FR3015679A1 - Dispositif et procede de reperage optique d'un echantillon a analyser au moyen d'un faisceau lumineux. - Google Patents
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Abstract
L'invention porte sur un dispositif et un procédé de positionnement d'un échantillon (E) à analyser au moyen d'un faisceau lumineux (11) selon un axe (Y) d'un trièdre de référence (TR). Le dispositif comprend : • un porte-échantillon (16) comprenant un plateau (13) sur lequel peut être fixé l'échantillon (E), • un positionneur (12) apte à déplacer le porte-échantillon (16) par rapport au faisceau, et • quatre mires (A, B, A', B') fixées sur le plateau (13); un premier et un second couple de deux mires définissant respectivement un premier et un second axe (XPE ; YPE) d'un trièdre (TPE) lié au porte-échantillon (16); le positionneur (12) étant configuré pour permettre d'aligner respectivement le premier et le second couple de mires sur le faisceau, permettant de repérer le trièdre lié au porte-échantillon dans le trièdre de référence (TR), et positionner l'échantillon (E) par rapport au faisceau (11).
Description
Dispositif et procédé de repérage optique d'un échantillon à analyser au moyen d'un faisceau lumineux La présente invention concerne le domaine du repérage optique permettant de positionner avec précision un échantillon par rapport à un faisceau lumineux incident. L'invention trouve une utilité particulière pour positionner un échantillon radioactif à analyser au moyen d'un faisceau incident de rayons X émis par un synchrotron.
Un synchrotron produit un rayonnement électromagnétique puissant, sur une gamme spectrale s'étendant de l'infrarouge aux rayons X, qui permet d'explorer des objets jusqu'à des tailles nanométriques tels que les atomes. Une installation typique comprend plusieurs lignes de lumière, réparties autour de l'anneau de stockage, généralement spécialisées par type d'analyse ou par gamme de longueur d'onde. On connait par exemple le synchrotron SOLEIL et la ligne de lumière MARS dédiée à l'analyse par rayonnement X (diffraction X, spectroscopie d'absorption X, etc...) d'échantillons radioactifs pour diverses applications dans le domaine du traitement des déchets, de la santé, ou de l'énergie.
Le rayonnement synchrotron est devenu un outil incontournable de la communauté scientifique et industrielle, de sorte que l'accès aux lignes de lumière est fortement sollicité. En pratique, des équipes se relaient pour optimiser le taux d'occupation de la ligne et de ses instruments d'analyse. Une équipe à qui l'on accorde l'accès à la ligne pour une période donnée cherche à optimiser cet accès en analysant le plus grand nombre d'échantillons. Le délai de mise en place et de retrait de l'échantillon sur l'instrument d'analyse revêt donc une importance particulière. La caractérisation d'échantillon radioactif par rayonnement X nécessite en outre des précautions adaptées pour la sûreté des opérateurs.
Dans une installation connue, la ligne de lumière comprend une enceinte blindée dans laquelle un échantillon radioactif peut être analysé par exposition à un faisceau incident de rayons X. L'échantillon est tout d'abord placé sur un porte-échantillon, avant d'être transporté vers l'enceinte blindée au moyen d'une enceinte mobile de protection biologique. Lorsque l'enceinte mobile est connectée à l'enceinte blindée, le porte-échantillon est déposé sur une interface de positionnement de l'analyseur, au moyen d'une canne de transfert. Le faisceau incident est généralement de très faibles dimensions, typiquement de l'ordre de 10 lm par 10 lm de section. Les dimensions de l'échantillon à analyser sont également faibles, typiquement de l'ordre de quelques millimètres. Il convient donc de positionner avec une grande précision l'échantillon par rapport au faisceau incident. Selon l'état connu de la technique, la position de l'échantillon est déterminée au moyen d'une caméra capable de visualiser l'empreinte du faisceau sur un écran fluorescent sensible aux rayons X. L'image de l'empreinte du faisceau est tout d'abord mémorisée. L'échantillon est ensuite mis en place et positionné en déplaçant l'échantillon face au faisceau. Des déplacements de l'échantillon dans un plan perpendiculaire à l'axe du faisceau modifient l'ombre portée par l'échantillon. L'analyse du signal de la caméra au cours des déplacements de l'échantillon permet d'estimer la position