FR2968879A1

FR2968879A1 - Procede de caracterisation de pixels d'un capteur d'image

Info

Publication number: FR2968879A1
Application number: FR1060337A
Authority: FR
Inventors: Jerome Vaillant; Thomas Decroux; Clemence Mornet
Original assignee: STMicroelectronics SA
Current assignee: STMicroelectronics SA
Priority date: 2010-12-10
Filing date: 2010-12-10
Publication date: 2012-06-15
Also published as: US8786708B2; US20120147230A1

Abstract

L'invention concerne un procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image agencés en matrice, comprenant les étapes suivantes : (a) éclairer une première portion (36, 46, 50) de la matrice constituée de pixels associés à un filtre coloré d'une première couleur ; (b) mesurer la détection réalisée par un pixel central de la première portion ; (c) éclairer une deuxième portion (30, 40, 52, 54, 56, 58) de la matrice constituée d'un pixel central associé à un filtre coloré d'une deuxième couleur et de pixels périphériques associés à un filtre coloré de la première couleur ; (d) mesurer la détection réalisée par le pixel central et les pixels périphériques de la deuxième portion ; (e) comparer les mesures des étapes (b) et (d)

Description

B10500 - 10-GR1-210 1 PROCÉDÉ DE CARACTÉRISATION DE PIXELS D'UN CAPTEUR D'IMAGE

Domaine de l'invention La présente invention concerne un procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image et, plus particulièrement, un procédé de mesure de la diaphotie entre pixels adjacents, adapté à tout type de pixels d'un capteur d'image. Exposé de l'art antérieur Dans un capteur d'image intégré, des cellules élémentaires de photodétection, appelées pixels, sont formées en surface d'un substrat semiconducteur. Chaque pixel comprend généralement une zone de collecte de charges photogénérées et des éléments de transfert de ces charges vers un circuit électronique adapté à traiter cette information. Les pixels de la matrice de pixels sont isolés les uns des autres pour limiter au maximum que des photons ou des charges photogénérées destinés à un pixel donné ne soient capturés par un pixel voisin (phénomène de diaphotie, crosstalk en anglais). Lorsqu'une nouvelle structure de pixel d'un capteur d'image est conçue, une caractérisation des pixels du capteur est nécessaire pour déterminer si les nouveaux pixels présentent un fonctionnement amélioré par rapport aux pixels connus ou pour B10500 - 10-GR1-210

2 caractériser d'autres paramètres de ces pixels (courant d'obscurité, bruits, saturation). On prévoit généralement de caractériser les phénomènes de diaphotie entre les pixels. Plusieurs techniques sont connues pour réaliser une telle caractérisation. Notamment, il a été proposé d'éclairer le dispositif à l'aide d'un faisceau fin et localisé adapté à éclairer un seul pixel du capteur d'image. On mesure ensuite le nombre d'électrons détectés par les pixels adjacents au pixel éclairé. Cela permet de connaître la fuite des charges photogénérées d'un pixel vers les pixels voisins, dans toutes les directions. On réalise cette mesure pour différentes longueurs d'onde, et pour des pixels surmontés de filtres colorés de différentes couleurs. Cependant, ce procédé ne peut fonctionner lorsque la taille des pixels devient très faible. En effet, dans ce cas, l'éclairement d'un seul pixel devient difficile, voire impossible, et ne peut se faire sans provoquer des phénomènes de diffraction qui empêchent la réalisation d'une bonne caractérisation des pixels.

Ainsi, un besoin existe d'un procédé de caractérisation d'un pixel d'un capteur d'image compatible avec des pixels de petite taille et représentatif du fonctionnement normal de ce pixel. Résumé Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de prévoir un procédé de caractérisation d'un pixel d'un capteur d'image adapté à tout type de capteur d'image et à toute taille de pixel. Un autre objet d'un mode de réalisation de la présente 30 invention est de prévoir en outre un tel procédé représentatif du fonctionnement réel de ce pixel. Un autre objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de prévoir en outre un capteur d'image test permettant d'obtenir une caractérisation des pixels du capteur 35 d'image.

