FR2688920A1 - Support d'enregistrement magnetique et son procede de fabrication. - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne un support d'enregistrement magnétique à haute densité pour un dispositif d'enregistrement/reproduction (comme ceux utilisés dans des unités à disque pour ordinateur) et, plus particulièrement, un support d'enregistrement magnétique comportant une pluralité de couches d'enregistrement magnétique telles que la couche supérieure est plus mince et a une structure plus dense que la couche d'enregistrement magnétique inférieure. Le présent support d'enregistrement magnétique consiste en un substrat plaqué non magnétique (12), une couche formant sous-couche non magnétique (13) stratifiée sur le substrat plaqué, une pluralité de couches d'alliage magnétique incluant la couche supérieure (16) stratifiée sur la couche formant sous-couche, une couche non magnétique de recouvrement (17) stratifiée sur la couche supérieure, et une couche lubrififiante (18) formée sur la couche de recouvrement non magnétique.
Description
"Support d'enregistrement magnétique et son procédé de fabrication"
La présente invention concerne un support d'enre-
gistrement et/ou de reproduction magnétique (référencé ci-dessous simplement comme "support d'enregistrement
magnétique"), un procédé de fabrication d'un tel sup-
port, et des dispositifs qui incorporent un tel support. Plus spécifiquement, le support précité de la présente invention est adapté à un enregistrement haute densité, et montre une excellente fiabilité comme représenté par sa résistance à la corrosion Un tel support peut être utilisé dans des unités à disques pour ordinateurs, des
unités à bandes de tous types, et tout appareil d'enre-
gistrement dans lequel on utilise l'enregistrement magnétique. A ce jour, on sait que les supports magnétiques pour les applications d'enregistrement à haute densité produisent des forces coercitives élevées, lesquelles, à
leur tour, fournissent un enregistrement haute densité.
Par exemple ceux utilisant des films magnétiques Co Cr Pt et Co Cr Pt Ta ont été divulgués par le brevet japonais ouvert au public N O 88806/1984 alors que ceux utilisant un film magnétique au Co Ni Cr Ta ont été divulgués par le
brevet japonais ouvert au public No 237925/1989 Toute-
fois, le document IEEE Trans Mag, MAG-24, N O 6, page
301 ( 1988), enseigne que pour obtenir une force coerci-
tive élevée en utilisant des films magnétiques au Co Cr Pt et Co Cr Pt Ta, il est nécessaire d'isoler dans le film une
couche riche en cobalt d'une couche riche en chrome.
Le document IEEE Trans Mag, MAG-26, N O 5, pages 2700-2705 ( 1990) a divulgué un support d'enregistrement magnétique en alliage du type Co, lequel est obtenu par la stratification d'une pluralité de couches de films magnétiques avec interposition de couches de films non magnétiques pour réduire le bruit du support Cependant, le procédé décrit dans le document IEEE Trans Mag, MAG-26, No 5, page 2706 ( 1990) consistant à interposer des films non magnétiques entre une pluralité de films magnétiques indique que bien que le bruit du support puisse être diminué, il est en même temps difficile de produire un support ayant une résistance plus importante
à la corrosion.
Quand on place un support d'enregistrement magnéti-
que dans un environnement corrosif, la couche riche en cobalt se corrode substantiellement Pour cette raison,
il devient difficile de maintenir la fiabilité du sup-
port d'enregistrement magnétique Pour maintenir une résistance à la corrosion qui soit fiable, le brevet japonais laissé à l'inspection du public No 195718/1987 a proposé d'utiliser un alliage à base de Co Ni en tant que film magnétique auquel on ajoute des troisième et quatrième éléments Quand la résistance à la corrosion est améliorée par l'addition des troisièmes éléments en
utilisant une base de Co Ni, on produit un film magnéti-
que résistant à la corrosion avec moins de difficultés
que lorsque le support d'enregistrement magnétique uti-
lise un alliage à base de Co Cr tel que divulgué dans le document IEEE Trans Mag, MAG-26, No 5, pages 2715-2717 ( 1990) Cependant, quand on choisit la base Co Ni, le
bruit du support devient trop important soit pour obte-
nir un rapport (S/N) signal/bruit en sortie élevé, soit
pour effectuer un enregistrement haute densité.
Enfin, le brevet japonais laissé ouvert au public
N O 184720/1989 décrit un support d'enregistrement magné-
tique qui empêche la corrosion dans la couche magnétique en insérant une couche non magnétique entre la couche magnétique et la couche non magnétique de recouvrement. Malheureusement, en insérant une pellicule mince, la fiabilité de la résistance à la corrosion est perdue En outre, pour empêcher la corrosion d'un film magnétique
en insérant un film non magnétique entre le film magné-
tique et le film non magnétique, il faut prévoir des espaces plus importants à la fois pour la tête et pour
le support dans l'unité d'enregistrement magnétique.
A cause de cette augmentation d'espace, l'effica-
cité des opérations d'enregistrement/reproduction telles que la restitution, la superposition d'écritures, etc, est considérablement détériorée malgré l'utilisation d'un alliage à base de Co Cr Il devient donc nécessaire de faire un choix entre diminuer l'épaisseur (t) de la
couche non magnétique de recouvrement et du film lubri-
fiant, diminuer l'épaisseur (t) du film inséré ou inter-
posé, ou diminuer la hauteur de flottement de la tête
d'enregistrement magnétique En conséquence des diminu-
tions des variables ci-dessus, on aura des pertes poten-
tielles en ce qui concerne: ( 1) l'efficacité de la cou-
che non magnétique de recouvrement et du film lubri-
fiant, ( 2) la résistance au glissement, ou ( 3) la fiabi-
lité de la résistance à la corrosion.
En particulier pour ce qui est du choix de diminuer la hauteur de flottement pour la tête d'enregistrement magnétique, la probabilité de contact augmente entre la
tête d'enregistrement magnétique et le support d'enre-
gistrement magnétique; par conséquent, la fiabilité de
la résistance au glissement est détériorée.
On reconnaît qu'une diminution de l'épaisseur (t)
d'un film support au -Fe 203 ne nuirait pas substantiel-
lement aux propriétés par ailleurs excellentes de résis-
tance à la corrosion du support Toutefois, -Fe 203 est considérablement moins efficace qu'un film métallique mince pour maintenir soit une résistance au glissement fiable, soit une force coercitive importante et la magnétisation résiduelle nécessaire aux enregistrements haute densité Un besoin s'est donc fait sentir en ce qui concerne un support d'enregistrement magnétique avec film métallique mince ayant une excellente résistance à la corrosion tout en maintenant d'excellentes propriétés
magnétiques du film métallique magnétique mince.
La présente invention est destinée à répondre au
besoin ci-dessus mentionné Un premier objet de la pré-
sente invention est de proposer un support d'enregistre-
ment magnétique ayant un niveau élevé fiable de résis-
tance à la corrosion tout en maintenant des propriétés
magnétiques excellentes, incluant des opérations d'enre-
gistrement et/ou de reproduction, mais non limitées à celles-là Un deuxième objet de la présente invention est de proposer un procédé de fabrication de ce support d'enregistrement magnétique Un troisième objet de la présente invention est de proposer un dispositif qui incorpore le support d'enregistrement magnétique avec
film métallique mince.
Le premier objet ci-dessus est obtenu grâce à un support d'enregistrement magnétique consistant en un substrat, une couche formant sous-couche placée sur le
substrat, et une couche d'enregistrement magnétique pla-
cée sur la couche formant sous-couche, dans lequel la couche d'enregistrement magnétique comporte en outre une pluralité de couches d'alliage Parmi la pluralité de couches d'alliage, la taille moyenne des particules des
cristaux en colonnes au niveau de la surface de la cou-
che supérieure des couches d'enregistrement magnétique est plus petite que celle au niveau des surfaces de la
couche d'enregistrement magnétique autre que la supé-
rieure (simplement appelée ci-dessous "couche d'enregis-
trement magnétique inférieure") Dans la mesure o c'est nécessaire, une couche non magnétique de recouvrement pourra être placée sur la couche d'enregistrement magné-
tique, et une couche de pellicule lubrifiante sera for-
mée dans ou sur cette couche non magnétique de recou-
vrement. Comme elle a des particules de plus petit diamètre, la couche d'enregistrement magnétique supérieure devient plus dense et d'une configuration plus serrée que les couches d'enregistrement magnétique inférieures qui ont des particules de plus grand diamètre Grâce à cette densité augmentée et de cette configuration, la couche
d'enregistrement magnétique supérieure fonctionne effi-
cacement comme un film de protection, résistant contre la corrosion externe, puisque la taille et le nombre
réduits d'espaces entre les cristaux en colonnes empê-
chent substantiellement l'infiltration des substances corrosives telles que les gaz chlorés et soufrés Plus généralement, les particules de cristaux en colonnes plus petites de la couche d'enregistrement magnétique supérieure forment une barrière comparativement fine qui réduit efficacement le bruit du support, donnant par là
un résultat additionnel et intéressant lors de l'utili-
sation de la présente invention.
Dans le support d'enregistrement magnétique pré-
cité, la couche d'enregistrement magnétique consiste en
deux couches d'alliage ou davantage, la couche d'enre-
gistrement magnétique supérieure pouvant être aussi plus
fine que les couches d'enregistrement magnétique infé-
rieures. Pour obtenir une force coercitive élevée et une magnétisation résiduelle élevée telles que celles qui sont vitales dans les opérations d'enregistrement et/ou reproduction, la couche supérieure d'enregistrement magnétique sera substantiellement constituée d'un
alliage à base de Co Ni pour l'enregistrement magnétique.
Un tel alliage à base de Co Ni devra comprendre de 1 à 40 t atomiques de Ni et de 1 à 20 % atomiques d'autre
métal ou substance similaire (simplement appelé ci-
dessous "autre métal") En outre, un tel autre métal devra consister en au moins un élément choisi parmi les métaux de transition tels que Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, dans lequel le reste de cet autre métal sera du Co Les avantages d'une telle composition incluent une augmentation à la résistance à la corrosion sur la surface de la couche d'enregistrement magnétique, ainsi qu'à la fois une force coercitive élevée et une
magnétisation résiduelle élevée pour le support magné-
tique, augmentant grâce à cela l'efficacité du support
pour l'enregistrement haute densité.
