FR2870056A1 - Static switch for excimer laser, has switching turns, divided into groups, with outlet contacts, where contacts of same group are connected to related conducting plates connected to related bonding pads connected to set turns in parallel - Google Patents

Abstract

The switch has switching turns (T1-T10) divided into groups, where each turn has an outlet contact (T90). The contacts of the turns of same group are connected to corresponding conducting plates (C30) connected to related bonding pads. The pads are electrically isolated form each other. The pads are connected for setting the turns in parallel. The control of charge transfer is applied simultaneously to each turn.

Description

La présente invention se rapporte à un commutateur statique permettant leThe present invention relates to a static switch allowing the

transfert de charge vers la chambre d'ionisation d'un laser excimère.  charge transfer to the ionization chamber of an excimer laser.

Ce commutateur statique, selon l'invention, peut notamment être utilisé en combinaison avec un laser à pré-ionisation Corona tel que décrit dans le document 5 FR 2 698 496.  This static switch, according to the invention, can in particular be used in combination with a Corona pre-ionization laser as described in document FR 2 698 496.

De façon connue, de tels lasers nécessitent une tension nominale variant de 24 à 30 KV, des courants de charge de condensateurs de l'ordre de 20 à 27 KA, des temps de transfert de charge compris entre 400 et 600 nanosecondes et des fréquences d'impulsions allant jusqu'à 1 KHz.  In a known manner, such lasers require a nominal voltage ranging from 24 to 30 KV, capacitor charging currents of the order of 20 to 27 KA, charge transfer times of between 400 and 600 nanoseconds and frequency pulses up to 1 KHz.

io Dans une telle gamme de puissance, le seul type de commutateur connu est un commutateur d'énergie à gaz dénommé Thyratron.  In such a power range, the only known type of switch is a gas energy switch called Thyratron.

Malheureusement, ces commutateurs dont la durée de vie est d'environ 108 commutations ne sont pas compatibles avec les implications industrielles d'un laser excimère, pour lesquels une fiabilité de 10 000 à 30 000 heures est requise.  Unfortunately, these switches whose lifetime is about 108 switches are not compatible with the industrial implications of an excimer laser, for which a reliability of 10,000 to 30,000 hours is required.

Subsidiairement, la durée de vie réduite des commutateurs à gaz Thyratron augmente leur coût de maintenance.  Alternatively, the shorter life of Thyratron gas switches increases their maintenance cost.

On connaît également des commutateurs statiques utilisant des transistors de type MOS associés en série et en parallèle, ce type de commutateur étant décrit dans le document EP 1 063 771.  Static switches are also known using MOS transistors associated in series and in parallel, this type of switch being described in document EP 1 063 771.

Le commutateur K260310 développé par le CEA est un commutateur de ce type. II permet de délivrer une tension de sortie de l'ordre de 25 000 volts sous un ampérage de 1400 ampères, ce qui, comme nous l'avons vu précédemment, n'est pas suffisant pour son utilisation en combinaison avec un laser excimère de forte puissance (1 kW).  The K260310 switch developed by the CEA is a switch of this type. It makes it possible to deliver an output voltage of the order of 25 000 volts under an amperage of 1400 amps, which, as we have seen previously, is not sufficient for its use in combination with an excimer laser of strong power (1 kW).

Afin de palier cet inconvénient, la demanderesse a cherché à utiliser plusieurs lasers du type du laser K260310 du CEA en connectant ces derniers en parallèle sur une plaque conductrice.  In order to overcome this drawback, the Applicant has sought to use several lasers of the CEA K260310 laser type by connecting them in parallel on a conductive plate.

Cette démarche s'est avérée infructueuse car, avec les paramètres de fonctionnement en tension et en intensité requis pour l'ionisation d'un laser excimère, des phénomènes électromagnétiques importants sont apparus au niveau de la plaque conductrice.  This approach was unsuccessful because, with the operating parameters in voltage and intensity required for the ionization of an excimer laser, significant electromagnetic phenomena have appeared at the conductive plate.

L'invention vise à résoudre le problème précité. A cet effet, l'invention concerne un commutateur statique comportant plusieurs tours de commutation, chacune de ces tours comportant un contact de sortie adapté à délivrer une tension élevée en réponse à une commande de transfert de charge. Ce commutateur statique est caractérisé en ce que: - les tours de commutation sont divisées en groupes, les contacts de sortie des tours d'un même groupe étant connectés à une plaque conductrice reliée à un plot de connexion du commutateur statique, ces plaques de connexion étant isolées électriquement l'une de l'autre; en ce que: - les plots de connexion sont reliés entre eux pour la mise en parallèle des tours; et en ce que: to - la commande de transfert de charge est appliquée simultanément à chacune des tours.  The invention aims to solve the problem mentioned above. To this end, the invention relates to a static switch having a plurality of switching turns, each of these turns comprising an output contact adapted to deliver a high voltage in response to a charge transfer control. This static switch is characterized in that: - the switching turns are divided into groups, the output contacts of the turns of the same group being connected to a conductive plate connected to a connection pad of the static switch, these connection plates being electrically insulated from each other; in that: - the connection pads are interconnected for the paralleling of the towers; and in that: - the charge transfer control is applied simultaneously to each of the turns.

Avantageusement, les dimensions des plaques conductrices peuvent être réduites, la seule contrainte étant liée à l'encombrement auxquelles elles sont connectées.  Advantageously, the dimensions of the conductive plates can be reduced, the only constraint being related to the size to which they are connected.

Ces dimensions réduites permettent de limiter les phénomènes électromagnétiques, en particulier engendrés par les courants qui se développent à la surface de ces plaques conductrices.  These reduced dimensions make it possible to limit the electromagnetic phenomena, in particular generated by the currents that develop on the surface of these conductive plates.

De plus, la mise en parallèle des tours réalisée grâce à la liaison entre les plots de connexion, à l'extérieur du commutateur, permet d'obtenir une tension et un ampérage suffisants pour l'ionisation dans un laser excimère tout en s'affranchissant des phénomènes de perturbation électromagnétiques.  In addition, the paralleling of the towers achieved through the connection between the connection pads, outside the switch, provides a voltage and amperage sufficient for ionization in an excimer laser while freeing electromagnetic disturbance phenomena.

Préférentiellement, le commutateur statique comporte une unité de commande reliée par un câble à chacune des tours de commutation pour déclencher le transfert de charge, ces câbles étant sensiblement de mêmes longueurs.  Preferably, the static switch comprises a control unit connected by a cable at each of the switching laps to trigger the charge transfer, these cables being substantially of the same length.

Cette caractéristique particulièrement avantageuse permet de s'assurer que le transfert de charge des différentes tours vers les plots de connexion s'effectue sensiblement simultanément, ce qui permet de protéger les différentes tours de commutation.  This particularly advantageous characteristic makes it possible to ensure that the charge transfer of the different turns to the connection pads takes place substantially simultaneously, which makes it possible to protect the different switching towers.

