FR2745886A1 - Range of standard elements for distribution of gas at high purity - Google Patents

Abstract

The range of elements for fluid distribution are made up of tubular single pieces (10), connections (5,9,12) and connecting passages (1-4,6-8,13,14). Each element consists of conduits (16) provided with terminals (15) each with formed end piece (17) ending in a radial annular section (22) which forms part of a free face (11). The free faces of one element being butted against the face of another in a way opposing and/or perpendicular. Each element is of a standard length (p) or a multiple of it (nP). It contains an assembly piece (42,47,48) which holds the faces (11) of the end pieces (17) together and allows this connection without soldering or brazing.

Description

Jeu d'éléments pour dispositif de distribution de fluide, notamment de gaz de grande pureté, permettant un assemblage sans soudure
L'invention concerne les panneaux ou platines de fluide réalisés par assemblage d'éléments modulaires choisis parmi des tubulures, des raccords de dérivation de type Té, coude, croix (que l'on appellera par la suite raccords), et des composants traversants, et destinés à distribuer du fluide, et plus particulièrement du gaz de grande pureté.Set of elements for a fluid distribution device, in particular of high purity gas, allowing a seamless assembly
The invention relates to fluid panels or plates produced by assembling modular elements chosen from tubing, T-type, elbow, cross branch fittings (which will be called fittings later on), and through components, and intended to distribute fluid, and more particularly gas of high purity.

Cette invention concerne plus précisément les éléments qui comportent des conduits munis de parties terminales terminées par des faces libres positionnées les unes par rapport aux autres de façon opposée et/ou perpendiculaire.This invention relates more precisely to the elements which comprise conduits provided with terminal parts terminated by free faces positioned in relation to each other in an opposite and / or perpendicular manner.

Ce type de platine est utilisé dans de nombreux secteurs d'activité et notamment, mais de façon non limitative, pour la fabrication de composants micro-électroniques.This type of platinum is used in many sectors of activity and in particular, but not limited to, for the manufacture of micro-electronic components.

Les éléments connus présentent généralement, avant assemblage, des dimensions différentes. Il est donc nécessaire de les adapter en vue de l'assemblage d'une platine. De telles adaptations consistent en général à rallonger ou raccourcir des conduits. Etant donné les exigences requises en matière d'étanchéité, dans ces installations, le conduit modifié doit être soudé ou brasé au conduit de l'élément en vis à vis.The known elements generally have, before assembly, different dimensions. It is therefore necessary to adapt them for the assembly of a plate. Such adaptations generally consist in lengthening or shortening conduits. Given the required sealing requirements, in these installations, the modified pipe must be welded or brazed to the pipe of the facing element.

Ces modifications dimensionnelles nécessitent beaucoup de temps et risquent de laisser à l'intérieur des conduits des particules de matière qui peuvent compromettre la mise en oeuvre de certains procédés, notamment dans le domaine de la micro-électroniques, du point de vue de la qualité.These dimensional modifications require a great deal of time and risk leaving particles of material inside the conduits which can compromise the implementation of certain methods, in particular in the field of microelectronics, from the point of view of quality.

Par ailleurs, étant donné qu'une partie seulement d'un ensemble d'éléments modulaires peut être assemblée avant installation dans une salle à atmosphère contrôlée, comme une salle blanche, le reste de l'assemblage doit être effectué à l'intérieur de cette salle. On ne peut donc pas, actuellement, s'affranchir des opérations de soudures ou brasures à l'intérieur de la salle blanche. Il en va de même des interventions de maintenance ayant pour but de remplacer un élément défectueux. Dans un cas comme dans l'autre l'atmosphère contrôlée et l'intérieur des conduits vont être pollués.Furthermore, since only part of a set of modular elements can be assembled before installation in a room with a controlled atmosphere, such as a clean room, the rest of the assembly must be carried out inside this room. room. It is therefore not possible, at present, to do without welding or brazing operations inside the clean room. The same applies to maintenance interventions aimed at replacing a defective element. In either case the controlled atmosphere and the interior of the conduits will be polluted.

D'un autre côté, l'assemblage d'un dispositif de distribution hors environnement contrôlé introduit de l'humidité à l'intérieur des différents éléments qui la constitue, laquelle ne peut être efficacement supprimée que par des techniques de pompage sophistiquées et longues.On the other hand, the assembly of a distribution device outside a controlled environment introduces moisture inside the various elements which constitute it, which can only be effectively removed by sophisticated and time-consuming pumping techniques.

De plus, les soudures et brasures ne garantissent pas une étanchéité parfaite, ce qui peut autoriser la pénétration, dans les conduits, d'éléments chimiques impropres au procédé de fabrication d'un composant.In addition, the welds and solders do not guarantee a perfect seal, which may allow penetration into the conduits of chemical elements unsuitable for the manufacturing process of a component.

Enfin, le remplacement d'un ou plusieurs éléments d'une platine défectueuse, peut être rendu difficile par la présence de soudure, ou simplement par le fait que l'un des éléments de remplacement ne présente pas exactement les mêmes dimensions que celui qu'il doit remplacer.Finally, the replacement of one or more elements of a defective plate, can be made difficult by the presence of welding, or simply by the fact that one of the replacement elements does not have exactly the same dimensions as that which it must replace.

En conséquence, l'invention a pour but d'apporter une solution à ces problèmes d'assemblage et de pollution.Consequently, the invention aims to provide a solution to these assembly and pollution problems.

L'invention propose à cet effet un jeu d'éléments pour platine de fluide du type décrit en introduction, dans lequel: - d'une première part, les éléments sont à un pas prédéterminé ou à un multiple de celui-ci, - d'une seconde part, les parties terminales de chaque élément comportent chacune un embout conformé, formant demiconnecteur, terminé par une section annulaire radiale, formant partie, au moins, de la face libre, et - d'une troisième part on prévoit des moyens d'assemblage présentant des caractéristiques géométriques choisies pour assurer, par enserrage d'embouts mis en vis à vis, un contact surfacique direct ou indirect entre leurs faces libres.To this end, the invention provides a set of elements for fluid platen of the type described in the introduction, in which: - firstly, the elements are at a predetermined pitch or at a multiple thereof, - d 'a second part, the terminal parts of each element each comprise a shaped end piece, forming a semi-connector, terminated by a radial annular section, forming part, at least, of the free face, and - thirdly, means are provided for 'assembly having geometric characteristics chosen to ensure, by clamping end pieces facing each other, direct or indirect surface contact between their free faces.

Ceci permet le raccordement à étanchéité des éléments du jeu, sans soudage ou brasage.This allows the sealing elements of the set to be connected without welding or soldering.

Quand un élément comprend des faces libres perpendiculaires, comme par exemple dans un raccord coudé, on dit qu'il est à un pas donné, lorsque la distance qui sépare le centre de la première face libre, "terminant" son premier conduit, et la projection du centre de la seconde face libre, "terminant" son second conduit (perpendiculaire au premier), sur une droite passant par ledit premier centre et perpendiculaire à ladite première face, est égale au pas donné.When an element comprises perpendicular free faces, as for example in an elbow connection, it is said to be at a given step, when the distance which separates the center from the first free face, "ending" its first conduit, and the projection of the center of the second free face, "ending" its second duct (perpendicular to the first), on a straight line passing through said first center and perpendicular to said first face, is equal to the given pitch.

L'invention propose ainsi des éléments qui présentent tous une dimension donnée, ou un multiple de celle-ci, et des embouts compatibles, ce qui permet de simplifier très notablement leur assemblage, tout comme leur remplacement.The invention thus proposes elements which all have a given dimension, or a multiple thereof, and compatible end pieces, which makes it possible to very significantly simplify their assembly, as well as their replacement.

Par ailleurs, on peut désormais modéliser une platine, avant sa réalisation, à l'aide d'une feuille quadrillée au pas des éléments, ce qui rend très facile son optimisation dimensionnelle comme fonctionnelle.Furthermore, it is now possible to model a plate, before its production, using a sheet grid with the pitch of the elements, which makes its dimensional optimization as well as functional very easy.

Préférentiellement, les embouts d'éléments destinés à être assemblés en regard l'un de l'autre sont de type mécaniquement symétrique. Cela permet de simplifier encore plus l'assemblage du jeu d'éléments et la réalisation de ces derniers.Preferably, the end pieces of elements intended to be assembled facing one another are of the mechanically symmetrical type. This makes it possible to further simplify the assembly of the set of elements and the production of the latter.

Selon une autre caractéristique de l'invention, les raccords comprennent, au moins, des coudes, des croix et des Tés, et les composants traversants comprennent, au moins, des vannes, des détendeurs, des filtres, des dispositifs "antiretour", des manomètres, et des dispositifs à débit massique. Ces listes ne sont pas exhaustives. According to another characteristic of the invention, the fittings comprise, at least, elbows, crosses and Tees, and the through components include, at least, valves, regulators, filters, "non-return" devices, pressure gauges, and mass flow devices. These lists are not exhaustive.

Tous les éléments nécessaires à l'élaboration d'une platine de fluide sont ainsi disponibles au pas donné ou à un multiple de celui-ci.All the elements necessary for the elaboration of a fluid platen are thus available at the given pitch or at a multiple thereof.

Compte tenu des habitudes actuelles, le pas prédéterminé est préférentiellement de 25,4 mm. Mais, bien entendu, d'autres types de pas peuvent être envisagés selon les dimensions des éléments traversants.Given current habits, the predetermined pitch is preferably 25.4 mm. But, of course, other types of pitch can be envisaged depending on the dimensions of the through elements.

Selon une autre caractéristique de l'invention, l'embout offre extérieurement une portée conique s'évasant vers une portée cylindrique supérieure, suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan en retrait vers une partie cylindrique d'extrémité terminée par la section annulaire radiale.According to another characteristic of the invention, the end piece offers externally a conical bearing that widens towards an upper cylindrical bearing, followed by at least one annular flat radial shoulder recessed towards a cylindrical end portion terminated by the annular section. radial.

De tels embouts sont particulièrement pratiques dans la mesure où ils sont tous identiques (pas de différenciation mâle/femelle). Cela permet de faciliter le montage et de diminuer les coûts de production.Such tips are particularly practical since they are all identical (no male / female differentiation). This facilitates assembly and lowers production costs.

Dans un premier mode de réalisation, l'embout est réalisé par usinage de la face externe de la paroi de la partie terminale du conduit.In a first embodiment, the end piece is produced by machining the external face of the wall of the terminal part of the conduit.

