ES2321309T3 - Procedimiento y dispositivo para deteccion de un arco. - Google Patents

Abstract

Procedimiento para la detección de arcos en un proceso de plasma alimentado por un generador de corriente alterna con una señal de salida del generador de corriente alterna para el aporte de potencia, que comprende las etapas de proceso: a. Determinación de un momento (t1-t5) en el que la señal de salida como señal de evaluación o una señal relacionada con la señal de salida sobrepasa un valor de referencia (R1-R4) con una semionda positiva (30) de la señal de evaluación o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación y/o b. Determinación de un momento (t6-t10) siguiente en el que la señal de evaluación en la misma semionda (30) sobrepasa el valor de referencia (R1-R4) con una semionda positiva (30) o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación. c. Determinación de, como mínimo, un intervalo de tiempo (I1-I5) utilizando, como mínimo, uno de los momentos (t1-t10). d. Repetición de las etapas de proceso a)-c) para una posterior semionda (31) de la señal de evaluación. e. Comparación de los intervalos de tiempo (I1-I5) que se corresponden entre sí. f. Generación de una señal de detección de arcos cuando los intervalos de tiempo (I1-I5) que se corresponden entre sí se desvían entre sí en más de una tolerancia (T) especificada.

Description

Procedimiento y dispositivo para detección de un arco.

La invención se refiere a un procedimiento para la detección de un arco en un proceso de plasma alimentado por un generador de corriente alterna con una señal de salida del generador de corriente alterna para el aporte de potencia.

El recubrimiento de sustratos como, por ejemplo, superficies de vidrio mediante pulverización catódica en procesos de plasma, es decir tanto de modo reactivo como también convencional, se conoce, por ejemplo, por el recubrimiento de vidrio arquitectónico. Para este fin se produce un plasma con una fuente eléctrica o de tensión que quita material de un blanco que se deposita sobre el sustrato, por ejemplo la plancha de vidrio. Antes de depositarse los átomos pueden enlazarse todavía en un proceso reactivo con átomos o moléculas de gas según el recubrimiento deseado.

Especialmente en el caso de procesos reactivos se utilizan con frecuencia generadores de FM que trabajan, normalmente, con una frecuencia de 10-500 Hz. La tensión de salida de los generadores de FM se conduce, normalmente, por dos electrodos en una cámara de proceso de plasma que trabajan de modo alternante como cátodo o ánodo y están conectados ambos cada uno con un blanco. Existen generadores FM llamados de oscilación libre o generadores FM con una frecuencia fija.

Especialmente en procesos reactivos se producen descargas incluso en generadores de FM, descargas que desaparecen frecuentemente por sí mismas con la próxima inversión de tensión o, por lo menos, después de algunos pocos períodos en los llamados microarcos. Sin embargo también pueden producirse arcos de mayor energía y mayor duración. Con frecuencia se detectan arcos por la comprobación de la tensión de salida en cuanto a una irrupción de tensión o por la comprobación de la corriente de salida en cuanto a una subida de la intensidad. Como alternativa, es posible detectar un arco por la diferencia entre las corrientes hacia los diferentes electrodos. El usuario puede ajustar según la técnica actual un valor límite para la detección de arcos. Para la detección se miden los valores efectivos de la corriente y tensión. Debido a que esta medición ha de integrar los valores de tensión e intensidad a lo largo de los períodos según magnitud para no reconocer pasos por cero como bajada de tensión, este tipo de detección de un arco, normalmente, es claramente más lento que la duración de una semionda de la tensión de salida de FM y, por lo tanto, más larga que 40 \mus.

Sin embargo, al utilizar generadores de FM en procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en la fabricación del "flat-panel-display FPD", las exigencias a los generadores son mayores. Aquí han de detectarse los arcos en menos \mus o, incluso, por debajo de 1 \mus.

