FR2525812A1 - SLOW WAVE CIRCUIT FOR PROGRESSIVE WAVE TUBE - Google Patents

Abstract

L'INVENTION CONCERNE LES TUBES HYPERFREQUENCES. UN CIRCUIT A ONDE LENTE ET A CAVITES COUPLEES POUR UN TUBE A ONDES PROGRESSIVES FONCTIONNANT EN ONDES MILLIMETRIQUES EST FORME EN DEFINISSANT DES CAVITES 50 DANS UNE BARRE METALLIQUE 54 OU DES DEMI-CAVITES DANS UNE PAIRE DE BARRES 54 EN FORME DE PEIGNE. LES EXTREMITES DES CAVITES SONT RECOUVERTES PAR DES ELEMENTS DE COUVERCLE 60, 62 DONT L'UN COMPORTE UNE RAINURE LONGITUDINALE 66 DESTINEE A FORMER DES OUVERTURES DE COUPLAGE "EN LIGNE" ENTRE LES CAVITES. APPLICATION AUX TUBES A ONDES PROGRESSIVES FONCTIONNANT A FREQUENCE TRES ELEVEE.THE INVENTION CONCERNS HYPERFREQUENCY TUBES. A SLOW WAVE AND COUPLED CAVITY CIRCUIT FOR A PROGRESSIVE WAVE TUBE OPERATING IN MILLIMETRIC WAVES IS FORMED BY DEFINING CAVITES 50 IN A METAL BAR 54 OR HALF CAVITIES IN A PAIR OF BARS 54 IN THE FORM OF A COMB. THE ENDS OF THE CAVITIES ARE COVERED BY COVER ELEMENTS 60, 62 OF WHICH ONE HAS A LONGITUDINAL GROOVE 66 INTENDED TO FORM "INLINE" COUPLING OPENINGS BETWEEN THE CAVITIES. APPLICATION TO PROGRESSIVE WAVE TUBES OPERATING AT VERY HIGH FREQUENCY.

Description

La présente invention concerne les tubes à ondes progressives destinés àThe present invention relates to traveling wave tubes for

fonctionner à des fréquences très élevées, comme des longueurs d'onde millimétriques, avec une puissance de sortie relativement élevée A ces fréquences, les circuits à onde lente deviennent très petits Les erreurs correspondant aux tolérances dimensionnelles dans leur fabrication et leur assemblage peuvent conduire à des  operating at very high frequencies, such as millimeter wavelengths, with a relatively high power output At these frequencies, the slow wave circuits become very small Errors corresponding to the dimensional tolerances in their manufacture and assembly can lead to

difficultés importantes, en particulier si elles sont cumula-  important difficulties, especially if they are cumulative

tives De plus les structures miniatures présentent des pro-  In addition, the miniature structures present

blèmes de mauvaise conductivité thermique et électrique.  problems of poor thermal and electrical conductivity.

L'invention sera mieux comprise à la lecture de la  The invention will be better understood on reading the

description qui va suivre d'un mode de réalisation et en se  description that follows of an embodiment and in

référant aux dessins annexés sur lesquels: -  referring to the attached drawings in which:

La figure l A est une coupe schématique d'un cir-  FIG. 1A is a schematic section of a circuit

cuit à onde lente et à cavités couplées de l'art antérieur.  cooked slow wave and coupled cavities of the prior art.

La figure l B est une coupe axiale du circuit de la figure l A. La figure 2 est une vue en perspective d'un circuit  FIG. 1B is an axial section of the circuit of FIG. 1A. FIG. 2 is a perspective view of a circuit

perfectionné de l'art antérieur.perfected from the prior art.

La figure 3 est une vue en perspective éclatée d'un  FIG. 3 is an exploded perspective view of a

circuit à onde lente conforme à l'invention.  slow wave circuit according to the invention.

La figure 4 est une coupe perpendiculairement à l'axe-du faisceau d'un circuit similaire à celui de la figure 3. La figure 5 est une coupe axiale du circuit de la  FIG. 4 is a section perpendicular to the axis of the beam of a circuit similar to that of FIG. 3. FIG. 5 is an axial section of the circuit of FIG.

figure 4.figure 4.