A l'exclusion de sa couche supérieure, la couche
d'enregistrement magnétique ci-dessus mentionnée consis-
tant en une pluralité de couches individuelles d'enre-
gistrement magnétique devra être constituée d'un alliage à base de Co Cr pour l'enregistrement magnétique En outre, un tel alliage à base de Co Cr devra comprendre de 1 à 30 % atomiques de Cr et de 1 à 20 % atomiques d'autre métal Donc un tel autre métal devra comprendre
au moins un élément choisi parmi les métaux de transi-
tion tels que Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt (mais ne comprenant pas Cr) et parmi Ge et Si, le reste de cet autre métal étant Co Les avantages d'une telle composition incluent une diminution du bruit du support
sans perte significative de la résistance à la corro-
sion, ainsi qu'une adaptabilité à l'enregistrement magnétique haute densité et une fiabilité améliorée à la
résistance à la corrosion.
Ou bien, à l'exclusion de sa couche supérieure, la
couche d'enregistrement magnétique particulière compo-
sant les couches d'enregistrement magnétique, devra être
constituée d'un alliage à base de Co pour l'enregistre-
ment magnétique En outre, un tel alliage à base de Co ci-dessus mentionné devra être constitué de 1 à 45 % atomiques de métal comportant au moins un élément choisi parmi les métaux de transition tels que Ti, V, Zr, Nb,
Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt et parmi P et Si.
Des couches intermédiaires telles que les couches
d'enregistrement non magnétiques peuvent être interpo-
sées dans la pluralité des couches d'enregistrement magnétique, de telle sorte que la couche supérieure agisse comme film métallique magnétique résistant à la corrosion De telles couches intermédiaires à la fois diminuent le bruit du support et assurent une fiabilité
dans la résistance à la corrosion grâce à l'incorpora-
tion substantielle des propriétés de la couche d'enre-
gistrement magnétique.
La concentration en oxygène dans l'alliage à base de Co sera de préférence inférieure à 10 % atomiques
dans les couches d'enregistrement magnétique En parti-
culier, le contenu d'oxygène dans la couche d'enregis-
trement magnétique supérieure devra être plus important
que le contenu d'oxygène dans les couches d'enregistre-
ment magnétique inférieures, et la taille des particules dans la couche d'enregistrement magnétique supérieure
peut être prévue plus petite que la taille des particu-
les dans les couches d'enregistrement magnétique infé-
rieures Les avantages principaux d'une telle concentra-
tion dans l'alliage à base de Co incluent une augmenta-
tion de la force coercitive, laquelle à son tour rend possible la production d'un support d'enregistrement magnétique adapté à l'enregistrement haute densité, et des caractéristiques de fiabilité pour la résistance à
la corrosion.
Le second objet de la présente invention est atteint par un procédé de fabrication des supports En général, les couches de films minces sont stratifiées ou déposées sur un substrat par pulvérisation ou autre technique efficace Le procédé comprend plus spécifique- ment les étapes suivantes: appliquer une couche formant sous-couche sur le substrat; appliquer une couche
d'enregistrement magnétique sur la couche formant sous-
couche (sachant que la couche d'enregistrement magné-
tique est constituée d'une pluralité de couches
d'alliage) La taille moyenne des particules des cris-
taux en colonnes au niveau de la surface de la couche d'enregistrement magnétique supérieure est choisie pour
être plus petite que celle dans les couches inférieures.
De telles couches intermédiaires intercalées peuvent être des couches non magnétiques parmi plusieurs couches d'enregistrement magnétique Dans un tel cas, la couche supérieure d'enregistrement magnétique est constituée
d'un film métallique magnétique résistant à la corro-
sion.
Suivant le procédé de la présente invention, une couche non magnétique de recouvrement est appliquée sur la couche d'enregistrement magnétique Finalement, une couche de film lubrifiant est prévue dans, ou sur, cette couche non magnétique de recouvrement Ainsi, le support d'enregistrement magnétique, bien qu'ayant une qualité et une stabilité élevées, peut être facilement produit
avec un coût réduit.
Pour s'assurer que les particules de la couche supérieure ont une taille plus petite que celles des couches inférieures, la couche supérieure sera formée sous atmosphère gazeuse dont la pression sera inférieure
à celle de l'atmosphère gazeuse dans laquelle les cou-
ches inférieures sont formées En outre, lorsque la cou-
che supérieure est formée, une puissance électrique cible sera envoyée à la couche supérieure qui est plus élevée que la puissance électrique cible avec laquelle les couches inférieures sont formées Cette énergie plus forte pour la couche supérieure permet de former une couche dense tout en n'héritant pas des diamètres des particules de cristaux en colonnes que l'on trouve dans les films magnétiques inférieurs De cette façon, le support d'enregistrement magnétique souhaité pourra être produit. Lorsqu'une couche croît pendant la production du
support, les particules de cristaux en colonnes s'éten-
dent et s'élargissent en forme d'hélices ou d'entonnoirs
vers le haut Egalement, lorsque chaque taille de parti-
cules augmente, la densité diminue Cependant, quand la couche supérieure est formée après la formation de la couche inférieure, les diamètres de particules peuvent être réglés indépendamment des diamètres des particules de cristaux de la couche inférieure Par conséquent, on peut former la couche supérieure sous forme de cristaux
en colonnes denses ayant de petits diamètres de particu-
les En outre la croissance des diamètres de particules peut être arrêtée lorsque l 'épaisseur (t) de la couche
supérieure est restreinte.
Parce que la couche supérieure est moins épaisse
que la couche d'enregistrement magnétique, les particu-
les cristallines dans la couche supérieure ne peuvent pas s'étendre jusqu'à des dimensions de belle taille comme cela se produit dans la surface de la couche d'enregistrement magnétique En outre, parce que les
particules de cristaux en colonnes de la couche d'enre-
gistrement magnétique inférieure ne peuvent pas croître dans la couche, un arrangement dense de cristaux en colonnes peut se former dans la couche supérieure Une
telle configuration de support d'enregistrement magnéti-
que augmente substantiellement la résistance à la corro-
sion et diminue le bruit du support.
Par le passé, il était difficile d'avoir en même temps une stabilité structurelle et un contrôle des coûts da production pendant la préparation d'une couche magnétique d'enregistrement à haute densité Les configurations connues ont cherché à utiliser des particules formées finement dans tout le matériau magnétique, y compris dans les couches d'enregistrement magnétique inférieures.
Cependant, suivant la présente invention, des par-
ticules de petit diamètre doivent être maintenues seule-
ment dans la formation de la couche supérieure La cou-
che supérieure fournit de préférence un film protecteur qui résiste efficacement à la corrosion externe Par conséquent, le support d'enregistrement magnétique selon la présente invention présente des caractéristiques d'enregistrement et de fiabilité excellentes obtenues
pour un coût de fabrication réduit par rapport aux sup-
ports précédents produits par d'autres procédés.
On va maintenant décrire les modes de réalisation préférés de la présente invention en se référant aux dessins annexés, dans lesquels: la Figure 1 est une illustration pour expliquer la structure transversale d'un support d'enregistrement magnétique selon un premier mode de réalisation de la présente invention; la Figure 2 est un graphique caractéristique pour
expliquer les caractéristiques magnétostatiques se rap-
portant à un support d'enregistrement magnétique du mode de réalisation de la Figure 1, montrant spécifiquement une comparaison entre la force coercitive Hc dudit mode de réalisation et celle d'un support connu, montrant en outre la comparaison entre la densité de flux magnétique résiduel Br dudit mode de réalisation et celle dudit support connu; il la Figure 3 est un graphique caractéristique pour expliquer les résultats de l'essai de pulvérisation à l'eau salée d'un support d'enregistrement magnétique du
mode de réalisation de la Figure 1, dans lequel on com-
pare la relation entre le temps écoulé et la densité de flux magnétique de saturation normalisée dudit mode de réalisation avec celle dudit support connu; la Figure 4 est un graphique caractéristique pour
expliquer les caractéristiques magnétostatiques se rap-
portant au support d'enregistrement magnétique suivant un autre mode de réalisation de la présente invention, lequel montre l'effet de l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique supérieure sur à la fois la force coercitive Hc et le rapport de rectangularité dudit mode de réalisation; la Figure 5 est un graphique caractéristique pour
expliquer les caractéristiques de fréquence d'enregis-
trement du bruit du support du mode de réalisation de la Figure 4, lequel compare la relation entre la fréquence
et le bruit du support pour un support à couche magnéti-
que unique avec celle pour des compositions alternées; la Figure 6 est un graphique caractéristique pour expliquer les résultats de l'essai de vaporisation d'eau salée pour le mode de réalisation de la Figure 4, lequel
compare la relation entre les temps écoulés et la den-
sité de flux magnétique de saturation normalisée pour un support avec couche magnétique unique avec celle pour des compositions alternées; la Figure 7 est un graphique caractéristique pour expliquer la relation entre le rapport S/N du support d'enregistrement magnétique et le pourcentage de Ni dans la couche d'enregistrement magnétique supérieure selon le mode de réalisation de la Figure 1; la Figure 8 est un graphique caractéristique pour expliquer la relation entre le rapport S/N du support d'enregistrement magnétique et le pourcentage de Cr dans la couche d'enregistrement magnétique supérieure suivant le mode de réalisation de la Figure 1; la Figure 9 est une représentation pour expliquer la structure transversale d'un support d'enregistrement magnétique selon encore un autre mode de réalisation de la présente invention; la Figure 10 est un graphique caractéristique pour comparer le rapport S/N du support d'enregistrement magnétique selon le mode de réalisation de la Figure 9 dans des conditions variables impliquant une couche intercalée, comparant en outre le rapport S/N dans des conditions variables impliquant des supports à couche magnétique unique; la Figure 11 est un graphique caractéristique pour expliquer la relation entre le rapport S/N du support d'enregistrement magnétique et le pourcentage d'oxygène
dans la couche magnétique pour des compositions alter-
nées de la couche d'enregistrement magnétique supérieure selon le mode de réalisation de la Figure 1; et la Figure 12 est une illustration pour expliquer la structure transversale d'un support d'enregistrement magnétique selon encore un autre mode de réalisation de
la présente invention.