3o En effet, la demanderesse s'est rendue compte que, si une telle synchronisation n'était pas assurée, les tours de commutation présentant une tension nulle en leur sortie sont endommagées lors du transfert de charge en sortie des autres tours à cause de la mise en parallèle de l'ensemble des tours du commutateur par les plots de connexion.  3o Indeed, the applicant realized that, if such a synchronization was not ensured, the switching towers having a zero voltage at their output are damaged during the load transfer at the output of the other towers because of the paralleling all the turns of the switch by the connection pads.

Selon une autre caractéristique particulièrement avantageuse, les valeurs des tensions de sortie des tours appliquées à chacune des plaques conductrices sont sensiblement identiques.  According to another particularly advantageous characteristic, the values of the output voltages of the turns applied to each of the conductive plates are substantially identical.

Cette caractéristique permet avantageusement de s'assurer que le temps de décharge des tours de commutation regroupées sur une même plaque conductrice est identique, ce qui contribue là aussi à préserver les différentes tours de commutation.  This characteristic advantageously makes it possible to ensure that the discharge time of the switching towers grouped on the same conductive plate is identical, which again contributes to preserving the different switching laps.

to Par ces deux caractéristiques avantageuses, on obtient un commutateur statique fiable et compatible avec les contraintes d'ionisation d'un laser excimère.  With these two advantageous characteristics, a reliable static switch is obtained which is compatible with the ionization constraints of an excimer laser.

Dans un mode préféré de réalisation, le contact de sortie d'une tour de commutation est maintenu dans un support en forme de U de la plaque conductrice à laquelle elle est connectée, au moyen d'une double rangée de contacts élastiques en bronze de béryllium ayant la forme de lamelles arrondies.  In a preferred embodiment, the output contact of a switching tower is held in a U-shaped support of the conductive plate to which it is connected by means of a double row of beryllium bronze elastic contacts. having the shape of rounded lamellae.

Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux car il permet d'obtenir un excellent contact de sortie entre la sortie d'une tour de commutation et la plaque conductrice.  This embodiment is particularly advantageous because it makes it possible to obtain an excellent output contact between the output of a switching tower and the conductive plate.

Dans un tel agencement, le rendement de transfert tension-courant impulsionnel obtenu est supérieur à 99 %.  In such an arrangement, the pulse-to-current pulse transfer efficiency obtained is greater than 99%.

D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaissent à la lumière de la description des différents modes de réalisation qui va suivre, cette description étant donnée à titre d'exemple non limitatif est faite en référence aux dessins dans lesquels: - la figure 1 représente une tour de commutation connue de l'art antérieur, - la figure 2 représente un commutateur statique conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation; - la figure 3 représente le commutateur statique de la figure 2 relié à un laser excimère; 3o - les figures 4A et 4B représentent en coupe des parties mâle et femelle d'un plot de connexion conforme à l'invention; - la figure 5 représente un plot de connexion conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation, et - la figure 6 représente, en coupe, un support d'un plot de connexion conforme à l'invention.  Other features and advantages of the present invention appear in the light of the description of the various embodiments which will follow, this description being given by way of nonlimiting example is made with reference to the drawings in which: - Figure 1 represents a known switching tower of the prior art, - Figure 2 shows a static switch according to the invention in a preferred embodiment; FIG. 3 represents the static switch of FIG. 2 connected to an excimer laser; 3o - Figures 4A and 4B show in section male and female portions of a connection pad according to the invention; - Figure 5 shows a connection pad according to the invention in a preferred embodiment, and - Figure 6 shows, in section, a support of a connection pad according to the invention.

La figure 1 représente une tour T de commutation connue de l'art antérieur.  FIG. 1 represents a switching tower T known from the prior art.

Cette tour T comporte six cartes de commutation T101, T106 reliées entre 5 elles en série par des liaisons T20 en cuivre étamé, dans un châssis T5 rempli d'huile T7.  This tower T comprises six switching boards T101, T106 connected in series with tin-plated copper T20 connections in a T5 chassis filled with T7 oil.

Chaque carte de commutation T10; comporte une pluralité de transistors MOS T30 reliés entre eux en série et en parallèle.  Each switch board T10; comprises a plurality of MOS transistors T30 connected together in series and in parallel.

Les cartes de commutation T10; sont reliées à la masse, par exemple via la io première carte de commutation T101, comme dans l'exemple de réalisation de la figure 1.  T10 switch cards; are connected to ground, for example via the first switching board T101, as in the embodiment of FIG. 1.

La tour de commutation T comprend également des condensateurs primaires T40 reliés d'une part à une plaque de liaison T50 et, d'autre part, à une plaque de transfert T60, ces deux plaques étant électriquement conductrices et préférentiellement en cuivre.  The switching tower T also comprises primary capacitors T40 connected on the one hand to a connection plate T50 and, on the other hand, to a transfer plate T60, these two plates being electrically conductive and preferably made of copper.

La plaque de liaison T50 est alimentée en tension par une alimentation externe T70 de 30 kv. Cette alimentation T70 permet le chargement des condensateurs T40.  The T50 connection plate is supplied with voltage by an external T70 supply of 30 kv. This T70 power supply allows the charging of T40 capacitors.

La plaque de liaison T50 est également reliée à la dernière plaque de 20 commutation T106 au moyen d'une liaison T20 en cuivre étamé identique ou similaire aux liaisons inter-cartes T20 précitées.  The connecting plate T50 is also connected to the last switching plate T106 by means of a tinned copper T20 connection identical or similar to the aforementioned inter-board links T20.

Les cartes de commutation T101 à T106 sont commandées par une unité de commande T80 externe à la tour de commutation T, cette unité de commande étant, dans le mode décrit ici, reliée à la première carte T101 par un câble T81.  The switching boards T101 to T106 are controlled by a control unit T80 external to the switching tower T, this control unit being, in the mode described here, connected to the first board T101 by a cable T81.

L'unité de commande T80 permet la décharge des condensateurs T40 dans la plaque de transfert conductrice T60, via les liaisons inter-cartes T20.  The control unit T80 allows the discharge of the capacitors T40 in the conductive transfer plate T60 via the inter-board links T20.

Cette plaque de transfert T60 comporte une sortie T90 extérieure à la tour de commutation T. La tour T agit ainsi comme un interrupteur fournissant, en sa sortie T90, une 30 tension égale à 0 volt ou 30 000 volts, sous la commande des moyens de commande T80.  This transfer plate T60 has an output T90 external to the switching tower T. The tower T thus acts as a switch providing, at its output T90, a voltage equal to 0 volts or 30,000 volts, under the control of the control means. T80 command.

La figure 2 représente un commutateur statique C conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation.  Figure 2 shows a static switch C according to the invention in a preferred embodiment.

