FI119794B

FI119794B - Sähköstaattinen muunnin, menetelmä sen liittämiseksi ja valmistusmenetelmä

Info

Publication number: FI119794B
Application number: FI20055197A
Authority: FI
Inventors: Kimmo Kynnoes
Original assignee: Panphonics Oy
Priority date: 2005-04-28
Filing date: 2005-04-28
Publication date: 2009-03-13
Also published as: JP2006311565A; EP1718107A3; US20060245607A1; FI20055197A; FI20055197A0; EP1718107A2

Description

Sähköstaattinen muunnin, menetelmä sen liittämiseksi ja valmistusmenetelmä

Keksinnön ala

Keksinnön kohteena on sähköstaattinen muunnin, joka käsittää 5 ainakin yhden staattorin, joka käsittää eristekerroksen ja johtavan kerroksen, kalvoelementin, joka on järjestetty värähtelemään vasteena siihen syötetylle jännitteelle ja sovitettu siten, että johtavan kerroksen ja kalvoelementin väliin muodostuu ilmarako.

Edelleen keksinnön kohteena on menetelmä sähköstaattisen 10 muuntimen liittämiseksi toiseen sähköstaattiseen muuntimeen, joka sähköstaattinen muunnin käsittää ainakin yhden staattorin, joka käsittää eriste-kerroksen ja johtavan kerroksen, ja kalvoelementin, joka on järjestetty värähtelemään vasteena siihen syötetylle jännitteelle, ja joka on sovitettu siten, että mainitun johtavan kerroksen ja kalvoelementin väliin muodostuu ilmarako.

15 Keksinnön tausta Sähköstaattisia muuntimia käytetään tyypillisesti kaiuttimina elektroniikkalaitteissa, kuten äänentoistolaitteissa. Sähköstaattinen kaiutin muuntaa sen käsittämään kalvoelementtiin johdetun ohjausjännitteen ilmanpaineen muutoksiksi eli ääniksi.

20 Viitejulkaisussa WO 99/12 387 esitetään eräs kaiutinratkaisu, jossa ääni muodostetaan värähtelemään saatettavalla levyllä. Kaiutinmoduleita voidaan liittää toisiinsa kaiutinmodulin nurkkiin sijoitetuilla liitoskappaleilla suuremman kaiutinyksikön muodostamiseksi. Liitoskappaleilla voidaan toteuttaa myös kaiutinmoduleiden sähköinen liitos. Ongelmana viitejulkaisun 25 mukaisessa ratkaisussa on kuitenkin se, että kaiutinmoduleiden liittäminen toisiinsa edellyttää monimutkaista rakennetta, ja liittäminen on siten hankalaa.

Viitejulkaisussa WO 98/24088 esitetään laite äänen prosessoi-miseksi, ja modulimainen laitekokonaisuus, joka muodostuu useista laitteista. Viitejulkaisussa ei kuitenkaan kuvata miten laitteet liitetään toisiinsa.

30 Keksinnön lyhyt selostus

Keksinnön tavoitteena on näin ollen saada aikaan uudenlainen ja parannettu sähköstaattinen muunnin ja menetelmä sähköstaattisen muuntimen liittämiseksi.

2

Se, mikä keksinnön mukaiselle ratkaisulle on tunnusomaista, on esitetty itsenäisissä patenttivaatimuksissa.

Keksintö perustuu siihen, että sähköstaattinen muunnin käsittää ainakin yhden staattorin, joka käsittää eristekerroksen ja johtavan kerroksen, ja 5 kalvoelementin, joka on järjestetty värähtelemään vasteena siihen syötetylle jännitteelle, ja joka on sovitettu siten, että johtavan kerroksen ja kalvoelementin väliin muodostuu ilmarako. Sähköstaattinen muunnin käsittää lisäksi ainakin yhden kiinnitysreunan, joka on sovitettu sähköstaattisen muuntimen ulkoreunalle, joka kiinnitysreuna on järjestetty kiinnittymään toisen sähköstaattisen 10 muuntimen käsittämään kiinnitysreunaan.

Keksinnön erään suoritusmuodon mukaan sähköstaattinen muunnin käsittää ainakin yhden liitossyvennyksen, joka on ainakin osittain yhteydessä johtavaan kerrokseen, ja johon liitossyvennykseen on sovitettavissa sähköä johtava välittäjäliitin siten, että välittäjäliittimen ja liitossyvennyksen välille 15 muodostuu sähköinen liitos.

Keksinnön erään toisen suoritusmuodon mukaan johtava kerros on suojattuna.

Keksinnön erään kolmannen suoritusmuodon mukaan kiinnitys-reuna on ulokemainen, niin kutsuttu urosreuna.

20 Keksinnön erään neljännen suoritusmuodon mukaan kiinnitysreuna on lovimainen, niin kutsuttu naarasreuna.

Keksinnön erään viidennen suoritusmuodon mukaan sähköstaattinen muunnin käsittää ainakin yhden ulokemaisen ja ainakin yhden lovimaisen kiinnitysreunan.

25 Keksinnön erään kuudennen suoritusmuodon mukaan sähköstaat tisen muuntimen käsittämä ulokemainen kiinnitysreuna on järjestetty työntymään toisen muuntimen käsittämän lovimaisen kiinnitysreunan sisään.

Keksinnön erään seitsemännen suoritusmuodon mukaan kiinnitys-reuna käsittää ainakin yhden lukitusväkäsen.

30 Keksinnön erään kahdeksannen suoritusmuodon mukaan kiinnitys- reuna käsittää ainakin yhden lukituskolon.

Keksinnön erään yhdeksännen suoritusmuodon mukaan välittäjä-liitin käsittää ainakin yhden johtavan kerroksen ja ainakin yhden eriste-kerroksen.

35 Keksinnön erään kymmenennen suoritusmuodon mukaan välittäjä- liitin käsittää ainakin yhden lukituspykälän.

3

Keksinnön erään yhdennentoista suoritusmuodon mukaan sähköstaattinen muunnin on levymäinen.

Keksinnön erään kahdennentoista suoritusmuodon mukaan ainakin kaksi sähköstaattista muunninta on sovitettu ainakin osittain päällekkäin moni-5 kerroksisen sähköstaattisen muunninkokonaisuuden muodostamiseksi.

Keksinnön eri sovellusmuodoilla voidaan saavuttaa huomattavia etuja. Eräänä etuna on se, että muuntimista voidaan rakentaa isoja sähköstaattisia muunninkokonaisuuksia. Eräänä etuna on edelleen se, että moduuli-mainen rakenne on nopea ja yksinkertainen valmistaa, sillä sähköstaattisen 10 muuntimen valmistaminen voidaan automatisoida ja muuntimien valmistus-muotteja tarvitaan aiempaa vähemmän. Eräänä etuna on lisäksi se, että moduulimainen rakenne mahdollistaa sen, että sähköinen liitos voidaan tehdä haluttujen moduulielementtien välille, jolloin muuntimia tai muunninkokonaisuuksia voidaan ohjata erikseen. Eräänä etuna on edelleen se, että 15 muunnin on sähköisesti turvallinen komponentti, sillä muuntimen käsittämä johtava kerros on piilossa syvennyksessä. Muunninta ei siten tarvitse sähköisesti suojata, vaikka sen viereen ei liitettäisikään toista muunninta. Eräänä etuna on edelleen se, että välittäjäliitintä voidaan hyödyntää monin eri tavoin, kuten käyttää sitä vaihesiirtojen aikaansaamiseen tai muuhun vastaan 20 passiiviseen toimintaan. Toisaalta välittäjäliittimessä voi olla muodostettuna joko suotimia, vahvistimia tai joitakin muita vastaavia hyödynnettävissä olevia ratkaisuja. Eräänä etuna on lisäksi se, että yksittäisiä tai moduulirakenteisia sähköstaattisia muuntimia voidaan sovittaa päällekkäin monikerroksisten, yhä tehokkaampien sähköstaattisten muuntimien muodostamiseksi.

25 Kuvioiden lyhyt selostus

Keksintöä selostetaan nyt tarkemmin eräiden suoritusmuotojen yhteydessä viitaten oheisiin kuvioihin, joista:

Kuviossa 1 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin ylhäältäpäin katsottuna; 30 Kuviossa 2 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin poikkileikkauskuvantona;

Kuviossa 3 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin poikkileikkauskuvantona;

Kuviossa 4 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen 35 välittäjäliitin sivultapäin katsottuna; 4

Kuviossa 5 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen välittäjäliitin ylhäältäpäin katsottuna;

Kuviossa 6 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin; ja 5 Kuviossa 7 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin poikkileikkauskuvantona.

Kuvioissa keksinnön suoritusmuotoja on esitetty selvyyden vuoksi yksinkertaistettuina. Samankaltaiset osat on merkitty kuvioihin samoilla viitenumeroilla.

10 Keksinnön yksityiskohtainen selostus

Kuviossa 1 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen levymäinen sähköstaattinen muunnin 100 ylhäältäpäin katsottuna. Sähköstaattinen muunnin 100 käsittää ainakin yhden kiinnitysreunan. Kuvion 1 mukaisessa suoritusmuodossa muunnin 100 käsittää sen kahdelle ulkosivulle 15 muodostetun ulokemaisen kiinnitysreunan, niin sanotun urosreunan 102, ja sen kahdelle muulle ulkosivulle muodostetun lovimaisen kiinnitysreunan, niin sanotun naarasreunan 104. Sähköstaattinen muunnin 100 on järjestetty kiinnitettäväksi toiseen sähköstaattiseen muuntimeen 100' työntämällä urosreuna 102 naarasreunan 104' sisään. Liittämällä sähköstaattisia muunti-20 mia 100, 100' toisiinsa voidaan valmistaa moduulirakenteisia muunninkoko-naisuuksia nopeasti ja yksinkertaisesti. Kuvioon on merkitty lisäksi kaksi leikkauskohtaa A-A, B-B, joita käsitellään kuvioiden 2 ja 3 yhteydessä.

Kuviossa 2 esitetään kuviossa 1 esitetyn keksinnön erään suoritusmuodon mukaisen levymäisen sähköstaattisen muuntimen 100 25 leikkauskohta A-A. Muunnin 100 käsittää kaksi staattoria 110, joihin on muodostettu reikiä 112, jotta staattorit 110 läpäisevät ilmaa. Staattori 110 käsittää eristekerroksen 114 ja johtavan kerroksen 116. Sähköstaattinen muunnin 100 käsittää lisäksi liikkuvan kalvoelementin 118, joka on tässä yhteydessä sovitettu staattorin 110 kannaksen päälle. Staattorin 110 johtavan 30 kerroksen 116 ja kalvoelementin 118 välissä on ilmarako 122 siten, että kalvoelementti 118 pääsee liikkumaan tuottaen esimerkiksi äänenpainetta, jolloin levymäinen sähköstaattinen muunnin 100 toimii kaiuttimena.

Sähköstaattinen muunnin 100 käsittää edelleen sen kahdelle ulkosivulle sovitetun urosreunan 102, ja sen kahdelle muulle ulkosivulle 35 sovitetun naarasreunan 104. Sähköstaattinen muunnin 100 on järjestetty kiinnitettäväksi toiseen sähköstaattiseen muuntimeen 100 työntämällä 5 urosreuna 102 toisen sähköstaattisen muuntimen 100' naarasreunan 104' sisään siten, että urosreunan 102 käsittämät lukitusväkäset 106 ja naaras-reunan 104’ käsittämät lukituskolot 108 lomittuvat toisiinsa. Lukitusväkäsiä 106 ja -koloja 108 on kiinnitysreunassa 102, 104’ edullisesti kaksi, mutta näitä 5 kiinnityselementtejä voi olla kiinnitysreunassa sovelluksesta riippuen yksi tai useampia tai vaihtoehtoisesti kiinnitysreuna ei käsitä yhtään kiinnitys-elementtiä. Kiinnityselementti voi olla kiinnitysväkäsen 106 ja -kolon 108 sijaan myös mikä tahansa kiinnittämiseen soveltuva rakenteellinen muoto.

Edullisesti sähköstaattinen muunnin käsittää sekä naarasreunan 10 että urosreunan. Vaihtoehtoisesti sähköstaattinen muunnin voi käsittää vain toisen tyyppisen kiinnitysreunan. Tällaisia yhden kiinnitysreunan käsittäviä sähköstaattisia muuntimia voidaan käyttää esimerkiksi suuremman muunnin-kokonaisuuden reunimmaisina komponentteina.

Kuviossa 3 esitetään kuviossa 1 esitetyn keksinnön erään suoritus-15 muodon mukaisen levymäisen sähköstaattisen muuntimen 100 leikkauskohta B-B. Tästä kohdasta tapahtuu kahden sähköstaattisen muuntimen 100, 100' välinen sähköinen liittäminen toisiinsa. Sähköstaattiseen muuntimeen 100, 100' on tähän kohtaan muodostettu syvennys 124, jonka ainakin toiselle puolelle ulottuu johtava kerros 116. Muuntimen 100 johtava kerros 116 on siten 20 piilossa syvennyksessä 124, jolloin muunninta ei tarvitse sähköisesti suojata, vaikka muunninta 100' ei kytkettäisikään muuntimeen 100. Muunnin 100 on siten turvallinen ilman erillistä suojausta.

Sähköinen liitos tapahtuu välittäjäliittimen 126 avulla, joka esitetään sivultapäin katsottuna kuviossa 4 ja ylhäältäpäin katsottuna kuviossa 5. 25 Välittäjäliittimessä 126 on johtavat kerrokset 128, joiden välissä on eristekerros 130. Eristekerroksesta 130 ulottuvat lukituspykälät 132 johtavien kerrosten 128 läpi.

Erään edullisen suoritusmuodon mukaan sähköstaattisen muuntimen kiinnitysreuna on sähköä johtava elementti, ja se on järjestetty 30 muodostamaan sähköä johtava liitos toisen sähköstaattisen muuntajan käsittämän sähköä johtavan kiinnityselementin kanssa. Tällöin sähköisen liitoksen muodostamiseksi ei tarvita erillistä välittäjäliitintä.

Kuviossa 6 esitetään keksinnön erään suoritusmuodon mukainen sähköstaattinen muunnin 100, jonka sisään on työnnetty välittäjäliitin 126 35 paikoilleen.

6

Erään edullisen suoritusmuodon mukaan yksittäisiä tai moduulirakenteisia sähköstaattisia muuntimia voidaan sovittaa joko osittain tai kokonaan päällekkäin monikerroksisen sähköstaattisen muunninkokonai-suuden muodostamiseksi. Kerrokset voidaan liittää toisiinsa millä tahansa 5 rakenteeseen sovitettavissa olevalla tai rakenteen käsittämällä kiinnitys-elementillä, kuten kiinnittimillä tai liimalla. Eri kerrosten käsittämät sähköstaattiset muuntimet voivat olla sovitettu esimerkiksi kohdakkain, jolloin muunninkokonaisuuden rakenne pysyy joustavana, tai muuntimet voivat olla sovitettu lomittain, mikä tekee rakenteesta jäykemmän. Monikerrosrakenne 10 mahdollistaa yhä tehokkaampien muunninkokonaisuuksien muodostamisen. Toisaalta korkeampi rakenne voi mahdollistaa pienemmän pinta-alan tarpeen piirilevyllä. Monikerrosrakenne mahdollistaa edelleen sen, että yhtä tai useampaa muuntajakerrosta voidaan käyttää myös esimerkiksi sensorina samalla kun toista tai muita muuntajakerroksia käytetään kaiuttimina, mikä on 15 edullista muun muassa aktiivisissa äänenhallintasoveliuksissa.

Kuviossa 7 esitetään levymäinen sähköstaattinen muunnin 100 poikkileikkauskuvantona. Kuvion mukainen sähköstaattinen muunnin 100 käsittää kaksi staattoria 110, joiden väliin on sovitettu liikkuva kalvoelementti 118. Staattori 110 käsittää eristekerroksen 114, jonka pinnalle on sovitettu 20 johtava kerros 116. Eristekerros 114 voi olla muodostettu esimerkiksi eristeenä toimivasta muovista ja johtava kerros 116 voi olla esimerkiksi alumiinikalvo tai sähköä johtava muovikerros. Sähköä johtavan muovikerroksen sähkönjohtavuus voidaan määritellä halutulle tasolle, jolloin teho jakautuu halutulla tavalla sähköstaattisen muuntimen 100 alueella. Liikkuva kalvoelementti 118 25 on edullisesti muodostettu sellaiseksi, että siinä on pysyvä sähkövaraus. Staattoriin 110 on muodostettu kannakset 120. Kannaksen 120 korkeus voi olla esimerkiksi noin 150 mikrometriä. Kannaksen 120 ansiosta staattorin 110 johtavien kerrosten 116 ja liikkuvan kalvoelementin 118 väliin muodostuvat ilmaraot 122. Staattoreissa 110 on edelleen reikiä 112. Reikäjakauma voidaan 30 valita halutunlaiseksi, esimerkiksi Gaussin jakauman mukaan, jolloin reunoilla on reikiä suhteellisesti vähemmän. Staattori 110 voi vaihtoehtoisesti olla valmistettu huokoisesta materiaalista, jolloin staattoria 110 ei tarvitse rei'ittää. Staattoreihin 110 voidaan muodostaa lovia 134 mahdollistamaan staattorin 110 taivuttaminen. Kun johtaviin kerroksiin 116 johdetaan ohjausjännite, 35 saadaan liikkuva kalvoelementti 118 liikkumaan ilmaraoissa 122, jolloin sen 7 avulla voidaan esimerkiksi tuottaa ääntä. Tällöin sähköstaattinen muunnin toimii kaiuttimena.

Tyypillisesti sähköstaattinen muunnin 100 tehdään siten, että muodostetaan eristekerros 114. Tämän jälkeen sovitetaan eristekerroksen 114 5 päälle johtava kerros 116. Johtavan kerroksen 116 muodostaminen voi tapahtua esimerkiksi liimaamalla alumiinifolio eristekerroksen 114 päälle. Tämän jälkeen staattoriin 110 muodostetaan kannakset 120 esimerkiksi liimaamalla kannaksen 120 muodostava eristeosa paikoilleen. Niinpä staattorin 110 muodostamisessa on siis useita vaiheita, jolloin staattorin 110 muodos-10 taminen on varsin hankalaa ja työvaiheiden automatisointi on vaikeaa.

Eräässä edullisessa ratkaisussa sähköstaattisen muuntimen 100 staattori 110 tehdään vähemmillä työvaiheilla. Keksinnön mukaisesti staattori 110 muodostetaan esimerkiksi siten, että sovitetaan ruiskuvalumuottiin johtavan kerroksen 116 muodostava alumiinifolio ja puristetaan eristeker-15 roksen 114 muodostava muovimateriaali muottiin. Muotti on muodostettu sellaiseksi, että myös kannas 120 muodostuu samassa ruiskuvaluvaiheessa. Ruiskuvalumuotissa voi olla tapit siten, että kun staattori 110 otetaan pois muotista, ovat siihen samalla muodostuneet myös reiät 112. Haluttaessa voidaan toimia myös niin, että reiät 112 stanssataan levyyn vasta ruiskuvalun 20 jälkeen.

Eristemateriaalin ja johtavan materiaalin erilaisesta lämpölaajenemisesta mahdollisesti aiheutuvat ongelmat voidaan välttää sillä tavoin, että eristemateriaalin sekaan sekoitetaan sopivaa täyteainetta. Muovimateriaalin seassa voi siis olla täyteaineena esimerkiksi 50 % alumiinisilikaattia. 25 Alumiinisilikaatti on samalla myös palonsuoja-aine sekä lujite. Tällöin staattorin palonkesto-ominaisuudet saadaan erittäin hyviksi. Edelleen alumiinisilikaatti lujittaa rakennetta. Lisäksi täyteaineen ansiosta staattorin massa saadaan suuremmaksi, mikä parantaa muuntimen akustisia ominaisuuksia. Muovi-materiaali voi olla esimerkiksi nestekidepolymeeri (LCP Liquid Chrystal 30 Polymer).

Ruiskuvalun lisäksi voidaan käyttää myös esimerkiksi lämpö-muovausta. Tällöin siis muottiin voidaan asettaa johtavan kerroksen muodostava kalvoja esimerkiksi muovilevy. Tämän jälkeen muottia lämmitetään siten, että muovimateriaali sulaa ja muotoutuu halutuksi. Keksinnössä siis eristeaine 35 muovataan staattorirakenteeksi siten, että se on jossain vaiheessa juoksevassa muodossa.

8

Alan ammattimiehelle on ilmeistä, että tekniikan kehittyessä keksinnön perusajatus voidaan toteuttaa monin eri tavoin. Joissain tapauksissa tässä hakemuksessa esitettyjä piirteitä voidaan käyttää sellaisenaan, muista piirteistä huolimatta. Toisaalta tässä hakemuksessa esitettyjä piirteitä voidaan 5 tarvittaessa yhdistellä erilaisten kombinaatioiden muodostamiseksi. Keksintö ja sen suoritusmuodot eivät siten rajoitu yllä kuvattuihin, havainnollistamiseksi tarkoitettuihin esimerkkeihin, vaan keksintö voi vaihdella patenttivaatimusten puitteissa.

Claims

1. Sähköstaattinen muunnin (100), joka käsittää: ainakin yhden staattorin (110), joka käsittää eristekerroksen (114) ja johtavan kerroksen (116), ja 5 kalvoelementin (118), joka on järjestetty värähtelemään vasteena siihen syötetylle jännitteelle, ja joka on sovitettu siten, että mainitun johtavan kerroksen (116) ja kalvoelementin (118) väliin muodostuu ilmarako (122), tunnettu siitä, että mainittu sähköstaattinen muunnin (100) käsittää lisäksi: 10 ainakin yhden kiinnitysreunan (102), joka on sovitettu mainitun muuntimen (100) ulkoreunalle, joka mainittu kiinnitysreuna (102, 104) on järjestetty kiinnittymään toisen sähköstaattisen muuntimen (100') käsittämään kiinnitysreunaan (102’, 104').

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen sähköstaattinen muunnin (100), 15 tunnettu siitä, että mainittu sähköstaattinen muunnin (100) käsittää lisäksi ainakin yhden liitossyvennyksen (124), joka on ainakin osittain yhteydessä mainittuun johtavaan kerrokseen (116), ja johon liitossyvennykseen (124) on sovitettavissa sähköä johtava välittäjäliitin (126) siten, että mainitun välittäjäliittimen 20 (126) ja liitossyvennyksen (124) välille muodostuu sähköinen liitos.

3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen sähköstaattinen muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu johtava kerros (116) on suojattuna.

4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (102) on ulokemainen.

5. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 30 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (104) on lovimainen.

6. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen muunnin (100), 35 tunnettu siitä, että mainittu sähköstaattinen muunnin (100) käsittää ainakin yhden ulokemaisen (102) ja ainakin yhden lovimaisen (104) kiinnitysreunan.

7. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen muunnin (100), 5 tunnettu siitä, että mainitun sähköstaattisen muuntimen (100) käsittämä ulokemainen kiinnitysreuna (102) on järjestetty työntymään toisen mainitun muuntimen (100') käsittämän lovimaisen kiinnitysreunan (104') sisään.

8. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 10 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (102) käsittää ainakin yhden lukitusväkäsen (106).

9. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 15 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (104) käsittää ainakin yhden lukituskolon (108).

10. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 20 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu välittäjäliitin (126) käsittää ainakin yhden johtavan kerroksen (128) ja ainakin yhden eristekerroksen (130).

11. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 25 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu välittäjäliitin (126) käsittää ainakin yhden lukituspykälän (132).

12. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen 30 muunnin (100), tunnettu siitä, että mainittu sähköstaattinen muunnin (100) on levymäinen.

13. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen sähköstaattinen muunnin (100), 35 tunnettu siitä, että ainakin kaksi mainittua sähköstaattista muunninta (100) on sovitettu ainakin osittain päällekkäin monikerroksisen sähköstaattisen muunninkoko-naisuuden muodostamiseksi.

14. Menetelmä sähköstaattisen muuntimen (100) liittämiseksi 5 toiseen sähköstaattiseen muuntimeen (100'), joka sähköstaattinen muunnin (100) käsittää: ainakin yhden staattorin (110), joka käsittää eristekerroksen (114) ja johtavan kerroksen (116), ja kalvoelementin (118), joka on järjestetty värähtelemään vasteena 10 siihen syötetylle jännitteelle, ja joka on sovitettu siten, että mainitun johtavan kerroksen (116) ja kalvoelementin (118) väliin muodostuu ilmarako (122), tunnettu siitä, että menetelmässä: kiinnitetään sähköstaattisen muuntimen (100) ulkoreunalle sovitettu kiinnitysreuna (102) toisen sähköstaattisen muuntimen (100') käsittämään 15 kiinnitysreunaan (104').

15. Patenttivaatimuksen 14 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että sovitetaan sähköä johtava välittäjäliitin (126) mainitun sähköstaattisen muuntimen (100) käsittämään liitossyvennyksen (124), joka on 20 ainakin osittain yhteydessä mainittuun johtavaan kerrokseen (116), siten, että mainitun välittäjäliittimen (126) ja liitossyvennyksen (124) välille muodostuu sähköinen liitos.

16. Patenttivaatimuksen 14 tai 15 mukainen sähköstaattinen muunnin (100), 25 tunnettu siitä, että mainittu johtava kerros (116) on suojattuna.

17. Jonkin patenttivaatimuksen 14 - 16 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (102) on ulokemainen.

18. Jonkin patenttivaatimuksen 14 - 17 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (104) on lovimainen.

19. Jonkin patenttivaatimuksen 14 - 18 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että 35 mainittu sähköstaattinen muunnin (100) käsittää ainakin yhden ulokemaisen (102) ja ainakin yhden lovimaisen (104) kiinnitysreunan.

20. Jonkin patenttivaatimuksen 14 - 19 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että työnnetään mainitun sähköstaattisen muuntimen (100) käsittämä ulokemainen kiinnitysreuna (102) toisen mainitun muuntimen (100') käsittämän 5 lovimaisen kiinnitysreunan (104') sisään.

21. Jonkin patenttivaatimuksen 14-20 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu ulokemainen kiinnitysreuna (102) käsittää ainakin yhden lukitusväkäsen (102).

22. Jonkin patenttivaatimuksen 14-21 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu kiinnitysreuna (104) käsittää ainakin yhden lukituskolon (108).

23. Jonkin patenttivaatimuksen 14-22 mukainen menetelmä, 15 tunnettu siitä, että mainittu välittäjäliitin (126) käsittää ainakin yhden johtavan kerroksen (128) ja ainakin yhden eristekerroksen (130).

24. Jonkin patenttivaatimuksen 14-23 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että 20 mainittu välittäjäliitin (126) käsittää ainakin yhden lukituspykälän (132).

25. Jonkin patenttivaatimuksen 14-24 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu sähköstaattinen muunnin (100) on levymäinen.

26. Jonkin patenttivaatimuksen 14-25 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ainakin kaksi mainittua sähköstaattista muunninta (100) on sovitettu ainakin osittain päällekkäin monikerroksisen sähköstaattisen muunninkoko-naisuuden muodostamiseksi.