Dans l'art antérieur, les tubes à ondes progressives  In the prior art, traveling wave tubes

(TOP) fonctionnant à puissance élevée ont généralement utili-  (TOP) operating at high power have generally

sé un circuit à onde lente du type à "guide d'ondes replié" ou "cavités couplées" Le circuit à onde lente à cavités couplées a été largement utilisé dans les TOP de puissance élevée ayant une largeur de bande modérée Les figures l A, 1 B montrent une structure caractéristique pour un tel circuit, fonctionnant à des fréquences basses, par exemple à moins de 20 G Hz Les  A slow wave circuit with a "folded waveguide" or "coupled cavity" type has been widely used in high power PTs having a moderate bandwidth. FIGS. 1 B show a characteristic structure for such a circuit, operating at low frequencies, for example at less than 20 GHz.

cavités d'interaction 10 sont formées par des anneaux d'espace-  interaction cavities 10 are formed by space rings-

ment 12, par exemple en cuivre, empilés en alternance avec  12, for example copper, stacked alternately with

des plaques d'extrémités 14, également en cuivre Les élé-  end plates 14, also made of copper.

ments de la structure sont accouplés ensemble par brasage au  The structures of the structure are coupled together by brazing

niveau de joints 16, avec un alliage argent-cuivre ou or-  level of seals 16, with a silver-copper alloy or gold-

cuivre, pour former une enceinte hermétique dans laquelle règne le vide Chaque plaque 14 comporte une ouverture axiale 18 pour le passage d'un faisceau d'électrons (non-représenté) qui donne lieu à une interaction avec la composante axiale du  Each plate 14 has an axial opening 18 for the passage of an electron beam (not shown) which gives rise to an interaction with the axial component of the tube.

champ électrique RF dans les cavités L'ouverture 18 est sou-  RF electric field in the cavities The opening 18 is often

vent allongée axialement par des lèvres en saillie 20 qui con-  axially elongated wind by protruding lips 20 which

finent le champ électrique sur un plus court espace axial 22,  end the electric field on a shorter axial space 22,

ce qui élève l'impédance d'interaction et le facteur de cou-  which raises the interaction impedance and the coupling factor

plage de faisceaude la cavité Les cavités 10 adjacentes sont couplées mutuellement par une fente de couplage 24 dans chaque plaque d'extrémité 14, et cette fente se trouve près du bord extérieur de la cavité 10, à l'endroit auquel le  The adjacent cavities are mutually coupled by a coupling slot 24 in each end plate 14, and this slot is located near the outer edge of the cavity 10, at the location where the

champ magnétique RF est le plus élevé, ce qui produit un cou-  RF magnetic field is the highest, which produces a

plage par inductance mutuelle Les fentes de couplage 24 sont décalées de façon à se trouver en alternance sur des c 8 tés opposés des cavités 10 Ceci procure la caractéristique de "guide d'ondes replié" qui donne une grande largeur de bande d'interaction Avec ce type de couplage, l'onde fondamentale du circuit est une onde régressive On fait fonctionner le  The coupling slots 24 are shifted alternately on opposite sides of the cavities 10. This provides the characteristic of "folded waveguide" which gives a large bandwidth of interaction with each other. this type of coupling, the fundamental wave of the circuit is a regressive wave.

tube dans le mode de l'onde correspondant au premier harmoni-  tube in the wave mode corresponding to the first harmoni-

que spatial, qui est une onde progressive, ce qui permet d'obtenir une interaction presque synchrone avec un faisceau d'électrons à vitesse constante, sur une bande de fréquences  than space, which is a progressive wave, which makes it possible to obtain an almost synchronous interaction with a beam of electrons at a constant speed over a frequency band

relativement étendue.relatively extensive.

Le circuit de l'art antérieur, des figures 1 A, 1 B  The circuit of the prior art, FIGS. 1A, 1B

donne satisfaction aux fréquences basses Il présente cepen-  satisfies the low frequencies It presents, however,

dant des difficultés importantes lorsqu'il est construit pour  significant difficulties when it is built for

des fréquences telles que 20 G Hz et plus Les nombreux compo-  frequencies such as 20 GHz and more.

sants sont très petits et leur usinage précis est coûteux.  They are very small and their precise machining is expensive.

