FI73113C - Movement and sound active element. - Google Patents
Movement and sound active element. Download PDFInfo
- Publication number
- FI73113C FI73113C FI830547A FI830547A FI73113C FI 73113 C FI73113 C FI 73113C FI 830547 A FI830547 A FI 830547A FI 830547 A FI830547 A FI 830547A FI 73113 C FI73113 C FI 73113C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- film
- elements
- movement
- voltage
- motion
- Prior art date
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
731 1 3731 1 3
LIIKE-JA ÄÄNIAKTIIVINEN ELEMENTTIMOTION AND SOUND ACTIVE ELEMENT
Ennestään tunnetaan menetelmä valmistaa ohutta, vaahtoutet-tua, dielektristä ja elastista kalvoa orientoimalla kalvo sekä pituus- että leveyssuunnassa valmistusprosessin aikana. Kalvon valmistus sekä sen käyttö erilaisissa liike ja värähtely aktiivisissa, sähköstaattisiin ja magneettisiin voimiin perustuvissa elementeissä on mainittu patenttihakemuksessa no. 830319 * josta tämä hakemus on jakamalla erotettu.A method for producing a thin, foamed, dielectric and elastic film is known in the art by orienting the film in both the longitudinal and width directions during the manufacturing process. The manufacture of the film and its use in various elements based on motion and vibration active, electrostatic and magnetic forces are mentioned in patent application no. 830319 * from which this application is separated by division.
Jotta sähköstaattiset ja sähkömagneettiset voimat saataisiin mahdollisimman suuriksi elastisen kalvon yli on oleellista, että kalvokerrokset ovat mahdollisimman ohuita. Sähköstaattiset voimat ohuen kalvon yli ovat kääntäen verrannollisia elektrodien etäisyyksiin. Toisaalta sekä muovikalvojen että niissä olevien ilmakuplien läpilyöntikestoisuus kasvaa suhteellisesti etäisyyksien pienentyessä. Pieniä (matalia) ilmakuplia ja elastista materiaalia kalvon paksuussuunnassa on mahdollista valmistaa orientoimalla eli venyttämällä vaahtou-tettu kalvo sekä pituus- että leveyssuunnassa, jolloin kuplista tulee litteän kiekon muotoisia.In order to maximize the electrostatic and electromagnetic forces across the elastic film, it is essential that the film layers be as thin as possible. The electrostatic forces over the thin film are inversely proportional to the electrode distances. On the other hand, the puncture resistance of both plastic films and the air bubbles in them increases relatively as the distances decrease. Small (shallow) air bubbles and elastic material in the film thickness direction can be produced by orienting, i.e. stretching, the foamed film in both the length and width directions, whereby the bubbles become flat disc-shaped.
. Näin voidaan valmistaa kalvoja, joiden paksuus on esim.. In this way, films with a thickness of e.g.
10x10m^ ja jännitekestoisuus 100x10^V/m. Sähköstaattinen voima kalvon yli on suoraan verrannollinen kalvon yli vaikuttavaan jännitteeseen ja kalvokerroksen molemmille puolille tehtyjen virtasilmukoiden vetovoima on suoraan verrannollinen virran toiseen potenssiin. Näin ollen (lOum) kalvoker- r·, roksella saavutetaan lOOkN/m^rn voima 1 kV:n jännitteellä ja 2 100kN/m :n hetkellinen voima magneettikentän avulla 10A:n virralla. Sijoittamalla useita kalvokerroksia päällekkäin liike-; matka saadaan vahvistettua.10x10m ^ and voltage resistance 100x10 ^ V / m. The electrostatic force across the membrane is directly proportional to the voltage across the membrane, and the attraction of current loops made on both sides of the membrane layer is directly proportional to the second power of the current. Thus, a force of 100 kN / m ^ rn at a voltage of 1 kV and an instantaneous force of 2100 kN / m m by means of a magnetic field at a current of 10A are achieved with the (10) film layer. By placing several layers of film on top of each other in motion; the trip can be confirmed.
