ES2296674T3 - Procedimiento para la generacion de marcas de tiempo de puntos arbitrarios en componentes moviles. - Google Patents
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Abstract
Procedimiento para la generación de marcas temporales de puntos arbitrarios en componentes (13) que se mueven, en el que la luz de una fuente de luz (1) de banda ancha con una longitud de coherencia correspondientemente corta se divide en dos haces, en concreto un haz de luz de medición (3) y un haz de luz de referencia (4), y se acopla en dos conductores de luz (5, 6), la luz del haz de luz de referencia (4) se acopla de modo retroactivo, al menos parcialmente, y la luz del haz de luz de medición (3) se enfoca en un punto de medición (11), y la luz acoplada de modo retroactivo formada por el haz de luz de referencia (4) y el haz de luz de medición (3) se lleva a interferencia y es detectada por un detector (14), se pueden ajustar con la misma longitud los caminos ópticos en el haz de luz de medición (3) hasta el foco (11) y en el haz de luz de referencia (4) hasta el plano de acoplamiento retroactivo (12, 18) dentro de la longitud de coherencia de la luz irradiada, y la luz en el haz de luz de medición (3) es reflejada por el componente que se ha de medir, y en el que a partir de la modulación de la luz interferente originada al pasar el componente a través del foco se determinan las marcas temporales.
Description
Procedimiento para la generación de marcas de
tiempo de puntos arbitrarios de componentes móviles.
La invención se refiere a un procedimiento para
la generación de marcas temporales de puntos arbitrarios en
componentes móviles, así como a un dispositivo de disparo para la
generación de este tipo de marcas temporales.
Por ejemplo, en el desarrollo de grupos motores
de turbinas modernos son muy importantes las mediciones de
oscilaciones en las palas altamente cargadas de los rotores. Las
oscilaciones críticas se han de reconocer con tiempo suficiente. Al
mismo tiempo, las mediciones ofrecen datos para los programas de
diseño y para la estimación de la vida útil de las palas. Las
mediciones, hasta el momento, se llevan a cabo en la mayoría de los
casos con tiras de medición de dilatación, lo que va unido con
costes y plazos de desarrollo considerables, ya que para ello se
requiere un cableado costoso, resistente a la fuerza centrífuga, y
un sistema de telemetría para la transmisión de la
señal.
señal.
El documento US 3,879,988 muestra un
procedimiento para la medición de oscilaciones, en el que un rayo
láser se divide en un haz de luz de medición y un haz de luz de
referencia, reflejándose la luz en el haz de luz de medición en una
pala. A partir de la frecuencia doppler determinada por medio de la
interferencia se determina la oscilación.
El documento JP 05 187972 A da a conocer un
procedimiento en el que a partir del holograma generado para el lado
y el borde delantero de una pala se extraen conclusiones sobre la
oscilación.
Según el documento US 5, 557,099 se pueden
montar sondas de disparo en diferentes posiciones del contorno en
la carcasa del componente que se ha de medir, como por ejemplo una
pala de la turbina de un rotor de turbinas, con las que se pueden
medir los tiempos de recorrido de las palas entre las sondas. Sin la
oscilación se determinan los tiempos de recorrido por medio del
número de revoluciones por unidad de tiempo, el radio del rotor y la
posición de contorno de las sondas. Las oscilaciones llevan a una
variación de los tiempos de recorrido, ya que las palas -dependiendo
de la posición de fase momentánea del movimiento de oscilación-
pasan las sondas antes o después. A partir de las desviaciones de
los tiempos de recorrido respecto a los valores no interferidos se
derivan la amplitud y la frecuencia de las oscilaciones.
Para la generación de las señales de tiempo y de
posición de las palas se montan en la carcasa por encima del rotor
sondas que entregan una señal cuando una pala pasa con sus punta la
región de medición de las sondas. A partir de las señales
analógicas ocasionadas con ello se derivan con medios electrónicos
marcas temporales que están correladas con una posición definida de
las puntas de las palas. En casos especiales, las sondas también
pueden penetrar en el canal de corriente. A continuación se derivan
señales de disparo del borde delantero o trasero de las palas.