de l'échantillon. La précision de ce positionnement reste toutefois limitée. Par exemple, dans le cas d'un échantillon en forme de disque, la mesure de l'ombre portée de l'échantillon ne permet pas d'orienter l'échantillon suivant son axe de révolution. Pour un échantillon de forme quelconque, de nombreux tâtonnements sont nécessaires. D'une manière générale, la précision du positionnement est insuffisante et ne permet pas de d'orienter le faisceau vers un point spécifique de l'échantillon. Il est donc souhaitable de disposer d'une méthode pour positionner de manière précise un échantillon de taille millimétrique par rapport à un faisceau lumineux également de très faibles dimensions. Cette méthode doit en outre être adaptée à un échantillon radioactif et un faisceau incident de rayons X. A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif de positionnement d'un échantillon à analyser au moyen d'un faisceau lumineux émis par une source selon un premier axe d'un trièdre de référence lié à la source, caractérisé en 30 ce qu'il comprend : - un porte-échantillon comprenant un plateau sur lequel peut être fixé l'échantillon, dans une position prédéterminée repérée dans un trièdre lié au porte-échantillon, - un positionneur apte à déplacer le porte-échantillon par rapport au faisceau, en translation et en rotation selon trois axes du trièdre de référence, et - un premier et un second couple de deux mires fixées sur le plateau, définissant respectivement un premier et un second axe du trièdre lié au porte-échantillon, concourants et n'intersectant pas l'échantillon; le positionneur étant configuré pour permettre d'aligner respectivement le premier et le second couple de mires sur le faisceau, permettant de repérer le trièdre lié au porte-échantillon dans le trièdre de référence lié à la source, 10 et positionner l'échantillon par rapport au faisceau. Avantageusement, les quatre mires sont configurées de manière à définir deux axes perpendiculaires en surface du plateau, formant avec un troisième axe perpendiculaire au plateau le trièdre lié au porte-échantillon. Avantageusement, le dispositif comprend un détecteur sensible au faisceau lumineux, configuré pour mesurer une évolution d'intensité lumineuse au cours d'un déplacement d'une des mires obturant progressivement le faisceau. Avantageusement, le détecteur est sensible aux rayons X, et comprend un écran fluorescent ou un scintillateur, et un capteur photographique. 25 Avantageusement, au moins un des couples de mires comprend une première mire présentant une forme générale de U dans un plan perpendiculaire au plateau et une seconde mire présentant une forme générale de T retourné dans un plan perpendiculaire au plateau. 30 Avantageusement, les deux mires d'au moins un couple de mires comprennent un conduit traversant. Avantageusement, chacun des deux couples de mires comprend une première mire présentant une forme générale de U dans un plan 35 perpendiculaire au plateau et un conduit traversant aménagé au centre de la 15 20 base du U, et une seconde mire présentant une forme générale de T retourné dans un plan perpendiculaire au plateau et un conduit traversant aménagé au centre des branches horizontal du T retourné.
Avantageusement, le dispositif comprend une enceinte blindée de protection biologique, permettant l'analyse d'un échantillon radioactif au moyen d'un faisceau de rayons X. L'invention porte aussi sur un procédé de positionnement d'un échantillon à analyser au moyen d'un faisceau lumineux émis par une source selon un premier axe d'un trièdre de référence lié à la source, au moyen d'un dispositif de positionnement ayant les caractéristiques précédemment décrites. Le procédé comprend des étapes consistant à : - aligner le premier couple de mires sur le faisceau en déplaçant le porte-échantillon par rapport au faisceau au moyen du positionneur, - déplacer le porte-échantillon en rotation autour d'un axe du trièdre de référence perpendiculaire au premier axe, d'un angle égal à un angle réalisé entre le premier axe et le second axe du porte-échantillon, et - aligner le second couple de mires sur le faisceau en déplaçant le porte-échantillon par rapport au faisceau au moyen du positionneur; les étapes d'alignement successives du premier et second couple de mires sur le faisceau permettant de repérer le trièdre lié au porte-échantillon dans le trièdre de référence lié à la source.