L'écartement axial est sujet à erreurs cumulatives dans  Axial gauge is subject to cumulative errors in

l'empilage Lorsque les erreurs d'empilage portent sur l'écar-  When piling errors are concerned with

tement périodique des éléments 14, elles dégradent la carac-  the elements 14, they degrade the characteris-

téristique de bande passante et l'impédance du circuit.  bandwidth and circuit impedance.

Lorsqu'il y a des erreurs d'alignement par rapport à l'axe, ces erreurs peuvent entraîner une interception du faisceau, avec la perte de puissance ou la défaillance du tube qui en résultent. De plus, les joints brasés 16 peuvent produire deux  When there are misalignments with respect to the axis, these errors can result in interception of the beam, with resulting loss of power or tube failure. In addition, soldered joints 16 can produce two

sortes de défauts Si l'alliage de brasage ne coule pas com-  kinds of defects If the brazing alloy does not flow

plètement, il apparaît une fissure qui peut présenter une -LO ésistanxe C ievee à la circulation du courant de la cavité, qui doit traverser la fissure Si au contraire l'alliage de àrasage déborde et coule sur la surface intérieure de la  In fact, there is a crack which may present a straight-line obstruction to the flow of the cavity current, which must pass through the crack. On the contrary, the brazing alloy overflows and flows on the inner surface of the cavity.

cavité, la Lsistance électrique élevée des alliages de bra-  cavity, the high electrical resistance of brazing alloys

sage courants augmente l'atténuation du circuit Si l'allia-  wise currents increases the attenuation of the circuit.

g f rrmc un ourrelet dans le coin, le volume de la cavité esi; diminué, ce qui désaccorde la résonance de la cavité et  a furrow in the corner, the volume of the cavity is; decreased, which detuned the resonance of the cavity and

dégrade l'impédance et la largeur de bande du circuit.  degrades the impedance and bandwidth of the circuit.

tin sr * -n ne peut pas éviter complètement ces joints, on doit au moins réduire leur nombre et leur longueur et les  tin sr * -n can not completely avoid these joints, we must at least reduce their number and their length and the

placer à un endroit auquel le courant qui circule en le S tra-  place where the current flowing through the S-

versant est faible.slope is weak.

La figure 2 est une vue en perspective schématique d'un circuit à cavités couplées, d'un type approprié pour des TOP fonctionnant à des fréquences élevées, qui supprime un certain nombre des problèmes mécaniques du circuit des figures  FIG. 2 is a schematic perspective view of a coupled cavity circuit of a type suitable for high frequency TOPs which eliminates a number of the mechanical problems of the circuit of FIGS.

l A, l B Ce circuit est décrit dans le brevet U S 3 711 943.  This circuit is described in U.S. Patent 3,711,943.

Les cavités s Qnt formées par l'insertion de'plaques métalli-  The cavities are formed by the insertion of metal plates.

ques 30 dans des fentes 32 fraisées dans un canal métallique 34 Chaque plaque 30 comporte un trou central 36 pour laisser passer le faisceau d'électrons et une fente de couplage 38 pour le couplage électromagnétique entre les cavités 40 adjacentes Toutes les fentes de couplage 38 sont alignées du  In each case, each plate 30 has a central hole 36 for passing the electron beam and a coupling slot 38 for electromagnetic coupling between the adjacent cavities 40. aligned

même côté des plaques 30, ce qui correspond à la configura-  same side of the plates 30, which corresponds to the configuration

tion dite "en ligne" Cette configuration donne une caracté-  called "online" This configuration gives a characteristic

ristique de transmission deonde quelque peu différente de celle des fentes "décalées" des figures l A, 1 B Les plaques  The wave transmission method is somewhat different from that of the "offset" slots of FIGS.

3 O sont brasées au canal 34 et l'enceinte à-vide est termi-  3 O are soldered to channel 34 and the vacuum chamber is terminated.

née par le brasage d'une plaque (non représentée) qui consti-  born by soldering a plate (not shown) which constitutes

tue un couvercle métallique.kills a metal lid.

