FR2819592A1 - Procede et systeme d'alignement d'ensembles optiques - Google Patents

Procede et systeme d'alignement d'ensembles optiques Download PDF

Info

Publication number
FR2819592A1
FR2819592A1 FR0116688A FR0116688A FR2819592A1 FR 2819592 A1 FR2819592 A1 FR 2819592A1 FR 0116688 A FR0116688 A FR 0116688A FR 0116688 A FR0116688 A FR 0116688A FR 2819592 A1 FR2819592 A1 FR 2819592A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
elements
alignment
assembly
guide
guide means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
FR0116688A
Other languages
English (en)
Inventor
Vilhelm Oskarsson
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Microsemi Semiconductor AB
Original Assignee
Zarlink Semiconductor AB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zarlink Semiconductor AB filed Critical Zarlink Semiconductor AB
Publication of FR2819592A1 publication Critical patent/FR2819592A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
    • G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment
    • G02B6/4231—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment with intermediate elements, e.g. rods and balls, between the elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant d'aligner avec précision des composants dans un ensemble électro-optique à plusieurs éléments. Une ou plusieurs tiges de guidage (18) sont prévues en liaison avec une certaine couche de l'ensemble. Chaque couche restante est dotée de moyens de guidage coopérants (22, 28, 34) qui sont appariés avec les tiges de guidage d'une certaine manière, de sorte que les divers composants optiques sont alignés avec précision une fois le processus de fabrication terminé. Le système et le procédé réduisent le temps d'assemblage.