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3 Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit un procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image agencés en matrice, comprenant les étapes suivantes : (a) éclairer une première portion de la matrice constituée de pixels associés à un filtre coloré d'une première couleur ; (b) mesurer la détection réalisée par un pixel central de la première portion ; (c) éclairer une deuxième portion de la matrice constituée d'un pixel central associé à un filtre coloré d'une deuxième couleur et de pixels périphériques associés à un filtre coloré de la première couleur ; (d) mesurer la détection réalisée par le pixel central et les pixels périphériques de la deuxième portion ; (e) comparer les mesures des étapes (b) et (d). Selon un mode de réalisation de la présente invention, 15 les étapes (a) à (e) sont réitérées pour différentes paires de filtres colorés. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les mesures des étapes (b) et (d) sont réalisées pour des éclairements des première et deuxième portions de longueurs 20 d'onde variables. Selon un mode de réalisation de la présente invention, dans la deuxième portion de la matrice, les pixels périphériques forment une couronne autour du pixel central de deux pixels de large. 25 Selon un mode de réalisation de la présente invention, les étapes (a) et (c) sont réalisées simultanément et les étapes (b) et (d) sont réalisées simultanément. Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'étape (e) consiste à comparer la mesure de l'étape (b) à la 30 mesure de l'étape (d) réalisée par un pixel directement adjacent au pixel central de la deuxième portion, de façon à déterminer la diaphotie entre des pixels adjacents associés à des filtres de la première et de la deuxième couleurs dans différentes directions de la matrice.

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4 Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'étape (e) consiste à comparer la mesure de l'étape (b) à la mesure de l'étape (d) réalisée par le pixel central de la deuxième portion.

Un mode de réalisation de la présente invention prévoit en outre un capteur de test constitué d'une matrice de pixels comprenant des premières portions dans lesquelles les pixels sont associés à un filtre coloré d'une première couleur et des deuxièmes portions dans lesquelles un pixel central, associé à un filtre coloré d'une deuxième couleur, est entouré de pixels périphériques associés à un filtre coloré de la première couleur. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les deuxièmes portions comprennent un pixel central entouré d'une bande de pixels périphériques de deux pixels de large. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le filtre coloré de la première couleur est un filtre constitué d'une résine noire. Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 illustre un procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image ; les figures 2A, 2B, 3A et 3B illustrent, en vue de dessus, des configurations de filtres colorés adaptées à être utilisées dans un procédé selon un mode de réalisation de la présente invention ; la figure 4 illustre, en vue de dessus, un exemple d'une portion d'une matrice d'un capteur d'image adaptée à être utilisée dans un procédé selon un mode de réalisation de la présente invention et formant une portion d'un capteur d'image de test selon un mode de réalisation de la présente invention ; et B10500 - 10-GR1-210

les figures 5 et 6 illustrent des courbes obtenues à l'aide d'un procédé selon un mode de réalisation de la présente invention. Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été 5 désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des capteurs d'image intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Description détaillée Pour caractériser un pixel d'un capteur d'image, on pourrait former, en surface des zones photosensibles du capteur d'image, un masque opaque dans lequel une ouverture est formée en regard d'un pixel isolé, puis éclairer le dispositif à différentes longueurs d'onde.

La figure 1 illustre un tel procédé, dans le cas d'un capteur d'image éclairé par la face avant. Le dispositif comprend un substrat 10 en surface duquel sont formés des éléments de collecte de charges 12 et des éléments de transfert de charges, par exemple des transistors MOS 14. L'association d'un élément de photogénération, de collecte et de transfert de charges forme un pixel. En surface de ces éléments est prévu un empilement de niveaux d'interconnexion comprenant des pistes conductrices 16 de connexion des différents éléments entre eux et vers l'extérieur séparées par un matériau isolant 18. En surface de l'empilement d'interconnexion, en regard de chaque pixel, sont formés des filtres colorés 20A, 20B, 20C permettant la formation d'un capteur d'image couleur. Généralement, les filtres colorés formés en surface d'une matrice de pixels sont répartis selon un motif de Bayer : chaque ensemble de deux fois deux pixels comprend deux pixels surmontés d'un filtre de couleur verte, un pixel surmonté d'un filtre de couleur rouge et un pixel surmonté d'un filtre de couleur bleue. Une telle configuration est particulièrement B10500 - 10-GR1-210