Koska rakenne on sekä kapasitiivinen että induktiivinen voidaan tehoa syöttää rakenteeseen maksimaalisella mahdollisella nopeudella ja minimaalisen pienillä tehohäviöillä. Valmistamalla kalvo esim. polypropeenista saavutetaan hyvät mokaani set ja sähköiset ominaisuudet, suuri lujuus muissa suunnissa paitsi kalvon paksuussuunnassa, jossa kalvo on mahdollisimman elast·stn.Because the structure is both capacitive and inductive, power can be supplied to the structure at the maximum possible speed and with minimal power losses. By making a film from, for example, polypropylene, good mocha and electrical properties are achieved, high strength in other directions except in the thickness direction of the film, where the film is as elastic as possible.
- 2 - 731 1 3- 2 - 731 1 3
Kalvon kimmomoduulia voidaan säädellä kuplien kokoa, muotoa ja määrää säätämällä. Näin myös kalvon paksuussuuntaista laajaa resonanssialuetta voidaan säätää. Tälläistä kalvoa voidaan käyttää kerrattuna liike-elementteinä sekä värähtelypin-toina taajuusalueella 0-1MHz.The elastic modulus of the membrane can be adjusted by adjusting the size, shape and number of bubbles. In this way, the wide resonant range in the thickness direction of the film can also be adjusted. Such a film can be used as multiplied motion elements as well as vibration surfaces in the frequency range 0-1MHz.
Kalvon valmistus tapahtuu esim. ns. puhalluskalvoprosessissn, jota käytetään muovikalvojen valmistukseen. Kalvojen kertaukseen ja liike-elementtien valmistukseen käytetään kondensaatto-reiden ja painettujen piirien valmistuksessa käytettyä tekniikkaa .The production of the film takes place e.g. in the blown film process used to make plastic films. The technique used in the manufacture of capacitors and printed circuits is used for the repetition of films and the manufacture of motion elements.
Seuraavaksi esitellään piirroksin keksinnön eräitä sovellutuksia.Some embodiments of the invention will now be illustrated.
Kuvassa 1 on esitetty eräs ratkaisu jännite ja virtaelektrod i.en sijoittamiseksi kerrattuun rakenteeseen ja esitetty rakenteen erityisiä ominaisuuksia.Figure 1 shows a solution for placing voltage and current electrodes in a stranded structure and shows the specific properties of the structure.
Kuvassa 2 on esitetty toinen ratkaisu kerratun kapasitiivisen ja induktiivisen rakenteen muodostamiseksi.Figure 2 shows another solution for forming a multiplied capacitive and inductive structure.
Kuvassa 3 on esitetty liike-elementtejä sekä näistä valmistettu liike-elin.Figure 3 shows the movement elements and the movement member made of these.
Kuvassa 4· on esitetty ääniaktiivista pintaa, jota voidaan käyttää ääniaaltojen lähetykseen ja vastaanottoon.Figure 4 · shows a sound-active surface that can be used to transmit and receive sound waves.
Kuvassa 5 on esitetty rakenteen ohjaus siten, että saadaan aikaan etenevä aaltoliike, jota voidaan käyttää pumpuissa tai väliaineessa liikkuvissa laitteissa.Figure 5 shows the control of the structure so as to provide a propagating wave motion that can be used in pumps or devices moving in a medium.
Kuvassa 1 on esitetty em. kalvosta valmistettu rakenne, jossa sekä sähköstaattiset että sähkömagneettiset voimat vaikuttavat samaan suuntaan.Figure 1 shows a structure made of the above-mentioned film, in which both electrostatic and electromagnetic forces act in the same direction.
Kalvon (1) pintoihin on painettu' jännite ja virtajohtimet (2), jotka muodostavat kalvokerrosten yli sähköstaattisen ja sähkömagneettisen voiman. Voimat ovat rakennetta supistavia kun virrat kalvon eripuolilla kulkevat samaan suuntaan (3) ja rakennetta laajentavia kun virrat kulkevat eri suuntiin (/J purettaessa elementin varaus.The surfaces of the film (1) are printed with 'voltage and current conductors (2), which generate an electrostatic and electromagnetic force over the film layers. The forces are structure-shrinking when the currents on different sides of the film travel in the same direction (3) and structure-expanding when the currents flow in different directions (/ J when discharging the element.