Una desventaja fundamental de las
configuraciones de sondas conocidas es que las marcas temporales
sólo se pueden generar en los bordes de las palas, normalmente en
un punto en la punta de la pala. No se registrar las formas de
oscilación que tienen allí precisamente un nodo. Al montar las
sondas en el canal de corriente, además, se perturba la corriente de
un modo considerable.
Debido a ello, el objetivo de la invención es
proporcionar un procedimiento para la generación de marcas
temporales que pueda generar en puntos arbitrarios de componentes
móviles marcas temporales. Éste ha de posibilitar un uso
ampliamente flexible, y en particular una capacidad de
posicionamiento de las sondas libre. Además, se ha de proponer un
dispositivo para la realización del procedimiento.
Según la invención, se propone un procedimiento
para la generación de marcas temporales de puntos arbitrarios de
componentes móviles en el que la luz de una fuente de luz de banda
ancha se divide en dos haces, en concreto un haz de luz de medición
y un haz de luz de referencia, y se acopla en dos conductores de
luz, la luz del haz de luz de referencia se acopla retroactivamente
al menos parcialmente y la luz del haz de luz de medición se enfoca
en un punto de medición, y la luz acoplada retroactivamente formada
por el haz de luz de referencia y el haz de luz de medición se
lleva a interferencia, y es detectada por un detector, los
recorridos de luz en el haz de luz de medición hasta el foco y en
el haz de luz de referencia hasta el plano de acoplamiento
retroactivo son igual de largos dentro de la longitud de coherencia
de la luz irradiada, reflejándose la luz del haz de luz de medición
por el componente que se ha de medir, y determinándose a partir de
la modulación que surge con el paso del componente a través del foco
de la luz interferente las marcas temporales.
En el procedimiento conforme a la invención se
emplea una fuente de luz de banda ancha. La luz irradiada por esta
fuente de luz es dividida por medio de un divisor de haz en dos
haces. Una componente de la luz se alimenta a un conductor de luz
de medición, la otra parte a un conductor de luz de referencia. La
luz del haz de luz de medición sale en el extremo del conductor de
luz, y es enfocada antes del conductor de luz. El foco representa
el punto de medición. La luz del haz de luz de referencia se acopla
retroactivamente, al menos parcialmente. Esto puede suceder o bien
directamente en la superficie terminal del conductor de luz, o se
puede conseguir por medio de un espejo separado.
Cuando un componente en movimiento pasa por el
foco del haz de luz de medición, se refleja una parte de la luz y
se acopla de modo retroactivo en el conductor de luz de medición.
Las componentes acopladas de modo retroactivo del haz de luz de
medición y del haz de luz de referencia se llevan entonces a
interferencia, y son detectadas por un detector.
La disposición se ha de ajustar en primer lugar
de tal manera que este manejo se realice exactamente en el foco del
haz de luz de medición. Cuando un componente pasa entonces por el
rayo de luz del haz de luz de medición en el foco, entonces la
intensidad de la luz reflejada y acoplada de modo retroactivo en el
conductor de luz alcanza un máximo. Al mismo tiempo se produce una
modulación de la intensidad de luz en el detector, dependiendo la
frecuencia de modulación de la longitud de onda de la luz usada y de
la velocidad del componente. A partir de esta modulación de la luz
interferente se determinan las marcas temporales.
Preferentemente, como divisor de rayos y para la
interferencia de las componentes de luz acopladas de modo
retroactivo se emplea un interferómetro de Michelson, pudiéndose
usar también otras disposiciones interferométricas.
