコーティング法、および溶射
法などが挙げられる。This heat treatment is performed in an atmosphere of nitrogen gas or ammonia gas at 0.1 to 1000 atm.
Heat treatment is performed at 1800 ° C. for 0.5 to 100 hours. In order to simplify the manufacturing process, it is preferable that the surface of the composite material is subjected to grinding or the like before nitriding the metal C exposed on the surface. Further, in order to improve the corrosion resistance of the entire composite material, an oxide film can be provided on the entire surface of the composite material. Examples of a method for forming the oxide film include a method of performing heat treatment at 300 to 1800 ° C. in the air, a coating method such as a sol-gel method, and a thermal spraying method.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。 実施例１ 平均粒径２３μｍの窒化アルミニウム１００重量部と、
黒鉛粉２０重量部とをイソプロパノール溶媒中に分散さ
せ、さらに、液状アクリル共重合物バインダを４重量部
（固形分換算）添加して、大型ポットミルで４時間攪拌
混合させた後に乾燥し、均一な混合粉を得た。この混合
粉を所定の金型に充填し、油圧プレスを用いて２００ｋ
ｇｆ／ｃｍ2の圧力で一軸加圧成形し、φ１００×２０
ｔｍｍのプリフォームを製造した。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments. Example 1 100 parts by weight of aluminum nitride having an average particle size of 23 μm;
20 parts by weight of graphite powder were dispersed in an isopropanol solvent, and 4 parts by weight (in terms of solid content) of a liquid acrylic copolymer binder were added, and the mixture was stirred and mixed for 4 hours in a large pot mill, and then dried. A mixed powder was obtained. This mixed powder is filled in a predetermined mold, and 200 k
Uniform pressure molding at a pressure of gf / cm 2 , φ100 × 20
A tmm preform was manufactured.
【００２５】このプリフォームを、十分乾燥させた後、
純度９９．９％の金属Ｓｉビュレットの上面に設置し、
これらを大型るつぼの中に入れた。次いで、このるつぼ
を熱処理用大型加熱炉に設置し、アルゴン雰囲気内、１
torrの減圧下、１８００℃で３時間加熱処理を実施し、
溶融Ｓｉをプリフォームに含浸させた。炉を室温まで冷
却した後、前記加熱含浸処理をしたプリフォームを取り
出し、セラミックス金属複合材料を得た。After the preform is sufficiently dried,
Installed on top of 99.9% pure metal Si buret,
These were placed in a large crucible. Next, this crucible was placed in a large heat furnace for heat treatment, and was placed in an argon atmosphere.
Heat treatment at 1800 ° C for 3 hours under reduced pressure of torr,
The preform was impregnated with molten Si. After cooling the furnace to room temperature, the preform subjected to the heat impregnation treatment was taken out to obtain a ceramic metal composite material.
【００２６】この複合材料を切り出し、その内部につい
て、ＸＲＤにより相の同定を行ったところ、窒化アルミ
ニウム及び炭化ケイ素が主相であり、さらに、中量の金
属シリコンと、微量の炭素とが存在し、その存在比は、
ＸＲＤの回折ピークから概算したところ、窒化アルミニ
ウム：炭化ケイ素：金属シリコン：炭素＝５５：４０：
４：１体積％の比率で存在していることが判明した。ま
た、ＳＥＭによる観察により、前記複合材料は窒化アル
ミニウム、炭化ケイ素、金属シリコン、及び炭素が３次
元的に結合していることが分かった。さらに、この複合
材料の開気孔率は０％であった。When this composite material was cut out and its interior was identified by XRD, the main phases were aluminum nitride and silicon carbide, and a medium amount of metallic silicon and a trace amount of carbon were present. , Its abundance ratio is
Estimated from the XRD diffraction peak, aluminum nitride: silicon carbide: metallic silicon: carbon = 55: 40:
It was found to be present at a ratio of 4: 1% by volume. In addition, observation by SEM revealed that the composite material had aluminum nitride, silicon carbide, metallic silicon, and carbon bonded three-dimensionally. Further, the open porosity of this composite material was 0%.