Ce commutateur statique C comporte, dans un châssis rempli d'huile T7, dix tours T1 à T10 identiques ou similaires à la tour T décrite précédemment en référence à la figure 1, ces dix tours étant utilisées pour l'ionisation du gaz d'un laser excimère, tel que décrit ultérieurement en référence à la figure 3. La paroi C5 du commutateur statique C est une paroi en inox d'une épaisseur de 5 à 10 mm.  This static switch C comprises, in a chassis filled with oil T7, ten turns T1 to T10 identical or similar to the tower T described above with reference to FIG. 1, these ten turns being used for the ionization of the gas of a excimer laser, as described later with reference to FIG. 3. The wall C5 of the static switch C is a stainless steel wall with a thickness of 5 to 10 mm.

Le commutateur statique C comporte cinq conducteurs sous forme de plaques de cuivre C30, chacune d'entre elles permettant de relier deux tours de commutation en parallèle, à savoir, dans ce mode de réalisation: -lestours T1,T2; io - les tours T3, T4; - les tours T5, T6; - les tours T7, T8; et les tours T9, T10.  The static switch C comprises five conductors in the form of copper plates C30, each of which makes it possible to connect two switching towers in parallel, namely, in this embodiment: the probes T1, T2; io - the towers T3, T4; - towers T5, T6; - the towers T7, T8; and the towers T9, T10.

Conformément à l'invention, les dix tours T1i T10 sont commandées 15 simultanément par une unité de commande C80.  According to the invention, the ten turns T1i T10 are simultaneously controlled by a control unit C80.

Cette unité de commande C80 fournit un signal de commande à chacune des tours T1, T10 pour décharger les condensateurs T40 contenus dans ces tours, vers leur sorties T90.  This control unit C80 provides a control signal at each of the turns T1, T10 to discharge the capacitors T40 contained in these turns, to their outputs T90.

Plus précisément, l'unité de commande C80 est reliée à une carte de 20 communication T101 de chacune des tours Ti, d'une façon similaire à la connexion entre l'unité de commande T80 et la carte de commutation T101 de la tour T décrite en référence à la figure 1.  More specifically, the control unit C80 is connected to a communication card T101 of each of the turns Ti, similarly to the connection between the control unit T80 and the switching board T101 of the tower T described. with reference to FIG.

Conformément à la présente invention, les câbles de liaison C811, C8110 entre l'unité de commande C80 et les tours T1, T10 sont de longueurs identiques.  According to the present invention, the connecting cables C811, C8110 between the control unit C80 and the towers T1, T10 are of identical lengths.

Ainsi, les tours T1, T10 reçoivent des commandes de décharge simultanément, en provenance de l'unité de commande C80 avec un décalage temporel tout au plus inférieur à quelques nano-secondes.  Thus, the towers T1, T10 receive simultaneous discharge commands from the control unit C80 with a time offset at most less than a few nanoseconds.

Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, chaque tour T1, T10 est reliée à une plaque conductrice C30 au moyen de sa sortie T90.  In the preferred embodiment described herein, each tower T1, T10 is connected to a conductive plate C30 by means of its output T90.

Afin d'assurer ces connexions, chacune des cinq plaques conductrices C30 comporte deux connecteurs C10 en forme de U dans lesquels sont insérées les sorties T90 de deux tours reliées en parallèle.  In order to ensure these connections, each of the five conductive plates C30 comprises two U-shaped connectors C10 into which are inserted the outputs T90 of two turns connected in parallel.

Pour assurer un bon contact électrique entre la sortie T90 d'une tour et ce connecteur C10 en forme de U, on utilise deux rangées de contacts élastiques en bronze au béryllium ayant la forme de lamelles arrondies.  To ensure good electrical contact between the output T90 of a tower and this U-shaped connector C10, two rows of beryllium bronze elastic contacts in the form of rounded strips are used.

A cet effet, on peut notamment utiliser le doigt de contact connu de l'homme 5 du métier sous la dénomination SPRINGLINE (marque déposée) référence 8101 11829S6305.  For this purpose, it is particularly possible to use the contact finger known to those skilled in the art under the name SPRINGLINE (registered trademark) reference 8101 11829S6305.

De tels contacts élastiques sont connus de l'homme du métier et ne seront pas décrits ici.  Such elastic contacts are known to those skilled in the art and will not be described here.

Chacune des cinq plaques conductrices de cuivre C30 est reliée Io électriquement par une extrémité C95 à un plot de connexion P1, P5 comme décrit ci-après, en référence à la figure 4.  Each of the five copper conductive plates C30 is electrically connected by a C95 end to a connection pad P1, P5 as described below, with reference to FIG. 4.

Les cinq plotsP1, P5 du commutateur sont reliés entre eux par une plaque L8 permettant la mise en parallèle des dix tours de commutation T1i T10.  The five pads P1, P5 of the switch are interconnected by a plate L8 allowing the paralleling of the ten T1i T10 switching towers.

Le commutateur statique C de la figure 2 comprend également une tour T et 15 une unité de commande T80 identiques ou similaires à celles décrites précédemment en référence à la figure 1.  The static switch C of FIG. 2 also comprises a tower T and a control unit T80 which are identical or similar to those described previously with reference to FIG.

Cette tour T est connectée au moyen de sa sortie T90 à un plot P6 identique aux cinq plots décrits P1, P5 précités.  This tower T is connected by means of its output T90 to a pad P6 identical to the five pads described P1, P5 above.

Cette tour T, dont la décharge est commandée indépendamment de la 20 décharge des dix autres tours T1, T10 est utilisée pour la pré- ionisation du gaz du laser excimère.  This tower T, whose discharge is controlled independently of the discharge of the other ten towers T1, T10, is used for the pre-ionization of the excimer laser gas.

La figure 3 représente un commutateur statique C conforme à la présente invention relié à un laser excimère avec pré-ionisation Corona.  FIG. 3 represents a static switch C according to the present invention connected to an excimer laser with Corona pre-ionization.

Le laser excimère décrit ici fonctionne en mode impulsionnel, la fréquence 25 d'impulsions pouvant aller jusqu'à 1 KHz.  The excimer laser described here operates in pulsed mode, the pulse frequency being up to 1 KHz.

Chaque impulsion comprend une phase de pré-ionisation d'un gaz G suivie d'une phase d'ionisation de ce gaz.  Each pulse comprises a pre-ionization phase of a gas G followed by an ionization phase of this gas.

Dans le mode de réalisation décrit ici, ce gaz est constitué de la façon suivante: HCI à 0,07 %, Xe à 0,2 % et Ne à 99,73%.  In the embodiment described here, this gas is constituted as follows: 0.07% HCl, 0.2% Xe and 99.73% Ne.

Le laser excimère L comporte une plaque L2 de séparation de chambre qui définit deux enceintes LA et LG de ce laser isolées l'une de l'autre.  The excimer laser L comprises a chamber separation plate L2 which defines two LA and LG enclosures of this laser isolated from each other.

L'enceinte LG est remplie de gaz G. L'enceinte LA est remplie d'air sec (gaz isolant) sous pression.  The LG enclosure is filled with gas G. The enclosure LA is filled with dry air (insulating gas) under pressure.

