FI66690B - Foerfarande och interferometer foer maetning av korta straeckor med hjaelp av ickekoherent ljus - Google Patents

Description

66690

Menetelmä ja interferometri pienten matkojen mittaamiseksi epäkoherentin valon avulla Tämän keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 5 johdannon mukainen menetelmä. Keksintö koskee myös menetelmän suorittamiseksi tarkoitettua interferometriä.

Mitattaessa pieniä matkoja epäkoherenttia valoa käyttävällä interferometrillä epäkoherentti valonsäde lähetetään säteenjakajan kautta toisaalta kohteeseen, 10 jonka sijainti on määrättävä ja toisaalta vertailulait- teeseen, ja kohteesta samoin kuin vertailulaitteesta heijastuneet valonsäteet vastaanotetaan interferenssi-ilmaisimella, joka havaitsee interferenssin, kun vertailulait-teen ja kohteen matkat säteenjakajaan ovat yhtä suuret.

15 Ohuiden kalvojen, pinnoitteiden, levyjen tms. pak suutta voidaan mitata mekaanisin mittavälinein, mikäli mitattava kohde on tarpeeksi kova. Jos pinnoitteen paikallisella paksuusvaihtelulla on merkitystä,kuten elektronisten hybridipiirien tutkimisessa, täytyy mittauskär-20 jen olla pienikokoinen, jolloin sen pintapaine kasvaa estäen pehmeiden materiaalien mittauksen. Pinnoitemateri-aalit ovat usein pehmeitä prosessin alkuvaiheessa, ennen kuin ne ehtivät kovettua. Prosessin säädön kannalta olisi tärkeää saada tieto kalvon paksuudesta mahdollisimman no-25 peasti.

Optisilla mittausvälineillä voidaan kalvon paksuutta mitata vahingoittamatta sitä. Tavanmukaisten kulma-mittaukseen perustuvien optisten etäisyysmittareiden tarkkuus on kuitenkin usein riittämätön, vain noin 30 10 pm:n luokkaa. Monokromaattista valoa käyttävä inter- ferometri on riittävän tarkka, mutta interferenssi sattuu aina puolen aallonpituuden matkan jälkeen samanlaisena, jolloin helposti syntyy puolen aallon monikerran mittainen virhe. Käyttämällä useita erilaisia tarkkaan tunnet-35 tuja aallonpituuksia tai muuttamalla aallonpituutta tar- i 2 66690 kasti tunnetulla alueella, voitaisiin tavanmukaisen interferometrin antaman tuloksen monikäsitteisyys välttää. Nykyisellä tekniikan tasolla näillä periaatteilla rakennettu laite tulee kuitenkin liian kalliiksi.

5 Mikäli tavanmukaisessa interferometrissä käytetään monokromaattisen valon asemesta valkoista valoa, tulee interferenssi yksikäsitteiseksi, ts. interferenssi sattuu vain, kun molemmat valonsäteet ovat kulkeneet täsmälleen saman matkan (Michelsson-interferometri). Tätä 10 periaatetta käytti prof. Väisälä valmistamiensa kvartsi-metrien pituuden vertailuun. Geodeettinen laitos soveltaa tätä Väisälän keksimää menetelmää jopa puolen kilometrin pituisten matkojen vertailuun. Ongelmana tässä menetelmässä on interferenssin löytäminen, sillä lait-15 teiden asettelu ja viritys saattaa viedä useita päiviä ammattitaitoisen ihmisen työaikaa. Tässä mielessä on ymmärrettävää, ettei Väisälän menetelmä ole saavuttanut laajaa suosiota.

Jos mitattava kalvo tai pinnoite on läpinäkyvä, 20 voidaan sen paksuus mitata tarkasti valkoista valoa käyttävällä Michelsson-interferometrin muunnoksella, jonka ovat esittäneet Flournoy, McClure ja Wyntjes v. 1972. Kyseisessä menetelmässä valonsäde heijastuu mitattavan kalvon etu- ja takapinnasta,ja säteet johdetaan sitten 25 interferometriin, jonka peiliä siirtämällä saadaan kalvon paksuus selville. Kalvon ja interferometrin välimatka ei periaatteessa vaikuta tulokseen. Valon taitekerroin kalvossa ja valonsäteiden kulma aiheuttavat mittausepä-tarkkuutta.

