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IT20368/88A1988-04-291988-04-29Procedimento di fabricazione di linee submicrometriche per circuiti operanti nel campo delle onde millimetriche
IT1217228B
(it)
Procedimento per la realizzazione di strutture di calibrazione particolarmente per la taratura di macchine di misura del disallineamento in circuiti integrati in genere.