FR2615618A1 - Capteur de pression a compensation numerique - Google Patents

Capteur de pression a compensation numerique Download PDF

Info

Publication number
FR2615618A1
FR2615618A1 FR8707291A FR8707291A FR2615618A1 FR 2615618 A1 FR2615618 A1 FR 2615618A1 FR 8707291 A FR8707291 A FR 8707291A FR 8707291 A FR8707291 A FR 8707291A FR 2615618 A1 FR2615618 A1 FR 2615618A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
temperature
pressure sensor
gauges
measuring
information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8707291A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2615618B1 (fr
Inventor
Pierre-Olivier Lefort
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales Avionics SAS
Original Assignee
Crouzet SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Crouzet SA filed Critical Crouzet SA
Priority to FR8707291A priority Critical patent/FR2615618B1/fr
Priority to IT67467/88A priority patent/IT1219317B/it
Priority to DE3817336A priority patent/DE3817336A1/de
Priority to GB8812166A priority patent/GB2205953B/en
Publication of FR2615618A1 publication Critical patent/FR2615618A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2615618B1 publication Critical patent/FR2615618B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2268—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
    • G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
    • G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

CAPTEUR DE PRESSION DU TYPE A JAUGES DE CONTRAINTE PIEZORESISTIVES, ASSEMBLEES EN PONT DE MESURE SUR UN ELEMENT DEFORMABLE SENSIBLE A LA PRESSION. IL COMPREND DES MOYENS ANALOGIQUES POUR MESURER LA TEMPERATURE DES JAUGES ET DES MOYENS NUMERIQUES POUR LINEARISER ET CORRIGER LES INFORMATIONS ISSUES DES JAUGES AFIN DE LES COMPENSER EN TEMPERATURE. LES JAUGES DE CONTRAINTE SONT DEPOSEES SUR L'ELEMENT DEFORMABLE DE MANIERE SYMETRIQUE PAR RAPPORT A UNE LIGNE DE CONTRAINTE NULLE.

