HU176024B - Method for producing perforated metal foil - Google Patents

Method for producing perforated metal foil Download PDF

Info

Publication number
HU176024B
HU176024B HU77SCHA180A HUSC000180A HU176024B HU 176024 B HU176024 B HU 176024B HU 77SCHA180 A HU77SCHA180 A HU 77SCHA180A HU SC000180 A HUSC000180 A HU SC000180A HU 176024 B HU176024 B HU 176024B
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
layer
photosensitive layer
portions
swelling
moisture
Prior art date
Application number
HU77SCHA180A
Other languages
English (en)
Inventor
Siegfried Rueckl
Original Assignee
Kufstein Schablonentech Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kufstein Schablonentech Gmbh filed Critical Kufstein Schablonentech Gmbh
Publication of HU176024B publication Critical patent/HU176024B/hu

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/12Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

A találmány tárgya eljárás perforációs mintával ellátott fémfólia, előnyösen rotációs sablonnyomásra alkalmas sablon előállítására, amelynél a perforációs mintát fémfelületen, vagy esetleg fémfelületre felvitt alsó rétegen kialakított fényérzékeny rétegre visszük fel, a fényérzékeny réteget megvilágítjuk és előhívjuk, majd a fóliát galvanikusan felépítjük.
A perforációs mintával ellátott fémfóliát a rotációs sablonnyomáshoz szitanyomó sablonként használják fel. Az ilyenfajta síitanyomó sablonokat leggyakrabban úgy állítják elő, hogy fémhengerre fényérzékeny lakkréteget visznek fel, majd a lakkréteg szárítása után olyan filmet helyeznek fel, amely a kívánt mintát raszteresen tartalmazza. Ezt követően a filmet megvilágítják. A fény hatására a fényérzékeny réteg megvilágított helyein kémiai elváltozások játszódnak le, a képet előhívják, ennek következtében a fémhenger fémfelülete helyenként szabaddá válik. Ezután a szabad helyekre galvanizáló eljárással vékony nikkelréteget visznek fel, így a : fémhenger és a maradék fényérzékeny réteg eltávolítása után perforációs mintával ellátott fémfólia jön létre. Ezen eljárás hátránya, hogy a szitanyomó sablon nyílásai kisebbek, mint a filmen levő mintapontok. Ennek az az oka, hogy a galvanizálás ! folyamatában a fém nemcsak a nyílásokra merőlegesen választódik ki, hanem a nyílások kerülete mentén befelé is növekszik. Megállapították, hogy a benövés mértéke körülbelül a sablon vastagságának felel meg, vagyis minél vékonyabb a sablon, :
nfólia előállítására annál kisebb nyílások állíthatók elő. *A sablon vastagsága azonban nem csökkenthető tetszőleges mértékben, mivel a nyomáskor fellépő igénybevételek elviselése megkövetel egy minimális vastagságot, 5 ezek hatására a sablon nem mehet tönkre. Ha a sablon nyílásain például festékanyagot préselnek át, akkor a nyílásokat és a közöttük levő kapcsolatot létrehozó anyagnak ezt a nyomást ki kell bírni.
Célunk, hogy találmány szerinti megoldásunkban 0 olyan eljárást hozzunk létre, amellyel a sablon előállítását megkönnyítjük, és az említett hátrányokat kiküszöböljük.
Célunkat olyan, perforációs mintával ellátott fémfólia, előnyösen rotációs sablonnyomáshoz hasz· 5 nált sablon előállítására szolgáló eljárás kidolgozásával érjük el, amelyben fémfelületre, esetleg fémfelületre felvitt alsó rétegre fényérzékeny réteget hordunk fel, a fényérzékeny réteget raszteres mintával ellátott filmen át megvilágítjuk és a képet 0 előhívjuk, majd a fémfóliát galvanikus úton felépítjük és a fém felületről eltávolítjuk, a találmány szerint úgy, hogy - az esetleg duzzasztószert tartalmazó - fényérzékeny rétegben a réteg előhívása után visszamaradt vagy az alsó rétegben maradt 5 részeket nedvességet vagy oldószert leadó közeggel érintkezésbe hozzuk és/vagy felmelegítjük, illetve az előhívott réteget újból megvilágítjuk és így a rétegvastagságot többszörösére duzzasztjuk, továbbá a fóliafémet galvanikusan a duzzasztás alatt vagy 0 után választjuk le.
Az alsó réteg kialakítható többféle módon, például úgy, hogy a fémfelületre oldószer, esetleg vizet tartalmazó oldószer rétegét visszük fel. Nedvességleadó alsó réteg más anyagból is kialakítható, például zselatinból, amely a fényérzékeny réteg 5 duzzasztásához igen megfelelő.
