FI88204B - Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet - Google Patents

Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet Download PDF

Info

Publication number
FI88204B
FI88204B FI910401A FI910401A FI88204B FI 88204 B FI88204 B FI 88204B FI 910401 A FI910401 A FI 910401A FI 910401 A FI910401 A FI 910401A FI 88204 B FI88204 B FI 88204B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
detector
image
scattering
light
light source
Prior art date
Application number
FI910401A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI910401A (fi
FI88204C (sv
FI910401A0 (fi
Inventor
Juhani Hirvonen
Pekka Kohola
Harri Jokinen
Timo Salmi
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI910401A priority Critical patent/FI88204C/sv
Publication of FI910401A0 publication Critical patent/FI910401A0/fi
Priority to FI920360A priority patent/FI89746C/sv
Publication of FI910401A publication Critical patent/FI910401A/fi
Publication of FI88204B publication Critical patent/FI88204B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI88204C publication Critical patent/FI88204C/sv

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Claims (5)

1. Anordning för mätning av formen pä ett objekts yta, tili vilken anordning hör en ljuskälla (1), vilken är anordnad att sända en ljuskägla mot 5 objektets yta; en första optisk anordning (2) för fo-kusering av ljuskäglan väsentligen tili punktform mot objektets yta; en lägeskänslig detektor (3) för detek-tering av den frän ytan spridda ljuskäglans bilds läge; en andra optisk anordning (4) för riktande av den 10 spridda ljuskäglan mot detektorn; en ram (5), varpä ljuskällan, de optiska anordningarna och detektorn är fästa; och en transportanordning (6), vilken är anordnad att förskjuta ramen i förhällande tili ytans olika mätpunkter sä, att ytan i var och en mätpunkt alltid är 15 i den av ljuskällan utsända ljuskäglans fokus och den spridda käglans bild är pä ett av detektorns bildomräde förutbestämt omräde, fördelaktigt i bildomrädets centrum, varvid ramens förskjutningar är direkt proportio-nella mot ytans form; och en databehandlingsanordning 20 (7) för registrering av ramens förskjutning för bestäm- ning av ytans form; och ljuskäglans optiska axel (8) och detekteringsriktningens optiska axel (9) i förhäl-lande tili varandra är i en vinkel, fördelaktigt en rät vinkel, kännetecknad därav, att tili den 25 lägeskänsliga detektorn (3) hör en första lägeskänslig detektor (31) och en andra lägeskänslig detektor (32), vilken är tvädimensionell; att tili anordningen hör en sträldelare (10) för uppdelning av den frän ytan spridda ljuskäglan tili en första kägla (11) tili den första 30 detektorn (31) och en andra kägla (12) tili den andra detektorn (32); en förstoringsoptik (13) för förstoring av den andra käglans bild och för bildande av den andra detektorns bildomräde tili en del av den första detektorns bildomräde bestämd av förstoringsoptikens försto-35 ring; att sträldelaren och förstoringsoptiken är fästa pä ramen (5); att den första detektorn (31) är anordnad säsom en grovlokalisering för riktande av den andra 10 88204 käglans (12) bild mot den andra detektorn (32) för bildomrädets samverkan med transportanordnlngen (6); och att databehandlingsanordningen (7) är anordnad att ur den andra detektorns (32) bildomräde bestämmä den 5 andra käglans (12) bilds läge, och pä grund härav genom kalkyleringar vldare precisera mätningens resultat noggrannare än det ur transportanordnlngen erhällna värdet.
2. Anordnlng enligt patentkrav 1, k ä n n e -10 tecknad därav, att den första detektorn (31) utgörs av en tvädimensionell lägeskänslig detektor.
3. Anordnlng enligt patentkrav 1 eller 2, kännetecknad därav, att tili transpor-tanordningen (6) hör en eller flera transportörer.
4. Anordnlng enligt n&got av patentkraven 1 - 3, kännetecknad därav, att ljuskällan (1) utgörs av en laser, säsom en haivledarlaser.
5. Anordnlng enligt n&got av patentkraven 1 - 4, kännetecknad därav, att sträldelaren 20 (10) utgörs av en halvgenomsläppande spegel, ett sträl- fördelningsprisma eller motsvarande, frän vilket en del av strälningen reflekteras och en del gär igenom.
FI910401A 1991-01-25 1991-01-25 Anordning för bestämning av ytformen av föremålet FI88204C (sv)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI910401A FI88204C (sv) 1991-01-25 1991-01-25 Anordning för bestämning av ytformen av föremålet
FI920360A FI89746C (sv) 1991-01-25 1992-01-27 Anordning för bestämning av ytformen av föremålet

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI910401 1991-01-25
FI910401A FI88204C (sv) 1991-01-25 1991-01-25 Anordning för bestämning av ytformen av föremålet

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI910401A0 FI910401A0 (fi) 1991-01-25
FI910401A FI910401A (fi) 1992-07-26
FI88204B true FI88204B (fi) 1992-12-31
FI88204C FI88204C (sv) 1993-04-13

Family

ID=8531799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI910401A FI88204C (sv) 1991-01-25 1991-01-25 Anordning för bestämning av ytformen av föremålet

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI88204C (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
FI910401A (fi) 1992-07-26
FI88204C (sv) 1993-04-13
FI910401A0 (fi) 1991-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7227647B2 (en) Method for measuring surface properties and co-ordinate measuring device
CN111220090A (zh) 一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量***及方法
US4764016A (en) Instrument for measuring the topography of a surface
JP2004504586A (ja) 物体の幾何学的形状の無接触測定のための方法
US7283256B2 (en) Method and apparatus for measuring wafer thickness
CN211876977U (zh) 一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量***
Takushima et al. On-machine multi-directional laser displacement sensor using scanning exposure method for high-precision measurement of metal-works
US20160238380A1 (en) Image measuring method and image measuring apparatus
FI88204B (fi) Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet
Zeng et al. Two-directional scanning method for reducing the shadow effects in laser triangulation
KR20190084109A (ko) 포커싱 및 레벨링 장치
JP2002511575A (ja) 自動焦点調整原理による材料表面の点走査式輪郭決定のための方法及び座標測定器
JP3162364B2 (ja) 光センサ装置
KR0131526B1 (ko) 광학식 측정장치 및 그 측정방법
FI89746B (fi) Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet
JP3184641B2 (ja) テーパ孔のエッジ検出装置及びその深さ測定装置
JP2003161610A (ja) 光学式測定装置
JP2828145B2 (ja) 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法
JPH0540821A (ja) 三次元計測装置
JP3967058B2 (ja) 板状のワークの表面形状と板厚の測定方法および測定装置
KR100314284B1 (ko) 광학식 두께측정 방법과 장치
RU2153647C2 (ru) Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции
JPH06109435A (ja) 表面変位計
US5796488A (en) Optical target alignment and technique
JPH0469508A (ja) 非接触式形状測定装置及び形状測定法

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Owner name: VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS

MM Patent lapsed