HUP0103248A2 - Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezés - Google Patents
Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezésInfo
- Publication number
- HUP0103248A2 HUP0103248A2 HU0103248A HUP0103248A HUP0103248A2 HU P0103248 A2 HUP0103248 A2 HU P0103248A2 HU 0103248 A HU0103248 A HU 0103248A HU P0103248 A HUP0103248 A HU P0103248A HU P0103248 A2 HUP0103248 A2 HU P0103248A2
- Authority
- HU
- Hungary
- Prior art keywords
- divergent
- light
- sample
- test
- passed
- Prior art date
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title abstract 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title abstract 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 abstract 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
A találmány tárgya egy optikai vizsgálóberendezés, amely divergens,polarizált vagy polarizálatlan, fehér vagy monokromatikus fényűmegvilágítást alkalmaz anyagok nagyfelületű, roncsolásmentes, gyors,egyszerű minősítő vizsgálatára. A találmányt az jellemzi, hogy aszokásos párhuzamos vagy fókuszált nyalábok helyett, pontszerű, valósvagy virtuális fényforrásból származó divergens fényt használ avizsgálandó minta megvilágítására s az így nyert képet (opcionálisanspektrális bontó, pl. prizma vagy rács után) pozícióérzékenyfotodetektoron rögzíti. A találmány egy lehetséges egyszerű kivitelialakjánál a pontforrás (1) szolgáltatja a divergens fényt (2), mely apolarizátoron (3) keresztül esik a mintára (4). A mintárólvisszaverődött divergens fény (2) az analizátoron (5) áthaladva éri ela pozicióérzékeny fotodetektor rendszert (6), ami ez esetben pl. egyCCD mátrix. A minta (4) a saját síkjában legalább egy vonal menténmozgatható, ezzel biztosítva, hogy a minta minden pontja - legalábbisegy egyenes mentén - legalább egyszer feltétlen olyan pozícióba kerül,hogy a pont a divergens nyaláb szögtartományának minden szögértékévelmeg lesz világítva. Ó
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| HU0103248A HUP0103248A2 (hu) | 2001-08-09 | 2001-08-09 | Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezés |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| HU0103248A HUP0103248A2 (hu) | 2001-08-09 | 2001-08-09 | Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezés |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| HU0103248D0 HU0103248D0 (en) | 2001-10-28 |
| HUP0103248A2 true HUP0103248A2 (hu) | 2003-06-28 |
Family
ID=89979608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| HU0103248A HUP0103248A2 (hu) | 2001-08-09 | 2001-08-09 | Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezés |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| HU (1) | HUP0103248A2 (hu) |
-
2001
- 2001-08-09 HU HU0103248A patent/HUP0103248A2/hu unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| HU0103248D0 (en) | 2001-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE160015T1 (de) | Anordnung und verfahren zur optischen untersuchung von gegenständen | |
| RU2007115154A (ru) | Оптическое измерительное устройство для измерения характеристик нескольких поверхностей объекта измерения | |
| US7724362B1 (en) | Oblique incidence macro wafer inspection | |
| KR960039255A (ko) | 이물검사장치 | |
| JP2016535288A5 (hu) | ||
| CN112236666A (zh) | 瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法 | |
| WO2008083658A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur untersuchung eines gegenstandes | |
| KR930010527A (ko) | 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치 | |
| HU229699B1 (en) | Imaging optical checking device with pinhole camera (reflectometer, polarimeter, ellipsicmeter) | |
| JP2004101194A (ja) | 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 | |
| JP2002510808A (ja) | フーリエスペクトル解析を用いる走査型スポット顕微鏡及びフーリエスペクトル解析の方法 | |
| US20030156278A1 (en) | Refractometer | |
| JP2004271381A (ja) | スペックル干渉計装置 | |
| EP1239260A3 (en) | Film thickness measuring apparatus | |
| JPH07323013A (ja) | 皮膚表面観察装置 | |
| JPH0835928A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH07323014A (ja) | 皮膚表面観察装置 | |
| JP2009511941A (ja) | 顕微鏡用の暗視野対物レンズ | |
| JPH08145888A (ja) | 蛍光測色装置 | |
| HUP0103248A2 (hu) | Divergens megvilágítással működő képalkotó optikai vizsgálóberendezés | |
| RU2003132476A (ru) | Способ и устройство для оценки поверхности | |
| JPH10281876A (ja) | 偏光性イメージング装置 | |
| ATE491165T1 (de) | Optische anordnung zur beobachtung einer probe oder eines objekts | |
| TR200402066T4 (tr) | Kırılma elemanına sahip olan gerçeklik özelliklerinin değerlendirilmesi için cihaz | |
| DE69022243D1 (de) | Optisches phasenmessabtastmikroskop. |