6 adaptée à la détection de faisceaux lumineux dans le domaine visible. Pour caractériser un pixel de ce capteur d'image, on forme une couche opaque 22 métallique dans un niveau d'interconnexion non utilisé de l'empilement de niveaux d'interconnexion, c'est-à-dire dans le matériau isolant 18. La couche opaque 22 comprend une ouverture 24 en regard d'une région photosensible d'un unique pixel. Le dispositif est ensuite éclairé, et seul le pixel en regard de l'ouverture 24 reçoit des photons incidents. En déterminant la quantité d'électrons reçus par les pixels voisins du pixel éclairé, on détermine la diaphotie de ce pixel dans les différentes directions. Cependant, la présence du masque 22 sur le dispositif ne permet pas de caractériser le pixel de façon satisfaisante. En effet, l'utilisation du masque 22 implique que la structure utilisée pour la caractérisation n'est pas l'image fidèle de la structure finale : le masque 22 lui-même peut provoquer des interférences et modifier le comportement électrique du pixel en ajoutant des capacités parasites. Ainsi, un dispositif tel que celui de la figure 1 ne permet pas de caractériser le comportement d'un pixel dans lequel la couche opaque 22 est absente. De plus, une telle caractérisation peut également être perturbée par des phénomènes de diffraction lorsque la taille des pixels diminue en dessous d'un certain seuil, et nécessite un niveau d'interconnexion disponible. Cette solution a également l'inconvénient de n'être compatible qu'avec des capteurs d'image éclairés par la face avant.

Pour pallier aux inconvénients des procédés de l'art antérieur et du procédé ci-dessus, on prévoit un nouveau procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image adapté à toute structure de pixel d'un capteur d'image, que ce soit par exemple un capteur d'image éclairé par la face avant ou par la face arrière.

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7 Dans la suite de la description, on appellera pixel rouge, vert, ou bleu un pixel associé à un filtre coloré de cette couleur. La caractérisation proposée suit le principe suivant.

Dans un capteur d'image, des filtres colorés de couleurs différentes sont agences de façon particulière. Pour caractériser des pixels, on prévoit de former un capteur d'image test comprenant divers agencements de filtres colorés représentatifs de l'agencement final des pixels colorés les uns par rapport aux autres. On peut par exemple prévoir de former, dans une première portion du capteur d'image test, un ensemble de pixels surmontés d'un même premier filtre coloré, le signal reçu par un pixel central de cet ensemble de pixels constituant une référence de détection pour la couleur considérée. En effet, la réponse de ce pixel présente une diaphotie limitée puisque le signal perdu vers les pixels voisins est, au moins en partie, compensé par le signal venant de ceux-ci. Dans une deuxième portion du capteur d'image, on prévoit de former un pixel isolé surmonté d'un deuxième filtre coloré, les pixels adjacents étant surmontés d'un filtre coloré de la couleur du premier filtre coloré. On étudie ensuite la réponse de ces pixels adjacents en fonction de la longueur d'onde de l'éclairement incident, et on détermine l'influence du pixel isolé de couleur différente sur les pixels voisins par comparaison avec l'acquisition réalisée dans la première portion du capteur d'image. Pour obtenir une caractérisation de l'ensemble des pixels et pour toutes les longueurs d'onde destinées à être détectées, on forme des structures telles que celles décrites ci-dessus pour différentes couleurs de filtres colorés. On peut ensuite déterminer le comportement des pixels dans une configuration réelle, par exemple dans laquelle les filtres colorés sont disposés selon un motif de Bayer. Ce procédé sera décrit en détail ci-dessous.