Le circuit de la figure 2 présente l'avantage con- sistant en ce que l'écartement périodique des cavités 40 est déterminé par les positions des fentes 32, qui peuvent être usinées avec précision Les erreurs cumulatives dues à l'empi lement d'éléments, comme sur les figures l A, 1 B, sont ainsi  The circuit of FIG. 2 has the advantage that the periodic spacing of the cavities 40 is determined by the positions of the slots 32, which can be precisely machined. Cumulative errors due to the encroachment of elements , as in FIGS. 1A, 1B, are thus

considérablement réduites Il demeure cependant certains pro-  However, there are still some

blèmes Un grand nombre de joints doivent être brasés de manière hermétique, pour préserver le vide De plus, l'alliage -de brasage peut former des bourrelets dans les coins des cavités 40, changeant ainsi leur volume et leur fréquence de  Many gaskets must be sealed in order to preserve the vacuum. In addition, the brazing alloy can form beads in the corners of the cavities 40, thereby changing their volume and frequency.

résonance De plus, les alliages de brasage ont une résistan-  In addition, brazing alloys have a resistance

ce électrique élevée, ce qui fait que les courants de surface  this electric high, so that the surface currents

micro-ondes créent une perte d'énergie indésirable.  Microwaves create an undesirable energy loss.

L'invention a pour but de procurer un circuit à onde lente pour un TOP convenant pour-des ondes millimétriques,  The object of the invention is to provide a slow wave circuit for a TOP suitable for millimeter waves,

ayant une meilleure précision mécanique.  having better mechanical precision.

L'invention a également pour but de procurer un  The invention also aims to provide a

circuit ayant de plus faibles pertes électriques.  circuit with lower electrical losses.

L'invention a également pour but de procurer un cir-  Another object of the invention is to provide a

cuit dont la fabrication soit aisée.  cooked whose manufacture is easy.

On-parvient à ces buts grâce à un circuit comprenant au moins un élément en forme de peigne fabriqué à partir d'un seul bloc de métal, qui est emprisonné à l'intérieur d'une  These goals are achieved by a circuit comprising at least one comb-shaped element made from a single block of metal which is trapped within a

paire d'éléments formant des canaux qui sont accouplés hermé-  pair of channel elements which are coupled hermetically

tiquement pour former une enceinte à vide Un couplage "en  to form a vacuum chamber. A coupling "in

ligne" est établi par une ou plusieurs rainures supplémentai-  line "shall be established by one or more additional grooves

res dans l'un des-éléments formant des canaux.  res in one of the elements forming channels.

Sur la figure 3, les cavités 50 sont formées par un réseau périodique d'ouvertures ou de fentes 51 entre des dents complémentaires opposées 52 d'une paire d'éléments en peigne unitaires 54 Les fentes 51 sont usinées dans le peigne 54 et peuvent donc être espacées avec une grande précision et sans les erreurs cumulatives qui sont inhérentes à un ensemble d'éléments empilés axialement, comme sur les figures l A, 1 B. Les fentes 51 peuvent avoir des fonds rectangulaires comme sur la figure 5, ou bien elles peuvent avoir les fonds arron-  In FIG. 3, the cavities 50 are formed by a periodic network of openings or slots 51 between opposite complementary teeth 52 of a pair of single comb elements 54 The slots 51 are machined into the comb 54 and can thus be be spaced with great precision and without the cumulative errors inherent in a set of axially stacked elements, as in FIGS. 1A, 1B. The slots 51 may have rectangular bottoms as in FIG. can have the funds arround-

dis de la figure 3, donnant un rendement légèrement supérieur.  FIG. 3, giving a slightly higher yield.