Avantageusement, au moins une étape d'alignement d'un couple de mires comprend des sous-étapes consistant à : - positionner une première mire par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon en translation dans un plan comprenant deux axes perpendiculaires au premier axe du trièdre de référence, amenant la première mire en intersection du faisceau lumineux, et - positionner une seconde mire par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon en rotation autour des deux axes dudit plan, amenant la seconde mire en intersection du faisceau lumineux.
Avantageusement, au moins une étape d'alignement d'un couple de mires sur le faisceau est réalisée deux fois : - une première fois par alignement des formes en U et en T retourné des mires sur le faisceau, et - une seconde fois par alignement des conduits des mires sur le faisceau. Avantageusement, le procédé comprend une étape préliminaire 10 consistant à déterminer la position de l'échantillon dans le trièdre lié au porte-échantillon. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description détaillée d'un mode de réalisation 15 donné à titre d'exemple sur les figures suivantes. La figure 1 représente un exemple de dispositif selon l'invention de positionnement d'un échantillon à analyser au moyen d'un faisceau lumineux, les figures 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f et 2g illustrent le principe de 20 l'alignement sur le faisceau d'un couple de mires au moyen du dispositif, la figure 3 illustre au moyen d'un logigramme les principales étapes d'un procédé de positionnement au moyen du dispositif. Par souci de clarté, les mêmes éléments porteront les mêmes repères dans les différentes figures. 25 L'idée générale consiste à fixer des mires à la surface du porte-échantillon permettant par alignement sur le faisceau de repérer et orienter des axes de la surface du porte-échantillon par rapport à un trièdre de référence lié au faisceau. L'invention est décrite dans le cas où le faisceau et 30 la source de lumière sont fixes, et où le porte-échantillon peut être déplacé par rapport à ces éléments fixes. Cet exemple n'est pas limitatif. Le dispositif et le procédé de positionnement d'échantillon sont également adaptés au cas inverse où le faisceau lumineux peut être déplacé par rapport à un porte-échantillon fixe.
Notons que le dispositif et le procédé sont envisagés en premier lieu pour le positionnement d'un échantillon radioactif à analyser au moyen d'un faisceau de rayons X émis par une source synchrotron. D'une manière générale, le dispositif et le procédé sont particulièrement adaptés pour 5 l'alignement de composants sur un faisceau lumineux non visible à l'oeil dans un environnement restreint, peu accessible ou complètement fermé. Ils sont aussi envisagés pour permettre un positionnement très précis du faisceau d'analyse sur la zone de l'échantillon à analyser. Il est envisagé de les mettre en oeuvre pour des échelles encore inférieures de dimensions, du faisceau et 10 de l'échantillon, comme par exemple en microscopie électronique. La figure 1 représente un exemple de dispositif selon l'invention de positionnement d'un échantillon à analyser au moyen d'un faisceau lumineux. Le dispositif a pour but de positionner un échantillon E par rapport 15 à un faisceau lumineux 11 émis par une source 10. Par convention, le faisceau émis se propage le long d'un axe Y d'un trièdre de référence TR lié à la source. L'axe Z du trièdre correspond à la direction verticale de l'installation, et l'axe X complète le trièdre de façon à former un trièdre orthogonal direct. 20 Un détecteur 17 sensible au faisceau lumineux 11 est positionné en regard de la source 10. Pour capter un faisceau incident de rayons X, le détecteur 17 comprend un écran fluorescent 15 ou scintillateur, émettant une lumière dans le domaine visible lorsqu'ils sont exposés à un rayonnement X, permettant à un capteur photographique 14 de détecter une intensité du 25 faisceau lumineux incident. Le dispositif comprend un porte-échantillon 16 comprenant un plateau 13 sur lequel peut être fixé l'échantillon E. Le porte-échantillon comprend une zone réservée à l'échantillon préférentiellement au centre du plateau de forme circulaire. Le porte-échantillon 16 peut être déplacé par 30 rapport au faisceau au moyen d'un positionneur 12. Plusieurs systèmes peuvent être mis en oeuvre pour conférer au porte-échantillon six degrés de liberté, comme par exemple un hexapode à haute précision. Comme indiqué en préambule, l'échantillon et le porte-échantillon sont déposés sur une interface de positionnement lors du transfert de l'enceinte de transport vers 35 l'enceinte blindée d'analyse. Le porte-échantillon est préférentiellement positionné sur l'interface de positionnement du positionneur au moyen d'une liaison par trois vis reposant sur trois billes. Cette liaison permet avantageusement un positionnement précis et répétable de sorte que l'on peut considérer que le repère de l'interface de positionnement coïncide avec le repère du porte-échantillon. Ainsi configuré, le positionneur 12 est apte à déplacer le porte-échantillon 16 par rapport au faisceau 11, en translation et en rotation selon trois axes X, Y et Z du trièdre de référence TR.