Dans un second mode de réalisation, l'embout est réalisé à l'aide, d'une part, de l'extrémité de la partie terminale du conduit, formant la partie cylindrique d'extrémité, terminée par la section annulaire radiale, et d'une seconde part, de premier et second corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps étant conformés pour s'engager sur le conduit, près de ladite section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé de la partie terminale.In a second embodiment, the end piece is produced using, on the one hand, the end of the terminal part of the conduit, forming the cylindrical end part, terminated by the radial annular section, and d a second part, of first and second body, suitable for mutual cooperation by screwing, the two bodies being shaped to engage on the duct, near said radial annular section, while at least one of the two bodies comprises a axial immobilization means relative to a predetermined place of the terminal part.

On entend par "comprendre un moyen d'immobilisation", aussi bien le fait de loger un tel moyen que, le fait d'en être solidaire totalement ou partiellement. By "understanding a means of immobilization" is meant both the fact of housing such a means and the fact of being totally or partially attached to it.

Avantageusement, on prévoit dans ce second mode de réalisation, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement sur la partie terminale du conduit. Ce (ou ces) premier(s) logement(s) est (sont) réalisé(s) par usinage de la face externe de la paroi latérale du conduit.Advantageously, provision is made in this second embodiment, at the predetermined location, for at least one first housing on the terminal part of the conduit. This (or these) first housing (s) is (are) produced by machining the external face of the lateral wall of the duct.

Il est alors particulièrement avantageux que - d'une première part, la partie terminale du conduit comprenne, au niveau du lieu prédéterminé, un seul premier logement annulaire, - d'une seconde part, le premier corps comprenne une partie centrale annulaire, de forme générale cylindrique, munie d'un filetage externe, et destinée à venir s'emmancher sur la partie terminale du conduit et terminée par une extrémité comportant un second logement annulaire réalisé par alésage, de forme homologue à celle du premier logement annulaire et destiné à être placé en regard de celui-ci, - d'une troisième part on prévoit un anneau ouvert en au moins un endroit et de dimensions adaptées pour autoriser son logement dans les premier et second logements, et - d'une quatrième part, le second corps comprenne au moins une première partie annulaire cylindrique munie d'un filetage interne propre à être vissée sur la partie centrale annulaire filetée du premier corps et suivie d'une seconde partie annulaire, de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur l'extrémité du premier corps et ellemême suivie par une troisième partie annulaire, de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur la partie terminale du conduit en laissant libre sa partie cylindrique d'extrémité et comprenant extérieurement la portée conique, la portée cylindrique supérieure, et au moins un épaulement annulaire radial plan en retrait.It is then particularly advantageous that - on the one hand, the terminal part of the conduit comprises, at the predetermined location, a single first annular housing, - on the other hand, the first body comprises an annular central part, of form general cylindrical, provided with an external thread, and intended to be fitted on the terminal part of the conduit and terminated by an end comprising a second annular housing produced by bore, of shape homologous to that of the first annular housing and intended to be placed opposite the latter, - on the third hand, a ring is provided which is open in at least one location and of dimensions suitable for allowing it to be housed in the first and second housings, and - on the fourth hand, the second body comprises at least a first cylindrical annular part provided with an internal thread suitable for being screwed onto the annular central threaded part of the first body and followed by a e second annular part, of cylindrical internal shape, suitable for fitting onto the end of the first body and itself followed by a third annular part, of cylindrical internal shape, suitable for fitting onto the end part of the conduit leaving free its cylindrical end portion and externally comprising the conical bearing, the upper cylindrical bearing, and at least one annular flat radial shoulder recessed.

Dans ce mode de réalisation particulier, c'est donc le premier corps qui comprend (ou loge) le moyen d'immobilisation réalisé sous forme d'anneau.In this particular embodiment, it is therefore the first body which comprises (or houses) the immobilization means produced in the form of a ring.

Un tel embout ne nécessite plus un usinage important de la partie terminale d'un conduit, soit sur le lieu d'implanta tion, soit au préalable. Il suffit désormais de réaliser une échancrure annulaire de quelques dixièmes de millimètres dans la partie terminale du conduit, et de prévoir deux corps, de préférence métalliques fabriqués au préalable en grande série.Such a tip no longer requires significant machining of the end part of a conduit, either at the place of implantation, or beforehand. It is now sufficient to make an annular notch of a few tenths of a millimeter in the terminal part of the duct, and to provide two bodies, preferably metallic, previously produced in large series.

Préférentiellement, pour des raisons de facilité de montage, l'anneau est réalisé en deux parties symétriques.Preferably, for reasons of ease of assembly, the ring is made in two symmetrical parts.

Bien entendu, dans ce second mode de réalisation, des variantes peuvent être envisagées.Of course, in this second embodiment, variants can be envisaged.

Selon encore une autre caractéristique de l'invention, les moyens d'assemblage comprennent - deux rondelles identiques, de forme externe cylindrique, en matière synthétique déformable, propres chacune à être emmanchée sur la partie cylindrique d'extrémité du conduit en butée contre ledit épaulement annulaire plan, et comportant une paroi annulaire radiale plane destinée à former la face libre de contact avec ladite section de l'embout, - une bague métallique de forme cylindrique allongée, propre à loger intérieurement en contact surfacique deux rondelles et les portées cylindriques d'embouts mis face à face, de sorte que les deux faces libres de contact viennent en regard l'une de l'autre, et - deux demi-coquilles possédant deux demi-portées coniques homologues des deux portées coniques respectives des deux embouts mis face à face, l'enserrage de ces deux demicoquilles assurant le raccordement des conduits comportant lesdits embouts.According to yet another characteristic of the invention, the assembly means comprise - two identical washers, of cylindrical external shape, of deformable synthetic material, each suitable for being fitted on the cylindrical end portion of the duct abutting against said shoulder planar annular, and comprising a planar radial annular wall intended to form the free face of contact with said section of the end piece, - a metal ring of elongated cylindrical shape, suitable for internally housing in surface contact two washers and the cylindrical bearing surfaces of end caps placed face to face, so that the two free contact faces come opposite one another, and - two half-shells having two conical half-bearings homologous to the respective two conical bearing surfaces of the two end pieces facing face, the clamping of these two half-shells ensuring the connection of the conduits comprising said end pieces.

Selon encore une autre caractéristique de l'invention, avant raccordement, le plan contenant la section annulaire radiale de chaque embout est situé légèrement en retrait du plan contenant la paroi annulaire radiale plane de la rondelle correspondante, et les caractéristiques géométriques des embouts sont choisies pour assurer, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles, une compression des deux rondelles en matière synthétique déformable suivie d'un contact surfacique entre les deux sections annulaires.According to yet another characteristic of the invention, before connection, the plane containing the radial annular section of each end piece is situated slightly behind the plane containing the planar radial annular wall of the corresponding washer, and the geometric characteristics of the end pieces are chosen for ensure, during the clamping of the two half-shells, a compression of the two washers of deformable synthetic material followed by a surface contact between the two annular sections.

De la sorte, grâce aux portées coniques, le vissage radial des deux demi-coquilles exerce une force axiale sur les rondelles, ce qui tend à les comprimer jusqu'à ce qu'elles réalisent des faces libres planes avec les sections annulaires, autorisant ainsi leur contact surfacique.In this way, thanks to the conical bearings, the radial screwing of the two half-shells exerts an axial force on the washers, which tends to compress them until they achieve flat free faces with the annular sections, thus allowing their surface contact.

L'invention propose également un procédé pour monter un embout (formant demi-connecteur) sur un conduit d'élément de distribution de fluide, comme du gaz, choisi parmi des tubulures, des raccords de dérivation, et des composants traversants, le conduit de l'élément pouvant être d'une longueur quelconque.The invention also provides a method for mounting an end piece (forming a half connector) on a conduit for a fluid distribution element, such as gas, chosen from pipes, branch fittings, and through components, the conduit the element can be of any length.

Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes: a) préparer une section annulaire radiale à une extrémité du conduit, après éventuelle découpe de celui-ci, b) prévoir de premier et second corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps étant conformés pour s'engager sur le conduit, près de la section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé du conduit situé à une distance prédéterminée de la section annulaire radiale, c) engager les deux corps sur le conduit, sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé, d) faire coopérer le moyen d'immobilisation avec la partie du conduit située en le lieu prédéterminé de façon à positionner précisément le corps qui comprend le moyen d'immobilisation par rapport à la section annulaire radiale du conduit, et e) visser ensemble les premier et second corps, de façon à immobiliser l'ensemble par rapport à la section annulaire radiale du conduit.The method according to the invention comprises the following steps: a) preparing a radial annular section at one end of the duct, after possible cutting of the latter, b) providing first and second bodies, suitable for mutual cooperation by screwing, both body being shaped to engage on the duct, near the radial annular section, while at least one of the two bodies comprises an axial immobilization means relative to a predetermined place of the duct situated at a predetermined distance from the section radial annular, c) engaging the two bodies on the duct, substantially on either side of the predetermined location, d) causing the immobilization means to cooperate with the portion of the duct located in the predetermined location so as to precisely position the body which comprises the immobilization means with respect to the radial annular section of the duct, and e) screwing together the first and second bodies, so as to immobilize the e nsemble relative to the radial annular section of the duct.

Préférentiellement, d'une part, l'étape a) du procédé comprend une sous-étape dans laquelle on usine extérieure ment, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement dans la paroi latérale du conduit, et d'autre part, à l'étape b), le moyen d'immobilisation axiale est agencé pour coopérer avec le premier logement.Preferably, on the one hand, step a) of the method comprises a sub-step in which at least one first housing is machined externally in the lateral wall of the duct, and on the other hand, step b), the axial immobilization means is arranged to cooperate with the first housing.

D'autres avantages et caractéristiques de l'invention appa raîtront à l'examen de la description détaillée ci-après et des dessins annexés, sur lesquels - la figure 1 est une vue du dessus d'un exemple d'assemblage d'éléments selon l'invention, formant platine de gaz; - les figures 2A à 2K illustrent des éléments de platine de gaz, réalisés selon l'invention et équipés d'embouts d'un premier type; - la figure 3 est une coupe longitudinale de l'embout équipant les éléments de la figure 2; - la figure 4 est une coupe longitudinale d'un second type d'embout, après assemblage; - les figures 5A à 5D sont des coupes longitudinales des différentes parties constituant l'embout de la figure 4; - la figure 6 est une vue en perspective, avant assemblage, de deux embouts du type de celui qui est illustré sur la figure 3 et des moyens d'assemblage nécessaires à leur raccordement; et - la figure 7 est une coupe longitudinale illustrant les embouts de la figure 6 après raccordement à l'aide des moyens d'assemblage.Other advantages and characteristics of the invention will appear on examining the detailed description below and the appended drawings, in which - Figure 1 is a top view of an example of assembly of elements according to the invention forming a gas platinum; - Figures 2A to 2K illustrate gas platinum elements, produced according to the invention and equipped with tips of a first type; - Figure 3 is a longitudinal section of the nozzle fitted to the elements of Figure 2; - Figure 4 is a longitudinal section of a second type of tip, after assembly; - Figures 5A to 5D are longitudinal sections of the different parts constituting the nozzle of Figure 4; - Figure 6 is a perspective view, before assembly, of two end pieces of the type shown in Figure 3 and assembly means necessary for their connection; and - Figure 7 is a longitudinal section illustrating the end pieces of Figure 6 after connection using the assembly means.

