FR2883384A1 - Dispositif optique de multiplexage en longueur d'onde - Google Patents
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Abstract
le domaine de l'invention est celui des dispositifs optiques de multiplexage en longueur d'onde permettant de générer à partir d'une pluralité de faisceaux optiques (410, 420, 430) émis par des sources différentes (110, 120, 130) à des longueurs d'onde différentes un faisceau de lumière unique polychromatique dans une direction commune.L'invention a pour objet un dispositif optique de multiplexage en longueur d'onde compact comprenant plusieurs sources de lumière (110, 120, 130) de type diodes laser comportant chacune un dispositif de sélection spectral de type transmissif (210, 220, 230) disposé au voisinage des sources et permettant de sélectionner les longueurs d'onde des faisceaux d'émission en fonction de leur direction d'incidence sur un réseau de dispersion (4) de façon que les directions des faisceaux diffractés soient toutes identiques, assurant ainsi le multiplexage des sources de lumière.Les diodes laser peuvent être montées en barrette. Des optiques supplémentaires (310, 320, 330) permettent de modifier les caractéristiques des faisceaux émis et notamment leur ellipticité.
Description
DISPOSITIF OPTIQUE DE MULTIPLEXAGE EN LONGUEUR D'ONDE
Le domaine de l'invention est celui des dispositifs optiques de multiplexage en longueur d'onde permettant de générer à partir d'une pluralité de faisceaux optiques émis par des sources différentes à des longueurs d'onde différentes un faisceau de lumière unique dans une direction commune.
L'invention peut s'appliquer à différents types de sources de lumière mais elle est tout particulièrement bien adaptée au multiplexage de diodes laser, soit montées sur une barrette unique soit sur plusieurs barrettes. On obtient ainsi une source de lumière de luminance très supérieure à celle de chaque diode ou de chaque barrette de diodes prise individuellement.
Les barrettes de diodes laser sont des composants monolithiques comprenant un certain nombre de diodes laser unitaires émettant toutes dans la même direction. Le nombre de diodes est typiquement compris entre 10 et 50.
Le multiplexage en longueur d'onde de sources lumineuses est connu. On citera notamment les brevets EP 0859249 intitulé : Optical fiber wavelength multiplexer and demultiplexeur et US 4930855 intitulé Wavelength multiplexing of lasers . Ces dispositifs comprennent un dispositif optique de mélange des faisceaux optiques qui est généralement un réseau de diffraction fonctionnant en réflexion. Les faisceaux sont émis par les sources à des longueurs d'onde différentes sous des incidentes différentes choisies de façon que les faisceaux émis soient diffractés par le dispositif optique de mélange dans une direction commune unique.
Il est possible de perfectionner encore ce dispositif en imposant la longueur d'onde d'émission des sources de lumière au moyen d'un dispositif de sélection spectral externe. Le brevet français de référence 99 16401 intitulé : Multiplexeur en longueurs d'onde de sources laser décrit un dispositif de ce type. II comprend une pluralité de sources laser émettant des faisceaux à des longueurs d'onde différentes, un premier réseau de diffraction formant miroir de cavité et réalisant une configuration de type Littrow, une optique de focalisation et un second réseau de diffraction assurant la superposition des faisceaux d'émission des diodes laser.
Un des inconvénients de ce type de dispositif est lié à l'utilisation en réflexion du premier réseau de diffraction qui assure la sélection spectrale des diodes laser. En effet, il faut nécessairement utiliser une optique-relais permettant de focaliser les faisceaux émis sur ce réseau, cette optique devant comporter des éléments cylindriques pour compenser les dissymétries de divergence des faisceaux émis. Par conséquent, le dispositif final est complexe et encombrant. De plus, l'utilisation de plusieurs optiques diminue la transmission des faisceaux et accroît les problèmes de lumière parasite. Enfin, il ne saurait s'appliquer simplement à une source de lumière comportant plusieurs barrettes de diodes laser.