En el procedimiento conocido por la DE 43 26 100 A1 para la detección de arcos se ha previsto subdividir en cada caso una semionda de la señal de frecuencia media del generador de frecuencia media en múltiples períodos, registrándose para un período previamente determinado los valores eléctricos de la corriente y tensión para generar una señal del valor real e introduciéndolos en una medición en isla sin toma de tierra. La isla de medición está integrada en una red anular cuya estación maestra se encuentra en la unidad de mando existente en el generador produciéndose el bloqueo del generador al presentarse un arco a través de una línea de conexión que une la isla de medición con el generador.

Según la US 7.420.863 B1 se ha previsto medir los valores de, como mínimo, una corriente de descarga o una tensión de descarga para cada semionda. Se forma una diferencia de los valores medidos de la primera y segunda semionda. La diferencia se compara con tolerancias predeterminadas y cuando se sobrepasan las tolerancias se reduce el aporte de potencia.

El objetivo de la presente invención consiste en proporcionar un procedimiento para la detección de arcos y un dispositivo para la detección de arcos con los cuales se pueden detectar los arcos más rápidamente y de modo más fiable.

Este objetivo se alcanza según la invención de manera sorprendente y sencilla mediante un procedimiento para la detección de arcos en un proceso de plasma con alimentación por un generador de corriente alterna con una señal de salida del generador de corriente alterna para el aporte de potencia, que comprende las etapas de proceso:

a.

Determinación del momento en el que la señal de salida como señal de evaluación o una señal relacionada con la señal de salida sobrepasa un valor de referencia con una semionda positiva de la señal de evaluación o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación y/o

b.

Determinación de un momento siguiente en el que la señal de evaluación en la misma semionda sobrepasa el valor de referencia con una semionda positiva o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación,

c.

Determinación de, como mínimo, un intervalo de tiempo utilizando, como mínimo, uno de los momentos,

d.

Repetición de las etapas de proceso a)-c) para una posterior semionda de la señal de evaluación,

e.

Comparación de los intervalos de tiempo que se corresponden entre sí,

f.

Generación de una señal de detección de arcos cuando los intervalos de tiempo que se corresponden entre sí se desvían entre sí en más de una tolerancia especificada.

Con un procedimiento de este tipo es posible detectar con seguridad y rapidez incluso los arcos más pequeños sin reconocer erróneamente como arcos oscilaciones de tensión, producidas por ejemplo por cambios de presión en la cámara de plasma. La detección de arcos también se puede realizar especialmente rápida con este procedimiento. Los arcos pueden detectarse, particularmente, dentro de unos pocos microsegundos incluso más rápidamente, es decir en menos de un microsegundo. A esta detección del arco se puede reaccionar correspondientemente de manera que se evitan daños, especialmente en la producción de "flatpanel-display (FPD)", y se pueden reducir los rechazos. Como señal de evaluación entran en consideración, por ejemplo, la corriente de salida, la tensión de salida o la potencia de salida del generador de corriente alterna. De preferencia se controla la tensión de salida o la tensión que existe directamente en los electrodos y se utiliza como señal de evaluación. Sin embargo, también es posible utilizar como señal de evaluación una señal interna del generador de corriente alterna relacionada con la señal de salida.

En una variante especialmente preferida del procedimiento, se puede tener previsto que se determinan y comparan los intervalos de tiempo para semiondas de la misma polaridad. Con diferentes desaislamientos de los blancos en un proceso de plasma se producen diferentes gradientes de tensiones. Se puede impedir el reconocimiento de las oscilaciones consecuentes como arco si se utilizan para la detección del arco semiondas con la misma polaridad.

Además, puede evitarse una reacción errónea a oscilaciones de la señal de evaluación si los intervalos de tiempo para semiondas sucesivas directas de la misma polaridad se determinan y se comparan entre sí.