Description

1i - 2615618 La présente invention concerne les capteurs de pression et
plus particulièrement ceux du type comprenant des jauges de contrainte piézorésitives connectées en pont de mesure et déposées sur un élément déformable, sensible à la pression. La valeur des jauges de contrainte variant non seulement en fonction des déformations subies mais également en fonction de la température, il est nécessaire de corriger les signaux électriques issus du pont de mesure pour
obtenir des capteurs d'une grande précision.
Pour ce faire, il est connu de procéder à une calibration de la cellule de mesure afin d'identifier les paramètres d'un modèle prédéfini. On aura par exemple un modèle du type suivant:
2 2
Gc=Go+G1V+K2V +K3V(T-To)+K4 +K (T-To) (1) o G étant l'information de sortie corrigée, on a: c - G l'erreur de zéro à la température T o o - V l'information de sortie de la cellule sensible à la grandeur à mesurer, T la température de la cellule ou une fonction de cette température, K K des paramètres issus de la calibration de
chaque cellule.
De telles fonctions de correction sont faciles à appliquer avec les techniques de calcul numérique mais, cela nécessite l'utilisation d'au moins un microprocesseur ce qui renchérit beaucoup le prix de revient des capteurs de
pression de qualité.
La présente invention a pour objet d'éviter cet inconvénient en proposant la réalisation d'un capteur de pression, performant et compensé en température, tout en étant d'un coût réduit. Elle permet en effet d'obtenir une information de la pression à mesurer sous forme
2 2615618
numérique et corrigée en température, sans utiliser de microprocesseur ou microcontrôleur. Elle est particulièrement bien adaptée à une cellule de mesure fonctionnant suivant le principe du pont de jauges piézorésistives. Le capteur, selon l'invention, comprend en combinaison des moyens analogiques pour mesurer la température des jauges de contrainte et des moyens numériques pour linéariser et corriger, en fonction de la température, selon un modèle de correction prédefini, les informations issues des
jauges connectées en pont de mesure.
La température des jauges est considéré comme étant celle
de l'élément déformable sur lequel elles ont été déposées.
A cet effet, les moyens pour mesurer la température de l'élément déformable' sont des résistances, constituées par des encres conductrices, à fort coefficient de température et déposées sur l'élément déformable de manière symétrique
par rapport à une ligne de contrainte nulle de cet élément.
De cette manière, les effets piézorésistifs propres à ces encres sont limités. Ceci permet, quelle que soit la pression à laquelle est soumis le capteur, de mesurer la température de l'élement déformable avec une précision suffisante pour compenser les dérives totales, dans une
large gamme de température.
On dispose en effet de deux informations analogiques: - l'une Vs issue d'un pont de mesure, tel que par exemple un pont de Wheatstone, de la forme: Vs = k G E (2) o G est la grandeur physique à mesurer, E est la tension d'alimentation du pont,
k le facteur d'échelle de la cellule.
Vs dépend de la pression à mesurer et de la température.
- l'autre, issue des encres conductrices qui dépend
uniquement de la température.
On peut constater que dans l'équation de calibration (1) vue précédemment, il intervient un terme de la forme k3V (T-To) dépendant des deux voies de mesure. Cette information peut être obtenue en utilisant comme tension d'alimentation E du pont de mesure, la tension, générée à
partir d'un pont de températurequi est fonction de (T-To).
Ces trois informations sont alors numérisées par un moyen quelconque, conversion tension-fréquence + comptage par
exemple.
Il faut ensuite élaborer l'information numérique corrigée connaissant les coefficients du modèle d'erreur définis par l'équation (1). Ces coefficients sont calculés à partir des données de calibration obtenues sur les 3 informations issues de la chaine d'acquisition. Ceci permet de prendre en compte d'une part les dérives éventuelles de la partie analogique et conversion, d'autre part les non-linéarités pouvant intervenir en particulier pour les mesures des informations température et du
produit V.(T-TO).
Cette correction est réalisée par une série d'addition des différents termes du modèle. Pour cela, une mémoire est programmée à l'issue de la phase de calibration du capteur, contenant les informations suivantes: GO, erreur de zéro à la température TO - k2.V2 disposé en mémoire à des adresses correspondant
aux ni bits de poids fort de l'information V numérisée.
- k3.V(T-TO) aux adresses suivantes augmentées des n2 bits
de poids fort de l'information V.(T-TO) numérisée.
- et de même les informations k4.(T-TO) et K5.(T-TO)2
aux adresses appropriées.
Par un choix judicieux des adresses et du nombre de bits nécessaires pour chaque type d'information, on dispose donc en mémoire de tous les termes de correction de la grandeur kl.V qui elle, est obtenue directement en sortie
4 2615618
du convertisseur par réglage du gain de la chaine de conversion. Ces termes sont adressables directement à partir des informations numériques issues de la partie conversion. Il suffit d'effectuer de manière séquentielle l'addition de ces différents termes pour obtenir l'information corrigée. Notons que l'espace mémoire nécessaire pour parvenir à une correction correcte est d'autant plus faible que les coefficients ki le sont également. En effet, la résolution nécessaire pour l'adressage des différents termes est égale à _i/(ki.Imax), ei étant
l'erreur admissible pour le terme i et Imax la valeur max.
- de ce terme. les termes ki.Imax étant généralement en valeur relative inférieure à.05,la résolution nécessaire sera voisine de 20Ei. Pour Ei =. 01%, il sera donc nécessaire de disposer d'une résolution de.2%, soit 500 points. Pour quatre termes, le nombre d'adresses sera donc voisin
de 2000 avec 9 à 10 bits par adresses.
Les dessins annexés illustrent, à titre d'exemple, un mode de réalisation d'un capteur de pression selon la présente invention. - La figure 1 est une coupe du capteur, - La figure 2 est une vue en plan de l'élément déformable, - La figure 3 est un schéma du principe du traitement des informations. Tel que représenté figure 1, le capteur comprend de façon connue un élément déformable 3, par exemple une plaque circulaire en céramique. Sur cette plaque sont scellées deux coquilles 1, 2, disposées de part et d'autre de l'élément déformable 3 et déterminant ainsi deux chambres distinctes pouvant être alimentées séparément en pressions P et P
1 2
2615618
Sur la céramique sont déposées, par des moyens classiques, les jauges de contraintes piézorésitives R.l, R2, R3, et R4 en des zones de contraintes maximum. Par exemple, figure 2, deux jauges R1, R4 sont situées près du scellement de la céramique et les deux autres R2, R3 au centre de la céramique de telle sorte que les jauges R, R2, R et R4 soient disposées sensiblement
l 2' R3 R4.
sur un diamètre de l'élément circulaire déformable 3. Deux autres résistances RT1 et RT2 sont également déposées sur la céramique de part et d'autre et symétriquement au
diamètre.défini par les jauges de contraintes.
Les jauges R1, R2, R3 et R4 sont connectées selon un pont de Wheatstone 4, ainsi que les résistances RT1 et RT2 qui sont connectées avec de% résistances réglables r, selon un autre pont de Wheatstone 5. Les signaux électriques analogiques, issus des deux ponts de mesure 4 et 5 sont respectivement injectés dans des amplificateurs 6 et 7. A l'aide d'un commutateur 9 le pont de mesure 4 peut être alimenté soit par une tension de référence stabilisée E, soit par la tension VT issue du pont de mesure 5, ceci permet de prendre en compte la température de la céramique c'est à dire des jauges de contraintes. Un second commutateur 8 permet de sélectionner les informations V, VT ou V (T-To) vers un convertisseur analogique-digital 10, pour les transformer en informations numériques et les rendre utilisables pour le calcul numérique de la pression corrigée Go. Pour ce faire, les coefficients k2V, k3 V(T-To), k4(T-To) et k5(T-To) 2 sont mémorisés dans une mémoire 12. A noter que le terme klV peut être obtenu directement en
réglant en conséquence le gain de l'amplificateur 6.
6 2615618
Un séquenceur 11l assure la synchronisation nécessaire entre les divers éléments; commutateurs 8 et 9, registres de la mémoire 12 et un additionneur 13, pour le calcul de G représentant la pression mesurée et compensée en c
température.
Cette structure pourrait bien entendu être utilisée pour calculer Gc avec un modèle plus complexe qui intégrerait
en plus des termes en V3 3par exemple.
en plus des termes en V et <T-To) par exemple.
7 2615618

