FI940743A0 - Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa - Google Patents

Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa

Info

Publication number
FI940743A0
FI940743A0 FI940743A FI940743A FI940743A0 FI 940743 A0 FI940743 A0 FI 940743A0 FI 940743 A FI940743 A FI 940743A FI 940743 A FI940743 A FI 940743A FI 940743 A0 FI940743 A0 FI 940743A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
fabry
perot interferometer
optical sensor
electrically adjustable
adjustable surface
Prior art date
Application number
FI940743A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI940743A (fi
FI95838C (fi
FI95838B (fi
Inventor
Martti Blomberg
Markku Orpana
Ari Lehto
Original Assignee
Vaisala Technologies Inc Oy
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Technologies Inc Oy, Valtion Teknillinen filed Critical Vaisala Technologies Inc Oy
Priority to FI940743A priority Critical patent/FI95838C/fi
Publication of FI940743A0 publication Critical patent/FI940743A0/fi
Publication of FI940743A publication Critical patent/FI940743A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI95838B publication Critical patent/FI95838B/fi
Publication of FI95838C publication Critical patent/FI95838C/fi

Links

FI940743A 1994-02-17 1994-02-17 Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa FI95838C (fi)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI940743A FI95838C (fi) 1994-02-17 1994-02-17 Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI940743 1994-02-17
FI940743A FI95838C (fi) 1994-02-17 1994-02-17 Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI940743A0 true FI940743A0 (fi) 1994-02-17
FI940743A FI940743A (fi) 1995-08-18
FI95838B FI95838B (fi) 1995-12-15
FI95838C FI95838C (fi) 1996-03-25

Family

ID=8540138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI940743A FI95838C (fi) 1994-02-17 1994-02-17 Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot interferometri käytettäväksi optisen anturin, esimerkiksi Fabry-Perot interferometrin kanssa

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI95838C (fi)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI125368B (fi) 2012-06-08 2015-09-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot interferometrijärjestelmä ja menetelmä tämän aikaansaamiseksi

Also Published As

Publication number Publication date
FI940743A (fi) 1995-08-18
FI95838C (fi) 1996-03-25
FI95838B (fi) 1995-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI94804C (fi) Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä
DE69517744T2 (de) Verbesserungen an optischen Interferometern
DE69528921T2 (de) Optische Sensoranordnung
DE68919901D1 (de) Optisches Profilmessgerät.
NO911019D0 (no) Fiberoptisk interferometrisk avfoeler.
DE68916010T2 (de) Optischer Messfühler.
DE69826753D1 (de) Optischer Profilsensor
DE69422566T2 (de) Optischer Lageänderungssensor
FI950912A0 (fi) Suuren ylipaineen, pienen mittausalueen paineanturi
DE59609158D1 (de) Optischer abstandssensor
NO972327D0 (no) Optisk posisjonssensor
DE68904391D1 (de) Faseroptischer drucksensor.
DE68900533D1 (de) Optischer positionssensor.
DE69016919T2 (de) Optischer Sensor.
FR2744844B1 (fr) Capteur laser interferometrique
DE69310678T2 (de) Mikromechanisch hergestellter Messaufnehmer
DE69528866T2 (de) Optischer Sensor
DE60013696D1 (de) Achromatisches optisches Interferometer mit kontinuierlich einstellbarer Empfindlichkeit
DE69107269T2 (de) Michelson interferometer.
DE69527498D1 (de) Optischer Sensor
FI98094B (fi) Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi
DE69609363T2 (de) Ophthalmologisches Messgerät
DE69629313D1 (de) Interferometer vom Type Fabry-Perot mit möglichem Nullabstand
NO904166L (no) Anordning ved trykksensor.
DE69528208T2 (de) Optischer Verschiebungssensor

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application