【００２７】また、得られた複合材料の外観特性は、加
熱処理前後のプリフォームの大きさの変化及びクラック
の有無により評価した。また、複合材料の内部特性は、
切断面のボイド及びクラックの有無により評価した。得
られた複合材料の機械的強度は、４点曲げ試験法によっ
て評価するとともに、耐熱性については、６００℃にお
ける４点曲げ試験法、及び耐クリープ特性を評価するこ
とによって行った。The appearance characteristics of the obtained composite material were evaluated based on the change in the size of the preform before and after the heat treatment and the presence or absence of cracks. The internal properties of the composite material are
Evaluation was made based on the presence or absence of voids and cracks in the cut surface. The mechanical strength of the obtained composite material was evaluated by a four-point bending test method, and the heat resistance was evaluated by evaluating the four-point bending test method at 600 ° C. and the creep resistance.
【００２８】なお、４点曲げ試験法は、得られた複合材
料から４×３×４０ｍｍの試験片を切り出すことにより
実施した。また、耐クリープ特性は、得られた複合材料
から８５×１０×５ｍｍの試験片を切り出し、６００℃
のアルゴン雰囲気下において、この試験片の両端を８０
ｍｍの間隔で支持するとともに、中央部に下向き２００
ｋｇｆ／ｃｍ2 の応力を印加し、１００時間保持した後
の中央部変形量を測定することによって実施した。結果
を表１に示す。The four-point bending test was performed by cutting a 4 × 3 × 40 mm test piece from the obtained composite material. The creep resistance was determined by cutting a test piece of 85 × 10 × 5 mm from the obtained composite material,
Under argon atmosphere, the ends of the test piece were
mm at a distance of 200 mm, and
The measurement was performed by applying a stress of kgf / cm 2 and measuring the amount of deformation at the center after holding for 100 hours. Table 1 shows the results.
【００２９】実施例２ 前記窒化アルミニウムの代わりに平均粒径７５μｍの窒
化チタン１００重量部、前記黒鉛粉の代わりにカーボン
ブラック粉（＃３０５０）２５重量部を使用した以外
は、実施例１と同様にして、φ１００×２０ｔｍｍのプ
リフォームを得た。このプリフォームを十分乾燥させた
後、純度９９％の金属Ｔｉビュレットの上面に設置し、
これらを大型るつぼの中に入れた。次いで、このるつぼ
を熱処理用大型加熱炉に設置し、アルゴン雰囲気中、１
Torrの減圧下、２０００℃で３時間加熱処理を実施し、
溶融Ｔｉをプリフォームに含浸させた。炉を室温まで冷
却した後、前記加熱含浸処理をしたプリフォームを取り
出し、セラミックス金属複合材料を得た。Example 2 The same as Example 1 except that 100 parts by weight of titanium nitride having an average particle size of 75 μm was used instead of the aluminum nitride, and 25 parts by weight of carbon black powder (# 3050) was used instead of the graphite powder. To obtain a preform of φ100 × 20 tmm. After sufficiently drying the preform, it is placed on the upper surface of a 99% pure metal Ti buret,
These were placed in a large crucible. Next, this crucible was set in a large heat furnace for heat treatment,
Heat treatment at 2,000 ° C for 3 hours under reduced pressure of Torr,
The preform was impregnated with molten Ti. After cooling the furnace to room temperature, the preform subjected to the heat impregnation treatment was taken out to obtain a ceramic metal composite material.
【００３０】この複合材料を切り出し、その内部につい
て、ＸＲＤにより相の同定を行ったところ、窒化チタン
及び炭化チタンが主相であり、さらに、中量の金属チタ
ンと微量の炭素とが存在し、その存在比は、（窒化チタ
ン＋炭化チタン）：金属チタン：炭素＝８５：１３：２
体積％であることが判明した。また、ＳＥＭ観察の結
果、前記複合材料は窒化チタン、炭化チタン、金属チタ
ン、及び炭素が３次元的に結合していることが分かっ
た。さらに、この複合材料の開気孔率は１．５％であっ
た。When this composite material was cut out and the phases thereof were identified by XRD, titanium nitride and titanium carbide were the main phases, and a medium amount of metallic titanium and a trace amount of carbon were present. The abundance ratio is (titanium nitride + titanium carbide): metal titanium: carbon = 85: 13: 2
% By volume. Further, as a result of SEM observation, it was found that in the composite material, titanium nitride, titanium carbide, metal titanium, and carbon were three-dimensionally bonded. Further, the open porosity of this composite material was 1.5%.
