FR2929402A1 - Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel. - Google Patents

Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel. Download PDF

Info

Publication number
FR2929402A1
FR2929402A1 FR0801756A FR0801756A FR2929402A1 FR 2929402 A1 FR2929402 A1 FR 2929402A1 FR 0801756 A FR0801756 A FR 0801756A FR 0801756 A FR0801756 A FR 0801756A FR 2929402 A1 FR2929402 A1 FR 2929402A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
interferogram
diopter
spectrometer according
plane
dimensional
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR0801756A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2929402B1 (fr
Inventor
Yassine Hadjar
Sylvain Blaize
Aurelien Bruyant
Gilles Lerondel
Pascal Royer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Universite de Technologie de Troyes
Original Assignee
Universite de Technologie de Troyes
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Universite de Technologie de Troyes filed Critical Universite de Technologie de Troyes
Priority to FR0801756A priority Critical patent/FR2929402B1/fr
Priority to JP2011502412A priority patent/JP2011516847A/ja
Priority to PCT/FR2009/000279 priority patent/WO2009127794A1/fr
Priority to EP09732105A priority patent/EP2260277A1/fr
Priority to US12/935,772 priority patent/US9683891B2/en
Publication of FR2929402A1 publication Critical patent/FR2929402A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2929402B1 publication Critical patent/FR2929402B1/fr
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2803Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

La présente invention concerne un spectromètre comprenant un dioptre (11), des moyens de capture (15,18) au niveau dudit dioptre (11) d'un interférogramme (12) issu de deux faisceaux d'interférence (F1, F2) et formant des lignes d'interférence (13) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12) appartenant au plan (xOy) du dioptre (11), lesdits moyens de capture (15,18) comprenant un réseau (18) d'éléments de détection (19) agencé pour détecter la répartition spatiale dudit interférogramme (12), caractérisé en ce que ledit réseau (18) d'éléments de détection (19) est bidimensionnel et en ce qu'au moins une partie desdits moyens de capture (15, 18) et ledit interférogramme (12) sont inclinés l'un par rapport à l'autre suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12).La présente invention concerne également un dispositif d'imagerie spectroscopique comprenant des moyens d'émission de deux faisceaux d'interférence (F1, F2) et un tel spectromètre.