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8 Les figures 2A, 2B, 3A et 3B sont des vues de dessus de répartitions de filtres colorés dans différentes portions d'une matrice de pixels d'un capteur d'image test suivant le principe ci-dessus. Chaque portion comprend, à titre d'exemple, un bloc de cinq pixels par cinq pixels. Dans ces figures, seuls les filtres colorés sont représentés, tout type de pixel d'un capteur d'image étant susceptible d'être formé en regard de ces filtres colorés. En figure 2A, une première portion 30 de la matrice de pixels comprend un pixel central 32 d'une première couleur (surmonté d'un filtre coloré d'une première couleur), par exemple de couleur bleue. Les autres pixels 34 de la première portion 30 sont des pixels d'une deuxième couleur, par exemple de couleur rouge. En figure 2B, les pixels 38 d'une deuxième portion 36 sont tous des pixels de la deuxième couleur, dans notre exemple de couleur rouge. Le pixel central 38A de la deuxième portion constitue un pixel de référence pour la couleur rouge. En effet, lorsqu'il est éclairé par un faisceau lumineux de longueur d'onde variable, le pixel 38A présente une détection maximale pour la couleur rouge puisqu'il détecte des rayons lumineux qui lui sont destinés ainsi que des rayons lumineux arrivant des pixels rouges voisins par diaphotie. En figure 3A, une troisième portion 40 de la matrice de pixels comprend un pixel central 42 d'une troisième couleur, par exemple de couleur verte. Les autres pixels 44 de la troisième portion 40 sont des pixels de la première couleur, de couleur bleue. En figure 3B, les pixels 48 d'une quatrième portion 46 sont tous des pixels de la première couleur, dans notre exemple de couleur bleue. Le pixel central 48A de la quatrième portion forme un pixel de référence pour la couleur bleue. En effet, il détecte des rayons lumineux bleus qui lui sont destinés ainsi que des rayons lumineux arrivant depuis les pixels bleus voisins par diaphotie.

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9 De la même façon, on prévoit des portions supplémentaires dans la matrice de pixel dans lesquelles tous les pixels sont des pixels verts, et d'autres associations comprenant un pixel d'une couleur entouré de pixels d'une autre couleur. On notera que la détection formant référence des pixels 38A, respectivement 48A, entourés de pixels d'une même couleur, pourra également être obtenue en analysant la détection d'un pixel 34C, respectivement 44C, au niveau d'un des coins de la structure 30 de la figure 2A, respectivement 40 de la figure 3A, si celle-ci est voisine d'autres structures 30, respectivement 40. On économise ainsi des pixels en surface de la matrice. Dans tous les cas, un pixel de référence 38A ou 48A est entouré de pixels de même couleur que ce pixel de référence.

Un exemple plus général de répartitions de pixels couleur dans une matrice de pixels de test est illustré en figure 4. Dans l'agencement représentés sont repris les portions 30, 36, 40 et 46 des figures 2A, 2B, 3A et 3B. D'autres portions de capteur d'image sont prévues : une portion 50 comprenant vingt-cinq pixels verts, une portion 52 comprenant un pixel rouge entouré de pixels verts, une portion 54 comprenant un pixel rouge entouré de pixels bleus, une portion 56 comprenant un pixel vert entouré de pixels rouges et une portion 58 comprenant un pixel bleu entouré de pixels verts. La structure de la figure 4 est tout particulièrement adaptée à déterminer la diaphotie de pixels réels dans un agencement tel que le motif de Bayer, ou que tout motif mettant en oeuvre des pixels bleus, rouges et verts. Les portions 36, 46 et 50 permettent d'obtenir des acquisitions de référence (qui peuvent également être obtenues en d'autres emplacements de la matrice si désiré) et les autres portions permettent de déterminer l'influence d'un pixel d'une couleur sur des pixels voisins d'une autre couleur, dans toutes les directions.