Le dispositif comprend également quatre mires fixées sur le plateau et référencées A, B, A' et B' sur la figure 1. Les mires sont associées deux à deux en formant deux couples de mires, respectivement A et B, et A' et B'. Chaque couple de deux mires définit un axe d'un trièdre TPE lié au porte-échantillon. Comme représenté sur la figure, les mires A et B définissent un premier axe YPE sur la surface du porte-échantillon, et les mires A' et B' définissent un second axe XPE sur la surface du porte-échantillon. Préférentiellement, les mires sont configurées de manière à définir deux axes XPE et YPE perpendiculaires sur la surface du plateau 13, formant avec un troisième axe ZPE perpendiculaire au plateau 13 un trièdre TPE orthogonal direct. Ce choix d'un repère orthogonal direct n'est pas limitatif de l'invention qui porte plus largement sur un dispositif muni de quatre mires définissant à la surface du plateau deux axes concourants ; les axes n'intersectant pas l'échantillon pour que les mires ne perturbent pas les mesures sur l'échantillon, ou que l'échantillon n'interfère pas lors de l'alignement des mires sur le faisceau. L'échantillon est déposé et fixé dans la zone réservée à proximité du centre du plateau, dans une position prédéterminée repérée dans le trièdre TPE lié au porte-échantillon. Cette position de l'échantillon sur le porte- échantillon peut être déterminée par exemple avant montage du porte-échantillon sur l'interface de positionnement de l'analyseur, par exemple par photographie. Le positionnement du trièdre TPE dans le trièdre de référence TR permet alors de positionner l'échantillon par rapport au faisceau. On cherche donc à repérer et orienter le trièdre TPE lié au porte-35 échantillon 16 par rapport au trièdre de référence TR lié à la source 10. Pour cela, le dispositif est configuré pour permettre d'aligner les deux couples de mires, respectivement A et B, et A' et B', sur le faisceau. Les mires sont placées à l'extérieur du champ d'analyse du faisceau, tout en restant dans la course des actionneurs du positionneur. Autrement dit, le positionneur doit permettre à la fois de positionner l'échantillon dans le faisceau et de déplacer le porte-échantillon de sorte à aligner successivement les deux axes perpendiculaires XPE et YPE. Nous allons détailler un mode de réalisation privilégié du dispositif et du procédé de positionnement par alignement des mires sur le faisceau 10 dans les figures suivantes. Les figures 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f et 2g illustrent le principe de l'alignement sur le faisceau d'un premier couple de mire du porte-échantillon au moyen du dispositif. Dans l'exemple représenté, le premier couple de 15 mires A et B est constitué, à la manière de la mire d'un fusil, d'une hausse A présentant une forme générale en U dans un plan perpendiculaire à l'axe Y du faisceau, et d'un guidon B en forme générale de T retourné dans un plan perpendiculaire à l'axe du faisceau. Le centre du U de la mire A et la base du T retourné de la mire B définissent l'axe YPE du trièdre TPE lié au porte- 20 échantillon. Lorsque le couple de mires A et B est aligné sur le faisceau, la hausse A fait face au faisceau en première position devant le guidon B. Les mires A et B comprennent également un conduit tubulaire traversant 20 aménagé à la base de la mire fixée au plateau. Les conduits tubulaires traversants définissent l'axe YPE du trièdre TPE lié au porte-échantillon. 25 Deux dispositifs différents définissent le même axe. On peut dire que le centre du U et la base du T retourné définissent un axe parallèle à Y, dans le plan YZ. Dans l'exemple représenté, les mires comprennent donc deux dispositifs de visée optique, un premier basé sur l'alignement d'une hausse 30 en forme de U et d'un guidon en forme de T retourné, et un second basé sur l'alignement de deux conduits coaxiaux. Il est envisagé par l'invention un dispositif mettant en oeuvre un seul de ces dispositifs de visée, le premier ou le second, pour le premier couple de mires A et B, et/ou pour le second couple de mires A' et B'. L'exemple représenté comprenant les deux 35 dispositifs