Description

i La présente invention concerne les ensembles optiques à plusieurs
éléments et, plus particulièrement les systèmes et les procédés permettant d'aligner avec précision des éléments pendant la fabrication
d'un ensemble optique.
Les dispositifs formant des interfaces électro-optiques tels que les émetteurs optiques et les récepteurs optiques ont joué un rôle important dans la rapide croissance des communications à grande vitesse, à courte et longue distance. Les dispositifs d'émission de lumière à semiconducteur, comme par exemple les diodes et les lasers à émission en surface et par le bord, peuvent être ajustés de façon à produire une puissance optique dans une gamme de fréquence bien adaptée aux photodiodes et aux fibres optiques classiques. Dans une forme de mise en oeuvre présentée à titre d'exemple, un laser à émission en surface à cavité verticale (noté VCSEL), par exemple, est utilisé pour produire une puissance optique modulée qui est couplée à une fibre optique monomode et est transportée à un récepteur situé en aval o la puissance optique est
couplée à une photodiode et est reconvertie en un signal électrique.
Typiquement, ces VCSEL sont montés sur un support, une carte de circuit imprimé ou une grille de connexion. Dans certaines applications, on peut
utiliser une lentille pour focaliser le faisceau optique sur la fibre optique.
L'alignement de ces composants est un problème tout à fait crucial,
eu égard notamment à la très petite taille du VCSEL et de la fibre optique.
Un défaut d'alignement, même portant sur de petites quantités, réduit
sévèrement le rendement de couplage.
Une technique de fabrication fréquemment utilisée pour les ensembles optiques applique un processus d'alignement actif selon lequel le dispositif d'émission de lumière est excité tandis que la lentille et la fibre sont déplacés par rapport au dispositif actif jusqu'à ce qu'un couplage optimal soit obtenu. Ce processus peut prendre un temps extrêmement long et, par conséquent, ajoute considérablement au coût de fabrication
de l'ensemble optique.
Le besoin existe donc d'un système et d'un procédé grâce auxquels on puisse aligner avec précision et de manière efficace les divers
composants de l'ensemble.
L'invention vise à satisfaire le besoin ci-dessus indiqué au moyen d'une ou plusieurs tiges d'une variété de tiges de guidage, qui seront typiquement associées à l'un des composants optiques, par exemple le substrat sur lequel le dispositif actif est monté, après quoi chacun des éléments restants de l'ensemble comprendra un moyen d'alignement coopératif de façon que, lorsqu'on aligne chacun des éléments par rapport à la tige de guidage, chacun des composants de
l'ensemble se trouve aligné avec précision.
Ainsi, selon un premier aspect de l'invention, il est proposé un procédé permettant d'aligner des éléments dans la fabrication d'un ensemble optique à plusieurs éléments, qui comprend les opérations suivantes: produire un guide d'alignement; et doter chaque élément de l'ensemble à plusieurs éléments d'un moyen de guidage coopératif, grâce à quoi le positionnement du moyen de guidage coopératif se trouvant sur chaque élément par rapport au guide d'alignement assure l'alignement des éléments. Selon un deuxième aspect de l'invention, il est proposé un système destiné à être utilisé pour l'alignement d'éléments pendant la fabrication d'un ensemble électro-optique, chaque élément ayant un ou plusieurs composants de l'ensemble électro-optique, I'ensemble comprenant un élément d'alignement et un moyen de guidage coopératif associé à chaque élément de l'ensemble, grâce à quoi l'alignement du moyen de guidage et de l'élément d'alignement assure l'alignement des
composants de l'ensemble.
La description suivante, conçue à titre d'illustration de
l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages, elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: la figure 1 est une vue latérale d'un ensemble optique possédant un dispositif actif d'émission de lumière; la figure 2 est une vue partielle agrandie d'un ensemble possédant un récepteur optique; la figure 3 est une vue latérale d'un ensemble émetteur et dispositif de contrôle; la figure 4 est une vue latérale d'une variante de l'ensemble de la figure 3; la figure 5 est une vue partielle d'un ensemble doté d'une lentille partiellement réfléchissante; et la figure 6 est une vue en section droite d'un ensemble optique
comportant des circuits intégrés associés.
Sur la figure 1, est représenté un mode de réalisation pratique de l'invention, o un dispositif d'émission de lumière, comme par exemple un VCSEL, 12 est monté sur un substrat 14, ou un autre support approprié, et le signal de sortie du VCSEL est couplé à une fibre optique 16. Sur la figure 1, le substrat 14 comporte une ou plusieurs tiges de guidage 18 qui lui sont associées. Le VCSEL 12 peut être positionné sur le substrat 14 au moyen d'un repère d'alignement (non représenté) disposé sur le substrat, de façon que le VCSEL soit positionné de manière précise par rapport aux tiges de guidage 18. Sur la figure 1, une grille de connexion 20 est utilisée pour réaliser les connexions électriques nécessaires avec au moins un côté du VCSEL 12. La grille de connexion 20 est dotée d'un moyen de guidage d'alignement 22 qui, comme représenté sur la figure 1, est un trou d'un diamètre approprié pour permettre à la grille de connexion 20 de s'enfiler sur les tiges de guidage 18. On doit comprendre que le VCSEL 12 peut également être fabriqué de manière à utiliser une structure du type puce à bosses o les contacts électriques sont du même côté et peuvent être reliés à la grille de connexion 20 au moyen de soudure 24. La grille de connexion 20 est placée sur les tiges de guidage 18 et, dans ce cas, il n'est pas nécessaire de prévoir un