Dans ce mode de réalisation, l'enceinte LA du laser excimère L comporte six plots de connexion P1, P6, chacun d'entre eux étant relié au plot P1, P6 de même référence du commutateur statique C. Plus précisément, le laser excimère L comporte cinq plots P1, P5, chacun d'entre eux étant relié au moyen d'une bande de cuivre L10 à un plot P1, P5 du commutateur statique C pour le transfert de charge d'ionisation et pour la mise en parallèle des cinq paires de tours de 30 kV chacune.  In this embodiment, the LA chamber of the excimer laser L comprises six connection pads P1, P6, each of them being connected to the pad P1, P6 of the same reference of the static switch C. More specifically, the laser excimer L comprises five pads P1, P5, each of them being connected by means of a copper strip L10 to a pad P1, P5 of the static switch C for the ionization charge transfer and for the paralleling of the five pairs turns of 30 kV each.

Le laser L comporte également un plot de connexion P6 relié au plot de connexion P6 du commutateur statique C pour la pré-ionisation.  The laser L also comprises a connection pad P6 connected to the connection pad P6 of the static switch C for the pre-ionization.

io Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, la liaison entre les plots P6 du laser L et le commutateur statique C pour la pré-ionisation est réalisée au moyen d'un câble blindé.  In the preferred embodiment described herein, the connection between the pads L of the laser L and the static switch C for pre-ionization is performed by means of a shielded cable.

Le laser excimère L est aussi relié au commutateur statique C par deux liaisons L20 reliées à la masse qui, de façon connue, permettent de fermer les 15 champs électromagnétiques.  The excimer laser L is also connected to the static switch C by two L20 links connected to ground which, in a known manner, make it possible to close the electromagnetic fields.

Comme décrit précédemment, les cinq plots P1i P5 du commutateur statique C, utilisés pour le transfert de la charge d'ionisation sont reliés entre eux par la plaque L8.  As previously described, the five pads P1i P5 of the static switch C, used for the transfer of the ionization charge are interconnected by the plate L8.

Les plots P1, P5 du laser excimère L sont reliés par des vis L24 à une plaque de liaison en cuivre L25 sur laquelle sont connectés des condensateurs secondaires L40, identiques ou similaires aux condensateurs primaires T40 des tours de commutation Ti.  The pads P1, P5 of the excimer laser L are connected by screws L24 to a copper connecting plate L25 to which secondary capacitors L40, identical or similar to the primary capacitors T40 of the switching circuits Ti, are connected.

Les condensateurs secondaires L40 sont également reliés à une plaque en cuivre de transfert L60, identique dans sa fonction à la plaque de transfert 25 conductrice T60 de la tour T décrite en référence à la figure 1.  The secondary capacitors L40 are also connected to a transfer copper plate L60 identical in function to the conductive transfer plate T60 of the tower T described with reference to FIG.

La plaque de connexion L25, les condensateurs L40 et la plaque de transfert L60 sont tous situés dans l'enceinte LA remplie d'air sec sous pression.  The connection plate L25, the capacitors L40 and the transfer plate L60 are all located in the enclosure LA filled with dry air under pressure.

L'enceinte LG remplie de gaz G comporte un support L30 isolant, préférentiellement en céramique (alumine pure AI2O3), fixé contre la paroi interne de la plaque de séparation de chambre L2. Le laser excimère comporte également une cathode L45 fixée au support isolant L30 en vis-àvis d'une anode L50; l'anode L50 et la cathode L45 sont situées dans l'enceinte LG remplie de gaz.  The chamber LG filled with gas G comprises an insulating support L30, preferably ceramic (pure alumina Al2O3), fixed against the inner wall of the chamber separation plate L2. The excimer laser also comprises an L45 cathode fixed to the insulating support L30 vis-à-vis an L50 anode; the anode L50 and the cathode L45 are located in the chamber LG filled with gas.

2870056 s Dans le mode de réalisation décrit ici, l'anode L50 est reliée à la masse par deux liaisons L55 profilées en inox via la plaque L2 de séparation de chambre.  In the embodiment described here, the anode L50 is connected to the ground by two stainless steel links L55 profiled via the plate L2 chamber separation.

Pour plus de détails sur cet agencement, l'homme du métier pourra se reporter à la figure 2 de la demande de brevet FR 92 14098 Al au nom de Laserdot.  For more details on this arrangement, the skilled person can refer to Figure 2 of the patent application FR 92 14098 A1 in the name of Laserdot.

Le laser excimère L comporte également une vis L70 permettant de relier la plaque de transfert L60 de l'enceinte LA contenant de l'air sec à la cathode L45 contenue dans l'enceinte LG contenant le gaz G. Cette vis L70 traverse ainsi la plaque de séparation de chambre L2 et le io support isolant en céramique L30.  The excimer laser L also comprises a screw L70 making it possible to connect the transfer plate L60 of the enclosure LA containing dry air to the cathode L45 contained in the chamber LG containing the gas G. This screw L70 thus passes through the plate L2 chamber separation and L30 ceramic insulating support.

Les figures 4A et 4B représentent respectivement des parties mâle PM et femelle PF isolantes d'un plot de connexion P1, P6 conforme à l'invention. Dans le mode préféré de réalisation décrit, les deux parties PM et PF sont en matière plastique (téraphtalate de polyéthylène, PETP ).  FIGS. 4A and 4B respectively represent male PM and female PF insulating parts of a connection pad P1, P6 according to the invention. In the preferred embodiment described, the two parts PM and PF are made of plastic (polyethylene terephthalate, PETP).

La partie mâle PM comporte une base cylindrique M1 dont un axe de symétrie A est représenté sur la figure 4A.  The PM male part has a cylindrical base M1 whose axis of symmetry A is shown in Figure 4A.

Cette base cylindrique M1 comporte une face externe M2 et une face interne M3, ces deux faces étant sensiblement planes, parallèles entre elles et normales à l'axe de symétrie A. La partie mâle PM comporte également un appendice M4 cylindrique autour de l'axe A. Cet appendice M4 vient préférentiellement de matière avec la base M1 qu'il prolonge à partir de sa face interne M3.  This cylindrical base M1 has an outer face M2 and an inner face M3, these two faces being substantially flat, parallel to each other and normal to the axis of symmetry A. The male part PM also comprises a cylindrical appendix M4 about the axis A. This appendix M4 is preferably of material with the base M1 that it extends from its internal face M3.

Le diamètre de l'appendice M4 est inférieur au diamètre de la base M1.  The diameter of the appendix M4 is smaller than the diameter of the base M1.

Cet appendice M4 comporte, à son extrémité, une face M5 plane, normale à l'axe A et parallèle aux faces externe M2 et interne M3 de la base M1.  This appendix M4 comprises, at its end, a flat face M5, normal to the axis A and parallel to the external faces M2 and internal M3 of the base M1.