Description

SPECTROMÈTRE COMPACT À ÉCHANTILLONAGE: BIDIMENSIONNEL DOMAINE TECHNIQUE La présente invention se rapporte au domaine des spectromètres à Transformée de Fourier.
L'invention se rapporte plus particulièrement à un spectromètre comprenant un 10 dioptre, des moyens de capture au niveau dudit dioptre d'un interférogramme issu de deux faisceaux d'interférence et formant des lignes d'interférence suivant l'axe transversal de l'interférogramme appartenant au plan du dioptre, lesdits moyens de capture comprenant un réseau d'éléments de détection agencé pour détecter la répartition spatiale dudit interférogramme. 15 ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE
Plusieurs types de capteurs spectroscopiques, en particulier à transformée cle Fourier, sont connus de l'état de la technique. 20 Un spectromètre à deux dimensions en optique intégrée est connu de a demande de brevet FR 2,889,587. Dans cette demande, les deux faisceaux d'interférence sont deux ondes contra-propagatives introduites dans un guide d'onde. Des moyens d'échantillonnage sous la forme par exemple de plots 25 nanométriques positionnés le long du guide d'onde permettent un échantillonnage spatial des ondes évanescentes issues de ce champ d'interférence. Le capteur est monodimensionnel et permet de capter les lignes d'interférence de l'interférogramme sur toute leur largeur, ce qui rend possible le contrôle de la résolution du capteur. 30 L'inconvénient de la solution décrite dans cette demande réside dans la limitation de la bande spectrale d'analyse du capteur. Cette limitation est due à5 l'écartement entre les plots nanométriques qui ne peut descendre en dessous d'une certaine valeur. En effet, en dessous de cette valeur, des problèmes de diffraction de la lumière empêchent des mesures satisfaisantes par le spectromètre. Le système décrit ne permet alors pas de reconstituer, par transformée de Fourier inverse, la totalité du spectre puisque l'interférogramme est sous-échantillonné, par perte des composantes de haute fréquence.
Également, une solution complémentaire de celle décrite ci-dessus consiste à utiliser un élément optique, en particulier une lentille de projection, afin d'agrandir la dimension de l'interférogramme û et donc des lignes d'interférence û au niveau du capteur. Pour cela, l'interférogramme est projeté sur un écran par conjugaison avec la lentille. Il est ainsi possible de régler la résolution via le grandissement de la lentille, de façon à suréchantillonner l'interférogramme. Dès lors, la limitation de la bande spectrale par les effets de diffraction de la lurnière sont diminués.
Cette solution implique cependant de disposer une lentille entre le capteur et le dioptre et d'éloigner le capteur de manière significative. Par conséquent, un tel spectromètre est extrêmement volumineux.
Enfin, des capteurs spectroscopiques compacts sont connus de la demande de brevet US 2002/0075483. Dans cette demande, des ondes stationnaires sont échantillonnées par un capteur ultra-fin constitué d'une membrane en vibration. Un miroir disposé en aval du capteur reflète la lumière issue d'un faisceau lumineux et ayant traversé le capteur de sorte à ce qu'elle se superpose avec celle issue du même faisceau lumineux et arrivant sur ce capteur. L'interférogramme est alors situé dans le plan central de la membrane. Cette dernière vibre de sorte à balayer au moins une partie cle l'interférogramme, ce qui permet d'augmenter la résolution spectrale.
L'inconvénient de cette solution réside néanmoins dans la limitation d'amplitude de vibration de la membrane. Cette limitation est due à la nécessaire courbure de la membrane au-delà d'une certaine amplitude de vibration, ce qui fausse la mesure spectrale de manière significative. Or, puisque c'est l'amplitude de vibration qui déterrnine la résolution, il apparaît qu'un tel spectromètre est limité en résolution spectrale.
D'autres solutions existent enfin pour réaliser un capteur spectroscopique compact, en particulier des capteurs à dispersion par réseau de Bragg ou des interféromètres de Michelson stationnaires et dynamiques. Néanmoins, ces capteurs ne permettent pas d'obtenir une haute résolution sans nécessairement être limités en termes de bande spectrale d'analyse ou être volumineux.
Ainsi toutes les solutions de l'état de la technique impliquent un nécessaire compromis entre, d'un côté, la résolution spectrale et, d'un autre côté, la bande spectrale d'analyse et la compacité.
OBJET DE L'INVENTION
Le but de la présente invention est de remédier aux inconvénients des capteurs selon l'état de la technique, en proposant un spectromètre compact, large bande spectrale et haute résolution spectrale. L'invention vise à cet effet la suppression d'un compromis entre la bande spectrale et la résolution spectrale, tout en assurant une certaine compacité du spectromètre.
Dans ce but, l'invention propose que le réseau d'éléments de détection soit bidimensionnel, et qu'au moins une partie desdits rnoyens de capture et l'interférogramme soient inclinés l'un par rapport à. l'autre suivant l'axe transversal de l'interférogramme.
Cette inclinaison peut être obtenue de deux manières différentes : soit en inclinant physiquement une partie des moyens de capture par rapport au plan clu dioptre, soit en inclinant l'interférogramme via un moyen de retard de phase bidimensionnel. Une combinaison de ces deux manières de procéder peut également être envisagée.
Il est connu qu'un interférogramme issu de deux faisceaux d'incidence contrapropagatifs donne lieu à un ensemble de lignes d'interférence parallèles entre elles. De plus, cet interférogramme est invariant suivant l'axe des lignes.
L'inclinaison de l'interférogramme par rapport à une partie au moins des moyens de capture permet de décaler entre elles plusieurs lignes du réseau de détecteurs, par rapport aux lignes d'interférence de l'interférogramme, ceci tout en maintenant la distance entre chaque élément de détection. Dans ces conditions, chaque ligne décalée apporte une information complémentaire par rapport à celles obtenues par les autres lignes. Le pas d'échantillonnage n'est alors plus l'espacement entre les éléments de détection, mais le décalage de ces éléments d'une ligne à l'autre, et par conséquent il est possible de suréchantillonner de façon à obtenir une haute résolution spectrale tout en disposant d'une bande spectrale élargie.
Dans un mode de réalisation visant à incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre, le spectromètre comprend au moins un moyen de retard de phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Ainsi l'interférogramme est incliné par rapport à une partie au moins des moyens de capture, ce qui permet d'obtenir l'avantage procuré par l'invention.
Dans un mode de réalisation visant à régler la position de l'interférogramme au niveau du dioptre, le spectromètre comprend au moins un moyen de retard de phase monodimerisionnel agencé pour retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence de sorte à déplacer la position du centre de l'interférogramme suivant l'axe transversal de l'interférogramme.
Afin d'obtenir en sortie du spectromètre la discrimination du spectre de la lumière dont sont issus les deux faisceaux d'interférence, le spectromètre comprend des moyens de calcul reliés au moins en partie au réseau bidimensionnel d'éléments de détection pour le traitement des données expérimentales mesurées par au moins une partie des éléments de détection et la reconstitution de la distribution spectrale d'au moins l'un des deux faisceaux d'interférence.
Selon un mode de réalisation particulier, chaque élément de détection est un élément transducteur. Un type d'élément transducteur particulier peut être un pixel, par exemple ,d'un capteur CCD ou CMOS.
Deux types de configurations sont possibles en fonction des angles d'incidence des deux faisceaux d'incidence. Dans la première configuration, dite champ sombre , l'angle d'incidence de chacun des deux faisceaux d'interférence sur le plan du dioptre est inférieur à l'angle critique de réflexion totale. Dans la seconde configuration, dite ondes évanescentes , l'angle d'incidence de chacun des deux faisceaux d'interférence sur le plan du dioptre est supérieur à l'angle critique de réflexion totale.
Dans le cas où l'angle d'incidence de chacun des deux faisceaux d'interférence sur le plan du dioptre est inférieur à l'angle critique de réflexion totale, c'est-à-dire en configuration dite champ sombre , le réseau bidimensionnel d'éléments de détection est incliné par rapport à l'interférogramme suivant l'axe transversal de l'interférogramme. L'interférogramme est ainsi disposé sur le réseau bidimensionnel d'éléments de détection et l'inclinaison permet de réaliser un suréchantillonnage de sorte que la résolution soit inférieure au quart de l'interfrange de l'interférogramme.
Selon un premier mode de réalisation de la configuration champ sombre , le réseau bidimensionnel d'éléments de détection est incliné par rapport au plan clu dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Dans ce cas, c'est l'inclinaison du réseau bidimensionnel d'éléments de détection qui permet le décalage des lignes d'éléments de détection par rapport à l'interférogramme. Il est également possible dans ce mode de réalisation d'adjoindre au spectromètre un moyen de retard de phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme, à condition que l'inclinaison provoquée par ce moyen de retard bidimensionnel soit différente celle du réseau bidimensionnel d'éléments de détection.