quelconque repère d'alignement sur le substrat.
Un ensemble de lentille 26 est également doté de moyens de guidage 28 se présentant sous la forme de trous positionnés avec précision. Une lentille de type bulle 30 qui est associée à l'ensemble de lentille 26 est positionnée par rapport aux moyens de guidage 28 de façon que, lorsque l'ensemble de lentille est monté sur les tiges de guidage 18, la lentille bulle 30 se trouve placée directement sur la région active, ou d'émission de lumière, du VCSEL 12. Enfin, la fibre optique 16 est maintenue dans un élément de support 32 qui, de nouveau, est doté de moyens de guidage 34, de façon que, lorsque le support de la fibre est placé sur les tiges de guidage 18, la fibre 16 est alignée avec précision par
rapport à la lentille 30 et à la partie active du VCSEL 12.
Les tiges de guidage 18 de la figure 1 peuvent être à section droite circulaire, à section droite carrée, ou, de fait, coniques. De plus, même si les tiges de guidage sont vues comme étant associées avec le substrat 14, il sera évident à l'homme de l'art qu'elles peuvent être
associées avec l'un quelconque des autres composants de l'ensemble.
Par exemple, les tiges peuvent faire partie du porte-lentille 26, auquel cas elles s'ajusteront dans les trous appropriés ménagés dans les éléments restants. Les tiges peuvent être faites en métal, par exemple en aluminium, en un matériau semiconducteur gravé avec précision, en céramique, en matière plastique, ou en d'autres matériaux, comme
cela semblera évident à l'homme de l'art.
Alors que les moyens de guidage sont représentés comme étant des trous ménagés dans les éléments respectifs, on doit aussi comprendre qu'ils peuvent être simplement des formes aux contours appropriés, comme par exemple des rainures ménagées dans les bords des divers
éléments de l'ensemble.
Les tiges de guidage 18 peuvent aussi se présenter sous la forme de boules, de dispositifs du type crochets, ou de dispositifs de retenue, qui, comme indiqué ci-dessus, peuvent être associés de façon permanente avec l'un des éléments, ou bien elles peuvent être d'un type que l'on peut retirer une fois l'ensemble terminé et fixé en place de
manière appropriée.
La figure 2 représente un dispositif analogue à celui qui a été présenté sur la figure 1, sauf qu'il comprend maintenant un récepteur optique 36, par exemple une photodiode. Dans cette forme de mise en oeuvre, de l'énergie optique venant d'une source située en aval (non représentée) est transmise de la fibre optique 16 au récepteur actif 36 via la lentille 30. Comme dans ce qui précède, chacun des composants est aligné par rapport aux autres au moyen des tiges de guidage 18, qui
n'ont pas été représentées sur la figure 2.
Les figures 3 et 4 illustrent une application dans laquelle l'alignement de l'ensemble de lentille par rapport à des dispositifs actifs est crucial. Sur la figure 3, le signal de sortie relatif du VCSEL 12 est contrôlé par un photodétecteur 36 via la réflexion d'une partie du signal de sortie du VCSEL sur le détecteur au moyen de surfaces réfléchissantes de la
lentille 40 positionnée de manière précise.
La figure 4 montre un autre exemple d'un ensemble de lentille 42, o l'émission optique d'un dispositif 44 à émission par le bord est réfléchie hors de l'ensemble par la surface 46, placée à 45 , de la lentille 42. L'émission renvoyée par la facette arrière du dispositif à émission par le bord 44 est déviée par une surface 48, et est réfléchie par des surfaces et 52 à destination du détecteur 36. De nouveau, l'ensemble de lentille 42 peut être positionné avec précision par rapport à l'émetteur 44 et au dispositif de contrôle 36, et ce positionnement précis peut être obtenu au
moyen du processus d'alignement de l'invention.
La figure 5 montre un autre exemple, dans lequel l'ensemble de lentille possède une surface partiellement réfléchissante de façon qu'une partie de l'émission soit renvoyée à destination d'un détecteur positionné
de manière correcte.
La figure 6 représente une autre version de l'ensemble de la figure 1. Dans ce cas, une carte 60 de circuit imprimé possède des rails conducteurs 61 servant à la fixation de divers composants actifs qui sont positionnés par rapport aux moyens de guidage 18. Ces composants peuvent être par exemple un VCSEL 12 (ou une photodiode, par exemple une diode PIN), des préamplificateurs et, ou bien, des post-amplificateurs 62, des puces de commande 64, des condensateurs, etc. Il apparaîtra évident à l'homme de l'art que le concept de base de l'invention conduit de lui- même à la fabrication de toute une variété d'ensembles o les composants se trouvant sur une couche doivent être alignés avec précision par rapport à des composants se trouvant sur des couches placées au-dessus et, ou bien, au-dessous. Ces éléments peuvent comporter, en plus des composants ci-dessus mentionnés, un ou plusieurs
passages permettant de combiner/diviser des longueurs d'ondes multiples.
Les couches peuvent aussi comporter des couvercles de protection mécaniques ou relatifs à l'environnement servant à assurer la protection contre l'humidité, la poussière, etc. Les éléments optiques peuvent
comporter, en plus d'une lentille, des miroirs, des revêtements anti-
réfléchissants, ou d'autres couches, ou des fibres optiques.
Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer,
à partir des procédés et des dispositifs dont la description vient d'être
données à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses
variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention.