30 Nyt puheena olevassa keksinnössä on Michelsson- tyyppisestä interferometristä tehty automaattisesti toimiva, ohuiden läpinäkymättömien kalvojen tms. paksuusmit-tauksiin soveltuva muunnos. Optisten, elektronisten ja sähkömekaanisten osien tarkoituksenmukaisilla toiminnoil-35 la on alkuperäisen laitteen suurin haittatekijä, hitaus, 66690 voitu eliminoida. Oleellisena erona menetelmässä ja laitteessa on myös se, että mittaustuloksena ilmoitetaan portaattomasti säädettävän vertailumatkan pituus silloin, kun interferenssi havaitaan.

5 Keksintö perustuu siihen ajatukseen, että vertailu- matkaa tai mitattavaa matkaa säädetään jaksollisesta automaattisella mekanismilla, interferenssiä tarkkaillaan elektronisella interferenssi-ilmaisimella ja interfe-renssihetkellä luetaan vertailulaitteen tai mitattavan 10 kohteen asento automaattisen mekanismin yhteydessä olevasta asentoanturista tai vastaavasta. Siirtomekanismi voidaan sopivasti kalibroida toisella interferometrillä.

Keksinnön mukaiselle menetelmälle on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkki- 15 osassa.

Keksinnön mukainen, pienten matkojen mittaukseen tarkoitettu interferometri on siis sitä tyyppiä, johon kuuluu epäkoherenttia valoa lähettävä valonlähde, sä-teenjakaja valonsäteen jakamiseksi lähteestä toisaalta 20 vertailulaitteeseen ja toisaalta mitattavaan kohteeseen, interferenssi-ilmaisin vertailulaitteesta ja kohteesta tulevien heijastuneiden valonsäteiden vastaanottamiseksi, sekä elimet vartailulaitteen aseman säätämiseksi. Interfe-rqmetrin toiminta perustuu siihen, että mainitut eli-25 met vertailulaitteen aseman säätämiseksi käsittävät jak- sollisesti toimivan automaattisen mekanismin, joka aikaansaa vertailumatkan jaksollisen muutoksen, sopivimmin vakionopeudella, että interferenssi-ilmaisin on elektronisesti toimiva ja siten kytketty mainittuun automaatti-30 seen mekanismiin, että interferenssihetkellä voidaan lukea mekanismin asento ja sen mukana myös vertailumatka.

Keksinnön mukaiselle interferometrille on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen U tun-nusmerkkiosassa.

35 Keksintöä selostetaan seuraavassa lähemmin esimerkin 11 66690 muodossa ja viitaten oheisiin piirustuksiin, joissa kuviot 1 ja 3 esittävät kaaviomaisesti epäkoherenttia valoa käyttävän interferometrin periaatetta, ja kuvio 2 esittää esillä olevan keksinnön mukaisen lait-5 teen erästä suoritusmuotoa.

Valonlähteenä 1 on laitteessa hehkulamppu. Myös valoa emittoivaa puolijohdediodia (LED) voidaan käyttää. Oleellista valolähteelle on leveä spektraalinen kaista, ts. monokromaattinen valo ei sovi. Lisäksi tarvitaan suur-10 ta ja tasaista intensiteettiä. Säteenjakajana 2 voidaan käyttää säteenjakajaprismaa, puoliläpäisevää peiliä tms. Säteenjakajan optinen laatu on tärkeä. Jakosuhde voi olla muukin kuin 1:1. Säteenjakajasta menee toinen valonsäde mitattavaan kohteeseen 4 ja toinen säde vertailu-15 laitteeseen 3, joka on varustettu sähkömekaanisella toimilaitteella (kuvioissa 1 ja 3 esittämättä) sen asennon ja siten myös vertailumatkan säätämistä varten. Keksinnön mukaisesti säädetään tätä matkaa, siten kuin alempana selitetään, jaksollisesta ja mahdollisimman tasaisesti 20 edestakaisin liikkuvalla toimilaitteella. Matkaa voidaan säätää myös optisesti esim. kierrettävän lasilevyn avulla. Yksinkertainen sähkömekaaninen toimilaite on kaiu-tinkoneisto, jonka liikkuvaan kalvoon peili kiinnitetään. Linssien avulla saadaan aikaan riittävä valon in-25 tensiteetti ja pieni mittausvalopisteen koko. Vertailu-matkaan liittyvästä peilistä ja mitattavasta kohteesta U heijastuneet, yhtä pitkän matkan kulkeneet valonsäteet johdetaan ilmaisimella 5· Ilmaisimena voidaan käyttää tavallista piivalodiodia.