Suivant un deuxième mode de réalisation de la configuration champ sombre , le réseau bidimensionnel d'éléments de détection est parallèle au plan du dioptre et le spectromètre comprend au moins un moyen de retard de phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme.
Dans chacun de ces modes de réalisation en configuration champ sombre , deux types de configuration sont possibles. Dans la première configuration, le réseau bidimensionnel d'éléments de détection est très proche du dioptre de façon à ce situer dans la zone éclairée par les deux faisceaux d'interférence. Le réseau bidimensionnel d'éléments de détection reçoit ainsi directement la lumière issue des deux faisceaux d'interférence. Il est prévu dans cette configuration que les moyens de capture comprennent également un gel d'indice disposé entre ledit réseau bidimensionnel d'éléments de détection et ledit dioptre, et au contact dudit réseau et dudit dioptre de sorte à réduire les réflexions multiples entre ledit réseau et ledit dioptre.
Dans la deuxième configuration, le réseau bidimensionnel d'éléments de détection est éloigné du dioptre de façon à se situer dans une zone sombre non éclairée par les deux faisceaux d'interférence. Le réseau bidimensionnel d'éléments de détection ne reçoit pas ainsi la lumière issue des deux faisceaux d'interférence. Il est prévu dans cette configuration que les moyens de capture comprennent également un réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion agencés pour projeter l'interférogramme sur le réseau bidimensionnel d'éléments de détection par diffusion d'ondes propagatives.
Dans le cas où l'angle d'incidence de chacun des deux faisceaux d'interférence sur le plan du dioptre est supérieur à l'angle critique de réflexion totale, c'est-à-dire en configuration dite ondes évanescentes , les moyens de capture comprennent également un réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion agencés pour projeter l'interférogramme sur le réseau bidimensionnel d'éléments de détection par diffusion d'ondes évanescentes, ledit réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion étant incliné par rapport à l'interférogramme suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Il est ainsi possible de disposer l'interférogramme sur le réseau bidimensionnel d'éléments de détection via le réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion située entre le réseau bidimensionnel d'éléments de détection et le dioptre. Cela permet alors de réaliser un suréchantillonnage de sorte que la résolution soit inférieure au quart de l'interfrange de l'interférogramme.
Suivant un premier mode de réalisation de la configuration ondes évanescentes , le réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion est incliné par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Dans ce cas, c'est l'inclinaison du réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion qui permet le décalage des lignes d'éléments de détection par rapport à l'interférogramme. Il est également possible dans ce mode de réalisation d'adjoindre au spectromètre un moyen de retard de phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme, à condition que l'inclinaison provoquée par ce moyen de retard bidimensionnel soit différente celle du réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion.
Suivant un deuxième mode de réalisation de la configuration ondes évanescentes , le réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion est parallèle au plan du dioptre et le spectromètre comprend au moins un moyen de retard de phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme.
Dans chacun de ces modes de réalisation de la configuration ondes évanescentes , il est possible de prévoir que le réseau bidimensionnel d'éléments de détection soit incliné par rapport au réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion suivant l'axe transversal de l'interférogramme.
Toujours dans ces modes de réalisation de la configuration ondes évanescentes , il est également possible de prévoir que le réseau bidimensionnel d'éléments de détection soit parallèle au réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion.
De manière avantageuse, chaque élément de détection est superposé à tan élément de diffusion par projection suivant l'axe orthogonal au plan du dioptre.
Une telle configuration centrée des éléments de détection et de diffusion permet de mesurer exactement la projection de l'interférogramme sur chaque élément de détection sans décalage à corriger.
De manière avantageuse, la largeur d'au moins une partie des éléments de diffusion est très inférieure au quart de l'interfrange de l'interférogramme. Ainsi la résolution minimale, donnée par le critère de Shannon comme étant le quart de l'interfrange de l'interférogramme, n'est pas limitée par la largeur des éléments de diffusion.
Selon un premier mode particulier de mise en oeuvre, au moins un élément de diffusion est un bâtonnet de longueur égale à la longueur d'un élément de détection.
Selon un deuxième mode particulier de mise en oeuvre, au moins un élément de diffusion est un plot diffusant. Selon un troisième mode particulier de mise en oeuvre, au moins un élément de diffusion est un point diffusant.
Selon un premier mode de réalisation du spectromètre, celui-ci comprend un prisme isocèle agencé de manière à ce que le dioptre soit constitué par une partie au moins des faces arrières du prisme, et à ce que les faisceaux d'interférence arrivent sur la face avant du prisme en incidence normale cle manière symétrique par rapport au plan médian de ladite face avant qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière cludit prisme. II est ainsi possible de réaliser un spectromètre très compact où l'inclinaison de l'interférogramme par rapport au réseau bidimensionnel d'éléments de détection permet de contrôler la résolution spectrale et la bande spectrale d'analyse.
Dans un mode de réalisation visant à régler la position de l'interférogramme au niveau du dioptre, le spectromètre comprend au moins un moyen de retard cle phase monodimensionnel agencé pour retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence de sorte à déplacer la position du centre cle l'interférogramme suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Parmi ces moyens de retard de phase monodimensionnel, au moins un est disposé contre l'une des deux demi-faces avant de la face avant du prisme isocèle, chaque demi-face avant étant formée par l'intersection de la face avant avec le plan médian de ladite face avant qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière dudit prisme.
Dans un mode de réalisation visant à incliner l'interférogramme par rapport au plan du dioptre, le spectromètre comprend au moins un moyen de retard cle phase bidimensionnel agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence afin d'incliner l'interférogramme par rapport au plan clu dioptre suivant l'axe transversal de l'interférogramme. Parmi ces moyens de retard de phase bidimensionnel, il peut être prévu qu'au moins un soit disposé contre l'une des deux demi-faces avant de la face avant du prisme isocèle, chaque demi-face étant formée par l'intersection de la face avant avec le plan médian de ladite face avant qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux 9 faces arrière dudit prisme. Il peut être également prévu qu'au moins un soit disposé contre l'une des deux face arrière du prisme isocèle.
Selon un deuxième mode de réalisation du spectromètre, celui-ci comprend un moyen de transduction et un prisme isocèle agencé de manière à ce que le dioptre soit constitué par une partie au moins d'une face arrière, à ce qu'un faisceau d'interférence arrive sur ledit moyen de transduction placé contre ledit dioptre en incidence normale après avoir traversé l'autre face arrière puis avoir été réfléchi sur la face avant, et à ce que l'autre faisceau d'interférence arrive directement sur ledit dioptre, sur lequel il est réfléchi du fait de la présence dudit moyen de transduction.
Dans tous ces modes de réalisation utilisant un prisme isocèle, il peut être avantageusement prévu que ce prisme soit un prisme isocèle rectangle. L'invention propose également un dispositif d'imagerie spectroscopique comprenant des moyens d'émission de deux faisceaux d'interférence et un spectromètre selon l'un quelconque des modes de réalisation ci-dessus.