de visée est avantageux car il permet un premier positionnement, par alignement de la hausse A avec le guidon B, et un second positionnement plus précis par alignement des deux conduits 20. Il est envisagé d'effectuer un premier réglage permettant d'aligner la hausse et le guidon, définissant un axe proche de l'axe YPE recherché, puis d'affiner ce réglage par alignement des conduits sur le faisceau rasant la surface du plateau, définissant avec précision l'axe YPE. La figure 2a représente aussi deux abscisses X0 et X1, et trois ordonnées Zo, Z1 et Z2 permettant de décrire le procédé d'alignement. L'abscisse X0 correspond au centre des mires, autrement dit au centre de la base du U de la mire A et de la tige du T retourné de la mire B. L'abscisse X1 correspond à une abscisse de la branche droite du U, et de la branche horizontale droite du T retourné. A l'abscisse X0, l'ordonnée Zo correspond à la base du U, l'ordonnée Z1 entre les deux branches du U, et l'ordonnée Z2 est au-delà de la mire.
Le dispositif est envisagé en premier lieu pour l'analyse d'échantillon au moyen d'un faisceau de rayons X. On a précisé pour cela l'utilisation d'un détecteur sensible au rayon X, comprenant un écran fluorescent ou un scintillateur, permettant à un capteur photographique de mesurer une intensité du faisceau lumineux incident. Sur les figures 2b à 2g, l'intensité mesurée par le détecteur est représentée par une valeur comprise entre 0 et 1. En pratique, cette intensité lumineuse correspond à la luminosité mesurée par le capteur sur une zone prédéterminée. L'intensité représentée correspond à la lumière totale intégrée, vue par le capteur dans cette zone prédéterminée. Ainsi, lorsqu'une mire est déplacée de sorte à venir intersecter le faisceau, ce dernier est progressivement obturé par la mire de sorte que l'intensité mesurée chute de la valeur 1, représentant l'intensité maximale mesurée par le détecteur exposé directement au faisceau, à la valeur 0, représentant l'intensité mesurée lorsque le faisceau est entièrement obturé par la mire. Le basculement de la valeur 1 à la valeur 0 par obturation du faisceau est progressif ; une portion du faisceau non obturée par la mire pouvant éclairer le détecteur au cours du déplacement de la mire. Le principe du procédé d'alignement d'un couple de mire sur le faisceau est de repérer successivement les deux mires du couple, en 35 identifiant une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée lors du déplacement d'une mire venant intersecter le faisceau. Nous allons décrire au moyen des figures 2b à 2g des courbes typiques d'intensité lumineuse obtenues lors de balayage en translation ou rotation du porte-échantillon pour les mires A et B précédemment décrites. Il est bien entendu que l'allure des courbes typiques observables par intersection du faisceau et des mires dépend de nombreux paramètres, et en particulier de la section du faisceau lumineux, de la géométrie des mires ou encore de la résolution du détecteur. Les courbes représentées sont un exemple de courbes permettant d'illustrer le principe du procédé selon l'invention d'alignement d'un couple de mires, par détection pour la première et la seconde mire, d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un déplacement du porte-échantillon amenant la mire en intersection du faisceau lumineux. Les figures 2b et 2c illustrent des courbes typiques d'évolution d'intensité lumineuse mesurées par un balayage en translation dans le plan (X, Z) amenant la mire A en intersection du faisceau. La figure 2b représente l'intensité lumineuse mesurée en cours d'un déplacement en translation selon l'axe Z, lorsque le faisceau est positionné à l'abscisse X0 en partie gauche et à l'abscisse X1 en partie droite. L'intensité lumineuse mesurée bascule à la valeur 1 entre deux ordonnées distinctes pour ces deux abscisses. La figure 2c représente l'intensité lumineuse mesurée en cours d'un déplacement en translation selon l'axe X, lorsque le faisceau est positionné respectivement à l'ordonnée Zo, Z1 et Z2. On observe par exemple deux basculements à l'ordonnée Z1, image de la forme en U de la mire A.
