FI58402C - FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT - Google Patents
FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT Download PDFInfo
- Publication number
- FI58402C FI58402C FI773680A FI773680A FI58402C FI 58402 C FI58402 C FI 58402C FI 773680 A FI773680 A FI 773680A FI 773680 A FI773680 A FI 773680A FI 58402 C FI58402 C FI 58402C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- sensor
- humidity
- equipment
- heating
- electrical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
.. KUULUTUSjULKAlSU CQA no ™ <11) UTLÄGGNI NCSSKRIFT 5 84 0 2 c Patentti ayunnetty 12 OI 1081 • inli (45) ' 1 Patent aeddelat ^ * ' (51) Kv.ik.Wa3 G 01 IT 27/22 SUOMI —FINLAND (21) P*»n«rh«lwtm» — P«wt»n«6knlii| TT3680.. NOTICE OF PUBLICATION CQA no ™ <11) UTLÄGGNI NCSSKRIFT 5 84 0 2 c Patent filed 12 OI 1081 • inli (45) '1 Patent aeddelat ^ *' (51) Kv.ik.Wa3 G 01 IT 27/22 FINLAND —FINLAND (21) P * »n« rh «lwtm» - P «wt» n «6knlii | TT3680
(22) HtkwnltpUvl—Amdknlngad«| 02.12. TT(22) HtkwnltpUvl — Amdknlngad «| 02.12. TT
(23) Alkuplivl— QIMth«c«d»| 02.12.77 (41) Tullut JulklMlul — Bllvlt 03.06.79 PMMttl. J* r.kl.t«rlh*IIItu. NihtMtoip™ |. kuuUjulk^ pvm.- P»tant> oeh r*gi>t«ntyr*la«n 7 AiwMcm uti*|d och utukriftM puMiMnd 30.09.80 (32)(33)(31) pyydetty «tuelkuu»—Begird pdoHtut (71) Vaisala Oy, 00U20 Helsinki U2, Suomi-Finland(Fl) (72) Veijo Antikainen, Vantaa, Jouko Jalava, Klaukkala, Eero Salasmaa,(23) Alkuplivl— QIMth «c« d »| 02.12.77 (41) Tullut JulklMlul - Bllvlt 03.06.79 PMMttl. J * r.kl.t «rlh * IIItu. NihtMtoip ™ |. kuUjulk ^ pvm.- P »tant> oeh r * gi> t« ntyr * la «n 7 AiwMcm uti * | d och utukriftM puMiMnd 30.09.80 (32) (33) (31) requested« tuelkuu »—Begird pdoHtut ( 71) Vaisala Oy, 00U20 Helsinki U2, Finland-Finland (Fl) (72) Veijo Antikainen, Vantaa, Jouko Jalava, Klaukkala, Eero Salasmaa,
Helsinki, Suomi-Finland(FI) (7^) Forssan & Salomaa Oy (5*0 Menetelmä sähköisen kosteusanturin ei-haluttujen ominaisuuksien pienentämiseksi - Förfarande för nedsättning av icke önskvärda egenska-, per hos en elektrisk fuktighetsgivareHelsinki, Suomi-Finland (FI) (7 ^) Forssan & Salomaa Oy (5 * 0 Method for reducing the undesired properties of an electronic humidity sensor - Förfarande för nedsättning av icke önskvärda egenska-, per hos en elektrisk fuktighetsgivare
Keksinnön kohteena on menetelmä sähköisen, impedanssin muutokseen perustuvan, kosteusanturin palautuvien muutosten aiheuttamisen ei-haluttujen ominaisuuksien pienentämiseksi, etenkin kapasitiivisessa kosteusanturissa, jonka kosteudelle herkkänä materiaalina on orgaaninen polymeeri, jonka kosteusanturin kosteudelle herkkää materiaalia lämmitetään, ainakin suuremmilla suhteellisilla kosteuksilla, kosteusanturin ympäristön lämpötilaa suurempaan lämpötilaan.The invention relates to a method for reducing the undesirable properties of causing an electrical impedance change-based humidity sensor, in particular in a capacitive humidity sensor, the moisture-sensitive material being an organic polymer, the moisture-sensitive material of which is heated at higher ambient temperatures, at least at higher relative temperatures.
Ennestään tunnetaan useita erilaisia sähköisesti ilmaistuja kosteusantureita, joiden impedanssi muuttuu mitattavan kosteuden funktiona. Tällaisia kosteusantu-reita tunnetaan esim. USA-patenteista n:ot 3 168 829 ja 3 350 941 sekä hakijan suomalaisesta patentista n:o 48 229.Several different electrically expressed humidity sensors are already known, the impedance of which changes as a function of the measured humidity. Such humidity sensors are known, for example, from U.S. Patents Nos. 3,168,829 and 3,350,941 and the applicant's Finnish Patent No. 48,229.
Suomalaisessa patentissa n:o 48 229 on esitetty kapasitiivinen kosteusanturi, jossa dielektrisena aineena on poIymeerika Ivo, jonka dieIektrisyysvakio on poly-merikalvon absorboiman vesimäärän funktio. Edellä esitetyissä ja muissakin impedanssin muutokseen perustuvissa kosteusantureissa esiintyy ei-toivuttuja ilmiöitä, etenkin suuria kosteuspitoisuuksia mitattaessa. Tällaisia ilmiöitä ovat mm. anturin hidas ryömiminen, joka voi aiheutua useista eri tekijöistä. Yleisesti on kuitenkin tällöin kysymys palautuvista ilmiöistä, joiden entistä parempaan hallintaan keksinnöllä tähdätään tarkoituksena entistä suuremman anturin nopeuden 2 58402 aikaansaaminen ja mittaustarkkuuden parantaminen, etenkin suurilla esim. yli 90 %:n suhteellisilla kosteuksilla.Finnish patent No. 48,229 discloses a capacitive humidity sensor in which the dielectric material is a polymeric ion whose dielectric constant is a function of the amount of water absorbed by the polymer film. Undesirable phenomena occur in the above-mentioned and other impedance-based humidity sensors, especially when measuring high humidity concentrations. Such phenomena include e.g. slow creep of the sensor, which can be caused by several different factors. In general, however, this is a reversible phenomenon, which the invention aims to better control in order to achieve an even higher sensor speed 2 58402 and to improve the measurement accuracy, especially at high relative humidities, e.g. above 90%.
Esillä olevaan keksintöön liittyvän tekniikan tason osalta viitataan GB-patentti-julkaisuun n:o I 401 172, jossa on hygrometri, jossa kosteudelle herkäksi materiaaliksi on ilmoitettu alumiinioksidi. Tämän viitepatentin mukaisesti kosteudelle herkän elementin lämpötilaa pidetään vakiona.With regard to the state of the art related to the present invention, reference is made to GB Patent Publication No. I 401 172, which has a hygrometer in which alumina is indicated as a moisture-sensitive material. According to this reference patent, the temperature of the moisture-sensitive element is kept constant.
Edellä esitettyihin ja myöhemmin selviäviin päämääriin pääsemiseksi keksinnölle on pääasiallisesti tunnusomaista se, että anturin lämmitystehoa säädetään mitattavan kosteuden funktiona.In order to achieve the above and later objects, the invention is mainly characterized in that the heating power of the sensor is adjusted as a function of the humidity to be measured.
Seuraavassa keksintöä selostetaan yksityiskohtaisesti viittaamalla oheisen piirustuksen kuvioissa kaavi o 11isesti esitettyyn keksinnön sovellutusesimerkkiin, jonka kohteena on kapasitiivinen kosteusanturi, jossa kosteudelle herkkänä aineena on orgaaninen polymeeri. On kuitenkin tässä yhteydessä korostettava, että keksinnön mukainen menetelmä soveltuu käytettäväksi muunkin tyyppisissä kosteusantureissa, joissa tarvitaan edellä käsiteltyjen ja myöhemmin selviävien haitallisten ilmiöiden entistä parempaa hallintaa.The invention will now be described in detail with reference to an embodiment of the invention shown schematically in the figures of the accompanying drawing, which relates to a capacitive humidity sensor in which the moisture-sensitive substance is an organic polymer. In this connection, however, it must be emphasized that the method according to the invention is suitable for use in other types of humidity sensors, in which better control of the harmful phenomena discussed above and subsequently resolved is required.
Kuvio I esittää kaaviollisena kuvantona, osittain lohkokaaviona, keksinnön menetelmän erästä sovellutusta.Figure I shows a schematic view, partly in block diagram form, of an embodiment of the method of the invention.
Kuvio 2 esittää leikkausta ll-ll kuvion I varsinaisesta kosteusanturista.Figure 2 shows a section II-II of the actual humidity sensor of Figure I.
Kuvioissa I ja 2 esitetty kosteusanturi on sinänsä tunnettu hakijan suomalaisesta patentista n:o 48 229. Anturin 10 pohjana on veden absorption suhteen passiivinen tukialusta II, kuten lasilevy. TukiaIustalle II on tehty ohutkalvo-tekniikasta tunnetulla tavalla metalloimalla pohjakontakti 12, Joihin on kiinnitetty juotoksi Ma 16 kontakti johti met 21, joista kapasitanssia mitataan ja ilmaistaan laitteella, joita kuviossa I on kaavioi Iisesti esitetty lohkoilla 20 ja 22. Anturissa 10 on aktiivisena aineena ohut esim. paksuudeltaan n. 10 um suuruusluokkaa oleva polymeeri ka Ivo 13. PolymeerikaI von 13 päälle on tyhjöhöyrys-tetty, sputrattu tai kemiallisesti muodostettu ohut vesihöyryä läpäisevä pinta kontakti 14, joka ei ole galvaanisessa kosketuksessa kumpaankaan pohjakontakti in 12. Näin muodostuu mitattava kapasitanssi alueella d ja e (kuvio 2) pöhjakontaktien 12 ja pintakontaktin 14 välille syntyvien kapasitanssien sarja-kytkennästä.The humidity sensor shown in Figures I and 2 is known per se from the applicant's Finnish patent No. 48 229. The sensor 10 is based on a water-passive support substrate II, such as a glass plate. The support substrate II is made in a manner known from the thin film technique by metallizing the base contact 12, to which the contact conductors 21 are attached for soldering Ma 16, the capacitance of which is measured and indicated by the device schematically shown in Fig. I in blocks 20 and 22. A thin water vapor permeable surface contact 14 which is not galvanically in contact with each of the bottom contacts 12 is formed on top of the polymer well. e (Fig. 2) of the series connection of the capacitances generated between the base contacts 12 and the surface contact 14.
VesimolokyyI ien absorboituessa kalvon 13 kosteusherkkään materiaaliin tapahtuu 3 58402 veden sitoutumista kahteen eri ilmiöön perustuen. Toinen sitoutuminen tapahtuu mo IekyIäärise IIä tasolla antaen nopean ja yleensä lineaarisen vasteen kapasitanssin muutoksen muodossa. Toisena ilmiönä on hyvin kosteissa olosuhteissa yleensä n. 90 % suuremmilla suhteellisilla kosteuksilla ilmenevä ns. turpoamisefekti, jossa kalvon 13 kosteusherkkään materiaaliin sitoutuu vettä ikäänkuin taskuihin. Tämä ilmiö on luonteeltaan huomattavasti hitaampi kuin edellä selostettu ilmiö ja sen aiheuttamana epäkohtana on anturin ryömiminen suuria kosteuksia mitattaessa. Seurauksena on myös anturikapasitanssi n Q-arvon (tehokertoimen) huononeminen, mitä tämän keksinnön eräissä sovellutus-muodoissa käytetään aktiivisesti hyväksi esillä olevien ei-toivottujen ilmiöiden haitallisten vaikutusten pienentämiseen myöhemmin selviävällä tavalla.As the water molecules are absorbed into the moisture-sensitive material of the film 13, 3,5402 of water binds based on two different phenomena. The second binding occurs at the molecular level, giving a rapid and generally linear response in the form of a change in capacitance. Another phenomenon is, in very humid conditions, usually the so-called. a swelling effect in which water binds to the moisture-sensitive material of the film 13 as if in pockets. This phenomenon is considerably slower in nature than the phenomenon described above and has the disadvantage of creeping the sensor when measuring high humidity. It also results in a deterioration of the Q value (power factor) of the sensor capacitance n, which in some embodiments of the present invention is actively utilized to reduce the adverse effects of the present undesirable phenomena in a manner that will become apparent later.
Kuvion I mukaisesti mittausanturiin syötetään kontakti johtimien 21 kautta sopivan taajuinen mittausvirta 1 ja tämän virran suuruutta käytetään anturilla 10 mitattavan kosteuden perustana. Edellä selostetuista syistä johtuen etenkin suurilla kosteusarvoiI la kontakteista 16 näkyvä impedanssi ZM ei ole puhdas kapasitanssi, vaan sillä on tietty resist!ivinen komponentti niin, että voidaan merkitä mitattava kapasitanssi = Rq + j^-q- (sijaiskyt-kentänä resistanssin ja kapasitanssiin sarjakytkentä), missä Rq edustaa dielektrisen polymeerin häviövastusta ja CM mitattavan impedanssin kapasitiivista komponenttia. Suurilla kosteuksilla selostetun turpoamisefektin vaikutuksesta häviövastuskomponentti Rq kasvaa ja tällöin kondensaattorin resistiivisessä komponentissa R syntyvä, anturia lämmittävä häviÖteho= 2 0 W = I R , missä I = mittausvirran teholIisarvo.According to Fig. I, a measuring current 1 of a suitable frequency is supplied to the measuring sensor via contact wires 21 and the magnitude of this current is used as a basis for the humidity to be measured by the sensor 10. For the reasons described above, the impedance ZM visible especially at the high humidity contacts 16 is not a pure capacitance, but has a certain resistive component so that the capacitance to be measured = Rq + j ^ -q- (series connection of resistance and capacitance as a substitute field) , where Rq represents the loss resistance of the dielectric polymer and CM the capacitive component of the impedance to be measured. As a result of the swelling effect described at high humidities, the loss resistance component Rq increases and then the loss power heating the sensor in the resistive component R of the capacitor R = 2 0 W = I R, where I = the power value of the measured current.
oo
Keksinnön mukaisesti tapahtuva anturin lämmittäminen voidaan ajatella vaikuttavan joko siten, että haitallinen anturiin imeytynyt kosteus poistuu kosteudelle herkästä aineesta nopeammin lämpötilan noustessa ja/tai siten, että jonkun verran ympäristön lämpötilaa korkeammassa lämpötilassa oleva anturi lämmittää sitä välittömästi ympäröivän Ϊ Imaker-roksen, jolloin rajapinnassa olevan ilman suhteellinen kosteus ei pääse nousemaan anturin toiminnan kannalta haitallisen suuriin arvoihin.The heating of the sensor according to the invention can be thought to act either in such a way that the harmful moisture absorbed by the sensor is removed from the moisture-sensitive substance faster as the temperature rises and / or in such a way that the sensor immediately heats the surrounding Ϊ Imaker layer. the relative humidity must not rise to values which are detrimental to the operation of the sensor.
Kuvion I mukaisesti anturin 10 eristeainekerroksen 13 lämmittäminen tapahtuu anturiin itseensä johdetulla sähkövirralla I, joka on sama kuin anturin oma mittausvirta, ja aiheuttamalla häviöitä mittauskapasitanssln dielektrisessä materiaalissa, siis kerroksessa 13. Käytännössä kyseinen lämmittäminen tapahtuu kuvion I mukaisesti siten, että anturin 10 syöttöjännite 4 58402 U nostetaan keksinnön menetelmän kannalta sopivan suuruiselle tasolle.According to Fig. I, the insulating layer 13 of the sensor 10 is heated by an electric current I introduced into the sensor itself, which is the same as the sensor's own measuring current, and by causing losses in the measuring capacitance dielectric material, i.e. layer 13. In practice raised to a level suitable for the method of the invention.
Tässä keksinnön sovelIutusmuodossa on etuna se, että anturi 10 itsesäätöises-ti lämpenee enemmän suurilla kosteuksilla (verraten suuri häviövastus R ) ja lämpeneminen kuten häviötkin ovat pienempiä alemmilla kosteuksilla, jolloin lämmittämistä ei tarvitakaan. Näin ollen pienemmillä kosteuksilla keksinnön mukainen lämmittäminen ei aiheuta merkittävää virhettä tai korjaustarvetta kosteusmittauksessa.In this embodiment of the invention, the advantage is that the sensor 10 self-regulates heats up more at high humidity (relatively high loss resistance R) and the heating, like the losses, is lower at lower humidities, so that heating is not required. Thus, heating at lower humidities according to the invention does not cause a significant error or need for correction in the humidity measurement.
Kuvion I mukaisesti on keksintöä sovellettu niin, että eristeainekerroksen 13 yhteyteen sovitetulla lämpötila-anturilla 15 mitataan dielektrisen materiaalin lämpötilaa Ts ja tätä mittausta käytetään sopivalla tavalla hyväksi (yhde 18) eristeainekerroksen 13 lämmityksessä. Käytännössä tämä tapahtuu niin, että lämpötilan T perusteella säädetään syöttöjännitettä U käytännössä sopivaksi havaitun riippuvuuden mukaisesti.According to FIG. In practice, this is done by adjusting the supply voltage U on the basis of the temperature T according to the dependence found to be practically suitable.
Kuvion I mukaisesti lisäksi mitataan anturin 10 ympäristön lämpötila TQ mittausanturilla 17 ja tämä mittaustieto johdetaan mittauslaitteisiin 20 ja käytetään sopivalla tavalla hyväksi anturin 10 lämmityksen säädössä.According to Fig. I, the ambient temperature TQ of the sensor 10 is further measured by the measuring sensor 17, and this measurement information is fed to the measuring devices 20 and utilized in a suitable manner for controlling the heating of the sensor 10.
- Kuviossa I on suhteellisen kosteuden (RH) osoitus laitetta esitetty lohkolla 22.- Figure I shows the relative humidity (RH) indication of the device in block 22.
Keksinnön piirissä pysyen voidaan anturia 10 tai muuta vastaavaa anturia lämmittää muutenkin kuin anturin omalla mittausvirralla. Lämmitys voidaan suorittaa esim. siten, että anturin 10 substraatin II päälle tehdään esim. metal I o i ma I I a erityinen lämmitysvastus, Johon johdetaan sähkövirta sopivimmin muiden suureiden mukaan suuruudeltaan säädetty sähkövirta.Within the scope of the invention, the sensor 10 or another similar sensor can be heated other than by the sensor's own measuring current. The heating can be carried out, for example, by applying a special heating resistor to the substrate II of the sensor 10, e.g.
Lämmitys voidaan suorittaa myös muuliakin anturin yhteyteen sovitetulla Iämmityselimellä tai jopa ulkopuolisella säteilylähteellä.Heating can also be performed with a heating element connected to the sensor or even with an external radiation source.
Lämmitysenergian säätöön voidaan käyttää kuten edellä on selvinnyt itse kosteusanturin antamaa kosteus informaatiota. Lisäksi lämmityksen säätöön voidaan käyttää edellä mainittujen lämpötilojen Ts ja Tq sisältävää informaatiota, esim. niin että suurilla, kuten yli 90 /6:n suhteellisilla kosteuksilla mittaustulosta korjataan lämpötilaeron ΔΤ = Tg - Tq verrannollisella signaaliI la.As stated above, the humidity information provided by the humidity sensor itself can be used to control the heating energy. In addition, information containing the above-mentioned temperatures Ts and Tq can be used for heating control, e.g. so that at high relative humidities, such as more than 90/6, the measurement result is corrected by a signal I la proportional to the temperature difference ΔΤ = Tg - Tq.
Eräissä sovellutuksissa on edullista, että keksinnön mukainen lämmitys kytketään pois kosteuden mittaamisen ajaksi sen ollessa kytkettynä muinaIn some applications, it is advantageous for the heating according to the invention to be switched off during the measurement of humidity when it is connected to other
Claims (4)
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (en) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT |
| ZA786573A ZA786573B (en) | 1977-12-02 | 1978-11-22 | A procedure for minimizing the non-desired properties of a humidity sensor |
| FR7833753A FR2410821A1 (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | PROCESS FOR MINIMIZING THE ADVERSE PROPERTIES OF A HUMIDITY DETECTOR |
| GB7846486A GB2011093A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | A humidity sensor |
| AU42033/78A AU4203378A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | Minimizing the non-desired properties of a humidity sensor |
| DE2851686A DE2851686C2 (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | Method for determining the relative humidity of gases |
| JP14730878A JPS5494090A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-30 | Method of minimizing undesirable characteristics of humidity sensor |
| IT30461/78A IT1100442B (en) | 1977-12-02 | 1978-12-01 | PROCEDURE TO MINIMIZE UNWANTED PROPERTIES OF A HUMIDITY DETECTOR |
| BR7807935A BR7807935A (en) | 1977-12-02 | 1978-12-01 | PROCESS FOR MINIMIZING THE UNDESIRABLE PROPERTIES OF A UNIT SENSOR |
| JP61165684A JPS6263852A (en) | 1977-12-02 | 1986-07-16 | Capacity type humidity sensor compensating temperature |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (en) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT |
| FI773680 | 1977-12-02 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI773680A FI773680A (en) | 1979-06-03 |
| FI58402B FI58402B (en) | 1980-09-30 |
| FI58402C true FI58402C (en) | 1981-01-12 |
Family
ID=8511289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (en) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5494090A (en) |
| AU (1) | AU4203378A (en) |
| BR (1) | BR7807935A (en) |
| DE (1) | DE2851686C2 (en) |
| FI (1) | FI58402C (en) |
| FR (1) | FR2410821A1 (en) |
| GB (1) | GB2011093A (en) |
| IT (1) | IT1100442B (en) |
| ZA (1) | ZA786573B (en) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI58403C (en) * | 1979-03-29 | 1981-01-12 | Vaisala Oy | ADJUSTMENT OF FUNCTIONS |
| JPS5667742A (en) * | 1979-10-26 | 1981-06-08 | Kaelle Eur Control | Apparatus for and method of separately providing conductivity* dielectric coefficient and measured value of water content of granular material |
| US4352059A (en) * | 1980-06-13 | 1982-09-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Determination of moisture level in materials |
| DE3513065C1 (en) * | 1985-04-12 | 1986-01-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Probe for measuring the relative humidity of the air without hysteresis |
| EP0317871A3 (en) * | 1987-11-24 | 1991-03-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Probe for detecting gases |
| FI82554C (en) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Calibration procedure for measuring the relative content of gas or steam |
| FI95626C (en) * | 1993-09-29 | 1996-02-26 | Vaisala Oy | Procedure and arrangement for measuring humidity, especially in radio probes |
| FI99164C (en) * | 1994-04-15 | 1997-10-10 | Vaisala Oy | Method for measuring the dew point or gas content and equipment for predicting freezing |
| DE9421962U1 (en) * | 1994-07-28 | 1997-05-28 | Vdo Schindling | Moisture sensor for a window pane of a motor vehicle |
| AT1469U1 (en) * | 1996-04-10 | 1997-05-26 | E & E Elektronik Gmbh | METHOD FOR DETERMINING ABSOLUTE HUMIDITY |
| DE19729697C1 (en) * | 1997-07-11 | 1999-02-11 | Mannesmann Vdo Ag | Arrangement for determining the relative humidity |
| DE19953195A1 (en) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Preh Elektro Feinmechanik | Sensor to detect moisture, for commercial vehicle brake system; has printed circuit board with two tracks at different voltages, which are connected, short-circuited or interrupted by moisture |
| DE10019551A1 (en) * | 2000-04-20 | 2001-10-25 | Elk Ges Fuer Erstellung Layout | Method and device for determining the relative humidity in air / gas mixtures |
| DE10051558C2 (en) | 2000-10-18 | 2003-04-17 | Sitronic Elektrotech Ausruest | Sensor unit with an air humidity sensor and with an air temperature sensor |
| DE10141408B4 (en) * | 2001-08-23 | 2005-03-24 | Knick Elektronische Meßgeräte GmbH & Co. | Method for determining the calibration interval time of electrochemical measuring sensors |
| DE10335553A1 (en) * | 2003-08-02 | 2005-02-17 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Method and arrangement for moisture measurement |
| JP2016509226A (en) * | 2013-02-22 | 2016-03-24 | ヴァイサラ オーワイジェー | Radiosonde and atmospheric measurement methods performed at high temperatures |
| WO2014191619A1 (en) | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Vaisala Oyj | A dual gas sensor structure and measurement method |
| DE102017210064A1 (en) | 2017-06-14 | 2018-12-20 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Method for operating a sensor arrangement and suitable sensor arrangement for this purpose |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB557613A (en) * | 1940-05-03 | 1943-11-29 | British Thomson Houston Co Ltd | Improved arrangement for the indication of atmospheric moisture |
| US3350941A (en) * | 1965-05-20 | 1967-11-07 | Johnson Service Co | Humidity sensing element |
| FI48229C (en) * | 1972-10-12 | 1974-07-10 | Vaisala Oy | Capacitive humidity sensor and manufacturing process for the same. |
| JPS5434628Y2 (en) * | 1973-06-06 | 1979-10-23 | ||
| US3983527A (en) * | 1973-08-14 | 1976-09-28 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Humidity-sensitive sensor |
| US3859502A (en) * | 1974-02-11 | 1975-01-07 | Anthony S Mfg Co | Defrosting system for refrigerator doors |
-
1977
- 1977-12-02 FI FI773680A patent/FI58402C/en not_active IP Right Cessation
-
1978
- 1978-11-22 ZA ZA786573A patent/ZA786573B/en unknown
- 1978-11-29 AU AU42033/78A patent/AU4203378A/en active Pending
- 1978-11-29 DE DE2851686A patent/DE2851686C2/en not_active Expired
- 1978-11-29 GB GB7846486A patent/GB2011093A/en not_active Withdrawn
- 1978-11-29 FR FR7833753A patent/FR2410821A1/en active Granted
- 1978-11-30 JP JP14730878A patent/JPS5494090A/en active Granted
- 1978-12-01 BR BR7807935A patent/BR7807935A/en unknown
- 1978-12-01 IT IT30461/78A patent/IT1100442B/en active
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61165684A patent/JPS6263852A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0151771B2 (en) | 1989-11-06 |
| JPS5494090A (en) | 1979-07-25 |
| AU4203378A (en) | 1979-06-07 |
| JPS6263852A (en) | 1987-03-20 |
| FR2410821B1 (en) | 1984-04-20 |
| IT1100442B (en) | 1985-09-28 |
| FI773680A (en) | 1979-06-03 |
| IT7830461A0 (en) | 1978-12-01 |
| ZA786573B (en) | 1980-03-26 |
| FI58402B (en) | 1980-09-30 |
| GB2011093A (en) | 1979-07-04 |
| FR2410821A1 (en) | 1979-06-29 |
| BR7807935A (en) | 1979-07-31 |
| DE2851686C2 (en) | 1981-10-01 |
| JPH0340334B2 (en) | 1991-06-18 |
| DE2851686A1 (en) | 1979-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI58402C (en) | FARING EQUIPMENT WITHOUT ELECTRICAL EQUIPMENT HOS EN ELECTRICAL FUNCTIONAL EQUIPMENT | |
| FI96640B (en) | Method for measuring relative humidity, especially in radiosondes | |
| FI58403B (en) | ADJUSTMENT OF FUNCTIONS | |
| KR0157605B1 (en) | Capacitance humidity sensor | |
| US4164868A (en) | Capacitive humidity transducer | |
| KR100351810B1 (en) | absolute humidity sensor | |
| FI94556B (en) | hygrometer | |
| AU2007292328B2 (en) | Method and apparatus for controlling the sensitivity and value of a capacitive humidity sensor | |
| GB1464605A (en) | Humidity-sensitive sensor | |
| JP2005055431A5 (en) | ||
| US3703696A (en) | Humidity sensor | |
| Cha et al. | Preparation of epoxy/polyelectrolyte IPNs for flexible polyimide-based humidity sensors and their properties | |
| US5320730A (en) | Capillary electrophoresis apparatus with improved electroosmotic flow control | |
| US5619144A (en) | Detector and method for observation of the presence of a liquid and/or of a change of phase in same | |
| FI85770B (en) | RADIO CONNECTOR FITTINGS. | |
| AU736573B2 (en) | Liquid level sensor | |
| FI100739B (en) | Procedure for measuring the relative humidity, especially in radios and humidity sensors for applying the method | |
| KR102499009B1 (en) | Method for operating sensor assembly and sensor assembly suitable therefor | |
| JPS57139651A (en) | Humidity sensor | |
| SU1140025A1 (en) | Sorption pickup of air humidity | |
| ATE357832T1 (en) | THICK LAYER HEATING ELEMENT | |
| JP2719830B2 (en) | Moisture sensitive element | |
| KR100486497B1 (en) | Humidity sensor equipped with heater and manufacturing method thereof | |
| Zajt et al. | Electrical properties of polymer humidity sensor based on polyethyleneimine | |
| JPS59183356A (en) | Humidity sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed | ||
| MM | Patent lapsed |
Owner name: VAISALA OY |