20 Selon un mode particulier de mise en oeuvre de ce dispositif, les moyens d'émission comprennent une source lumineuse émettant un faisceau lumineux, un moyen de séparation de ce faisceau lumineux en deux faisceaux d'interférence, et des moyens de guidage et de collimation de ces deux faisceaux d'interférence vers le dioptre de sorte à localiser l'interférogramme issu de deux 25 faisceaux d'interférence au niveau du plan dudit dioptre.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée d'un 30 exemple non limitatif de réalisation, accompagné de figures annexées représentant respectivement : - la figure 1, un schéma de principe d'un spectromètre selon un premier mode cle15 réalisation de l'invention en configuration dite champ sombre , - la figure 2, une vue de dessus du spectromètre illustrant un deuxième mode cle réalisation de l'invention en configuration dite champ sombre , - la figure 3, un schéma de principe d'un spectromètre un premier mode cle réalisation de l'invention en configuration dite onde évanescentes , - la figure 4, une vue de dessus du spectromètre illustrant un deuxième mode de réalisation de l'invention en configuration dite ondes évanescentes , - la figure 5, une vue de dessus du spectromètre selon les premier et deuxième modes de réalisation de l'invention en configuration ondes évanescentes , - la figure 6, un graphe de la répartition d'intensité mesurée par le spectromètre selon ces premier et deuxième modes de réalisation en configuration ondes évanescentes , - la figure 7, une vue de dessus du spectromètre illustrant un troisième mode de réalisation de l'invention en configuration dite ondes évanescentes , - la figure 8, une vue de dessus du spectromètre selon le troisième mode de réalisation de l'invention en configuration ondes évanescentes , - la figure 9, une vue de coupe du spectromètre illustrant une première configuration permettant d'obtenir un système d'interférence par séparation du front d'onde , - la figure 10, une vue de coupe du spectromètre illustrant une deuxième configuration permettant d'obtenir un système d'interférence par séparation du front d'onde , - la figure 11, une vue de coupe du spectromètre illustrant une seconde configuration permettant d'obtenir le système d'interférence par rétro- réflexion , et - la figure 12, un schéma du dispositif d'imagerie spectroscopique selon l'invention.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La figure 1 représente un schéma de principe d'un spectromètre un premier mode de réalisation de l'invention en configuration dite champ sombre .30 Le spectromètre dans cette configuration comprend un dioptre 11, des moyens de capture 18, et des moyens de calcul 20.
Le spectromètre permet la mesure de la distribution spectrale d'une source lumineuse préalablement séparée en deux faisceaux lumineux d'interférence F1 et F2, ces deux faisceaux étant collimatés, mis en forme et projetés sur le dioptre pour former un système d'interférences, ou interférogramme.
Le dioptre 11 est un plan transparent situé dans le plan (xOy) et séparant deux demi-plans d'indices de réfraction différents. Il est agencé pour localiser dans son plan l'interférogramme 12 issu des deux faisceaux d'interférence F1 et F2. Les deux faisceaux F1 et F2 arrivent sur le dioptre 11 en faisant un angle 0 avec l'axe transversal (C)z) du dioptre 11. Ils forment un champ d'interférences 12 (ou interférogramme) constitués de lignes d'interférence 13 selon la direction transversale (Ox) de l'interférogramme appartenant au plan (xOy) du dioptre 11. Ces lignes 13 correspondent à une succession de franges sombres et brillantes.
Les moyens de capture 18 comprennent un réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 situé dans un plan parallèle au plan du dioptre 11. Les éléments de détection 19 sont disposés de manière équidistante sur l'ensemble du réseau bidimensionnel 18. Les éléments de détection 19 sont des éléments transducteurs photosensibles aptes à détecter une partie de l'interférogramme.
Les moyens de calcul 20 sont reliés au réseau bidimensionnel 18. Plus précisément, chaque élément de détection 19 du réseau 18 est relié auxdits moyens de calcul 20. Ces moyens de calcul réalisent le traitement des données expérimentales mesurées par chaque élément de détection 19 et la reconstitution de la distribution spectrale d'au moins l'un des deux faisceaux d'interférence (F1, F2), ou de la source lumineuse à l'origine de ces deux faisceaux (F1, F2). Pour cela, les signaux électriques obtenus par le réseau 18 sont filtrés et traités numériquement pour reconstituer, par transformée de Fourier inverse, ladite distribution spectrale.
Selon un mode particulier de réalisation, un moyen de retard de phase 23 peut être disposé de sorte à être traversé par l'un des deux faisceaux d'interférence. Ce moyen de retard de phase 23 est une ligne à retard de phase. Elle est traversée par le faisceau F1 et introduit pour ce faisceau le même déphasage quel que soit le plan d'incidence (yOz) où l'on se trouve, le déphasage étant ainsi indépendant de la composante transversale (Ox). Cette ligne 23 permet ainsi cle déplacer et de contrôler la position de la frange brillante centrale le long de l'axe (Oy).
On définit l'angle critique Oc comme l'angle au-delà duquel on obtient une réflexion totale interne des faisceaux au niveau du dioptre 11. Par exemple, pour un dioptre séparant un milieu d'indice n=1,5 (demi-espace inférieur) de l'air d'indice 1 (demi-espace supérieur), cet angle Oc vaut 45°. Dans ce cas particulier où l'angle d'incidence 0 est inférieur à cet angle critique Oc, les faisceaux d'incidence F1, F2 traversent le dioptre 11 et arrivent sur le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19. On parle alors de configuration champ sombre .
Selon ce premier mode de réalisation en champ sombre, le réseau bidimensionnel 18 n'est pas incliné par rapport au plan (xOy) du dioptre 11. Un moyen de retard de phase à deux dimensions 24 est clisposé de sorte à être traversé par l'autre faisceau d'interférence. Ce moyen de retard de phase 24 est une ligne à retard de phase bidimensionnelle. Elle est traversée par le faisceau F2 et introduit un déphasage différent selon la direction transversale (Ox), ce déphasage pouvant être incrémentai ou linéaire. Le faisceau F2 traversant la ligne à retard de phase 24 présente alors une distribution transversale de sa phase contrôlée par la structure de la ligne 24. Le moyen 24 peut être par exemple un élément transparent à gradient d'indice ou un miroir incliné. Dans les deux cas, il permet de générer une différence de marche qui augmente de manière linéaire ou par étapes selon la direction (Ox).
Le faisceau lumineux F2 passant par la ligne 24 et combiné au faisceau F1 permet d'obtenir un système de lignes d'interférence brillantes et sombres inclinées d'un angle a par rapport à l'axe (Ox).
Dans ce mode de réalisation, le réseau bidimensionnel 18 d'éléments cle détection 19 est situé à une très faible distance du dioptre 11 de façon à se situer dans la zone éclairée par les deux faisceaux d'interférence. Les moyens cle capture comprennent alors également un gel d'indice 21 situé entre le réseau bidimensionnel d'éléments de détection 19 et le dioptre, et au contact de ceux-ci. Cela permet d'éviter des réflexions multiples entre le réseau 18 et le dioptre, qui pourraient causer des lumières parasites faussant la mesure sur l'interférogramme 12.
Dans un autre mode de réalisation, le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 est éloigné du dioptre 11 de façon à se situer dans une zone sombre non éclairée par les deux faisceaux d'interférence. Les moyens cle capture comprennent alors également un réseau bidimensionnel d'éléments de diffusion agencés pour projeter l'interférogramme 12 sur le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 par diffusion d'ondes propagatives.
La figure 2 représente une vue de dessus du spectromètre illustrant un deuxième mode de réalisation de l'invention en configuration dite champ sombre .
Le spectromètre selon ce mode de réalisation ne comporte pas de moyen de retard de phase 24. Le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 est incliné d'un angle a par rapport au plan (xOy) du dioptre 11 suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme 12. Le réseau 18 est ainsi incliné par rapport aux lignes d'interférences 13. Dans ce cas, le moyen de retard de phase 24 est rendu inutile car il n'est pas nécessaire d'incliner les lignes d'interférences.
Dans ces conditions, le résultat obtenu au niveau de la détection est donc le même que celui fourni par le spectromètre selon le premier mode de réalisation et illustré par la figure 1. En effet, il est équivalent d'incliner les lignes d'interférences 13 d'un angle a et de maintenir le réseau 18 parallèle à l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme 12, ou d'incliner le réseau 18 d'un angle a et de maintenir les lignes d'interférences 13 parallèles à l'axe transversal (Ox) cle l'interférogramme 12.
La figure 3 représente un schéma de principe d'un spectromètre un premier mode de réalisation de l'invention en configuration dite < ondes évanescentes .
Le spectromètre dans cette configuration comprend de la même façon un dioptre 11, des moyens de capture 18, et des moyens de calcul 20.
Dans ce cas particulier où l'angle d'incidence O est supérieur à cet angle critique Oc, les faisceaux d'incidence F1, F2 sont totalement réfléchis au niveau du dioptre 11 et une onde évanescente se forme du côté de l'espace de faible indice (demi-espace supérieur). On parle alors de configuration ondes évanescentes .
Les moyens de capture 18 comprennent un réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 et un réseau bidimensionnel 15 d'éléments de diffusion 16. Ces deux réseaux sont situés dans un plan parallèle au plan du dioptre 11.