30 Kuvion 2 mukaisessa kytkennässä ilmaisimelta 5 saatu signaali vahvistetaan vahvistimella 6 ja johdetaan kaistanpäästösuodattimeen 7. Tämä on mahdollista, koska interferenssin taajuus on vakiosuuruinen vertailumatkan muutosnopeuden johdosta. Koska interferenssi on hyvin 35 lyhyt, tyypillisesti vain noin kuusi sinijaksoa pitkä, 5 66690 on kaistanpäästösuodattiraen 7 Q-arvon oltava noin kolme. Suodattimen avulla voidaan vaimentaa mm. yleisvalaistuk-sesta johtuvia häiriöitä. Interferenssipulssi tasasuunna-taan ja suodatetaan aiipäästösuodattimellä 8. Saadun ver-5 hokäyräpulssin alkuhetki ilmaistaan. Koska peräkkäisten pulssien amplitudi voi vaihdella suurissa rajoissa, käytetään ns. vakiomurto-osailmaisintä 10. Kohinasta syntyvät virhepulssit estetään minimirajavertailijalla 11, ts. pulssin amplitudin on ylitettävä asetettu vakioarvo, 10 ennen kuin se hyväksytään.

Interferenssihetken tarkempi ajoitus suoritetaan interferenssisignaalin nollanylitysvertailijän 12 avulla. Tämä tarkkailee vakiomurto-osailmaisimen ilmoittaman interferens sihetken jälkeistä seuraavaa nollaylitystä. 15 Vertailumatkaa säätävänä toimilaitteena käytetään esitetyssä suoritusmuodossa peilillä varustettua kaiutinta 13, jota syötetään kolmioaaltogeneraattorilia 1¾. Kaiuttimen nolla-asento voidaan tarvittaessa muuttaa summaamalla sen syöttöjännitteeseen pieni tasakomponentti. 20 Havaitulla interferenssihetkellä tallennetaan toimilaitteen asentoon verrannollinen jännite näytteenotto- ja pitopiireihin 15, joihin tallennus tapahtuu vuorotellen aina toimilaitteen liikesuunnan mukaan. Kun keskiarvoiste-täan summaimella 16 näytteenotto- ja pitopiirien jän-25 nite,eliminoituu toimilaitteen mahdollisen hystereesin vaikutus mittaustulokseen. Summaimen lähdöstä saadaan mitattavaan matkaan verrannollinen jännite. Laskurilla 17 lasketaan toimilaitteen edestakaisten liikkeiden määrä. Laskuri nollautuu interferenssin havaitsemishetkellä, 30 jolloin se toimii puuttuvien interferenssien ilmaisijana.

Interferenssipulssin verhokäyrän maksimiamplitudia tarkkaillaan maksimiarvoilmaisimella 18. Maksimiarvon ylittäessä asetetun arvon saadaan tästä tieto.

Puuttuvien interferenssien ilmaisimelta ja mak-35 simiarvon ilmaisimelta saatavia tietoja käytetään ohjaa- 6 66690 maan vaimenninta 19 (vaimennus n. 20 - 30 dB), jonka tehtävänä on vaimentaa hyvästä pinnasta mitattua inter-ferenssisignaalia elektroniikalta vaadittavan dynamiikan pienentämiseksi.

5 Esitetyn laitteen etuna on, että usein vaikeasti mitattava matka muunnetaan helposti mitattavaksi vertai-lumatkaksi. Mittaus onnistuu parhaiten tasaisesta kiiltävästä pinnasta. Pinnan epätasaisuus heikentää ja pidentää interferenssiä, mitä voidaan käyttää pinnan kohti-10 suoran tasaisuuden mittana.