Les deux peignes 54 sont alignés axialement de façon que les dents 52 se rencontrent avec précision Dans chaque peigne, une rainure semicirculaire 58 est usinée à l'extrémité des dents 52 (de préférence avant l'usinage des fentes 51 définissant les cavités) Une ligne de trous 56 est ainsi formée au centre des cavités 50 au moment de l'assemblage des peignes Ces trous définissent une série de passages fermés  The two combs 54 are aligned axially so that the teeth 52 meet accurately In each comb, a semicircular groove 58 is machined at the end of the teeth 52 (preferably before the machining of the slots 51 defining the cavities). A line of holes 56 is thus formed in the center of the cavities 50 at the time of assembly of the combs. These holes define a series of closed passages

qui définissent conjointement le chemin du faisceau d'élec-  which jointly define the path of the elec-

trons Les peignes 54 sont en cuivre à conductivité élevée, exempt d'oxygène On peut former les fentes 51 par fraisage classique ou par usinage par électro-érosion Lesextrémités des dents 52 sont réunies à leurs homologues en regard avant ou pendant l'assemblage final du circuit, comme décrit ci-après Les cavités 50 sont formées symétriquement par rapport au plan des extrémités libres des dents 52, de façon qu'au cours du fonctionnement, aucun courant RF ni aucun flux de chaleur ne traverse ce plan Un contact parfait n'est  The combs 54 are made of high-conductivity copper, oxygen-free. The slots 51 can be formed by conventional milling or by electro-erosion machining. The ends of the teeth 52 are joined to their counterparts facing each other before or during the final assembly. circuit, as described below The cavities 50 are formed symmetrically with respect to the plane of the free ends of the teeth 52, so that during operation, no RF current nor heat flow passes through this plane A perfect contact n ' is

donc pas nécessaire.so not necessary.

On termine les cavités 50 en enfermant les structu-  The cavities 50 are closed by enclosing the structures

res de peigne 54 à l'intérieur d'une paire d'éléments de cou-  combs 54 within a pair of coupling elements

verèle ou d'enveloppe 60, 62 L'élément 60 comporte un canal 64, relativement large, qui est taillé de façon à avoir une forme complémentaire de celle des peignes 54 Au moment de l'assemblage, l'élément 60 s'ajuste ainsi exactement sur les peignes 54 L'élément 62 comporte un canal large similaire 64 ' et il comporte de plus une rainure ou un canal central 66,  The element 60 comprises a channel 64, relatively wide, which is cut to have a shape complementary to that of the combs 54. At the time of assembly, the element 60 thus adjusts. exactly on the combs 54 The element 62 comprises a similar wide channel 64 'and it further comprises a groove or a central channel 66,

plus étroit, qui laisse des espaces 68 entre lui et les pei-  narrower, leaving spaces 68 between him and the

gnes 54 Les espaces, 68 alignés forment les diaphragmes de  The spaces, 68 aligned, form the diaphragms of

couplage entre cavités qui font du réseau de cavités un cir-  coupling between cavities which make the network of cavities a cir-

cuit à onde lente à propagation de type passe-bande.  fired slow wave propagation band-pass type.

Lorsqu'on assemble le circuit, on amène l'un contre l'autre les éléments 60, 62 constituant des couvercles, pour enfermer les peignes 54 de façon serrée, et on les réunit ensemble par exemple par brasage ou frittage pour former  When the circuit is assembled, the elements 60, 62 forming lids are brought against each other to enclose the combs 54 in a tight manner, and they are joined together, for example by brazing or sintering to form

l'enceinte à vide Au cours de la même opération, les élé-  the vacuum chamber During the same operation, the ele-

ments 60, 62 sont réunis aux peignes 54 par brasage ou fritta-  60, 62 are joined to the combs 54 by soldering or fritting

ge, pour former les parois d'extrémité des cavités 50 Ces parois ont également pour fonction d'acheminer-efficacement la chaleur provenant des peignes 54 Le plan de jonction 70 des éléments 60, 62 définissant des canaux est de préférence un plan de symétrie par rapport à l'axe, de façon qu'aucun courant RF des cavités de traverse le joint Les canaux 64 et 64 ' ont également de préférence des formes mutuellement complémentaires, de façon qu'ils soient de manière générale symétriques par rapport au plan des extrémités libres des dents 52 Les divers joints de la structure sont formés par  These walls also have the function of efficiently conveying the heat coming from the combs. The junction plane 70 of the elements 60, 62 defining channels is preferably a plane of symmetry. relative to the axis, so that no RF current of the cavities passes through the seal The channels 64 and 64 'also preferably have mutually complementary shapes, so that they are generally symmetrical with respect to the plane of the ends The various joints of the structure are formed by

brasage, par exemple avec un alliage eutectique argent-  brazing, for example with a silver eutectic alloy

cuivre ou un alliage or-cuivre Selon une variante, les sur-  copper or a gold-copper alloy.