Le réseau bidimensionnel 15 d'éléments de diffusion 16 est situé dans un plan parallèle au plan du dioptre 11, au-dessus du plan dudit dioptre 11 et en contact avec l'onde évanescente. Les éléments de diffusion 16 sont disposés de manière équidistante sur l'ensemble du réseau bidimensionnel 15. Les moyens de détection comprennent un réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 également situé dans un plan parallèle au plan du dioptre 11, au-dessus du plan du réseau bidimensionnel 15 d'éléments de diffusion 16. Les éléments de détection 19 sont disposés de manière équidistante sur l'ensemble du réseau bidimensionnel 18.
Avantageusement, chaque élément de diffusion 16 est associé à un élément cle détection 19. La projection d'un élément de diffusion 16 sur le plan du réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 est confondue avec l'élément de détection 19 associé audit élément de diffusion 16. Dans une telle configuration, 10 chaque élément cle diffusion 16 est parfaitement centré en dessous d'un détecteur 19. Le réseau 15 d'éléments de diffusion 16 et le réseau 18 ce détecteurs 19 coïncident.
Avantageusement, un moyen de retard de phase 23 peut être disposé cle 15 manière identique à celui dans le premier mode de réalisation en champ sombre illustré par la figure 1.
Dans cette configuration, l'angle d'incidence O des faisceaux d'interférence F 1, F2 est supérieur à l'angle critique Oc de réflexion totale. Des ondes évanescentes 20 sont alors générées et localisées en surface du côté de faible incidence du dioptre 11. Dans ces conditions, aucun faisceau ne se propage au-delà du dioptre 11. La distribution d'intensité au niveau de l'onde évanescente reflète exactement celle de l'interférogramme produit par la réflexion totale interne des faisceaux F1 et F2. Le signal échantillonné de cette distribution d'intensité sur le 25 dioptre 11 est obtenu en combinant le réseau 15 d'éléments diffusants 16 et ie réseau 18 d'éléments de détection 19.
La forme et la hauteur des éléments diffusants 16 peuvent être choisies afin d'optimiser l'efficacité d'extraction de l'onde évanescente vers les détecteurs 19, 30 en utilisant le maximum de surface utile du détecteur 19 associé à cet élément de diffusion 16. Un exemple de forme peut être des bâtonnets dont la largeur serait bien inférieure au quart de l'interfrange et de longueur le long d'une frange serait du même ordre que celle du détecteur. En cas de saturation des détecteurs, on peut alors réduire la longueur des bâtonnets jusqu'à obtenir des points ou plots.
Selon ce premier mode de réalisation en configuration ondes évanescentes , un moyen de retard de phase à deux dimensions 24 est disposé de sorte à être traversé par l'autre faisceau d'interférence. Ce moyen de retard de phase 24 est une ligne à retard de phase bidimensionnelle. Elle est traversée par le faisceau F2 et introduit un déphasage différent selon la direction transversale (Ox), ce déphasage pouvant être incrémentai ou linéaire. Le faisceau F2 traversant la ligne à retard de phase 24 présente alors une distribution transversale de sa phase contrôlée par la structure de la ligne 24. Le moyen 24 peut être par exemple un élément transparent à gradient d'indice ou un miroir incliné. Dans les deux cas, il permet de générer une différence de marche qui augmente cle manière linéaire ou par étapes selon la direction (Ox). Le faisceau lumineux F2 passant par la ligne 24 et combiné au faisceau F1 permet d'obtenir un système de lignes d'interférence brillantes et sombres inclinées d'un angle a par rapport à l'axe (Ox).
La figure 4 représente une vue de dessus du spectromètre illustrant un deuxième mode de réalisation de l'invention en configuration dite ondes évanescentes .
Selon ce deuxième mode de réalisation, les réseaux bidimensionnels 15 et 18 d'éléments de diffusion 16 et de détection 19 sont inclinés d'un angle a par rapport à l'axe (Ox) du plan du dioptre 11. Les éléments de diffusion 16 et de détection 19 sont parfaitement alignés. Dans ce mode, dit configuration centrée , les deux réseaux 15 et 18 sont ainsi inclinés par rapport aux lignes d'interférences 13. Dans ce cas, le moyen de retard de phase 24 est rendu inutile car il n'est pas nécessaire d'incliner les lignes d'interférences. Dans ces conditions, le résultat obtenu au niveau de la détection est donc le même que celui fourni par le spectromètre selon le premier mode de réalisation en configuration ondes évanescentes . En effet, il est équivalent d'incliner les lignes d'interférences 13 d'un angle a et de maintenir les réseaux 15 et 18 parallèles à l'axe transversal (Ox) du dioptre 11, ou d'incliner les réseaux 15 et 18 d'un angle a et de maintenir les lignes d'interférences 13 parallèles à l'axe transversal (Ox) du dioptre 11. La figure 5 représente une vue de dessus du spectromètre selon les premier et deuxième modes de réalisation de l'invention en configuration ondes évanescentes .
10 Comme illustré en figure 5, il est possible de réaliser un suréchantillonnage r de sorte que r soit inférieur au quart de l'interfrange, tout en gardant un espacement entre les colonnes d'éléments de diffusion 16 parallèles à l'axe (Ox) qui soit égal à la taille P des pixels (en anglais pixel pitch ). Plus précisément, P désigne la période du réseau de détecteurs et tend vers la taille du pixel dans 15 le cas où l'espacement entre pixels est faible. Dans un mode de réalisation particulier où l'interférogramme ne serait pas périodique, l'interfrange minimale serait prise en compte pour définir la résolution maximale de l'échantillonnage et qui correspond au pas d'échantillonnage minimum ru,.
20 La figure 6 est un graphe de la répartition d'intensité mesurée par le spectromètre selon ces premier et deuxième modes de réalisation en configuration ondes évanescentes .
Comme illustré en figures 5 et 6, les détecteurs 19 situés en colonne a et 25 lignes 1 à N fournissent un échantillonnage de la distribution d'intensité le long de cette colonne a . Les points 1 a à Na donnent l'intensité du champ d'interférence aux points correspondants du réseau 18. La résolution maximale de cet échantillonnage transversal dépend de l'angle d'inclinaison a entre les lignes d'interférence 13 et les colonnes des réseaux 15 et 18, ainsi que de la 30 taille P des pixels. Le critère de Shannon impose que le pas d'échantillonnage minimum ru, soit inférieur ou égal au quart de l'interfrange minimale de l'interférogramme 12.5 La résolution en longueur d'onde du spectromètre selon l'invention est liée à la composante longitudinale dans le plan d'incidence et fait intervenir une condition sur la largeur des faisceaux projetée sur le plan d'incidence (yOz). Sa bande spectrale d'analyse est liée à la composante transversale (perpendiculaire au plan d'incidence) et fait intervenir une condition sur la taille transversale des faisceaux selon l'axe (Ox). Les performances dépendent également de la précision avec laquelle est réalisée et contrôlée l'inclinaison des lignes d'interférences 13 par rapport aux réseaux 15 et 18. Par conséquent, un spectromètre conforme à ce mode de réalisation présente l'avantage d'avoir une résolution et une bande spectrale d'analyse qui ne dépendent pas de la taille des pixels.
Le raisonnement illustré par les figures 5 et 6 s'applique également aux deux modes de réalisation de l'invention en configuration champ sombre , illustrée par les figures 1 et 2.
La figure 7 représente une vue de dessus du spectromètre illustrant un deuxième mode de réalisation de l'invention en configuration dite ondes évanescentes . 20 Selon le troisième mode de réalisation, le réseau bidimensionnel 15 d'éléments de diffusion est incliné d'un angle a par rapport à l'axe (Ox) du plan du dioptre 11. Le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 est parallèle au plan du dioptre 11. Les éléments de diffusion 16 et de détection 19 sont inclinés d'un 25 angle a suivant l'axe (Ox) du plan du dioptre 11. Dans ce mode, dit configuration décentrée , seul le réseau 15 est incliné par rapport aux lignes d'interférence 13. En inclinant les colonnes d'éléments de diffusion 16 par rapport à l'axe (Ox), les réseaux de diffuseurs 16 et de capteurs 19 ne sont plus superposés. Cette inclinaison d'un angle a prédéterminé peut être obtenue par 30 un procédé de fabrication de grilles en surface par holographie à deux faisceaux. Ce type de procédé permet d'inscrire les diffuseurs 16 à la surface du dioptre Il avec une excellente maîtrise de l'angle d'inclinaison a sur l'ensemble des colonnes.
La figure 8 représente une vue de dessus du spectromètre selon le troisième mode de réalisation de l'invention en configuration ondes évanescentes . 5 La figure 6 illustre également les résultats obtenus selon ce troisième mode de réalisation. Les diffuseurs 16 sont dans ce cas décalés progressivement par rapport aux centres des détecteurs 19. Le décalage dépend de l'angle d'inclinaison a. La ligne d'interférence 13 est parallèle à l'axe (0x). Les 10 détecteurs 19 situés en colonne a et lignes 1 à N fournissent un échantillonnage de la distribution d'intensité le long de cette colonne a , comme illustré en figure 6. Les points 1 a à Na donnent l'intensité du champ d'interférence 12 aux points correspondants du réseau 18, de façon similaire à celle obtenue par le spectromètre selon les deux premiers modes de 15 réalisation décrits ci-dessus. Ainsi la même information est obtenue au niveau du spectromètre que celle obtenue par la configuration selon les deux premiers modes de réalisation.