Le dispositif selon l'invention permet de résoudre en grande partie ces problèmes. Le dispositif comporte, en effet, un dispositif de sélection spectral fonctionnant par transmission. On peut ainsi réaliser un agencement du dispositif très compact et nécessitant peu de composants.
Plus précisément, l'invention a pour objet un dispositif optique de multiplexage en longueur d'onde comprenant: É Plusieurs sources de lumière émettant des faisceaux de lumière incidents substantiellement monochromatiques centrés sur des longueurs d'onde toutes différentes; É Un dispositif optique de mélange ayant des propriétés de dispersion spectrale, transformant un faisceau de lumière incident en un faisceau de lumière émergent, la direction du faisceau émergent dépendant à la fois de la direction du faisceau incident et de sa longueur d'onde; caractérisé en ce que les sources de lumière comportent chacune un dispositif de sélection spectral de type transmissif disposé au voisinage de ladite source et permettant de sélectionner les longueurs d'onde des faisceaux d'émission en fonction de leur direction d'incidence sur le dispositif optique de mélange de façon que les directions des faisceaux émergents soient toutes identiques, assurant ainsi le multiplexage des sources de lumière.
Généralement, le dispositif optique de mélange est un élément 5 optique fonctionnant par diffraction de la lumière.
Avantageusement, le dispositif ne comporte qu'un seul filtre de sélection spectral ayant la forme d'une lame optique sensiblement à faces planes et parallèles, commune à toutes les sources et dont les propriétés de sélection spectrale varient selon une direction privilégiée, soit de façon continue, soit par pas incrémental.
Avantageusement, les sources sont montées sur au moins une barrette, les sources sont des diodes laser et la longueur d'onde d'émission des sources est imposée par le filtre de sélection spectral, ledit filtre formant miroir de cavité.
Avantageusement, les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque diode laser ont chacune une réflectivité de l'ordre de 10% sur une bande spectrale étroite dont la largeur est inférieure au nanomètre; en dehors de cette bande spectrale étroite, la réflectivité est voisine de zéro sur une bande spectrale dont la largeur est au moins égale à la largeur spectrale de la courbe de gain de la diode laser.
Avantageusement, lorsque le dispositif comporte plusieurs barrettes de sources sensiblement planes, celles-ci sont disposées en couches superposées, les barrettes étant sensiblement parallèles entre elles.
Dans ce cas, la distance séparant deux couches successives peut-être soit sensiblement constante, soit sensiblement variable.
Concernant l'agencement des barrettes de sources, il existe deux grandes configurations possibles.
Dans le premier cas, la longueur d'onde émise par les sources d'une même barrette est sensiblement identique. Les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque source de ladite barrette ont les mêmes propriétés de sélection spectrale. Chaque barrette de sources émet alors une longueur d'onde différente de celle des autres barrettes.
Dans le second cas, les longueurs d'onde émises par les sources d'une même barrette varient continûment d'une source à la source suivante, les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque source de ladite barrette ayant des propriétés de sélection spectrale variant d'une source à la source suivante. Toutes les barrettes de sources émettent alors une répartition spectrale sensiblement identique.
Avantageusement, les faisceaux de lumière émis ayant des angles de divergence différents selon deux axes perpendiculaires, le dispositif comporte au moins une lentille cylindrique dont les axes principaux sont parallèles aux axes d'émission des faisceaux, ladite lentille étant disposée entre les sources et le filtre de sélection spectral.