Ces courbes mesurées par balayage dans le plan (X, Z) permettent ainsi d'identifier la mire venant obturer le faisceau, ici une mire de type A. Après cette identification, la mire peut être positionnée par rapport au faisceau, par exemple en plaçant le faisceau au centre des deux branches du U.
Les figures 2d et 2e illustrent sur le même principe des courbes typiques d'évolution d'intensité lumineuse mesurées par un balayage en translation dans le plan (X, Z) amenant la mire B en intersection du faisceau. La figure 2d représente l'intensité lumineuse mesurée en cours d'un déplacement en translation selon l'axe Z, aux abscisses X0 et X1. La figure 2e représente l'intensité lumineuse mesurée en cours d'un déplacement en translation selon l'axe X aux ordonnées Zo, Z1 et Z2. On observe cette fois un unique basculement à l'ordonnée Z1, pour l'abscisse X0, image de la forme en T retournée de la mire B. Comme pour la mire A, il est possible d'identifier ici une mire de 5 type B et de la positionner par rapport au faisceau, par exemple en plaçant le faisceau au centre de la branche verticale du T retourné. A l'issue de cette première étape permettant d'identifier et positionner par rapport au faisceau une première mire du couple de mire, le 10 procédé comprend une seconde étape permettant de positionner la seconde mire du couple de mire de sorte à aligner le couple de mires sur le faisceau. Pour cela, on réalise des balayages en rotation selon les axes X et Z, en maintenant la première mire en position par des rattrapages en translation dans le plan (X, Z). Cette opération est illustrée par les figures 2f et 2g 15 représentant des courbes typiques d'évolution d'intensité lumineuse mesurées par balayage en rotation selon les axes X et Z. La figure 2f illustre le cas où la première mire identifiée est une mire de type A. Les courbes Rxo, Rx1 et Rx2 représentent l'intensité lumineuse mesurée au cours d'un déplacement du porte-échantillon en 20 rotation autour de l'axe X, associé à un déplacement en translation selon l'axe Z permettant de maintenir la mire A dans sa position. On constate ainsi que la rotation Rx1 permet d'intercaler le T retourné de la mire B entre les branches du U de la mire A. Dans un second temps, une rotation selon l'axe Z, associé à un déplacement en translation selon l'axe X permettant de 25 maintenir la mire A en position, permet de centrer l'ombre portée par le T retourné de la mire B au centre des deux ombres portées par les deux branches du U de la mire A. Ainsi, à l'issue de ce balayage en rotation selon les axes X et Z (associés à des déplacements en translation dans le plan), la mire B est 30 positionnée par rapport au faisceau ; et le couple de mires A et B est aligné sur le faisceau. La figure 2g illustre selon le même principe l'alignement des mires A et B dans le cas où la première mire identifiée est une mire de type B. Nous avons décrit au moyen des figures 2a à 2g une méthode 35 d'alignement d'un couple de mire sur le faisceau permettant de positionner un axe du porte-échantillon par rapport au faisceau. Le procédé selon l'invention consiste à effectuer successivement l'alignement des deux couples de mires par cette méthode.