En una variante preferida del procedimiento se puede prever que los intervalos de tiempo a comparar se forman como diferencia de los momentos sucesivos en los que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia y se genera una señal de detección de arco si el intervalo de tiempo de la semionda posterior es menor en más de la tolerancia especificada que el correspondiente intervalo de tiempo de la semionda anterior. Se averigua así el intervalo entre el momento en el que se sobrepasa el valor de referencia con un flanco creciente de una semionda positiva y en el que no se alcanza el valor de referencia con un flanco decreciente de la semionda positiva. Correspondientemente se averigua con una semionda negativa el intervalo entre el momento en el que no se alcanza el valor de referencia con un flanco decreciente y el momento en el que se sobrepasa el valor de referencia con un flanco creciente. Si este intervalo de tiempo para una semionda posterior queda por debajo del intervalo averiguado para la semionda anterior en más de una tolerancia predeterminada, esto es un indicio para la existencia de un arco. La tolerancia total puede componerse aquí de dos valores de tolerancia diferentes al principio y al final del intervalo temporal o intervalo de tiempo.

En otra variante del procedimiento se puede prever que el momento del paso por cero de la señal de evaluación se detecta al principio de la semionda, que los intervalos temporales a comparar se forman como diferencia entre el momento de un número impar (primero, tercero etc.) de veces que se sobrepasa o no alcanza (pasada) el valor de referencia y el momento del paso por cero y se genera una señal de detección de arco cuando el intervalo de tiempo de la semionda posterior es mayor en más de la tolerancia predeterminada que el intervalo de tiempo de la semionda anterior. Esta variante del procedimiento puede aplicarse de modo especialmente sencillo en una unidad lógica programable.

Como alternativa o adicionalmente es posible que el momento del paso por cero de la señal de evaluación se detecta al principio de la semionda, que los intervalos de tiempo a comparar se forman como diferencia entre el momento de un número par (segundo, cuarto etc.) de veces que se sobrepasa o no alcanza (pasada) el valor de referencia y el momento del paso por cero y se genera una señal de detección de arco cuando el intervalo de tiempo de la semionda posterior es menor en más de la tolerancia predeterminada que el intervalo de tiempo de la semionda anterior.

La fiabilidad de la detección de arco puede aumentarse si no se tiene en cuenta un intervalo de tiempo para la detección del arco cuando el intervalo de tiempo que resulta como diferencia entre el momento en el que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia y el momento siguiente en el que no se alcanza o sobrepasa el valor de referencia queda por debajo de una duración de tiempo predeterminable. Por lo tanto, no se tienen en cuenta oscilaciones de la señal de evaluación no debidas a un arco.

Cuando se predeterminan varios valores de referencia es posible detectar los arcos con una mayor precisión y más rápidamente.

En una variante del procedimiento especialmente preferida se puede prever que se genera un valor medio de amplitud sacado de varias semiondas y el o los valor(es) de referencia se predeterminan en función del valor medio de amplitud. Con esta medida, los valores de referencia no se predeterminan de modo rígido sino que pueden adaptarse automáticamente a una señal de evaluación que posiblemente se modifique gradualmente durante el funcionamiento, Los valores de referencia se eligen, de preferencia en por cientos del valor medio de amplitud, por ejemplo el 20, 40, 60, 80% del valor medio de amplitud.

Dentro del marco de la invención queda también un dispositivo de detección de arcos en un proceso de plasma, diseñado para la realización del procedimiento según la invención, con, como mínimo, un convertidor analógico-digital (ADC) al que se conducen como señal de evaluación la señal de salida o una señal interna de un generador de corriente alterna relacionada con la señal de salida y un valor de referencia, estando el ADC en conexión con una unidad lógica que genera una señal para un dispositivo de supresión del arco. La ventaja del dispositivo de detección de arcos según la invención consiste en que la unidad lógica puede generar la señal de detección de arcos directamente con ayuda de la señal ADC sin interconexión de un sistema de mando. Esto es considerablemente más rápido de lo que sería posible con un sistema de mando, por ejemplo un microcontrolador. En cuanto a la unidad lógica se trata, de preferencia, de una unidad lógica programable. En el caso más sencillo el ADC consiste en un comparador.

Una aplicación especialmente sencilla del procedimiento según la invención, se produce cuando la unidad lógica está diseñada como FPGA.

En un tipo de ejecución ventajoso se puede prever un controlador que predetermina parámetros para la unidad lógica. Así se pueden predeterminar diferentes parámetros, como por ejemplo valores de tolerancias o la longitud de intervalos de tiempo, que no se tienen en cuenta para la detección de arcos.