Le dispositif peut également comporter un réseau de microlentilles placé au voisinage des sources et permettant de modifier les angles de divergence des faisceaux de lumière émis, ainsi qu'une optique de Fourier, les sources étant placées au voisinage du premier plan focal de ladite optique et le dispositif optique de mélange étant placé au voisinage du second plan focal de cette optique.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles: É Les figures 1 et 2 représentent deux vues dans deux plans 20 perpendiculaires d'un dispositif selon l'invention comportant une unique barrette de diodes laser; É La figure 3 représente une vue partielle de la figure 1; É La figure 4 représente une variante du dispositif des figures précédentes comportant un dispositif de sélection spectral comportant 25 un filtre unique; É Les figures 5 et 6 représentent deux modes de réalisation du dispositif de sélection spectrale précédent; É La figure 7 représente un agencement similaire à celui des figures 1 à 4 mais comportant plusieurs barrettes; É Les figures 8 et 9 représentent deux vues dans deux plans perpendiculaires d'un dispositif selon l'invention comportant une pluralité de barrettes de diodes laser; É Les figures 10 et 11 représentent deux vues dans deux plans perpendiculaires d'une variante du dispositif précédent ne comportant 35 pas d'optique de Fourier; É La figure 12 représente une vue partielle de la figure 10.
Les figures 1 et 2 représentent deux vues dans deux plans perpendiculaires (y, z) et (x, z) repérés dans un repère orthonormé (x, y, z) 5 d'un dispositif selon l'invention comportant une unique barrette de diodes laser.
Le dispositif comporte: É une barrette de diodes laser 100 comportant N diodes laser 101, 102,... émettant des faisceaux de lumière 401, 402, Sur la figure, pour des raisons de clarté, seules 5 diodes sont représentées mais, bien entendu, la barrette peut contenir un nombre différent de diodes laser; É un dispositif de sélection spectral de type transmissif 200 comportant N filtres de sélection spectral 201, 202, .... disposés à la sortie de chaque diode laser; É une optique 300 de remise en forme des faisceaux émis disposée entre les diodes laser et les filtres de sélection spectrale; É un réseau de diffraction 4 assurant le mélange des faisceaux de lumière 401, 402, ....en un faisceau unique 500.
É une optique de Fourier 5. La barrette 100 étant placée au voisinage du 20 premier plan focal de ladite optique et le réseau de diffraction 4 étant placé au voisinage du second plan focal de cette optique.
L'ensemble constitué d'une diode laser, de la partie de l'optique 300 et du filtre de sélection spectral disposés en regard de la diode laser constitue une source d'émission de lumière. Le filtre de sélection spectral a une réflectivité quasi-nulle sur toute la courbe de gain de la diode laser et non nulle sur une bande spectrale étroite centrée sur une longueur d'onde 1.
A titre d'exemple, la réflectivité vaut environ 10% sur une largeur d'environ 0.5 nanomètre. En dehors de cette bande spectrale étroite, la réflectivité est voisine de zéro sur une bande spectrale dont la largeur est au moins égale à la largeur spectrale de la courbe de gain de la diode laser. En ajustant précisément l'optique 300 et le filtre de sélection spectral, une partie du faisceau émis par la diode laser est réinjectée dans celle-ci, assurant son fonctionnement. Ainsi, la diode ne peut, par ce principe, fonctionner qu'à la longueur d'onde X. imposée par le filtre. Pour améliorer le fonctionnement, la face de sortie de la diode laser peut être traitée anti-reflet. Le filtre spectral est, par exemple, un réseau de Bragg épais composé de strates inscrit dans une lame en verre à faces planes et parallèles.
Lorsque la barrette comporte un grand nombre de diodes laser, il est plus pratique d'utiliser un filtre unique ayant la forme d'une lame optique sensiblement à faces planes et parallèles, commune à toutes les sources et dont les propriétés de sélection spectrale varient selon une direction privilégiée comme illustré en figure 4 où l'ensemble des filtres 201, 202, .. a été remplacé par un filtre unique. Ce filtre peut être un réseau de Bragg comme indiqué en figures 5 et 6. Les variations du pas p du réseau sont indiquées par des lignes fines et parallèles entre elles sur ces figures. Dans ce cas, il existe deux grands modes de réalisation possibles. Dans un premier mode de réalisation, le pas p du réseau varie de façon incrémentai comme indiqué sur la figure 5. Dans un second mode de réalisation, le pas de réseau varie de façon continue comme indiqué en figure 6.