La Figure 1 représente une vue en coupe d'un sup-
port d'enregistrement magnétique suivant un premier mode de réalisation de la présente invention, dans lequel le numéro de référence 11 repère un substrat composé d'un alliage d'aluminium ou d'un matériau similaire, 12 repère une couche déposée non magnétique formée de Ni-P, Ni-Cu-P, ou similaire, 13 repère une couche formant sous-couche composée de Cr ou similaire, 14 repère une couche d'enregistrement magnétique inférieure composée
d'un alliage à base de Co, 16 repère une couche d'enre-
gistrement magnétique résistante à la corrosion (couche d'enregistrement magnétique supérieure) composée d'un
alliage à base de Co, 17 repère une couche non magnéti-
que de recouvrement composée de C ou similaire, et 18
repère une couche de film lubrifiant composée de per-
fluoroalkylpolyéther ou similaire Parmi eux, la couche formant souscouche 13, la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 et la couche non magnétique de recouvrement 17 sont toutes formées par pulvérisation cathodique ou une technique similaire, et la couche de lubrification 18 est formée par un procédé d'enduction ou similaire Les paragraphes qui suivent vont donner
plus de détails à la fois en ce qui concerne les compo-
sitions préférées et les procédés préférés pour produire
un support magnétique selon la présente invention.
Repérée par 12, on a une couche non magnétique con-
tenant 11 % en poids de P-Ni qui a été déposée avec une épaisseur constante t de 20 pm sur un substrat 11
d'alliage d'aluminium d'épaisseur 1,3 mm ayant un diamè-
tre extérieur de 90 mm et un diamètre intérieur de 25 mm, dans laquelle en outre la surface de la couche 12 a été polie Par commodité, ledit substrat en alliage 11 et ladite couche non magnétique 12 seront appelés substrat plaqué De fines rayures dont la texture moyenne suivant
l'axe central Ra était de 8 nm ont été formées à la sur-
face du substrat 11 dans le sens de la circonférence pour former une couche 12 plaquée non magnétique dudit
substrat plaqué ayant une épaisseur t de 13 pm Une cou-
che formant sous-couche 13 au Cr y a ensuite été formée
en maintenant une épaisseur t de 150 ni pour une tempé-
rature du substrat de 200 'C sous une pression d'argon de 1,33 Pa ( 10 m Torr) et avec une puissance électrique de courant continu correspondant à 4 W/cm 2 sur laquelle on a ensuite formé une couche 14 d'enregistrement magnétique inférieure en alliage de Co Ni 12 Cr 6 maintenant une épaisseur t de 30 nm sous une pression d'argon de 1, 33 Pa
( 10 m Torr) avec une puissance électrique de courant con-
tinu correspondant à 9 W/cm 2 Enfin, on a formé une cou-
che d'enregistrement magnétique supérieure 16 en alliage de Co Ni 12 Cr 6 en maintenant une épaisseur t de 30 nm, sous une pression d'argon de 1,33 Pa ( 10 m Torr) et avec une
puissance électrique DC de 9 W/cm 2.
La Figure 2 montre les résultats des essais dans
lesquels on a mesuré les caractéristiques magnétostati-
ques d'un échantillon obtenu en coupant un support d'enregistrement de la présente invention préparé comme décrit ci-dessus en morceaux de 7 mm x 7 mm en utilisant un magnétomètre d'échantillon de vibration (VSM) dans un champ magnétique de saturation de 398 103 A/m ( 5 k Oe) mesuré pour 20 minutes par boucle L'exemple comparatif correspondant montre les résultats de l'essai dans lequel un disque connu comportant des films magnétiques supérieur et inférieur formés sous une pression d'argon de 1,33 Pa ( 10 m Torr) avec une puissance électrique de courant continu de stratification de 4 W/cm 2 (couches
inférieure et supérieure d'épaisseur t = 30 nm respecti-
vement) a été mesuré de la même façon que décrit ci-
dessus.
Sur la Figure 2, les données représentées apparais-
sant du côté gauche montrent l'exemple comparatif et les
données représentées apparaissant sur le côté droit mon-
trent le mode de réalisation de la présente invention.
Ce graphe caractéristique montre l'impact sur les carac-
téristiques magnétostatiques quand la couche 16 d'enre-
gistrement magnétique supérieure est formée avec une puissance électrique en courant continu augmentée A la
fois la force coercitive et la densité de flux magné-
tique augmentent proportionnellement à l'augmentation de
puissance électrique DC.
Des observations ont été faites de sections trans-
versales du disque en utilisant un microscope électroni-
que à balayage de haute résolution (SEM) pour des ampli-
fications de 500 000 fois et 1 000 000 de fois qui mon-
tre des changements dans les cristaux en colonnes à pro-
ximité de la partie centrale du film magnétique dans le mode de réalisation mentionné ci-dessus De telles observations ont montré des particules de cristaux plus denses dans la couche 16 d'enregistrement magnétique
supérieure que dans l'exemple comparatif.
En utilisant un microscope SEM de haute résolution pour des amplifications de 500 000 fois et 1 000 000 de fois, les observations ci- dessus mentionnées ont été
vérifiées expérimentalement Des observations comparati-
ves ont été faites des surfaces des couches magnétiques supérieures pour des disques comportant des couches magnétiques supérieure et inférieure, dans lesquels un disque était formé sous les conditions de l'observationoriginale (puissance électrique de 4 W à la fois pour la couche magnétique supérieure et la couche inférieure) et
l'autre disque était formé sous des conditions différen-
tes (puissance électrique de 4 W pour la couche magnéti-
que inférieure et de 9 W pour la couche magnétique supé-
rieure) De telles expériences ont montré que les diamè-
tres moyens de particules cristallines étaient d'environ 60 nm pour les disques formés dans les conditions de
l'observation originale et d'environ 40 nm pour les dis-
ques formés dans lesdites conditions différentes.
D'autres observations comparatives ont été faites entre la surface d'un disque ayant seulement une couche magnétique inférieure (dont l'épaisseur t était de 30 nm
avec une puissance électrique de 4 W) et celle d'un dis-
que formé dans les conditions différentes ci-dessus men-
tionnées (ayant un film inférieur d'épaisseur t de 30 nm avec 4 W et un film supérieur d'épaisseur t de 30 nm avec 9 W) Les enseignements d'une telle comparaison ont montré des différences dans les tailles moyennes des particules cristallines La taille moyenne de particules cristallines du premier disque était d'environ 45 nm, alors que la taille correspondante de particules pour le dernier disque était d'environ 40 nm. Les précédentes observations montrent un nombre de relations supplémentaires propres au mode de réalisation ci-dessus que l'on va décrire ci-dessous Le diamètre des particules des cristaux en colonnes augmente à la façon d'une hélice ou d'un entonnoir lorsque l'épaisseur
t de la couche d'enregistrement magnétique 14, 16 aug-
mente vers le haut (c'est-à-dire lorsque les cristaux
croissent) Cependant, à mesure que la puissance élec-
trique fournie aux particules augmente, le diamètre de
particules diminue et la couche devient plus dense.
* Quand la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 et la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 sont formées dans les mêmes conditions, la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 se forme à la façon d'une hélice qui est continue avec la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 ayant la forme d'une hélice, et la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 devient plus grossière que la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, et présente des diamètres de particules plus grands Par contre,
quand les couches d'enregistrement magnétique sont for-
mées dans des conditions différentes, la couche d'enre-
gistrement magnétique supérieure 16 ayant la forme d'une hélice se forme indépendamment de la couche inférieure
ayant la forme d'une hélice, mais sur la surface supé-
rieure de celle-ci Par conséquent, dans le cas d'une
puissance envoyée à la couche d'enregistrement magnéti-
que supérieure 16 plus importante, la forme d'hélice de ladite couche 16 se forme de façon plus dense que dans la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, et
présente des particules de plus petit diamètre.
La Figure 3 montre des changements comparatifs dans
les densités de flux magnétiques de saturation normali-
sées du support d'enregistrement magnétique du mode de réalisation qui se produisent lorsque l'intervalle de temps augmente pendant l'essai avec la pulvérisation d'eau salée à 1 N pour 600 C Dans le cas du support d'enregistrement magnétique du mode de réalisation de la présente invention, la densité de flux magnétique de
saturation change peu lorsque le temps passe Ce change-
ment modéré indique une bonne résistance à la corrosion.
Les mêmes résultats sont obtenus quel que soit le choix de l'alliage du film magnétique, même si des alliages au Co Ni, Co Cr Tr et Co Cr Pt sont choisis pour faire l'essai à
l'eau salée dans les conditions précitées.
On a trouvé que ces résultats sont obtenus parce que le diamètre moyen des particules cristallines à la
surface de la couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure 16 est inférieur au diamètre moyen des particules cristallines dans la couche d'enregistrement magnétique
inférieure 14.
Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représentée à la Figure 1, un substrat plaqué consiste en une couche 12 non magnétique contenant 11 % en poids de B-Ni plaquée avec une épaisseur constante t de 20 pm sur un substrat Il en alliage d'aluminium d'épaisseur 1,3 mm ayant un diamètre extérieur de 90 mm et un diamètre intérieur de 25 mm, sur lequel on a en outre poli la surface de la couche 12 De fines rayures dont la texture moyenne Ra suivant l'axe central était de 9 nm ont été formées à la surface du substrat 11 dans le sens de sa circonférence pour former une couche
plaquée non magnétique 12 ayant une épaisseur t de 15 pm.
Une couche formant sous-couche au Cr 13 a ensuite été formée sur celle- ci en maintenant une épaisseur t de nm pour une température de substrat de 1800 C sous une pression d'argon de 1,33 Pa ( 10 m Torr) avec une puissance électrique DC de 7 W/cm 2 sur laquelle on a ensuite formé une couche 14 d'enregistrement magnétique inférieure de Co Ni 12 Cr 6 dans les mêmes conditions que
pour la couche formant sous-couche au Cr.