La partie mâle PM comporte aussi un trou cylindrique débouchant M6 d'axe A traversant la partie mâle PM de part en part depuis la face externe M2 jusqu'à la surface M5 de l'appendice M4.  The male part PM also comprises a cylindrical hole opening M6 axis A through the male part PM from side to side from the outer face M2 to the surface M5 of the appendix M4.

3o Dans le mode de réalisation décrit ici, la partie mâle PM comporte une pluralité de trous débouchants lisses M7 traversant de part en part la base cylindrique M1 pour la fixation de cette partie mâle PM avec le commutateur statique C. Seul l'un de ces trous est représenté sur la figure 4A.  In the embodiment described here, the male part PM comprises a plurality of smooth through holes M7 passing right through the cylindrical base M1 for fixing this male part PM with the static switch C. Only one of these holes is shown in Figure 4A.

Les plots PI, P6 selon l'invention comportent également une partie femelle PF, adaptée à s'imbriquer avec la partie mâle PM.  The pads PI, P6 according to the invention also comprise a female part PF, adapted to interlock with the male part PM.

Cette partie femelle comporte une base F1 cylindrique autour d'un axe de rotation A', cette base cylindrique F1 comportant une face interne F2 et une face 5 externe F3 planes, parallèles entre elles et normales à l'axe de rotation A'.  This female part comprises a cylindrical base F1 around an axis of rotation A ', this cylindrical base F1 having an inner face F2 and an outer face F3 planar, parallel to each other and normal to the axis of rotation A'.

Préférentiellement, le diamètre de la base F1 de la partie femelle PF est identique au diamètre de la base cylindrique M1 de la partie mâle PM.  Preferably, the diameter of the base F1 of the female part PF is identical to the diameter of the cylindrical base M1 of the male part PM.

La partie femelle PF comporte également un appendice cylindrique F4 d'axe de symétrie A' et comportant, à son extrémité, une face F5 plane et parallèle à la io face interne F2 et à la face externe F3 de la base F1.  The female part PF also comprises a cylindrical appendage F4 of axis of symmetry A 'and having, at its end, a plane face F5 and parallel to the internal face F2 and to the external face F3 of the base F1.

Le diamètre de l'appendice F4 de la partie femelle PF est d'une part, inférieur au diamètre de la base F1 de cette partie femelle PF et, d'autre part, supérieur au diamètre de l'appendice M4 de la partie mâle PM.  The diameter of the appendix F4 of the female part PF is, on the one hand, less than the diameter of the base F1 of this female part PF and, on the other hand, greater than the diameter of the appendix M4 of the male part PM .

La partie femelle PF comporte un perçage cylindrique F6 d'axe A' réalisé à 15 partir de la face F5 de son appendice F4.  The female part PF has a cylindrical bore F6 of axis A 'made from the face F5 of its appendix F4.

La profondeur de ce perçage F6 est sensiblement égale à la hauteur de l'appendice M4 de la partie mâle PM. Le fond de ce perçage est référencé F8 sur la figure 4B.  The depth of this hole F6 is substantially equal to the height of the appendix M4 of the male part PM. The bottom of this hole is referenced F8 in FIG. 4B.

Le diamètre de ce perçage F6 est très légèrement supérieur au diamètre de 20 l'appendice M4 de la partie mâle PM.  The diameter of this bore F6 is very slightly greater than the diameter of the appendix M4 of the male part PM.

La partie femelle PF comporte également un trou cylindrique débouchant F7 d'axe A' de diamètre égal au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM.  The female part PF also comprises a cylindrical opening hole F7 of axis A 'of diameter equal to the diameter of the opening hole M6 of the male part PM.

Ce trou débouchant F7 débouche d'une part sur la face interne F2 de la base F1 et, d'autre part, sur le fond F8 du perçage F6.  This opening hole F7 opens on the one hand on the internal face F2 of the base F1 and, on the other hand, on the bottom F8 of the bore F6.

Conformément à l'invention, la partie mâle PM et la partie femelle PF sont adaptées à être imbriquées l'une dans l'autre, leurs axes de symétrie A et A' s'étant alors confondus.  According to the invention, the male part PM and the female part PF are adapted to be nested one inside the other, their axes of symmetry A and A 'then being merged.

Plus précisément, l'appendice M4 de la partie mâle PM peut être introduit dans le premier trou cylindrique F6 de la partie femelle PF.  More precisely, the appendix M4 of the male part PM can be introduced into the first cylindrical hole F6 of the female part PF.

Lorsque tel est le cas, la face externe F3 de la base F1 de la partie femelle PF vient en contact avec la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM.  When this is the case, the outer face F3 of the base F1 of the female part PF comes into contact with the inner face M3 of the base M1 of the male part PM.

De même, la face M5 de l'appendice M4 de la partie mâle PM vient en contact du fond F8 du perçage F6 de la partie femelle PF.  Similarly, the face M5 of the appendix M4 of the male part PM comes into contact with the bottom F8 of the bore F6 of the female part PF.

Les trous cylindriques débouchants M6 de la partie mâle PM et F7 de la partie femelle PF sont alignés.  The through-hole cylindrical holes M6 of the male part PM and F7 of the female part PF are aligned.

Préférentiellement, la partie femelle PF comporte une gorge F9 circulaire autour de l'appendice F4, cette gorge F9 étant adaptée à recevoir un joint torique.  Preferably, the female part PF comprises a circular groove F9 around the appendix F4, this groove F9 being adapted to receive an O-ring.

Dans le mode de réalisation décrit ici, la partie femelle PF comporte une pluralité de trous débouchant lisses F10 traversant de part en part la base cylindrique F1, pour la fixation de cette partie femelle PF avec le commutateur statique C. Seul l'un d'entre eux est représenté sur la figure 4B.  In the embodiment described here, the female part PF comprises a plurality of smooth through holes F10 passing right through the cylindrical base F1, for the attachment of this female part PF with the static switch C. Only one of between them is shown in Figure 4B.

Nous allons maintenant décrire en référence à la figure 5 la liaison entre un Io plot de connexion P1, P6 du commutateur statique C et le plot de connexion P1, P6 correspondant du laser excimère L pour le transfert de la charge de ionisation (P1, P5) ou de préconisation (P6), Dans le mode de réalisation décrit ici, ces six liaisons sont identiques.  We will now describe with reference to FIG. 5 the connection between a connection pad P1, P6 of the static switch C and the corresponding connection pad P1, P6 of the excimer laser L for the transfer of the ionization charge (P1, P5 ) or of recommendation (P6). In the embodiment described here, these six links are identical.

Dans le mode de réalisation décrit ici, le commutateur statique C comporte 15 une paroi C5 en inox d'une épaisseur de 10 mm revêtue sur sa partie externe par une paroi isolante C6.  In the embodiment described here, the static switch C comprises a wall C5 of stainless steel with a thickness of 10 mm coated on its outer part by an insulating wall C6.