Esim. erilaisissa liike-elementeissä on edullista, ettei, virtaa enää kulje rakenteen kapasitanssin latauduttua, vaan jatkuva voima ja asento saadaan pysymään pelkästään sähkökentän avulla. Tehoa kuluu näin minimaalisen vähän. Tällaista neli- - 3 - 73113 napaa voidaan ohjata hyvin monella tavalla haluttujen vaikutusten aikaansaamiseksi, esim. tasa- tai vaihtovirroilla.For example, in various motion elements, it is advantageous that the current no longer flows after the capacitance of the structure has been charged, but that the constant force and position can be maintained by the electric field alone. This consumes minimal power. Such a four - 3 - 73113 pole can be controlled in many ways to achieve the desired effects, e.g. with direct or alternating currents.
Erilaisissa liike-elementeissä on välttämätöntä saada takaisinkytkentä liikkeen suuruudesta. Tämä tapahtuu mittaamalla rakenteen LC-piirin aikavakiota, resonanssitaajuutta tai virran ja jännitteen välistä vaihe-eroa ohjausjännitteen mukana syötetyllä mittaustaajuudella. Sekä kapasitanssi että induktanssi kasvavat kääntäen verrannollisesti kalvon paksuuden funktiona, joten rakenteen sähköinen resonanssitaajuus on lähes suoraan verrannollinen paksuuteen.In different motion elements, it is necessary to get feedback on the magnitude of the motion. This is done by measuring the time constant, resonant frequency or phase difference between current and voltage of the LC circuit of the structure at the measurement frequency supplied with the control voltage. Both the capacitance and the inductance increase inversely proportional to the thickness of the film, so that the electrical resonant frequency of the structure is almost directly proportional to the thickness.
Syöttämällä nelinavan toiseen päähän vakio tasajännite voidaan kalvon paksuuden vaihtelun aiheuttama jännitteen vaihtelu mitata nelinavan toisesta päästä.By applying a constant DC voltage to one end of the four-pole, the voltage variation caused by the variation in the film thickness can be measured from one end of the four-pole.
Kapasitanssin muuttuessa jännite muuttuu rakenteen induktiivisen komponentin yli. Jännitemuutoksen sijasta voidaan mitata myös syöttövirran muutos. Näitä menetelmiä on edullista käyttää käytettäessä kaivorakennetta esim. ääniaaltojen vastaanottoon äänitaajuus tai uitraäänialueella.As the capacitance changes, the voltage changes across the inductive component of the structure. Instead of a voltage change, the change in supply current can also be measured. It is advantageous to use these methods when using a well structure, e.g. for receiving sound waves in the sound frequency or floating sound range.
Kuvassa 2 on esitetty rakenne, joka on kerrattu kahdesta päällekkäisestä kalvokerroksesta.Figure 2 shows a structure multiplied by two overlapping film layers.
Induktanssi syntyy vuoviivojen (6) osoittamalla tavalla.The inductance is generated as indicated by the flow lines (6).
On tietenkin mahdollista muotoilla ja kytkeä elektrodit ja : johtimet rakenteeseen lukuisilla eri tavoilla. Kerroksia voi daan ohjata erikseen, elektrodit voidaan jakaa lohkoihin, joita ohjataan erikseen. Voidaan käyttää pelkästään sähkökentän tai : magneettikentän aiheuttamia voimia. On myös mahdollista muo toilla elektrodit muodostamaan tiettyjä kuvioita, jolloin myös vastaavia rakenteen muodonmuutoksia saadaan aikaan.It is, of course, possible to shape and connect the electrodes and conductors to the structure in a number of different ways. The layers can be controlled separately, the electrodes can be divided into blocks that are controlled separately. Only forces caused by an electric field or a magnetic field can be used. It is also possible to shape the electrodes to form certain patterns, whereby corresponding deformations of the structure are also achieved.
Kuvassa 3 on esitetty liike-elin, joka on valmistettu em. kapa-sitiivisista ja induktiivisista liike-elementeistä (8), jotka ovat erikokoisia. Liike-elementtejä ohjataan joko rinnan kytket-: tyinä tai kaikkia erikseen elektroniikkayksikön (9) avulla.Figure 3 shows a motion member made of the above-mentioned capacitive and inductive motion elements (8) of different sizes. The movement elements are controlled either connected in parallel or all separately by means of an electronic unit (9).