Les dessins annexés comportent, pour l'essentiel, des éléments géométriques de caractère certain. A ce titre, ils font partie intégrante de la description et pourront non seulement servir à mieux faire comprendre la description détaillée ci-après mais aussi contribuer, le cas échéant, à la définition de l'invention.The appended drawings essentially comprise geometric elements of a certain character. As such, they form an integral part of the description and may not only serve to better understand the detailed description below but also contribute, if necessary, to the definition of the invention.

On se réfère tout d'abord aux figures 1 et 2 pour décrire une platine selon l'invention, et les principaux éléments qui la constituent.We first refer to Figures 1 and 2 to describe a plate according to the invention, and the main elements which constitute it.

Dans toute la description qui suit, on décrira une platine de distribution dans laquelle les fluides qui circulent sont des gaz destinés à alimenter une ou plusieurs chambres de croissance, ou plus généralement de réaction, dans lesquelles sont élaborées au moins partiellement des structures (ou composants) micro-électroniques.In the following description, a distribution plate will be described in which the fluids which circulate are gases intended to supply one or more growth chambers, or more generally reaction chambers, in which structures (or components are produced at least partially). ) micro-electronics.

Bien entendu, l'invention s'applique tout aussi bien à de nombreux autres domaines, comme par exemple aux cosmétiques, à la pharmacie, à la chimie fine, etc, dans lesquels certains produits sont élaborés à partir de matières premières réactives. Par ailleurs, le fluide peut être dans un état physique différent de l'état gazeux.Of course, the invention is equally applicable to many other fields, such as for example cosmetics, pharmacy, fine chemicals, etc., in which certain products are produced from reactive raw materials. Furthermore, the fluid can be in a physical state different from the gaseous state.

La production, par voie de réaction chimique de gaz ultra purs, de certains composants micro-électroniques modernes nécessite un contrôle quasi-parfait de chaque gaz injecté dans la chambre de réaction. C'est notamment le cas dans les chambres d'épitaxie où les structures sont élaborées par épitaxie par jet moléculaire (Molecular Beam Epitaxy en anglais).The production, by chemical reaction of ultra-pure gases, of certain modern micro-electronic components requires almost perfect control of each gas injected into the reaction chamber. This is particularly the case in epitaxy chambers where the structures are developed by molecular beam epitaxy (Molecular Beam Epitaxy in English).

Mais ceci est également le cas des équipements qui assurent des dépôts de type déposition chimique en phase vapeur (Chemical Vapor Deposition en anglais), ou bien des gravures sèches (Dry Etching en anglais), ou plus généralement qui permettent la mise en oeuvre des procédés d'élaboration des composants semi-conducteurs actuels.But this is also the case of equipment which provides chemical vapor deposition type deposits (Chemical Vapor Deposition in English), or dry etchings (Dry Etching in English), or more generally which allow the implementation of processes development of current semiconductor components.

Pour ce faire, la distribution du gaz est contrôlée par une platine de distribution réalisée spécifiquement pour l'application choisie. Une telle platine est illustrée sur la figure 1. Elle comprend, dans l'exemple illustré, deux voies d'entrée de gaz V1 et V2 dans lesquelles pénètrent respectivement des gaz ultra purs, comme par exemple de l'azote et de l'hydrogène.To do this, the distribution of gas is controlled by a distribution plate made specifically for the chosen application. Such a plate is illustrated in FIG. 1. It comprises, in the example illustrated, two gas inlet channels V1 and V2 into which penetrate ultra pure gases, such as for example nitrogen and hydrogen, respectively. .

Chaque voie Vi comprend une pluralité d'éléments raccordés les uns aux autres afin de contrôler le gaz qui y circule.Each channel Vi comprises a plurality of elements connected to each other in order to control the gas which circulates therein.

Sur l'exemple illustré, la voie V2 comprend d'abord une vanne d'entrée 1 qui gère son accès. Cette vanne d'entrée 1 est suivie d'un filtre sélectif 2-1, puis d'un dispositif anti-retour 3 suivi d'une vanne de commande mono-entrée 4-1, laquelle est raccordée à un raccord de type Té 5-1. L'une des sorties de ce Té 5-1 alimente une voie de dérivation VD1, tandis que l'autre sortie est raccordée à un détendeur 6 suivi d'un nouveau Té 5-2. La première sortie du Té 5-2 est raccordée à un manomètre 7, tandis que sa seconde sortie est raccordée à un autre Té 5-3 dont les deux sorties sont raccordées respectivement à des dispositifs à régulation de débit massique 8-1 et 8-2 (plus connus sous le nom anglais de massflow) dont les réglages sont différents. Le second massflow 8-2 est raccordé au troisième Té 5-3 par l'intermédiaire d'un raccord de type coude 9-1 permettant la mise en parallèle des deux massflow 8-1 et 8-2. Chaque massflow 8-i est suivi d'une vanne de commande 4-2 ou 4-3 qui permet ainsi de sélectionner un débit massique particulier.In the example illustrated, the channel V2 first comprises an inlet valve 1 which manages its access. This inlet valve 1 is followed by a selective filter 2-1, then by a non-return device 3 followed by a single-inlet control valve 4-1, which is connected to a Tee type connector 5 -1. One of the outputs of this Tee 5-1 supplies a bypass channel VD1, while the other output is connected to a regulator 6 followed by a new Tee 5-2. The first output of Tee 5-2 is connected to a pressure gauge 7, while its second output is connected to another Tee 5-3, the two outputs of which are connected respectively to mass flow control devices 8-1 and 8- 2 (better known under the English name of massflow) whose settings are different. The second massflow 8-2 is connected to the third Tee 5-3 via an elbow-type connector 9-1 allowing the two massflows 8-1 and 8-2 to be placed in parallel. Each massflow 8-i is followed by a control valve 4-2 or 4-3 which thus makes it possible to select a particular mass flow.

La voie de dérivation VD1 comprend un coude 5-2 raccordé en entrée au Té 5-1 et en sortie à un élément tubulaire 10, ce qui permet de la positionner parallèlement à la voie V2. Ce tube 10 est suivi d'une vanne de commande 4-4 raccordée à un
Té 5-4 qui est relié, d'une part, à la voie V1, par l'intermédiaire d'un dispositif anti-retour 3 permettant exclusivement le transfert de l'azote de la voie V1 vers la voie
V2, et d'autre part, à un troisième massflow 8-3 destiné à réguler le débit massique de l'azote lorsque celui-ci est admis dans la voie V2. La sortie du massflow 8-3 est raccordée à une vanne de commande 4-5 suivie d'un coude 9-3 raccordé à l'une des deux entrées d'un Té 5-5 dont la seconde entrée est raccordée à la vanne de commande 4-2. La sortie de ce Té 5-5 est raccordée à l'une des deux entrées d'un Té 5-6 dont la seconde entrée est raccordée à la vanne de commande 4-3 et la sortie est raccordée à un autre filtre 2-2 qui peut être raccordé à la chambre de croissance (non représentée).The VD1 diversion track includes a bend 5-2 connected at the inlet to the tee 5-1 and at the outlet to a tubular element 10, which makes it possible to position it parallel to the track V2. This tube 10 is followed by a control valve 4-4 connected to a
Tee 5-4 which is connected, on the one hand, to channel V1, via a non-return device 3 allowing exclusively the transfer of nitrogen from channel V1 to the channel
V2, and on the other hand, a third massflow 8-3 intended to regulate the mass flow rate of nitrogen when it is admitted into the channel V2. The outlet of the massflow 8-3 is connected to a control valve 4-5 followed by an elbow 9-3 connected to one of the two inputs of a Tee 5-5 whose second input is connected to the valve command 4-2. The output of this Tee 5-5 is connected to one of the two inputs of a Tee 5-6 whose second input is connected to the control valve 4-3 and the output is connected to another filter 2-2 which can be connected to the growth chamber (not shown).

La voie V1 dans laquelle circule l'azote comprend des éléments du même type que ceux formant la voie V2. Par conséquent, il est inutile de la décrire dans le détail.The route V1 in which the nitrogen circulates comprises elements of the same type as those forming the route V2. Therefore, it is unnecessary to describe it in detail.

Selon l'invention, tous les éléments utilisés pour réaliser la platine sont à un pas prédéterminé P, ou à un multiple de celui-ci nP (n entier positif). Ce pas P est de préférence au standard américain, soit P = 25,4 mm, mais bien entendu, de nombreux autres pas peuvent être envisagés selon les besoins.According to the invention, all the elements used to make the plate are at a predetermined step P, or a multiple thereof P (n positive integer). This pitch P is preferably to the American standard, ie P = 25.4 mm, but of course, many other steps can be envisaged as required.

Dans le cas d'un élément présentant des entrée et sortie dont les faces libres 11 sont parallèles et opposées (voir figure 2A), le pas P est défini comme la distance séparant ces deux faces. Dans le cas d'un élément présentant des entrée et sortie dont les faces libres 11 sont perpendiculaires (voir figure 2B), le pas P est défini comme la distance séparant le centre C1 d'une première face 11-1 et la projection PC2 du centre C2 d'une seconde face 11-2 sur une droite D passant par ledit premier centre C1 et perpendiculaire à ladite première face 11-1.In the case of an element having inputs and outputs whose free faces 11 are parallel and opposite (see FIG. 2A), the pitch P is defined as the distance separating these two faces. In the case of an element having inputs and outputs whose free faces 11 are perpendicular (see FIG. 2B), the pitch P is defined as the distance separating the center C1 from a first face 11-1 and the projection PC2 of the center C2 of a second face 11-2 on a straight line D passing through said first center C1 and perpendicular to said first face 11-1.

Grâce à l'invention, il est particulièrement facile de concevoir une platine de gaz adaptée à une situation particulière. I1 suffit pour cela d'utiliser, soit un papier quadrillé au pas des éléments, soit un micro-ordinateur équipé, par exemple, d'un logiciel de conception ou dessin assisté par ordinateur (CAO, DAO).Thanks to the invention, it is particularly easy to design a gas plate adapted to a particular situation. For this, it suffices to use either a paper grid with the pitch of the elements, or a microcomputer equipped, for example, with computer-assisted design or drawing software (CAD, CAD).

