FI940743A0 - Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa - Google Patents
Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssaInfo
- Publication number
- FI940743A0 FI940743A0 FI940743A FI940743A FI940743A0 FI 940743 A0 FI940743 A0 FI 940743A0 FI 940743 A FI940743 A FI 940743A FI 940743 A FI940743 A FI 940743A FI 940743 A0 FI940743 A0 FI 940743A0
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- fabry
- perot interferometer
- optical sensor
- electrically adjustable
- adjustable surface
- Prior art date
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI940743A FI95838C (fi) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI940743 | 1994-02-17 | ||
FI940743A FI95838C (fi) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI940743A0 true FI940743A0 (fi) | 1994-02-17 |
FI940743A FI940743A (fi) | 1995-08-18 |
FI95838B FI95838B (fi) | 1995-12-15 |
FI95838C FI95838C (fi) | 1996-03-25 |
Family
ID=8540138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI940743A FI95838C (fi) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FI (1) | FI95838C (fi) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI125368B (fi) | 2012-06-08 | 2015-09-15 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot interferometrijärjestelmä ja menetelmä tämän aikaansaamiseksi |
-
1994
- 1994-02-17 FI FI940743A patent/FI95838C/fi active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI940743A (fi) | 1995-08-18 |
FI95838C (fi) | 1996-03-25 |
FI95838B (fi) | 1995-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI94804C (fi) | Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä | |
DE69517744T2 (de) | Verbesserungen an optischen Interferometern | |
DE69528921T2 (de) | Optische Sensoranordnung | |
DE68919901D1 (de) | Optisches Profilmessgerät. | |
NO911019D0 (no) | Fiberoptisk interferometrisk avfoeler. | |
DE68916010T2 (de) | Optischer Messfühler. | |
DE69826753D1 (de) | Optischer Profilsensor | |
DE69422566T2 (de) | Optischer Lageänderungssensor | |
FI950912A0 (fi) | Suuren ylipaineen, pienen mittausalueen paineanturi | |
DE59609158D1 (de) | Optischer abstandssensor | |
NO972327D0 (no) | Optisk posisjonssensor | |
DE68904391D1 (de) | Faseroptischer drucksensor. | |
DE68900533D1 (de) | Optischer positionssensor. | |
DE69016919T2 (de) | Optischer Sensor. | |
FR2744844B1 (fr) | Capteur laser interferometrique | |
DE69310678T2 (de) | Mikromechanisch hergestellter Messaufnehmer | |
DE69528866T2 (de) | Optischer Sensor | |
DE60013696D1 (de) | Achromatisches optisches Interferometer mit kontinuierlich einstellbarer Empfindlichkeit | |
DE69107269T2 (de) | Michelson interferometer. | |
DE69527498D1 (de) | Optischer Sensor | |
FI98094B (fi) | Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi | |
DE69609363T2 (de) | Ophthalmologisches Messgerät | |
DE69629313D1 (de) | Interferometer vom Type Fabry-Perot mit möglichem Nullabstand | |
NO904166L (no) | Anordning ved trykksensor. | |
DE69528208T2 (de) | Optischer Verschiebungssensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB | Publication of examined application |