【００３１】なお、上記ＸＲＤ回折においては、窒化チ
タンからの回折ピークと炭化チタンからの回折ピークと
は非常に近接していて、明確に区別できないため、両者
の合計についての存在比を示した。得られた複合材料の
外観特性、内部特性、機械的強度、及び耐熱性は、実施
例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。In the XRD diffraction, the diffraction peak from titanium nitride and the diffraction peak from titanium carbide were very close to each other and could not be clearly distinguished. The appearance characteristics, internal characteristics, mechanical strength, and heat resistance of the obtained composite material were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.
【００３２】実施例３ 前記窒化アルミニウムの代わりに平均粒径１１１μｍの
アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3）１００重量部を用い、前記黒鉛
粉の含有量を２０重量部から３０重量部に変化させた以
外は、実施例１と同様にして、φ１００×２０ｔｍｍの
プリフォームを得た。このプリフォームを十分乾燥させ
た後、実施例１と同様にして、シリコンを前記プリフォ
ームに含浸させ、セラミックス／金属複合材料を製造し
た。Example 3 In place of aluminum nitride, 100 parts by weight of alumina (Al 2 O 3 ) having an average particle diameter of 111 μm was used, and the content of the graphite powder was changed from 20 parts by weight to 30 parts by weight. In the same manner as in Example 1, a preform of φ100 × 20 tmm was obtained. After sufficiently drying the preform, the preform was impregnated with silicon in the same manner as in Example 1 to produce a ceramic / metal composite material.
【００３３】この複合材料を切り出し、その内部につい
て、ＸＲＤにより相の同定を行ったところ、アルミナ及
び炭化ケイ素が主相であり、さらに、中量の金属シリコ
ンが存在し、その存在比は、アルミナ：炭化ケイ素：金
属シリコン＝７０：２０：１０体積％であることが判明
した。さらに、（ＥＰＭＡとＥＤＳ／ＳＥＭ）によって
組成分析を行ったところ、０．１体積％の炭素が存在し
ていることが判明した。When this composite material was cut out and its interior was identified by XRD, the main phase was alumina and silicon carbide, and a medium amount of metallic silicon was present. : Silicon carbide: metal silicon = 70: 20: 10% by volume. Further, composition analysis by (EPMA and EDS / SEM) revealed that 0.1% by volume of carbon was present.
【００３４】また、ＳＥＭ観察の結果、前記複合材料は
アルミナ、炭化ケイ素、金属シリコン、及び炭素が３次
元的に結合していることが分かった。また、この複合材
料の開気孔率は０％であった。得られた複合材料の外観
特性、内部特性、機械的強度、及び耐熱性は、実施例１
と同様にして評価した。結果を表１に示す。As a result of SEM observation, it was found that alumina, silicon carbide, metallic silicon, and carbon were three-dimensionally bonded in the composite material. The open porosity of this composite material was 0%. The appearance characteristics, internal characteristics, mechanical strength, and heat resistance of the obtained composite material were as shown in Example 1.
The evaluation was performed in the same manner as described above. Table 1 shows the results.
【００３５】[0035]
【表１】 [Table 1]
【００３６】表１から明らかなように、本発明の方法に
したがって製造した複合材料は、クラックやボイドの発
生がなく、優れた外観特性及び内部特性を有することが
分かる。さらに、外観特性において、含浸プロセスを用
いた場合、大きさの変化が全く見られないことから、本
発明の製造方法によれば、ニアネットシェイプに複合材
料を製造できることが分かる。また、４点曲げ強度につ
いても高い値を示し、優れた機械的強度を示すことが分
かる。さらに、耐熱性についても、炭化物を含有してい
る本発明の複合材料は、４点曲げ強度及び耐クリープ特
性ともに優れた値を示し、高い耐熱性を有することが分
かる。As is clear from Table 1, the composite material produced according to the method of the present invention has no cracks or voids and has excellent appearance characteristics and internal characteristics. Furthermore, in the appearance characteristics, when the impregnation process is used, no change in size is observed at all, which indicates that the composite material can be manufactured in a near net shape according to the manufacturing method of the present invention. In addition, the four-point bending strength also shows a high value, indicating that it has excellent mechanical strength. Further, as for the heat resistance, the composite material of the present invention containing a carbide shows excellent values in both the four-point bending strength and the creep resistance, indicating that it has high heat resistance.