A kész sablonnak a fémrétegről való eltávcáítására több módszer is ismeretes. Egyik lehetőség például a sablon felvágása a hengerszerű fémfelületen az egyik alkotó mentén, egy további lehetőség 10 pedig a fémfelületen olyan vonal kialakítása, ahol a galvanikus lerakódás nem zajlik le és ekkor a kész sablon egyszerűen lehúzható.
A találmány szerinti eljárással elérhető, hogy a film mintapontjaival közel azonos átmérőjű nyíláso- 15 kát állítsunk elő, vagyis a gplvanikus lerakódás során a perforáció nem nő be, aminek következtében vastagabb szitanyomó sablonokat készíthetünk, ami a nyomtatásnál előnyös. További előnye az eljárásnak, hogy finomabb raszter vihető fel, tehát 20 a nyomtatandó minta jobb feloldással alakítható ki a szitanyomé sablonon.
A sablonok féltónusú képek nyomtatására is alkalmazhatók, mivel a sablonokkal elérhető festékék lényegesen nagyobb- Az ily módon előállított szita- 25 nyomó sablonok penetrációs problémáktól mentesek. A sablonok nyílásain sok festék juthat keresztül, ezért előnyösen szőnyegnyomásokhoz is felhasználhatók, egyúttal az alkalmazott raszter finomsága sokszorosára növelhető. A szitanyomó 30 sablonok falvastagságának növelése különösen a szőnyegnyomásnál nagy jelentőségű. A galvanizáláshoz alkalmazott áramerősség az eddigi áramerősség felére vagy negyedére csökkenthető, mivel az űrkitöltők nagyon vékonyak lehetnek. 35
A találmány szerinti eljárásunk elvileg pozitív és negatív képet szolgáltató fényérzékeny réteggel egyaránt megvalósítható. Legtöbbször azonban pozitív képet adó rétegeket használunk fel, például gyantába ágyazott benzol-diazónium vegyületeket, vagy 49 ortokinon-diazo-vegyületeket. A fényérzékeny réteg vastagsága általában 0,006 mm nagyságrendű, de megválasztható előnyösen 0,002—0,2 mm értékek között bárhol.
A következő táblázatok példaként! adataiból látható, hogy a találmány szerinti eljárás különböző raszterek esetén a duzzasztás nélküli eljárásokkal összehasonlítva jobb festékáteresztő képességet és nagyobb lyukátmérőt biztosít. A sablonok előállítására mindhárom esetben ugyanazt az ismert, vala- 50 mint ugyanazt a találmány szerinti eljárást alkalmaztuk. Egy-egy vizsgálathoz ugyanazt a raszteres negatív filmet használtuk.
Amennyiben nincs külön feltüntetve, a méretek milliméterben értendők. 55
I. táblázat
ismert új eljárás
raszter 32 32 60
osztás 00125 0,3125
lyukátmérő 0,09 0,20 65
I. táblázat folytatása
ismert új eljárás
űrtöltők szélessége 0,22 0,112
falvastagság 0,06 0,06
festékáteresztő képesség 6,56% 41,08%
II. táblázat
ismert új eljárás
raszter 40 40
osztás 0,25 0,25
lyukátmérő 0,07 0,18
űrtöltők szélessége 0,18 0,07
fal vas tagság 0,08 0,16
festékáteresztő képesség 7,8% 51,8%
III. táblázat
ismert új eljárás
raszter 16 16
osztás 0,625 0,625
ly uká tmérő 0,34 0,50
' ; töltők szélessége 0,28 0,125
il vas tagság 0,13 0,18
festékáteresztő képesség 30% 64%
A találmány szerinti eljárást a következőkben
he: .atosítási példák alapján ismertetjük részletesen.
Sablon előállításához 2 m hosszú és 300 mm átmérőjű nikkelhengert alkalmazunk. A nikkelhenger átmérője a gyakorlatban 100-1000 mm, a hossza 500—6000 mm. A nikkelhengerre 0,002—0,2 mm, előnyösen 0,08 mm vastagságú fényérzékeny réteget viszünk fel. Fényérzékeny anyagként általában a sablon galvanikus előállításánál használt anyagot, például fényérzékeny műgyantát alkalmazunk. A fényérzékeny réteget mátrixon keresztül világítjuk meg. Ez a mátrix hexagonális pontokból kialakított 2 mm-es rasztert hordoz. A fényérzékeny rétegre a réteg vastagságának megfelelően 0,08 mm-es távolságú hexagonális rasztert vetítünk. Az egyes pontok átmérője körülbelül 0,04 mm. Két nyílás között a távolság általában 0,4-0,7-szerese a rasztertávolságnak és a fényérzékeny réteg vastagságának.
A hengert 800 W-os fényerősséggel összesen kb. 5 percig világítjuk meg, eközben a hengert elforgatjuk és az egymás mellett fekvő kerületi vonalakon pontrasztert alakítunk ki.
A megvilágított fényérzékeny réteget ezután ismert módon, a fényérzékeny anyagtól függő eljárással előhívjuk. Az előhívást követően a megmaradó pontokat célszerűen nedvesség bevitelével, előnyösen 100%-os nedvesség mellett, vagyis tiszta vízben, esetleg vízgőzben a továbbiakban ismertetett példakénti lehetőségek egyike szerint duzzasztjuk, míg a pontok átmérője a nedvesség miatt meginduló buborékképződés hatására a kiindulásinak 7 ... 11-szeresére növekszik. A duzzasztás előtt a duzzasztandó részek porozitását előnyös megnövelni. A részek duzzasztását egyrészt a vegyi összetételtől, másrészt az elérni kívánt céltól függően végezzük. A továbbiakban néhány lehetséges duzzasztást módot ismertetünk.