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10 On notera que, sur une plaquette de test adaptée à la caractérisation des pixels, on pourra former plusieurs structures telles que celle de la figure 4 pour obtenir une valeur moyenne pour des acquisitions réalisées par des portions identiques. Le dispositif de la figure 4, ou tout autre dispositif comprenant des associations de pixels d'autres couleurs mis en oeuvre dans un capteur d'image, est ensuite éclairé par un faisceau lumineux de longueur d'onde variable et on détecte les réponses des différents pixels du dispositif de la figure 4 en fonction de la longueur d'onde (réponse spectrale). Par comparaison entre les différentes configurations, il est possible d'obtenir une information de la diaphotie entre des pixels de différentes couleurs, dans toutes les directions des pixels. Les figures 5 et 6 sont des courbes obtenues à l'aide d'un dispositif de test tel que celui de la figure 4, pour des longueurs d'onde dans le domaine du visible. La figure 5 représente des courbes de la réponse, en fonction de la longueur d'onde, pour différentes configurations de pixels. Ces courbes d'efficacité quantique (QE) représentent la quantité d'électrons photogénérés par rapport à une quantité de photons incidents et sont exprimées en pourcentage. La courbe 60B est obtenue pour un pixel de couleur bleue entouré de pixels de couleur bleue (par exemple le pixel 48A en figure 3B). Cette courbe, maximale pour la couleur bleue, peut servir de référence pour déterminer la diaphotie entre pixels voisins. La courbe 60B présente un pic principal pour une longueur d'onde d'environ 450 nm et une très faible détection des couleurs verte et rouge. La courbe 62B correspond à la détection d'un pixel bleu entouré de pixels verts, comme par exemple le pixel central de la portion 58. On note sur cette courbe que la détection de faisceaux lumineux de couleur bleue est moins efficace que dans le cas d'un pixel entouré de pixels bleus. Ceci s'explique par B10500 - 10-GR1-210

11 le fait qu'une partie de l'information du pixel bleu fuit vers les pixels verts voisins par diaphotie. De la même façon, pour des longueurs d'ondes proches du vert, un pixel bleu entouré de pixels verts reçoit des électrons photogénérés des pixels adjacents que l'on détecte sur la courbe pour des longueurs d'ondes d'environ 500-550 nm. Les courbes 64B, 64G et 64R, correspondant à la détection respectivement de pixels bleus, verts et rouges formés dans un motif de Bayer. Ainsi, la courbe 64B correspond à la détection d'un pixel bleu directement entouré par quatre pixels verts et entouré en diagonale par quatre pixels rouges. Dans ce cas, on note que la perte d'information du pixel bleu vers les pixels voisins pour des faisceaux lumineux bleus est moins importante que dans le cas où le pixel bleu est entouré uniquement de pixels verts, et que le pixel bleu est sensible à des faisceaux lumineux de couleurs verte et rouge (électrons qui fuient depuis les pixels voisins). Cette courbe n'est donnée ici uniquement qu'à titre de comparaison et concerne une structure de pixels particulière.

Lorsque l'on isole un pixel en l'entourant de pixels de couleurs différentes, on peut tirer des informations à la fois du pixel central, pour connaître la quantité d'information qu'il perd vers les pixels voisins, ou encore des pixels qui lui sont adjacents, pour connaître l'influence d'un pixel de couleur différente dans les différentes directions de la matrice de pixels. La figure 6 illustre des courbes obtenues après un traitement des informations issues de pixels centraux de portions telles que les portions 36, 46 ou 50 et de l'information de pixels adjacents aux pixels centraux de portions telles que les portions 30, 54, 52, 56, 40 ou 58. En figure 6 est représentée l'influence d'un pixel vert isolé sur des pixels bleus adjacents, en fonction du positionnement de ces pixels. Ces courbes sont obtenues en faisant la différence entre le spectre d'un pixel bleu voisin B10500 - 10-GR1-210

12 d'un pixel vert isolé, dans différentes directions (correspondant à un pixel bleu voisin d'un pixel vert isolé d'une portion 40) et le spectre d'un pixel bleu entouré de pixels bleus (le pixel central de la portion 46 par exemple).