Elektroniikkayksikössä sijaitsee ohjaukseen käytetyt elektroniset releet, transistorit tai tyristorit sekä pieni mikroprosessori, johon ohjauskäskyt tuodaan sarjaliitäntää (12) pitkin. Syöttöjännite (11) tuodaan elektrolyyttikondensaattori tai akkuyksikköön (10), josta nope i ta virtnhu i ppuja voidaan - i - 7311 3 ottaa. Liike-elin ori jaettu neljään päälohkoon, joita ohjaamalla X, Y ja Z-suuntaiset liikkeet saadaan aikaan.The electronics unit houses the electronic relays, transistors or thyristors used for control, as well as a small microprocessor to which the control commands are fed via the serial interface (12). The supply voltage (11) is supplied to the electrolytic capacitor or the battery unit (10), from which the high-speed current pumps can be - i - 7311 3 taken. The locomotive stallion is divided into four main blocks, which control the X, Y and Z directions.
Edellä selostettuihin kalvon liikkeen mittausmenetelmiin - perustuvalla takaisinkytkentäperiaatteella liike-elintä voi-daan ohjata hyvin tarkasti ja kuormitusvaihtelut myös kompensoituvat automaattisesti.With the feedback principle based on the membrane movement measurement methods described above, the movement member can be controlled very precisely and the load variations are also compensated automatically.
Elementtejä (8) on edullista ohjata on/off luonteisesti.It is advantageous to control the elements (8) on / off in nature.
Tällöin tehohäviöt ovat pienet ja ohjaava elektroniikka yksinkertainen. Koska liike-eJin muodostaen pitkän vipuvarren, saadaan pienet ja tarkat liikkeet aikaan ohjaamalla varren kärjessä olevia, e L'unen t to j ä . Näin myös li i taus voi mat ovat minimaaliset. Suuri, liike saadaan aikaan ohjaamalla esim. kaikkia yhden puoliskon elementtejä nopeassa tahdissa peräkkäin siten, että ohjaus aloitetaan 'liike-elimen tyvestä ja ohjaus etenee kärkeä kohti, sopivalla, nopeudella liikkeen ylityksen ja ohjaus-tehon minimoimiseksi. Suuri etu tällaisissa liike-elimissä on se, että eri elementtien sähkövaraus voidaan siirtää toisiin elementteihin tai virtalähteeseen tehoa paljoakaan hävittämättä .In this case, the power losses are small and the control electronics are simple. Since the movement eJin forming a long lever arm, small and precise movements are obtained by controlling the ones at the tip of the arm, e L'unen t to j ä. In this way, the power is also minimal. Large, movement is achieved by controlling, e.g., all elements of one half at a rapid rate in succession so that control begins at the base of the movement member and control proceeds toward the tip, at a suitable speed to minimize movement overshoot and control power. A great advantage in such motors is that the electric charge of the different elements can be transferred to other elements or to the power supply without losing much power.
Tällaiset liike-elimet ovat myös tukevia, mutta kevyitä.Such muscles are also sturdy but light.
33
Rakenteen ominaispaino on 1kg/dnr ja voima 1kN/ -dm* jos kappale on kuution muotoinen. Liike on tällöin n.ÄOft kappaleen pituussuunnassa.The specific gravity of the structure is 1kg / dnr and the force 1kN / -dm * if the body is cubic. The movement is then n.ÄOft in the longitudinal direction of the body.
Hetkellistä tehoa tällaiseen kappaleeseen voidaan syöttää lähes ääretön määrä jos minimoidaan rakenteen induktanssi.The instantaneous power can be applied to such a body in an almost infinite amount if the inductance of the structure is minimized.
Kuvassa 4 on esitetty kalvosta valmistettu liike ja ääniaktii-vinen pinta (8).Figure 4 shows the movement made of the film and the sound-active surface (8).
