FI75448B - FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV LUMINISCENSYTOR OCH MED DETTA FOERFARANDE FRAMSTAELLT ROENTGENBILDFOERSTAERKARROER. - Google Patents

Description

1 754481 75448

Menetelmä loistepintojen valmistamiseksi ja tällä menetelmällä valmistettu röntgenkuvan vahvistinputkiA method of manufacturing fluorescent surfaces and an X-ray image intensifier tube made by this method

Keksintö koskee menetelmää, jolla valmistetaan 5 loistepintoja ja jossa loisteaine kerrostetaan kannatti-melle, ja tällä menetelmällä valmistettuja röntgenkuvan vahvistinputkia.The invention relates to a method for producing fluorescent surfaces, in which a phosphor is deposited on a support, and to X-ray image intensifier tubes manufactured by this method.

Loistepinta käsittää tavallisesti kannattimen, jossa tai jonka päällä on säteilyn loisteaine. Kannatin on 10 sovitettu pinnan luonteen mukaan; esim. sen absorptio on alhainen ilmaistavan säteilyn suhteen, kun kysymyksessä on tulopinta tai vahvistava pinta; se on sopivasti läpinäkyvä loistekerroksessa kehitetylle loistevalolle, kun kysymyksessä on lähtöpinta ja sillä on sovitettu sähkön-15 johtavuus loistepinnoissa, joissa tulosäteily muodostaa varauskuvion, esim. valojohtavissa pinnoissa. Kannattimen valinta riippuu siis suureksi osaksi mitattavan säteilyn luonteesta ja energiasta, loistekerroksessa muodostettavan loistetuotteen luonteesta ja menetelmästä, 20 jolla ilmaistaan tai luetaan loistetuote.The fluorescent surface usually comprises a support with or on which there is a radiation phosphor. The support 10 is adapted to the nature of the surface; e.g., its absorption is low with respect to detectable radiation in the case of an input surface or an amplifying surface; it is suitably transparent to the fluorescent light generated in the fluorescent layer in the case of an output surface and has a matched electrical conductivity in fluorescent surfaces where the incident radiation forms a charge pattern, e.g. in light-conducting surfaces. The choice of support thus depends largely on the nature and energy of the radiation to be measured, the nature of the fluorescent product to be formed in the phosphor layer, and the method by which the phosphor product is detected or read.

Tällaisissa pinnoissa loistekerroksen säteily-absorptio on mieluiten verraten suuri, koska suuri osa tietoja kantavasta säteilystä tulee tällöin absorboiduksi, niin että se voi osaltaan auttaa signaalin tai kuvan 25 ilmaisussa. Suurelle absorptiolle on tärkeää mm. muunnettavaa säteilyä varten käytetyn aineen absorptiokerroin, jolle aineen järjestysluku ja loisteainekerroksen paksuus on tavallisesti ratkaiseva. Ensimmäinen muuttuja rajoittaa käytettävän aineen valintaa ja toisen muuttujan mää-30 rää oleellisessa määrin se tiheys, joka on annettavissa aineen loistekerrokselle, koska kerroksen suurempi geometrinen paksuus sellaisenaan johtaa aina pinnan erotuskyvyn menetykseen. Siten loistekerroksen paksuus on kompromissi enimmäisabsorption ja parhaan erotuskyvyn välillä. 35 Suuri absorptio on tärkeä myös siksi, että se rajoittaa potilaan säteilyannosta esim. taudinmäärityslaitteiden 2 75448 röntgenkuvapintojen ollessa kysymyksessä. Paksussa kerroksessa tapahtuu kuitenkin erotuskyvyn menetystä, koska tu-losäteily hajoaa sivuttain ennen absorptiota ja lisäksi kerroksessa kehittyvät säteilyn tai varauksenkantajat 5 siroavat merkittävästi. Tavoitteena on siksi loisteaine-kerros, jonka absorptiokerroin muuntotoimintaa varten on suuri ja jonka tiheys on suuri, niin että kerroksen geometrinen paksuus voidaan pitää pienenä. Näiden näkökohtien perusteella on yritetty valmistaa esim. loistepin-10 toja kvasimonokiteistä, kuten esim. kuvataan US-patentti-selityksessä 3 475 411. Tämä menetelmä ei kuitenkaan sovellu laajamittaiseen käyttöön.In such surfaces, the radiation absorption of the phosphor layer is preferably relatively high, since a large part of the radiation carrying the data is then absorbed, so that it can contribute to the detection of the signal or the image 25. For high absorption it is important e.g. the absorption coefficient of the substance used for the radiation to be converted, for which the sequence number of the substance and the thickness of the phosphor layer are usually decisive. The first variable limits the choice of material to be used and the second variable substantially determines the density that can be applied to the phosphor layer of the material, since the higher geometric thickness of the layer as such always results in a loss of surface resolution. Thus, the thickness of the phosphor layer is a compromise between maximum absorption and best resolution. 35 High absorption is also important because it limits the patient's radiation dose, for example in the case of 2 75448 X-ray surfaces of diagnostic devices. However, there is a loss of resolution in the thick layer because the incident radiation decays laterally before absorption and, in addition, the radiation or charge carriers 5 developing in the layer are significantly scattered. The aim is therefore to have a phosphor layer with a high absorption coefficient for the conversion operation and a high density, so that the geometric thickness of the layer can be kept small. Based on these aspects, attempts have been made to prepare e.g. fluorescent surfaces from quasimonocrystals, as described, for example, in U.S. Patent No. 3,475,411. However, this method is not suitable for large-scale use.

Käytännöllisempi ehto, joka on täytettävä loiste-pintojen tuotannossa, on se, että tartuntakyvyn on olta-15 va erittäin hyvä kannattimen ja loistekerroksen kesken.A more practical condition to be met in the production of fluorescent surfaces is that the adhesion must be very good between the support and the fluorescent layer.