La courbe 70N illustre l'influence d'un pixel bleu sur un pixel vert lorsque le pixel vert est placé au-dessus du pixel bleu dans les figures, que l'on appellera par la suite la direction nord (le sens est défini de façon arbitraire), du pixel vert. Les courbes 70S, 70W et 70E illustrent, respectivement, l'influence d'un pixel bleu sur un pixel vert lorsque le pixel vert est placé dans la direction sud, dans la direction ouest et dans la direction est. On remarque que les différentes courbes ne se superposent pas. Ceci est dû à la structure même du pixel qui a tendance à fuir dans certaines directions plus que dans d'autres, en fonction de la longueur d'onde du faisceau lumineux incident. Dans ces différentes courbes, on peut lire qu'un pixel bleu a tendance à fuir en direction des pixels adjacents lorsqu'il est éclairé par un faisceau de couleur bleue (longueur d'onde inférieure à 500 nm, courbe négative). Des électrons photogénérés normalement destinés au pixel bleu fuient vers les pixels voisins, plus ou moins en fonction du positionnement relatif de ces pixels. Inversement, lorsque la structure comprenant un pixel vert entouré de pixels bleus est éclairée par un faisceau lumineux de couleur verte, le pixel vert a tendance à fuir vers les pixels bleus et ceux-ci détectent un signal qu'ils ne devraient pas recevoir. Le tracé de courbes telles que celles ci-dessus, avec des associations de filtres colorés positionnés de différentes façons, permet ainsi de quantifier la diaphotie entre chaque association de pixels, pour un spectre de longueur d'onde prédéterminé. L'analyse de ces courbes en relation avec la forme de l'agencement final des pixels permet d'identifier des points faibles des pixels dans des directions particulières. On peut B10500 - 10-GR1-210

13 également prédire le comportement d'un capteur lorsqu'il est en fonctionnement normal, par exemple surmonté d'un motif de Bayer dans le cas d'un capteur d'image couleur classique en combinant les informations des différentes courbes à l'aide d'un programme informatique adapté. Pour que la caractérisation d'un pixel isolé (portions 30, 54, 52, 56, 40 et 58 en figure 4) soit la plus précise possible et non entachée de détection parasite, ce pixel doit être isolé d'autres pixels susceptibles d'impliquer de la diaphotie. Les inventeurs ont déterminé qu'un isolement par une bande de plus de deux pixels de large permet d'éviter que la détection d'un pixel ne soit parasitée par d'autres pixels adjacents. Cependant, pour que la caractérisation soit la plus représentative possible du fonctionnement réel du capteur (une fois intégré par exemple dans un motif de Bayer), il faut respecter un éloignement maximal entre ce pixel et des pixels de même type situés dans la matrice pour que les structures de filtres colorés soient sensiblement les mêmes qu'en fonctionnement normal. En effet, lors de la formation de filtres colorés sur une matrice de pixels, par exemple formée en suivant un motif de Bayer, les filtres colorés sont formés en regard des pixels les uns après les autres. Il en résulte un recouvrement et un léger décalage en épaisseur des filtres colorés au-dessus des contours des pixels. Pour caractériser correctement un pixel isolé, il est donc nécessaire de prévoir une structure proche de celle dans laquelle le pixel sera en conditions réelles. Dans le cas des technologies actuelles de capteurs d'image, les inventeurs ont déterminé qu'un isolement d'un pixel d'une couleur par une couronne périphérique dont la largeur correspond à deux pixels est bien adapté à une caractérisation précise du pixel et est représentatif du comportement du pixel en fonctionnement réel. On notera que, pour d'autres technologies, un isolement du pixel différent pourra être utilisé.