Tällaista akustista mattoa voidaan liimata seinäpintoihin (13) ja käyttää kuten kaiutinta tai. mikrofonia. Myös kalvorullia (8a) voidaan käyttää värähtelylähteinä ja vastaanottimina. Tällaisen akustisen pinnan ohjauksessa voidaan käyttää em. takaisinkytkentäkoinoja kalvon liikkeen mittaamiseksi. Näin saavutetaan mahdollisimman hyvä äänen loi s to. Tai mittaamalla kalvon liike em. keinoilla ja käyttämällä tätä takaisinkytkentä-signaalina kalvoa, ohjaavalle vahvictimrl Le, joka voi olla äänitaajuuksien suhteen selektiivinen. Voidaan valmistaa akustista pintaa, joka hei j a:·, taa Lakaisin tietyt taajuudet ja on "pehmeä" - 5 - 7311 3 toisilla taajuuksilla. Tai kalvolla vaikuttava äänenpaine voidaan mitata pietsosähköisellä kaivokerroksella (1-4), joka on eristekerroksen (15) päällä. Signaali vahvistetaan vahvistimella (16) ja käytetään takaisinkytkentäsignaalina ääniak-tiivista pintaa (8) ohjaavalle vahvistimelle (17). Näin saadaan takaisinkytkentä äänen paineesta siten, että pintaan vaikuttava äänenpaine seuraa tarkasti ohjaavaa äänisignaalia (18). Tai mikäli ohjearvosignaali on nolla, pinta käyttäytyy kuten täysin pehmeä pinta, koska piiri pyrkii pitämään mittaus-kalvolta (1-4) tulevan signaalin nollana. Eli tällainen pinta ei heijasta lainkaan ääntä takaisin tai mikäli vahvistin (17) on selektiivinen vain tietyn taajuiset äänet heijastuvat pinnasta takaisin. Tällaisia pintoja voidaan käyttää akustiikan korjaukseen konsortti saloissa tai melunvaimennukseon.Such an acoustic mat can be glued to the wall surfaces (13) and used as a speaker or. microphone. The film rolls (8a) can also be used as vibration sources and receivers. In the control of such an acoustic surface, the above-mentioned feedback means can be used to measure the movement of the membrane. This achieves the best possible sound creation. Or by measuring the movement of the film by the above-mentioned means and using this film as a feedback signal, to the controlling amplifier, which may be selective with respect to the audio frequencies. An acoustic surface can be made which, if: ·, sweeps certain frequencies and is "soft" - 5 - 7311 3 at other frequencies. Or the sound pressure acting on the membrane can be measured by a piezoelectric well layer (1-4) on top of the insulating layer (15). The signal is amplified by an amplifier (16) and used as a feedback signal to the amplifier (17) controlling the sound-active surface (8). In this way, feedback is obtained from the sound pressure so that the sound pressure acting on the surface closely follows the controlling sound signal (18). Or, if the setpoint signal is zero, the surface behaves like a completely soft surface because the circuit tends to keep the signal from the measurement membrane (1-4) zero. That is, such a surface does not reflect sound back at all, or if the amplifier (17) is selective only sounds of a certain frequency are reflected back from the surface. Such surfaces can be used for acoustic repair in consortium enclosures or for noise reduction.
Tällaisten akustisten pintojen ohjauksessa on käytettävä vakio esijännitettä, jonka ylä ja alapuolella ohjaussignaali vaihtelee. Magneettiset voimat on minimoitava, jollei rakenne ole esimagnetoitu esim. uloimpien kalvokerrosten magnetoin-nilla. Pinnat ovat tällöin valmistettu kalvoista, joissa on runsaasti ferromagneettista jauhetta seassa. Esimagnetointi voidaan korvata myös esim. toisen kalvopinnan virtapiirissä kulkevalla jatkuvalla tasavirralla. Em. laitteita voidaan käyttää äänitaajuusalueen lisäksi uitraäänialueella lähetti-minä ja vastaanottimina.A constant bias voltage must be used to control such acoustic surfaces, above and below which the control signal varies. The magnetic forces must be minimized, unless the structure is pre-magnetized, e.g. by magnetization of the outer film layers. The surfaces are then made of films with a large amount of ferromagnetic powder among them. The pre-magnetization can also be replaced, for example, by a continuous direct current flowing in the circuit of the second film surface. Em. in addition to the audio frequency range, the devices can be used as transmitters and receivers in the floating sound range.
: Kalvoon voidaan syöttää erittäin suuria ultraääni-impulsseja esim. 100kW/m2.: Very large ultrasonic pulses, eg 100kW / m2, can be applied to the membrane.