Claims (15)

REVENDICATIONS
1. Procédé permettant d'aligner des éléments dans la fabrication d'un ensemble électro-optique à plusieurs éléments, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations suivantes produire un guide d'alignement; et doter chaque élément de l'ensemble à plusieurs éléments de moyens de guidage coopérants, de sorte que le positionnement des moyens de guidage coopérants se trouvant sur chaque élément par
rapport au guide d'alignement assure l'alignement des éléments.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que
chaque élément comporte un composant de l'ensemble électro-optique.
3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit
guide d'alignement est une tige de guidage.
4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que ladite tige de guidage est formée solidairement avec l'un des éléments de
l'ensemble à plusieurs éléments.
5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite tige de guidage est formée solidairement avec un substrat de montage sur lequel est placé un dispositif actif, ledit dispositif actif étant aligné par
rapport à ladite tige de guidage.
6. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que lesdits éléments de l'ensemble à plusieurs éléments comportent: un substrat ayant un dispositif actif, une grille de connexion, une lentille et un
support de fibre optique.
7. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que ladite tige de guidage présente l'une des configurations suivantes: elle a une
section droite carrée; elle a une section droite ronde; elle est conique.
8. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on retire ladite tige de guidage après que l'ensemble électro-optique a été fabriqué.
9. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens de guidage coopérants sont constitués par un trou ménagé
dans chacun desdits éléments.
10. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit moyen de guidage coopérant est un bord conformé de chacun desdits éléments.
11. Système destiné à être utilisé pour aligner des éléments pendant la fabrication d'un ensemble électro-optique, chaque élément ayant un ou plusieurs composants de l'ensemble électro-optique, le système étant caractérisé en ce qu'il comprend un élément d'alignement (18); et des moyens de guidage coopérants (22, 28, 34) associés à chaque élément dudit ensemble, de sorte que l'alignement desdits moyens de guidage et dudit élément d'alignement assure l'alignement des
composants dudit ensemble.
12. Système selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il
possède au moins deux éléments d'alignement (18).
13. Système selon la revendication 11, caractérisé en ce que lesdits composants comprennent l'un des suivants: un dispositif à semiconducteur actif (12), un support (14), une grille de connexion (20),
une lentille (30), et une fibre optique (16).
14. Système selon la revendication 11, caractérisé en ce que des composants respectifs sont positionnés en liaison avec des éléments respectifs par rapport auxdits moyens de guidage (22, 28, 34) de façon
que lesdits composants soient alignés dans l'état assemblé.
15. Système selon la revendication 14, caractérisé en ce que ledit élément d'alignement est une tige de guidage (18) placée dans l'un
desdits éléments.
FR0116688A 2000-12-22 2001-12-21 Procede et systeme d'alignement d'ensembles optiques Withdrawn FR2819592A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0031625A GB2370373A (en) 2000-12-22 2000-12-22 Alignment of optical assemblies

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2819592A1 true FR2819592A1 (fr) 2002-07-19

Family

ID=9905873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0116688A Withdrawn FR2819592A1 (fr) 2000-12-22 2001-12-21 Procede et systeme d'alignement d'ensembles optiques

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20020094175A1 (fr)
CA (1) CA2365498A1 (fr)
DE (1) DE10163726A1 (fr)
FR (1) FR2819592A1 (fr)
GB (1) GB2370373A (fr)
SE (1) SE0104389L (fr)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6925099B2 (en) * 2001-11-01 2005-08-02 Stratos International, Inc. Control of VCSEL emission for better high-speed performance
DE10322757B4 (de) * 2003-05-19 2012-08-30 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optoelektronische Sende- und/oder Empfangsanordnungen
US7181111B2 (en) * 2003-08-28 2007-02-20 Lucent Technologies Inc. Apparatus for splicing optical fibers
DE102004056252A1 (de) * 2004-10-29 2006-05-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Beleuchtungseinrichtung, Kfz-Scheinwerfer und Verfahren zur Herstellung einer Beleuchtungseinrichtung
GB0506274D0 (en) * 2005-03-29 2005-05-04 Melexis Nv Optical data tranceiver
GB2442991A (en) * 2006-07-11 2008-04-23 Firecomms Ltd Optical emitter assembly and mounting of surface-emitting optical devices
DE102006042806A1 (de) 2006-09-08 2008-03-27 Endress + Hauser Flowtec Ag Opto-elektronische Vorrichtung
EP2581776A1 (fr) 2011-10-13 2013-04-17 Tyco Electronics Svenska Holdings AB Connecteur optique doté d'un élément d'alignement, unité optique et procédé d'assemblage
GB2527139A (en) * 2014-06-15 2015-12-16 Thomas Essl Wearable haptic notification device, and software application for risk, danger and threat calculation, prediction and prevention
CN104459906A (zh) * 2014-10-21 2015-03-25 华天科技（昆山）电子有限公司 用于有源光缆光学***的无源对准结构及加工工艺
JP7441698B2 (ja) 2020-03-27 2024-03-01 株式会社エンプラス 光レセプタクルおよび光モジュール