Les figures 2A à 2K illustrent de façon agrandie, et non limitative, les principaux éléments composant la platine de la figure 1, ainsi que quelques variantes de ceux-ci. FIGS. 2A to 2K illustrate in an enlarged and nonlimiting manner, the main elements making up the plate of FIG. 1, as well as some variants of these.

Ainsi, la figure 2A illustre un élément tubulaire de dimension égale à P.Thus, FIG. 2A illustrates a tubular element of dimension equal to P.

Les figures 2B à 2D illustrent respectivement des éléments de raccordement de type coude 9 (au pas P), Té 5 (au pas P dans une première direction et 2P dans une seconde direction perpendiculaire à la première), et croix 12 (au pas 2P dans deux directions perpendiculaires l'une de l'autre).FIGS. 2B to 2D respectively illustrate connection elements of the elbow type 9 (at step P), Tee 5 (at step P in a first direction and 2P in a second direction perpendicular to the first), and cross 12 (at step 2P in two directions perpendicular to each other).

Les figures 2E à 2K illustrent respectivement des éléments dits traversants de type vanne de commande mono-entrée et mono-sortie 4 (au pas 2P), vanne de commande 13 double entrée et mono-sortie, ou double sortie et mono-entrée, (au pas P dans une première direction et 2P dans une seconde direction perpendiculaire à la première), détendeur 6 (au pas 3P), filtre 2 (au pas 3P), dispositif à débit massique ou massflow 8 (au pas 4P), dispositif anti-retour 3 (au pas 2P), et manomètre à passage direct 14 (au pas 2P).FIGS. 2E to 2K respectively illustrate so-called through elements of the single-inlet and single-outlet control valve 4 type (at step 2P), control valve 13 with double inlet and single outlet, or double outlet and single inlet, ( at step P in a first direction and 2P in a second direction perpendicular to the first), regulator 6 (at step 3P), filter 2 (at step 3P), mass flow device or massflow 8 (at step 4P), anti-device -return 3 (in step 2P), and direct flow pressure gauge 14 (in step 2P).

Les faces libres 11, de sortie ou d'entrée, de tous ces éléments sont logées à l'extrémité d'une partie terminale 15 d'un conduit 16 (voir par exemple figure 2C), lequel peut être constitué de sa seule partie terminale 15, comme illustré sur la figure 21.The free faces 11, of exit or entry, of all these elements are housed at the end of an end part 15 of a conduit 16 (see for example figure 2C), which can consist of its only end part 15, as illustrated in FIG. 21.

I1 ressort de la description qui précède que le pas P de l'assemblage est généralement fixé d'après la dimension du plus petit élément traversant constituant la platine. Dans l'exemple illustré, cet élément est le massflow 8 de la figure 21. I1 emerges from the above description that the pitch P of the assembly is generally fixed according to the dimension of the smallest through element constituting the plate. In the example illustrated, this element is the massflow 8 in FIG. 21.

Selon l'invention, chaque partie terminale 15 de conduit 16 comporte un embout 17. Tous les embouts d'un même jeu d'élément sont mécaniquement identiques (sans différenciation mâle/femelle) et compatibles entre eux.According to the invention, each end portion 15 of conduit 16 comprises an end piece 17. All the end pieces of the same set of elements are mechanically identical (without male / female differentiation) and compatible with each other.

Pour décrire la forme générale d'un embout 17, on se réfère à la figure 3. To describe the general shape of a nozzle 17, reference is made to FIG. 3.

L'embout 17 présente extérieurement une portée conique 18 qui s'évase vers une portée cylindrique supérieure 19, suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan 20, en retrait, vers une partie cylindrique d'extrémité 21, de longueur L, terminée par une section annulaire radiale 22 ne comportant pas de rayures au moins radiales.The end piece 17 has externally a conical surface 18 which widens towards an upper cylindrical surface 19, followed by at least one annular radial shoulder 20, set back, towards a cylindrical end portion 21, of length L, completed by a radial annular section 22 having no at least radial scratches.

Comme illustré sur la figure 3, mais cela n'est pas obligatoire, l'épaulement annulaire radial plan 20 peut être suivi d'une portée cylindrique intermédiaire 23, elle même suivie d'un autre épaulement annulaire radial plan 24, en retrait, vers la partie cylindrique d'extrémité. De plus, on prévoit en amont de la portée conique 19, une autre portée cylindrique 50 d'épaisseur supérieure à celle de la paroi 16 au niveau de sa partie terminale en amont de l'embout 17.As illustrated in FIG. 3, but this is not compulsory, the planar radial annular shoulder 20 can be followed by an intermediate cylindrical bearing surface 23, itself followed by another planar radial annular shoulder 24, set back, towards the cylindrical end part. Furthermore, upstream of the conical bearing surface 19, another cylindrical bearing surface 50 of thickness greater than that of the wall 16 is provided at its terminal portion upstream of the end piece 17.

Les dimensions de ces différentes parties sont fonction du diamètre du conduit 16, lequel peut être quelconque.The dimensions of these different parts depend on the diameter of the conduit 16, which can be any.

Dans un premier mode de réalisation, également illustré sur les figures 3, 6 et 7, l'embout 17 est réalisé par alésage de la face externe 25 de la paroi latérale 26 de la partie terminale 15 du conduit 16. La partie interne 27 du conduit 16, dans laquelle circule le gaz, n'est pas modifiée. En conséquence, l'embout est réalisé par modification de la partie terminale du conduit. Ce type d'embout, qui est destiné à être raccordé à un autre embout de même type, ou de type équivalent, grâce à des moyens d'assemblage sur lesquels on reviendra plus loin, est décrit plus en détail dans le Brevet Français NO 2 645 940.In a first embodiment, also illustrated in FIGS. 3, 6 and 7, the end piece 17 is produced by boring the external face 25 of the side wall 26 of the end part 15 of the duct 16. The internal part 27 of the conduit 16, in which the gas circulates, is not modified. Consequently, the end piece is produced by modification of the terminal part of the conduit. This type of endpiece, which is intended to be connected to another endpiece of the same type, or of equivalent type, by means of assembly which will be discussed later, is described in more detail in French Patent NO 2 645,940.

Dans un second mode de réalisation, illustré sur les figures 4 et 5A à 5D, la partie terminale du conduit 16 ne forme plus totalement l'embout 17. En fait, seule l'extrémité de la partie terminale 15 du conduit 16, laquelle forme la partie cylindrique d'extrémité 21 terminée par la section annulaire radiale 22, contribue à la réalisation de l'embout 17. Le reste de l'embout 17 est constitué de deux corps 28 et 29, et préférentiellement d'un anneau 30, dont les formes respectives sont adaptées pour coopérer ensemble en vue d'une immobilisation relativement à un premier logement 31, en un endroit choisi sur le conduit 16, en amont de la partie cylindrique d'extrémité 21 (de longueur L).In a second embodiment, illustrated in FIGS. 4 and 5A to 5D, the end portion of the conduit 16 no longer completely forms the end piece 17. In fact, only the end of the end portion 15 of the conduit 16, which forms the cylindrical end portion 21 terminated by the radial annular section 22, contributes to the production of the end piece 17. The rest of the end piece 17 consists of two bodies 28 and 29, and preferably a ring 30, of which the respective shapes are adapted to cooperate together for immobilization relative to a first housing 31, at a selected location on the conduit 16, upstream of the cylindrical end portion 21 (of length L).

Ce premier logement 31 (voir figure 5D), de préférence annulaire, est réalisé par alésage de la face externe 25 de la paroi latérale 26 du conduit 16 à une distance L0 de la section annulaire 22.This first housing 31 (see FIG. 5D), preferably annular, is produced by boring the external face 25 of the side wall 26 of the conduit 16 at a distance L0 from the annular section 22.

Le premier corps 28 (voir figure 5A) est réalisé sous forme d'un manchon de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe du conduit 16, à l'exception d'une région terminale 32 dans laquelle est réalisé, par exemple par alésage, un second logement 33 d'extension axiale et de profondeur sensiblement égales à celles du premier logement 31. Dans l'exemple illustré, ce second logement est par conséquent annulaire.The first body 28 (see FIG. 5A) is produced in the form of a sleeve with an internal diameter substantially equal to the external diameter of the conduit 16, with the exception of an end region 32 in which is produced, for example by boring, a second housing 33 of axial extension and depth substantially equal to that of the first housing 31. In the example illustrated, this second housing is therefore annular.

Ce premier corps 28 comprend une partie centrale annulaire 34, de forme générale cylindrique, et munie sur une longueur
L2 inférieure à L2 d'un filetage externe 36 se terminant à une distance L6 de la fin de la partie centrale annulaire 34. Cette partie centrale 34 est suivie, en aval, de la région terminale 32, de forme générale cylindrique, de longueur L3. Préférentiellement, comme illustré, la partie centrale annulaire 34, est précédée (en amont) d'une autre partie terminale 35 également de forme générale cylindrique, mais pas nécessairement, de longueur L4 et d'épaisseur d4 supérieure à dl. Cette dernière partie est destinée à faciliter le positionnement du premier corps 28 par rapport à l'anneau 30 et au second corps 29.This first body 28 comprises an annular central part 34, of generally cylindrical shape, and provided over a length
L2 lower than L2 with an external thread 36 ending at a distance L6 from the end of the annular central part 34. This central part 34 is followed, downstream, by the terminal region 32, of generally cylindrical shape, of length L3 . Preferably, as illustrated, the annular central part 34 is preceded (upstream) by another end part 35 also of generally cylindrical shape, but not necessarily, of length L4 and of thickness d4 greater than dl. This last part is intended to facilitate the positioning of the first body 28 relative to the ring 30 and to the second body 29.

L'anneau 30 (voir figure 5C) est ouvert en au moins un endroit, pour faciliter son introduction dans le premier logement 31 du conduit 16, et de dimensions adaptées à son logement dans les premier 31 et second 33 logements. De préférence, il est réalisé en deux demi-anneaux 30a et 30b de préférence métalliques. The ring 30 (see FIG. 5C) is open in at least one place, to facilitate its introduction into the first housing 31 of the conduit 16, and of dimensions adapted to its housing in the first 31 and second 33 housings. Preferably, it is produced in two half-rings 30a and 30b, preferably metallic.

Le second corps 29 (voir figure 5B) est également réalisé sous forme d'un manchon. Il comprend tout d'abord, une partie annulaire amont 37 de longueur L5 sensiblement égale à la distance L0 - L, de forme interne cylindrique, de diamètre interne sensiblement égal, par valeur supérieure, au diamètre externe du conduit 16, et réalisant extérieurement la portée conique 18, la portée cylindrique supérieure 19, les premier 20 et second 24 épaulements annulaires radiaux plans, et la partie cylindrique intermédiaire 23 de l'embout 17.The second body 29 (see FIG. 5B) is also produced in the form of a sleeve. First of all, it comprises an upstream annular part 37 of length L5 substantially equal to the distance L0 - L, of cylindrical internal shape, of internal diameter substantially equal, by value greater, to the external diameter of the conduit 16, and externally forming the conical bearing 18, the upper cylindrical bearing 19, the first 20 and second 24 planar radial annular shoulders, and the intermediate cylindrical part 23 of the nozzle 17.

En variante, le second corps 29 pourra ne comprendre dans sa partie amont, extérieurement, que la portée conique 18, la portée cylindrique supérieure 19, et le premier épaulement annulaire radial plan 20.As a variant, the second body 29 may comprise in its upstream part, externally, only the conical bearing 18, the upper cylindrical bearing 19, and the first annular flat radial shoulder 20.

Il comprend également, dans le prolongement de la partie amont 37, une partie centrale 38 de forme générale cylindrique annulaire, de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe du second corps au niveau de sa partie terminale 32, et de longueur L7 légèrement inférieure à L6 + L3 pour permettre les logements de la partie de plus faible épaisseur (d2) de la partie centrale annulaire 34 et la partie terminale 32 du premier corps 28. Cette partie centrale 38 comporte extérieurement une portée cylindrique 50 sur laquelle on reviendra plus loin.It also comprises, in the extension of the upstream part 37, a central part 38 of generally annular cylindrical shape, of internal diameter substantially equal to the external diameter of the second body at its terminal part 32, and of length L7 slightly less than L6 + L3 to allow the housings of the part of thinner thickness (d2) of the annular central part 34 and the terminal part 32 of the first body 28. This central part 38 externally has a cylindrical surface 50 to which we will return later.

Il comprend enfin, dans le prolongement de la partie centrale 38, une partie aval 41, de forme générale annulaire, comprenant un filetage interne 39 de longueur L8 légèrement supérieure à L1 et propre à coopérer avec la partie filetée 36 de la partie centrale annulaire 34 du premier corps 28.Finally, it includes, in the extension of the central part 38, a downstream part 41, of generally annular shape, comprising an internal thread 39 of length L8 slightly greater than L1 and suitable for cooperating with the threaded part 36 of the annular central part 34 of the first body 28.

En résumé, le second corps comprend intérieurement trois alésages annulaires. Un premier alésage propre à loger la partie terminale du conduit 16, un second alésage en retrait du premier et propre à loger la partie terminale 32 et une partie de la partie centrale 34 du premier corps, et un troisième alésage (fileté) en retrait du second alésage et propre à coopérer avec la partie filetée de la partie centrale annulaire 34 du premier corps 28.In summary, the second body internally comprises three annular bores. A first bore suitable for housing the end portion of the conduit 16, a second bore set back from the first and suitable for housing the end portion 32 and a portion of the central portion 34 of the first body, and a third (threaded) bore set back from the second bore and suitable for cooperating with the threaded part of the annular central part 34 of the first body 28.

L'assemblage d'un embout selon le second mode de réalisation comprend les étapes suivantes.The assembly of a nozzle according to the second embodiment comprises the following steps.

Tout d'abord, on emmanche le premier corps 28 sur la partie terminale 15 du conduit 16, suffisamment loin pour que le premier logement annulaire 31 soit dégagé sur le conduit 16.First of all, the first body 28 is fitted onto the end part 15 of the duct 16, far enough for the first annular housing 31 to be released on the duct 16.

Puis, on positionne les deux demi-anneaux 30a et 30b dans le premier logement 31.Then, the two half-rings 30a and 30b are positioned in the first housing 31.

On déplace ensuite le premier corps 28 vers l'extrémité du conduit jusqu'à ce que la partie supérieure de l'anneau soit logée dans le second logement 33 formé dans la partie terminale 32 du premier corps 28. Cela permet d'immobiliser axialement le premier corps relativement au conduit 16.The first body 28 is then moved towards the end of the conduit until the upper part of the ring is housed in the second housing 33 formed in the end part 32 of the first body 28. This makes it possible to axially immobilize the first body relative to conduit 16.

Puis, on emmanche les parties amont 37 et centrale 38 du second corps 29 respectivement sur la partie terminale 15 du conduit 16 et sur la partie centrale annulaire 32 du premier corps 28 jusqu'à ce que les parties filetés 36 et 39 (de 34 et 41) puisse coopérer par vissage. Enfin, on visse la partie 41 sur la partie 34.Then, the upstream 37 and central 38 parts of the second body 29 are fitted respectively on the end part 15 of the conduit 16 and on the annular central part 32 of the first body 28 until the threaded parts 36 and 39 (of 34 and 41) can cooperate by screwing. Finally, we screw part 41 onto part 34.

Lorsque la partie amont 37 du second corps 29 se trouve en butée contre l'extrémité de la partie terminale 32 du premier corps 28, la partie cylindrique d'extrémité 21 du conduit 16 est alors dégagée sur la distance L, et l'embout 17 est formé sur le conduit. Le second corps 29 est alors immobilisé relativement au premier corps 28 et au conduit 16.When the upstream part 37 of the second body 29 is in abutment against the end of the end part 32 of the first body 28, the cylindrical end part 21 of the duct 16 is then released over the distance L, and the end piece 17 is formed on the duct. The second body 29 is then immobilized relative to the first body 28 and to the conduit 16.

Tous les éléments selon l'invention présentant des embouts (ni mâle, ni femelle) obtenus selon le premier et/ou le second mode de réalisation, cela facilite leur assemblage et donc la réalisation d'une platine de gaz (ou plus générale ment d'un dispositif de distribution de fluide), tout en permettant de diminuer les coûts de production.All the elements according to the invention having end pieces (neither male nor female) obtained according to the first and / or the second embodiment, this facilitates their assembly and therefore the production of a gas plate (or more generally d '' a fluid distribution device), while reducing production costs.

Le raccordement de deux éléments selon l'invention s'effectue par enserrage de leurs embouts respectifs, grâce à des moyens d'assemblage adaptés.The connection of two elements according to the invention is carried out by clamping their respective ends, by means of suitable assembly means.

Les deux modes de réalisation des embouts décrits ci-avant requièrent le même type de moyens d'assemblage étant donné qu'ils offrent des formes extérieures sensiblement identiques. En conséquence, il est envisageable de réaliser des platines dont les éléments possèdent des embouts réalisés selon les deux modes.The two embodiments of the end fittings described above require the same type of assembly means since they offer substantially identical external shapes. Consequently, it is conceivable to produce plates whose elements have end caps produced according to the two modes.

Les moyens d'assemblage vont être décrits maintenant en référence aux figures 6 et 7, sur lesquelles les conduits 16-1 et 16-2 des deux éléments à raccorder sont équipés d'embouts 17-1 et 17-2 réalisés selon le premier mode de réalisation.The assembly means will now be described with reference to FIGS. 6 and 7, in which the conduits 16-1 and 16-2 of the two elements to be connected are fitted with end caps 17-1 and 17-2 produced according to the first mode of achievement.

Ces moyens d'assemblage comprennent tout d'abord deux rondelles 42-1 et 42-2 destinées à être emmanchées sur les parties cylindriques d'extrémité 21-1 et 21-2 des embouts 17-1 et 17-2. Elles sont réalisées, de préférence, en matière synthétique déformable telle que du polytétrafluoroéthylène (PTFE) commercialisé sous la marque "Téflon". These assembly means comprise first of all two washers 42-1 and 42-2 intended to be fitted on the cylindrical end portions 21-1 and 21-2 of the end pieces 17-1 and 17-2. They are preferably made of deformable synthetic material such as polytetrafluoroethylene (PTFE) sold under the brand "Teflon".

Ces rondelles présentent une enveloppe externe cylindrique 43-i (i=1 ou 2) d'un diamètre externe sensiblement égal au diamètre de la portée cylindrique supérieure 19-i de l'embout 17-i. La rondelle 42-i possède, d'une part, une première face aval annulaire plane 44-i destinée à venir en butée contre l'épaulement annulaire radial plan 20-i, et d'autre part, une seconde face aval annulaire plane 45-i, d'un plus petit diamètre que celui de la première face aval 44-i et destinée à venir en butée contre le deuxième épaulement annulaire radial plan 24-i de l'embout 17-i. These washers have a cylindrical outer casing 43-i (i = 1 or 2) with an outer diameter substantially equal to the diameter of the upper cylindrical surface 19-i of the nozzle 17-i. The washer 42-i has, on the one hand, a first planar annular downstream face 44-i intended to come into abutment against the planar radial annular shoulder 20-i, and on the other hand, a second planar annular downstream face 45 -i, of a smaller diameter than that of the first downstream face 44-i and intended to abut against the second plane annular radial shoulder 24-i of the nozzle 17-i.

L'extension axiale de l'enveloppe 43-i de la rondelle 42-i est égale à la longueur L de la partie cylindrique d'extrémité 21-i augmentée d'environ 5/100ème de mm. Ainsi, lorsque la rondelle est au contact des épaulements annulaires radiaux plans 20-i et 24-i de l'embout 17-i, le plan de sa paroi annulaire radiale plane amont 46-i déborde d'environ 5/100sème de mm du plan de la section annulaire 22-i de l'embout 17-i. La paroi annulaire radiale plane amont 46-i et la section annulaire 22-i forment alors la face libre 11 de raccordement.The axial extension of the envelope 43-i of the washer 42-i is equal to the length L of the cylindrical end part 21-i increased by approximately 5 / 100th of mm. Thus, when the washer is in contact with the planar radial annular shoulders 20-i and 24-i of the end piece 17-i, the plane of its upstream planar radial annular wall 46-i projects about 5 / 100ths of a mm from the plane of the annular section 22-i of the end piece 17-i. The upstream flat annular radial wall 46-i and the annular section 22-i then form the free face 11 of connection.

Les moyens d'assemblage comprennent en outre une bague métallique 47 de forme cylindrique allongée, de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe des rondelles 17-i, pour loger intérieurement en contact surfacique les deux rondelles 42-1 et 42-2 et les portées cylindriques supérieures 19-1 et 19-2 des embouts 17-1 et 17-2 mis face à face.The assembly means further comprise a metal ring 47 of elongated cylindrical shape, of internal diameter substantially equal to the external diameter of the washers 17-i, for internally accommodating in surface contact the two washers 42-1 and 42-2 and the bearings cylindrical upper 19-1 and 19-2 of the ends 17-1 and 17-2 placed face to face.

Cette bague 47 permet d'aligner précisément les deux embouts de façon à assurer un centrage aussi parfait que possible des conduits.This ring 47 makes it possible to precisely align the two end pieces so as to ensure as perfect centering of the conduits as possible.

Enfin, les moyens d'assemblage comprennent également deux demi-coquilles 48a et 48b possédant intérieurement chacune deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 homologues des deux portées coniques 18-1 et 18-2 respectives des deux embouts 17-1 et 17-2 mis face à face. Chaque demi-coquille 48 comporte deux passages de vis 51 réalisés symétriquement par rapport à l'axe XX des deux conduits alignés, et des bords semi-cylindriques 52 de forme sensiblement homologue à celle de la portée cylindrique 50 de l'embout 17.Finally, the assembly means also comprise two half-shells 48a and 48b each having two conical half-bearings 49-1 and 49-2 internally homologous to the two conical bearings 18-1 and 18-2 respectively of the two end pieces 17-1 and 17-2 put face to face. Each half-shell 48 has two screw passages 51 produced symmetrically with respect to the axis XX of the two aligned conduits, and semi-cylindrical edges 52 of shape substantially homologous to that of the cylindrical surface 50 of the end piece 17.

Une fois les deux demi-coquilles 48a et 48b mises en place autour des deux embouts 17-i et de la bague 47, leur enserrage est assuré par deux vis (non représentées sur les figures) qui coopèrent avec les passages 51. Once the two half-shells 48a and 48b are put in place around the two end pieces 17-i and the ring 47, their clamping is ensured by two screws (not shown in the figures) which cooperate with the passages 51.

De la sorte, les vis exercent des pressions radiales opposées et égales sur les deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 des deux demi-coquilles 48a et 48b, qui sont transformées en pressions axiales opposées et égales sur les faces libres de raccordement des embouts 17-1 et 17-2 du fait que les deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 de chaque demi-coquille 48a et 48b s'appuient respectivement sur les portées coniques homologues 18-1 et 18-2 des embouts 17-1 et 17-2, ce qui tend à les rapprocher tout en comprimant les deux rondelles en Téflon 42-1 et 42-2 jusqu'à ce que chaque paroi annulaire radiale plane amont 46-i (i=l et 2) et la section annulaire 22-i (i=1 et 2) correspondante forment une face libre plane 11. Le contact surfacique entre les deux faces libres 11 est alors établi. Il assure une étanchéité de très haute performance, sans joint d'étanchéité proprement dit, dans la mesure où les rondelles ne jouent qu'un rôle auxiliaire, notamment de protection des surfaces métalliques.In this way, the screws exert opposite and equal radial pressures on the two conical half-bearings 49-1 and 49-2 of the two half-shells 48a and 48b, which are transformed into opposite and equal axial pressures on the free faces of connection of end pieces 17-1 and 17-2 because the two conical half-bearings 49-1 and 49-2 of each half-shell 48a and 48b are based respectively on the homologous conical bearings 18-1 and 18-2 end caps 17-1 and 17-2, which tends to bring them closer while compressing the two Teflon washers 42-1 and 42-2 until each upstream flat annular radial wall 46-i (i = l and 2) and the corresponding annular section 22-i (i = 1 and 2) form a flat free face 11. The surface contact between the two free faces 11 is then established. It provides a very high performance seal, without proper seal, insofar as the washers only play an auxiliary role, in particular for protecting metal surfaces.

Cet effet est rendu possible en raison de l'aptitude à la déformation que présentent les rondelles. Bien entendu, celles-ci peuvent être réalisées autrement qu'en Téflon.This effect is made possible due to the deformability of the washers. Of course, these can be carried out other than in Teflon.

Ainsi, on pourra les fabriquer avec un dérivé du PTFE, comme par exemple avec un élastomère fluoré connu sous la dénomination KEL-F. Bien entendu, toute autre matière propre à assurer aux rondelles une même fonction élastique, peut être envisagée. On pourra ainsi utiliser des rondelles en bronze, ou des rondelles métalliques munies d'une fente annulaire externe.Thus, they can be manufactured with a derivative of PTFE, such as for example with a fluorinated elastomer known under the name KEL-F. Of course, any other material capable of providing the washers with the same elastic function can be envisaged. It will thus be possible to use bronze washers, or metal washers provided with an external annular slot.

Les éléments selon l'invention, accompagnés des moyens d'assemblage décrits précédemment, sont donc particulièrement bien adaptés à la réalisation de dispositifs de distribution de fluide, et notamment de gaz de grande pureté tels que l'hydrogène, l'argon, l'oxygène, l'anhydride chlorhydrique et d'autres gaz utiles à la fabrication, par exemple, des semi-conducteurs comme le chlorure de phosphoryle (POCl3), le tribromure de bore (BBr3), le trichloréthylène, l'arsine (AsH3), le silane (SiH4). The elements according to the invention, accompanied by the assembly means described above, are therefore particularly well suited to the production of fluid distribution devices, and in particular of high purity gases such as hydrogen, argon, oxygen, hydrochloric anhydride and other gases useful in the manufacture, for example, semiconductors such as phosphoryl chloride (POCl3), boron tribromide (BBr3), trichlorethylene, arsine (AsH3), silane (SiH4).

Ces éléments conviennent également pour la réalisation de dispositifs de distribution de fluide dans d'autres domaines que celui de la micro-électronique, comme par exemple dans le domaine pharmaceutique et plus généralement chimique.These elements are also suitable for the production of fluid distribution devices in fields other than that of microelectronics, such as for example in the pharmaceutical and more generally chemical field.

En fait, dans la mesure où le diamètre des conduits et le pas des éléments peuvent prendre des valeurs forts différentes selon les besoins, ces éléments peuvent être utilisés dans presque tous les domaines techniques qui utilisent des fluides de grande pureté à des pressions pouvant atteindre plusieurs centaines de bars.In fact, since the diameter of the conduits and the pitch of the elements can take very different values according to the needs, these elements can be used in almost all technical fields which use fluids of high purity at pressures which can reach several hundreds of bars.

L'invention propose également un procédé permettant de monter un embout formant demi-connecteur sur un conduit d'élément de distribution de fluide, comme du gaz. L'embout formant demi-connecteur est de préférence du type décrit précédemment en référence aux figures 4 et 5.The invention also provides a method for mounting a tip forming a half-connector on a conduit for a fluid distribution element, such as gas. The tip forming the half-connector is preferably of the type described above with reference to FIGS. 4 and 5.

Bien entendu, ce procédé s'applique à tout élément muni d'un conduit permettant la distribution de fluide, quelle que soit la longueur dudit conduit, et notamment à des tubulures, des raccords de dérivation, et des composants traversants du type de ceux décrits précédemment en référence aux figures 1 et 2 qu'ils soient d'un pas donné ou non.Of course, this method applies to any element provided with a conduit allowing the distribution of fluid, whatever the length of said conduit, and in particular to pipes, branch connections, and through components of the type of those described. previously with reference to Figures 1 and 2 whether or not they are given a pitch.

Le procédé s'applique donc à un élément muni d'un conduit 16, et comprend les étapes décrites ci-après.The method therefore applies to an element provided with a conduit 16, and comprises the steps described below.

Dans une première étape a), on prépare une section annulaire radiale 22 à l'extrémité du conduit 16, après avoir éventuellement découpé de celui-ci de sorte qu'il présente une longueur choisie.In a first step a), a radial annular section 22 is prepared at the end of the conduit 16, after having optionally cut from the latter so that it has a chosen length.

Selon le type d'embout à monter sur le conduit, cette première étape a), peut comprendre éventuellement une sousétape dans laquelle on usine extérieurement au moins un premier logement 31 dans la paroi latérale 26 du conduit, à une distance LO prédéterminée de la section annulaire radiale 22 réalisée à l'étape a). Depending on the type of end fitting to be mounted on the duct, this first step a) may possibly include a substep in which at least one first housing 31 is machined externally in the side wall 26 of the duct, at a predetermined distance LO from the section radial annular 22 produced in step a).

Dans une seconde étape b), on prévoit de premier et second corps présentant les caractéristiques suivantes - être propres à coopérer mutuellement par vissage, - être conformés pour s'engager sur la partie terminale 15 du conduit 16, près de la section annulaire radiale, et - comprendre (au sens large du terme) pour l'un au moins d'entre eux un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit 16, lequel lieu est situé à une distance prédéterminée LO de la section annulaire radiale 22.In a second step b), there are provided first and second bodies having the following characteristics - being able to cooperate with each other by screwing, - being shaped to engage on the end portion 15 of the conduit 16, near the radial annular section, and - comprise (in the broad sense of the term) for at least one of them a means of axial immobilization relative to a predetermined place of the terminal part of the conduit 16, which place is located at a predetermined distance LO from the radial annular section 22.

De tels corps sont, par exemple, du type de ceux 28 et 29 décrits précédemment en référence aux figures 4 et 5, mais pas nécessairement. Lorsque c'est le cas, d'une part, le procédé doit comprendre la sous-étape de l'étape a), et d'autre part, le moyen d'immobilisation compris par l'un au moins des corps doit être agencé pour coopérer avec le (les) logement(s) réalisé(s) en le lieu prédéterminé du conduit 16.Such bodies are, for example, of the type of those 28 and 29 described above with reference to Figures 4 and 5, but not necessarily. When this is the case, on the one hand, the process must include the sub-step of step a), and on the other hand, the immobilization means understood by at least one of the bodies must be arranged to cooperate with the housing (s) produced in the predetermined location of the conduit 16.

Dans la suite, on considérera que le procédé s'applique à titre d'exemple aux corps 28 et 29, et par conséquent le moyen d'immobilisation sera référencé 30 puisque dans ce mode de réalisation particulier ce moyen est un anneau.In the following, it will be considered that the method applies by way of example to the bodies 28 and 29, and therefore the immobilization means will be referenced 30 since in this particular embodiment this means is a ring.

Dans une troisième étape c), on engage les deux corps 28 et 29 sur la partie terminale 15 du conduit 16, sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé (qui est le premier logement 31 dans cet exemple). Lorsque les corps sont réalisés chacun en une unique pièce, l'engagement consiste en un emmanchement, tandis qu'en cas de réalisation en plusieurs pièces, l'engagement à positionner les différentes pièces constituant chaque corps autour du conduit.In a third step c), the two bodies 28 and 29 are engaged on the end portion 15 of the conduit 16, substantially on either side of the predetermined location (which is the first housing 31 in this example). When the bodies are each made in a single piece, the engagement consists of a fitting, while in the case of several pieces, the commitment to position the different pieces constituting each body around the duct.