Pozitív képet adó réteg létrehozható például finomra aprított fenil-hidrazint vagy finomra aprított karbamid és nátrium-nitrid keverékét tartalmazó anyagból. A megvilágítás után hagyományos módon előhívott fényérzékeny réteg megvilágított részei felbomlanak és vizes alkálioldattal, például 2 nátrium-hidroxid 0,8 ... 5%-os vizes oldatával lemoshatok. A karbamidot és nátrium-nitridet tartalmazó fényérzékeny réteg megmaradó részeit először egy órára 50 °C körüli hőmérsékletű térbe helyezzük a porozitás növelése céljából, majd ezután duzzasztás céljából telített vízgőz hatásának tesszük ki, előnyösen 50—60 °C hőmérséklet mellett. A gőzölés időtartama 5-7 perc. A fenil-hidrazinos réteg duzzasztásához elegendő a réteget 100%-os víztartalmú közeggel érintkezésbe hozni.
Negatív képet adó fényérzékeny réteg esetében vízgőz helyett oldószer gőzét alkalmazhatjuk duzzasztáshoz, de az oldószerbe való merítés is megfelelő megoldás lehet. Az oldószer a megvilágított helyeknek megfelelő területek anyagát hivatott eltávolítani. Oldószer gőzének alkalmazása pozitív képet adó rétegekhez is megfelelő. A gőzölés vagy bemerítés után ismert módon lehet fémet galvanizálás útján lerakni.
Másik lehetséges megoldás szerint a fényérzékeny réteget klímaszekrénybe helyezzük, amelyben 20—50 °C hőmérsékleten 80—90%-os relatív nedvességtartalmú levegő hatásának tesszük ki.
Az ismertetett módon elkészített és előhívott fényérzékeny réteg az előhívás után nedvességet tartalmazó réteggel vonható be. Előnyösen zselatin alkalmazható, amiből 1 mm körüli vastagságú réteget alakítunk ki. Ezt 2—6 óra, általában 3 óra elteltével vízzel lemossuk. Zselatin helyett más nedvességet tartalmazó és azt leadni képes anyagok is felhasználhatók. Jó eredményeket értünk el glicerinekkel, polivinil-alkoholokkal és polivinil-acetáttal.
A fényérzékeny réteghez nedvesség vagy hő hatásara működő más duzzasztószereket is lehet adagolni. Az első csoportban például a polivinil-alkohol említhető, a másodikban a karbamiddal kombinált hidrogénperoxid, nátriumdikarbonát, vagy szublimáló festék.
A duzzasztás elérhető oly módon is, hogy a fényérzékeny réteg előhívása után a megmaradó részeket utólag megvilágítjuk. A kb. 5 percig tartó, mintegy 400 W fényerősségű pótlólagos megvilágítás 5 hatására a fényérzékeny réteg megfelelő helyein gázmolekulák, például N2 szabadulnak fel és ennek hatására bomlási vagy buborékszerkezet jön létre. A réteg esetleges további duzzasztása 100%-os nedvességtartalmú közegben végezhető. Az utólagos 0 megvilágítást előnyösen az eredeti fényerősség felének megfelelő intenzitással végezzük.
A duzzasztás végül elérhető úgy is, hogy megtisztított matricát, vagyis azt a testet, amelyre a fényérzékeny réteget felhelyezzük, először az alsó 5 réteg létrehozására . . h/errel kezeljük, például triklór-etánnal, amely!: ; tleg izet, duzzasztószert adunk. Ezután a fé;; érzékeny réteget felhelyezzük és előhívjuk. Előhívás után az előbb ismertetett lehetőségeknek megfelelően a fényérzékeny rétegbe 0 nedvességet vagy duzzasztószert viszünk be és a duzzasztást elvégezzük.
Ezt követően a fém galvanikus lerakódása történik, amelynek során az elektród a lerakódás felületétől 12-18 cm-es távközzel van el« helyezve. A lerakodott fémréteg vastagsága 0,06 ... 0,4 mm és a galvanizáláshoz alkalmazott áramsűrűség 5 A/dm2. Az elektrolit nátriumfoszfát vizes oldata, amely pl. 58 g/1 nikkelt, 10g/l klóriont, 36 g/1 bórsavat tartalmaz, előnyösen 20°Be 0 viszkozitású és pH értéke 3,8 ... 4. A duzzasztás következtében a kapott sablon teljes keresztmetszetének 52%-a a nyílt, míg a duzzasztás nélkül előállított sablonnak csak 7...15%-a a nyűt keresztmetszetű.
A találmány szerinti eljárás nemcsak szitanyomó sablonok, hanem száraz borotvakészülékek pengéinek, továbbá nyomtatott áramkörök előállítására is alkalmas.
A fényérzékeny réteg duzzasztásának mértéke széles tartományban vezérelhető és a mindenkori felhasználásnak, valamint az alkalmazott fényérzékeny anyagnak megfelelően állítható be. A duzzasztással az eredeti rétegvastagságnak több mint 45 tízszerese is elérhető.
A találmány szerinti eljárás továbbá lakksablonok előállítására is alkalmas.