Laitteen erottelukyky on periaatteessa parempi kuin X/8 eli 0,5 ym:n keskimääräisellä aallonpituudella noin 60 nm. Mittausalueen rajottavat nopeusvaatimus ja vertailumatkaa säätävä toimilaite. Esimerkkiarvona 15 on 1 mm:n mittausmatka sekunnissa, jota voi tarvittaessa nopeuttaa kohinan kustannuksella aina mitattavan pinnan mukaan 1 - 2 dekadia.

Interferometrin toinen sovellutus on ohuiden, läpinäkyvien monikerrosmuovikalvojen paksuusraittaus. Kuten 20 kuviosta 3 käy ilmi (viitenumerot 21, 22, 23 ja 25 vastaavat kuvion 1 viitenumerolta 1, 2, 3 ja 5), monikerrosmuovikalvo 20 asetetaan taustapeilin 2h eteen (kalvo voi olla liikkeessä). Mittausperiaatteesta johtuu, että saadaan ainakin kolme interferenssiä, nimittäin kalvon 25 etupinnasta, sen takapinnasta sekä taustapeilistä. Lisäksi todennäköisesti esiintyy korkeamman kertaluvun interferenssejä. Koska etu- ja takapinnan interferenssit eivät esiinny samanaikaisesti, ehtii kalvo yleensä liikkua ' merkittävästi interferenssihetkien väliaikana. Jos pak- 30 suustieto nyt laskettaisiin etu- ja takapinnan interferenssien erotuksesta, aiheuttaisi kalvon mittaussäteen suuntainen liike tulokseen virhettä. Virhe voidaan välttää käyttämällä hetkelliseen paksuusmittaukseen taustapeilin .aiheuttaman interferenssin kalvosta johtuvaa siir-35 tyraää. Taustapeilin aiheuttaman interferenssin paikka on ^ 66690 mittauslaitteen muistissa, kun kalvo ei ole säteessä.

Kalvon aiheuttama interferenssin paikan muutos on (n - 1)·d, jossa n on kalvon taitekerroin ja d on sen paksuus. Kalvon etu- ja takapinnan interferenssi-5 matkojen erotus on vastaavasti n*d, mutta tämä mittaus oli herkkä kalvon säteensuuntaiselle liikkeelle. Keski-arvoistamalla havaittuja n*d-arvoja saadaan kuitenkin keskimääräinen paksuus mitatuksi tälläkin tavalla. Näin saatua tietoa on kuitenkin parempi käyttää taitekertoimen 10 laskemiseen ja kontrollointiin. Mainituista kahdesta yhtälöstä ja kahdesta tuntemattomasta voidaan näet ratkaista sekä kalvon paksuus että taitekerroin.

Taustapeilin 2k ei tarvitse olla optisesti korkeatasoinen. Oleellista on, että sen pinnan suoruus ja ta-15 saisuus vastaa haluttua mittaustarkkuutta. Optinen heijas-tuskerroin voi olla pienikin, esim. Ί0%. Korkeatasoinen peilipinta voi jopa aiheuttaa ongelmia, koska pinnan suunta on tällöin hyvin kriittinen.

Useampikertaiset heijastukset kalvon 20 sisällä 20 ja taustapeilin 2k ja kalvon välissä aiheuttavat korkeamman kertaluvun interferenssejä. Ne saattavat olla niin voimakkaita, että niitä ei voi eliminoida amplitudiarvon perusteella. Pitemmän optisen matkan vuoksi korkeamman kertaluvun interferenssi on helppo erottaa kalvon etu-25 ja takapinnan interferensseistä, mutta taustapeilin interferenssin paikan määritys voi sotkeentua.