Según el proceso puede ser necesario predeterminar diferentes valores de tolerancia. Para hacerlo posible para un usuario, pueden coordinarse ventajosamente con el controlador un panel de control y una indicación.

Una detección de arcos especialmente rápida y precisa puede realizarse si se prevén varios, especialmente cuatro, comparadores alimentados con diferentes valores de referencia. Estos comparadores están conectados todos con la unidad lógica programable.

Se ha previsto, ventajosamente, un sistema generador de valores de referencia, especialmente un potenciómetro. Este potenciómetro puede recibir un valor medio de amplitud de la señal de evaluación. Entre las resistencias del potenciómetro es posible tomar por los comparadores los valores de referencia. Mediante el número y el dimensionamiento de las resistencias se pueden ajustar los valores de referencia, especialmente en por cientos del valor medio de amplitud.

Otras características y ventajas de la invención resultan de la descripción siguiente de ejemplos de ejecución de la invención, descripción realizada con ayuda de las figuras adjuntas que muestran detalles esenciales de la invención, y de las reivindicaciones. Las distintas características pueden realizarse por separado o con varias en cualquier combinación discrecional en una variante de la invención.

En las figuras, se han representado de modo esquemático ejemplos preferidos de la invención que se explican más en detalle a continuación haciendo referencia a las mismas. Las figuras muestran:

La figura 1: Una representación esquemática de un dispositivo detector de arcos.

La figura 2: La representación de dos semiondas para explicar el procedimiento de la invención.

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En la figura 1 se representa un dispositivo detector de arcos 1. En la entrada 2 existe una señal de evaluación que proviene de un generador de corriente alterna o de una medición directa en los electrodos de la cámara de proceso de plasma. En cuanto a la señal de evaluación se puede tratar, por ejemplo, de la tensión alterna generada por el generador de tensión alterna o de una señal interna del generador de tensión alterna. Esta señal se introduce en el ejemplo de ejecución en cada caso en una entrada de convertidores analógico-digitales diseñados como comparadores (ADC) 3, 4, 5, 6, 25. La señal de evaluación se introduce, además, en un rectificador de valores punta 7 comprendiendo este rectificador de valores punta 7 un diodo 8, una resistencia 9 y un condensador 10. En el rectificador de valores punta 7 se determina una amplitud promediada UA a través de varios períodos de la señal de evaluación. En el ejemplo de ejecución se determina una tensión. La misma está en contacto con el sistema generador de valores de referencia 11 diseñado como potenciómetro. Las resistencias 12, 13, 14, 15 del sistema generador de valores de referencia 11 tienen todas el mismo dimensionamiento. Esto significa que en todas las resistencias cae la misma tensión de manera que se subdivide la amplitud promediada en cuatro tensiones iguales. Éstas son conducidas a los ADCs 3-6 como valores de referencia R1, R2, R3, R4 donde se comparan con la señal de evaluación actual. El resultado de la comparación es introducido en una unidad lógica 16 programable la cual averigua sobre la base de las informaciones de los ADCs 3-6 si existe un arco o no.

El comparador 25 reconoce el paso por cero comparando el valor de referencia R5 con la señal de evaluación. El sistema de conexiones 26 comprende los ADCs 3-6, 25 y el sistema generador de valores de referencia 11. También es posible realizarlo por un ADC, lo cual reduce el costo en componentes constructivos. Los valores de referencia, especialmente la tensión de umbral de referencia, pueden ajustarse, además, todavía con mayor precisión. Además se puede utilizar un ADC para la semionda positiva y negativa y pueden ahorrarse así más componentes constructivos, costes y espacios. Un ADC puede preverse, adicionalmente, para la medición de la corriente que fluye en el proceso de plasma. Aquí se pueden controlar la corriente y la tensión.

Si existe un arco se emite una señal correspondiente a través de la línea 17, de forma directa sin interconectar un microcontrolador 18 o un aparato de mando 20. La línea 17 va directamente hasta un dispositivo de supresión o eliminación de arcos 23. La unidad lógica programable 16 está conectada con un microcontrolador 18 mediante el cual se pueden especificar diferentes valores de parámetros. La unidad lógica programable 16 está conectada, además, con un secuenciador 19 que permite el rápido procesamiento de las informaciones en la unidad lógica programable 16.

El microcontrolador 18 a su vez está conectado con el aparato de mando 20 de orden superior para intercambio de datos. El aparato de mando 20 tiene una indicación 21 y un panel de control 22 de manera que se pueden programar el microcontrolador 18 y, por lo tanto, la unidad lógica 16.

En la figura 2 se representan una primera semionda positiva 30 y una posterior 31 de una señal de evaluación, en este caso de la tensión de salida de un generador de FM. Según el procedimiento de la invención se registra el momento en el que una señal de evaluación creciente sobrepasa un valor de referencia R1. De la misma manera se registran los momentos t2-t5 en los que la señal de evaluación creciente con la semionda positiva 30 sobrepasa los valores de referencia R2, R3, R4. Además, se registran los momentos t6, t7, t8, t9, t10 en los que la señal de evaluación decreciente no alcanza los valores de referencia R1-R4. Aquí hay que tener en cuenta que en el momento t4 se sobrepasa por primera vez el valor de referencia R4 y en el momento t5 por segunda vez y que en el momento t6 no se alcanza por primera vez el valor de referencia R4 y en el momento t7 no se alcanza por segunda vez.

Teniendo en cuenta, por lo menos, algunos de los momentos t1-t10 y, posiblemente, el momento t0 del paso por cero se forman intervalos de tiempo para cada valor de referencia R1-R4. Se pueden formar especialmente intervalos de tiempo sustrayendo los momentos t10 y t1, t9 y t2, t8 y t3, t7 y t5 y t6 y t4 entre sí. Estos intervalos están identificados con I1-I5. Alternativamente o adicionalmente se pueden determinar intervalos de tiempo que resultan de la diferencia de los momentos t1-t10 en el momento t0 del paso por cero.

Se puede asignar a cada uno de los intervalos de tiempo así averiguado una tolerancia. Se pueden prever aquí las mismas tolerancias o, en cada caso, tolerancias diferentes para todos los valores de referencia. Las tolerancias pueden ajustarse a través del aparato de control 20. El microcontrolador 18 almacena los valores ajustados y los transmite a la unidad lógica 16. Las tolerancias pueden indicarse como valores fijos de tiempo o como partes de una semionda o parte de un intervalo I1-I4. La indicación en por cientos de la duración de la semionda es ventajosa puesto que entonces no es necesario introducir de nuevo la indicación al cambiar la frecuencia. Los valores típicos de las tolerancias se sitúan entre un 10 y un 20% de la duración de la semionda para I1 a I3 y de 20-35% para I4. Además es posible predeterminar diferentes valores de tolerancia para el comienzo y el final de un intervalo de tiempo. Esto se ha representado para la segunda semionda 31. En este caso se ha previsto para todos los valores de referencia el mismo primer valor de tolerancia para el comienzo y el mismo segundo valor de tolerancia, que es mayor que el primer valor de tolerancia, para el final del intervalo de tiempo I1-I5. Los valores de tolerancia se indican con T. Mientras que la semionda 31 se mueve dentro de estos puntos marcados con T o fuera de los mismos no se produce ninguna detección del arco. Mientras que, sin embargo, si la semionda 31 se mueve en uno de los campos A1-A4 se produce una detección del arco.

En cuanto al intervalo de tiempo I5 hay que señalar que la longitud de este intervalo es menor que una duración de tiempo mínima predeterminable. Por esta razón este intervalo de tiempo I5 no se tiene en cuenta para una detección del arco. La duración mínima puede ajustarse a través del aparato de control 20. El microcontrolador 18 almacena el valor ajustado y lo transmite a la unidad lógica 16. La duración puede indicarse como valor fijo del tiempo o como una parte de una semionda. La indicación en por ciento de la duración de la semionda es ventajosa debido a que no es necesario introducir de nuevo la indicación en caso de una frecuencia que cambia. Los valores típicos quedan situados entre el 10 y el 20% de la duración de la semionda con I1 a I3 y del 5 al 15% en el caso de I4.