La figure 3 illustre au moyen d'un logigramme les principales étapes de ce procédé. Le procédé peut comprendre une étape préliminaire 100 consistant à déterminer la position de l'échantillon dans le trièdre TPE lié au porte-échantillon 16. Comme nous l'avons décrit précédemment, cette étape peut consister à photographier l'échantillon fixé sur le porte- échantillon. Le procédé comprend trois étapes principales : - une étape 101 consistant à aligner le premier couple de mires A et B sur le faisceau en déplaçant le porte-échantillon par rapport au faisceau au moyen du positionneur 12, - une étape 104 consistant à déplacer le porte-échantillon 16 en rotation autour de l'axe Z du trièdre de référence TR, d'un angle égal à un angle réalisé entre le premier axe XPE et le second axe YPE du porte-échantillon 16, et - une étape 105 consistant à aligner le second couple de mires A' et B' sur le faisceau 11 en déplaçant le porte-échantillon 16 par rapport au faisceau 11 au moyen du positionneur 12. Les étapes d'alignement successives du premier et second couple de mires A, B, A' et B' sur le faisceau 11 permettent avantageusement de repérer le trièdre TPE lié au porte-échantillon 16 dans le trièdre de référence 25 TR lié à la source 10. Notons que l'étape 104 consiste dans l'exemple représenté sur les figures à tourner le porte-échantillon d'un angle de 90°. Nous avons indiqué que l'invention était également applicable au cas où les quatre mires définissent deux axes non perpendiculaires. De manière logique, l'étape 104 30 est alors adaptée de sorte que l'angle et le sens de la rotation, à l'issue de l'alignement d'un premier couple de mire, permettent d'amener le second couple de mire sur l'axe du faisceau. Comme décrit au moyen des figures 2a à 2g, une des étapes d'alignement 101 et 105, et préférentiellement les deux étapes, peut 35 avantageusement comprendre les deux sous-étapes suivantes : - une première sous-étape 102 consistant à positionner une première mire par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon en translation dans le plan (X, Z), amenant la première mire en intersection du faisceau lumineux, et - une seconde sous-étape 103 consistant à positionner une seconde mire par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon en rotation autour des deux axes (X, Z) dudit plan, amenant la première mire en intersection du faisceau lumineux ; le porte-échantillon pouvant simultanément être déplacé en translation dans le plan de manière à maintenir en position la première mire. Dans une mise en oeuvre privilégiée de l'invention, les deux couples de mires sont constitués de mires comprenant deux systèmes de visée, un premier constitué d'une hausse en forme de U et d'un guidon en forme de T retourné, et un second constitué d'un conduit dans chacune des mires. Dans ce cas, le procédé consiste dans un premier temps à aligner les deux couples de mires au moyen du premier système de visée - par les étapes successives 101, 104 et 105, puis dans un second temps à aligner les deux couples de mires au moyen du second système de visée - par les étapes successives 109, 110 et 111. Avantageusement, le procédé comprend une étape consistant à déplacer le porte-échantillon en translation selon l'axe Z d'une valeur prédéterminée correspond à la distance entre les deux systèmes de visée.
Claims (12)
- REVENDICATIONS1. Dispositif de positionnement d'un échantillon (E) à analyser au moyen d'un faisceau lumineux (11) émis par une source (10) selon un 5 premier axe (Y) d'un trièdre de référence (TR) lié à la source (10), caractérisé en ce qu'il comprend : - un porte-échantillon (16) comprenant un plateau (13) sur lequel peut être fixé l'échantillon (E), dans une position prédéterminée repérée dans un trièdre (TpE) lié au porte-échantillon (16), 10 - un positionneur (12) apte à déplacer le porte-échantillon (16) par rapport au faisceau (11), en translation et en rotation selon trois axes (X, Y, Z) du trièdre de référence (TR), et - un premier et un second couple de deux mires (A, B ; A', B') fixées sur le plateau (13), définissant respectivement un premier et un second 15 axe (XpE ; YPE) du trièdre (TpE) lié au porte-échantillon (16), concourants et n'intersectant pas l'échantillon (E); le positionneur (12) étant configuré pour permettre d'aligner respectivement le premier et le second couple de mires (A, B ; A', B') sur le faisceau (11), permettant de repérer le trièdre (TpE) lié au porte-échantillon (16) dans le 20 trièdre de référence (TR) lié à la source (10), et positionner l'échantillon (E) par rapport au faisceau (11).
- 2. Dispositif selon la revendication 1, dont les quatre mires (A, B, A', B') sont configurées de manière à définir deux axes (XPE, YPE) 25 perpendiculaires en surface du plateau (13), formant avec un troisième axe (ZpE) perpendiculaire au plateau (13) le trièdre (TRE) lié au porte-échantillon (16).
- 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, comprenant un 30 détecteur (17) sensible au faisceau lumineux (11), configuré pour mesurer une évolution d'intensité lumineuse au cours d'un déplacement d'une des mires (A, B, A', B') obturant progressivement le faisceau (11).
- 4. Dispositif selon la revendication 3, comprenant un détecteur 35 (17) sensible aux rayons X, comprenant un écran fluorescent (15) ou un scintillateur, et un capteur photographique (14).