Conformément à la présente invention, la partie femelle PF du plot P1 décrit en référence à la figure 4B est destinée à être fixée à l'intérieur du commutateur statique C. En conséquence, la hauteur de l'appendice F4 de la partie femelle PF correspond sensiblement à l'épaisseur de la paroi interne C5 additionnée de l'épaisseur et de la paroi isolante C6, du commutateur statique C. Le commutateur C comporte ainsi un perçage cylindrique A5 d'un diamètre sensiblement supérieur au diamètre de l'appendice F4 de la partie femelle PF, ce 25 perçage étant réalisé dans la paroi interne C5 et dans la paroi isolante C6 de ce commutateur.  According to the present invention, the female part PF of the pad P1 described with reference to FIG. 4B is intended to be fixed inside the static switch C. Consequently, the height of the appendix F4 of the female part PF corresponds substantially to the thickness of the inner wall C5 plus the thickness and the insulating wall C6 of the static switch C. The switch C thus comprises a cylindrical bore A5 of a diameter substantially greater than the diameter of the appendix F4 of the female part PF, this hole being made in the inner wall C5 and in the insulating wall C6 of this switch.

Ainsi, la partie femelle PF du plot P1 est positionnée à l'intérieur du commutateur statique C de sorte que la face externe F3 de la base cylindrique F1 de la partie femelle PF soit en appui contre la face interne de la paroi interne C5 du commutateur statique C. Pour assurer la fixation de la partie femelle PF dans le commutateur statique C au moyen de plusieurs vis non représentées, la paroi interne C5 comporte des parties filetées non débouchantes C9 en vis-à-vis des trous lisses F10 de la partie femelle PF.  Thus, the female part PF of the pad P1 is positioned inside the static switch C so that the external face F3 of the cylindrical base F1 of the female part PF bears against the internal face of the internal wall C5 of the switch C. To ensure the attachment of the female part PF in the static switch C by means of several screws not shown, the inner wall C5 has threaded non-emergent portions C9 vis-à-vis the smooth holes F10 of the female part PF.

La partie femelle PF permet ainsi d'assurer l'étanchéité du commutateur statique C rempli d'huile T7.  The female part PF thus makes it possible to seal the static switch C filled with oil T7.

De la même façon, la partie mâle PM du plot P1 est conçue pour être fixée, à l'extérieur du commutateur C et de façon amovible, contre la paroi isolante C6 du commutateur statique C, lorsqu'elle est imbriquée dans la partie femelle PF.  In the same way, the male part PM of the pad P1 is designed to be fixed, outside the switch C and removably, against the insulating wall C6 of the static switch C, when it is nested in the female part PF .

A cet effet, les trous lisses M7 de la partie mâle PM sont placés en visà-vis de parties filetées C10 débouchantes de la paroi interne C6, ces parties filetées débouchantes C10 étant elle-même en vis-à-vis de parties filetées non débouchantes C11 percées sur la face externe de la paroi C5 du commutateur statique C. Dans cet agencement, la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM vient se positionner contre la paroi isolante C6.  For this purpose, the smooth holes M7 of the male part PM are placed vis-à-vis threaded portions C10 emerging from the internal wall C6, these open threaded portions C10 itself being opposite non-emerging threaded portions C11 drilled on the outer face of the wall C5 of the static switch C. In this arrangement, the inner face M3 of the base M1 of the male part PM is positioned against the insulating wall C6.

Conformément à la présente invention, le plot de connexion P1 comporte des moyens de liaison avec une plaque conductrice C30 reliée à deux tours de commutation (par exemple T1, T2) comme décrit précédemment en référence à la figure 2.  According to the present invention, the connection pad P1 comprises means of connection with a conductive plate C30 connected to two switching towers (for example T1, T2) as described previously with reference to FIG.

Dans le mode de réalisation préféré décrit ici, ces moyens de liaison comportent un support A10 et un organe de serrage A20, tous deux en cuivre, pour le maintien d'une extrémité C95 de la plaque conductrice C30 précitée.  In the preferred embodiment described here, these connecting means comprise a support A10 and a clamping member A20, both made of copper, for holding a C95 end of the conductive plate C30 mentioned above.

A cet effet, l'extrémité C95 de la plaque conductrice C30, le support A10 et l'organe de serrage A20 comportent tous une partie filetée, ces parties filetées étant alignées pour recevoir une vis non représentée sur la figure 5, en vue de la fixation de la plaque conductrice C30 entre le support A10 et l'organe de serrage A20.  For this purpose, the end C95 of the conductive plate C30, the support A10 and the clamping member A20 all have a threaded portion, these threaded portions being aligned to receive a screw not shown in Figure 5, in view of the fixing the conductive plate C30 between the support A10 and the clamping member A20.

Dans le mode préféré de réalisation de l'invention décrit ici, le support A10 comporte sur sa surface en contact avec la plaque conductrice C30, des stries A25 qui permettent, lors du serrage de l'organe A20 sur le support A10, d'améliorer le 30 contact électrique entre la plaque conductrice C30 et le support A10.  In the preferred embodiment of the invention described here, the support A10 has on its surface in contact with the conductive plate C30, grooves A25 which allow, when clamping the member A20 on the support A10, to improve the electrical contact between the conductive plate C30 and the support A10.

Le support en cuivre A10 est constitué dans le mode de réalisation décrit ici par une pièce sensiblement cylindrique d'axe A", comme représenté plus en détails à la figure 6.  The copper support A10 is constituted in the embodiment described here by a substantially cylindrical piece of axis A ", as shown in more detail in FIG. 6.

La figure 6 représente en coupe le support en cuivre A10 d'un plot de connexion P1 conforme à l'invention.  Figure 6 shows in section the copper support A10 of a connection pad P1 according to the invention.

Ce support est constitué par une pièce cylindrique en cuivre d'axe A".  This support consists of a cylindrical copper piece of axis A ".

Le support A10 comporte une face interne S1 plane, circulaire, d'axe de 5 symétrie A", cette face interne S1 comportant les stries A25 précitées qui, dans ce mode préféré de réalisation, sont également circulaires.  The support A10 has a plane inner face S1, circular, axis of symmetry A ", this inner face S1 comprising the streaks A25 above which, in this preferred embodiment, are also circular.

Le support A10 comporte une face externe S2 parallèle à la face interne S1. Le support A10 comporte un premier perçage cylindrique non débouchant S4 d'axe A" réalisé à partir de la face interne S2.  The support A10 has an external face S2 parallel to the internal face S1. The support A10 comprises a first non-emerging cylindrical bore S4 of axis A "made from the internal face S2.

Le diamètre de ce premier perçage S4 est inférieur au diamètre du support A10 et supérieur au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM de ce plot.  The diameter of this first bore S4 is smaller than the diameter of the support A10 and greater than the diameter of the opening hole M6 of the male part PM of this stud.

Le fond du perçage S4 est référencé S3 sur la figure 6.  The bottom of the bore S4 is referenced S3 in FIG.

A partir de ce fond S3, le support A10 comporte un deuxième perçage S5 15 d'axe A", non débouchant et dont le diamètre est égal au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM de ce plot P1.  From this bottom S3, the support A10 comprises a second bore S5 of axis A ", non-opening and whose diameter is equal to the diameter of the opening hole M6 of the male part PM of this pad P1.