Dans une quatrième étape d), on fait coopérer le moyen d'immobilisation que comprend l'un des corps 28 avec la partie du conduit qui se trouve située en le lieu prédéterminé (dans l'exemple décrit, la partie concernée est celle où se trouve(nt) le ou les premier(s) logement(s) 31) de façon à positionner précisément le corps concerné 28 par rapport à la section annulaire radiale 22 du conduit 16, en l'immobilisant axialement.In a fourth step d), the immobilization means that one of the bodies 28 includes is made to cooperate with the part of the duct which is located at the predetermined place (in the example described, the part concerned is that where find (s) the first housing (s) 31) so as to precisely position the body concerned 28 relative to the radial annular section 22 of the conduit 16, immobilizing it axially.

Dans l'exemple choisi, le moyen d'immobilisation est logé dans le premier corps 28 et réalisé sous la forme des deux demi-anneaux 30a et 30b que l'on introduit dans un unique premier logement 31 de forme annulaire.In the example chosen, the immobilization means is housed in the first body 28 and produced in the form of two half-rings 30a and 30b which are introduced into a single first housing 31 of annular shape.

Dans une cinquième étape e), on rapproche le corps libre 29 du corps immobilisé axialement 29 afin de les visser ensemble, jusqu'à ce que l'ensemble 28 et 29 (formant l'embout) soit complètement immobilisé par rapport à la section annulaire radiale 22 du conduit 16, aussi bien en translation qu'en rotation.In a fifth step e), the free body 29 is brought closer to the axially immobilized body 29 in order to screw them together, until the assembly 28 and 29 (forming the end piece) is completely immobilized relative to the annular section. radial 22 of conduit 16, both in translation and in rotation.

Le conduit 16 est alors équipé d'un embout qui peut être raccordé à un autre embout du même type, ou d'un type similaire, équipant un autre conduit de même diamètre. Pour ce faire, on utilise des moyens d'assemblage adaptés à la forme spécifique des deux embouts, comme par exemple ceux qui ont été décrits précédemment en référence à la figure 6.The conduit 16 is then equipped with a nozzle which can be connected to another nozzle of the same type, or of a similar type, equipping another conduit of the same diameter. To do this, assembly means adapted to the specific shape of the two end pieces are used, such as for example those which have been described previously with reference to FIG. 6.

Une telle invention permet de simplifier notablement la procédure de remplacement d'un élément défectueux dans la mesure où il n'est plus nécessaire, lors d'une telle opération, de dessouder l'élément défectueux. La platine est par conséquent beaucoup moins polluée, et notamment elle ne contient pas de particules provenant des résidus de la soudure et des gaz utilisés pour la supprimer, ce qui permet de gagner un temps précieux, d'une part lors de l'étape de remplacement proprement dite, et d'autre part, lors de l'étape de purification de la platine, laquelle a lieu après le remplacement.Such an invention makes it possible to considerably simplify the procedure for replacing a defective element in so far as it is no longer necessary, during such an operation, to unsolder the defective element. The plate is consequently much less polluted, and in particular it does not contain particles coming from the residues of the welding and the gases used to remove it, which makes it possible to save precious time, on the one hand during the step of actual replacement, and secondly, during the stage of purification of the platinum, which takes place after the replacement.

Par ailleurs, l'invention ne se limite pas au jeu d'éléments décrit précédemment. Tous les éléments qui peuvent être utilisés notamment dans une platine de distribution de fluide et présentant, d'une part, des dimensions égales à un pas choisi ou à un multiple de celui-ci, et d'autre part, équipés d'un embout, font également partie intégrante de l'invention.Furthermore, the invention is not limited to the set of elements described above. All the elements which can be used in particular in a fluid distribution plate and having, on the one hand, dimensions equal to a chosen pitch or to a multiple thereof, and on the other hand, equipped with a nozzle , are also an integral part of the invention.

De plus, il est clair que le type d'embout, formant demiconnecteur, utilisé pour équiper les éléments selon l'invention n'est pas obligatoirement du même type que ceux qui ont été décrits précédemment.In addition, it is clear that the type of end piece, forming a half-connector, used to equip the elements according to the invention is not necessarily of the same type as those which have been described above.

Ainsi, les pièces constituant l'embout pourront être différentes pourvu qu'elles ne soient pas sujettes à une translation axiale (ou longitudinale). Par exemple, on pourra utiliser des embouts assurant un contact surfacique indirect entre les faces libres de conduits en vis à vis, grâce à l'interposition d'un joint.Thus, the parts constituting the nozzle may be different provided that they are not subject to axial translation (or longitudinal). For example, it is possible to use end caps ensuring indirect surface contact between the free faces of conduits facing each other, thanks to the interposition of a seal.

De même, on peut s'affranchir de l'anneau en utilisant un second corps équipé de moyens d'accrochage propre à immobiliser axialement ledit second corps relativement à un ou plusieurs premiers évidements réalisés en le lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit.Likewise, it is possible to overcome the ring by using a second body equipped with attachment means capable of immobilizing said second body axially relative to one or more first recesses made at the predetermined location of the terminal part of the conduit.

Dans une autre variante, le premier corps peut être réalisé en deux parties sensiblement identiques et comprenant chacune, dans une zone inférieure, des moyens d'accrochage propres à immobiliser axialement respectivement lesdites parties du premier corps relativement à un ou plusieurs premiers évidements réalisés en le lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit, et dans une zone supérieure un filetage externe pour permettre le vissage du second corps sur le premier corps.In another variant, the first body can be made in two substantially identical parts and each comprising, in a lower zone, hooking means suitable for axially immobilizing said parts of the first body respectively relative to one or more first recesses made in the predetermined place of the terminal part of the conduit, and in an upper zone an external thread to allow the screwing of the second body on the first body.

Il en va de même de la forme de l'embout, laquelle pourra être différente de celle décrite.The same applies to the shape of the nozzle, which may be different from that described.

De même, si d'autres types d'embouts que ceux décrits sont utilisés, il est clair que les moyens d'assemblage destinés à les assembler pourront également différer de ceux décrits. Similarly, if other types of end caps than those described are used, it is clear that the assembly means intended to assemble them may also differ from those described.

Claims (20)