Généralement, les faisceaux émis par les diodes laser sont fortement elliptiques. Sur un premier axe dit axe lent, la divergence des faisceaux est, par exemple, de l'ordre de 10 degrés et sur un axe perpendiculaire à cet axe lent, dit axe rapide, la divergence peut varier entre 30 degrés et 70 degrés. Aussi, on utilise une lentille de mise en forme des faisceaux pour collimater le faisceau selon l'axe rapide. Cette lentille est généralement placée au plus près des diodes de façon à limiter l'élargissement du faisceau émis. Généralement, cette lentille est cylindrique.
Elle peut également comprendre un réseau de microlentilles placé au voisinage des diodes laser et permettant de modifier les angles de divergence des faisceaux de lumière émis selon les deux directions.
L'optique de Fourier 5 focalise les faisceaux émis par les diodes laser sur le réseau de diffraction 4. De préférence, le réseau est placé dans le plan focal image de l'optique de focalisation de façon à superposer tous les faisceaux de lumière 401, 402, ... au même emplacement du réseau. De la même façon, les diodes laser sont placées dans le plan focal objet de l'optique de focalisation 300. Dans ce cas, l'image du champ lointain de l'axe lent de chaque faisceau émis est focalisé sur le réseau tandis que l'image du champ proche est renvoyée à l'infini. On obtient ainsi une répartition d'énergie plus homogène des faisceaux à la sortie du réseau de diffraction 4.
L'optique de Fourier 5 peut être un objectif comportant une ou plusieurs lentilles sphériques, asphériques ou cylindriques selon les corrections et les focalisations que l'on souhaite réaliser. A titre d'exemple, sur les figures 1, 2, 4, 7, 8 et 9, l'optique de Fourier est une lentille simple cylindrique. Il est préférable que cette optique comporte un traitement antireflet aux longueurs d'onde d'émission des diodes laser de façon à ne pas parasiter le fonctionnement des diodes. Bien entendu, ces fonctions optiques peuvent également être réalisées, en totalité ou en partie, par des miroirs.
Le multiplexage en longueur d'onde des faisceaux émis par les diodes laser est réalisé par le réseau de diffraction 4 qui, à partir des différents faisceaux émis par les diodes laser, diffracte des faisceaux émergents dans un faisceau unique 500. On sait que la direction de diffraction d'un faisceau incident sur un réseau de diffraction dépend à la fois de sa direction d'incidence et de sa longueur d'onde. II est donc possible, en choisissant convenablement les longueurs d'onde associées à chaque faisceau incident venant d'une direction différente, d'obtenir une direction unique pour tous les faisceaux émergents diffractés comme illustré en figure 3 où deux faisceaux incidents 401 et 402 émis à deux longueurs d'onde X401 et 4402 et ayant des incidences 0401 et 0402 sur le réseau 4 sont diffractés en deux faisceaux de diffraction 501 et 502 ayant une direction de diffraction commune faisant un angle Oc avec le réseau 4.
Les valeurs des longueurs d'onde des faisceaux sur le réseau 4 25 dépendent essentiellement de la distance focale de l'optique 5, du pas du réseau et de l'angle d'incidence moyen des faisceaux sur le réseau.
II est, bien entendu possible de remplacer les diodes laser par tout type de source dont la longueur d'onde peut être déterminée par un filtre 30 spectral. On citera, en particulier, l'association de lasers fibrés.
II est également possible de remplacer la barrette unique de diodes laser par un ensemble de barrettes de diodes laser comme indiqué sur les figures 7, 8, 9, 10 et 11.
Dans le cas de la figure 7, on a simplement remplacé la barrette unique de la figure 1 par un ensemble de barrettes 101 sensiblement identiques munies de dispositifs de sélection spectral 201 et de lentilles identiques 300, chaque barrette de diodes 101 émettant une répartition spectrale sensiblement identique, tous les dispositifs étant sensiblement parallèles entre eux et parallèle au plan d'incidence des faisceaux lumineux 401 sur le réseau de diffraction 4. Sur la figure 7, chaque barrette dispose d'un filtre individuel. Il est également possible de remplacer les filtres individuels par un filtre unique, ce qui simplifie le montage et assure une meilleure homogénéité des longueurs d'onde émises.