Ainsi, de préférence, lorsque l'on prévoit d'isoler un pixel par B10500 - 10-GR1-210

14 des pixels d'une autre couleur, ces pixels seront formés autour du pixel isolé sur une largeur de deux pixels. Avantageusement, le procédé de caractérisation proposé ici est adapté à la caractérisation de tout type de capteur d'image, par exemple un capteur d'image éclairé par la face avant ou par la face arrière. De plus, ce procédé est adapté à toute configuration de pixels puisque la caractérisation se fait sur des pixels réels formés sur une plaque de test. Ce procédé a également l'avantage de ne pas impliquer de modification du dispositif pour la caractérisation. Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, on a présenté ici un procédé en utilisant des filtres colorés classiques, à savoir de couleurs bleue, rouge et verte. On notera que l'on pourra également prévoir que les filtres colorés soient d'autres couleurs, en fonction de l'application désirée du capteur d'image. On pourra également prévoir d'utiliser non pas une résine colorée dans le procédé de caractérisation, mais une résine noire masquant l'arrivée de certains photons. Cette configuration, bien que moins représentative des systèmes réels dans lesquels les pixels sont alternativement recouverts par des filtres colorés différents, pourra être utilisée pour caractériser un pixel isolé de son environnement, ou encore en déterminer le courant d'obscurité si on forme un masque de résine noire sur un ensemble de pixels adjacents.

Claims

REVENDICATIONS1. Procédé de caractérisation de pixels d'un capteur d'image agencés en matrice, comprenant les étapes suivantes : (a) éclairer une première portion (36, 46, 50) de la matrice constituée de pixels associés à un filtre coloré d'une première couleur ; (b) mesurer la détection réalisée par un pixel central de la première portion ; (c) éclairer une deuxième portion (30, 40, 52, 54, 56, 58) de la matrice constituée d'un pixel central (32, 42) associé à un filtre coloré d'une deuxième couleur et de pixels périphériques (34, 44) associés à un filtre coloré de la première couleur ; (d) mesurer la détection réalisée par le pixel central et les pixels périphériques de la deuxième portion ; (e) comparer les mesures des étapes (b) et (d).
2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les étapes (a) à (e) sont réitérées pour différentes paires de filtres colorés.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les mesures des étapes (b) et (d) sont réalisées pour des éclairements des première et deuxième portions de longueurs d'onde variables.
4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel, dans la deuxième portion (30, 40, 52, 54, 56, 58), les pixels périphériques (34, 44) forment une couronne autour du pixel central (32, 42) de deux pixels de large.
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel les étapes (a) et (c) sont réalisées simultanément et les étapes (b) et (d) sont réalisées simultanément.
6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'étape (e) consiste à comparer la mesure de l'étape (b) à la mesure de l'étape (d) réalisée par un pixel directement adjacent au pixel central (32, 42) de la deuxièmeB10500 - 10-GR1-210 16 portion (30, 40, 52, 54, 56, 58), de façon à déterminer la diaphotie entre des pixels adjacents associés à des filtres de la première et de la deuxième couleurs dans différentes directions de la matrice.
7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'étape (e) consiste à comparer la mesure de l'étape (b) à la mesure de l'étape (d) réalisée par le pixel central (32, 42) de la deuxième portion (30, 40, 52, 54, 56, 58).
8. Capteur de test constitué d'une matrice de pixels comprenant des premières portions (36, 46, 50) dans lesquelles les pixels sont associés à un filtre coloré d'une première couleur et des deuxièmes portions (30, 40, 52, 54, 56, 58) dans lesquelles un pixel central (32, 42), associé à un filtre coloré d'une deuxième couleur, est entouré de pixels périphériques (34, 44) associés à un filtre coloré de la première couleur.
9. Capteur selon la revendication 8, dans lequel les deuxièmes portions (30, 40, 52, 54, 56, 58) comprennent un pixel central (32, 42) entouré d'une bande de pixels périphériques (34, 44) de deux pixels de large.
10. Capteur selon la revendication 8 ou 9, dans lequel le filtre coloré de la première couleur est un filtre constitué d'une résine noire.