Näin erityisesti silloin, kun pintojen on läpikäytävä jatkokäsittely. Loistekerros on tällöin vaarassa irrota kan-nattimesta (kuten osoitetaan US-patenttiselityksessä 2 983 816) . Lisäksi on usein käytettävä lisäkerrosta lois-20 tekerroksen päällä, esim. fotokatodia röntgenkuvan vah-vistinputken tuloloistepinnalla. Tällaisen toiminnan aikana ei saa esiintyä mitään mekaanista ongelmaa loiste-kerroksen kohdalla. Näille loistepinnoille paljon käytetty jatkokäsittely on särörakenteen muodostaminen ja näin 25 muodostettujen säröjen täyttö kevyellä, heijastavalla tai absorboivalla aineella, kuten kuvataan US-patentis-sa nro 3 885 763. Hyvä tarttuminen kannattimeen on myös tärkeää sen lämmön johtumiselle, joka kehittyy loisteker-roksessa säteilytyksen aikana ja joka esim. rajoittaa 30 sallittua säteilykuormistusta, kun kysymyksessä ovat ku-vanvahvistinputkien lähtöpinnat ja katodisädeputkien näyt-tökuvaruudut.This is especially the case when the surfaces have to undergo further treatment. The fluorescent layer is then in danger of detaching from the support (as shown in U.S. Patent No. 2,983,816). In addition, it is often necessary to use an additional layer on top of the parasitic-20 layer, e.g. a photocathode on the input fluorescent surface of the X-ray image intensifier tube. During such operation, there must be no mechanical problem with the phosphor layer. A widely used further treatment for these fluorescent surfaces is to form a crack structure and fill the cracks thus formed with a light, reflective or absorbent material, as described in U.S. Patent No. 3,885,763. and which, for example, limits the permissible radiation load in the case of the output surfaces of the image intensifier tubes and the display screens of the cathode ray tubes.

Tavallisesti käytetään loistekerroksen kahta ker-rostamismenetelmää, esim. loisteainesuspension saos-35 tusta, jossa tavallisesti tarvitaan sideainetta, jotta loisteaine tarttuisi kannattimeen ja keskinäistä tarttu- 3 75448 mistä varten. Varsinkin sideaineen vuoksi on näiden lois-tekerrosten tiheys verraten pieni, esim. enintään n. 50 % loisteaineen teoreettisesta irtotiheydestä. Jotta saataisiin kohtuullinen säteilyabsorptio, on näiden kerrosten 5 oltava verraten paksuja, esim. 500 pm röntgensäteiden vahvistinpinnoissa ja röntgenkuvan vahvistinputkien tu-lopinnoissa.Usually, two deposition methods of the phosphor layer are used, e.g., precipitation of a phosphor suspension, where a binder is usually required for the phosphor to adhere to the support and for mutual adhesion. Especially due to the binder, the density of these phosphor layers is relatively low, e.g. at most about 50% of the theoretical bulk density of the phosphor. In order to obtain a reasonable radiation absorption, these layers 5 must be relatively thick, e.g. 500 μm in the X-ray amplifier surfaces and in the X-ray image intensifier tube input surfaces.

Toinen menetelmä on loisteaineen höyrykerrostus, jota kuvataan US-patentissa 3 825 763. Tällä menetel-10 mällä saadaan loistekerroksia, joiden tiheys lähenee teoreettista irtotiheyttä ja voi varmasti olla 95 % tästä. Lisäksi tartunta kannattimeen on riittävä kuvattuja jatkokäsittelyjä varten. Tällaisten kerrosten höyrykerrostus, joiden paksuus on jopa esim. n. 250 jam, rönt-15 genkuvan vahvistinputkien tulopintoja varten on verraten kallis prosessi, joka on kriittinen sen ilmatilan osalta, jossa höyrykerrostus tapahtuu. Sitä paitsi monet loiste-aineet eivät ole sopivia höyrykerrostusta varten, esim. hajoamisen takia.Another method is the vapor deposition of the phosphor, which is described in U.S. Patent 3,825,763. This method provides phosphor layers with a density approaching the theoretical bulk density and can certainly be 95% of this. In addition, the adhesion to the support is sufficient for the described further treatments. Vapor deposition of such layers, with a thickness of up to e.g. about 250 μm, for the inlet surfaces of X-ray image intensifier tubes is a relatively expensive process that is critical for the air space in which vapor deposition takes place. In addition, many phosphores are not suitable for vapor deposition, e.g., due to decomposition.

20 Keksinnön eräänä tavoitteena on kehittää sellai nen loistepintojen valmistusmenetelmä, jolla pinnat voidaan valmistaa nopeasti ja halvalla aina verraten suureen kerrospaksuuteen asti laadun kärsimättä, ja jolloin kannattimen ja loisteaineen valinnan vapaus on suuri.It is an object of the invention to provide a method of manufacturing fluorescent surfaces which allows surfaces to be manufactured quickly and inexpensively up to a relatively large layer thickness without compromising quality, and in which the freedom of choice of support and phosphor is great.

25 Tämä tavoite saavutetaan keksinnön mukaisella me netelmällä, jolle on tunnusomaista, että loisteainejauhe, jonka kaasuvirta vie mukanaan, heitetään sulatusti-lan kautta, jossa se sulaa ja se osuu kannattimeen, jonka lämpötila on alhaisempi kuin loisteaineen sulamisläm-30 pötila.This object is achieved by the method according to the invention, characterized in that the phosphor powder carried by the gas stream is discharged through a melting state in which it melts and hits a support having a temperature lower than the melting temperature of the phosphor.

Korkealaatuiset, eripaksuiset kerrokset voidaan kerrostaa verraten lyhyessä ajassa keksinnön mukaisella menetelmällä, kun jauheen hiukkasten koko, virtausnopeus sekä sulatustilan lämpötila ja tilavuus ovat parhaassa 35 keskinäisessä suhteessa. Tartunta kannattimeen ja keskinäinen tartunta itse kerroksessa ovat niin suuret, että kerros voi läpikäydä muita mekaanisia toimintoja, kuten 4 75448 hionnan, kiillotuksen tai syövytyksen. Sopivan keskinäisen tartunnan ansiosta on myös mahdollista poistaa kannatin, niin että voidaan muodostaa itsetukevia loisteaine-kerroksia.High quality layers of different thicknesses can be deposited in a relatively short time by the method according to the invention, when the size of the powder particles, the flow rate and the temperature and volume of the melting space are in the best mutual relationship. The adhesion to the support and the mutual adhesion in the layer itself are so large that the layer can undergo other mechanical functions such as 4 75448 grinding, polishing or etching. Thanks to the suitable mutual adhesion, it is also possible to remove the support so that self-supporting phosphor layers can be formed.

5 Sulatustilaa varten käytetään mieluiten plasma- purkausta, jossa voidaan saavuttaa esim. 10 000°C lämpötila ilman että kehittyy paikallisia palamistuotteita, jotka voisivat saastuttaa kerrostettavaa ainetta. Korkean lämpötilan ansiosta aineen rakeet sulavat hyvin nopeasti 10 ja mm. suuren virtausnopeuden ansiosta ne tulevat kerrostetuiksi kannattimen päälle hyvin lyhyen ajan sisällä.For the melting space, a plasma discharge is preferably used, in which a temperature of, for example, 10,000 ° C can be reached without the development of local combustion products which could contaminate the material to be deposited. Due to the high temperature, the granules of the substance melt very quickly at 10 and mm. due to the high flow rate, they become deposited on the support within a very short time.

Näin estetään aineiden liiallinen hapettuminen tai hajoaminen, niin että helposti voidaan käyttää myös jo aktivoituja loisteaineita. Tämä paitsi poistaa yhden toi-15 minnan, myös estää kerroksen tai kannattimen vahingoittumisen tai saastumisen lisäkäsittelyn aikana. Kerrostamalla aine kannattimeen, jolla on esim. sellainen strukturoitu pinta, jota kuvataan GB-patentissa 1 380 186, voidaan saada aikaan pintoja, joissa on särörakenne loiste-20 kerroksessa, niin että säteilyn tai varauksen kantajien sivuttaisaironta rajoittuu.This prevents excessive oxidation or decomposition of the substances, so that already activated fluorescents can easily be used. This not only eliminates a single operation, but also prevents damage or contamination of the layer or support during further processing. By depositing the material on a support having, for example, a structured surface as described in GB Patent 1,380,186, surfaces with a cracked structure in the fluorescent layer 20 can be obtained so that the lateral scattering of the radiation or charge carriers is limited.

Tunnettuihin kerrostusmenetelmiin verrattuna keksinnön mukainen menetelmä täyttää myös sopivasti kannattimen kolot, vaikka niiden poikittaismitta olisi verra-25 ten pieni.Compared to known layering methods, the method according to the invention also suitably fills the cavities of the support, even if their transverse dimension is relatively small.

Keksinnön mukaisella menetelmällä voidaan valmistaa esim. röntgenkuvan vahvistinputkia, jollaisia käytetään taudin määrittävissä röntgenlaitteissa. Keksinnön mukaisella menetelmällä valmistetulle röntgenkuvan vahvis-30 tinputkelle on pääasiallisesti tunnusomaista, että se käsittää tulopinnan, jossa on loistekerros, joka on tiivistä, rakeista, sulattamalla muodostettua loisteainetta. Näissä vahvistinputkissa loistepinnat muuntavat kuvan kantavan röntgensädekimpun, kuvan laadun kärsiessä mahdollisimman 35 vähän, säteilyksi, jolle loistepinnan taakse sijoitettu filmilehti on erityisen herkkä. Kuvanvahvistinputkissa voidaan loistepintoja käyttää sekä tulopintoina että läh-The method according to the invention can be used, for example, to produce X-ray image intensifier tubes, such as those used in disease-determining X-ray devices. The X-ray image intensifier tube produced by the method according to the invention is mainly characterized in that it comprises an inlet surface with a phosphor layer which is a dense, granular, molten phosphor. In these amplifier tubes, the fluorescent surfaces convert the X-ray beam carrying the image, with the image quality suffering as little as possible, into radiation to which the film sheet placed behind the fluorescent surface is particularly sensitive. In image intensifier tubes, fluorescent surfaces can be used as both input and output surfaces.

IIII

5 75448 töpintoina, jolloin molemmissa tehtävissä saavutetaan jo mainitut edut tunnettuihin pintoihin verrattuna. Esim. US-patentissa 3 179 100 kuvatuissa röntgensädeilmaisimissa voidaan käyttää hyödyksi keksinnön mukaisia pintoja, joissa 5 tarvittaessa on strukturoitu kannatin, niin että voidaan muodostaa erillisten ilmaisinosien selväpiirteisempi sarja.5 75448 as working surfaces, in which case the already mentioned advantages compared to the known surfaces are achieved in both tasks. For example, the X-ray detectors described in U.S. Patent 3,179,100 can utilize the surfaces of the invention in which, if necessary, a support is structured so that a more distinct series of separate detector parts can be formed.

Keksinnön eräitä parhaina pidettyjä toteutusmuotoja kuvataan seuraavassa lähemmin viitaten piirustukseen, jossa: kuvio 1 esittää kaaviomaista kuvantoa laitteesta, 10 joka toteuttaa keksinnön mukaisen menetelmän plasmakaaren avulla; kuvio 2 esittää läpileikkauskuvantoa keksinnön mukaisesta röntgensäteen vahvistinpinnasta; kuvio 3 esittää kuvantoa keksinnön mukaisesta rönt-15 genkuvan vahvistinputkesta; ja kuvio 4 esittää kuvantoa keksinnön mukaisen pinnan lasikuidusta, joka on täytetty loisteaineella.Some preferred embodiments of the invention are described in more detail below with reference to the drawing, in which: Figure 1 shows a schematic view of a device 10 implementing the method according to the invention by means of a plasma arc; Figure 2 shows a cross-sectional view of an X-ray amplifier surface according to the invention; Fig. 3 shows a view of an X-ray image intensifier tube according to the invention; and Figure 4 shows a view of a glass fiber of a surface according to the invention filled with a phosphor.

Kuvio 1 näyttää laitteen, jolla valmistetaan keksinnön mukaisia loistepintoja plasmaruiskutuksella. Tätä var-20 ten laite käsittää kotelon 1 sisällä ensimmäisen elektrodin 3 ja toisen elektrodin 5 plasmapurkauksen 7 kehittämiseksi, jota tarkoitusta varten on kytketty jännitelähde 9 kahden elektrodin yli. Jauhemainen loisteaine syötetään säiliöstä 13 yhdessä kaasuvirran kanssa, joka tulee sekoi-25 tustilaan 16 kaasun paineastiasta 15. Kaasun ja jauhemaisen loisteaineen virtaus 18 ohjataan suuttimen 11 avulla plasmapurkauskaaren 7 kautta. Säiliön 13 voi varustaa välineillä, jotka tuottavat jauhetta karkeasta loisteai-neesta. Mieluiten käytetään jauhetta, jonka raekoko on 30 verraten ahtaissa rajoissa. Jos hyvin hienorakeinen jauhe on suotava, voi olla eduksi lisätä virtausjauhe, jotta estetään rakeita paakkuuntumasta yhteen van der Waals'in voiman vaikutuksesta; tätä varten on astia 17. Virtausjauheena voidaan käyttää esim. AI2O3 tai Si02· Paakkuuntu-35 minen voidaan myös estää käyttämällä sähköisesti ladattuja rakeita. Jauheen ja kaasun virtausseos 18 ruisku- 6 75448 tetaan plasman suunnassa verraten suurella nopeudella ja esim. 10 kPa paineella. Kannatin 19 sijoitetaan plas-makaaren taakse etäisyydelle, joka on mieluiten säädettävissä; kannatin 19 näytetään kaaviomaisesti asennet-5 tuna luistille 21, joka on siirrettävissä kiskon 23 päällä. Kiskon päässä, joka on etäällä plasmakaaresta, on suojus 24, jonka taakse on sijoitettu poistolaite, joka käsittää suodattimen 25 ja pumpun 27. Näytetty laite on sellainen, joka käsittää esim. suljetun kammion, 10 jotta toiminta voi tapahtua alennetulla paineella ja jota kuvataan lähemmin US-patentissa 3 839 618. Riippuen kerrostettavista aineista ja muodostettavalle kerrokselle asetetuista vaatimuksista, voidaan käyttää joko avointa järjestelyä tai sellaista, joka sisältää 15 sulut kannattimen syöttämiseksi toiselta puolelta ja pinnan ottamiseksi pois toiselta puolelta. Isompia pintoja varten luisti 21 voi sisältää mekanismin, joka siirtää kannattimen poikittain suhteessa ainesädekimpun vir-taussuuntaan. Jotta saataisiin aikaan yhdenmukainen ker-20 ros tai kerros, jolla on esim. säteittäisesti vaihtele-va paksuus, voi olla eduksi asentaa kannatin niin, että se voi pyöriä akselin ympäri, joka osuu yhteen ainesädekimpun pääsuunnnan kanssa. Ainesädekimpun ja kannattimen suhteellisen liikkeen kinemaattinen suunnan-25 vaihto on ilmeisesti myös mahdollinen, niin että voidaan käyttää liikkuvaa ruiskutuslaitetta.Figure 1 shows an apparatus for producing fluorescent surfaces according to the invention by plasma spraying. To this end, the device comprises inside the housing 1 a first electrode 3 and a second electrode 5 for generating a plasma discharge 7, for which purpose a voltage source 9 is connected across the two electrodes. The powdered phosphor is fed from the tank 13 together with the gas stream coming into the mixing space 16 from the gas pressure vessel 15. The flow 18 of gas and powdered phosphor is controlled by means of a nozzle 11 through a plasma discharge arc 7. The container 13 may be provided with means for producing a powder from a coarse phosphor. Preferably, a powder having a grain size of 30 in a relatively narrow range is used. If a very fine-grained powder is desirable, it may be advantageous to add a flow powder to prevent the granules from agglomerating under the action of van der Waals force; there is a vessel 17 for this purpose. For example, Al2O3 or SiO2 · agglomeration can also be used as flow powder. The use of electrically charged granules can also be prevented. The powder and gas flow mixture 18 is injected in the plasma direction at a relatively high velocity and e.g. a pressure of 10 kPa. The bracket 19 is placed behind the plasma arc at a distance that is preferably adjustable; the bracket 19 is shown schematically mounted on a slide 21 movable on the rail 23. At the end of the rail remote from the plasma arc is a cover 24, behind which is a discharge device comprising a filter 25 and a pump 27. The device shown is one which comprises e.g. a closed chamber 10 for operation under reduced pressure and which is described in more detail in US in U.S. Patent No. 3,839,618. Depending on the materials to be deposited and the requirements for the layer to be formed, either an open arrangement or one containing 15 closures may be used to feed the support from one side and remove the surface from the other side. For larger surfaces, the slide 21 may include a mechanism that moves the support transversely with respect to the flow direction of the beam of material. In order to provide a uniform layer or layer having, for example, a radially varying thickness, it may be advantageous to mount the support so that it can rotate about an axis which coincides with the main direction of the beam of material. The kinematic reversal of the relative movement of the beam of material and the support is apparently also possible, so that a mobile spraying device can be used.

Plasmapurkauksen kautta tapahtuvan kauttakulun aikana ainevirran mukanaan kantamat ainerakeet tulevat kuumennetuiksi, niin että ne poistuvat kaaresta 30 aineen pieninä nestepisaroina, jotka laskeutuvat kannat-timelle. Sopivan, yhdenmukaisen kerroksen saamiseksi käytetään mieluiten jauhetta, joka sisältää rakeita, joiden koko on verraten yhdenmukainen, jolloin ohuemmat kerrokset tavallisesti tarvitsevat pienemmän rae-35 koon. Muodostetun loistekerroksen rakenteeseen voidaan lisäksi vaikuttaa ainevirran virtausnopeudella, pur- 7 75448 kauskaaren lämpötilalla, purkauskaaren ja kannattimen välimatkalla, kannattimen lämpötilalla aineen kerros-tuksen aikana sekä suljetun tai avoimen työtilan ilmalla ja paineella. Eri parametrit eivät tietenkään ole 5 toisistaan riippumattomia. Esim. rakeiden lämmitysas-teen määrää paitsi kerroksen lämpötila, myöskin se aika, jonka rakeet ovat kaaressa sekä aineen virtausnopeus ja kaaren koko mitattuna ainevirran 18 suunnassa. Raekoko on tietysti myös tärkeä vaaditulle lämmitysenergialle» le aineraetta kohden.During transit through the plasma discharge, the granules of material carried by the stream of material become heated so that they leave the arc 30 as small liquid droplets of material which settle on the support. To obtain a suitable, uniform layer, a powder containing granules of relatively uniform size is preferably used, with the thinner layers usually requiring a smaller grain size. In addition, the structure of the formed fluorescent layer can be influenced by the flow rate of the material flow, the discharge arc temperature, the distance between the discharge arc and the support, the support temperature during material deposition, and the air or pressure of the closed or open working space. Of course, the different parameters are not 5 independent of each other. For example, the degree of heating of the granules is determined not only by the temperature of the bed, but also by the time the granules are in the arc and the flow rate and size of the arc as measured in the direction of the stream 18. Of course, the grain size is also important for the required heating energy »per material grain.

Kannattimen länpötila voi tavallisesti olla sama kuin ympäristön lämpötila, mutta kerrostettu, hyvin kuuma aine kuumentaa kannatinta. Siksi voi olla suotavaa jäähdyttää kannatinta prosessin aikana tai asentaa 15 se negatiiviselle lämmönlähtee1le, joka estää ylikuumenemisen. Tiettyä kannatinainetta, kuten esim. AI, varten on suotavaa kuumentaa kannatinta ennen kuin loisteaine lasketaan sen päälle. Tätä varten voidaan kannatin asentaa lämmittimelle.The western temperature of the support can usually be the same as the ambient temperature, but a layered, very hot substance heats the support. Therefore, it may be desirable to cool the support during the process or to install it on a negative heat source that prevents overheating. For a particular support, such as Al, it is desirable to heat the support before lowering the phosphor. For this purpose, the bracket can be mounted on a heater.

20 On tunnettua, että tämä metallikerrosten muodos- tamismenetelmä antaa kerroksia, jotka tarttuvat lujasti ja jotka pakkautuvat tiheiksi. Siksi menetelmää käytetään paljon suojäävien, syöpymisen kestävien kerrosten muodostamiseksi, jotka tavallisesti koostuvat alkuaineis-25 ta, kuten metalleista.It is known that this method of forming metal layers provides layers that adhere firmly and pack densely. Therefore, the method is used to form highly protective, corrosion-resistant layers, which usually consist of elements such as metals.

Yllättävästi on todettu, että tämän menetelmän avulla voidaan muodostaa sellaisiakin seoksia, jotka eivät hajoa lämmityksen ja siirron aikana. On vieläkin yllät-tävämpää, että näin muodostetulla loistekerroksella on 30 edulliset loisteominaisuudet. Toinen hyvin edullinen seikka on se, että näin muodostetut loistekerrokset eivät tarvitse enempää lämpökäsittelyä loisteominaisuuk-sien parantamiseksi. Näin ollen kannatinainevalikoima on paljon suurempi; lisäksi voidaan nyt tehdä loiste-35 pintoja sovellutuksiin, joissa ulkoisten olosuhteiden takia on käytettävä erikoisia kannattimia, esim. lähtö- 8 75448 pintoja kuvanvahvistinputkia varten, joilla on oltava määrätyt valo-optiset ominaisuudet. Hyviä tuloksia on saatu alumiinikannattimen päällä olevalla loisteaineel-la, jolla on hyvät optiset heijastusominaisuudet, mikä 5 tietysti on eduksi suuren valotehon kannalta.Surprisingly, it has been found that this method can also be used to form mixtures which do not decompose during heating and transfer. It is even more surprising that the phosphor layer thus formed has advantageous phosphor properties. Another very advantageous fact is that the fluorescent layers thus formed do not require further heat treatment to improve the fluorescent properties. Thus, the range of carriers is much larger; in addition, fluorescent surfaces can now be made for applications where, due to external conditions, special supports have to be used, e.g. output surfaces for image intensifier tubes, which must have certain photo-optical properties. Good results have been obtained with the fluorescent material on the aluminum support, which has good optical reflection properties, which is, of course, an advantage in terms of high light output.

Lisäksi loisteainevalikoima on hyvin laaja. Edullisia tuloksia on saatu loistepintoja varten CaW04:llä, jota käytetään usein röntgenkuvan vahvis-tinpinnoissa, joissa se tavallisesti muodostetaan kol-10 loidisesta liuoksesta yhdessä sideaineen kanssa; näin ollen tunnettujen kerrosten loisteaineen tiheys on enintään n. 50 % teoreettisesta irtoainetiheydestä. Kuvio 2 näyttää kaaviomaisesti tällaisen loistepinnan, joka käsittää kannattimen 30, antistaattisen kerroksen 15 32, heijastavan kerroksen 34, loistekerroksen 36 ja suojakerroksen 38. Kun käytetään samaa loisteainetta kuin tunnetuissa vahvistinpinnoissa, so. CaW04, voi sen kerroksen paksuus tiheämmän pakkauksen ansiosta olla noin puolta pienempi, samalla kun suotava vähimmäis-20 absorptio säilytetään. Toisaalta on samanpaksuisella kerroksella oleellisesti suurempi absorptio. Molempia vaikutuksia voidaan käyttää potilaan saamaan rönt-gensädeannoksen pienentämiseksi; ensimmäinen tapa painottaa enemmän kuvan parempaa laatua. Tätä sovellutus-25 ta varten keksinnön mukaisen loistekerroksen paksuus on esim. noin 200 Jim verrattuna esim. tavalliseen kerrospaksuuteen 500 jim. Tällaisia vahvistinpintoja käytetään laajalti taudin määrittävissä röntgensädelait-teissa, joissa on Bucky-hila, kuten kerroskuvaus- ja 30 fluoroskooppilaitteissa. Sen lisäksi, että keksinnön mukaisten röntgensäteen vahvistinpintojen erotuskyky on suurempi, on niiden valmistus keksinnön mukaisella menetelmällä huomattavasti halvempi ja kannattimen ja antistaattisen kerroksen, jos sellainen on, aineiden 35 valintavapaus on suurempi. Keksinnön mukaisten pintojen erotuskykyä voidaan vielä lisätä käyttämällä sä-In addition, the range of phosphor is very wide. Advantageous results have been obtained for fluorescent surfaces with CaWO 4, which is often used on X-ray image intensifier surfaces, where it is usually formed from a colloidal solution together with a binder; thus, the phosphor density of the known layers is at most about 50% of the theoretical bulk density. Figure 2 schematically shows such a fluorescent surface comprising a support 30, an antistatic layer 15 32, a reflective layer 34, a fluorescent layer 36 and a protective layer 38. When the same phosphor is used as in known amplifier surfaces, i. CaWO4, the thickness of its layer can be about half that due to the denser packaging, while maintaining the desired minimum absorption. On the other hand, a layer of the same thickness has a substantially higher absorption. Both effects can be used to reduce the X-ray dose received by the patient; the first way to place more emphasis on better image quality. For this application, the thickness of the fluorescent layer according to the invention is e.g. about 200 [mu] m compared to e.g. the usual layer thickness of 500 [mu] m. Such amplifier surfaces are widely used in disease-determining X-ray devices with a Bucky lattice, such as layer imaging and fluoroscopic devices. In addition to the higher resolution of the X-ray amplifier surfaces according to the invention, their production by the method according to the invention is considerably cheaper and the choice of the materials 35 of the support and the antistatic layer, if any, is greater. The resolution of the surfaces according to the invention can be further increased by using

IIII

9 75448 rörakennetta, jota kuvataan US-patentissa 3 961 182, poikittaissironnan vähentämiseksi. Tämän menetelmän voi optimoida sen ansiosta, että loisteaine tarttuu erityisen hyvin kannattimeen. Voidaan käyttää sellais-5 ta kannatinta, jossa on rakenne, jolla on määrätty sä-rötaajuus. Tavallisesti kerrosta ei tarvitse kerrostaa useina alakerroksina sopivan särörakenteen saamiseksi. Paitsi CaW04:ää voidaan käyttää Y203 <Eu)· ZnS 3a näistä johdettuja aineita tai CsI(Na) loisteaineena näitä pin-10 toja varten. CsI(Na):n hygroskooppinen luonne aiheuttaa tällöin vähemmän ongelmiä kerroksen tiheän rakenteen ansiosta.9,754,448 structures described in U.S. Patent 3,961,182 to reduce transverse scatter. This method can be optimized due to the fact that the phosphor adheres particularly well to the support. A support having a structure with a certain distortion frequency can be used. Usually, the layer does not need to be layered in several sublayers to obtain a suitable crack structure. In addition to CaWO 4, Y 2 O 3 (Eu) · ZnS 3a can be used as derivatives derived from them or CsI (Na) as a phosphor for these surfaces. The hygroscopic nature of CsI (Na) then causes less problems due to the dense structure of the layer.