Dans une autre variante, les barrettes de diodes laser sont disposées perpendiculairement au plan d'incidence sur le réseau. Les figures 8 et 9 représentent deux vues dans deux plans perpendiculaires (y, z) et (x,z) repérés dans un repère orthonormé (x, y, z) d'un dispositif selon cette variante, comportant plusieurs barrettes de diodes laser 100, 110, 120, .. .. 5 barrettes sont représentées sur les figures 8 et 9. Dans ce cas, la longueur d'onde émise par les diodes d'une même barrette est sensiblement identique, les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque diode de ladite barrette ayant les mêmes propriétés de sélection spectrale, chaque barrette de diodes émettant une longueur d'onde différente de celle des autres barrettes.
Le dispositif comporte: É N barrettes de diodes laser 110, 120, 130, ... comportant M diodes laser 111, 112, 113.. émettant des faisceaux de lumière 410, 420, 430, Sur la figure 8, pour des raisons de clarté, seules 5 barrettes de diodes sont représentées mais, bien entendu, le dispositif peut contenir un nombre différent de barrettes de diodes laser; É un dispositif de sélection spectral de type transmissif 200 comportant N filtres de sélection spectral 210, 220, 230,....disposés à la sortie de 30 chaque barrette; É N optiques 310, 320, 330, ... de remise en forme des faisceaux émis disposée entre chaque barrette de diodes laser et chaque filtre de sélection spectrale; É un réseau de diffraction 4 assurant le mélange des faisceaux de 35 lumière 410, 420, 430,.... ; É une optique de Fourier 5, les barrettes 100 étant placées au voisinage du premier plan focal de ladite optique et le réseau de diffraction 4 étant placé au voisinage du second plan focal de cette optique.
Comme dans le cas précédent, l'ensemble constitué, par exemple, de la barrette de diode 110, de l'optique 310 et du filtre de sélection spectral 210 disposés en regard de la barrette constitue une source d'émission de lumière. Le filtre de sélection spectral a une réflectivité quasi-nulle sur toute la courbe de gain des diodes laser et non nulle sur une bande spectrale étroite centrée sur une longueur d'onde X. En ajustant précisément l'optique 310 et le filtre de sélection spectral 210, une partie du faisceau émis par les diodes laser est réinjectée dans celles-ci, assurant son fonctionnement. L'optique 310, généralement de forme cylindrique permet de corriger les variations d'ellipticité des faisceaux émis.
Bien entendu, on peut utiliser des barrettes d'un même type si leur courbe de gain est suffisamment large pour contenir toutes les longueurs d'onde sélectionnées par les filtres de sélection spectrale. Sinon, il est possible d'utiliser plusieurs types de barrettes dont les courbes de gain respectives sont adaptées aux longueurs d'onde des filtres de sélection spectrale.
Le multiplexage en longueur d'onde des faisceaux émis par les diodes laser est réalisé par le réseau de diffraction 4, l'optique de Fourier 5 focalisant les faisceaux émis par les diodes laser sur ledit réseau de diffraction 4.
A titre d'exemple, les principaux paramètres d'un dispositif selon 25 l'invention comportant 9 barrettes sont: Espacement entre barrettes: Focale de l'optique 5: Pas du réseau 4: Angle d'incidence moyen sur le réseau 4: Angle réfléchi par le réseau 5: Longueurs d'onde des diodes: 2 millimètres millimètres 600 traits par millimètre 70.2 degrés 21.9 degrés 915.0 923.5 931.7 939.6 947.2 954.6 961.7 968.5 et 975.0 nanomètres Les figures 10, 11 et 12 constituent une variante du dispositif des figures précédentes. Les figures 10 et 11 représentent deux vues dans deux plans perpendiculaires (x, z) et (y, z) repérés dans un repère orthonormé (x, y, z) d'un dispositif selon l'invention comportant plusieurs barrettes de diodes laser 100, 110, 120, .... 5 barrettes sont représentées sur les figures 10 et 11. La figure 12 représente uniquement la partie émissive du dispositif. A la différence du dispositif précédent, le dispositif décrit sur ces figures ne comporte pas de lentille de Fourier 5. Pour obtenir cet effet, les optiques 300 sont légèrement décalées de distances 8 comme indiqué sur la figure 12 qui représente une barrette de diodes laser 100, son optique de collimation 300 et son filtre de sélection spectral 200. Les distances 8 dépendent de l'emplacement des barrettes dans l'empilement de barrettes. Les barrettes peuvent être également inclinées sur leur axe optique pour obtenir le même effet. On doit également ajuster en rotation et en translation les filtres spectraux pour obtenir l'effet de sélection spectrale souhaité comme montré sur la figure 10 où le filtre est incliné d'un angle s.
Ce montage permet d'obtenir des dispositifs compacts ne comportant qu'un minimum de composants.
Dans les dispositifs à barrettes, il n'est pas nécessaire que la distance séparant deux couches successives soit constante de façon à obtenir une répartition spectrale sensiblement uniforme du faisceau de sortie. Si certaines longueurs d'onde ne sont pas utiles pour l'application recherchée, il est possible de supprimer les barrettes correspondantes et de les remplacer par des entretoises afin de conserver l'emplacement voulu pour les autres barrettes. Plus généralement, il est possible d'utiliser un espacement entre barrettes variable pour obtenir un profil spectral particulier du faisceau multiplexé.
L'assemblage des barrettes, des optiques et des filtres spectraux peut être réalisé de différentes façons: É Chaque barrette est équipée individuellement de son optique puis de son filtre de sélection spectral. Les barrettes ainsi équipées sont empilées avec l'espacement adapté.
É Chaque optique est équipée d'un filtre de sélection spectral. Chaque ensemble optique ainsi obtenu est placé devant une barrette. Les barrettes équipées sont empilées.
É Les barrettes seules sont empilées avec des tolérances de positionnement suffisamment bonnes. L'empilement est ensuite disposé d'abord devant une matrice d'optiques de collimation qui peut être soit monolithique, soit résultée d'un assemblage. Enfin, ce nouvel ensemble est disposée devant une matrice de filtres spectraux qui peut être soit monolithique, soit résultée d'un assemblage.
É une matrice d'optiques de collimation est d'abord assemblée avec une matrice de filtres spectraux, ces ensembles optiques pouvant être soit monolithiques, soit résultés d'un assemblage. Puis, cet ensemble est positionné devant les barrettes de diodes préalablement empilées avec des tolérances de positionnement suffisamment bonnes.
Les faisceaux multiplexés peuvent ensuite être remis en forme selon différentes techniques, soit pour réduire l'ellipticité des faisceaux, soit pour égaliser le produit taille du faisceau par divergence du faisceau suivant les deux axes lent et rapide. On peut également utiliser des dispositifs optiques permettant de supprimer optiquement les zones inactives entre les diodes d'une même barrette ou les espaces entre barrettes. 10 15
Claims (17)
1. Dispositif optique de multiplexage en longueur d'onde 5 comprenant: É Plusieurs sources de lumière (100, 110, 120) émettant des faisceaux de lumière incidents (400, 410, 420) substantiellement monochromatiques centrés sur des longueurs d'onde toutes différentes; É Un dispositif optique de mélange (4) ayant des propriétés de dispersion spectrale, transformant un faisceau de lumière incident (400, 410, 420) en un faisceau de lumière émergent, la direction du faisceau émergent dépendant à la fois de la direction du faisceau incident et de sa longueur d'onde; caractérisé en ce que les sources de lumière (100, 110, 120) comportent chacune un dispositif de sélection spectral de type transmissif (200, 210, 220) disposé au voisinage de ladite source et permettant de sélectionner les longueurs d'onde des faisceaux d'émission en fonction de leur direction d'incidence sur le dispositif optique de mélange de façon que les directions des faisceaux émergents soient toutes identiques, assurant ainsi le multiplexage des sources de lumière.
2. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif optique de mélange (4) est un élément 25 optique fonctionnant par diffraction de la lumière.
3. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif ne comporte qu'un seul filtre de sélection spectral (200) ayant la forme d'une lame optique sensiblement à faces planes et parallèles, commune à toutes les sources et dont les propriétés de sélection spectrale varient selon une direction privilégiée.
4. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 3, caractérisé en ce que les propriétés de sélection spectrale dudit filtre varient 35 de façon continue selon cette direction privilégiée.
5. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 3, caractérisé en ce que les propriétés de sélection spectrale dudit filtre varient par pas incrémentai selon cette direction privilégiée.
6. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources (100, 110, 120) sont montées sur au moins une barrette.
7. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources de lumière(100, 110, 120) sont des diodes laser.
8. Dispositif optique de multiplexage selon les revendications 6 ou 7, caractérisé en ce que la longueur d'onde d'émission des sources est imposée par le filtre de sélection spectral (200), ledit filtre formant miroir de cavité.
9. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 7, 20 caractérisé en ce que les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque source ont chacune É une réflectivité de l'ordre de 10% sur une bande spectrale étroite dont la largeur est inférieure au nanomètre et, É en dehors de cette bande spectrale étroite, une réflectivité voisine de zéro sur une bande spectrale dont la largeur est au moins égale à la largeur spectrale de la courbe de gain de la diode laser.
10. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que, lorsque le dispositif comporte plusieurs barrettes de sources de lumière sensiblement planes, celles-ci sont disposées en couches superposées, les barrettes étant sensiblement parallèles entre elles.
11. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 10, caractérisé en ce que la distance séparant deux couches successives est sensiblement constante.
12. Dispositif optique de multiplexage selon la revendication 10, caractérisé en ce que la distance séparant deux couches successives est sensiblement variable.
13. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que la longueur d'onde émise par les sources de lumière d'une même barrette est sensiblement identique, les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque source de ladite barrette ayant les mêmes propriétés de sélection spectrale, chaque barrette de sources émettant une longueur d'onde différente de celle des autres barrettes.
14. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que les longueurs d'onde émise par les sources d'une même barrette varient continûment d'une source à la source suivante, les parties du filtre de sélection spectral disposées devant chaque source de ladite barrette ayant des propriétés de sélection spectrale variant d'une source à la source suivante, toutes les barrettes de sources émettant une répartition spectrale sensiblement identique.
15. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les faisceaux de lumière émis ayant des angles de divergence différents selon deux axes perpendiculaires, le dispositif comporte au moins une lentille cylindrique (300) dont les axes principaux sont parallèles aux axes d'émission des faisceaux, ladite lentille étant disposée entre les diodes laser et le filtre de sélection spectral.
16. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif comporte un réseau de microlentilles placé au voisinage des sources et permettant de modifier les angles de divergence des faisceaux de lumière émis.
17. Dispositif optique de multiplexage selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif comporte une optique de Fourier (5), les sources étant placées au voisinage du premier plan focal de ladite optique et le dispositif optique de mélange étant placé au voisinage du second plan focal de cette optique.