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19743992C1 (de) * 1997-09-26 1999-06-24 Siemens Ag Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Steckeraufnahmeelementes und optoelektronischer Stecker
US5913002A (en) * 1997-12-31 1999-06-15 The Whitaker Corporation Optical coupling device for passive alignment of optoelectronic devices and fibers
GB2333853B (en) * 1998-01-31 2002-03-27 Mitel Semiconductor Ab Fiber optic module
GB2333854B (en) * 1998-01-31 2002-07-31 Mitel Semiconductor Ab System and method for aligning optical components
GB2334592B (en) * 1998-02-19 2002-11-13 Mitel Semiconductor Ab Adapter for coupling optical and electronic circuits

Also Published As

Publication number Publication date
CA2365498A1 (fr) 2002-06-22
SE0104389D0 (sv) 2001-12-20
US20020094175A1 (en) 2002-07-18
DE10163726A1 (de) 2002-07-04
SE0104389L (sv) 2002-06-23
GB0031625D0 (en) 2001-02-07
GB2370373A (en) 2002-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10545300B2 (en) Three-dimensional WDM with 1×M output ports on SOI based straight waveguides combined with wavelength filters on 45 degree reflectors
EP0205359B1 (fr) Composant optoélectronique bidirectionnel formant coupleur optique
EP3610309B1 (fr) Puce photonique à structure de collimation intégrée
EP2031714B1 (fr) Circuit optoélectronique ayant un photorécepteur et une diode laser, et module le comprenant
FR2702313A1 (fr) Dispositif d'émission de lumière à semi-conducteur.
FR3077652A1 (fr) Puce photonique a structure de collimation integree
EP0860724A1 (fr) Procédé d'assemblage d'un dispositif opto-hybride
FR2793960A1 (fr) Laser a emission en surface a cavite verticale et dispositif de surveillance de sortie en combinaison et son procede de fabrication
EP1332393A1 (fr) Procede et dispositif d'alignement passif de guides de lumiere e t de composants optoelectroniques et systeme optique utilisant ce dispositif
FR2819592A1 (fr) Procede et systeme d'alignement d'ensembles optiques
EP1995617A1 (fr) Dispositif optoélectronique compact incluant au moins un laser émettant par la surface
EP1962173A1 (fr) Module optoélectronique muni d'au moins un circuit photorécepteur
FR2748123A1 (fr) Ensemble optique pour coupler un guide de lumiere et procede pour sa fabrication
EP3538937B1 (fr) Procédé de réalisation collective d'une pluralité de puces optoélectroniques
EP0133394B1 (fr) Source lumineuse infrarouge comprenant un laser à semi-conducteur associé à des moyens de sélection de mode et d'asservissement en puissance
EP0429337A1 (fr) Tête optique intégrable sur un circuit hybride
WO2021063979A1 (fr) Système optique
EP4130823A1 (fr) Dispositif pour combiner plusieurs faisceaux lumineux
JP2003188454A (ja) 半導体レーザ装置および集積化光ピックアップ
FR2831344A1 (fr) Systeme de distribution d'alimentation fonde sur un conduit de communication a lumiere
FR2836236A1 (fr) Dispositif de couplage optoelectronique perfectionne
WO2014120588A1 (fr) Procédé de construction de modules optoélectroniques pouvant être connectés à des fibres optiques et module optoélectronique pouvant être connecté à au moins une fibre optique
EP3916441A1 (fr) Dispositif de répartition de lumière basé sur un guide d'onde planaire
FR2795199A1 (fr) Dispositif et procede de fabrication de dispositifs comprenant au moins une puce montee sur un support
EP3660563A1 (fr) Test de circuit photonique intégré

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse