FI126498B - Optinen mittausjärjestelmä - Google Patents

Optinen mittausjärjestelmä Download PDF

Info

Publication number
FI126498B
FI126498B FI20146152A FI20146152A FI126498B FI 126498 B FI126498 B FI 126498B FI 20146152 A FI20146152 A FI 20146152A FI 20146152 A FI20146152 A FI 20146152A FI 126498 B FI126498 B FI 126498B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
region
image
illuminated
camera
arrangement according
Prior art date
Application number
FI20146152A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20146152A (fi
Inventor
Petri Lehtonen
Christer Holmlund
Original Assignee
Helmee Imaging Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Helmee Imaging Oy filed Critical Helmee Imaging Oy
Priority to FI20146152A priority Critical patent/FI126498B/fi
Priority to PCT/FI2015/050873 priority patent/WO2016107969A1/en
Priority to CN201580071630.0A priority patent/CN107407555A/zh
Priority to US15/540,500 priority patent/US20180003486A1/en
Priority to JP2017535701A priority patent/JP2018500576A/ja
Priority to EP15813474.2A priority patent/EP3240993B1/en
Publication of FI20146152A publication Critical patent/FI20146152A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI126498B publication Critical patent/FI126498B/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2513—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829—Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Claims (15)

1. Optisen mittauslaitteen järjestely, joka laite käsittää ainakin yhden kuvalähteen (1) peräkkäisten kuvien (4, 4’, 4") tuottamiseksi kohteen (106, 300) pinnalle, kameran (8) kuvien ottamiseksi pinnasta ja prosessoriyksikön (111) kameran kuvien vertaamiseksi mainittuihin kuviin, tunnettu siitä, että järjestely käsittää ensimmäisen alueen (2) ja toisen alueen (3) kuvissa (4, 4', 4"), jolloin ensimmäinen (2) ja toinen (3) alue ovat valaistuina vuorottelevissa kuvissa niin, että kun ensimmäinen alue on valaistuna kuvassa, toinen alue ei ole valaistuna, ja toinen alue on valaistuna seuraavassa kuvassa, mutta ensimmäinen alue ei ole, jolloin järjestely käsittää lisäksi ainakin yhden kaksoisdetektorin (5) valaistun ensimmäisen alueen (2) ja valaistun toisen alueen (3) ilmaisemiseksi, käyttöyksikön (6) ainakin yhden kameran (8) laukaisemiseksi, jolloin käyttöyksikkö on järjestetty laukaisemaan kamera, jos kaksoisdetektori (5) osoittaa, että ensimmäisen alueen tila muuttuu ja että toisen alueen tila muuttuu.
2. Patentti vaati m uksen 1 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että kaksoisdetektori (5) käsittää kaksi valonilmaisinta (11, 12), joista ensimmäinen ilmaisin (11) on ensimmäisen alueen (2) valaisuthan ilmaisemista varten, ja toinen ilmaisin (12) on toisen alueen (3) valaisuthan ilmaisemista varten.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) on järjestetty vertaamaan ensimmäisen ilmaisimen/ensimmäisten ilmaisimien (11) indikaatioita ensimmäisestä alueesta/ensimmäisistä alueista (2) ja toisen ilmaisimen/toisten ilmaisimien (12) indikaatioita toisesta alueesta/toisista alueista (3) referenssi arvoon ensimmäisen alueen (2) ja toisen alueen (3) tilojen määrittämiseksi; ilmaisemaan ensimmäisen alueen ja toisen alueen tilojen muutokset; ja muodostamaan liipaisusignaali (162) kameraa/kameroita (8) varten vasteena tilojen ilmaistuihin muutoksiin
4. Patentti vaati m uksen 3 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) on lisäksi järjestetty modifioimaan liipaisusignaalia (162).
5. Patenttivaatimuksen 3 tai 4 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että kaksoisdetektori (5) on sijoitettu alueelle, jolle kuvalähde projisoi kuvan, tai kyseisen alueen ulkopuolelle, missä tapauksessa alueelle on sijoitettu peili (301) ensimmäisen (2) ja toisen (3) alueen heijastamiseksi kaksoisdetektoriin (5).
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että kaksoisdetektori n (5) ensimmäinen (11) ja toinen (12) ilmaisin ovat fotodiodeja tai fototransistoreita
7. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että kuvalähde (1) on projektori, TV tai mikä tahansa näyttö.
8. Jonkin patenttivaatimuksista 5 - 7 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että kuvalähteen (1) ja kohteen (106) välillä on diffuusio ja läpikuultava kupoli (102).
9. Jonkin patenttivaatimuksista 1 - 8 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että järjestely käsittää lisävaloilmaisimia (5).
10. Jonkin patenttivaatimuksista 3 - 9 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) käsittää operaatiovahvistimet (13), jotka on järjestetty vertaamaan ensimmäisen ilmaisimen/ensimmäisten ilmaisimien (11) indikaatioita ensimmäisestä alueesta/ensimmäisistä alueista (2) ja toisen ilmaisimen/toisten ilmaisimien (12) indikaatioita toisesta alueesta/toisista alueista (3) referenssiarvoon ensimmäisen alueen (2) ja toisen alueen (3) mainittujen tilojen määrittämiseksi, jotka vertailijat ovat kahdessa ryhmässä, joista ensimmäinen ryhmä on ensimmäisen alueen tiloja varten ja toinen ryhmä toisen alueen tiloja varten, jolloin kullakin ryhmällä on ainakin yksi operaatiovahvistin (13).
11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) käsittää logiikkapiirijärjestelyn (14, 15) ensimmäisen alueen (2) ja toisen alueen (3) tilojen muutosten ilmaisemiseksi.
12. Patenttivaatimuksen 10 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) käsittää operaatiovahvistinpiirijärjestelyn (100) ensimmäisen alueen ja toisen alueen tilojen muutosten ilmaisemiseksi.
13. Patenttivaatimuksen 10 tai 12 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että käyttöyksikkö (6) käsittää lisäpiirijärjestelyn (107) liipaisusignaalin (162) muodostamiseksi.
14. Menetelmä optista mittauslaitetta varten, joka laite käsittää ainakin yhden kuvalähteen peräkkäisten kuvien tuottamiseksi kohteen pinnalle, kameran kuvien ottamiseksi pinnasta ja prosessoriyksikön kameran kuvien vertaamiseksi mainittuihin kuviin, tunnettu siitä, että menetelmä käsittää seuraavat vaiheet: järjestetään (120) ensimmäinen alue ja toinen alue kuviin, jolloin ensimmäinen ja toinen alue ovat valaistuina vuorottelevissa kuvissa niin, että kun ensimmäinen alue on valaistuna kuvassa, toinen alue ei ole valaistuna, ja toinen alue on valaistuna seuraavassa kuvassa, mutta ensimmäinen alue ei ole, ilmaistaan (121) valaistu ensimmäinen alue ja valaistu toinen alue, indikoidaan (122), että ensimmäisen alueen tila muuttuu ja että toisen alueen tila muuttuu, vasteena ilmaisemiseen, ja laukaistaan (123) ainakin yksi kamera vasteena tilojen muutosten indikoimiseen.
15. Patenttivaatimuksen 14 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että indikoimisvaihe käsittää seuraavat vaiheet: verrataan ensimmäisen alueen/ensimmäisten alueiden ja toisen alueen/toisten alueiden indikaatioita referenssi arvoon ensimmäisen alueen ja toisen alueen tilojen määrittämiseksi; ilmaistaan ensimmäisen alueen ja toisen alueen tilojen muutokset.
FI20146152A 2014-12-29 2014-12-29 Optinen mittausjärjestelmä FI126498B (fi)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20146152A FI126498B (fi) 2014-12-29 2014-12-29 Optinen mittausjärjestelmä
PCT/FI2015/050873 WO2016107969A1 (en) 2014-12-29 2015-12-11 An arrangement of optical measurement
CN201580071630.0A CN107407555A (zh) 2014-12-29 2015-12-11 光学测量布置
US15/540,500 US20180003486A1 (en) 2014-12-29 2015-12-11 An arrangement of optical measurement
JP2017535701A JP2018500576A (ja) 2014-12-29 2015-12-11 光学測定の構成
EP15813474.2A EP3240993B1 (en) 2014-12-29 2015-12-11 An arrangement of optical measurement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20146152A FI126498B (fi) 2014-12-29 2014-12-29 Optinen mittausjärjestelmä

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20146152A FI20146152A (fi) 2016-06-30
FI126498B true FI126498B (fi) 2017-01-13

Family

ID=54937105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20146152A FI126498B (fi) 2014-12-29 2014-12-29 Optinen mittausjärjestelmä

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20180003486A1 (fi)
EP (1) EP3240993B1 (fi)
JP (1) JP2018500576A (fi)
CN (1) CN107407555A (fi)
FI (1) FI126498B (fi)
WO (1) WO2016107969A1 (fi)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7231432B2 (ja) * 2019-02-15 2023-03-01 株式会社キーエンス 画像処理装置
CN112213332A (zh) * 2019-07-12 2021-01-12 无锡先导智能装备股份有限公司 表面检测设备
FI130408B (fi) 2022-01-18 2023-08-17 Helmee Imaging Oy Järjestely ja vastaava menetelmä optisia mittauksia varten

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030067538A1 (en) * 2001-10-04 2003-04-10 Myers Kenneth J. System and method for three-dimensional data acquisition
US7830528B2 (en) * 2005-12-14 2010-11-09 Koh Young Technology, Inc. 3D image measuring apparatus and method thereof
JP5174684B2 (ja) * 2006-03-14 2013-04-03 プライムセンス リミテッド スペックル・パターンを用いた三次元検出
DE102006050379A1 (de) * 2006-10-25 2008-05-08 Norbert Prof. Dr. Link Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Raumvolumens sowie Kalibrierverfahren
DE102008006449A1 (de) * 2008-01-29 2009-07-30 Kaba Gallenschütz GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Raumvolumens
US20100259746A1 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Omron Corporation Profilometer
DE102009059794A1 (de) * 2009-12-21 2011-06-22 Siemens Aktiengesellschaft, 80333 Kamera-Projektor-System und ein Verfahren zum Auslösen einer Kamera
JP5170154B2 (ja) * 2010-04-26 2013-03-27 オムロン株式会社 形状計測装置およびキャリブレーション方法
JP5917116B2 (ja) * 2011-12-06 2016-05-11 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラム
FI125320B (fi) * 2012-01-05 2015-08-31 Helmee Imaging Oy Järjestely ja vastaava menetelmä optisia mittauksia varten
US9513113B2 (en) * 2012-10-29 2016-12-06 7D Surgical, Inc. Integrated illumination and optical surface topology detection system and methods of use thereof
JP6088855B2 (ja) * 2013-02-28 2017-03-01 モレックス エルエルシー 外観検査装置及び外観検査方法
KR102497704B1 (ko) * 2014-12-09 2023-02-09 바스프 에스이 광 검출기

Also Published As

Publication number Publication date
FI20146152A (fi) 2016-06-30
WO2016107969A1 (en) 2016-07-07
CN107407555A (zh) 2017-11-28
US20180003486A1 (en) 2018-01-04
JP2018500576A (ja) 2018-01-11
EP3240993A1 (en) 2017-11-08
EP3240993B1 (en) 2018-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6291418B2 (ja) 光学測定用配置および関連方法
JP5806808B2 (ja) 撮像光学検査装置
KR100777428B1 (ko) 화상처리 장치 및 방법
US8878929B2 (en) Three dimensional shape measurement apparatus and method
CN105372259B (zh) 测量装置、基板检查装置以及其控制方法、存储媒体
EP3240993B1 (en) An arrangement of optical measurement
TWI495867B (zh) Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method
JP6859628B2 (ja) 外観検査方法および外観検査装置
JP2018025439A (ja) 外観検査方法および外観検査装置
KR101739096B1 (ko) 디스플레이 패널 외관 검사 장치 및 그 검사 방법
JP2014240766A (ja) 表面検査方法および表面検査装置
CN101981411A (zh) 用于多工影像的撷取与处理的方法及设备
JP2008286646A (ja) 表面疵検査装置
CN110402386A (zh) 圆筒体表面检查装置及圆筒体表面检查方法
JP3935379B2 (ja) 欠陥の立体形状検出装置
CN111033566B (zh) 用于对航空零件进行无损检查的方法及其***
JP7159624B2 (ja) 表面性状検査方法及び表面性状検査装置
JP6508763B2 (ja) 表面検査装置
JP2006003168A (ja) 表面形状の測定方法およびその装置
US11816827B2 (en) User interface device for autonomous machine vision inspection
WO2023022117A1 (ja) ダスト計測装置、ダスト計測方法およびプログラム
KR101716269B1 (ko) 비전 선별 장치
JP6941350B2 (ja) 三次元形状推定システム、三次元形状推定装置、三次元形状推定方法及びプログラム
JP6333618B2 (ja) 撮像装置と操作パネル式情報端末とを組み合わせた穀粒判別システム
IL272752B2 (en) A user interface device for autonomous computer vision inspection

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 126498

Country of ref document: FI

Kind code of ref document: B