Claims (4)

REVENDICATIONS
1 - Capteur de pression à jauges de contraintes piézorésitives, connectées en pont de mesure et déposées sur un élément déformable, sensible à la pression caractérisé en ce que, pour compenser la dérive en température, il comprend en combinaison des moyens analogiques (5) pour mesurer la température des jauges de contrainte, et des moyens numériques- pour linéariser et corriger, en fonction de la température selon un modèle de correction prédéfini, les informations issues des jauges
de contrainte (4).
2 - Capteur de pression selon la revendication 1.
caractérisé en ce que les moyens pour mesurer la température des jauges de contrainte sont des résistances consituées par des encres conductrices, à fort coefficient de température et déposées sur l'élément déformable de manière symétrique par rapport à une ligne de contrainte
nulle de cet élément.
3 -Capteur de pression selon l'une quelconque des
revendications 1 et 2. caractérisé en ce que pour un
modèle de correction de la forme Gc=Go+G 1V+K2V2 +K3V(T-To)+K4(T-To)+K5(TTo) (1) le terme V(T - To) est obtenu en utilisant comme tension d'alimentation E du pont de mesure (4) la tension VT
générée à partir d'un pont (5) de mesure de température.
4 -Capteur de pression selon l'une quelconque des
revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les moyens
numériques de correction consistent en: un convertisseur analogique digital (10), une mémoire (12) contenant les coefficients de correction, un additionneur (13), un séquenceur (11) et deux commutateurs (8, 9) permettant de sélectionner les données analogiques issues de deux ponts
de mesure (4, 5).
FR8707291A 1987-05-22 1987-05-22 Capteur de pression a compensation numerique Expired - Lifetime FR2615618B1 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8707291A FR2615618B1 (fr) 1987-05-22 1987-05-22 Capteur de pression a compensation numerique
IT67467/88A IT1219317B (it) 1987-05-22 1988-05-20 Rilevatore di pressione a compensazione numerica
DE3817336A DE3817336A1 (de) 1987-05-22 1988-05-20 Druckmesswertaufnehmer mit digitaler kompensation
GB8812166A GB2205953B (en) 1987-05-22 1988-05-23 Pressure sensor with numerical compensation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8707291A FR2615618B1 (fr) 1987-05-22 1987-05-22 Capteur de pression a compensation numerique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2615618A1 true FR2615618A1 (fr) 1988-11-25
FR2615618B1 FR2615618B1 (fr) 1990-11-30

Family

ID=9351399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8707291A Expired - Lifetime FR2615618B1 (fr) 1987-05-22 1987-05-22 Capteur de pression a compensation numerique