Mikäli ilmaväli kalvon ja peilin välissä on suuruudeltaan n*d, on tilanne vaikea, koska tällöin taustapeilin interferenssi ja kalvon sisäisestä heijastuksesta 30 johtuva interferenssi osuvat päällekkäin. Tämän tilanteen välttämiseksi on syytä menetellä ohuiden ja paksujen kalvojen tapauksessa seuraavasti. Mikäli kalvo on yli 100 pm paksu, asetetaan kalvo mahdollisimman lähelle taustapeiliä, jolloin sallittu ilmaväli on suunnilleen sama kuin 35 kalvon paksuus. Tällöin taustapeilin aiheuttama, oleellisin interferenssi on helposti paikallistettavissa, 66690 koska se on matka-asteikolla kolmantena (takapinnan interferenssin jälkeen) ja joka tapauksessa taustapeilin referenssi-interferenssin jälkeen. Ohuiden kalvojen tapauksessa taas ilmaväli on syytä valita suureksi, 5 esim. 1+00 ym:ksi. Tämä arvo ei ole kriittinen, aivan hyvin voi käyttää arvoja 200 ja 600 ym:n väliltä. Ylärajan määrää interferometrin optiikan polttoväli, ts. mittauspisteen syvyyssuuntainen terävyys. Alarajalla taas voi tulla ongelmia korkeamman kertaluvun interferensseis-10 tä, joiden tulkinnassa voidaan erehtyä. Mikäli ilmaväli on mielekäs, on taustapeilin aiheuttama interferenssi ensimmäisenä ja todennäköisesti ainoana taustapeilin referenssimatkan jälkeen.

Monikerroksisissa muoveissa välikerrosten aiheut-15 tamat interferenssit näkyvät melko usein, tosin interferenssien amplitudi on pieni, mutta kuitenkin riittävä välikerrosten paksuuden mittaukseen. Se, että pienetkin heijastukset saadaan laitteella esiin, johtuu kiinteästä referenssisäteestä. Interferenssi-ilmaisindiodin ulostulo-20 signaali on verrannollinen referenssisäteen ja mitattavasta kohteesta heijastuneen säteen tuloon. Koska referenssi oli kiinteä, seuraa tästä suuri dynaaminen mittausalue, luokkaa 1:1000 heijatuskertoimen vaihteluna. Useimmissa muissa interferometreissä myös referenssisäde 25 heijastuu mitattavista pinnoista, jolloin dynaaminen alue supistuu huomattavasti, esim. arvoon 1:30.

Monikerroksisten muovien mittauksessa eivät väli-kerrokset siis aina joka kohdassa tule esiin. Tästä ei kuitenkaan ole suurta haittaa, koska muovikalvoa voidaan 30 liikuttaa tai se liikkuu, jolloin mittauksen kannalta edullisia kohtia tulee säännöllisesti esiin. Tuloksena on tällöin saatavissa välikerrosten keskimääräinen paksuus. Monikerroksisten muovien mittausetäisyyden suhteen pätee sama kuin yksikerroksisten muovien mittausetäisyy-35 den suhteen.

9 66690

Laitteen käytännöllisessä toteutuksessa täytyy mittauselektroniikalle antaa tieto tutkittavan pinnan, muovikalvon tm. laadusta ja karkea tieto odotettavissa olevasta paksuudesta tai pinnankorkeudenvaihtelusta.

5 Odotettavissa olevien interferenssien minimilukumäärä on sopiva tieto osoittamaan toimintamuodon (mode). Mitattaessa läpinäkymättömien pintojen profiilia on odotettavissa vain yksi interferenssi,ja vastaava toimintamuoto on "mode 1". Mikäli läpinäkymättömän aineen 10 päällä on läpinäkyvä kalvo, on odotettavissa kaksi interferenssiä, yksi kalvon kummastakin pinnasta. Vastaava toimintamuoto on "mode 2".

Yksikerroksisilla muovikalvoilla on vastaavasti odotettavissa kolme interferenssiä mahdollisen korkeam-15 man kertaluvun interferenssien 1 isäksi , toimintamuoto on "mode: 3". Monikerroksisilla kalvoilla on odotettavissa vähintään k oleellista interferenssiä, toimintamuoto on "mode h". Mikäli havaittujen interferenssien määrä ei vastaa annettua, laite varoittaa käyttäjää kehottamal-20 ia tarkistamaan moden tai näytteen.

Jakamalla mittaus eri toimintamuotoihin ja valitsemalla mittausetäisyys karkean paksuustiedon mukaisesti voidaan tietojenkäsittelyohjelma saada toimintavarmaksi ja yksinkertaiseksi. Odotettavissa oleva interferenssien 25 määrä ja paikka on siis laitteelle sisäisesti määritetty ennen mittauksien alkua.