Según la invención, se propone además un
dispositivo de disparo óptico para la generación de marcas
temporales de puntos arbitrarios de componentes móviles, formado
por una fuente de luz de banda ancha, medios para la división de la
luz de la fuente de luz en dos haces, en concreto un haz de luz de
medición y un haz de luz de referencia, que comprenden,
respectivamente, un conductor de luz y medios para la alimentación
de la luz en los conductores de luz correspondientes, medios para
el enfoque de la luz que sale del conductor de luz de medición en
un punto de medición, medios para el acoplamiento retroactivo de la
luz del haz de luz de referencia, medios para la interferencia de
la luz acoplada de modo retroactivo de los dos haces, y un detector
para la detección de la luz interferida, acoplada de modo
retroactivo, en la que se produce una modulación de la luz cuando el
componente pasa por el foco.
Con el dispositivo de disparo óptico conforme a
la invención se pueden generar marcas temporales para puntos
arbitrarios de componentes móviles. El dispositivo de disparo
conforme a la invención comprende una fuente de luz de banda ancha.
La luz que se irradia desde esta fuente de luz se divide en dos
haces, en concreto un haz de luz de medición y un haz de luz de
referencia. La luz del haz de luz de medición se alimenta a un
conductor de luz de medición., la luz del haz de luz de referencia
se alimenta a un conductor de luz de referencia. Los dos
conductores de luz llevan a una sonda. En esta sonda sale la luz del
conductor de luz de medición, y se enfoca en un punto de medición.
La luz del haz de luz de referencia se acopla de modo retroactivo al
menos parcialmente de nuevo en el conductor de luz de referencia.
Esto se puede conseguir o bien por medio de reflexión en la
superficie límite del conductor de luz, o bien por medio de un
espejo separado.
Cuando un componente que ha de ser medido, por
ejemplo una pala de rotor de un grupo motor de una turbina, pasa
por el foco del haz de luz de medición, se refleja la luz
parcialmente y se acopla de modo retroactivo en el conductor de luz
de medición. Las componentes de luz acopladas de modo retroactivo se
unen a partir de los dos haces. Se interfieren entonces entre
ellas. Con un detector se detecta la luz interferente acoplada de
modo retroactivo de los dos haces. Cuando el componente que ha de
ser medido pasa por el foco del haz de luz de medición, entonces la
intensidad de la luz acoplada de modo retroactivo alcanza un máximo.
Se produce entonces una modulación de la intensidad de luz en el
detector, dependiendo la frecuencia de modulación de la longitud de
onda de la luz usada y de la velocidad del componente.
En una variante ventajosa del dispositivo
conforme a la invención están previstos medios que hacen que se
pueda ajustar la longitud óptica del recorrido del haz de luz de
referencia y/o del haz de luz de medición. Esto se puede realizar,
por ejemplo, por medio de una posibilidad de ajuste axial de las
ópticas de acoplamiento para el acoplamiento de la luz dividida de
la fuente de luz en los conductores de luz.
Para la división de la luz de la fuente de luz
en dos haces y para provocar la interferencia de las componentes de
luz acopladas de modo retroactivo se usa preferentemente un
interferómetro de Michelson. Alternativamente se puede emplear
también un interferómetro de fibras.
El extremo del conductor de luz de medición y la
óptica de enfoque están unidos, preferentemente, en una sonda en la
que también puede finalizar el conductor de luz de referencia. La
sonda de medición se puede posicionar de un modo sencillo.
Preferentemente, la posición del foco del haz de luz de medición se
puede ajustar para hacer posible una adaptación a las relaciones de
espacio dadas en la medición. Para conseguir una adaptación óptima
al componente que se ha de medir y a su accesibilidad, el rayo de
luz puede salir del haz de luz de referencia oblicuamente de la
sonda. La sonda puede estar provista para ello de una ventana
oblicua.
En una variante del dispositivo conforme a la
invención se pueden montar en una sonda varios conductores de luz
para la generación simultánea de señales de disparo de varios puntos
a una superficie del componente.