Le fond de ce deuxième perçage S5 est référencé S6 sur la figure 6.  The bottom of this second bore S5 is referenced S6 in FIG.

Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, le support A10 comporte des débouchants filetés S7 parallèles à l'axe A", et percés à proximité du bord externe de la face interne S2 pour la fixation du support A10 sur la face interne F2 de la base F1 de la partie femelle PF.  In the preferred embodiment described here, the support A10 comprises threaded outlets S7 parallel to the axis A ", and drilled near the outer edge of the inner face S2 for fixing the support A10 on the internal face F2 of the F1 base of the PF female part.

A cet effet, la partie F2 comporte des parties filetées non débouchantes en vis-à-vis des parties filetées S7 du support A10, ces parties filetées n'étant pas représentées sur les figures 4B et 5 pour simplification.  For this purpose, the portion F2 has threaded portions that are not open towards the threaded portions S7 of the support A10, these threaded portions not being shown in FIGS. 4B and 5 for simplification.

Le plot de connexion P1 selon l'invention comporte également un tube cylindrique de liaison A30 de diamètre très légèrement inférieur au diamètre du perçage M6 de la partie mâle PM.  The connection pad P1 according to the invention also comprises a cylindrical connecting tube A30 of diameter very slightly smaller than the diameter of the bore M6 of the male part PM.

La longueur du tube de liaison A30 est sensiblement égale à la somme des longueurs suivantes: - deux fois la profondeur du premier perçage S4 du support en cuivre A10; - deux fois la profondeur du deuxième perçage S5 du support en cuivre A10; - hauteur de la base M1 de la partie mâle PM; hauteur de la base F1 de la partie femelle PF; et - hauteur de l'appendice F4 de la partie femelle PF.  The length of the connecting tube A30 is substantially equal to the sum of the following lengths: - twice the depth of the first bore S4 of the copper support A10; twice the depth of the second bore S5 of the copper support A10; - height of the base M1 of the male part PM; height of the base F1 of the female part PF; and - height of the appendix F4 of the female part PF.

Le tube de liaison A30 est ainsi adapté à traverser de part en part les parties mâle PM et femelle PF lorsque celles-ci sont imbriquées l'une dans l'autre.  The connecting tube A30 is thus adapted to pass right through the male PM and female PF parts when they are nested one inside the other.

Avant de fixer le support A10 à la face interne F2 de la partie femelle PF, on positionne un ressort élastique en cuivre A35 annulaire contre la surface S3 du premier perçage S4 du support en cuivre A10.  Before fixing the support A10 to the internal face F2 of the female part PF, an annular copper spring A35 is positioned against the surface S3 of the first bore S4 of the copper support A10.

La hauteur de ce ressort élastique en cuivre A35 est sensiblement égale à la profondeur du premier perçage S4.  The height of this elastic spring copper A35 is substantially equal to the depth of the first hole S4.

Conformément à l'invention, le diamètre de l'espace circulaire défini par ce ressort élastique A35 est sensiblement inférieur au diamètre du tube de liaison A30.  According to the invention, the diameter of the circular space defined by this elastic spring A35 is substantially smaller than the diameter of the connecting tube A30.

Ainsi, une fois le support A10 fixé contre la face interne F2 de la partie femelle PF, il est possible d'insérer le tube de liaison A30 à travers le trou débouchant F7 de la partie femelle PF, jusqu'à atteindre le fond S6 du deuxième perçage S5 du support en cuivre A10, ce second perçage étant adapté, de par son diamètre, à recevoir une extrémité du tube de liaison 130..  Thus, once the support A10 is fixed against the internal face F2 of the female part PF, it is possible to insert the connecting tube A30 through the through hole F7 of the female part PF, until it reaches the bottom S6 of the second hole S5 of the copper support A10, this second hole being adapted, by its diameter, to receive one end of the connecting tube 130.

Pour atteindre ce fond S6, le tube de liaison A30 traverse à force l'anneau élastique A35. Cet anneau A35 permet ainsi d'assurer un excellent contact électrique entre la périphérie externe du tube de liaison A30 et le support A10.  To reach this bottom S6, the connecting tube A30 forcibly passes through the elastic ring A35. This ring A35 thus ensures excellent electrical contact between the outer periphery of the connecting tube A30 and the support A10.

On vient ensuite positionner la partie mâle PM en enfilant le tube de liaison A30 à travers le trou débouchant M6 de cette partie mâle PM.  The male part PM is then positioned by threading the connecting tube A30 through the through hole M6 of this male part PM.

Puis, on vient imbriquer la partie mâle PM dans la partie femelle PF comme décrit précédemment.  Then, we just nest the male part PM in the female part PF as described above.

Dans cette configuration, la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM vient se plaquer contre la surface externe de la paroi isolante C10.  In this configuration, the inner face M3 of the base M1 of the male part PM is pressed against the outer surface of the insulating wall C10.

Cette partie mâle PM est fixée solidairement à la paroi interne C5 du commutateur statique C à travers la paroi interne C11 au moyen de vis non représentées sur la figure 6, ces vis traversant les trous lisses M7 de lapartie mâle PM, les tiges filetées C10 et C11 de la paroi isolante C6 et de la paroi C5.  This male part PM is fixed integrally to the internal wall C5 of the static switch C through the internal wall C11 by means of screws not shown in FIG. 6, these screws passing through the smooth holes M7 of the male part PM, the threaded rods C10 and C11 of the insulating wall C6 and the wall C5.

Le plot PI comporte ensuite un deuxième support A10 dans lequel on a positionné à force un deuxième ressort annulaire élastique en cuivre A35, comme décrit ci-dessus.  The pad PI then comprises a second support A10 in which a second resilient annular copper spring A35 has been force-fitted as described above.

Ce deuxième support A10 est fixé à la surface externe M2 de la partie mâle PM avec des vis non représentées.  This second support A10 is fixed to the outer surface M2 of the male part PM with screws not shown.

A cet effet, la partie mâle PM comporte des parties filetées non débouchantes en vis-à-vis des parties filetées S7 du support A10.  For this purpose, the male part PM has threaded portions that are not open towards the threaded portions S7 of the support A10.

Après fixation, l'extrémité du tube cylindrique de liaison A30 est en contact avec le fond S6 du deuxième trou débouchant S5 du deuxième support A10.  After fixing, the end of the cylindrical connecting tube A30 is in contact with the bottom S6 of the second through hole S5 of the second support A10.

Là encore, un excellent contact électrique est assuré entre le tube de liaison A30 et le deuxième support en cuivre A10 grâce au ressort annulaire élastique en cuivre A35.  Again, excellent electrical contact is provided between the connecting tube A30 and the second copper support A10 through the resilient annular spring copper A35.