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE3817336A1 (fr)
FR (1) FR2615618B1 (fr)
GB (1) GB2205953B (fr)
IT (1) IT1219317B (fr)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2671651A1 (fr) * 1991-01-12 1992-07-17 Westland Aerostructures Ltd Systeme de mesure de deux quantites variables.
EP0524856A1 (fr) * 1991-07-26 1993-01-27 Schlumberger Limited Procédé pour corriger de l'influence de la température les mesures d'une jauge de pression
DE10044078A1 (de) * 2000-09-07 2002-04-04 Grieshaber Vega Kg Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren
US6698294B2 (en) 2000-09-07 2004-03-02 Vega Grieshaber Kg Pressure cell with temperature sensors and pressure measuring method
WO2011055254A1 (fr) 2009-11-09 2011-05-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Détecteur d'écoulement avec compensation de température
WO2011055253A1 (fr) 2009-11-09 2011-05-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Procédé de détection d'écoulement avec compensation de température

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3912280A1 (de) * 1989-04-14 1990-10-18 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum herstellen eines sensors zum bestimmen von druckkraeften
US5588308A (en) * 1995-08-21 1996-12-31 Air Products And Chemicals, Inc. Recompression cycle for recovery of natural gas liquids
US6422088B1 (en) 1999-09-24 2002-07-23 Denso Corporation Sensor failure or abnormality detecting system incorporated in a physical or dynamic quantity detecting apparatus
DE10035346B4 (de) * 2000-07-20 2007-08-09 Vega Grieshaber Kg Druckmesszelle mit Temperatursensor
US6681637B2 (en) 2000-07-20 2004-01-27 Vega Grieshaber Kg Pressure-measuring cell with a temperature sensor

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3130578A (en) * 1961-08-18 1964-04-28 Fairchild Camera Instr Co Strain gauge bridge calibration
US4320664A (en) * 1980-02-25 1982-03-23 Texas Instruments Incorporated Thermally compensated silicon pressure sensor
WO1982003121A1 (fr) * 1981-03-05 1982-09-16 Bristol Ltd Babcock Compensation d'un circuit de pont pour des effets d'environnement
GB2113849A (en) * 1981-12-26 1983-08-10 Tokyo Shibaura Electric Co Two-wire differential pressure transmitter
FR2545605A1 (fr) * 1983-05-03 1984-11-09 Sedeme Dispositif de mesure a jauges de contrainte, notamment pour la mesure de pression
EP0169414A2 (fr) * 1984-07-27 1986-01-29 Keller AG für Druckmesstechnik Méthode pour la compensation en température et montage de mesure pour cette méthode
JPS61159127A (ja) * 1985-01-07 1986-07-18 Agency Of Ind Science & Technol 半導体圧力センサの非直線性補償装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4321832A (en) * 1980-03-07 1982-03-30 Rockwell International Corporation High accuracy measuring apparatus
CA1171178A (fr) * 1981-05-19 1984-07-17 Dennis K. Briefer Systeme thermometrique a compensation
DE3339349A1 (de) * 1983-10-29 1985-05-09 Meditec GmbH, 8501 Heroldsberg Kennliniengeber
JP2579143B2 (ja) * 1984-02-02 1997-02-05 ハネウエル・インコーポレーテッド プロセス変数センサのディジタル補正の方法およびそのためのプロセス変数発信器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3130578A (en) * 1961-08-18 1964-04-28 Fairchild Camera Instr Co Strain gauge bridge calibration
US4320664A (en) * 1980-02-25 1982-03-23 Texas Instruments Incorporated Thermally compensated silicon pressure sensor
WO1982003121A1 (fr) * 1981-03-05 1982-09-16 Bristol Ltd Babcock Compensation d'un circuit de pont pour des effets d'environnement
GB2113849A (en) * 1981-12-26 1983-08-10 Tokyo Shibaura Electric Co Two-wire differential pressure transmitter
FR2545605A1 (fr) * 1983-05-03 1984-11-09 Sedeme Dispositif de mesure a jauges de contrainte, notamment pour la mesure de pression
EP0169414A2 (fr) * 1984-07-27 1986-01-29 Keller AG für Druckmesstechnik Méthode pour la compensation en température et montage de mesure pour cette méthode
JPS61159127A (ja) * 1985-01-07 1986-07-18 Agency Of Ind Science & Technol 半導体圧力センサの非直線性補償装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 10, no. 364 (P-524) [2421], 5 décembre 1986; & JP-A-61 159 127 (AGENCY OF IND. SCIENCE & TECHNOL.) 18.07.1986 *