【００３７】実施例４ 図１−図３に示すようなヒーターを作成した。図１は、
一実施形態に係るサセプター１を概略的に示す縦断面図
であり、図２は、発熱素子の平面的な埋設パターンの例
を示す模式的平面図であり、図３は図１のサセプターの
一部拡大断面図である。Example 4 A heater as shown in FIGS. 1 to 3 was prepared. FIG.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing a susceptor 1 according to one embodiment, FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of a planar buried pattern of a heating element, and FIG. It is a part enlarged sectional view.
【００３８】サセプター１は、面状伝熱層、熱遮蔽部、
背面板５および支持管６からなる。面状伝熱層において
は、平板形状の基体２の加熱面２ａ上に、被加熱物が設
置される。基体２中には、図２に示す平面的パターンの
発熱素子１６が埋設されている。基体２の背面２ｂが背
面板５の主面５ａに対して接合層４によって接合されて
おり、基体２の背面２ｂと背面板５の主面５ａとの間に
は空隙１０が設けられている。背面２ｂ側には、図３に
示す溝２１が形成されており、溝２１は空隙１０に向か
って開いている。背面板５の主面５ａに断熱材２０を介
して発熱素子１６が設置されている。これによって、サ
セプターの使用中に、発熱素子１６が背面板５に直接に
接触することはなく、これによる加熱面の温度の均一性
の悪化を防止できる。接合層４はろう材等からなるが、
図２に一点鎖線で示すような平面的パターンで設けられ
ている。The susceptor 1 includes a planar heat transfer layer, a heat shield,
It comprises a back plate 5 and a support tube 6. In the planar heat transfer layer, an object to be heated is placed on the heating surface 2 a of the flat substrate 2. A heating element 16 having a planar pattern shown in FIG. 2 is embedded in the base 2. The back surface 2b of the base 2 is joined to the main surface 5a of the back plate 5 by the bonding layer 4, and a gap 10 is provided between the back surface 2b of the base 2 and the main surface 5a of the back plate 5. . A groove 21 shown in FIG. 3 is formed on the back surface 2 b side, and the groove 21 is open toward the gap 10. The heating element 16 is provided on the main surface 5 a of the back plate 5 via a heat insulating material 20. As a result, during use of the susceptor, the heating element 16 does not come into direct contact with the back plate 5, and it is possible to prevent deterioration of the uniformity of the temperature of the heating surface due to this. The joining layer 4 is made of brazing material or the like,
It is provided in a planar pattern as shown by a dashed line in FIG.
【００３９】図２に示すように、発熱素子１６の両端に
端子１７Ａ、１７Ｂが接合されており、発熱素子１６の
全体は、図２において紙面に平行な上下に延びる直線に
対して、ほぼ線対称に配置されている。互いに直径の異
なる複数の同心円状部分１６ａが、線対称をなすように
配置され、同心円の直径方向に隣り合う各同心円状部分
１６ａが、それぞれ連結部分１６ｄによって連絡してい
る。最外周の連結部分１６ｂが、ほぼ１周する円形部分
１６ｃに連結されている。一対の端子１７Ａと１７Ｂと
は、巻回体１６によって直列に接続される。As shown in FIG. 2, terminals 17A and 17B are joined to both ends of the heating element 16, and the entire heating element 16 is substantially lined with respect to a straight line extending vertically in FIG. They are arranged symmetrically. A plurality of concentric portions 16a having different diameters from each other are arranged so as to be symmetrical with each other, and concentric portions 16a adjacent to each other in the diametrical direction of the concentric circles are connected by a connecting portion 16d. The outermost connecting portion 16b is connected to a circular portion 16c that makes substantially one round. The pair of terminals 17A and 17B are connected in series by a winding body 16.