Como ya se ha mencionado más arriba es posible averiguar la diferencia entre los momentos t1-t10 y el momento t0 del paso por cero alternativamente o adicionalmente a la formación de los intervalos de tiempo I1-I4 o los intervalos de tiempo A1-A4 reducidos en los valores de tolerancia. Aquí se puede especificar un primer valor de tolerancia para los momentos t1-t5 con una semionda creciente (el mismo para todos los valores de referencia o para uno o varios, particularmente para cada valor de referencia diferente). Si se sobrepasa este valor de tolerancia, por ejemplo porque el intervalo t1-t0 de la semionda 31 es mayor en más del valor de tolerancia especificado que el intervalo t1-t0 de la semionda 30 se detecta un arco. Para que se utilicen los momentos correctos para la evaluación es necesario tener en cuenta aquí que en lo que se refiere a los momentos t1, t2, t3, t4 se trata de la primera vez que se sobrepasa o no alcanza el correspondiente valor de referencia por semionda y en cuanto al momento t5 se trata de la tercera pasada del valor de referencia R4. Para este análisis es necesario utilizar, por lo tanto, los momentos de la pasada impar del correspondiente valor de referencia.

También se detecta un arco cuando se tienen en cuenta los intervalos de tiempo formados con los momentos t6-t10 del flanco decreciente de la semionda 30. Aquí se puede especificar un segundo valor de tolerancia para los momentos t6-t10 con la semionda decreciente (el mismo para todos los valores de referencia o para uno o varios, particularmente para cada valor de referencia diferente). Si no se alcanza este valor de tolerancia, por ejemplo porque el intervalo de tiempo t10-t0 de la semionda 31 es menor en más del valor de tolerancia especificado que el intervalo de tiempo t10-t0 de la semionda 30, se detecta un arco. Para que se utilicen los momentos correctos para la evaluación es necesario tener en cuenta aquí que en cuanto a los momentos t6, t8, t9, t10 se trata de la segunda vez que se sobrepasa o no alcanza el correspondiente valor de referencia por cada semionda y en cuanto al momento t7 se trata de la cuarta pasada del valor de referencia R4. Para este análisis es necesario utilizar, por lo tanto, los momentos de las pasadas pares del correspondiente valor de referencia.

Se entiende que al mismo tiempo que la comprobación de si la segunda semionda 31 tiene una forma que indica un arco, se pueden registrar de nuevo los momentos t0-t10 para esta semionda de manera que esta semionda puede compararse de nuevo con la siguiente semionda.

Claims (17)

1. Procedimiento para la detección de arcos en un proceso de plasma alimentado por un generador de corriente alterna con una señal de salida del generador de corriente alterna para el aporte de potencia, que comprende las etapas de proceso:

a.

Determinación de un momento (t1-t5) en el que la señal de salida como señal de evaluación o una señal relacionada con la señal de salida sobrepasa un valor de referencia (R1-R4) con una semionda positiva (30) de la señal de evaluación o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación y/o

b.

Determinación de un momento (t6-t10) siguiente en el que la señal de evaluación en la misma semionda (30) sobrepasa el valor de referencia (R1-R4) con una semionda positiva (30) o no alcanza el mismo con una semionda negativa de la señal de evaluación.

c.

Determinación de, como mínimo, un intervalo de tiempo (I1-I5) utilizando, como mínimo, uno de los momentos (t1-t10).

d.

Repetición de las etapas de proceso a)-c) para una posterior semionda (31) de la señal de evaluación.

e.

Comparación de los intervalos de tiempo (I1-I5) que se corresponden entre sí.

f.

Generación de una señal de detección de arcos cuando los intervalos de tiempo (I1-I5) que se corresponden entre sí se desvían entre sí en más de una tolerancia (T) especificada.

2. Procedimiento según la reivindicación 1, caracterizado porque los intervalos de tiempo (I1-I5) se determinan y comparan para semiondas (30, 31) de la misma polaridad.