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2671651A1 (fr) * 1991-01-12 1992-07-17 Westland Aerostructures Ltd Systeme de mesure de deux quantites variables.
EP0524856A1 (fr) * 1991-07-26 1993-01-27 Schlumberger Limited Procédé pour corriger de l'influence de la température les mesures d'une jauge de pression
FR2679652A1 (fr) * 1991-07-26 1993-01-29 Schlumberger Services Petrol Procede pour corriger de l'influence de la temperature les mesures d'une jauge de pression.
US5394345A (en) * 1991-07-26 1995-02-28 Schlumberger Technology Corporation Method and apparatus for correcting a pressure measurement for the influence of temperature
DE10044078A1 (de) * 2000-09-07 2002-04-04 Grieshaber Vega Kg Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren
US6698294B2 (en) 2000-09-07 2004-03-02 Vega Grieshaber Kg Pressure cell with temperature sensors and pressure measuring method
WO2011055254A1 (fr) 2009-11-09 2011-05-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Détecteur d'écoulement avec compensation de température
WO2011055253A1 (fr) 2009-11-09 2011-05-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Procédé de détection d'écoulement avec compensation de température
CN102597719A (zh) * 2009-11-09 2012-07-18 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有温度补偿的流体感测装置
CN102686987A (zh) * 2009-11-09 2012-09-19 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有温度补偿的流感测方法
CN102597719B (zh) * 2009-11-09 2016-01-20 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有温度补偿的流体感测装置
CN102686987B (zh) * 2009-11-09 2016-01-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 具有温度补偿的流感测方法
US9983039B2 (en) 2009-11-09 2018-05-29 Koninklijke Philips N.V. Flow sensing device with temperature compensation

Also Published As

Publication number Publication date
GB8812166D0 (en) 1988-06-29
FR2615618B1 (fr) 1990-11-30
IT8867467A0 (it) 1988-05-20
DE3817336A1 (de) 1988-12-15
GB2205953B (en) 1991-03-13
IT1219317B (it) 1990-05-03
GB2205953A (en) 1988-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2615618A1 (fr) Capteur de pression a compensation numerique
EP0924491B1 (fr) Circuit électronique pour dispositif de mesure de dimension à électrodes magnétorésistives
FR2962214A1 (fr) Procede d&#39;etalonnage d&#39;un capteur de poids, capteur de poids pour la mise en œuvre de ce procede et appareil electronique de pesee
FR2679652A1 (fr) Procede pour corriger de l&#39;influence de la temperature les mesures d&#39;une jauge de pression.
WO2014013208A1 (fr) Dispositif et procede de pesage
EP0293310B1 (fr) Procédé d&#39;étallonage pour clé dynamométrique
EP0059295B1 (fr) Cellule de mesure d&#39;une force à effet radial
FR2623623A1 (fr) Procede pour etalonner des appareils de mesure de force ou de moment et appareils s&#39;y rapportant
FR2503375A1 (fr) Procede de compensation de temperature pour un circuit en pont a resistances
US3667041A (en) Automatic zero circuitry for indicating devices
WO1994027114A1 (fr) Dispositif de mesure de rectitude
EP0337953B1 (fr) Dispositif de pesage à jauges de contrainte
FR2799837A1 (fr) Procede et dispositif de mesure d&#39;efforts en presence d&#39;une pression exterieure
EP0200587B1 (fr) Procédé pour ajuster un capteur de force à jauges résistives et capteur de force ajuste ainsi obtenu
CA2831350C (fr) Procede de correction de la mesure d&#39;une tension aux bornes d&#39;un capteur
EP0244324B1 (fr) Capteur de force à jauges résistives
FR2535458A1 (fr) Capteur de pression et de temperature
FR2572808A1 (fr) Capteur compensable de valeurs de pression
JP2517409B2 (ja) 半導体圧力センサの厚みおよび半径決定方法
EP0517592A1 (fr) Procédé et dispositif d&#39;étalonnage de couplemètre et couplemètre compact adapté au dispositif
JPS6217694Y2 (fr)
JPH07109372B2 (ja) 測定系におけるドリフト補正装置
JP3082636B2 (ja) 歪み測定装置
SU1023195A1 (ru) Устройство дл измерени статических деформаций
EP0685944A1 (fr) Codeur pour mesurer les mouvements relatifs entre deux objets

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse