FR2548393A1

FR2548393A1 - INTEGRATED OPTICAL POLARIZER DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Info

Publication number: FR2548393A1
Application number: FR8310068A
Authority: FR
Inventors: Michel Papuchon; Sylvie Vatoux
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1983-06-17
Filing date: 1983-06-17
Publication date: 1985-01-04
Also published as: EP0129463B1; EP0129463A1; JPH0563763B2; JPS6012516A; FR2548393B1; DE3471174D1; US4778234A

Abstract

LE DISPOSITIF POLARISEUR COMPREND UN SUBSTRAT PLAN 1, PAR EXEMPLE DU NIOBATE DE LITHIUM, DANS LEQUEL UN GUIDE D'ONDE 2 INTEGRE A ETE CREE PAR DOPAGE A L'AIDE D'IONS DE TITANE. LE DISPOSITIF COMPREND, SELON L'INVENTION UNE OU PLUSIEURS REGIONS 5 DITES D'INTERACTION SUR L'ONDE REALISEES AU SEIN DU MATERIAU DU SUBSTRAT 1 ET PRESENTANT DES INDICES DE REFRACTION TELS QU'UNE ONDE D'UNE PREMIERE DIRECTION DE POLARISATION SE PROPAGE EN MODE GUIDE DANS LE GUIDE D'ONDE 2 ET UNE ONDE DE DIRECTION DE POLARISATION ORTHOGONALE SUBISSE UNE FORTE ATTENUATION. LES REGIONS D'INTERACTION SONT OBTENUES EN MODIFIANT DE FACON CONTROLEE PAR DOPAGE OU SUBSTITUTION D'IONS, LE MATERIAU DU SUBSTRAT.THE POLARIZING DEVICE INCLUDES A FLAT SUBSTRATE 1, FOR EXAMPLE LITHIUM NIOBATE, IN WHICH AN INTEGRATED WAVE GUIDE 2 HAS BEEN CREATED BY DOPING USING TITANIUM IONS. THE DEVICE INCLUDES, DEPENDING ON THE INVENTION ONE OR MORE REGIONS 5 SAID OF INTERACTION ON THE WAVE MADE WITHIN THE MATERIAL OF SUBSTRATE 1 AND PRESENTING REFRACTION INDICES SUCH AS A WAVE FROM A FIRST DIRECTION OF POLARIZATION SPREADS IN GUIDE MODE IN WAVE GUIDE 2 AND AN ORTHOGONAL POLARIZATION DIRECTION WAVE IS SUBJECT TO STRONG ATTENUATION. THE INTERACTION REGIONS ARE OBTAINED BY CHANGING IN A CONTROLLED WAY BY DOPING OR ION SUBSTITUTION, THE SUBSTRATE MATERIAL.

Description

__ 4) 254839.__ 4) 254839.

DISPOSITIF POLARISEUR OPTIQUE INTEGRE ET SON PROCEDE DE FABRICATION. INTEGRATED OPTICAL POLARIZER DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

La présente invention concerne un dispositif polariseur en optique intégrée, c'est-à-dire réalisé à base d'une structure comprenant un substrat The present invention relates to a polarizer device in integrated optics, that is to say made based on a structure comprising a substrate

plan dans lequel a été réalisé un guide d'onde. plane in which a waveguide was made.

L'invention concerne également le procédé de fabrication d'un tel dispositif. Pour de nombreuses applications, il est nécessaire de disposer d'éléments optiques polariseurs Dans les techniques récentes mettant en oeuvre des fibres optiques et/ou des guides d'onde en optique intégrée, il est en outre nécessaire que ces éléments s'adaptent au mieux à ces structures et à 10 leurs géométries et dimensions particulières pour que des couplages optiques The invention also relates to the method of manufacturing such a device. For many applications, it is necessary to have polarizing optical elements In recent techniques using optical fibers and / or waveguides in integrated optics, it is also necessary that these elements adapt to the best to these structures and their particular geometries and dimensions so that optical couplings

puissent être optimisés.can be optimized.

Les dispositifs destinés à polariser la lumière se répartissent suivant deux familles principales: les dispositifs à absorption sélective en fonction The devices for polarizing light are divided into two main families: the devices with selective absorption according to

de la polarisation et les dispositifs à séparation spatiale de polarisations. of polarization and spatial separation devices of polarizations.

Des dispositifs du premier type ont été notamment réalisés à base de fibres optiques A titre d'exemple parmi d'autres, un tel dispositif a été décrit dans l'article de HOSAKA et ai:"Single-mode Fiber-Type Polarizer" paru dans la publication "IEEE Transactions on microwave theory and Devices of the first type have in particular been made based on optical fibers. For example, among others, such a device has been described in the article by HOSAKA and has: "Single-mode Fiber-Type Polarizer" published in the publication "IEEE Transactions on microwave theory and

techniques", volume MTT 30, n 10, 1982. ", volume MTT 30, No. 10, 1982.

Les polariseurs de ce type comprennent une fibre optique en silice dénudée sur quelques centimètres, à laquelle on fait subir dans cette région dénudée un polissage de manière à ce que l'interface air-silice soit un Polarizers of this type comprise a silica optical fiber stripped for a few centimeters, which is subjected to polishing in this stripped region so that the air-silica interface is a

dioptre plan On réalise un dépôt métallique sur ce dioptre plan. dioptre plane A metal deposit is made on this dioptre plane.

On peut toujours diviser l'onde lumineuse guidée en une composante de 25 polarisation quasi transverse-magnétique, et une composante quasi tranverse-électrique. La première composante se couple à un plasmon de l'interface silicemétal, plasmon qui se propage en subissant une forte atténuation La première composante se trouve donc atténuée de la même façon La seconde 30 composante, de polarisation transverse-électrique, par contre, ne subit The guided light wave can always be divided into a quasi-transverse-magnetic polarization component, and a quasi-tranverse-electric component. The first component couples to a plasmon of the silicemetal interface, plasmon which propagates undergoing a strong attenuation. The first component is thus attenuated in the same way. The second component, of transverse-electric polarization, on the other hand, does not undergo

qu'une faible atténuation.only a slight attenuation.

Les taux d'atténuation obtenus sont typiquement de l'ordre de 30 db. The attenuation rates obtained are typically of the order of 30 db.

Ils dépendent naturellement de la qualité de l'usinage de la fibre optique et de la position exacte de l'interface par rapport à la région de coeur de cette fibre. Les pertes subies par la seconde composante sont faibles par contre, They naturally depend on the quality of the machining of the optical fiber and the exact position of the interface with respect to the core region of this fiber. The losses suffered by the second component are small, however,

typiquement de l'ordre de 1 db cm-.typically of the order of 1 db cm -1.

Les dispositifs de la seconde famille, c'est-à-dire les dispositifs à séparation spatiale de polarisations ont été réalisés soit à base d'une structure à fibre optique, soit à base d'une structure à guide d'onde optique 10 intégré sur un substrat Dans ces deux variantes un cristal biréfringent est disposé sur un dioptre plan voisin soit du coeur pour une fibre optique, soit The devices of the second family, that is to say the polarization separation devices have been made either based on an optical fiber structure or on the basis of an integrated optical waveguide structure. on a substrate In these two variants a birefringent crystal is disposed on a neighboring plane diopter either of the core for an optical fiber, or

du guide d'onde intégré.integrated waveguide.

Lorsqu'il s'agit d'une fibre optique, celle-ci est tout d'abord soumise à When it comes to an optical fiber, it is first subject to

un polissage, comme il a été décrit précédemment, pour créer le dioptre 15 plan. polishing, as previously described, to create the planar diopter.

Le cristal biréfringent est choisi de façon à ce qu'une première The birefringent crystal is chosen so that a first

composante de la lumière de polarisation déterminée, se propage dans ce milieu avec un indice de réfraction supérieur à Pindice effectif de sa propagation guidée et qu'une autre composante, de polarisation orthogonale, 20 se propage avec un indice inférieur. component of the determined polarization light propagates in this medium with a refractive index greater than the effective index of its guided propagation and another component of orthogonal polarization propagates with a lower index.

Dans ces conditions, la première composante n'est plus guidée dans la In these circumstances, the first component is no longer guided in the

zone d'interaction avec le cristal biréfringent et se réfracte dans celuici. zone of interaction with the birefringent crystal and refracts in it.

La seconde composante, par contre, reste guidée et traverse le région d'intéraction sans autres pertes énergétiques que les pertes courantes de 25 transmission dues au guide ou au coeur de la fibre Ces pertes sont en The second component, on the other hand, remains guided and traverses the interaction region without any other energy losses than the current transmission losses due to the guide or the core of the fiber.

général négligeables.general negligible.

Des taux d'atténuation de l'ordre de 60 db ou plus peuvent être obtenus. Des polariseurs de ce type sont décrits, à titre d'exemples parmi 30 d'autres, dans l'article de BERGH et al: "Single-mode fiber-optic polarizer" paru dans la revue "Optics Letters", vol 5, n 11, page 479, 1980, en ce qui concerne un polariseur à fibre optique, et dans l'article de UEHARA et al: "Optics Waveguiding polarizer" paru dans la revues "Optics Letters", vol 13, Attenuation rates of the order of 60 db or more can be obtained. Polarizers of this type are described, by way of example among others, in the article by BERGH et al: "Single-mode fiber-optic polarizer" published in the journal "Optics Letters", Vol. 11, page 479, 1980, for an optical fiber polarizer, and in the article by UEHARA et al: "Optics Waveguiding polarizer" published in "Optics Letters", Vol. 13,

page 1753, 1974, en ce qui concerne les dispositifs optiques intégrés. page 1753, 1974, with regard to integrated optical devices.

Les dispositifs de l'art connu qui viennent d'être décrits, bien qu'offrant de bonnes performances sont cependant de réalisation délicate. The devices of the known art which have just been described, although offering good performance are, however, of delicate realization.

En ce qui concerne les fibres optiques, l'usinage pour obtenir un dioptre plan doit être contrôlé avec une très grande précision lors du 5 polissage La position du plan du dioptre doit être déterminée avec une With regard to optical fibers, the machining to obtain a plane diopter must be controlled with a very high precision during polishing. The position of the plane of the diopter must be determined with a

précision de Pordre du micromètre. precision of the order of the micrometer.

Pour les dispositifs à fibre optique et les dispositifs en optique intégrée, il est difficile de disposer, pour toutes les applications, d'un cristal approprié. En effet, les conditions auxquelles doivent satisfaire les indices de réfraction ne correspondent pas toujours à des cristaux existants, du moins For fiber optic devices and devices in integrated optics, it is difficult to have, for all applications, a suitable crystal. In fact, the conditions to which the refractive indices must comply do not always correspond to existing crystals, at least

des cristaux d'usinage et d'utilisation aisés. crystal machining and easy use.

Enfin, en ce qui concerne les guides d'onde lumineuse réalisés sous forme de structure optique intégrée, ceux-ci sont en générai obtenus par des 15 procédés du type diffusion thermique d'un matériau, par exemple du titane, dans 'une région superficielle d'un substrat plan, par exemple du niobate de lithium. Ce processus peut occasionner une modification de l'état de surface de ce substrat et, corrélativement, il devient plus difficile d'obtenir un bon 20 couplage optique avec le matériau du cristal disposé sur la surface du substrat et interagissant avec la région de guidage de la lumière Il est alors le plus souvent nécessaire de recourrir à des liquides d'indice insérés entre le cristal biréfringent et la surface du substrat Il est également difficile de Finally, as regards the light waveguides made in the form of an integrated optical structure, these are generally obtained by thermal diffusion-type processes of a material, for example titanium, in a superficial region. a planar substrate, for example lithium niobate. This process may cause a change in the surface condition of this substrate and, correspondingly, it becomes more difficult to obtain good optical coupling with the crystal material disposed on the surface of the substrate and interacting with the guide region of the substrate. The light It is then most often necessary to resort to index liquids inserted between the birefringent crystal and the surface of the substrate. It is also difficult to

sélectionner des liquides possédant l'indice de réfraction approprié. select liquids with the appropriate refractive index.

Il y a également lieu de remarquer que le cristal biréfringent est un élément externe, c'est-à-dire rapporté et non intégré au substrat comme l'est le guide d'onde, ce qui peut être considéré comme un inconvénient supplémentaire. It should also be noted that the birefringent crystal is an external element, that is to say, reported and not integrated to the substrate as is the waveguide, which can be considered as an additional disadvantage.

L'invention est concernée par les dispositifs polariseurs de ce type, 30 c'est-à-dire des dispositifs réalisés sous forme d'une structure optique intégrée opérant par séparation de polarisations. The invention is concerned with polarizing devices of this type, that is to say devices made in the form of an integrated optical structure operating by polarization separation.

L'invention propose une structure palliant les inconvénients de l'art connu. The invention proposes a structure that overcomes the disadvantages of the known art.

2548393.2548393.

L'invention a donc pour objet un dispositif polariseur à structure optique intégrée du type opérant par séparation spatiale de polarisations, comprenant un substrat plan réalisé en matériau présentant un premier indice de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une première 5 direction et un second indice de réfraction pour une onde polarisée suivant une seconde direction orthogonale à la première, le substrat comportant une première région formant guide d'onde réalisée par un dopage de matériau du substrat modifiant lesdits indices de réfraction de manière à obtenir la propagation suivant un mode guidé d'une onde lumineuse injectée dans cette 10 région, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une deuxième région supplémentaire intéragissant sur l'onde guidée par la p remire région, présentant des indices de réfractions pour les ondes polarisées suivant lesdites première et seconde directions satisfaisant simultanément les deux relations suivantes: nie> nli et N 2 e< N 21, dans lesquelles nie et N 2 e sont 15 des indices de réfraction effectifs associés à des ondes guidées par la première région, polarisées respectivement suivant les première et seconde directions, et n 11 et N 2 i des indices de réfraction correspondants de chaque seconde région; de manière à autoriser la propagation en mode guidé, dans la première région, d'une onde polarisée suivant la première desdites 20 directions et à provoquer l'extinction d'une onde polarisée suivant la seconde The invention therefore relates to a polarizer device with an integrated optical structure operating by spatial separation of polarizations, comprising a planar substrate made of a material having a first refractive index for a polarized light wave in a first direction and a second index. method of refraction for a polarized wave in a second direction orthogonal to the first wave, the substrate having a first waveguide region formed by doping the substrate material to modify said refractive indexes so as to obtain the propagation according to a guided mode of a light wave injected into this region, characterized in that it further comprises at least a second additional region interacting on the wave guided by the said region, having refractive indices for the polarized waves according to said first and second directions simultaneously satisfying the two following relations: nie> nli and N 2 e <N 21, in which nie and N 2 e are effective refractive indices associated with waves guided by the first region, respectively polarized along the first and second directions, and n 11 and N 2 i corresponding refractive indices of each second region; so as to allow the guided mode propagation, in the first region, of a wave polarized along the first of said 20 directions and to cause the extinction of a polarized wave following the second

desdites directions.said directions.

L'invention a encore pour objet un procédé de fabrication d'un tel dispositif. The invention also relates to a method of manufacturing such a device.

L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avan25 tages apparaitront à la lecture de la description ci-après en référence aux The invention will be better understood and other characteristics and advantages will appear on reading the following description with reference to

figures annexées et parmi lesquelles: la figure I représente un dispositif polariseur à structure optique intégrée de l'art connu, les figures 2 et 3 représentent un dispositif conforme à rinvention 30 selon une première variante de réalisation, les figures 4 à 7 représentent des variantes supplémentaires de FIGS. 1 and 3 show a device according to the invention, FIGS. 2 and 3 show a device according to the invention. FIGS. 4 to 7 represent variants of FIG. additional

réalisation d'un dispositif selon Pinvention. embodiment of a device according to the invention.

Un exemple de dispositif polariseur du type comportant une structure formant guide optique intégré dans un substrat va tout d'abord être décrit en An example of a polarizer device of the type comprising an integrated optical guide structure in a substrate will firstly be described in FIG.

relation avec la figure 1.relationship with Figure 1.

Ce dispositif est analogue à celui décrit dans l'article précité de This device is similar to that described in the aforementioned article

UEHARA paru dans la revue "Applied Optics". UEHARA published in the magazine "Applied Optics".

Il comprend tout d'abord un substrat plan 1 Dans l'exemple décrit dans l'article précité, il s'agit d'un substrat en verre mais il peut s'agir également d'un cristal tel que le niobate de lithium. En surface de ce substrat, une structure guidante 2 est créée, par It comprises first a planar substrate 1 In the example described in the aforementioned article, it is a glass substrate but it may also be a crystal such as lithium niobate. On the surface of this substrate, a guiding structure 2 is created, by

exemple par un procédé de diffusion thermique d'atomes métalliques, de façon à former une bande de quelques micromètres d'épaisseur et de largeur, s'étendant, dans l'exemple illustré, suivant une direction parallèle à un axe, 10 par convention l'axe Z, d'un trièdre orthonormé XYZ. for example by a method of thermal diffusion of metal atoms, so as to form a band of a few micrometers in thickness and width, extending, in the illustrated example, in a direction parallel to an axis, 10 by convention Z axis, of an orthonormal trihedron XYZ.

Pour que cette région forme un guide d'onde, il est nécessaire que cette région possède un indice de réfraction plus élevé que celui du substrat, naturellement pour la longueur d'onde de la lumière a guider, soit supérieur For this region to form a waveguide, it is necessary that this region has a refractive index higher than that of the substrate, naturally for the wavelength of the light to be guided, that is greater than

à 1,5 environ s'il s'agit de verre. about 1.5 if it is glass.

Pour que le dispositif fonctionne en élément polarisant, une lame 3 de cristal biréfringent est disposée au dessus du guide d'onde 2 Les axes optiques ordinaire et extraordinaire du cristal peuvvent être parallèles, comme dans l'exemple illustré, respectivement aux axes Y et X Avec un substrat en verre, la lame de cristal biréfringent peut être constituée à base 20 de calcite, d'indice ordinaire 1,485 et extraordinaire 1,658, pour une For the device to function as a polarizing element, a birefringent crystal plate 3 is disposed above the waveguide 2. The ordinary and extraordinary optical axes of the crystal can be parallel, as in the example illustrated, respectively to the Y and X axes. With a glass substrate, the birefringent crystal plate can be made of calcite, of ordinary index 1.485 and extraordinary 1.658, for a

longueur d'onde de l'ordre de 600 nm. wavelength of the order of 600 nm.

Dans ces conditions une composante donde lumineuse polarisée suivant une direction parallèle à l'axe X reste guidée et se propage suivant une direction parallèle à l'axe Z alors qu'une composante d'onde lumineuse 25 polarisée suivant une direction parallèle à l'axe Y n'est plus guidée et se Under these conditions, a light wave component polarized in a direction parallel to the X axis remains guided and propagates in a direction parallel to the Z axis while a light wave component 25 polarized in a direction parallel to the axis Y is no longer guided and

disperse par diffraction au sein du cristal biréfringent. scatters by diffraction within the birefringent crystal.

Dans la réalité, le processus de diffusion introduit des perturbations In reality, the diffusion process introduces disturbances

dans l'état de surface qui se traduisent par une dégradation de la planéité. in the surface state that result in a degradation of the flatness.

Pour obtenir un bon couplage optique entre la plaquette 3 de cristal 30 biréfringent et la surface du substrat et du guide 2 affleurant à cette surface, il est nécessaire soit d'exécuter un polissage de tolérance typiquement inférieur à X /50, X étant la longueur d'onde; soit d'interposer un liquide d'indice 4, comme illustré sur la figure 1, dont l'ndice est adapté à To obtain a good optical coupling between the birefringent crystal wafer 3 and the surface of the substrate and the guide 2 flush with this surface, it is necessary either to carry out a tolerance polishing typically less than X / 50, X being the length wave; either to interpose a liquid of index 4, as illustrated in FIG. 1, whose ndice is adapted to

celui du cristal.that of the crystal.

La qualité du couplage optique est critique et conditionne les performances obtenues par ces types de polariseurs. The quality of the optical coupling is critical and determines the performance obtained by these types of polarizers.

L'alignement des axes optiques du cristal biréfringent suivant des The alignment of the optical axes of the birefringent crystal according to

directions préétablies doit également être réalisé avec précision. pre-established directions must also be made accurately.

Enfin, il y a nécessité de rapporter un élément extérieur à la structure Finally, there is a need to report an element external to the structure

intégrée de base "substrat-guide d'onde". basic integrated "waveguide substrate".

Pour pallier les inconvénients de l'art connu et notamment ceux To overcome the disadvantages of the known art and in particular those

présentés par le dispositif qui vient d'être rappelé et décrit brièvement, l'invention propose une structure de polariseur entièrement intégrée dans le 10 substrat. Presented by the device which has just been recalled and briefly described, the invention provides a polarizer structure fully integrated into the substrate.

Selon la caractéristique principale de l'invention, on prévoit au sein du matériau formant le substrat au moins une région dopée de façon appropriée, de la manière qui sera décrite ultérieurement, pour former une région d'interaction. According to the main feature of the invention, there is provided within the material forming the substrate at least one appropriately doped region, as will be described later, to form an interaction region.

Cette région intéragit avec l'onde guidée. This region interacts with the guided wave.

Celle-ci, comme il a été rappelé, peut être divisée en deux composantes de directions de polarisations orthogonales entre-elles Dans ce qui suit, This, as it has been recalled, can be divided into two components of directions of orthogonal polarizations with each other In what follows,

ces deux composantes seront appelées Pl et P 2. these two components will be called Pl and P 2.

Selon un autre aspect de l'invention, le dopant est choisi de manière à 20 ce que si nie représente l'indice de réfraction effectif de l'onde guidée pour la composante P 1; nll, Pindice de réfraction présenté par la région d'interaction pour cet état de polarisation; N 2 e, l'indice de réfraction effectif de ronde guidée pour la composante P 2 et N 2 i, l'indice de réfraction présenté par la région d'intéraction pour cet état de polarisation, 25 les deux inégalités suivantes doivent être vérifiées simultanément: nle> nl ( 1) n 2 e < N 2 I ( 2) According to another aspect of the invention, the dopant is chosen so that if nie represents the effective refractive index of the guided wave for the component P 1; n, the refractive index exhibited by the interaction region for this state of polarization; N 2 e, the effective guided round refractive index for the component P 2 and N 2 i, the refractive index exhibited by the interaction region for this state of polarization, the two following inequalities must be verified simultaneously : nle> nl (1) n 2 e <N 2 I (2)

Dans ces conditions la composante P 2 va cesser d'être guidée. Under these conditions, the P 2 component will cease to be guided.

Le taux effectif d'atténuation de cette composante dépend de nom30 breux paramètres et en particulier de la géométrie de la région cd'intéraction, de la distance sur laquelle le couplage optique entre le guide d'onde et la région d'intéraction a une valeur significative, des valeurs respectives des The effective attenuation rate of this component depends on many parameters and in particular on the geometry of the interaction region, the distance over which the optical coupling between the waveguide and the interaction region has a value. significant, respective values of

indices figurant dans les inégalités ( 1) et ( 2). indices appearing in the inequalities (1) and (2).

2548393;2548393;

On peut notamment montrer, en se basant sur les lois qui régissent l'optique, que les performances obtenues, c'est-à-dire la valeur du taux d'atténuation de la composante P 2, seront d'autant meilleures que, dans l'inégalité ( 2), N 21 est plus proche de N 2 e tout en lui restant supérieur On peut donc réécrire cette inégalité pour exprimer ce fait sous la forme: n 2 e N 21 ( 2 bis) Les figures 2 et 3 illustrent une structure de polariseur conforme à l'invention suivant une première variante, la figure 2 étant une vue de haut In particular, it can be shown, based on the laws governing optics, that the performances obtained, that is to say the value of the attenuation rate of the P 2 component, will be even better than in the inequality (2), N 21 is closer to N 2 e while remaining higher to it We can thus rewrite this inequality to express this fact in the form: n 2 e N 21 (2a) Figures 2 and 3 illustrate a polarizer structure according to the invention according to a first variant, FIG. 2 being a view from above

et la figure 3 une vue en coupe.and Figure 3 a sectional view.

On retrouve des éléments communs à la structure de l'art connu de la figure 1, à savoir un substrat plan 1 et une région 2 formant guide d'onde lumineux s'étendant suivant un axe A parallèle par convention à l'un des Elements that are common to the structure of the known art of FIG. 1, namely a plane substrate 1 and a region 2 forming a light waveguide extending along an axis A parallel by convention to one of the

axes, Z, d'un trièdre orthonormé XYZ. axes, Z, of an orthonormal trihedron XYZ.

Par contre, il a été réalisé au sein du substrat une région d'interaction 15 5,région ayant, dans la variante représentée aux figures 1 et 2, la configuration générale d'un parallélépipède rectangle disposé symétriquement par On the other hand, an interaction region 15 has been produced within the substrate 15, the region having, in the variant shown in FIGS. 1 and 2, the general configuration of a rectangular parallelepiped arranged symmetrically by

rapport à l'axe A et par la région 2 formant guide d'onde. relative to the axis A and the region 2 forming a waveguide.

L'intéraction entre l'onde guidée et cette région 2 est effective essentiellement sur une distance, Il, représentant dans l'exemple illustré la 20 longueur du parallélépipède suivant l'axe A. La configuration de la région 5 d'interaction représentée aux figures 2 The interaction between the guided wave and this region 2 is essentially effective over a distance, Il, representing in the illustrated example the length of the parallelepiped along the axis A. The configuration of the interaction region 5 shown in FIGS. 2

et 3 n'est pas la seule convenant dans le cadre de l'invention. and 3 is not the only one suitable in the context of the invention.

La figure 4 représente une autre configuration possible de région d'interaction. La région d'interaction est formé selon cette variante de deux régions distinctes 50 et 51 disposées de part et d'autre de l'axe A, de façon Figure 4 shows another possible configuration of interaction region. The interaction region is formed according to this variant of two distinct regions 50 and 51 disposed on either side of the axis A, so that

symétrique dans l'exemple illustré. symmetrical in the illustrated example.

La réalisation d'une telle configuration sera décrite ultérieurement de The realization of such a configuration will be described later in

façon plus détaillée de façon à illustrer plus complètement le procédé de 30 fabrication de dispositifs selon l'invention. in more detail so as to more fully illustrate the method of manufacturing devices according to the invention.

Cette configuration laisse la possibilité de réaliser les régions crd'intéraction pendant une étape ultérieure à la réalisation de la structure guidée. This configuration allows the possibility of realizing the interaction regions during a subsequent step in the realization of the guided structure.

Les deux régions d'interaction 50 et 51, comme représenté sur la figure 4 ne sont pas obligatoirement contigies à la région 2 formant guide The two interaction regions 50 and 51, as shown in FIG. 4, are not necessarily contiguous to the region 2 forming a guide

254865953;254865953;

d'onde, mais doivent être suffisamment proches pour que lintéraction soit significative En effet, comme il est connu, dans la région du substrat 1 séparant le guide d'onde 2 et les régions d'intéraction 50 et 51, seule une onde évanescente peut se propager, onde dont l'amplitude décroit exponen5 tiellement Le taux d'atténuation de la composante P 2 dépend, donc However, as is known, in the region of the substrate 1 separating the waveguide 2 and the interaction regions 50 and 51, only an evanescent wave can propagate, the amplitude of whose amplitude decreases exponentially The attenuation rate of the component P 2 depends, therefore

fortement de la distance séparant les régions 50 et 51 du guide central 2. strongly from the distance separating the regions 50 and 51 from the central guide 2.

Bien que les configurations qui viennent d'être décrites en relation avec les figures 2 à 4, présentent une symétrie par rapport à l'axe A, cette Although the configurations which have just been described in relation with FIGS. 2 to 4, have a symmetry with respect to the axis A, this

condition n'est nullement impérative. condition is by no means imperative.

La figure 5 illustre un exemple de configuration asymétrique. Figure 5 illustrates an example of asymmetric configuration.

Une seule région d'interaction 5 est prévue et disposée latéralement au A single interaction region 5 is provided and disposed laterally at

guide crd'onde 2.guidebook 2.

La région d'intéraction ne doit pas non plus obligatoirement affleurer à The region of interaction does not necessarily have to be flush with

la surface du substrat Bien que plus difficile à réaliser d'un point de vue 15 technologique, la région crd'intéraction peut être du type enterré. SUBSTRATE SURFACE Although more difficult to achieve from a technological point of view, the interfacial region may be of the buried type.

La figure 6 illustre une telle disposition La région d'interaction 5, contig Ue au guide d'onde 2, est disposée au dessous de la région formant FIG. 6 illustrates such an arrangement. The interaction region 5, contiguous with the waveguide 2, is disposed below the region forming

guide d'onde 2.waveguide 2.

Enfin la zone d'intéraction peut comporter plusieurs régions réparties, 20 régulièrement ou non, le long du guide d'onde 2 (parallèlement à laxe Z) pour former une structure distribuée, voir périodique. Finally, the interaction zone may comprise several distributed regions, regularly or not, along the waveguide 2 (parallel to the Z axis) to form a distributed structure, see periodic.

La figure 7 illustre une telle configuration Il est prévu, dans cet exemple, sept régions, 500 à 506, disposées asymétriquement par rapport au guide d'onde 2, suivant laxe Z. Comme il a été rappelé, les structures qui viennent cd'être décrites ne constituent pas des exemples limitatifs Toutes variations à la portée de l P Homme de Métier, en particulier des combinaisons entre les configurations FIG. 7 illustrates such a configuration. In this example, seven regions, 500 to 506, arranged asymmetrically with respect to the waveguide 2, according to the Z axis, are provided. As has been pointed out, the structures that come to be The following are not limiting examples. All variations within the scope of the skilled person, in particular combinations between configurations.

décrites, restent dans le cadre de l'invention. described, remain within the scope of the invention.

Le procédé de fabrication de telles structures de dispositif polariseur 30 va maintenant être décrit de façon détaillée sur la base de rexemple de structure particulière représentée à la figure 4. The method of manufacturing such polarizer device structures 30 will now be described in detail on the basis of the particular structure example shown in FIG. 4.

Le procédé comprend les étapes communes à l Part connu de réalisation The method comprises the steps common to the known part of the invention.

du substrat et de la structure guidée au sein de ce substrat. of the substrate and the guided structure within this substrate.

48 9348 93

Le substrat peut être réalisé, à titre d'exemple, à base d'une plaquette de cristal de niobate de lithium, taillé de manière à ce que l'axe optique du cristal soit orthogonal aux faces principales du substrat 1, c'est-à-dire The substrate may be made, for example, based on a lithium niobate crystal wafer, cut so that the optical axis of the crystal is orthogonal to the main faces of the substrate 1, that is to say, to say

orthogonal au plan XZ selon les conventions adoptées. orthogonal to the XZ plane according to the adopted conventions.

Pendant la seconde étape, une bande de quelques micromètres carrés During the second stage, a band of a few square micrometers

de section est créée au sein du cristal du substrat 1 et affleure en surface. of section is created within the crystal of the substrate 1 and is flush with the surface.

Pour ce faire, par exemple par une méthode de diffusion thermique, un matériau élevant l'indice de réfraction du matériau du substrat est introduit dans celui-ci Pour le niobate de lithium, on peut choisir le titane La 10 diffusion s'effectue à une température typique de 1050 C La largeur de la bande de Titane avant diffusion est de l'ordre de 2 micromètres et son o épaisseur de l'ordre de 500 A Cette structure est guidante quelque soit l'état de polarisation d'une For this purpose, for example by a thermal diffusion method, a material raising the refractive index of the substrate material is introduced into it. For lithium niobate, the titanium can be chosen. typical temperature of 1050 C The width of the titanium strip before diffusion is of the order of 2 micrometers and its thickness o of the order of 500 A This structure is guide whatever the state of polarization of a

onde lumineuse injectée par la tranche de la bande ainsi créée. light wave injected by the edge of the band thus created.

La lumière se propage donc suivant laxe A sans atténuation importante et ressort par la tranche opposée. The light thus propagates along the axis A without significant attenuation and emerges by the opposite slice.

La longueur du guide d'onde 2 et donc de la plaquette-substrat 1 est The length of the waveguide 2 and thus of the wafer-substrate 1 is

typiquement de l'ordre de quelques centimètres. typically of the order of a few centimeters.

On dispose ensuite à la surface du substrat, pendant une première 20 étape spécifique à l'invention, un masque ne laissant à découvert que des zones de surfaces totales égale à quelque mm 2 Ce masque peut être Then, on the surface of the substrate, during a first step specific to the invention, a mask is exposed leaving only areas of total surface area equal to some 2 mm 2.

constitué d'une mince pellicule d'or. made of a thin film of gold.

Ces zones découvertes sont destinées à délimiter des régions qui deviendront les régions d'interactions Si l'on se reporte à nouveau à la 25 figure 4, les zones découvertes se présentent sous la forme de deux fenêtres These discovered areas are intended to delimit regions that will become the interaction regions. Referring again to FIG. 4, the discovered zones are in the form of two windows.

disposées de part et d'autre de la bande formant guide d'onde 2. disposed on either side of the waveguide strip 2.

Pendant une seconde étape spécifique à l'invention, on dope le During a second step specific to the invention, the

matériau du substrat dans les zones découvertes par le masque de manière à créer les régions d'interaction par la modification des indices de réfraction 30 ordinaire et extraordinaire de ces régions. substrate material in the areas discovered by the mask so as to create the interaction regions by modifying the ordinary and extraordinary refractive indices of these regions.

Pour ce faire, on peut échanger des ions du matériau constituant le substrat, les ions lithium dans l'exemple décrit, par des ions hydrogène de manière à modifier les indices de réfraction ordinaire et extraordinaire des To do this, ions of the material constituting the substrate, the lithium ions can be exchanged in the example described by hydrogen ions so as to modify the ordinary and extraordinary refractive indices of the

régions découvertes.discovered regions.

2548393,2548393,

Ces régions sont espacées du guide d'onde 2 de quelques micromètres, et ont pour dimensions typiques: longueur (suivant l'axe Z) égale à 8 mm et largeur (suivant l'axe X) égale à 200 micromètres L'épaisseur est du même These regions are spaced apart from the waveguide 2 by a few micrometers, and have the following typical dimensions: length (along the Z axis) equal to 8 mm and width (along the X axis) equal to 200 micrometers The thickness is from even

ordre de grandeur que celle du guide d'onde 2. order of magnitude than that of the waveguide 2.

Une méthode pouvant être mise en oeuvre consiste en l'immersion du substrat dans un bain d'acide, par exemple de l'acide benzoique fondu Le cristal perd alors des ions de lithium auxquels se substituent des ions One method that can be implemented is the immersion of the substrate in an acid bath, for example molten benzoic acid. The crystal then loses lithium ions to which ions are substituted.

d'hydrogène par un processus d'échange ionique. of hydrogen through an ion exchange process.

Outre l'or, la plupart des métaux résistent à cet acide et peuvent 10 servir de masque. In addition to gold, most metals are resistant to this acid and can serve as a mask.

D'autres acides sont utilisables et, selon leurs forces et le temps de Other acids are usable and, depending on their strength and time of

réaction, on peut ajuster le dopage des régions découvertes par le masque. reaction, one can adjust the doping regions discovered by the mask.

En effet, la substitution d'ions, au moins dans les couches superficielles du Indeed, ion substitution, at least in the superficial layers of the

cristal formant le substrat, peut être totale ou au contraire partielle. crystal forming the substrate, can be total or partial.

Par ce biais, les indices de réfraction peuvent être ajustés et ceci In this way, the refractive indices can be adjusted and this

constitue un avantage supplémentaire offert par l'invention. constitutes an additional advantage offered by the invention.

Si on se reporte aux inégalités ( 2) et ( 2 bis), on peut alors obtenir un If we refer to the inequalities (2) and (2a), we can then obtain a

indice N 2 I proche de Pindice N 2 e. index N 2 I close to Pindice N 2 e.

Dans le cas d'un dispositif de Part connu tel que celui décrit en 20 relation avec la figure 1, le choix du cristal détermine une fois pour toute In the case of a known part device such as that described with reference to FIG. 1, the choice of the crystal determines once and for all

cet indice, pour une orientation du cristal biréfringent déterminée Il n'est possible de faire varier cet indice qu'en orientant différemment la plaquette de cristal et donc ses axes optiques ordinaires et extraordinaires par rapport à la direction de propagation de Ponde guidée (axe Z), ce qui implique des 25 réglages mécaniques délicats à mettre en oeuvre. this index, for an orientation of the birefringent crystal determined It is possible to vary this index by orienting differently the crystal wafer and therefore its ordinary and extraordinary optical axes with respect to the direction of propagation of the guided wave (Z axis ), which involves delicate mechanical adjustments to implement.

Une dernière étape consiste à détruire le masque, si nécessaire, One last step is to destroy the mask, if necessary,

masque qui peut être éliminé de façon usuelle par des moyens chimiques. mask that can be removed in the usual way by chemical means.

L'ordre des étapes peut naturellement être changé si l'on désire The order of the steps can naturally be changed if one wishes

réaliser une structure du type de celle illustrée par les figures 2 et 3 Il faut 30 réaliser dans ce cas la région d'interaction 5 avant le guide d'onde d'onde 2. make a structure of the type illustrated in FIGS. 2 and 3 In this case, it is necessary to produce the interaction region 5 before the wave waveguide 2.

A la place d'ions hydrogène, d'autres ions peuvent être utilisés pour modifier les indices de réfractions du substrat, par exemple des ions vanadium, toujours dans l'exemple illustré pour lequel le substrat est en Instead of hydrogen ions, other ions can be used to modify the refractive indices of the substrate, for example vanadium ions, again in the illustrated example for which the substrate is in

niobate de lithium.lithium niobate.

D'autres méthodes telles que la diffusion thermique, ou l'implantation Other methods such as thermal diffusion, or implantation

ionique peuvent être retenues pour doper le ou les régions d'interaction. Ionic may be retained to boost the interaction region (s).

Dans le cas des ions vanadium, on utilise de préférence la diffusion thermique. A titre d'exemple, pour fixer les idées, un prototype a été réalisé avec In the case of vanadium ions, thermal diffusion is preferably used. As an example, to fix the ideas, a prototype was realized with

un substrat en niobate de lithium, Li Nb 03; un guide intégré obtenu par dopage avec du titane, Li Nb 03: Ti; et des régions d'intéraction dans lequel une substitution partielle d'ions lithium par des ions hydrogène a été effectuée Dans le cas général, le matériau résultant a une composition de 10 formule Lil x Hx Nb O 3, avec x < 1. a substrate of lithium niobate, Li Nb 03; an integrated guide obtained by doping with titanium, Li Nb 03: Ti; and interaction regions in which a partial substitution of lithium ions with hydrogen ions has been carried out. In the general case, the resultant material has a composition of the formula L1xHxNbO3, with x <1.

La répartition des indices de réfraction obtenus est conforme au The distribution of the refractive indices obtained is in accordance with the

tableau I disposé en fin de description. Table I arranged at the end of the description.

Avec cette répartition d'indices, une atténuation d'une composante With this distribution of indices, an attenuation of a component

d'onde lumineuse de direction de polarisation parallèle à l'axe Y de plus de 15 30 db a été constatée. A polarization direction lightwave parallel to the Y axis of more than 15 db was found.

Outre Pl'application directe de l'invention comme dispositif polariseur In addition to the direct application of the invention as a polarizer device

individuel, c'est-à-dire comme composant optique discret, l'invention peut être mise en oeuvre dans de nombreux autres dispositifs tel que modulateur d'amplitude intégré ou élément isolateur optique, sans modification 20 importante. As an individual discrete optical component, the invention can be implemented in many other devices such as integrated amplitude modulator or optical isolator element without significant modification.

En effet, les dispositions propres à l'invention, permettent la création Indeed, the provisions of the invention allow the creation

d'un ou plusieurs éléments polariseurs intégrés dans des dispositifs existant sans en changer la structure, à la seule condition qu'il existe un guide d'onde intégré dans un substrat Ces éléments polariseurs se trouvent alors combi25 nés aux autres éléments optiques et cette disposition avantageuse permet une intégration poussée. one or more polarizing elements integrated in existing devices without changing the structure, provided that there is a waveguide integrated in a substrate These polarizing elements are then combined with the other optical elements and this arrangement advantageous allows a thorough integration.

TABLEAU ITABLE I

indice de substrat I guide d'onde 2 régions réfraction d'intéraction et 51 polarisation ordinaire 2,270 2,275 2,170 polarisation extraordinaire 2, 200 2,275 2,320 254 e 393 substrate index I waveguide 2 regions refraction of interaction and 51 ordinary polarization 2,270 2,275 2,170 extraordinary polarization 2, 200 2,275 2,320 254 e 393

Claims

REVENDICATIONS

1 Dispositif polariseur à structure optique intégrée du type opérant par séparation spatiale de polarisations, comprenant un substrat plan ( 1) réalisé en matériau présentant un premier indice de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une première direction et un second indice 5 de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une seconde direction orthogonale à la première; le substrat comportant une première région formant guide d'onde ( 2) réalisée par un dopage du matériau du substrat modifiant lesdits indices de réfraction de manière à obtenir la propagation suivant un mode guidé d'une onde lumineuse injectée dans cette 10 région ( 2), caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une deuxième région supplémentaire ( 5) intéragissant sur l'onde guidée par la première région ( 2), présentant des indices de réfraction pour les ondes polarisées suivant lesdites première et seconde directions satisfaisant simultanément les deux relations suivantes: nle> nl I et N 2 e< N 2 I, dans lesquelles nle et 15 N 2 e sont des indices de réfraction effectifs associés à des ondes guidées par la première région ( 2), polarisées respectivement suivant les première et seconde directions, et nrl et N 2 I les indices de réfractions correspondants de chaque seconde région ( 5); de manière à autoriser la propagation en mode guidée, dans la première région ( 2),d'une onde polarisée suivant la première 20 desdites directions et à provoquer l Pextinction d'une onde polarisée suivant la Polarization device with integrated optical structure of the type operating by spatial separation of polarizations, comprising a planar substrate (1) made of material having a first refractive index for a polarized light wave in a first direction and a second refractive index for a polarized light wave in a second direction orthogonal to the first; the substrate comprising a first waveguide region (2) formed by doping the substrate material modifying said refractive indexes so as to obtain propagation in a guided mode of a light wave injected into this region (2) , characterized in that it further comprises at least a second additional region (5) interacting on the wave guided by the first region (2), having refractive indices for the polarized waves according to said first and second directions satisfying simultaneously the two following relations: nle> nl I and N 2 e <N 2 I, in which nle and N 2 e are effective refractive indices associated with waves guided by the first region (2), respectively polarized according to the first and second directions, and nl1 and N2 are the corresponding refractive indices of each second region (5); in such a way as to allow the guided propagation, in the first region (2), of a wave polarized along the first 20 of said directions and to cause the extinction of a polarized wave according to the

seconde desdites directions.second of said directions.

2 Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que, la première région formant guide d'onde ( 2) se présentant sous la forme d'un ruban allongé affleurant sur une des faces principales du substrat plan ( 1) et 25 possédant un axe de symétrie (A) parallèle à ce plan, au sein duquel se Device according to Claim 1, characterized in that the first waveguide region (2) is in the form of an elongated strip flush with one of the main faces of the planar substrate (1) and having an axis of symmetry (A) parallel to this plane, within which

propage en mode guidé une onde lumineuse suivant une direction parallèle à l'axe de symétrie (A), chaque deuxième région ( 5) à la forme d'un parallélépipède rectangle dont l'un des cotés est parallèle à l'axe de symétrie (A). propagates in guided mode a light wave in a direction parallel to the axis of symmetry (A), each second region (5) in the form of a rectangular parallelepiped whose one side is parallel to the axis of symmetry ( AT).

3 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il 30 comporte une deuxième région ( 5) unique jouxtant la première région ( 2), disposée symétriquement par rapport audit axe de symétrie (A), d'épaisseur plus importante que l'épaisseur de la première région et débordant celle-ci de part et d'autre de l'axe de symétrie (Aà) de manière à envelopper la 3 Apparatus according to claim 2, characterized in that it comprises a second region (5) adjacent to the first single region (2), arranged symmetrically with respect to said axis of symmetry (A), of greater thickness than the thickness of the first region and overhanging it on either side of the axis of symmetry (Aà) so as to envelop the

première région sur une distance déterminée ( 11). first region over a given distance (11).

4 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il 5 comporte une région supplémentaire unique ( 5) disposée asymétriquement 4 Apparatus according to claim 2, characterized in that it comprises a single additional region (5) arranged asymmetrically

par rapport audit axe de symétrie (A). with respect to said axis of symmetry (A).

Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte une région supplémentaire unique enterrée ( 5) au sein du substrat ( 1). 6 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux régions supplémentaires distinctes ( 50,51) disposées Device according to Claim 2, characterized in that it comprises a single additional buried region (5) within the substrate (1). Device according to Claim 2, characterized in that it comprises at least two distinct additional regions (50, 51) arranged

de part et d'autre dudit axe de symétrie ( A). on either side of said axis of symmetry (A).

7 Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 2 à 6, Device according to one of claims 2 to 6,

caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs régions supplémentaires ( 500506) 15 réparties suivant une direction parallèle audit axe de symétrie (A). characterized in that it comprises a plurality of additional regions (500506) distributed in a direction parallel to said axis of symmetry (A).

8 Dispositif suivant lune quelconque des revendications I à 7, 8 Apparatus according to any one of claims I to 7,

caractérisé en ce que le substrat ( 1) est en niobate de lithium et la première région ( 2) est dopée par insertion d'ions titane; et en ce que dans chaque région supplémentaire ( 5) une partie des ions lithium du niobate de lithium 20 ont été remplacés par des ions hydrogénes de façon à modifier lesdits characterized in that the substrate (1) is of lithium niobate and the first region (2) is doped by titanium ion insertion; and in that in each additional region (5) a portion of the lithium ions of the lithium niobate have been replaced by hydrogen ions so as to modify said

indices de réfraction.refractive indices.

9 Dispositif suivant rune quelconque des revendications I à 7, Apparatus according to any one of claims 1 to 7,

caractérisé en ce que le substrat ( 1) est en niobate de lithium et la première région ( 2) est dopée par insertion d'ions titane; et en ce que chaque région 25 supplémentaire ( 5) est dopée par diffusion d'ions de vanadium dans le niobate characterized in that the substrate (1) is of lithium niobate and the first region (2) is doped by titanium ion insertion; and in that each additional region (5) is doped by vanadium ion diffusion into the niobate

de lithium de façon à modifier lesdits indices de réfraction. of lithium so as to modify said refractive indices.

Procédé de fabrication diun dispositif polariseur suivant l'une Method of manufacturing a polarizer device according to one

quelconque des revendications 1 à 9, comprenant une étape de réalisation cd'un substrat plan ( 1) en niobate de lithium, une étape de réalisation au sein 30 de ce substrat d'une première région ( 2) formant guide d'onde optique any of claims 1 to 9, comprising a step of producing a planar substrate (1) of lithium niobate, a step of producing within said substrate a first region (2) forming an optical waveguide

intégré par insertion d'ions titane dans le niobate de lithium, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de réalisation fd'au moins une deuxième région ( 5) par la modification contrôlée desdits indices de réfraction présentés par cette région de manière à autoriser, par interaction optique sur la première région ( 2), la propagation en mode guidé dans celle-ci d'une onde lumineuse polarisée suivant une première direction et à occasionner l'extinction d'une onde lumineuse polarisée suivant une direction orthogonale integrated by insertion of titanium ions in lithium niobate, characterized in that it further comprises a step of producing f at least a second region (5) by the controlled modification of said refractive indices presented by this region to allow, by optical interaction on the first region (2), the propagation in guided mode therein of a light wave polarized in a first direction and causing the extinction of a polarized light wave in an orthogonal direction

à la première direction.in the first direction.

11 Procédé suivant la revendication 10, caractérisé en ce que l'étape de création d'au moins une région supplémentaire ( 5) au sein du substrat ( 1) comprend une opération de disposition d'un masque à la surface du substrat plan ( 1) ne laissant subsister qu'au moins une fenêtre délimitant une desdites régions supplémentaires ( 5) et l'exposition du substrat ( 1) au travers de 10 chaque fenêtre à un bain acide de manière à obtenir une substitution controlée de tout ou partie des ions lithium de niobate de lithium par des Process according to Claim 10, characterized in that the step of creating at least one additional region (5) within the substrate (1) comprises an operation of placing a mask on the surface of the plane substrate (1). ) leaving at least one window delimiting one of said additional regions (5) and the exposure of the substrate (1) through each window to an acid bath so as to obtain a controlled substitution of all or part of the ions lithium niobate lithium by

ions hydrogènes.hydrogen ions.

12 Procédé selon larevendication 11 caractérisé en ce que l'acide est 12 Process according larevendication 11 characterized in that the acid is

de lacide benzoïque fondu.of benzoic acid melted.

13 Procédé selon la revendication 1 l caractérisé en ce que le masque 13 Process according to claim 1, characterized in that the mask

est constitué par une pellicule d'or déposée sur le substrat plan ( 1). consists of a gold film deposited on the plane substrate (1).

14 Procédé selon la revendication 10 caractérisé en ce que l'étape de 14 Process according to claim 10, characterized in that the step of

création d'au moins une région supplémentaire au sein du substrat comprend une opération de diffusion thermique localisée de vanadium pour doper de 20 façon contrôlée le niobate de lithium. Creation of at least one additional region within the substrate comprises a localized thermal diffusion of vanadium operation to dope lithium niobate in a controlled manner.