Une couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 a ensuite été formée par-dessus en maintenant des épaisseurs t de 1, 5, 10 et 20 nm en utilisant une cible en alliage de Co 75 Ni 25 à laquelle on a ajouté du Zr à raison de 8 % atomiques de telle sorte que la densité de flux magnétique de saturation était de 1 T ( 104 G) En particulier, une telle valeur de la densité de flux magnétique de saturation est nécessaire de façon à ce que, en effectuant le produit arithmétique de celle-ci par l'épaisseur totale t de la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 on obtienne une valeur discrète de 0,04 T pm ( 400 Gauss pm) Dans ce cas, l'épaisseur t de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 est en outre déterminée pour satisfaire la condition
précitée Ensuite, une couche non magnétique de recou-
vrement 17 en C a été formée en maintenant une épaisseur t de 30 nm dans les conditions de 8 w/cm 2 et de 0,4 Pa ( 3
m Torr) La résistance à la corrosion du support d'enre-
gistrement magnétique de la présente invention a été testée en pulvérisant une solution de Na Cl à 5 N sur
ledit support pour des épaisseurs t variables de la cou-
che d'enregistrement magnétique supérieure 16 comme indiqué ci- dessus Alors que l'effet de la densité de flux magnétique de saturation était sensible même dans les cas o l'épaisseur t était seulement de 1 nm, un tel effet était particulièrement évident dans les cas o ladite épaisseur t dépassait 5 nm Il n'y avait pas de
changement discernable en ce qui concerne lesdites pro-
priétés dans les cas o ladite épaisseur était supé-
rieure à 20 nm.
Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représentée à la Figure 1, la composition de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 a été changée pour faire des essais de la même façon que
dans le précédent mode de réalisation Un substrat pla-
qué est constitué d'une couche 12 non magnétique à 11 % en poids de P-Ni plaquée avec une épaisseur constante (t) de 20 pm sur un substrat 11 en alliage d'aluminium d'épaisseur 1,3 mm ayant un diamètre extérieur de 90 mm et un diamètre intérieur de 25 mm, sur lequel la surface était en outre polie De fines rayures dont la texture moyenne suivant l'axe central Ra était de 9 nm ont été formées à la surface du substrat 11 dans le sens de la
circonférence de façon à former une couche non magnéti-
que plaquée 12 ayant une épaisseur (t) de 15 pm.
Une couche formant sous-couche au Cr 13 a ensuite été formée sur ladite couche non magnétique plaquée 12 en maintenant une épaisseur t de 150 nm, le substrat étant dans les conditions de température de 180 'C, sous
une pression d'argon de 1,33 Pa ( 10 m Torr) et une puis-
sance électrique DC de 7 W/cm 2 Une couche d'enregistre-
ment magnétique inférieure 14 en Co Cr 12 Ta 4 a ensuite été formée sur la couche 13 formant sous-couche au Cr dans
les mêmes conditions que pour la couche 13 formant sous-
couche au Cr Une couche d'enregistrement magnétique
supérieure 16 a ensuite été formée sur celle-ci en main-
tenant des épaisseurs (t) de 1, 4, 10 et 20 nm en utili-
sant une cible en alliage de Co 75 Ni 25 à laquelle on a ajouté Zr dans un pourcentage de 8 % atomiques Comme décrit précédemment, la densité de flux magnétique de saturation nécessaire était de 1 T ( 104 G) de telle sorte que l'on maintienne constante la valeur de 0,04 T pm
( 400 G pm).
Une couche non magnétique de recouvrement 17 en C a ensuite été formée en maintenant une épaisseur (t) de nm dans les conditions de 0,4 Pa ( 3 m Torr) et de
8 W/cm 2 Finalement, le support drenregistrement magnéti-
que a été complété par la formation d'une couche 18 lubrifiante liquide de perfluoroalkylpolyéther mainte-
nant une épaisseur (t) de 5 nm.
La Figure 4 montre les forces coercitives Hc du support d'enregistrement magnétique pour des épaisseurs (t) variables de la couche d'enregistrement supérieure 16 dans laquelle toutes les forces coercitives Hc étaient supérieures à 80 k A/m ( 1000 Oe) De la même manière, chacun des rapports "S" de rectangularité pour lesdites valeurs variables de l'épaisseur de la couche
d'enregistrement magnétique supérieure 16 était supé-
rieur à 0,8 Les facteurs qui influencent les change-
ments dans la force coercitive Hc sont l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14
en Co Cr 12 Ta 4 et l'épaisseur (t) de la couche d'enregis-
trement magnétique supérieure 16 en (Co 75 Ni 25) 92 Zr 8 En
particulier, la force coercitive Hc augmente proportion-
nellement à la diminution de l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 en
Co Cr 12 Ta 4.
Les caractéristiques d'enregistrement/reproduction de ces supports d'enregistrement magnétique ont été mesurées en utilisant une tête à couche mince avec un entrefer de 0,3 pm, une longueur de pôles de 5,5 pm, et une largeur de bande de 8 pm La vitesse périphérique du support d'enregistrement magnétique était de 12,4 m/s, alors que le flottement de la tête était mesuré à
0,15 pm.
La Figure 5 montre une comparaison des courbes
entre le bruit du disque et les changements dans la fré-
quence d'enregistrement Dans une telle comparaison il y a par exemple le cas o le support d'enregistrement magnétique comportait une couche magnétique unique de (Co 75 Ni 25)92 Zr 8 formée dans les mêmes conditions que celles pour former une couche magnétique unique de Co Cr 12 Ta 4 La couche magnétique unique (Co 75 Ni 25) 92 Zr 8 montre le bruit de support le plus élevé pour toutes les fréquences, et le bruit de support diminue lorsqu'on augmente l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 en Co Cr 12 Ta 4 Le bruit de support combiné (des couches d'enregistrement magnétique inférieure 14 et supérieure
16) est pratiquement le même que pour une couche d'enre-
gistrement magnétique unique au Co Cr 12 Ta 4 lorsque l'épaisseur de la couche de (Co 75 Ni 25) 92 Zr 8 est inférieure
à 10 nm.
Des résultats similaires ont été obtenus même lors-
que la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 était formée en maintenant des épaisseurs (t) de 1, 5, , 20, 30 et 40 nm sur une couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 au Co Cr 12 Pt O Dans ce cas, l'épaisseur totale (t) du film magnétique était de 60 nm en utilisant une cible en alliage de Co 65 Ni 35 pour ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, à laquelle on a ajouté du Zr à raison de 6 % atomiques De bonnes caractéristiques étaient obtenues lorsque l'épaisseur (t) était inférieure à 30 nm ( 50 % de l'épaisseur précédente (t)) En particulier, des
caractéristiques pratiquement identiques à celles cor-
respondant à une couche d'enregistrement magnétique
unique au Co Cr 12 Pt, étaient obtenues dans le cas de cou-
ches combinées 14, 16 (supérieure et inférieure) lorsque l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique
supérieure 16 était inférieure à 10 nm.
La résistance à la corrosion de ces supports
d'enregistrement magnétique a été examinée par pulvéri-
sation d'une solution de Na Cl 5 N Alors que l'effet de
la densité de flux magnétique de saturation était sensi-
ble dans la couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure 16 même dans le cas o ladite épaisseur (t) était seulement de 1 nm, un tel effet était particulièrement
évident dans les cas o l'épaisseur (t) dépassait 5 nm.
Il n'y avait pas de changement appréciable en ce qui concerne ledit effet pour les cas o ladite épaisseur
(t) était supérieure à 20 nm.
Dans encore un autre mode de réalisation de la pré-
sente invention représentée à la Figure 1, un substrat plaqué est composé d'une couche 12 non magnétique à 12 % en poids de P-Ni plaquée maintenant une épaisseur (t) de pm sur un substrat 11 en alliage d'aluminium de 1,9 mm d'épaisseur, ayant un diamètre extérieur de 130 mm et un diamètre intérieur de 40 mm Sur ladite couche 12 au P-Ni
a été formée une couche mince de Cr 13 ayant une épais-
seur (t) constante de 300 nm, le substrat étant à la température de 200 'C, sous une pression d'argon de 0,665 Pa ( 5 m Torr) et une puissance électrique DC de 1 W/cm 2 Sur ledit film au Cr 13 a été formée une couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 au Co 80 Cr 12 Ta 4 ayant une épaisseur constante de 50 nm dans les mêmes conditions que celles pour la couche mince 13 au Cr Sur ladite couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 a été formée une couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 résistante à la corrosion d'épaisseur constante (t) de 10 nm en utilisant une cible en alliage de Co 70 Ni 30 A ladite cible en alliage on a ajouté Ti, Zr, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Ru, Rh, Pd et Pt à raison de 0,05 % atomique, 0,1 % atomique, 1 % atomique, 10 % atomiques, 15 % atomiques, 20 t atomiques, 30 % atomiques, 40 %
atomiques et 50 % atomiques.
La Figure 6 montre la relation entre la densité de
flux magnétique de saturation d'un support d'enregistre-
ment magnétique et le temps écoulé lorsqu'il est testé par pulvérisation d'une solution de Na Cl 1 N à 600 C Par
rapport à la cible en alliage précité au Co Ni, le troi-
sième élément était ajouté à la couche d'enregistrement magnétique 16 supérieure résistante à la corrosion du
support d'enregistrement magnétique avec une concentra-
tion de 10 % atomiques La formation du film magnétique supérieur 16 résistant à la corrosion auquel Ti, Zr, V, Nb, Ta, Cr, Ru, Rh, Pd et Pt étaient ajoutés, aide à améliorer la résistance à la corrosion, par comparaison
avec une couche magnétique unique au Co 80 Cr 12 Ta 4.
En particulier, l'addition de Zr et Nb en tant qu'éléments principaux améliore substantiellement la résistance à la corrosion sans détériorer la densité de
flux magnétique de saturation Cet effet est sensible-
ment le même lorsque les quantités ajoutées de Zr et Nb excèdent 0,1 % atomique Des résultats identiques ont été obtenus malgré l'introduction d'un essai à humidité constante et à température constante dans lequel les échantillons ont été laissés dans un environnement de
800 C, et 80 % RH (humidité relative).
Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représentée à la Figure 1, une résistance à la corrosion également satisfaisante a été obtenue quand on
introduisait du Ti, Pt, Ru, Ta, Rh, V, Nb, Cr et Pd.
Dans de tels cas, la couche d'enregistrement magnétique
inférieure 14 au Co 80 Cr 12 Ta 4 était formée avec une épais-
seur (t) constante de 40 nm Sur ladite couche d'enre-
gistrement magnétique inférieure 14 on formait soit une couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 au (Co 75 Ni 25) 90 Zr 1 soit au (Co 60 i 40)94 Zr 6, d'épaisseur (t) de 10 nm, à laquelle on ajoutait du Ti à la concentration de 1 %, 2 % et 5 % atomiques, du Pt à la concentration de 0,2, 0,5 % et 1 % atomique, du Ru à la concentration de 0,5 t et 1,0 % atomique, du Ta à la concentration de 1 %, 2 % et 5 % atomiques, du Rh à la concentration de 0,2 %, 0,5 % et 1,0 % atomique, du V à la concentration de 2 %, 4 % et 6 % atomiques, du Nb à la concentration de 2 %, 4 % et 6 % atomiques, du Cr à la concentration de 1 %, 2 % et 5 % atomiques et du Pd à la concentration
de 0,2 %, 0,5 % et 1,0 % atomique.
Les échantillons ont été laissés dans un environne- ment de 600 C, 90 % RH et classe 10000 (o le nombre de particules de poussières de taille supérieure à 0,5 pm était d'environ 353 particules par dm 3 ( 10000 par pied
cube)), de façon à examiner leur résistance à la corro-
sion Avec l'addition de ces quatre éléments (par rap-
port à la composante Co Ni Zr de la couche d'enregistre-
ment magnétique supérieure 16), une réduction très satisfaisante de la magnétisation inférieure à 5 % a été trouvée dans ces films, après un temps de séjour de deux semaines Ces excellents résultats sont attribués au fait que l'addition des quatre éléments renforce la structure de la pellicule de surface oxydée et améliore
sensiblement la résistance contre l'oxydation et la cor-
rosion uniformes.
De tels résultats excellents sont réalisés lorsque le contenu ajouté des éléments ci-dessus était supérieur à 0,01 t atomique Cependant, des résultats indésirables se produisent pour ce qui est de la magnétisation de
saturation lorsque ce contenu ajouté excède 15 % atomi-
ques.
Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représentée à la Figure 1, un substrat plaqué est constitué par une couche 12 non magnétique à 11,5 % en poids de P-Ni, plaquée, ayant une épaisseur constante (t) de 20 pm, sur un substrat 11 en alliage d'aluminium d'épaisseur 1,8 mm, ayant un diamètre extérieur de mm, sur lequel en outre la surface était polie De
fines rayures dont la texture moyenne suivant l'axe cen-
tral Ra était de 9 nm ont été formées à la surface du substrat 11 dans le sens de la circonférence en formant ainsi une couche plaquée non magnétique 12 ayant une épaisseur (t) de 15 pm Une couche 13 au Cr a ensuite été formée là-dessus d'épaisseur constante (t) de 100 nm dans les conditions de température du substrat de 250 'C, une pression d'argon de 0,533 Pa ( 4 m Torr), et une puis-
sance électrique DC de 3 W/cm'.
Sur ladite couche 13 au Cr a ensuite été formée une couche d'enregistrement magnétique inférieure 14 au Co Cr 14 Pt, d'épaisseur constante (t) de 40 nm dans les mêmes conditions Une couche d'enregistrement magnétique supérieure 16 au (Colo,-X Ni)94 Zr 6 (avec x = 10, 20, 30, 40,
) d'épaisseur 10 nm a ensuite été formée par-dessus.
Les échantillons ont été laissés dans 502 à 0,1 ppm, H 25 à 0,1 ppm et C 12 à 0,1 ppm, de f açon à déterminer leur résistance à la corrosion contre les gaz L'utilisation d'un microscope optique a révélé des changements dans la
forme de surface plus faibles que dans le cas d'une cou-
che magnétique unique au Co 76 Cr 14 Pto, un changement très petit dans la résistance de la surface et une bonne
résistance à la corrosion contre les gaz.
Une couche 17 de recouvrement non magnétique en Si O 2 a ensuite été formée avec une épaisseur constante (t) de nm sur la structure ci- dessus Finalement, le support
d'enregistrement magnétique a été terminé avec la forma-
tion d'une couche lubrifiante liquide 18 de perfluoro-
alkylpolyéther d'épaisseur constante (t) 5 nm.
Les caractéristiques d'enregistrement/reproduction
ont en outre été évaluées en utilisant une tête magnéti-
que à couche mince ayant un entrefer de 0,4 pm La Figure 7 montre que de telles caractéristiques étaient très favorables Quand le contenu de Ni était compris entre 30 % atomiques et 50 % atomiques par rapport à Co, le rapport S/N était particulièrement intéressant S/N est représenté par l'équation suivante: (haute fréquence de sortie) S/N (d B) = 20 log ( 1) 2 SQRT( 2) (bruit du disque) Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représenté à la Figure 1, ledit mode de réali- sation est adapté de préférence au type vertical de
magnétisation, ayant des couches d'enregistrement magné-
tique 14, 16 qui, lorsqu'elles sont combinées, sont plus épaisses que les supports d'enregistrement magnétique précédemment mentionnés pour la présente invention Dans
de telles structures de magnétisation verticale, un sub-
strat plaqué comporte un film 12 de 10 nm d'épaisseur de C formé sous les conditions de 0,665 Pa ( 5 m Torr), 4 W/cm 2, et pour une température de substrat de 1000 C, sur un substrat en alliage d'aluminium 11 Sur ledit film 12 au C, une couche 13 au Ni-W-P a été formée
d'épaisseur t constante 25 pm.
Une couche 14 d'enregistrement magnétique infé-
rieure au Co 78 Cr 14 Pt 8 a été formée directement sur ladite couche 13 au Ni-W-P, avec une épaisseur constante (t) de nm Sur ladite couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, une couche 16 d'enregistrement magnétique
supérieure au (Co 65 Ni) 93 Zr 7 a été formée avec une épais-
seur constante de 50 nm, combinaison grâce à laquelle on obtient un support ayant une excellente résistance à la corrosion et des propriétés d'enregistrement magnétique vertical Dans ce cas, la couche 14 d'enregistrement
magnétique inférieure peut être produite après la forma-
tion de la couche 13 formant sous-couche sur le substrat
11, 12 plutôt que directement sur le substrat 11, 12.
Des résultats également souhaitables sont obtenus même lorsque la couche 13 formant sous-couche est constituée de Si avec une épaisseur constante (t) de 20 nm, ou de Ge avec une épaisseur constante (t) de 50 nm L'impact de la couche formant sous-couche sur l'amélioration de la résistance à la corrosion et sur les propriétés d'enregistrement magnétique vertical est reconnu lorsque la couche formant sous-couche 13 a une épaisseur (t)
supérieure à 20 nm.
Dans un autre mode de réalisation de la présente invention représentée à la Figure 1, un substrat plaqué consiste en une couche 12 non magnétique à 11,5 % en poids de P-Ni, plaquée avec une épaisseur constante (t) de 20 pm sur un substrat 11 en alliage d'aluminium d'épaisseur 1,8 mm, ayant un diamètre extérieur de mm, et dont la surface a été polie De fines rayures dont la texture moyenne suivant l'axe central Ra était de 9 nm ont été formées à la surface du substrat il dans le sens de la circonférence de façon à former une couche
plaquée 12 non magnétique d'épaisseur (t) de 15 pm.
Une couche 13 au Cr a ensuite été formée sur ladite couche plaquée non magnétique 12 avec une épaisseur
constante (t) de 100 nm, dans les conditions de tempéra-
ture de substrat de 250 'C, sous une pression d'argon de 0,533 Pa ( 4 m Torr) et avec une puissance électrique DC
de 3 W/cm 2 Sur ladite couche au Cr 13 a ensuite été for-
mée une couche d'enregistrement magnétique inférieure au (Co 1 00 Crx)94 Ptlo, (x = 10, 20, 30, 40, 50), d'épaisseur constante (t) = 40 rn, dans les mêmes conditions que
pour la couche 13 au Cr En outre, une couche 16 d'enre-
gistrement magnétique au (Co 70 Ni 30) 94 Zr 6 a été formée sur
celle-ci avec une épaisseur constante (t) de 10 nm.
Dans un autre mode de réalisation de la présente
invention représenté à la Figure 1, les couches d'enre-
gistrement magnétique supérieure et inférieure 14, 16 en alliage de (Co 70 Ni 30)94 Zr 6 ont été formées, dans un but de
comparaison, dans les conditions de température du sub-
strat de 2500 C, sous une pression d'argon de 0,533 Pa ( 4 m Torr) et une puissance électrique DC de 3 W/cm 2 Une couche 17 non magnétique de recouvrement en Si O 2 a ensuite été formée avec une épaisseur constante (t) de nm sur la structure ci-dessus Finalement, le support
d'enregistrement magnétique a été terminé avec la forma-
tion d'une couche lubrifiante liquide 18 de perfluoro-
alkylpolyéther, d'épaisseur constante (t) 5 nm. Les caractéristiques d'enregistrement/reproduction
ont été évaluées en utilisant une tête magnétique à cou-
che mince avec un entrefer de 0,4 pm Des résultats
intéressants ont été obtenus en ce qui concerne le rap-
port S/N, et des caractéristiques très favorables d'enregistrement/reproduction ont été obtenues comme on le voit à la Figure 8 Dans ce cas, le pourcentage de Cr par rapport au Co était compris entre 10 % atomiques et
% atomiques (plus spécifiquement, entre 15 % atomi-
ques et 25 % atomiques) De tels résultats intéressants ont été trouvés non seulement lorsqu'on ajoutait du Pt, mais aussi lorsqu'on ajoutait du Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf,
Ta, W et Ir.
-Dans ce qui précède, on a décrit le procédé pour
former un film du type Co Cr en tant que couche d'enre-
gistrement magnétique inférieure 14 Les résultats sou-
haitables ont aussi été obtenus lorsqu'un film magnéti-
que à base de Co mais sans Cr était formé dans les mêmes conditions que le film du type Co Cr, auquel on ajoutait au moins un élément choisi dans le groupe constitué par les métaux de transition tels que Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, et parmi P et Si Le pourcentage total ajouté audit film à base de Co était inférieur à 45 % atomiques Dans un tel cas, ledit pourcentage ajouté était de préférence compris entre 5 atomiques et 40 t atomiques (de préférence entre 10 % atomiques et 35 t atomiques).
La Figure 9 illustre encore un autre mode de réali-
sation de la présente invention, dans lequel la réfé-
rence 91 indique un substrat en alliage d'aluminium, 92
indique une couche plaquée au Ni-P, 93 indique une cou-
che formant sous-couche au Cr, 94 indique un film magné-
tique du type Co Cr, 95 indique un film intercalé au Cr,
96 indique une couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure résistante à la corrosion du type Co Ni, 97 indi-
que un film de recouvrement non magnétique, et 98 indi-
que un film lubrifiant Une couche 92 non magnétique à 11,5 % en poids de P-Ni a été plaquée avec une épaisseur (t) de 20 pm sur un substrat 91 en alliage d'aluminium d'épaisseur 1,8 mm ayant un diamètre externe de 130 mm,
et la surface a été polie.
De fines rayures dont la texture moyenne suivant l'axe central Ra était de 10 nm ont été formées à la surface du substrat 91 dans le sens de la circonférence de faaçon à former une couche 92 plaquée non magnétique d'épaisseur (t) 13 pm Une couche formant sous-couche au Cr 93 a ensuite été formée là-dessus avec une épaisseur
constante (t) de 200 nm pour des conditions de tempéra-
ture de substrat de 220 'C, sous une pression d'argon de 0,665 Pa ( 5 m Torr) et une puissance électrique DC de 1 W/cm 2 Sur ladite couche formantsous-couche 93 au Cr a
ensuite été formée une couche 94 d'enregistrement magné-
tique inférieure au Co Cr 14 Ni d'épaisseur constante (t) nm Une couche d'interposition au Cr 95 a ensuite été formée sur ladite couche 94 d'enregistrement magnétique inférieure avec une épaisseur constante (t) de 5 nm Une couche 96 d'enregistrement magnétique supérieure au (Co 7030) 94 Zr 6 a ensuite été formée avec une épaisseur constante (t) de 10 nm Sur le disque on a en outre
formé une couche 97 de recouvrement non magnétique con-
sistant en du Si O 2 avec une épaisseur constante (t) de nm Enfin, le support d'enregistrement magnétique a
été complété grâce à la formation d'une couche lubri-
fiante liquide 98 de perfluoroalkylpolyéther d'épaisseur
constante (t) 5 nm.
Les caractéristiques d'enregistrement/reproduction
du mode de réalisation ci-dessus du support d'enregis-
trement magnétique de la présente invention ont été éva-
luées en utilisant une tête magnétique à couche mince ayant un entrefer de 0,4 pm Comme représenté sur la
Figure 10, ledit mode de réalisation a montré des carac-
téristiques d'enregistrement/reproduction et un rapport S/N très souhaitables, en particulier si on les compare au cas o l'on avait une couche magnétique unique au Co Cr 14 Nil, (l'exemple comparatif avait une épaisseur t
égale à l'épaisseur totale t de la couche d'enregistre-
ment magnétique du mode de réalisation de la Figure 9).
Ledit support montre en outre une résistance à la corro-
sion intéressante similaire à celle du mode de réalisa-
tion mentionné ci-dessus de la Figure 9 lorsqu'on fait un essai de pulvérisation d'une solution de Na Cl 5 N, ainsi que dans l'essai de corrosion utilisant du gaz C 12
à 1 ppm.
Alors que la résistance à la corrosion du présent mode de réalisation diminue considérablement lorsque l'épaisseur t de la couche magnétique unique au Co Cr 14 Nilo est petite, la résistance à la corrosion s'améliore de façon marquée en formant du (Co 70 Ni 30) 94 Zr 6 sur la couche 96 d'enregistrement magnétique supérieure Le film interposé au Cr 95 doit avoir une épaisseur (t) plus petite que 10 nm du point de vue de l'enregistrement magnétique Le film interposé 95 était particulièrement efficace non seulement lorsqu'il consistait en un métal non magnétique mais aussi lorsqu'il consistait en un
oxyde ou un nitrure.
Dans encore un autre mode de réalisation de la pré-
sente invention représentée à la Figure 1, les couches magnétiques 14, 16 étaient formées dans une atmosphère
de gaz argon contenant du 02 t dans laquelle le pourcen-
tage d'oxygène dans les couches magnétiques 14, 16 était de 0,1 à 10 % atomiques de f açon à former un support
d'enregistrement magnétique Une couche 12 non magnéti-
que à 11,5 % en poids de P-Ni était plaquée avec une épaisseur constante de 20 pm sur un substrat Il en alliage d'aluminium de 1,8 mm d'épaisseur ayant un dia- mètre extérieur de 130 mm, la surface étant en outre polie De fines rayures dont la texture moyenne suivant
l'axe central Ra était de 9 nm ont été formées à la sur-
face du substrat 11 dans le sens de la circonférence pour former une couche 12 non magnétique plaquée
d'épaisseur 15 pm.
Une couche 13 au Cr a ensuite été formée avec une épaisseur constante de 250 nm dans les conditions de température de substrat de 200 'C, sous une pression
d'argon de 0,665 Pa ( 5 m Torr) et une puissance électri-
que DC de 5 W/cm 2 Sur ladite couche 13 au Cr on a ensuite formé une couche 14 d'enregistrement magnétique inférieure au Co Cr 10 Mo 5 d'épaisseur constante 30 nm On a ensuite formé là-dessus une couche 16 d'enregistrement magnétique supérieure soit en (Co 00 x Ni) 94 Zr 6 (x = 30, ), soit au (Co 60 Ni 40)93 Nb 7, soit au (Co 60 Ni 40) 92 Nb 53, qui contenait de l'oxygène à la concentration de 0,1 Y, 0,5 Y, 1, 0 %, 3,0 %, 5,0 %, et 10,0 % atomiques alors que l'épaisseur était de 10 nm, et dans des conditions
de pression d'argon de 0,266 Pa ( 2 m Torr) et une puis-
sance électrique DC de 2 W/cm 2.
Sur la structure complexe ci-dessus était en outre formée une couche 17 de recouvrement non magnétique constituée de carbone sous forme diamant d'épaisseur constante 25 nm Finalement, le support d'enregistrement magnétique de la présente invention était complété par l'addition d'une couche 18 lubrifiante liquide composée
de perfluoroalkylpolyéther d'épaisseur constante 5 nm.
Les caractéristiques d'enregistrement/reproduction
ont été évaluées en utilisant une tête magnétique à cou-
che mince ayant un entrefer de 0,4 pm Comme représenté
à la Figure 11, à la fois le bruit du support et la sor-
tie diminuent proportionnellement à l'augmentation du pourcentage d'oxygène Il en résulte que le rapport S/N augmente lorsque le pourcentage d'oxygène augmente. Lorsque le pourcentage d'oxygène excède 5 % atomiques, la sortie diminue considérablement et le rapport S/N diminue Cette relation est attribuée au fait que s'il y a une forte concentration d'oxygène dans la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, ladite couche
d'enregistrement magnétique supérieure 16 perd sa fonc-
tion de réduction du bruit du support à cause de l'aug-
mentation du flux magnétique de saturation.
Par conséquent, un pourcentage particulièrement
intéressant d'oxygène se situe dans la plage 0,1 t ato-
mique à 3 % atomiques Les supports d'enregistrement magnétique qui ont été laissés dans un environnement de 800 C, 80 % RH et classe 10000, ont montré une meilleure
résistance à la corrosion que les supports d'enregistre-
ment magnétique avec une couche d' enregistrement magné-
tique unique au Co Cr 10 Mo 5.
* La Figure 12 montre encore un autre mode de réali-
sation dans lequel la référence 121 indique un substrat en verre ou un substrat organique tel que du polyimide ou du PET avec de fines protubérances, 122 indique une couche formant sous-couche au Cr, 123 indique une couche
magnétique du type Co Cr, 124 indique un film non magné-
tique tel que Cr, 126 indique une couche d'enregistre-
ment magnétique résistante à la corrosion telle que Co Ni Zr ou Co Ni Nb, 127 indique une couche de recouvrement non magnétique comparable à celle décrite précédemment,
et 128 indique une couche de lubrification Les composi-
tions, épaisseurs de couches et procédé pour former ces couches sont sensiblement identiques à ceux décrits dans
les autres modes de réalisation de la présente inven-
tion. Même avec les changements du substrat comme décrit dans le mode de réalisation 12, il est possible d'avoir
un disque magnétique ayant des caractéristiques d'enre-
gistrement/reproduction comparablement améliorées en combinant les couches magnétiques 123, 126 de telle
sorte que la résistance à la corrosion soit améliorée.
Les précédents modes de réalisation de la présente
invention décrivaient le cas o la couche formant sous-
couche 13, 93, 122 était constituée de Cr Les supports d'enregistrement haute densité ayant des résistances à la corrosion importantes peuvent aussi être obtenus avec des couches 13, 93, 122 métalliques non magnétiques telles qu'un alliage de Cr, W, et Mo qui commandent l'orientation des couches magnétiques 14, 16, 94, 96,
123, 126.
La présente invention telle que décrite par les précédents modes de réalisation n'est absolument pas limitée aux disques magnétiques La présente invention peut être adaptée à toute application qui demande des
caractéristiques d'enregistrement/reproduction, compre-
nant mais ne se limitant pas aux disques durs pour les
ordinateurs, aux disques souples ou aux bandes magnéti-
ques Une telle application peut en outre comprendre tout dispositif d'enregistrement/reproduction (tel qu'une unité de disque ou similaire) qui remplit des fonctions d'enregistrement/reproduction en utilisant l'enregistrement magnétique En outre, l'application de la présente invention intéresse tout dispositif piloté par commande tel qu'un ordinateur ou similaire qui
dirige le fonctionnement d'un dispositif d'enregistre-
ment/reproduction rapport audit support d'enregistrement magnétique.