【００４０】支持管６は、本体部分６ｃと、この両端に
設けられているフランジ部６ａ、６ｄと、フランジ部６
ａと本体６ｃとの間に設けられている拡張部６ｂとを備
えている。支持管６のフランジ部６ａが、好ましくは図
示しない接合層によって、背面板５の下面５ｂに対して
接合されている。支持管６の空間７は、図示しない背面
板および基体の空隙と連通しており、これらの中に、図
示しない発熱素子用の電力供給ケーブルや、必要に応じ
て熱電対等の他の電気配線が挿入されている。The support tube 6 includes a main body portion 6c, flange portions 6a and 6d provided at both ends thereof, and a flange portion 6c.
a and an extension 6b provided between the main body 6c and the main body 6c. The flange portion 6a of the support tube 6 is joined to the lower surface 5b of the back plate 5, preferably by a joining layer (not shown). The space 7 of the support tube 6 communicates with a gap between the back plate and the base (not shown), in which a power supply cable for a heating element (not shown) and other electric wiring such as a thermocouple as necessary. Has been inserted.
【００４１】実施例１と同様の原料を同様に攪拌、混合
し、スプレードライ法によって造粒、乾燥し、粒径２０
０μｍの造粒粉末を得た。造粒粉末を金型内に充填し、
２００ｋｇｆ／ｃｍ２で一軸加圧成形し、直径３８０ｍ
ｍ、厚さ３０ｍｍの円盤形状のプリフォームを得た。こ
のプリフォームに、実施例１と同様にしてシリコンを含
浸させた。含浸温度は１６００℃とした。プリフォーム
の表面を研削加工し、直径３７０ｍｍ、厚さ２０ｍｍの
複合材料を得た。複合材料の各相の構成、各種特性は実
施例１とほぼ同様であった。ＡｌＮ：ＳｉＣ：Ｓｉ：Ｃ
＝５５：４０：４：１であり、開気孔率は０％であり、
４点曲げ強度は３９０MPa であり、600 ℃における４点
曲げ強度は３８０MPa であり、耐クリープ性は０．００
５ｍｍであった。これを図１−図３に示す形態の基体と
した。基体の背面側には、幅１３ｍｍ、最大深さ１５ｍ
ｍの溝２１を形成した。The same raw materials as in Example 1 were similarly stirred and mixed, granulated and dried by a spray drying method,
A granulated powder of 0 μm was obtained. Fill the mold with the granulated powder,
Uniaxial pressure molding at 200kgf / cm2, diameter 380m
m, a disc-shaped preform having a thickness of 30 mm was obtained. This preform was impregnated with silicon in the same manner as in Example 1. The impregnation temperature was 1600 ° C. The surface of the preform was ground to obtain a composite material having a diameter of 370 mm and a thickness of 20 mm. The composition and various characteristics of each phase of the composite material were almost the same as in Example 1. AlN: SiC: Si: C
= 55: 40: 4: 1, the open porosity is 0%,
The four-point bending strength is 390 MPa, the four-point bending strength at 600 ° C. is 380 MPa, and the creep resistance is 0.00.
5 mm. This was used as a substrate having the form shown in FIGS. On the back side of the substrate, width 13 mm, maximum depth 15 m
m grooves 21 were formed.
【００４２】上記の方法によって、直径３７０ｍｍ、厚
さ１０ｍｍの前記複合材料からなる背面体と、前記の支
持管とを作製した。支持管の本体６ｃの肉厚は２．５−
３．５ｍｍとし、外形は３５ｍｍとし、上側フランジ部
の外形は５０ｍｍとし、厚さは４ｍｍとし、下側フラン
ジ部の外形は５０ｍｍとし、厚さは８ｍｍとした。By the above-mentioned method, a back body made of the composite material having a diameter of 370 mm and a thickness of 10 mm and the support tube were produced. The thickness of the main body 6c of the support tube is 2.5-
The outer shape was 3.5 mm, the outer shape was 35 mm, the outer shape of the upper flange portion was 50 mm, the thickness was 4 mm, the outer shape of the lower flange portion was 50 mm, and the thickness was 8 mm.
【００４３】ステンレス鋼製のパイプで覆われたシース
ヒーターの中に酸化マグネシウム粒子を充填し、酸化マ
グネシウム粒子の中にニッケル−クロム合金線を挿入
し、発熱素子として使用した。発熱素子を基体の溝の中
に埋め込み、アルミナ製の断熱材２０の上に設置した。Magnesium oxide particles were filled in a sheath heater covered with a stainless steel pipe, and a nickel-chromium alloy wire was inserted into the magnesium oxide particles to be used as a heating element. The heating element was buried in the groove of the base and placed on the heat insulating material 20 made of alumina.