Les figures 9, 10 el 11 représentent des configurations pour des applications de 20 capteurs spectroscopiques. Dans chacune de ces configurations, l'élément de transduction réalisant la fonction spectroscopique peut être disposé uniquement sur une seule face d'un prisme et n'est représenté qu'à titre d'illustration.
La figure 9 représente une vue de coupe du spectromètre illustrant une première 25 configuration permettant d'obtenir un système d'interférence par séparation du front d'onde .
Le spectromètre comporte un prisme isocèle 41. Ce prisme isocèle 41 est formé de cinq faces : une face avant (44), deux faces arrière (42,43), une face de 30 dessus et une face de dessous. Lesdites faces de dessus et de dessous forment chacune un triangle isocèle. Il est agencé de manière à ce que le dioptre soit constitué à présent par une partie au moins des faces arrière 42 et 43 du prisme 20 41. Dans ce cas, les faisceaux d'interférence F1 et F2 arrivent sur la face avait 44 du prisme 41 en incidence normale de manière symétrique par rapport a.0 plan médian de ladite face avant 44 qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière 42 et 43 dudit prisme 41. Chaque faisceau est ainsi réparti suivant l'un des deux côtés de ce plan médian. L'angle du prisme détermine l'angle d'incidence des deux faisceaux. En particulier, un prisme isocèle rectangle correspond à un angle d'incidence de 45°. La structure ainsi formée avec ce prisme 41 assure une compacité et une stabilité mécanique et thermique du spectromètre.
Le moyen de transduction 25 est disposé contre la face arrière 43 et réalise la fonction de capteur spectroscopique. De façon équivalente à ce qui est obtenu avec un spectromètre selon les trois premiers modes de réalisation, on obtient avec cette configuration un champ d'interférence 12 réparti de manière symétrique entre les deux faces arrière (42,43) du prisme isocèle 41. En effet, avec cette configuration, le faisceau F1 traverse le moyen 23 puis le prisme 41, avant d'être réfléchi sur la face arrière 42 du prisme. De même, le faisceau F2 traverse le moyen 24 puis le prisme 41, avant d'être réfléchi sur la face arrière 43 du prisme. Le champ d'interférence se forme donc sur les faces 42 et 43. Par exemple les interférences sur la face 42 correspondent aux interférences entre le faisceau lumineux F1 envoyé sur ladite face 42 et le faisceau F2 envoyé sur ladite face 42 après réflexion sur la face 43.
Le moyen de retard de phase monodimensionnel 23 est disposé contre l'une des deux demi-faces avant 44' ou 44" de la face avant 44 clu prisme 41. Chacune des deux demi-faces avant 44' et 44" est formée par l'intersection de la face avant 44 avec le plan médian de ladite face avant 44 qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière 42 et 43 dudit prisme 41. On entendra par la suite que chaque demi-face avant (44',44") du prisme 41 est ainsi constituée. Dans cette configuration, le moyen 23 est disposé du côté du faisceau F1. Il permet de retarder le faisceau F1 de manière à décaler la frange centrale loin du sommet du prisme 41. Cela permet de minimiser les effets de la lumière parasite diffusée au sommet.
Le moyen de retarcl de phase bidimensionnel 24 est disposé contre la demi-face avant 44" de la face avant 44 du prisme 41, la première demi-face 44' étant déjà 5 occupée par le moyen de retard de phase 23.
La figure 10 représente une vue de coupe du spectromètre illustrant une deuxième configuration permettant d'obtenir un système d'interférence par séparation du front d'onde . 10 Le moyen de retard de phase bidimensionnel 24 est disposé cette fois-ci contre la face arrière 43 du prisme isocèle 41. Ce choix de la face arrière 43 est dû eu fait que le moyen de retard de phase 23 est disposé contre la demi-face avant 44'. La partie inférieure du faisceau F2 subit une réflexion avec un déphasage 15 selon l'axe (Ox) qui dépend du moyen 24. Dans ce cas, le moyen 24 peut être un miroir à retard de phase ou un miroir incliné d'un angle a.
Le moyen de transduction 25 est disposé sur la face arrière 43 et joue aussi le rôle de moyen de retard de phase monodimensionnel 23 ou bidimensionnel 24. 20 Ce transducteur 25 permet de réaliser des applications de capteurs. En étant en contact avec le milieu à analyser, il peut induire : - un déphasage ou une modification du spectre de réflexion (activation de surface sur miroir diélectrique dont l'indice de réfraction dépend du milieu extérieur), - une variation d'angle de réflexion ou une absorption (plasmons de surface), et 25 - un découplage vers l'extérieur du prisme (réseaux de Bragg).
La figure 11 représente une vue de coupe du spectromètre illustrant une seconde configuration permettant d'obtenir le système d'interférence par rétro-réflexion . Le spectromètre comporte un prisme à angle droit et un élément 25 qui joue le rôle d'un miroir. Le faisceau F1 arrive sur la face 52 puis est réfléchi sur la face 22 30 54 afin d'arriver sur l'élément 25 placé contre la face 53. Le faisceau F2 arrive directement sur la face 53, sur laquelle il est réfléchi du fait de la présence de l'élément 25. Il se forme alors l'interférogramme ou onde stationnaire entre les faces 53 et 54, qui le système de détection peut capter et mesurer. Selon un autre mode de réalisation, ledit moyen de transduction 25 est combiné avec un élément de retard de phase bidimensionnel.
La figure 12 représente un schéma du dispositif d'imagerie spectroscopique 10 selon l'invention.
Ce dispositif comprend des moyens d'émission des deux faisceaux d'interférence (F1, F2) et un spectromètre conforme à la présente invention.
15 Les moyens d'émission comprennent une source lumineuse 31 émettant un faisceau lumineux, un moyen de séparation 32 de ce faisceau lumineux en deux faisceaux d'interférence F1 et F2 (séparation en amplitude), ainsi que des moyens de guidage et de collimation (33,33') desdits deux faisceaux d'interférence vers le dioptre 11. 20 Le moyen de séparation 32 est constitué par un moyen de séparation optique standard, en particulier un moyen parmi une lame séparatrice, un cube avec une lame demi-onde, des coupleurs en optique fibré, etc.
25 À l'aide des moyens de guidage et de collimation (33,33'), les deux faisceaux lumineux F1 et F2 sont collimatés de sorte à localiser le champ d'interférence 12 sur le dioptre 11. Un faisceau d'interférence de section par exemple rectangulaire peut être obtenu avec un système de microlentilles cylindriques.
30 Les deux faisceaux d'interférence F1 et F2 traversent respectivement les moyens de retard de phase monodimensionnel 23 et bidimensionnel 24 et sont envoyés vers le dioptre 11. Le dioptre 11 peut être par exemple l'une au moins des faces5 du prisme 41. Dans le cas où la détection se fait dans l'air, l'angle d'incidence 0 est supérieur à l'angle critique Oc = Aresin(1/n). Plus précisément, mis à part le dioptre 11, la forme du prisme 41 peut être quelconque : sphérique, trois au plusieurs faces, etc. La connexion permettant de séparer le faisceau lumineux issus de la source 31 en deux faisceaux F1 et F2 est une connexion fibrée. Ce dispositif comporte enfin deux réseaux 15 et 18 d'éléments de diffusion 16 et de détection 19, ainsi que des moyens de calcul 20. 10 Un spectromètre et un dispositif d'imagerie spectroscopique conforme à l'invention peuvent être utilisés pour différentes applications, en particulier pour les applications suivantes : - un dispositif de mesure colorimétrique dans le visible, par exemple pour une 15 bande spectrale 380-730nm avec une résolution de 10nm : un dispositif suffisant présente un angle d'incidence 0=70°, une taille de pixel P=12 m, un angle d'inclinaison a=0,16°, une taille transversale des faisceaux Lx=4,2mm et une largeur de faisceau Lyz=0,01 mm ; - un dispositif de télécommunication dans l'infrarouge, par exemple pour une 20 bande spectrale 1400-1600nm avec une résolution de 1 nm : un dispositif suffisant présente un angle d'incidence 0=70°, une taille de pixel P=12 m, un angle d'inclinaison a=0,6°, une taille transversale des faisceaux Lx=1,2mm et une largeur de faisceau Lyz=0,5mm ; - un dispositif de spectroscopie d'absorption dans l'infrarouge, par exemple pour 25 une bande spectrale 1500-1600nm avec une résolution de 0,2nm : un dispositif suffisant présente un angle d'incidence 0=70°, une taille de pixel P=12 m, un angle d'inclinaison u=1,27°, une taille transversale des faisceaux Lx=0,5mm et une largeur de faisceau Ly=2,2mm.
30 Les modes de réalisation précédemment décrits de la présente invention sont donnés à titre d'exemples et ne sont nullement limitatifs. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l'invention5 sans pour autant sortir du cadre du brevet.
En particulier, il est possible de ne pas intégrer directement le réseau bidimensionnel 18 d'éléments de détection 19 au spectromètre. Dans ce cas, l'assemblage du spectromètre avec le réseau bidimensionnel d'éléments de détection ù en prévoyant l'inclinaison qui convient ù permet également de réaliser la fonction spectroscopique sans pour autant sortir du cadre du brevet.