RevendicationsClaims 1. Jeu d'éléments pour dispositif de distribution de fluide, et notamment de gaz, comprenant des tubulures monobloc (10), des raccords (5,9,12), et des composants traversants (1-4,6-8,13,14), chaque élément comportant des conduits (16) munis d'une partie terminale (15) terminée par une face libre, les faces libres d'un élément étant positionnées l'une par rapport à l'autre de façon opposée et/ou perpendiculaire, caractérisé en ce que les éléments sont à un pas (P) prédéterminé ou à un multiple (nP) de celui-ci, en ce que les parties terminales (15) de chaque élément comportent chacune un embout conformé (17) terminé par une section annulaire radiale (22), formant partie, au moins, de la face libre, et en ce qu'il comprend des moyens d'assemblage (42,47,48) présentant des caractéristiques géométriques choisies pour assurer, par enserrage d'embouts (17) mis en vis à vis, un contact surfacique direct ou indirect entre leurs faces libres, qui permet le raccordement à étanchéité des éléments du jeu, sans soudage ou brasage.1. Set of elements for a device for dispensing fluid, and in particular gas, comprising one-piece pipes (10), fittings (5,9,12), and through components (1-4,6-8,13 , 14), each element comprising conduits (16) provided with an end portion (15) terminated by a free face, the free faces of an element being positioned in relation to each other in opposite directions and / or perpendicular, characterized in that the elements are at a predetermined pitch (P) or at a multiple (nP) thereof, in that the end portions (15) of each element each have a finished shaped end piece (17) by a radial annular section (22), forming part, at least, of the free face, and in that it comprises assembly means (42,47,48) having geometric characteristics chosen to ensure, by clamping d '' ends (17) facing each other, a direct or indirect surface contact between their free faces, which allows the connection ement sealing elements of the game, without welding or soldering. 2. Jeu d'éléments selon la revendication 1, caractérisé en ce que des embouts (17) d'éléments destinés à être assemblés en regard l'un de l'autre sont de type mécaniquement symétrique.2. Set of elements according to claim 1, characterized in that end pieces (17) of elements intended to be assembled facing one another are of the mechanically symmetrical type. 3. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les raccords (5,9,12) comprennent des coudes (9), des croix (12) et des Tés (5).3. Set of elements according to one of claims 1 and 2, characterized in that the connections (5,9,12) include elbows (9), crosses (12) and Tees (5). 4. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les composants traversants (1-4,6-8, 13,14) comprennent des vannes (4,13), des détendeurs (6), des filtres (2), des dispositifs "anti-retour" (3), des manomètres (14), et des dispositifs à débit massique (8).4. Set of elements according to one of claims 1 to 3, characterized in that the through components (1-4,6-8, 13,14) include valves (4,13), regulators (6) , filters (2), "non-return" devices (3), pressure gauges (14), and mass flow devices (8). 5. Jeu d'éléments selon la revendication 4, caractérisé en ce que les dispositifs anti-retour (3) et les manomètres (14) sont au double (2P) du pas (P) prédéterminé, en ce que les détendeurs (6) et les filtres (2) sont au triple (3P) du pas prédéterminé, et en ce que les dispositifs à débit massique (8) sont au quadruple (4P) du pas prédéterminé.5. Set of elements according to claim 4, characterized in that the non-return devices (3) and the pressure gauges (14) are at double (2P) the pitch (P) predetermined, in that the regulators (6) and the filters (2) are at triple (3P) the predetermined pitch, and in that the mass flow devices (8) are at the quadruple (4P) of the predetermined pitch. 6. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les vannes (4) présentant des faces libres opposées sont au double (2P) du pas prédéterminé, et en ce que les vannes (13) possédant deux faces libres perpendiculaires, sont au pas prédéterminé selon la direction qui est perpendiculaire à la fois à l'une des faces et à l'axe perpendiculaire passant par l'autre face.6. Set of elements according to one of claims 4 and 5, characterized in that the valves (4) having opposite free faces are at double (2P) of the predetermined pitch, and in that the valves (13) having two perpendicular free faces, are at a predetermined pitch in the direction which is perpendicular both to one of the faces and to the perpendicular axis passing through the other face. 7. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le pas (P) prédéterminé est de 25,4 mm.7. Set of elements according to one of claims 1 to 6, characterized in that the predetermined pitch (P) is 25.4 mm. 8. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'embout (17) offre extérieurement une portée conique (18) s'évasant vers une portée cylindrique supérieure (19), suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan (20,24) en retrait vers une partie cylindrique d'extrémité (21) terminée par la section annulaire radiale (22).8. Set of elements according to one of claims 1 to 7, characterized in that the end piece (17) externally offers a conical bearing (18) widening towards an upper cylindrical bearing (19), followed by at least one planar radial annular shoulder (20,24) set back towards a cylindrical end part (21) terminated by the radial annular section (22). 9. Jeu d'éléments selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'embout (17) est réalisé par usinage de la face externe (25) de la paroi (26) de la partie terminale (15) du conduit (16).9. Set of elements according to claim 8, characterized in that the end piece (17) is produced by machining the external face (25) of the wall (26) of the end part (15) of the conduit (16) . 10. Jeu d'éléments selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'embout (17) est réalisé à l'aide de l'extrémité de la partie terminale (15) du conduit (16), formant la partie cylindrique d'extrémité (21), terminée par la section annu laire radiale (22), et de premier (28) et second (29) corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps (28,29) étant conformés pour s'engager sur le conduit (16), près de ladite section annulaire radiale (22), tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale (30) relativement à un lieu prédéterminé (31) de la partie terminale (15).10. Set of elements according to claim 8, characterized in that the end piece (17) is produced using the end of the terminal part (15) of the conduit (16), forming the cylindrical part of end (21), terminated by the annular radial section (22), and first (28) and second (29) bodies, suitable for mutual cooperation by screwing, the two bodies (28,29) being shaped to engage on the conduit (16), near said radial annular section (22), while at least one of the two bodies comprises an axial immobilization means (30) relative to a predetermined place (31) of the terminal part ( 15). 11. Jeu d'éléments selon la revendication 10, caractérisé en ce que la partie terminale (15) du conduit (16) comprend, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement (31) réalisé par usinage de la face externe (25) de la paroi (26) dudit conduit (16).11. Set of elements according to claim 10, characterized in that the end part (15) of the duct (16) comprises, at the predetermined location, at least one first housing (31) produced by machining the external face (25 ) of the wall (26) of said duct (16). 12. Jeu d'éléments selon la revendication 11, caractérisé en ce que la partie terminale (15) du conduit (16) comprend, en le lieu prédéterminé, un premier logement annulaire (31), en ce que le premier corps (28) comprend une partie centrale annulaire (34), de forme générale cylindrique, munie d'un filetage externe (36), et destinée à venir s'emmancher sur la partie terminale (15) du conduit (16) et terminée par une extrémité (32) comportant un second logement annulaire (33) réalisé par alésage, de forme homologue à celle du premier logement annulaire (31) et destiné à être placé en regard de celui-ci, en ce que le moyen d'immobilisation est un anneau (30) ouvert en au moins un endroit et de dimensions adaptées pour autoriser son logement dans les premier (31) et second (33) logements, et en ce que le second corps (29) comprend au moins une première partie annulaire cylindrique (41) munie d'un filetage interne (39) propre à être vissée sur la partie centrale annulaire filetée (34) du premier corps (28) et suivie d'une seconde partie annulaire (38), de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur l'extrémité (32) du premier corps et elle-même suivie par une troisième partie annulaire (37), de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur la partie terminale (15) du conduit (16) en laissant libre sa partie cylindrique d'extrémité (21) et comprenant extérieurement la portée conique (18), la portée cylindrique supérieure (19), et au moins un épaulement annulaire radial plan (20,24) en retrait.12. Set of elements according to claim 11, characterized in that the end part (15) of the conduit (16) comprises, at the predetermined place, a first annular housing (31), in that the first body (28) comprises an annular central part (34), of generally cylindrical shape, provided with an external thread (36), and intended to be fitted onto the end part (15) of the duct (16) and terminated by one end (32 ) comprising a second annular housing (33) produced by boring, of shape homologous to that of the first annular housing (31) and intended to be placed opposite the latter, in that the immobilization means is a ring (30 ) open in at least one place and of dimensions adapted to allow it to be housed in the first (31) and second (33) housings, and in that the second body (29) comprises at least one first cylindrical annular part (41) provided an internal thread (39) suitable for being screwed onto the central part a nnular threaded (34) of the first body (28) and followed by a second annular part (38), of cylindrical internal shape, adapted to be fitted on the end (32) of the first body and itself followed by a third annular part (37), of cylindrical internal shape, suitable for being fitted onto the terminal part (15) of the duct (16) while leaving free its cylindrical end part (21) and externally comprising the conical bearing ( 18), the upper cylindrical bearing surface (19), and at least one annular flat radial shoulder (20,24) recessed. 13. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que les premier (28) et second (29) corps sont métalliques.13. Set of elements according to one of claims 10 to 12, characterized in that the first (28) and second (29) bodies are metallic. 14. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que l'anneau (30) est réalisé en deux demi-anneaux (30a et 30b) symétriques.14. Set of elements according to one of claims 12 and 13, characterized in that the ring (30) is made in two symmetrical half-rings (30a and 30b). 15. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les moyens d'assemblage comprennent - deux rondelles (42) identiques, de forme externe cylindrique, en matière synthétique déformable, propres chacune à être emmanchée sur la partie cylindrique d'extrémité (21) en butée contre ledit épaulement annulaire radial plan (20,24), et comportant une paroi annulaire radiale plane amont (46) destinée à former la face libre de contact avec ladite section annulaire radiale (22) de l'embout (17), - une bague métallique (47) de forme cylindrique allongée, propre à loger intérieurement en contact surfacique deux rondelles (42) et les portées cylindriques supérieures (19) d'embouts (17) mis face à face, de sorte que les deux faces libres de contact viennent en regard l'une de l'autre, et - deux demi-coquilles (48a et 48b) possédant deux demiportées coniques (49) homologues des deux portées coniques (18) respectives des deux embouts (17) mis face à face, l'enserrage de ces deux demi-coquilles assurant le raccordement des conduits (16) comportant lesdits embouts (17).15. Set of elements according to one of claims 1 to 14, characterized in that the assembly means comprise - two identical washers (42), of cylindrical external shape, of deformable synthetic material, each suitable for being fitted onto the cylindrical end portion (21) abutting against said planar radial annular shoulder (20,24), and comprising an upstream planar radial annular wall (46) intended to form the free face of contact with said radial annular section (22) of the end piece (17), - a metal ring (47) of elongated cylindrical shape, suitable for internally housing in surface contact two washers (42) and the upper cylindrical bearing surfaces (19) of end pieces (17) placed face to face , so that the two free contact faces come opposite one another, and - two half-shells (48a and 48b) having two conical half-bearings (49) homologous to the two respective conical bearings (18) of the two end caps (17) facing each other opposite, the clamping of these two half-shells ensuring the connection of the conduits (16) comprising said end pieces (17). 16. Jeu d'éléments selon la revendication 15, caractérisé en ce que, avant raccordement, le plan contenant la section annulaire radiale (22) de chaque embout (17) est situé légèrement en retrait du plan contenant la paroi annulaire radiale plane amont (46) de la rondelle (42) correspondante, et en ce que les caractéristiques géométriques des embouts (17) sont choisies pour assurer, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles (48), une compression des deux rondelles (42) en matière synthétique déformable suivie d'un contact surfacique entre les deux sections annulaires (22).16. Set of elements according to claim 15, characterized in that, before connection, the plane containing the radial annular section (22) of each end piece (17) is situated slightly behind the plane containing the upstream planar radial annular wall ( 46) of the corresponding washer (42), and in that the geometrical characteristics of the end pieces (17) are chosen to ensure, during the clamping of the two half-shells (48), a compression of the two washers (42) in deformable synthetic material followed by surface contact between the two annular sections (22). 17. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 15 et 16, caractérisé en ce que le matériau synthétique de chaque rondelle (42) est choisi dans le groupe formé au moins par le polytétrafluoréthylène (PTFE) et ses dérivés.17. Set of elements according to one of claims 15 and 16, characterized in that the synthetic material of each washer (42) is chosen from the group formed at least by polytetrafluoroethylene (PTFE) and its derivatives. 18. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 9 à 17, caractérisé en ce que la portée cylindrique supérieure (19) de l'embout (17) est suivie d'au moins deux épaulements annulaires radiaux plans (20,24) en retrait vers ladite partie cylindrique d'extrémité (21).18. Set of elements according to one of claims 9 to 17, characterized in that the upper cylindrical surface (19) of the end piece (17) is followed by at least two planar radial annular shoulders (20,24) set back towards said cylindrical end part (21). 19. Procédé pour monter un embout formant demi-connecteur sur un conduit d'élément de distribution de fluide choisi parmi des tubulures (10), des raccords de dérivation (5,9, 12), et des composants traversants (1-4,6-8,13,14), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes a) préparer une section annulaire radiale (22) à une extrémité du conduit (16), après éventuelle découpe de celui-ci, b) prévoir de premier (28) et second (29) corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps (28,29) étant conformés pour s'engager sur le conduit (16), près de ladite section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale (30) relativement à un lieu prédéterminé (31) du conduit situé à une distance (LO) prédéterminée de la section annulaire radiale (22), c) engager les deux corps (28,29) sur le conduit (16), sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé (31), d) faire coopérer ledit moyen d'immobilisation (30) avec la partie du conduit située en ledit lieu prédéterminé (31) de façon à positionner précisément le corps qui comprend ledit moyen d'immobilisation (30) par rapport à ladite section annulaire radiale (22) du conduit (16), et e) visser ensemble les premier (28) et second (29) corps, de façon à immobiliser l'ensemble (28,29) par rapport à ladite section annulaire radiale (22) du conduit (16).19. Method for mounting an end-piece forming a half-connector on a conduit for a fluid distribution element chosen from pipes (10), branch fittings (5,9, 12), and through components (1-4, 6-8,13,14), characterized in that it comprises the following steps a) prepare a radial annular section (22) at one end of the duct (16), after possible cutting of the latter, b) provide for first (28) and second (29) bodies, suitable for mutual cooperation by screwing, the two bodies (28,29) being shaped to engage on the duct (16), near said radial annular section, while the at least one of the two bodies comprises an axial immobilization means (30) relative to a predetermined place (31) of the duct situated at a predetermined distance (LO) from the radial annular section (22), c) engaging the two bodies ( 28,29) on the duct (16), substantially on either side of the predetermined place (31), d) making said m cooperate immobilization means (30) with the part of the conduit located in said predetermined place (31) so as to precisely position the body which comprises said immobilization means (30) relative to said radial annular section (22) of the conduit ( 16), and e) screwing together the first (28) and second (29) bodies, so as to immobilize the assembly (28,29) relative to said radial annular section (22) of the conduit (16). 20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'étape a) comprend une sous-étape dans laquelle on usine extérieurement (25), en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement (31) dans la paroi latérale (26) du conduit, et en ce qu'à l'étape b) le moyen d'immobilisation axiale (30) est agencé pour coopérer avec ledit au moins premier logement (31). 20. The method of claim 19, characterized in that step a) comprises a sub-step in which one externally (25) is machined, at the predetermined location, at least one first housing (31) in the side wall (26 ) of the conduit, and in that in step b) the axial immobilization means (30) is arranged to cooperate with said at least first housing (31).