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CN103081261B (zh) * | 2010-03-05 | 2016-03-09 | 泰拉二极管公司 | 波长光束组合***与方法 |
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US8614853B2 (en) | 2010-03-09 | 2013-12-24 | Massachusetts Institute Of Technology | Two-dimensional wavelength-beam-combining of lasers using first-order grating stack |
US8531761B2 (en) | 2010-05-27 | 2013-09-10 | Massachusetts Institute Of Technology | High peak power optical amplifier |
US9620928B2 (en) | 2010-07-16 | 2017-04-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Continuous wave or ultrafast lasers |
US8547641B2 (en) | 2010-11-09 | 2013-10-01 | Cohernet, Inc. | Line-projection apparatus for arrays of diode-laser bar stacks |
US9104029B2 (en) | 2012-02-22 | 2015-08-11 | TeraDiode, Inc. | Multi-wavelength beam combining system and method |
US9823480B2 (en) | 2012-02-22 | 2017-11-21 | TeraDiode, Inc. | Wavelength beam combining laser systems with micro-optics |
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CN111162454B (zh) * | 2020-01-02 | 2021-03-12 | 中国科学院半导体研究所 | 一种宽波段调谐***及调谐方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0859249A1 (fr) * | 1997-02-14 | 1998-08-19 | Photonetics | Multiplexeur et démultiplexeur en longueur d'onde à fibre optique |
FR2803116A1 (fr) * | 1999-12-23 | 2001-06-29 | Thomson Csf | Multiplexeur en longueurs d'ondes de sources lasers |
US20030214700A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-11-20 | Yakov Sidorin | Tunable filter |
US6661819B1 (en) * | 1994-06-28 | 2003-12-09 | Jds Uniphase Corporation | Fiber grating stabilized diode laser |
WO2005013439A2 (fr) * | 2003-07-03 | 2005-02-10 | Pd-Ld, Inc. | Utilisation de reseaux de bragg epais pour conditionnement des caracteristiques d'emission laser |
US20050036180A1 (en) * | 2000-12-28 | 2005-02-17 | Petersen Paul Michael | Optical system having a holographic optical element |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6343169B1 (en) * | 1999-02-25 | 2002-01-29 | Lightchip, Inc. | Ultra-dense wavelength division multiplexing/demultiplexing device |
WO2002071119A1 (fr) * | 2001-03-01 | 2002-09-12 | Zolo Technologies, Inc. | Multiplexeur/demultiplexeur presentant une configuration a quatre f' et lentille hybride |
-
2005
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-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6661819B1 (en) * | 1994-06-28 | 2003-12-09 | Jds Uniphase Corporation | Fiber grating stabilized diode laser |
EP0859249A1 (fr) * | 1997-02-14 | 1998-08-19 | Photonetics | Multiplexeur et démultiplexeur en longueur d'onde à fibre optique |
FR2803116A1 (fr) * | 1999-12-23 | 2001-06-29 | Thomson Csf | Multiplexeur en longueurs d'ondes de sources lasers |
US20050036180A1 (en) * | 2000-12-28 | 2005-02-17 | Petersen Paul Michael | Optical system having a holographic optical element |
US20030214700A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-11-20 | Yakov Sidorin | Tunable filter |
WO2005013439A2 (fr) * | 2003-07-03 | 2005-02-10 | Pd-Ld, Inc. | Utilisation de reseaux de bragg epais pour conditionnement des caracteristiques d'emission laser |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
GROSSO P ET AL: "Bragg grating photo-writing method suitable for ITU grid wavelengths", OPTICS COMMUNICATIONS, NORTH-HOLLAND PUBLISHING CO. AMSTERDAM, NL, vol. 214, no. 1-6, 15 December 2002 (2002-12-15), pages 129 - 132, XP004396695, ISSN: 0030-4018 * |
TAKAHASHI H ET AL: "A 2.5 Gb/s, 4-channel multiwavelength light source composed of UV written waveguide gratings and laser diodes integrated on Si", IOOC - ECOC '97. 11TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INTEGRATED OPTICS AND OPTICAL FIBRE COMMUNICATIONS / 23RD EUROPEAN CONFERENCE ON OPTICAL COMMUNICATIONS. EDINBURGH, SEPT. 22 - 25, 1997, IEE CONFERENCE PUBLICATION, LONDON : IEE, UK, vol. VOL. 3 NO. 448, 22 September 1997 (1997-09-22), pages 355 - 358, XP006508533, ISBN: 0-85296-697-0 * |
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