Keksinnön mukaisten loistepintojen yksi sovellutusala on kuvanvahvistinputkissa, varsinkin röntgensätei-15 den vahvistinputkissa. Kuvion 3 näyttämä röntgenkuvan vah-vistinputki käsittää metallikotelon 40, jossa on tuloik-kuna 42, joka on titaani-ikkuna, jonka paksuus on esim.One area of application of the fluorescent surfaces according to the invention is in image intensifier tubes, in particular in X-ray amplifier tubes. The X-ray image intensifier tube shown in Fig. 3 comprises a metal housing 40 with an inlet window 42, which is a titanium window having a thickness of e.g.

250 ^am, ja joka on liitetty kotelon vaippaosaan tukirenkaan 44 avulla ja lähtöikkuna 46, jonka muodostaa tässä 20 tapauksessa tasokovera kuituoptinen levy. Kotelossa on loistepinta 48, jossa on kannatin 50, loistekerros 52 ja fotokatodi 54 ja elektronioptinen järjestelmä 56 kuvien muodostamiseksi elektroneista, joita fotokatodi purkaa loistepinnalle 58, joka on tässä tapauksessa si-25 joitettu suoraan kuituoptisen ikkunan 46 koveralle puolelle toimien lähtöpintana. Tällaisen röntgensäteiden vahvistinputken loistekerrosta kuvataan lähemmin US-pa-tentissa 4 213 055 ja se koostuu esim. Csl(Tl), joka on höyrystyskerrostettu tyhjössä ja jolla on suuri erotus-30 kyky, erityisesti siinä muodostetun särörakenteen vuoksi. Ottaen huomioon lämpöjälkikäsittelyn, joka on tarpeen höyrystämällä muodostetun Csl:n kanssa, voidaan tätä menetelmää käyttää helposti putken lähtöpintaa varten.250, and which is connected to the housing part of the housing by means of a support ring 44 and an outlet window 46, which in this case 20 is formed by a planar concave fiber optic plate. The housing has a fluorescent surface 48 with a support 50, a fluorescent layer 52 and a photocathode 54 and an electron optic system 56 for forming images of electrons discharged by the photocathode onto a fluorescent surface 58, in this case directly located on the concave side of the fiber optic window 46. The fluorescent layer of such an X-ray amplifier tube is described in more detail in U.S. Patent 4,213,055 and consists, for example, of Cs1 (T1), which is vapor deposited in a vacuum and has a high resolution, especially due to the crack structure formed therein. In view of the heat treatment required with the Cs1 formed by evaporation, this method can easily be used for the outlet surface of the pipe.

Tähän tarkoitukseen käytettävän loisteaineen valintaa 35 on myös rajoitettu, koska tuloelektronien suuri nopeus, esim. jopa 30 kV, voi aiheuttaa palamisilmiöitä loiste-pinnassa .The choice of fluorescent material 35 used for this purpose is also limited, because the high speed of the input electrons, e.g. up to 30 kV, can cause combustion phenomena on the fluorescent surface.

10 754 4 8 Nämä olosuhteet pakottavat usein käyttämään ZnS:ää loisteaineena lähtöpintaa varten, joka muodostetaan saostuksella suspensiosta. Kun käytetään keksinnön mukaisella menetelmällä tehtyä lähtöikkunaa tällaisessa 5 putkessa käyttäen ZnS:ää loisteaineena, saavutetaan huomattava parannus erotuskyvyn tai herkkyyden suhteen johtuen aineen tiheämmästä pakkauksesta, samoin kuin palamisvastuksen suhteen, koska lämmönjohtavuus on suurempi tiheämmän pakkauksen takia. Koska Csl-pinnat ei-10 vät vaadi mitään lämpöjälkikäsittelyä, kuten on jo todettu, voidaan myös Csl(Na)-ainetta käyttää lähtöpin-nassa keksinnön mukaisesti, niin että pinnan absorptio ja siten tehokkuus ja erotuskyky ovat vieläkin suuremmat. Loisteainekerros voidaan taas tehdä särörakenteel-15 la, niin että erotuskyky paranee entisestään. Kun säröt täytetään sopivalla aineella, varmistetaan, että parannettu lämmönjohtavuus kerroksen tasossa säilytetään. Eräässä erityisen edullisessa toteutusmuodossa käytetään kuituoptisen lähtöikkunan kuiturakennetta 20 särörakenteen perustana. Tätä varten poistetaan kuitujen sydämet esim. muutamien kymmenien pm:n syvyyteen kuituoptisen levyn puolella, jolla sijoitetaan loiste-kerros, jolloin näin muodostetut kolot täyttyvät lois-teaineella. Peiteaine voidaan tehdä hyvin absorboivak-25 si loistevalon suhteen kolojen alueella punaisella värjäyksellä, ks. US-patenttia 3 582 297, niin että voidaan oleellisesti pienentää valon sirontaa kerroksessa. Loisteaineen erittäin hyvän tartunnan ansiosta voidaan haluttaessa kuitujen peitteen puolisille päille kerros-30 tettu aine hioa pois, niin että loisteainetta on vain kuitujen koloissa eikä särörakennetta tarvitse muodostaa. Valon siirtymistä loisteaineen ja kuitusydämen pään pinnan välillä lisätään antamalla pään pinnalle kovera muoto kuvion 4 mukaisesti.10 754 4 8 These conditions often force the use of ZnS as a phosphor for the starting surface formed by precipitation from the suspension. When using an exit window made by the method according to the invention in such a tube using ZnS as a phosphor, a considerable improvement in resolution or sensitivity is achieved due to the denser packaging of the substance, as well as the combustion resistance due to the higher thermal conductivity due to the denser packaging. Since the Csl surfaces do not require any heat treatment, as has already been stated, Csl (Na) can also be used in the starting surface according to the invention, so that the surface absorption and thus the efficiency and resolution are even higher. The phosphor layer can again be made as a crack structure-15a, so that the resolution is further improved. When the cracks are filled with a suitable material, it is ensured that the improved thermal conductivity at the layer level is maintained. In a particularly preferred embodiment, the fiber structure 20 of the fiber optic exit window is used as the basis for the crack structure. For this purpose, the cores of the fibers are removed, e.g. to a depth of a few tens of pm on the side of the fiber optic plate on which the phosphor layer is placed, whereby the cavities thus formed are filled with the phosphor. The cover material can be made highly absorbent with respect to fluorescent light in the region of the cavities by red staining, cf. U.S. Patent 3,582,297, so that light scattering in the layer can be substantially reduced. Due to the very good adhesion of the phosphor, if desired, the material deposited on the sides of the fiber cover side can be ground off, so that the phosphor is only present in the cavities of the fibers and no crack structure has to be formed. The light transfer between the phosphor and the end surface of the fiber core is increased by giving the head surface a concave shape according to Fig. 4.