Plus généralement, le procédé pour former des cou-
ches n'est pas limité à la technique de pulvérisation cathodique mais peut être adapté à n'importe quelle technique de formation de couches comprenant le procédé par vaporisation, par pulvérisation de faisceau ionique ou toute méthode similaire pour déposer ces substances sur un substrat. Les épaisseurs (t) des couches d'enregistrement magnétique 14, 16, 94, 96, 123, 126 des précédents modes de réalisation ont été étudiées de façon extensive Dans
le cas de l'enregistrement de magnétisation à l'inter-
face, l'épaisseur de la couche d'enregistrement magnéti-
que supérieure 16, 96, 126 devrait être en pratique dans la gamme allant de 5 nm à 100 nm Quand l'épaisseur (t) est inférieure à 5 nm, il devient difficile d'obtenir
une épaisseur souhaitable et les avantages de la pré-
sente invention dans le support d'enregistrement magné-
tique Dans le cas d'enregistrement par magnétisation verticale, l'épaisseur (t) devrait en pratique se 'situer environ entre 200 nm et 300 nm L'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, 94, 123 devrait être supérieure à l'épaisseur de la couche
de magnétisation supérieure 16, 96, 126.
Les couches d'alliage de la présente invention ont été formées en faisant varier la pression d'argon de façon à commander le diamètre de particules des cristaux en colonnes comme décrit ci-dessus Au cours de ces essais de changements, on a appris que le diamètre de particules peut être facilement commandé quand la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, 96, 126 est formée sous une pression de gaz qui est inférieure à la pression de gaz sous laquelle la couche d'enregistrement
magnétique inférieure 14, 94, 123 a été formée Lors-
qu'on maintient de telles conditions de pression, le diamètre de particules des cristaux en colonnes dans la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, 96, 126 ne devient pas supérieur au diamètre des particules des cristaux de la couche d'enregistrement magnétique
inférieure 14, 94, 123.
En outre, les couches d'alliage de la présente invention ont été formées dans des conditions variables de puissance électrique au moment de la pulvérisation de façon à commander le diamètre de particules des cristaux en colonnes comme décrit ci-dessus Au cours de ces essais de variations, on a appris que le diamètre des particules peut être facilement commandé quand la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, 96, 126 est formée avec une puissance électrique supérieure à la
puissance électrique avec laquelle la couche d'enregis-
trement magnétique inférieure 14, 94, 123 a été formée.
Quand on réalise de telles conditions de puissance élec-
trique, le diamètre de particules des cristaux en colon-
nes dans la couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure 16, 96, 126 ne devient pas supérieur au diamètre de particules des cristaux de la couche d'enregistrement
magnétique inférieure 14, 94, 123.
Le diamètre de particules de la couche d'enregis-
trement magnétique supérieure 16, 96, 126 doit être
aussi petit que possible En pratique toutefois, le dia-
mètre dans ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, 96, 126 se situe dans la plage allant de 10 nm à 80 nm, de préférence entre environ 10 nm et environ 50 nm Si le diamètre devient inférieur à 10 nm,
à la fois les avantages ci-dessus mentionnés de la pré-
sente invention et la faisabilité sont perdus En outre, l'épaisseur (t) de la couche d'enregistrement magnétique inférieure 14, 94, 123 doit être supérieure à celle de la couche d'enregistrement magnétique supérieure 16, 96, 126. Les supports d'enregistrement magnétique des modes de réalisation précités de la présente invention et les disques magnétiques utilisés à titre de comparaison
étaient installés sur un dispositif magnétique d'enre-
gistrement/reproduction pour rechercher l'augmentation de l'erreur dans un environnement de gaz corrosif Une augmentation de l'erreur a été observée dans le cas des disques magnétiques de comparaison, mais pas dans le cas des supports d'enregistrement magnétique décrits dans
cette application.
Il est bien entendu que la description qui précède
n'a été donnée qu'à titre purement illustratif et non
limitatif et que des variantes ou des modifications peu-
vent y être apportées dans le cadre de la présente invention.
Claims (41)
1 Un support d'enregistrement magnétique constitué de: un substrat plaqué non magnétique 12; une couche formant sous-couche non magnétique 13 placée sur ledit substrat; et
une couche d'enregistrement magnétique ayant une struc-
ture de cristal à colonne en forme d'arc, dans lequel ladite couche d'enregistrement magnétique est placée sur
ladite couche formant sous-couche, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique étant en outre constituée par une pluralité de couches d'alliage pour enregistrement magnétique, ladite pluralité de couches d'alliage étant constituée de:
une couche ( 16) d'enregistrement magnétique supé-
rieure; et
au moins une couche ( 14) d'enregistrement magnéti-
que inférieure,
dans laquelle la taille moyenne de particules des cris-
taux en colonnes à la surface de la couche d'enregistre-
ment magnétique supérieure desdites couches d'enregis-
trement magnétique est plus petite que celle à la sur-
face des couches d'enregistrement magnétique autres que la couci-e d'enregistrement magnétique supérieure; et une couche protectrice ( 17) placée sur ladite couche
d'enregistrement magnétique.
2 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 1, dans lequel ladite couche d'enregistre-
ment magnétique inférieure ( 14) est en outre constituée
d'un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnéti-
que, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de 1 à 30 t atomiques de Cr; 1 à 20 atomiques d' au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
3 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 1, dans lequel ladite couche d'enregistre-
ment magnétique inférieure ( 14) consiste en outre en un alliage à base de Co pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co étant composé de: 1 à 45 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi P et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
4 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, comportant en outre au moins une couche
intermédiaire non magnétique, dans lequel chacune des-
dites couches intermédiaires non magnétiques est inter-
calée entre lesdites couches d'alliage.
Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 4, ladite couche d'enregistrement magnéti-
que comportant en outre un pourcentage d'oxygène infé-
rieur à 10 % atomiques, et ladite couche d'enregistre-
ment magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène supérieur au pourcentage d'oxygène contenu dans la couche d'enregistrement magnétique autre que
ladite couche supérieure.
6 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 5, dans lequel la couche intermédiaire non
magnétique est constituée de Cr.
7 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, dans lequel ladite couche supérieure
est constituée d'un alliage à base de Co Ni pour enregis-
trement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant constitué de: 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
8 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 7, ladite couche d'enregistrement magnéti-
que comportant en outre un pourcentage d'oxygène infé-
rieur à 10 % atomiques, et ladite couche d'enregistre- ment magnétique supérieure contenant un pourcentage
d'oxygène plus élevé que le pourcentage d'oxygène con-
tenu dans la couche d'enregistrement magnétique autre
que la couche supérieure.
9 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 7, comportant en outre au moins une couche
intermédiaire non magnétique, dans lequel chacune des-
dites couches non magnétiques intermédiaires est inter-
posée entre lesdites couches d'alliage.
10 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 9, dans lequel ladite couche intermédiaire
non magnétique est constituée de Cr.
11 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, dans lequel le substrat plaqué consiste en un substrat non magnétique sur lequel une couche de
Cr est formée.
12 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 11, dans lequel ladite couche formant sous-couche est constituée d'un alliage de Ni-W-P, d'un alliage comportant du Si, ou d'un alliage comportant du Ge. 13 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 11, dans lequel ledit substrat est plaqué et consiste en un substrat non magnétique sur lequel est
formée une couche de Cr.
14 Un support d'enregistrement magnétique cons-
titué de: un substrat;
une couche formant sous-couche placée sur ledit sub-
strat; et une couche d'enregistrement magnétique stratifiée sur
ladite couche formant sous-couche, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique étant en outre constituée par une pluralité de couches d'alliage pour enregistrement magnétique, ladite pluralité de couches d'alliage étant constituée de: une couche d'enregistrement magnétique supérieure; et au moins une couche d'enregistrement magnétique inférieure, dans laquelle la couche d'enregistrement magnétique supérieure desdites couches d'alliage est plus fine que la couche d'enregistrement magnétique autre que ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure; et une couche de protection stratifiée sur ladite couche
d'enregistrement magnétique.
Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 14, dans lequel ladite couche d'enregis-
trement magnétique inférieure est en outre constituée
d'un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnéti-
que, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de 1 à 30 t atomiques de Cr; 1 à 20 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
16 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 14, dans lequel ladite couche d'enregis-
trement magnétique inférieure consiste en outre en un alliage à base de Co pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co étant composé de: 1 à 45 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe 1 ormé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi P et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
17 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 14, dans lequel ladite couche supérieure
est constituée d'un alliage à base de Co Ni pour enregis-
trement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant constitué de: 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
18 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 17, dans lequel à l'exclusion de ladite
couche supérieure, ladite couche d'enregistrement magné-
tique consiste en outre en un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de: 1 à 30 % atomiques de Cr; 1 à 20 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
19 Un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 17, dans lequel ladite couche supérieure
est constituée par un alliage à base de Co Ni pour enre-
gistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant composé de: 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 t atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 14, ladite couche d'enregistrement magné-
tique comportant en outre un pourcentage d'oxygène infé-
rieur à 10 t atomiques, et ladite couche d'enregistre-
ment magnétique supérieure contenant un pourcentage
d'oxygène plus élevé que le pourcentage d'oxygène con-
tenu dans la couche d'enregistrement magnétique autre
que la couche supérieure.
21 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 14, comportant en outre au moins une cou-
che intermédiaire non magnétique, dans lequel chacune desdites couches non magnétiques intermédiaires est
interposée entre lesdites couches d'alliage.
22 Un support d'enregistrement magnétique selon la
revendication 21, dans lequel ladite couche intermé-
diaire non magnétique est constituée de Cr.