faces des joints peuvent recevoir un placage électrolytique d'or ou d'argent pour former l'alliage exactement aux endroits appropriés, lorsque ces surfaces sont chauffées Un procédé préféré pour les fréquences très élevées consiste à fritter ensemble les pièces en cuivre sous l'effet d'une pression appliquée de façon externe, à une température un peu inférieure au point de fusion Avec ce procédé, il n'y a plus  Seals faces can receive electrolytic gold or silver plating to form the alloy exactly in the appropriate places, when these surfaces are heated A preferred method for very high frequencies is to sinter together the copper parts under the effect externally applied pressure at a temperature slightly lower than the melting point With this process, there is no longer

du tout d'alliage à résistivité élevée Un procédé consti-  high-resistivity alloy at all.

tuant un compromis consiste à dorer les surfaces de contact et à les fritter ensemble à une température inférieure au  compromising is to brown the contact surfaces and sinter them together at a lower temperature than

point de fusion de l'or (il n'y a pas d'eutectique or-cuivre).  melting point of gold (there is no gold-copper eutectic).

Avec ce procédé, il ne peut pas y avoir d'alliage liquide  With this process, there can be no liquid alloy

susceptible de s'écouler vers des régions non désirées.  likely to flow to unwanted areas.

De nombreux autres modes de réalisation apparal-  Many other embodiments appear

tront de façon évidente à l'homme de l'art On peut remplacer la paire de peignes 54 par un bloc ou une barre d'un seul tenant, avec des cavités complètes percées dans le bloc et avec le trou du faisceau percé dans tout le bloc (Il est  It will be obvious to those skilled in the art that the pair of combs 54 may be replaced by a block or bar in one piece, with complete cavities pierced in the block and with the hole of the beam pierced throughout the block. block (He is

cependant très difficile de percer un trou long et rectili-  However, it is very difficult to drill a long, straight hole.

gne) Il n'est pas obligatoire que les éléments 60, 62 for-  (gne) It is not mandatory that the elements 60, 62

mant des couvercles définissent des canaux symétriques; un élément pourrait consister en un bloc plat (la configuration  mant lids define symmetrical channels; an element could consist of a flat block (the configuration

symétrique est cependant meilleure, comme décrit ci-dessus).  symmetrical is however better, as described above).

Pour obtenir un couplage plus élevé, on peut également tailler dans l'élément de couvercle 60 une seconde rainure de couplage, similaire à la rainure 66 De plus, i-l n'est pas obligatoire que la ou les rainures axiales de couplage soient définies dans les éléments de couvercle, et elles pourraient et:re définic a la place dans les peignes 54 ou dans la barre unitaire contenant les cavités qu'il est également possible demployer U ter mode de réalisation aurait l'avantage de permettre d'utiliser une configuration identique pour les deux éléments de couvercle, et il procurerait également un meilleur couplage entre cavités dans certaines applications, du fait que le chemin RF entre cavités adjacentes serait plus  To obtain a higher coupling, it is also possible to cut in the cover element 60 a second coupling groove, similar to the groove 66. In addition, it is not mandatory that the axial coupling groove (s) be defined in the cover elements, and they could and re defined instead in the combs 54 or in the unit bar containing the cavities that it is also possible to use Uter embodiment would have the advantage of allowing to use an identical configuration for both cover elements, and it would also provide better cavity coupling in some applications, since the RF path between adjacent cavities would be more

court.short.

I 1 va de soi que de nombreuses autres modifications peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté,  It goes without saying that many other modifications can be made to the device described and shown,

sans sortir du cadre de l'invention.  without departing from the scope of the invention.