【００４４】発熱素子を組み込んだ基体２と背面板５と
を、市販のアルミニウムロウを用いて真空中でろう付け
した。ろう付け部分の平面的パターンは図２に示す。ろ
う付け前に、予め基体の背面と背面板の主面とにニッケ
ルメッキを形成した。次いで支持管６を、背面板に対し
て、前記のようにろう付けした。このヒーターは、機械
的強度、耐熱性に優れており、かつ大型のものを容易に
製造できるために、半導体製造装置用ヒーターや液晶デ
ィスプレイ製造装置用のヒーターとして特に好適であっ
た。The base 2 incorporating the heating element and the back plate 5 were brazed in a vacuum using a commercially available aluminum braze. The planar pattern of the brazed part is shown in FIG. Prior to brazing, nickel plating was previously formed on the back surface of the base and the main surface of the back plate. Next, the support tube 6 was brazed to the back plate as described above. This heater is particularly suitable as a heater for a semiconductor manufacturing apparatus or a heater for a liquid crystal display manufacturing apparatus because it has excellent mechanical strength and heat resistance and can be easily manufactured in a large size.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上から明らかなように、本発明の製造
方法によれば、クラックやボイドなどが発生せず、外観
特性及び内部特性に優れるとともに、炭化物を含む２種
類の粒子、金属、及び炭素が３次元的に結合することに
よって、機械的強度及び耐熱性に優れた複合材料を提供
することができる。As is apparent from the above, according to the production method of the present invention, cracks and voids do not occur, the appearance and internal properties are excellent, and two kinds of particles containing carbide, metal, and By combining carbon three-dimensionally, a composite material having excellent mechanical strength and heat resistance can be provided.
【図１】本発明の複合材料を適用するのに好適なサセプ
ター１を模式的に示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing a susceptor 1 suitable for applying the composite material of the present invention.
【図２】発熱素子の平面的なパターンの例を示す模式的
平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of a planar pattern of a heating element.
【図３】溝２１および発熱素子１６の埋設状態を示す一
部拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view showing a buried state of a groove 21 and a heating element 16;
１ サセプター ２ 基体 ４ 接合層
５ 背面板 ６ 支持管 １６ 発熱素子
２０ 断熱材 ２１ 溝REFERENCE SIGNS LIST 1 susceptor 2 base 4 bonding layer
5 Back plate 6 Support tube 16 Heating element
20 Insulation material 21 Groove
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 玄章 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 (72)発明者 川崎 真司 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 Ｆターム(参考） 4G001 BA03 BA25 BA36 BA38 BA60 BA61 BA62 BB03 BB21 BB22 BB25 BB36 BB38 BB43 BB60 BB61 BB62 BC17 BC22 BC33 BC54 BD07 BD13 BD21 BE33 4G030 AA36 AA44 AA47 AA49 AA51 AA60 AA61 BA01 BA20 BA25 GA04 GA14 GA16 GA22 GA24 GA35 GA36 PA21 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Gensho Ohashi 2-56 Sudacho, Mizuho-ku, Nagoya, Aichi Prefecture Inside Nihon Insulators Co., Ltd. (72) Inventor Shinji Kawasaki 2nd Sudacho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi No. 56 F-term in Nihon Insulators Co., Ltd. (Reference) 4G001 BA03 BA25 BA36 BA38 BA60 BA61 BA62 BB03 BB21 BB22 BB25 BB36 BB38 BB43 BB60 BB61 BB62 BC17 BC22 BC33 BC54 BD07 BD13 BD21 BE33 4G030 AA36 AA44 AA51 AA51 BA21A GA04 GA14 GA16 GA22 GA24 GA35 GA36 PA21
Claims (16)
粒子Ａと異なる炭化物粒子Ｂと、この炭化物粒子Ｂの構
成元素である金属Ｃと、炭素Ｄとが、互いに３次元的に
結合してなることを特徴とする複合材料。A ceramic particle A, a carbide particle B different from the ceramic particle A, a metal C as a constituent element of the carbide particle B, and a carbon D are three-dimensionally bonded to each other. Characteristic composite material.
子Ｂは、互いに他方の粒子の少なくとも一部を固溶する
ことを特徴とする、請求項１に記載の複合材料。2. The composite material according to claim 1, wherein said ceramic particles A and said carbide particles B form a solid solution of at least a part of the other particles.