3. Procedimiento según la reivindicación 2, caracterizado porque los intervalos de tiempo se determinan y comparan para semiondas (30, 31) directamente sucesivas de la misma polaridad.

4. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque los intervalos de tiempo (I1-I5) a comparar se forman como diferencia de los momentos sucesivos (t1-t10) en los que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia (R1-R4) y se genera una señal de detección de arco si el intervalo (I1-I5) de una semionda posterior (31) es menor en más de la tolerancia especificada (T) que el correspondiente intervalo de tiempo (I1-I5) de la semionda (30) anterior.

5. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque se registra el momento (t0) del paso por cero de la señal de evaluación al principio de la semionda (30, 31), porque los intervalos de tiempo a comparar se forman como diferencia entre el momento (t1-t5) de la vez/las veces de número impar (primera, tercera, etc.) que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia (R1-R4) y el momento (t0) del paso por cero y se genera una señal de detección de arco si el intervalo de tiempo de la semionda (31) posterior es mayor en más de la tolerancia (T) especificada que el intervalo de tiempo de la semionda anterior (30).

6. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque se registra el momento (t0) del paso por cero de la señal de evaluación al principio de la semionda (30, 31), porque los intervalos de tiempo a comparar se forman como diferencia entre el momento (t6-t10) de la vez/las veces de número par (segunda, cuarta, etc.) que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia y el momento (t0) del paso por cero y se genera una señal de detección de arco si el intervalo de tiempo de la semionda posterior (31) es menor en más de la tolerancia (T) especificada que el intervalo de tiempo de la semionda (30) anterior.

7. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque no se tiene en cuenta un intervalo de tiempo (I5) para la detección de arco si el intervalo de tiempo (I5), que resulta como diferencia entre el momento (t1-t5) en el que se sobrepasa o no alcanza el valor de referencia (R1-R4) y el momento (t6-t10) de la siguiente vez que no se alcanza o sobrepasa el valor de referencia (R1-R4), queda por debajo de una duración de tiempo predeterminable.

8. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque se especifican varios valores de referencia (R1-R4).

9. Procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque se genera un valor medio de amplitud (UA) promediado a través de varias semiondas (30, 31) y porque el o los valores de referencia (R1-R4) se especifican en función del valor medio de amplitud (UA).

10. Dispositivo de detección de arcos (1) para detectar arcos en un proceso de plasma, diseñado para realizar el procedimiento según una de las reivindicaciones anteriores con, como mínimo, un convertidor análogico-digital (ADC), especialmente un comparador (3-6) al que se transmite como señal de evaluación la señal de salida o una señal interna en relación con la señal de salida de un generador de corriente alterna y un valor de referencia (R1-R4) estando el ADC (3-6) en conexión con una unidad lógica (16) que genera directamente una señal para un sistema de supresión de arco (23).

11. Dispositivo de detección de arcos según la reivindicación 10, caracterizado porque se ha previsto un controlador (18) que predetermina valores (parámetros) para la unidad lógica (16).

12. Dispositivo de detección de arcos según la reivindicación 10 u 11, caracterizado porque el controlador (18) tiene asignado un panel de control (22) y una indicación (21).

13. Dispositivo de detección de arcos según una de las reivindicaciones 10 a 12, caracterizado porque se han previsto varios, especialmente cuatro comparadores (3-6) a los que se transmiten diferentes valores de referencia (R1-R4).

14. Dispositivo de detección de arcos según una de las reivindicaciones 10 a 13, caracterizado porque se ha previsto un sistema de generación de valores de referencia (11) particularmente un potenciómetro.

15. Dispositivo de detección de arcos según una de las reivindicaciones 10 a 14, caracterizado porque la unidad lógica (16) averigua intervalos de tiempo y los almacena en una memoria intermedia.

16. Dispositivo de detección de arcos según una de las reivindicaciones 10 a 15, caracterizado porque la unidad lógica (16) está conectada con un secuenciador (19) que transmite una señal de sincronización a la unidad lógica (16).

17. Dispositivo de detección de arcos según una de las reivindicaciones 10 a 16, caracterizado porque se ha previsto un rectificador de valores punta (7).