35 Näytetyn optisen kuidun 60 sydämen 62 osa on poistettu syövyttämällä tilan 64 muodostamiseksi.A portion of the core 62 of the displayed optical fiber 60 is removed by etching to form a space 64.

Il li 7 5 4 4 8Il li 7 5 4 4 8

Koska on käytetty lasiseoksen säteisvaihtelua ja/tai syö-vytysprosessia, on sydämen pään pinnalla 66 kupera muoto ja se toimii linssinä siihen tulevaa loistevaloa varten. Peitelasin ja sydänlasin valontaittokerroin sekä sydän-5 lasin ja loisteaineen valontaittokerroin vaikuttavat ko. kaarevuuden luonteeseen. Kuidun peitteen 68 osat 70 on tehty valoa absorboiviksi tai valoa heijastaviksi esim. diffuusion avulla.Because a radial variation and / or etching process of the glass mixture has been used, the surface 66 of the core has a convex shape and acts as a lens for incoming fluorescent light. The refractive index of the cover glass and the heart glass as well as the refractive index of the heart-5 glass and the phosphor are affected by the the nature of the curvature. The portions 70 of the fiber cover 68 are made to absorb light or reflect light, e.g. by diffusion.

Vaikka US-patenteissa 3 961 182 ja 4 213 055 ku-10 vattujen röntgenkuvan vahvistinputkien tulopinta ei edellytä muunnosta kuvan laadun ja herkkyyden vuoksi, on keksintö silti hyödyllinen tässä suhteessa, koska menetelmä tarjoaa halvempia loistepintoja, erityisesti siksi, että prosessi on paljon nopeampi ja vähemmän 15 herkkä ilmatilaolosuhteille. Lisäksi parannettu tartunta tarjoaa suuremman vapauden mitä tulee särörakenteen muodostamiseen, niin että tämän toiminnan voi optimoida ilman vaaraa enemmistä hylkytuotteista. Tämä äärimmäisenä seurauksena voidaan käyttää täytettyä kennorakennetta, 20 joka voi tällöin esim. sisältää koloja, joiden poikittais-mitta on n. 50 pm ja syvyys 250 pm. Toteutusmuodot, joita on kuvattu röntgenkuvan vahvistinputkeen viitaten, koskevat yhtä hyvin muita kuvan vahvistinputkia, joissa on muuntokerros, kuten valonvahvistinputkia, infrapuna-25 putkia ja sellaisia.Although the inlet surface of the X-ray image intensifier tubes described in U.S. Patents 3,961,182 and 4,213,055 does not require modification due to image quality and sensitivity, the invention is still useful in this regard because the method provides cheaper fluorescent surfaces, especially because the process is much faster and less 15 sensitive to weather conditions. In addition, the improved adhesion offers greater freedom in the formation of the crack structure, so that this operation can be optimized without the risk of more scrap products. As an extreme consequence, a filled cell structure 20 can be used, which can then e.g. contain cavities with a transverse dimension of about 50 μm and a depth of 250 μm. The embodiments described with reference to the X-ray image intensifier tube equally apply to other image amplifier tubes having a conversion layer, such as light amplifier tubes, infrared tubes, and the like.

Tähän asti on kuvattu toteutusmuotoja, joissa säteily, kuten röntgensäteet tai elektronisäteily, muunnetaan loistekerroksessa (näkyväksi) valoksi; näitä kerroksia sanotaan tavallisesti loiste- tai fosforikerroksiksi. 30 Loistekerroksia, jotka muuntavat elektronisäteilyn va loksi, käytetään usein esim. televisioiden näyttöput-kissa, oskilloskooppiputkissa jne. Tähän asti ei ole todettu sellaisia rajoituksia, jotka voisivat estää keksinnön mukaisten pintojen muodostamisen tähän tarkoituk-35 seen. Varsinkin laitteessa, jossa ilmaistaan esim. hyvin voimakas sähkömagneettinen säteily, elektroneja, 12 754 48 ioneja tai muita alkeishiukkasia, ovat kerroksen tiheä pakkaus ja hyvä tarttuminen erityisen edullisia. Siten on olemassa pienempi vaara kerroksen palamisesta ja kerros on vähemmän altis saastumiselle. Mahdollinen saaste 5 voidaan myös poistaa kerrokselta ilman vaaraa.Heretofore, embodiments have been described in which radiation, such as X-rays or electron radiation, is converted in a fluorescent layer to (visible) light; these layers are commonly referred to as phosphor or phosphor layers. Fluorescent layers which convert electron radiation into light are often used, for example, in television display tubes, oscilloscope tubes, etc. To date, no restrictions have been found which could prevent the formation of the surfaces according to the invention for this purpose. Especially in a device in which, for example, very strong electromagnetic radiation, electrons, 12,754,448 ions or other elementary particles are detected, dense packaging of the layer and good adhesion are particularly advantageous. Thus, there is less risk of the layer burning and the layer is less prone to contamination. Any contamination 5 can also be removed from the bed without danger.

Toisenlaiset loistekerrokset koostuvat kerroksista, jotka muuntavat tulosäteilyn, esim. röntgensäteet, elektronisäteilyn tai valon, potentiaalijakaumaksi loiste-kerroksen pinnalle. Eräs esimerkki tällaisesta ovat 10 seleenipinnat, joita käytetään sähkögraafisessa menettelyssä kuvien muodostamiseksi röntgensäteiden avulla. Po-tentiaalikuva, joka on muodostettu tällaisessa kerroksessa säteilyn avulla, voidaan muuntaa sähkösignaaliksi, esim. kuvasignaaliksi, joka näytetään tarkkailulaittees-15 sa pyyhkäisyn avulla, esim. elektronisädekimpun avulla, kameraputkessa, tai koettimen tai koetinmatriisin avulla. Tällaisia sovellutuksia varten keksinnön mukaiset pinnat lisäävät jälleen erotuskykyä ja herkkyyttä johtuen suuremmasta tiheydestä ja säteilykuormaa parannetun läm-20 mönjohtavuuden ansiosta. Lisäksi tällaisten pintojen massatuotanto tarjoaa huomattavasti alhaisemmat kustannukset. Sen lisäksi, että hylkyjen määrä pienenee tuotannossa, tämä kustannustekijä on myös tärkeä sellaisille lois-tekerroksille, joita käytetään lampuissa, joissa ensiö-25 säteilylähteen kehittämä säteily sijaitsee spektrin osassa, joka on vähemmän sopiva valaistusta varten. Ainakin osa tällaisten lamppujen kuoresta varustetaan keksinnön mukaisella loistekerroksella säteilyn muuntamiseksi, esim. ultraviolettisäteilyn, säteilyksi, joka 30 sijaitsee kirjon alueella, joka soveltuu paremmin valaistus tarkoituksiin.Other types of fluorescent layers consist of layers that convert the input radiation, e.g., X-rays, electron radiation, or light, into a potential distribution on the surface of the fluorescent layer. An example of this is the selenium surfaces used in the electrographic procedure to generate images using X-rays. The potential image formed in such a layer by radiation can be converted into an electrical signal, e.g. an image signal, which is displayed on the monitoring device 15 by scanning, e.g. by means of an electron beam, in a camera tube, or by means of a probe or probe array. For such applications, the surfaces of the invention again increase resolution and sensitivity due to higher density and radiation load due to improved thermal conductivity. In addition, the mass production of such surfaces offers significantly lower costs. In addition to reducing the number of wrecks in production, this cost factor is also important for parasitic layers used in lamps where the radiation generated by the primary radiation source is located in a portion of the spectrum that is less suitable for lighting. At least a portion of the housing of such lamps is provided with a fluorescent layer according to the invention for converting radiation, e.g. ultraviolet radiation, into radiation located in an area of the spectrum which is better suited for lighting purposes.

Vaikka menetelmää on kuvattu viitaten plasmakaa-reen sulatustilana, voidaan hyviä tuloksia myös saavuttaa sellaisella liekkikaarella, joka saadaan asetyyli-35 niliekkilaitteella. Tällä menetelmällä on saatu aikaanAlthough the method has been described with reference to the melting state of the plasma arc, good results can also be obtained with a flame arc obtained with an acetyl-35 flame apparatus. This method has achieved

IIII

13 75448 loistekerros CaWO^:stä optisesti heijastavalla alumii-nikannattimella ilman ongelmia loisteaineen ja kannattimen välisen liitännän osalta. Tällaisella pinnalla varustetulla laitteella on tietenkin parannettu valo-5 tehokkuus johtuen valon hyvästä heijastumisesta kan-nattimesta.13 75448 Fluorescent layer of CaWO 2 with an optically reflective aluminum support without problems with the connection between the phosphor and the support. Of course, a device with such a surface has improved light-5 efficiency due to the good reflection of light from the support.

Claims (9)

14 7544814 75448 1. Menetelmä, jolla valmistetaan loistepintoja ja jossa loisteaine kerrostetaan kannattimelle, t u n - 5. e t t u siitä, että loisteainejauhe, jonka kaasuvir-ta (18) vie mukanaan, heitetään sulatustilan (7) kautta, jossa se sulaa ja se osuu kannattimeen, jonka lämpötila on alhaisempi kuin loisteaineen sulamislämpö-tila .A method for producing fluorescent surfaces, in which a phosphor is deposited on a support, characterized in that the phosphor powder carried by the gas stream (18) is thrown through the melting chamber (7) where it melts and hits the support at a temperature is lower than the melting point of the phosphor. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että jauhe koostuu rakeista, joiden raekoko on yhdenmukainen ja on enintään 0,5 kertaa muodostettavan loistekerroksen paksuus.Method according to Claim 1, characterized in that the powder consists of granules having a uniform grain size and a thickness of at most 0.5 times the fluorescent layer to be formed. 3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetel- 15 mä, tunnettu siitä, että siinä on keskenään optimoitu raekoko, jauheen virtausnopeus, sulatustilan tilavuus ja lämpötila sekä sulatustilan (7) ja kannattimen (19) välimatka tiheän, yhdenmukaisen kerroksen muodostamiseksi.Method according to Claim 1 or 2, characterized in that it has an optimized grain size, powder flow rate, melt space volume and temperature and a distance between the melt space (7) and the support (19) to form a dense, uniform layer. 4. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukai nen menetelmä, tunnettu siitä, että loisteaineen kuumennus ja kerrostus tapahtuvat ilmastoitavassa, suljetussa tilassa (1) .Method according to one of the preceding claims, characterized in that the heating and deposition of the phosphor takes place in a ventilated, closed space (1). 5. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukai- 25 nen menetelmä, tunnettu siitä, että suhteellinen liike jauheen suuttimen (11) ja kannattimen (19) kesken suoritetaan kerrostuksen aikana.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the relative movement between the powder nozzle (11) and the support (19) is carried out during deposition. 6. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kantoainetta 30 voidaan syöttää jatkuvasti tai jaksoittain sulaneen loisteaineen virtaan.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier 30 can be fed continuously or intermittently into the stream of molten phosphor. 7. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kannattimelle on annettu pintarakenne sillä puolella, jolla lois- 35 tekerros on muodostettava. Il 15 75448Method according to one of the preceding claims, characterized in that the support is given a surface structure on the side on which the fluorescent layer is to be formed. Il 15 75448 8. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukaisella menetelmällä valmistettu röntgenkuvan vahvistinput-ki, tunnettu siitä, että se käsittää tulopinnan (48), jossa on loistekerros, joka on tiivistä, rakeis- 5 ta, sulattamalla muodostettua loisteainetta.X-ray image intensifier tube made by a method according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises an inlet surface (48) with a phosphor layer which is a dense, granular, molten phosphor. 9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen röntgenkuvan vahvistinputki, tunnettu siitä, että lähtöpinta (58) koostuu loistepinnasta, jolla on suurennettu tiheys ja joka on muodostettu sulatusruiskutuksella kannatit) timena olevalle kuituoptiselle ikkunalle (46). ie 7 5448An X-ray image intensifier tube according to claim 8, characterized in that the output surface (58) consists of a fluorescent surface having an increased density and formed by melt spraying on a fiber optic window (46) as a support. ie 7 5448