Claims (8)

1. 6 6 6 9 0 10 Patenttivaatimukset :
2. 1. Menetelmä pienten matkojen, esim. päällekkäisten kalvojen paksuuden mittaamiseksi epäkoherenttia 5 valoa käyttävällä interferometrillä, jossa epäkoherent-ti valonsäde lähetetään säteenjakajan (2) kautta toisaalta kohteeseen (*0 , jonka sijainti on määrättävä ja toisaalta vertailulaitteeseen (3)» j® kohteesta samoin kuin vertailulaitteesta heijastuneet valonsäteet vastaan-10 otetaan interferenssi-ilmaisimella (5), joka havaitsee interferenssin, kun vertailulaitteen (3) ja kohteen (*0 matkat säteenjakajaan (2) ovat yhtä suuret, jolloin ver-tailumatkaa säädetään jaksollisesti automaattisella mekanismilla, interferenssiä tarkkaillaan elektronisella 15 interferenssi-ilmaisimella, tunnettu siitä, että interferenssihetkellä luetaan vertailulaitteen (3) tai mitattavan kohteen (*0 asento automaattisen mekanismin yhteydessä olevasta asentoanturista tai vastaavasta, ja vertailumatkaa säädetään vakionopeudella yli koko 20 mittausalueen.
3. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, jota käytetään ainakin yksikerroksisen kalvon paksuuden mittaamiseksi, tunnettu siitä, että mitattava muovikalvo (20) sijoitetaan peilin (2*0 eteen, mittaustu- 25 los saadaan muovikalvon (20) aiheuttamasta peili-inter ferenssin siirtymästä ja peilin (2*0 etäisyys muovikalvosta (20) valitaan kalvon (20) likimääräisen paksuuden funktiona.
4. 3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, 30 tunnettu siitä, että interferenssin havaitsemi nen suoritetaan ensin karkeasti interferenssin verhokäy-rän ja sitten tarkasti nollany1itysilmais imen avulla. *+. Epäkoherenttia valoa käyttävä, pienten matkojen mittauksiin tarkoitettu interferometri, johon kuu-35 luu epäkoherentt ia valoa lähettävä valonlähde (O, sä- 66690 teenjakaja (2) valonsäteen jakamiseksi lähteestä toisaalta vertailulaitteeseen (3) ja toisaalta mitattavaan kohteeseen (lt), interferenssi-ilmaisin (5) vertailulait-teesta (3) ja kohteesta (k) tulevien heijastuneiden va-5 lonsäteiden vastaanottamiseksi, sekä elimet (13, 1*0 ver-tailulaitteen (3) aseman säätämiseksi, jolloin mainitut elimet vertailulaitteen (3) aseman säätämiseksi käsittävät jaksollisesti toimivan automaattisen mekanismin (13, 14), tunnettu siitä, että tämä mekanismi 10 (13, 1¾) on sovitettu saamaan aikaan vertailumatkan jak sollinen muutos vakionopeudella yli koko mittausalueen, että interferenssi-ilmaisin (3) on siten kytketty mainittuun automaattiseen mekanismiin (13, 1**), että inter-ferenssihetkellä voidaan lukea mekanismin asento ja sen 15 mukana myös vertailumatka.
5. 5. Patenttivaatimuksen U mukainen interferometri , tunnettu siitä, että automaattinen mekanismi on johdinkäämillä varustettu sähkömekaaninen laite (13), esimerkiksi kaiutinkoneisto, jonka kalvoon on kiinni-20 tetty peili.
6. 6. Patenttivaatimuksen k mukainen interferometri , tunnettu siitä, että käämiin on kytketty jaksollista, muutosnopeudeltaan vakiosuuruista kolmiojänni-tettä syöttävä piiri (14).
7. 7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen interferometri , tunnettu elimistä ilmaisimelta (5) saadun signaalin johtamiseksi mahdollisen vahvistimen (6) kautta kaistanpäästösuodattimeen (7), jonka jälkeen on kytketty tasasuuntaaja (8) sekä alipäästösuodatin (9) verho-30 käyräpulssin aikaansaamiseksi.
8. 8. Jonkin patenttivaatimuksen ä - 7 mukainen interf erometri, t u n n e t tu siitä, että se käsittää näytteenotto- ja pitopiirin (>5) automaattisen mekanismin (13,1 1U) asentoon verrannollisen sähkösuureen tal-35 lentämiseksi interferenssihetkellä. 12 66690