23 Un appareil d'enregistrement/reproduction de
données composé d'une unité de disque propre à enregis-
trer et reproduire des données sur un support d'enregis-
trement magnétique, ledit support comportant en outre un substrat plaqué non magnétique; une couche formant sous-couche non magnétique déposée sur ledit substrat;
une couche d'enregistrement magnétique ayant une struc-
ture de cristal en colonnes en forme d'arc, dans laquelle ladite couche d'enregistrement magnétique est déposée sur ladite couche formant souscouche, ladite couche d'enregistrement magnétique étant constituée en
outre d'une pluralité de couches d'alliage pour enre-
gistrement magnétique, ladite pluralité de couches d'alliage étant composée de: une couche d'enregistrement magnétique supérieure, et au moins une couche d'enregistrement magnétique inférieure,
dans laquelle la taille moyenne de particules des cris-
taux en colonnes dans la surface de la couche d'enregis-
trement magnétique supérieure desdites couches d'enre-
gistrement magnétique est plus petite que celle dans les surfaces de la couche d'enregistrement magnétique autre que la couche d'enregistrement magnétique supérieure; et une couche de protection déposée sur ladite couche d'enregistrement magnétique. 24 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 23, dans lequel ladite couche d'enregistrement magnétique inférieure est en
outre constituée d'un alliage à base de Co Cr pour enre-
gistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de: 1 à 30 % atomiques de Cr; 1 à 20 atomiques d' au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 23, dans lequel ladite couche d'enregistrement magnétique inférieure consiste en outre en un alliage à base de Co pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co étant composé de: 1 à 45 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi P et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
26 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 23, comportant en outre au moins une couche intermédiaire non magnétique, dans lequel chacune desdites couches intermédiaires non magnétiques est intercalée entre lesdites couches d'alliage. 27 L'appareil d'enregistrement/reproduction de
données selon la revendication 26, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique comportant en outre un pourcentage d'oxygène inférieur à 10 % atomiques, et ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène supérieur au pourcentage d'oxygène contenu dans la couche d'enregistrement magnétique autre
que ladite couche supérieure.
28 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 27, dans lequel la couche
intermédiaire non magnétique est constituée de Cr.
29 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 23, dans lequel ladite couche supérieure est constituée d'un alliage à base de Co Ni pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant constitué de 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
L'appareil d'enregistrement/reproduction de
données selon la revendication 29, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique comportant en outre un pourcentage d'oxygène inférieur à 10 % atomiques, et ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène plus élevé que le pourcentage
d'oxygène contenu dans la couche d'enregistrement magné-
tique autre que ladite couche supérieure.
31 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 30, comportant en outre au moins une couche intermédiaire non magnétique, dans
lequel chacune desdites couches non magnétiques intermé-
diaires est interposée entre lesdites couches d'alliage.
32 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 31, dans lequel la couche
intermédiaire non magnétique est constituée de Cr.
33 L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 29, dans lequel à l'exclusion de ladite couche supérieure, ladite couche d'enregistrement magnétique consiste en outre en un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de 1 à 30 % atomiques de Cr; 1 à 20 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
34 L'appareil d'enregistrement/reproduction de
données selon la revendication 33, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique comportant en outre un pourcentage d'oxygène inférieur à 10 %s atomiques, et ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène plus élevé que le pourcentage
d'oxygène contenu dans la couche d'enregistrement magné-
tique autre que ladite couche supérieure.
L'appareil d'enregistrement/reproduction de données selon la revendication 33, comportant en outre au moins une couche intermédiaire non magnétique, dans
lequel chacune desdites couches non magnétiques intermé-
diaires est interposée entre lesdites couches d'alliage.
36 L' appareil d' enregistrement/reproduction de
données selon la revendication 29, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique comportant en outre un pourcentage d'oxygène inférieur à 10 %s atomiques, et ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène plus élevé que le pourcentage
d'oxygène contenu dans la couche d'enregistrement magné-
tique autre que ladite couche supérieure.
37 Un dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande comportant: un ordinateur capable de commander ledit enregistrement et ladite reproduction; une unité de disque pour enregistrer et reproduire des données sur un support d'enregistrement magnétique, dans lequel ledit support d'enregistrement magnétique est constitué de: un substrat; une couche formant sous-couche placée sur ledit substrat; une couche d'enregistrement magnétique feuilletée
sur ladite couche formant sous-couche, ladite cou-
che d'enregistrement magnétique étant constituée en outre d'une pluralité de couches d'alliage pour
enregistrement magnétique, ladite pluralité de cou-
ches d'alliage étant composée de:
une couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure; et
au moins une couche d'enregistrement magnéti-
que inférieure, dans lequel la couche d'enregistrement magnétique supérieure desdites couches d'alliage est plus mince que la couche d'enregistrement magnétique autre que ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure; et une couche de protection déposée sur ladite couche
d'enregistrement magnétique.
38 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 37, dans
lequel ladite couche d'enregistrement magnétique infé-
rieure est en outre constituée d'un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de 1 à 30 % atomiques de Cr; 1 à 20 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
39 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 37, dans
lequel ladite couche d'enregistrement magnétique infé-
rieure consiste en outre en un alliage à base de Co pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co étant composé de: 1 à 45 % atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi P et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
40 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 37, dans lequel ladite couche supérieure est constituée d'un alliage à base de Co Ni pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant constitué de 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
41 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 40, dans
lequel ladite couche d'enregistrement magnétique infé-
rieure est en outre constituée d'un alliage à base de Co Cr pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Cr étant composé de 1 à 30 % atomiques de Cr; 1 à 20 t atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt, ledit groupe incluant aussi Ge et Si; et
le reste étant Co et d'éventuelles impuretés.
42 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 40, dans lequel ladite couche supérieure est constituée d'un alliage à base de Co Ni pour enregistrement magnétique, ledit alliage à base de Co Ni étant constitué de: 1 à 40 % atomiques de Ni; 1 à 20 atomiques d'au moins un élément choisi dans le groupe formé par Ti, V, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Ir et Pt; et le reste étant Co et d'éventuelles impuretés. 43 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 37, ladite couche d'enregistrement magnétique comportant en outre un pourcentage d'oxygène inférieur à 10 % atomiques, et ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure contenant un pourcentage d'oxygène plus élevé que le
pourcentage d'oxygène contenu dans la couche d'enregis-
trement magnétique autre que ladite couche supérieure.
44 Le dispositif d'enregistrement/reproduction
piloté par commande selon la revendication 37, compor-
tant en outre au moins une couche intermédiaire non magnétique, dans lequel chacune desdites couches non magnétiques intermédiaires est interposée entre lesdites
couches d'alliage.
45 Le dispositif d'enregistrement/reproduction piloté par commande selon la revendication 44, dans lequel ladite couche intermédiaire non magnétique est
constituée de Cr.
46 Un procédé pour produire un support d'enregis-
trement magnétique par stratification de couches de films minces sur un substrat en déposant successivement lesdites couches, le procédé comportant les étapes de: déposer une couche formant sous-couche sur un substrat plaqué; déposer une couche d'enregistrement magnétique sur
ladite couche formant sous-couche, ladite couche d'enre-
gistrement magnétique étant composée d'une pluralité de couches d'alliage; établir la taille moyenne de particules des cristaux en colonnes à la surface de la couche d'enregistrement magnétique supérieure de ladite couche d'enregistrement magnétique à une dimension plus petite que celle dans les surfaces de la couche d'enregistrement magnétique inférieure; fixer une couche non magnétique de recouvrement que ladite couche d'enregistrement magnétique; et
disperser un film magnétique lubrifiant dans ladite cou-
che de recouvrement non magnétique.
47 Le procédé de production d'un support d'enre-
gistremçnt magnétique selon la revendication 46, compor-
tant en outre les étapes de: stratifier lesdites couches progressivement déposées sur ledit substrat avec un processus de pulvérisation par
déposition ionique utilisant un environnement de pulvé-
risation gazeux; établir le niveau de puissance électrique fournie de façon à former ladite couche d'enregistrement magnétique avant la formation de ladite couche supérieure; positionner de façon appropriée une cible nécessaire pour former ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure; redéfinir ledit niveau de puissance électrique à une valeur significativement supérieure que celle utilisée pour former ladite couche d'enregistrement magnétique inférieure; fournir ladite puissance électrique à ladite cible; et
former ladite couche supérieure pour ledit niveau signi-
ficativement plus élevé de puissance électrique.
48 Le procédé de production d'un support d'enre-
gistrement magnétique selon la revendication 46, le procédé comportant en outre les étapes de:
établir la pression du gaz entourant la couche d'enre-
gistrement magnétique à l'exclusion de ladite couche
supérieure d'enregistrement magnétique avant la forma-
tion de ladite couche d'enregistrement supérieure; réétablir ladite pression dans une atmosphère gazeuse à une pression significativement plus faible que celle de
la pression gazeuse à laquelle ladite couche d'enregis-
trement magnétique autre que la couche supérieure a été formée; et
former ladite couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure dans une atmosphère gazeuse à ladite pression
significativement plus faible.
49 Le procédé de production d'un support d'enre-
gistrement magnétique selon la revendication 47, le procédé comportant en outre les étapes de: établir la pression du gaz entourant ladite couche
d'enregistrement magnétique inférieure avant la forma-
tion de ladite couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure; réétablir ladite pression d'atmosphère gazeuse à une pression significativement plus faible que celle dans
laquelle ladite couche d'enregistrement magnétique infé-
rieure a été formée; et
former ladite couche d'enregistrement magnétique supé-
rieure dans une atmosphère gazeuse à ladite pression
significativement plus faible.
Le procédé de production d'un support d'enre-
gistrement magnétique selon la revendication 46, le procédé comportant en outre l'étape de: stratifier une couche non magnétique intermédiaire sur chaque couche magnétique d'alliage de ladite couche d'enregistrement magnétique pour laquelle une couche d'alliage magnétique conséquente sera ajoutée à la structure dudit support d'enregistrement magnétique, assurant par là que les deux côtés de chacune desdites couches non magnétiques intermédiaires sont en contact
avec l'une des couches d'alliage magnétiques, et la cou-
che supérieure desdites couches d'enregistrement magné-
tique comporte un film métallique magnétique résistant à
la corrosion.
51 Le procédé de production d'un support d'enre-
gistrement magnétique selon la revendication 49, le procédé comportant en outre l'étape de: stratifier une couche non magnétique intermédiaire sur chaque couche magnétique d'alliage desdites couches d'enregistrement magnétique pour laquelle une couche d'alliage magnétique conséquente sera ajoutée à la structure dudit support d'enregistrement magnétique,
assurant par là que les deux côtés de chacune des cou-
ches non magnétiques intermédiaires sont en contact avec l'une des couches d'alliage magnétiques, et la couche supérieure desdites couches d'enregistrement magnétique comporte un film métallique magnétique résistant à la
corrosion.
52 Le procédé de production d'un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 46, procédé comportant en outre l'étape de: établir l'épaisseur de ladite couche d'enregistrement magnétique supérieure à une dimension significativement
plus petite que l'épaisseur de ladite couche d'enregis-
trement magnétique inférieure.
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