Claims (1)

  1. REVENDICATIONS1 ù Spectromètre comprenant un dioptre (11), des moyens de capture (15, 18) au niveau dudit dioptre (11) d'un interférogramme (12) issu de deux faisceaux d'interférence (F1, F2) et formant des lignes d'interférence (13) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12) appartenant au plan (xOy) du dioptre (11), lesdits moyens de capture (15, 18) comprenant un réseau (18) d'éléments de détection (19) agencé pour détecter la répartition spatiale dudit interférogramme (12), caractérisé en ce que ledit réseau (18) d'éléments de détection (19) est bidimensionnel et en ce qu'au moins une partie desdits moyens de capture (15, 18) et ledit interférogramme (12) sont inclinés l'un par rapport à l'autre suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 2 ù Spectromètre selon la revendication 1, comprenant au moins un moyen de retard de phase bidimensionnel (24) agencé de sorte à retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence (F1, F2) afin d'incliner l'interférogramme (12) par rapport au plan (xOy) du dioptre (11) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 3 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, comprenant au moins un moyen de retard de phase rnonodimensionnel (23) agencé pour retarder la phase de l'un des deux faisceaux d'interférence (F1, F2) de sorte à déplacer la position du centre de l'interférogramme (12) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 4 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant des moyens de calcul (20) reliés au moins en partie au réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) pour le traitement des données expérimentales mesurées par au moins une partie des éléments de détection (19) et la reconstitution de la distribution spectrale d'au moins l'un des deux faisceaux d'interférence (F1, F2).5 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque élément de détection (19) est un élément transducteur. 6 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, pour lequel l'angle d'incidence de chacun desdits deux faisceaux d'interférence (F I , F2) sur le plan (xOy) du dioptre (11) est inférieur à l'angle critique (Oc) de réflexion totale, dans lequel le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) est incliné par rapport à l'interférogramme (12) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 7 ù Spectromètre selon la revendication 6, dans lequel le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) est incliné par rapport au plan (xOy) du dioptre (11) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 8 ù Spectromètre selon la revendication 6 en dépendance de la revendication 2, dans lequel le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) est parallèle au plan (xOy) du dioptre (11). 9 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, dans lequel les moyens de capture (15,18) comprennent également un gel d'indice (21) disposé entre ledit réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) et ledit dioptre (11), et au contact dudit réseau (18) et dudit dioptre (11) de sorte à réduire les réflexions multiples entre ledit réseau (18) et ledit dioptre (11). 10 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, dans lequel les moyens de capture (15,18) comprennent également un réseau bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16) agencés pour projeter l'interférogramme (12) sur le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) par diffusion d'ondes propagatives. 11 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, pour lequel l'angle d'incidence de chacun desdits deux faisceaux d'interférence (F1,F2) sur le plan (xOy) du dioptre (11) est supérieur à l'angle critique (Oc) de réflexion totale, dans lequel les moyens de capture (15,18) comprennent également un réseau bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16) agencés pour projeter l'interférogramme (12) sur le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) par diffusion d'ondes évanescentes, ledit réseau bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16) étant incliné par rapport à l'interférogramme (12) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 12 ù Spectromètre selon la revendication 11, clans lequel le réseau 10 bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16) est incliné par rapport au plan (xOy) du dioptre (11) suivant l'axe transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 13 ù Spectromètre selon la revendication 11 en dépendance de la revendication 2, dans lequel le réseau bidimensionnel (15) d'éléments de 15 diffusion (16) est parallèle au plan (xOy) du dioptre (11). 14 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 13, dans lequel le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) est incliné par rapport au réseau bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16) suivant l'axe 20 transversal (Ox) de l'interférogramme (12). 15 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 13, dans lequel le réseau bidimensionnel (18) d'éléments de détection (19) est parallèle au réseau bidimensionnel (15) d'éléments de diffusion (16). 16 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 15, dans lequel chaque élément de détection (19) est superposé à un élément de diffusion (16) par projection suivant l'axe orthogonal (Oz) au plan (xOy) du dioptre (11). 30 17 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 16, dans lequel la largeur d'au moins une partie des éléments de diffusion (16) est très inférieure au quart cle l'interfrange de l'interférogramme (1;2). 25 18 û Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 17, dans lequel au moins un élément de diffusion (16) est un bâtonnet de longueur égale à la longueur d'un élément de détection (19). 19 û Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 18, dans lequel au moins un élément de diffusion (16) est un plot diffusant. 20 û Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 11 à 19, dans 10 lequel au moins un élément de diffusion (16) est un point diffusant. 21 û Spectromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant un prisme isocèle (41) agencé de manière à ce que le dioptre (11, 42, 43) soit constitué par une partie au moins des faces arrières (42, 43) du 15 prisme (41), et à ce que les faisceaux d'interférence (F1, F2) arrivent sur la face avant (44) du prisme (41) en incidence normale de manière symétrique par rapport au plan médian de ladite face avant (44) qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière (42, 43) dudit prisme (41). 20 22 û Spectromètre selon la revendication 21 en dépendance de la revendication 3, clans lequel au moins un moyen de retard de phase monodimensionnel (23) est disposé contre l'une des deux demi-faces avant (44', 44") de la face avant (44) du prisme isocèle (41), chaque demi-face avant (44', 44") étant formée par l'intersection de la face avant (44) avec le plan médian de 25 ladite face avant (44) qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière (42, 43) dudit prisme (41). 23 û Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 21 à 22 en dépendance de la revendication 2, dans lequel au moins un moyen de retard de 30 phase bidimensionnel (24) est disposé contre l'une des deux demi-faces avart (44', 44") de la face avant (44) du prisme isocèle (41), chaque demi-face (44', 44") étant formée par l'intersection de la face avant (44) avec le plan médian de5ladite face avant (44) qui coupe l'arête formée par l'intersection des deux faces arrière (42, 43) dudit prisme (41). 24 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 21 à 23 en dépendance de la revendication 2, dans lequel au moins un moyen de retard de phase bidimensionnel (24) est disposé contre l'une des deux face arrière (42,43) du prisme isocèle (41). 25 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 21 à 24, comprenant un moyen de transduction (25) et un prisme isocèle (51) agencé de manière à ce que le dioptre (11, 53) soit constitué par une partie au moins d'une face arrière (53), à ce qu'un faisceau d'interférence (F1) arrive sur ledit moyen de transduction 25 placé contre ledit dioptre (11, 53) en incidence normale après avoir traversé l'autre face arrière (52) puis avoir été réfléchi sur la face avant (54), et à ce que l'autre faisceau d'interférence (F2) arrive directement sur ledit dioptre (11, 53), sur lequel il est réfléchi du fait de la présence dudit moyen de transduction 25. 26 ù Spectromètre selon l'une quelconque des revendications 21 à 25, dans 20 lequel ledit prisme isocèle (41, 51) est un prisme isocèle rectangle. 27 ù Dispositif d'imagerie spectroscopique comprenant des moyens d'émission de deux faisceaux d'interférence (F1, F2) et un spectromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes. 25 28 ù Dispositif d'imagerie spectroscopique selon la revendication 27, dans lequel les moyens d'émission comprennent une source lumineuse (31) émettant un faisceau lumineux, un moyen de séparation (32) de ce faisceau lumineux en deux faisceaux d'interférence (F1, F2), et des moyens de guidage et de 30 collimation (33', 33") de ces deux faisceaux d'interférence (F1, F2) vers le dioptre (11) de sorte à localiser l'interférogramme (12) issu de deux faisceaux d'interférence (F1, F2) au niveau du plan (xOy) dudit dioptre (11).
FR0801756A 2008-03-31 2008-03-31 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel. Expired - Fee Related FR2929402B1 (fr)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0801756A FR2929402B1 (fr) 2008-03-31 2008-03-31 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel.
JP2011502412A JP2011516847A (ja) 2008-03-31 2009-03-17 二次元サンプリングのための小型分光器
PCT/FR2009/000279 WO2009127794A1 (fr) 2008-03-31 2009-03-17 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel
EP09732105A EP2260277A1 (fr) 2008-03-31 2009-03-17 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel
US12/935,772 US9683891B2 (en) 2008-03-31 2009-03-17 Compact spectrometer for two-dimensional sampling