Claims (4)

REVENDICATIONS 1 Circuit à onde lente et à cavités couplées caractérisé en ce qu'il comprend: une première barre à  A slow wave circuit with coupled cavities, characterized in that it comprises: a first bar cavités ( 54) qui est une barre métallique allongée définis-  cavities (54) which is an elongate metal bar defined sant un axe, un premier passage pour faisceau d'électrons ( 58) parallèle à cet axe, un premier réseau d'ouvertures  an axis, a first electron beam path (58) parallel to this axis, a first array of apertures de cavités ( 51) traversant la barre dans une direction per-  cavities (51) crossing the bar in a direction pendiculaire à l'axe, ces ouvertures de cavités étant espa-  pendicular to the axis, these cavity openings being spaced apart cées axialement, la barre comportant deux surfaces unifor-  axially, the bar having two uniform surfaces mes et lisses sur des côtés qui sont de façon générale oppo-  and smooth on sides that are generally oppo- sés, chacune des ouvertures de cavités définissant des ouver-  each opening of cavities defining openings tures dans ces surfaces; et deux éléments de couvercle métalliques ( 60, 62) ayant des surfaces uniformes et lisses -qui recouvrent les surfaces lisses de la barre ( 54), l'un au moins des éléments de couvercle ( 62) comportant un premier canal axial uniforme ( 66) qui est aligné avec les ouvertures de cavités ( 51) et qui est plus étroit que ces ouvertures de cavités, les éléments de couvercle ( 60, 62) étant réunis à la-barre ( 54) de façon à recouvrir au moins partiellement les ouvertures de cavités ( 51) pour former des cavités creuses  tures in these surfaces; and two metal cover members (60, 62) having uniform and smooth surfaces which cover the smooth surfaces of the bar (54), at least one of the cover members (62) having a first uniform axial channel (66). ) which is aligned with the cavity openings (51) and which is narrower than these cavity openings, the cover members (60, 62) being joined to the bar (54) so as to at least partially cover the openings cavities (51) for forming hollow cavities ( 50) et pour achever une enceinte à vide entourant les cavi-  (50) and to complete a vacuum enclosure surrounding the cavities tés. 2 Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que la liaison entre-les éléments de couvercle ( 60, 62) et  your. Circuit arrangement according to Claim 1, characterized in that the connection between the cover elements (60, 62) and la barre ( 54) est réalisée par frittage.  the bar (54) is made by sintering. 3 Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une seconde barre à cavités ( 54) qui est symétrique par rapport à un plan de la première barre à cavités ( 54) et qui définit un second passage des faisceaux d'électrons ( 58), complémentaire du premier, et un second réseau d'ouvertures de cavités ( 51) complémentaire du premier, les ouvertures de cavités ( 51) et les passages de faisceau ( 58) consistant en rainures formées dans les barres à cavités ( 54), ces barres étant alignées sur le plan de symétrie de  Circuit according to claim 1, characterized in that it further comprises a second cavity bar (54) which is symmetrical with respect to a plane of the first cavity bar (54) and which defines a second passage of the beams. electrons (58), complementary to the first, and a second network of cavity openings (51) complementary to the first, the cavity openings (51) and the beam passages (58) consisting of grooves formed in the cavity bars (54), these bars being aligned on the plane of symmetry of façon que lesdites rainures s'alignent pour former des cavi-  that said grooves align to form cavities tés ( 50), et que les passages de faisceau d'électrons ( 58) s'alignent pour former un chemin de faisceau d'électrons ( 56)  tees (50), and that the electron beam passages (58) align to form an electron beam path (56) centré sur l'axe, les éléments de couvercle ( 60, 62) recou-  centered on the axis, the cover elements (60, 62) overlap with 5.vrant les deux barres ( 54) tandis que le premier canal axial ( 66) ne couvre qu'une partie des cavités ( 50) des deux réseaux. 4 Circuit selon la revendication 1, caractérisé en  5.Front the two bars (54) while the first axial channel (66) covers only a portion of the cavities (50) of the two networks. Circuit according to Claim 1, characterized in ce que l'un au moins des éléments de couvercle ( 60, 62) défi-  at least one of the lid elements (60, 62) defines nit un canal ( 64, 64 ') de forme complémentaire à celle de la barre ( 54) , de façon à s'ajuster de manière serrée autour de  a channel (64, 64 ') of complementary shape to that of the bar (54), so as to fit tightly around la barre à cavités et à se réunir à l'autre élément de cou-  the bar with cavities and to meet at the other element of cou- vercle. Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que la'barre ( 54) présente un plan de symétrie qui contient l'axe et qui est perpendiculaire aux surfaces lisses, et en ce que les première et seconde barres à cavités définissent des  vercle. Circuit according to Claim 2, characterized in that the bar (54) has a plane of symmetry which contains the axis and which is perpendicular to the smooth surfaces, and in that the first and second cavity bars define premier et second réseaux respectifs de dents ( 52), mutuelle-  first and second respective networks of teeth (52), mutual ment complémentaires, ces réseaux de dents définissant les rainures des ouvertures dé cavités ( 51), et les dents ( 52) du premier réseau étant réunies aux dents du second réseau dans  these tooth networks defining the grooves of the cavity openings (51), and the teeth (52) of the first network being joined to the teeth of the second network in le plan de symétrie.the plane of symmetry. 6 Circuit selon la revendication 5, caractérisé en ce que les deux éléments de couvercle ( 60, 62) définissent des canaux ( 64, 64 ') de forme complémentaire à celle de la barre ( 54), afin de s'ajuster de façon serrée autour de la  6. Circuit according to claim 5, characterized in that the two cover members (60, 62) define channels (64, 64 ') of complementary shape to that of the bar (54), in order to fit tightly. around the barre, et en ce que ces formes sont de façon générale symé-  bar, and that these forms are generally symmetrical triques par rapport au plan de symétrie.  in relation to the plane of symmetry. 7 Circuit selon la revendication 3, caractérisé en  Circuit according to Claim 3, characterized in ce que les barres à cavités ( 54) ont un second plan cde symé-  the cavity bars (54) have a second symmetrical plane trie qui contient l'axe et qui est parallèle aux surfaces lisses, et en ce que chacun des éléments de couvercle ( 60, 62) définit respectivement despremière et seconde faces adaptées, planes, lisses et complémentaires, ces faces étant positionnées de façon à se réunir dans le second plan de symétrie. 8 Circuit à onde lente et à cavités couplées,  which contains the axis and which is parallel to the smooth surfaces, and in that each of the cover elements (60, 62) respectively defines first and second adapted, flat, smooth and complementary faces, these faces being positioned so as to bring together in the second plane of symmetry. 8 Slow-wave circuit with coupled cavities, caractérisé en ce qu'il comprend: une première barre à cavi-  characterized in that it comprises: a first cavity bar tés ( 54) qui est une barre -métallique allongée définissant un axe, un premier passage de faisceau d'électron ( 58) parallèle à l'axe, un premier réseau d'ouvertures de cavités ( 51) qui traverse la barre dans une direction perpendiculaire à l'axe, ces ouvertures de cavités étant espacées axialement, la barre ( 54) comportant deux surfaces uniformes et lisses sur des côtés qui sont de façon générale opposés, et chacune des ouvertures de cavités ( 51) définissant des ouvertures dans ces surfaces; un premier canal axial uniforme défini dans l'une des surfaces lisses de la barre ( 54), en alignement avec les ouvertures de cavités ( 51) et plus étroit que ces  tees (54) which is an elongate metal bar defining an axis, a first electron beam path (58) parallel to the axis, a first array of cavity openings (51) which crosses the bar in one direction perpendicular to the axis, said cavity openings being axially spaced, the bar (54) having two uniform and smooth surfaces on generally opposite sides, and each of the cavity openings (51) defining openings therein ; a first uniform axial channel defined in one of the smooth surfaces of the bar (54), in alignment with the cavity openings (51) and narrower than these ouvertures de cavités; et deux éléments de couvercle métalli-  cavity openings; and two metal cover elements ques ( 60, 62) ayant des surfaces uniformes et lisses qui recouvrent les surfaces lisses de la barre ( 54), ces éléments de couvercle ( 60, 62) étant réunis à la barre de façon à recouvrir au moins partiellement les ouvertures de cavités ( 51) pour former des cavités creuses ( 50) et pour achever une  (60, 62) having uniform and smooth surfaces which cover the smooth surfaces of the bar (54), said cover members (60, 62) being joined to the bar so as to at least partially cover the cavity openings ( 51) to form hollow cavities (50) and to complete a enveloppe à vide qui entoure ces cavités.  empty envelope that surrounds these cavities.