０．１〜５０体積％であることを特徴とする、請求項１
又は２に記載の複合材料。3. The content of the metal C in the composite material is as follows:
2. The composition according to claim 1, wherein the content is 0.1 to 50% by volume.
Or the composite material according to 2.
あることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記
載の複合材料。4. The composite material according to claim 1, wherein said composite material has an open porosity of 10% or less.
ることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載
の複合材料。5. The composite material according to claim 1, wherein said ceramic particles A are made of a nitride.
ウムからなることを特徴とする、請求項５に記載の複合
材料。6. The composite material according to claim 5, wherein said ceramic particles A are made of aluminum nitride.
前記金属Ｃはシリコン又はシリコン合金であることを特
徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の複合材
料。7. The carbide particles B are made of silicon carbide,
The composite material according to claim 1, wherein the metal C is silicon or a silicon alloy.
り、前記金属Ｃはアルミニウム又はアルミニウム合金で
あることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記
載の複合材料。8. The composite material according to claim 1, wherein said carbide B is made of aluminum carbide, and said metal C is aluminum or an aluminum alloy.
含む化合物とを混合して混合体を形成する工程と、 前記混合体を成形してプリフォームを形成する工程と、 前記プリフォームに金属Ｃを含浸させ、前記金属Ｃと前
記炭素Ｄとを反応させて、金属Ｃを構成成分とする炭化
物粒子Ｂを生成する工程と、を含んでなることを特徴と
する、複合材料の製造方法。9. A step of mixing ceramic particles A with carbon D or a compound containing carbon D to form a mixture; a step of forming the mixture to form a preform; C. impregnating C and reacting the metal C with the carbon D to generate carbide particles B containing the metal C as a component. A method for producing a composite material, comprising:
なることを特徴とする、請求項９記載の複合材料の製造
方法。10. The method according to claim 9, wherein said ceramic particles A are made of nitride.
ニウムからなることを特徴とする、請求項１０に記載の
複合材料の製造方法。11. The method according to claim 10, wherein said ceramic particles A are made of aluminum nitride.
金であることを特徴とする、請求項９〜１１のいずれか
一に記載の複合材料の製造方法。12. The method for producing a composite material according to claim 9, wherein said metal C is silicon or a silicon alloy.
ニウム合金であることを特徴とする、請求項９〜１１の
いずれか一に記載の複合材料の製造方法。13. The method for producing a composite material according to claim 9, wherein said metal C is aluminum or an aluminum alloy.
材料から構成されることを特徴とする、半導体製造装置
用部材。14. A member for a semiconductor manufacturing apparatus, comprising a composite material according to any one of claims 1 to 8.
材料から構成されることを特徴とする、液晶ディスプレ
イ製造装置用部材。15. A member for a liquid crystal display manufacturing apparatus, comprising a composite material according to claim 1. Description:
材料中に、発熱体を埋設してなることを特徴とするヒー
タ。16. A heater comprising a heating element embedded in the composite material according to claim 1. Description:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10174616A JP2000007423A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Composite material and its production |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10174616A JP2000007423A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Composite material and its production |
Publications (1)
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|---|---|
| JP2000007423A true JP2000007423A (en) | 2000-01-11 |
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|---|---|---|---|
| JP10174616A Withdrawn JP2000007423A (en) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | Composite material and its production |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000007423A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7423085B2 (en) | 2004-02-06 | 2008-09-09 | Nissan Kogyo Co., Ltd. | Carbon black composite material and method of producing the same, and composite elastomer |
| WO2022075288A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Ａｇｃ株式会社 | Sisic member and heating device |
| WO2022075290A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Ａｇｃ株式会社 | Sisic member, heating appliance, and method for producing sisic member |
-
1998
- 1998-06-22 JP JP10174616A patent/JP2000007423A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7423085B2 (en) | 2004-02-06 | 2008-09-09 | Nissan Kogyo Co., Ltd. | Carbon black composite material and method of producing the same, and composite elastomer |
| WO2022075288A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Ａｇｃ株式会社 | Sisic member and heating device |
| WO2022075290A1 (en) * | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Ａｇｃ株式会社 | Sisic member, heating appliance, and method for producing sisic member |
| CN116349406A (en) * | 2020-10-09 | 2023-06-27 | Ａｇｃ株式会社 | SiSiC component and heating appliance |
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