Claims (12)

  1. 50 Szabadalmi igénypontok:
    1. Eljárás perforált fémfólia, előnyösen rotációs sablonnyomáshoz használható sablon előállítására, amikor is fémfelületre, esetleg fémfelületre felvitt 55 alsó rétegre fényérzékeny réteget hordunk fel, a fényérzékeny réteget raszteres mintával ellátott filmen át megvilágítjuk és a képet előhívjuk, majd a fémfóliát galvanikus úton felépítjük és a fémfelületről eltávolítjuk, azzal jellemezve, hogy az 60 — esetleg duzzasztószert tartalmazó— fényérzékeny rétegben a réteg előhívása után visszamaradt vagy az alsó rétegben maradt részeket nedvességet leadó és előnyösen a részek porozitását növelő szert tartalmazó közeggel vagy oldószert leadó kö65 zeggel érintkezésbe hozzuk és/vagy felmelegítjük, illetve az előhívott réteget újból megvilágítjuk és így a rétegvastagságot többszörösére duzzasztjuk, továbbá a fóliafémet galvánikus úton a duzzasztás alatt vagy után választjuk le.
  2. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 5 módja, azzal jellemezve, hogy a nedvesség bevitele előtt a rétegben maradt részek porozitását melegítéssel megnöveljük
  3. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás 10 foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a réteget előhívás után vízgőzben, vagy oldószer gőzében gőzöljük.
  4. 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a gőzölést 50—60 °C 15 hőmérsékleten és 5—7 percig végezzük.
  5. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fényérzékeny réteget előhívás után oldószerbe 20 merítjük.
  6. 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítás módja, azzal jellemezve, hogy a fényérzékeny réteget az előhívás után nedvességet tartalmazó réteggel, előnyösen zselatinréteggel von- 25 juk be és ezt a réteget a galván fémréteg leválasztása előtt eltávolítjuk.
  7. 7. Az 1—6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy duzzasztószert tartalmazó fényérzékeny réteget alkalmazunk.
  8. 8. A 7. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy nedvesség hatására működő duzzasztószert például fenilhidrazint tartalmazó fényérzékeny réteget alkalmazunk.
  9. 9. A 7. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy hő hatására működő duzzasztószert, például karbamidvegyületet tartalmazó fényérzékeny réteget alkalmazunk.
  10. 10. Az 1—9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy á fényérzékeny réteg megmaradó részeit az előhívás után megvilágítjuk, a részekbe nedvességet viszünk be, így ezeket a részeket felduzzasztjuk és a réteg felduzzasztott részei között szabadon maradt tartományokra galvanikus úton fóliafémet viszünk fel.
  11. 11. A 10. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a nedvesség hozzáadását és a galvanizálást egyidejűleg végezzük.
  12. 12. A 10. vagy 11. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az előhívás után történő megvilágítást a perforációs minta felvitelénél alkalmazott megvilágítás erősségének felével végezzük.
HU77SCHA180A 1976-03-29 1977-03-29 Method for producing perforated metal foil HU176024B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT228376A AT358072B (de) 1976-03-29 1976-03-29 Verfahren zum herstellen einer metallschablone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
HU176024B true HU176024B (en) 1980-11-28

Family

ID=3531475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU77SCHA180A HU176024B (en) 1976-03-29 1977-03-29 Method for producing perforated metal foil

Country Status (25)

Country Link
US (1) US4118288A (hu)
JP (1) JPS52117840A (hu)
AT (1) AT358072B (hu)
AU (1) AU501755B2 (hu)
BE (1) BE852744A (hu)
CA (1) CA1104869A (hu)
CH (1) CH627794A5 (hu)
CS (1) CS190343B2 (hu)
DD (1) DD130013A5 (hu)
DE (1) DE2640268C2 (hu)
DK (1) DK146174C (hu)
ES (1) ES457221A1 (hu)
FR (1) FR2346150A1 (hu)
GB (1) GB1526604A (hu)
GR (1) GR62570B (hu)
HU (1) HU176024B (hu)
IL (1) IL51693A (hu)
IN (1) IN145850B (hu)
NL (1) NL165856C (hu)
PL (1) PL111109B1 (hu)
RO (1) RO85183B (hu)
SE (1) SE428110B (hu)
SU (1) SU657768A3 (hu)
YU (1) YU79877A (hu)
ZA (1) ZA771655B (hu)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2808933A1 (de) * 1978-03-02 1979-09-06 Duchenaud Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines hohlzylinders von selbsttragender wandstaerke durch elektrolytische ablagerung sowie nach dem verfahren und mit der vorrichtung hergestellter hohlzylinder
GB2150596A (en) * 1983-11-30 1985-07-03 Pa Consulting Services Mesh structures especially for use in television camera tubes
GB2184045A (en) * 1985-12-16 1987-06-17 Philips Electronic Associated Method of manufacturing a perforated metal foil
US4797175A (en) * 1987-03-09 1989-01-10 Hughes Aircraft Company Method for making solid element fluid filter for removing small particles from fluids
US4818661A (en) * 1987-07-21 1989-04-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method for fabricating thin film metallic meshes for use as Fabry-Perot interferometer elements, filters and other devices
US5328537A (en) * 1991-12-11 1994-07-12 Think Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing screen printing plate
US5359928A (en) * 1992-03-12 1994-11-01 Amtx, Inc. Method for preparing and using a screen printing stencil having raised edges
US5478699A (en) * 1992-03-12 1995-12-26 Amtx, Inc. Method for preparing a screen printing stencil
US5322763A (en) * 1992-05-06 1994-06-21 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for making metal ledge on stencil screen
US5573815A (en) * 1994-03-07 1996-11-12 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for making improved metal stencil screens for screen printing
FR2737927B1 (fr) * 1995-08-17 1997-09-12 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de formation de trous dans une couche de materiau photosensible, en particulier pour la fabrication de sources d'electrons
GB2354459B (en) 1999-09-22 2001-11-28 Viostyle Ltd Filtering element for treating liquids, dusts and exhaust gases of internal combustion engines
US20110127282A1 (en) * 2009-05-26 2011-06-02 Lisa Carvajal Disposable Splatter Screens
JP5335146B2 (ja) * 2009-10-23 2013-11-06 ストルク プリンツ オーストリア ゲーエムベーハー レリーフ部を備えた有孔または部分有孔テンプレートの製造方法
USD792723S1 (en) * 2015-11-24 2017-07-25 Serta, Inc Mattress foundation

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2225734A (en) * 1937-12-10 1940-12-24 Trumbull Metal Products Compan Electrolytic method of making screens
US3763030A (en) * 1971-08-02 1973-10-02 P Zimmer Apparatus for the production of seamless hollow cylinders
US3953309A (en) * 1972-12-14 1976-04-27 Dynachem Corporation Polymerization compositions and processes having polymeric binding agents
US3976524A (en) * 1974-06-17 1976-08-24 Ibm Corporation Planarization of integrated circuit surfaces through selective photoresist masking
US4022932A (en) * 1975-06-09 1977-05-10 International Business Machines Corporation Resist reflow method for making submicron patterned resist masks

Also Published As

Publication number Publication date
JPS52117840A (en) 1977-10-03
DE2640268C2 (de) 1978-08-10
ZA771655B (en) 1978-02-22
DE2640268B1 (de) 1977-12-15
DK138077A (da) 1977-09-30
RO85183A (ro) 1984-10-31
DK146174C (da) 1983-12-12
GR62570B (en) 1979-05-10
BE852744A (fr) 1977-07-18
AU501755B2 (en) 1979-06-28
DK146174B (da) 1983-07-18
SU657768A3 (ru) 1979-04-15
FR2346150A1 (fr) 1977-10-28
US4118288A (en) 1978-10-03
DD130013A5 (de) 1978-03-01
AT358072B (de) 1980-08-25
YU79877A (en) 1983-01-21
SE7703116L (sv) 1977-09-30
CA1104869A (en) 1981-07-14
ATA228376A (de) 1980-01-15
IL51693A (en) 1979-12-30
IN145850B (hu) 1979-01-06
NL165856B (nl) 1980-12-15
JPS5753875B2 (hu) 1982-11-15
GB1526604A (en) 1978-09-27
FR2346150B1 (hu) 1980-05-09
AU2371277A (en) 1978-10-05
ES457221A1 (es) 1978-06-16
CH627794A5 (de) 1982-01-29
IL51693A0 (en) 1977-05-31
NL7611333A (nl) 1977-10-03
RO85183B (ro) 1984-11-30
CS190343B2 (en) 1979-05-31
PL111109B1 (en) 1980-08-30
NL165856C (nl) 1981-05-15
SE428110B (sv) 1983-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU176024B (en) Method for producing perforated metal foil
CA1309967C (en) Printing process for use in fashioning ceramics by electrodeposition
US3368483A (en) Two-color lithographic printing form, method of preparing same, and method of use
JPS6125151B2 (hu)
US2132443A (en) Planographic plate and method
US2506164A (en) Method for the production of metallic printing members
US3406065A (en) Process for the reversal development of reproduction coatings containing o-naphthoquinone diazide compounds
US3615442A (en) Metal printing plate and method for preparation of same
US4401520A (en) Process for the preparation of screen printing stencils by an electroplating method
US2772160A (en) Light-detached resists or reliefs for printing plates
US2773779A (en) Treating solution for photolithographic printing plates
US2709654A (en) Thermographic method of producing relief and intaglio impressions
US2570262A (en) Photosensitive planographic plate
US2024087A (en) Printing plate
US3010389A (en) Photographic transfer printing plates
US1408315A (en) Photographic-printing process
US3544319A (en) Production of printing plates
US2323752A (en) Photoengraving process and product
US4211618A (en) Method for making screens
US853863A (en) Method of producing pictures, designs, &c.
US2355884A (en) Medium for use in making camera copy and method of preparing same
US3562119A (en) Presensitized aluminum photolithographic etched plate and elements and method used in the preparation of same
US3682636A (en) Presensitized photolithographic plate having diazo stabilized aluminum base
DE1671630A1 (de) Schablonentraeger fuer Siebdruck
US1789138A (en) Printing plate and process of making same

Legal Events

Date Code Title Description
HU90 Patent valid on 900628
HMM4 Cancellation of final prot. due to non-payment of fee