Kuvassa 5 on esitetty liikeaktiivisen elementin (8) ohjaus esim. kolmivaiheisella jännitteellä siten, että saadaan aikaan etenevä aaltoliike levyjen (19) välissä, jolloin nestettä tai kaasua (20) voidaan pumpata aaltoliikkeen avulla. Pumppaus-nopeutta ja määrää voidaan säätää värähtelyn amplitudia ja taajuutta säätämällä. Liikeaktiivinen elementti (8) voidaan valmistaa myös putken muotoiseksi, jolloin putkistoja voidaan käyttää nesteiden pumppaukseen. Em. aaltoliikkeitä muodostavia elementtejä voidaan käyttää myös liikemoottoreina väliaineissa liikkumiseen aaltoliikkeen avulla.Figure 5 shows the control of the motion-active element (8), e.g. with a three-phase voltage, so as to provide a propagating wave movement between the plates (19), whereby the liquid or gas (20) can be pumped by means of the wave movement. The pumping rate and amount can be adjusted by adjusting the amplitude and frequency of the oscillation. The active element (8) can also be made in the form of a tube, in which case the pipelines can be used for pumping liquids. Em. the elements forming the wave motions can also be used as motion motors for moving in the media by means of the wave motion.
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI830547A FI73113C (en) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | Movement and sound active element. |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI830547A FI73113C (en) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | Movement and sound active element. |
FI830547 | 1983-02-17 |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI830547A0 FI830547A0 (en) | 1983-02-17 |
FI830547L FI830547L (en) | 1984-08-18 |
FI73113B FI73113B (en) | 1987-04-30 |
FI73113C true FI73113C (en) | 1987-08-10 |
Family
ID=8516774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI830547A FI73113C (en) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | Movement and sound active element. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FI (1) | FI73113C (en) |
-
1983
- 1983-02-17 FI FI830547A patent/FI73113C/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI73113B (en) | 1987-04-30 |
FI830547A0 (en) | 1983-02-17 |
FI830547L (en) | 1984-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0182764B1 (en) | Electromechanical film and procedure for manufacturing same | |
Savolainen et al. | Electrothermomechanical film. Part I. Design and characteristics | |
US4885783A (en) | Elastomer membrane enhanced electrostatic transducer | |
US3792204A (en) | Acoustic transducer using a piezoelectric polyvinylidene fluoride resin film as the oscillator | |
JP3705926B2 (en) | Pressure wave generator | |
US8492957B2 (en) | Apparatus for generating electric energy | |
CN1886006B (en) | Sound-electricity conversion device, array-type ultrasonic transducer, and ultrasonic diagnostic apparatus | |
CN103595295B (en) | Magnetic/piezoelectric broadband vibration energy collector | |
CN113315408B (en) | Highly integrated combined type vibration energy conversion module facing limited space | |
Woollett | Effective Coupling Factor of Single‐Degree‐of‐Freedom Transducers | |
CN112910303B (en) | Acoustic friction nano generator based on quarter-wave tube | |
Wang et al. | Flexible nanogenerator with 3D-printed ferroelectrets | |
FI73113C (en) | Movement and sound active element. | |
US20180123020A1 (en) | Piezoelectric element including mesoporous piezoelectric thin film | |
Zheng et al. | Semi-active vibration control of the motorized spindle using a self-powered SSDV technique: simulation and experimental study | |
JPS622869A (en) | Supersonic motor drive device | |
Hennion et al. | A new principle for the design of condenser electret transducers | |
US2574647A (en) | Magnetostrictive modulator | |
US3164987A (en) | Electrostatic vibration transducer | |
Ma et al. | High sensitivity and wide bandwidth airborne CMUTs with low driving voltage | |
KR102114497B1 (en) | Device for generation of electricity using triboelectic | |
Larcher et al. | Vibrational energy harvesting | |
JP2573077Y2 (en) | Sound generator | |
WO2022149486A1 (en) | Ultrasound device, impedance matching layer, and electrostatic drive device | |
CN2886813Y (en) | Miniature low-frequency piezoelectric power-arrestor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MA | Patent expired |
Owner name: KIRJAVAINEN, KARI JOHANNES |