- 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dont au moins un des couples de mires (A, B) comprend une première mire (A) présentant une forme générale de U dans un plan perpendiculaire au plateau (13) et une seconde mire (B) présentant une forme générale de T retourné dans un plan perpendiculaire au plateau (13).
- 6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dont les deux mires (A, B) d'au moins un couple de mires comprennent un conduit 10 traversant (20).
- 7. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dont chacun des deux couples de mires (A, B, A', B') comprend une première mire (A) présentant une forme générale de U dans un plan perpendiculaire au 15 plateau (13) et un conduit traversant (20) aménagé au centre de la base du U, et une seconde mire (B) présentant une forme générale de T retourné dans un plan perpendiculaire au plateau (13) et un conduit traversant (20) aménagé au centre des branches horizontal du T retourné. 20
- 8. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, comprenant une enceinte blindée de protection biologique, permettant l'analyse d'un échantillon radioactif au moyen d'un faisceau de rayons X.
- 9. Procédé de positionnement d'un échantillon à analyser au 25 moyen d'un faisceau lumineux (11) émis par une source (10) selon un premier axe (Y) d'un trièdre de référence (TR) lié à la source (10), au moyen d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend des étapes consistant à : - aligner le premier couple de mires (A, B) sur le faisceau (11) en 30 déplaçant le porte-échantillon (16) par rapport au faisceau (11) au moyen du positionneur (12), - déplacer le porte-échantillon (16) en rotation autour d'un axe (Z) du trièdre de référence (TR) perpendiculaire au premier axe (Y), d'un angle égal à un angle réalisé entre le premier axe (XpE) et le second 35 axe (YpE) du porte-échantillon (16), et- aligner le second couple de mires (A', B') sur le faisceau (11) en déplaçant le porte-échantillon (16) par rapport au faisceau (11) au moyen du positionneur (12) ; les étapes d'alignement successives du premier et second couple de mires 5 (A, B, A', B') sur le faisceau (11) permettant de repérer le trièdre (TRE) lié au porte-échantillon (16) dans le trièdre de référence (TR) lié à la source (10).
- 10. Procédé selon la revendication 9, dont au moins une étape d'alignement d'un couple de mires (A, B, A', B') comprend des sous-étapes 10 consistant à : - positionner une première mire (A) par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon (16) en translation dans un plan comprenant deux axes (X, Z) perpendiculaires au premier axe (Y) du trièdre de 15 référence (TR), amenant la première mire (A) en intersection du faisceau lumineux (11), et - positionner une seconde mire (B) par détection d'une évolution typique d'intensité lumineuse mesurée au cours d'un balayage du porte-échantillon (16) en rotation autour des deux axes (X, Z) dudit 20 plan, amenant la seconde mire (A) en intersection du faisceau lumineux (11).
- 11. Procédé selon l'une des revendications 9 ou 10, au moyen d'un dispositif selon la revendication 7, dont au moins une étape d'alignement 25 d'un couple de mires (A, B) sur le faisceau (11) est réalisée deux fois : - une première fois par alignement des formes en U et en T retourné des mires sur le faisceau (11), et - une seconde fois par alignement des conduits des mires sur le faisceau (11). 30
- 12. Procédé selon l'une des revendications 9 à 11, comprenant une étape préliminaire consistant à déterminer la position de l'échantillon dans le trièdre (TRE) lié au porte-échantillon (16). 35
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JOHANSSON G A ET AL: "Design and performance of a laser-plasma-based compact soft x-ray microscope", REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, AIP, MELVILLE, NY, US, vol. 73, no. 3, 1 March 2002 (2002-03-01), pages 1193 - 1197, XP012039802, ISSN: 0034-6748, DOI: 10.1063/1.1445870 * |
KHODJA H ET AL: "The Pierre Sue Laboratory nuclear microprobe as a multi-disciplinary analysis tool", NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION - B:BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, ELSEVIER, AMSTERDAM, NL, vol. 181, no. 1-4, 1 July 2001 (2001-07-01), pages 83 - 86, XP004318566, ISSN: 0168-583X, DOI: 10.1016/S0168-583X(01)00564-X * |
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