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0801756A FR2929402B1 (fr) 2008-03-31 2008-03-31 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2929402A1 true FR2929402A1 (fr) 2009-10-02
FR2929402B1 FR2929402B1 (fr) 2012-07-13

Family

ID=39926448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0801756A Expired - Fee Related FR2929402B1 (fr) 2008-03-31 2008-03-31 Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9683891B2 (fr)
EP (1) EP2260277A1 (fr)
JP (1) JP2011516847A (fr)
FR (1) FR2929402B1 (fr)
WO (1) WO2009127794A1 (fr)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014195655A1 (fr) * 2013-06-06 2014-12-11 Universite De Technologie De Troyes Dispositif interferometrique et spectrometre correspondant
WO2015044611A1 (fr) 2013-09-27 2015-04-02 Universite De Technologie De Troyes Micro-spectrometre a ondes evanescentes

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3270127A1 (fr) * 2016-07-15 2018-01-17 Micos Engineering GmbH Spectromètre imageur de guide d'onde miniaturisé
EP3270128A1 (fr) 2016-07-15 2018-01-17 Micos Engineering GmbH Spectromètre de guide d'ondes pour effectuer le balayage d'interférogramme intégré
CN108007574B (zh) * 2017-11-17 2019-07-23 西安电子科技大学 分辨率可调型快照式图像光谱线偏振探测装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1426745A1 (fr) * 2001-08-13 2004-06-09 Atnashev, Vitaly Borisovich Procede de spectrometrie et dispositif correspondant
FR2889587A1 (fr) * 2005-08-08 2007-02-09 Univ Grenoble 1 Spectrographie a onde contra-propagative

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07218426A (ja) * 1994-02-07 1995-08-18 Jasco Corp スペクトル検出方法及び装置
US5777736A (en) * 1996-07-19 1998-07-07 Science Applications International Corporation High etendue imaging fourier transform spectrometer
AU2001285454A1 (en) 2000-08-16 2002-02-25 Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Compact transform spectrometer based on sampling a standing wave
US7184616B2 (en) * 2000-11-20 2007-02-27 Aculight Corporation Method and apparatus for fiber Bragg grating production
JP2002221488A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Fuji Photo Film Co Ltd 全反射減衰を利用したセンサー
US6757067B2 (en) * 2002-08-06 2004-06-29 Corning Incorporated Fringe pattern discriminator for grazing incidence interferometer
US7659977B2 (en) * 2006-04-21 2010-02-09 Intel Corporation Apparatus and method for imaging with surface enhanced coherent anti-stokes raman scattering (SECARS)
US20080069497A1 (en) * 2006-09-15 2008-03-20 Yann Tissot Optical waveguide tap monitor
US7675611B2 (en) * 2007-05-21 2010-03-09 Ahura Scientific Inc. Handheld infrared and Raman measurement devices and methods

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1426745A1 (fr) * 2001-08-13 2004-06-09 Atnashev, Vitaly Borisovich Procede de spectrometrie et dispositif correspondant
FR2889587A1 (fr) * 2005-08-08 2007-02-09 Univ Grenoble 1 Spectrographie a onde contra-propagative

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014195655A1 (fr) * 2013-06-06 2014-12-11 Universite De Technologie De Troyes Dispositif interferometrique et spectrometre correspondant
FR3006763A1 (fr) * 2013-06-06 2014-12-12 Univ Troyes Technologie Dispositif interferometrique et spectrometre correspondant
US9696208B2 (en) 2013-06-06 2017-07-04 Universite De Technologie De Troyes Interferometric device and corresponding spectrometer
WO2015044611A1 (fr) 2013-09-27 2015-04-02 Universite De Technologie De Troyes Micro-spectrometre a ondes evanescentes
FR3011325A1 (fr) * 2013-09-27 2015-04-03 Univ Troyes Technologie Micro-spectrometre a ondes evanescentes
US9459149B2 (en) 2013-09-27 2016-10-04 Universite De Technologie De Troyes Evanescent wave microspectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
FR2929402B1 (fr) 2012-07-13
WO2009127794A1 (fr) 2009-10-22
EP2260277A1 (fr) 2010-12-15
US20150116720A1 (en) 2015-04-30
US9683891B2 (en) 2017-06-20
JP2011516847A (ja) 2011-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2734884B1 (fr) Dispositif optique d&#39;éclairage conoscopique a cone creux pour microscope optique et procédé de microscopie optique en conoscopie
EP3394560A1 (fr) Dispositif et procede de mesure de hauteur en presence de couches minces
EP3765835B1 (fr) Ellipsomètre ou scattéromètre instantané et procédé de mesure associé
EP3147646A1 (fr) Dispositif d&#39;imagerie sans lentille et procédé d&#39;observation associé
FR3106417A1 (fr) Dispositif d’imagerie lidar cohérent
BE1027225B1 (fr) Système de mesure par déflectométrie
FR2929402A1 (fr) Spectrometre compact a echantillonage bidimensionnel.
EP3503193B1 (fr) Capteur d&#39;image, permettant d&#39;obtenir une information relative à la phase d&#39;une onde lumineuse
EP0942261A1 (fr) Procédé et dispositif pour la mesure de fonds de cratères dans un analyseur physico-chimique
FR2976663A1 (fr) Dispositif et procede de caracterisation d&#39;un faisceau de lumiere.
EP4094069A1 (fr) Système de capture de valeurs ponctuelles pour constituer une image avec des rayonnements terahertz
FR3081221A1 (fr) Appareil et procede de spectrometrie raman
WO2006037880A1 (fr) Dispositif spectrometrique de coherence
EP1152260B1 (fr) Récepteur à filtres spectraux et lidar Doppler à détection directe en faisant application
CA2617959A1 (fr) Spectrographe a onde contra-propagative
EP2309236B1 (fr) Téléscope concentrateur de champ destiné à des missions de sondage atmosphérique
FR2857746A1 (fr) Spectrometre optique miniaturise a haute resolution
FR2951269A1 (fr) Procede et systeme d&#39;analyse structurelle d&#39;un objet par mesure de front d&#39;onde
EP3575774B1 (fr) Procédé d&#39;observation de particules, en particulier des particules submicroniques
FR3076347A1 (fr) Instrument d&#39;observation comportant un dispositif interferometrique statique a sauts de differences de marche
FR3064058A1 (fr) Systeme optique et spectrometre miniature equipe d&#39;un tel systeme ainsi que procede d&#39;analyse d&#39;objets a l&#39;aide d&#39;un tel systeme optique
FR2788605A1 (fr) Separateur spectral et lidar doppler a detection directe en faisant application
FR3127586A1 (fr) système imageur lidar a detection heterodyne de type FMCW a resolution en distance amelioree
FR2894332A1 (fr) Spectrophotometre a large fente d&#39;entree
FR2933494A1 (fr) Dispositif de caracterisation optique d&#39;un objet de tres petites dimensions

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 9

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 10

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 11

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 12

ST Notification of lapse

Effective date: 20201110