Le plot P1 selon l'invention comporte enfin un deuxième organe de serrage A20 pour le maintien de la plaque de liaison en cuivre L10 en coopération avec le 10 deuxième support A10.  The pad P1 according to the invention finally comprises a second clamping member A20 for holding the copper connecting plate L10 in cooperation with the second support A10.

La fixation de la plaque de liaison en cuivre L10 avec le plot P1 du laser excimère est réalisée avec des vis. Elle ne sera pas décrite en détail ici.  The fixing of the copper connection plate L10 with the pad P1 of the excimer laser is carried out with screws. It will not be described in detail here.

Préférentiellement, la forme de la plaque de liaison en cuivre L10 est choisie pour régler l'inducteur du système et pour faire varier le temps de charge des condensateurs secondaires L40.  Preferentially, the shape of the copper connection plate L10 is chosen to adjust the inductor of the system and to vary the charging time of the secondary capacitors L40.

Dans un mode préféré de réalisation, le tube de liaison A30 comporte à son extrémité extérieure une partie filetée A32 dans laquelle peut être insérée une vis permettant le retrait de ce tube de liaison de façon aisée.  In a preferred embodiment, the connecting tube A30 has at its outer end a threaded portion A32 in which can be inserted a screw allowing the removal of the connecting tube easily.

Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, ce tube de liaison comprend un percement A33 sur toute sa longueur permettant d'injecter de la graisse à travers le tube, cette graisse venant s'infiltrer en particulier dans les zones de contact entre les parties mâle PM et femelle PF du plot P1 et dans les zones de contact entre la partie femelle PF et la surface interne de la paroi C5 du commutateur statique C. Cette graisse permet ainsi un excellent isolant électrique qui évite la formation de plasma le long du tube de liaison A30.  In the preferred embodiment described herein, this connecting tube comprises an A33 piercing along its entire length for injecting grease through the tube, this grease being infiltrated in particular in the contact zones between the male parts. PM and female PF of the pad P1 and in the contact zones between the female part PF and the internal surface of the wall C5 of the static switch C. This grease thus allows an excellent electrical insulator which prevents the formation of plasma along the tube A30 link.

Dans le mode préféré de réalisation de l'invention décrit ici, les zones de contact entre la poutre mâle PM et la poutre femelle PF constituent un chemin de contournement de courant électrique d'au moins 40 mm entre le tube de liaison A30 et la paroi c5.  In the preferred embodiment of the invention described herein, the contact zones between the male beam PM and the female beam PF constitute an electrical current bypass path of at least 40 mm between the connecting tube A30 and the wall c5.

Cette caractéristique permet avantageusement d'améliorer l'isolation électrique du commutateur statique.  This characteristic advantageously makes it possible to improve the electrical isolation of the static switch.

L'homme du métier comprendra aisément que, grâce à l'agencement particulièrement avantageux de l'invention, la partie mâle PM du tube de liaison P1 peut être retirée alors que la partie femelle PF reste fixée à la paroi C5 du commutateur statique, cette partie femelle PF assurant l'étanchéité de ce commutateur statique.  Those skilled in the art will readily understand that, thanks to the particularly advantageous arrangement of the invention, the male part PM of the connecting tube P1 can be removed while the female part PF remains fixed to the wall C5 of the static switch, this PF female part ensuring the sealing of this static switch.

On peut ainsi retirer le tube de liaison A30 et rompre la liaison électrique sans compromettre l'étanchéité du commutateur statique.  It is thus possible to remove the connecting tube A30 and to break the electrical connection without compromising the tightness of the static switch.

Claims (4)

REVENDICATIONS 1 - Commutateur statique (C) comportant plusieurs tours de commutation (T1, T10), chacune de ces tours (T1) comportant un contact de sortie (T90) adapté à 5 délivrer une tension élevée en réponse à une commande de transfert de charge, ledit commutateur statique étant caractérisé en ce que: - lesdites tours (T1, T10) sont divisées en groupes, lesdits contacts de sortie (T90) des tours (T1, T2) d'un même groupe étant connectés à une plaque conductrice (C30) reliée à un plot de connexion (P1, P5) dudit commutateur statique, lesdites plaques de connexion étant isolées électriquement l'une de l'autre; en ce que: - les dits plots de connexion sont reliés entre eux pour la mise en parallèle desdites tours (T1, T10) ; et en ce que: - la commande de transfert de charge est appliquée simultanément à 15 chacune desdites tours.  1 - Static switch (C) having several switching towers (T1, T10), each of these turns (T1) comprising an output contact (T90) adapted to deliver a high voltage in response to a charge transfer command, said static switch being characterized in that: - said turns (T1, T10) are divided into groups, said output contacts (T90) of the turns (T1, T2) of the same group being connected to a conductive plate (C30) connected to a connection pad (P1, P5) of said static switch, said connection plates being electrically insulated from each other; in that: - said connection pads are connected together for the paralleling of said turns (T1, T10); and in that: - the charge transfer control is applied simultaneously to each of said turns. 2 - Commutateur statique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une unité de commande (C80) reliée par un câble à chacune des dites tours (T1, T10) pour déclencher ledit transfert de charge, lesdits câbles étant sensiblement de mêmes longueurs.  2 - static switch according to claim 1, characterized in that it comprises a control unit (C80) connected by a cable to each of said turns (T1, T10) to trigger said load transfer, said cables being substantially the same lengths. 3 - Commutateur statique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les valeurs des tensions de sortie des tours (T1, T2) appliquées à chacune des plaques conductrices (T30) sont sensiblement identiques.  3 - static switch according to claim 1 or 2, characterized in that the values of the output voltages of the turns (T1, T2) applied to each of the conductive plates (T30) are substantially identical. 4 - Commutateur statique (C) selon l'une quelconque des revendications a 1 à 3, caractérisé en ce que le contact de sortie (T90) d'une tour de commutation (T1) est maintenu dans un support (C10) en forme de U de ladite plaque conductrice (C30) à laquelle elle est connectée, au moyen d'une double rangée de contacts élastiques (C20) en bronze de béryllium ayant la forme de lamelles arrondies.  4 - static switch (C) according to any one of claims a 1 to 3, characterized in that the output contact (T90) of a switching tower (T1) is held in a support (C10) in the form of U of said conductive plate (C30) to which it is connected, by means of a double row of beryllium bronze elastic contacts (C20) in the form of rounded lamellae. - Commutateur statique (C) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte dix tours de commutation (T1, T10) connectées deux par deux à cinq plots de connexions (P1, P5), chacune desdites tours (T1, T10) étant adaptée à délivrer par son contact de sortie (T90) une tension nominale comprise entre 24 et 30kV, en réponse à ladite commande de transfert, celle-ci étant générée à une fréquence d'impulsions inférieure à 1 kHz.  - static switch (C) according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises ten switching turns (T1, T10) connected two by two to five connection pads (P1, P5), each of said turns (T1, T10) being adapted to deliver by its output contact (T90) a nominal voltage of between 24 and 30kV, in response to said transfer control, the latter being generated at a pulse frequency of less than 1 kHz .