Preferentemente, los dos conductores de luz del
haz de luz de medición y de referencia discurren a lo largo de toda
la longitud en un estrecho contacto. Por medio de ello se producen
variaciones de longitud ópticas por medio de oscilaciones de
temperatura, vibraciones y efectos similares en ambos haces en la
misma medida, y no representan una perturbación.
El haz de luz de referencia dispone
preferentemente de medios para la atenuación de la intensidad de la
luz, para poder hacer que se pueda adaptar la intensidad de señal a
la del haz de medición. Esto se puede realizar por medio de un disco
de atenuación.
Para la división de la luz en dos ramas y para
la unión posterior se puede usar un interferómetro de fibras.
La derivación de una marca temporal precisa a
partir de la señal de salida de alta frecuencia del detector se
puede conseguir por medio de medios electrónicos.
En el dispositivo se pueden montar en una sonda
varios conductores de luz para la generación simultánea de señales
de disparo desde varios puntos a una superficie del componente.
La invención se explica a continuación con más
detalle a partir de los dibujos anexos:
Fig. 1 muestra la construcción esquemática de un
dispositivo de disparo óptico según la invención;
Fig. 2 muestra la construcción esquemática de un
dispositivo de disparo óptico conforme a la invención con un divisor
de rayos óptico de fibras;
Fig. 3 muestra una señal de salida del detector,
y la posible derivación a partir de ella de una marca temporal
precisa.
En la Fig. 1 se representa una fuente de luz 1
de banda ancha que emite en el intervalo visible. En el presente
caso, se trata de un diodo luminoso con la longitud de onda de
\lambda = 630 nm. El ancho de banda tiene un valor de
\Delta\lambda = 50 nm. La longitud de coherencia l_{k} resulta a
partir de l_{k} = \lambda^{2}/\Delta\lambda. La longitud de
coherencia, así pues, tiene un valor de aproximadamente 8 \mum. La
luz de la fuente de luz se irradia en un interferómetro de Michelson
que dispone de un divisor de rayos 2. El divisor de rayos divide la
luz de la fuente de luz 1 en un haz de luz de medición 3 y en un haz
de luz de referencia 4. La luz se hace paralela en primer lugar, y
después de la división por medio de los sistemas de lentes 7 y 8 se
alimenta a los conductores de luz 5, 6 correspondientes. Los
conductores de luz se mantienen a lo largo de una parte lo mayor
posible de su longitud en un contacto estrecho. Gracias a ello
aparecen variaciones ópticas de la longitud por medio de
oscilaciones de temperatura, vibraciones y otros efectos en los dos
haces del mismo modo, y no representan una perturbación. En la sonda
9 sale la luz del conductor de luz de medición 5, y es enfocada por
medio de un sistema de lentes 10 en el foco 11. La luz del conductor
de luz de referencia 6 se acopla de modo retroactivo en su extremo
12 al menos parcialmente.
Para la generación de una marca temporal se
mueve un componente 13 que ha de ser movido, por ejemplo una pala
de rotor de un grupo motor de turbina, a través del foco 11. Gracias
a ello la luz se refleja parcialmente y se acopla de modo
retroactivo en el conductor de luz de medición 5. La luz acoplada de
modo retroactivo incide, a su vez, en el divisor de rayos 2 del
interferómetro de Michelson. La luz interfiere con la luz acoplada
de modo retroactivo del haz de luz de referencia 4, y es detectada
por el detector 14.
En el detector 14 se produce una modulación de
la intensidad de luz cuando los recorridos de los dos haces de luz
3,4 son iguales dentro de la longitud de coherencia. Debido a ello,
la disposición se ha de ajustar en primer lugar de tal manera que
se cumpla con esta condición precisamente en el foco 11 por delante
de la sonda 9. Para ello, en la construcción aquí representada está
prevista una posibilidad de ajuste A1, A2 para tener la mayor
libertad posible con la posición del foco 11.
Para poder adaptar la intensidad de la señal del
haz de luz de referencia 4 a la intensidad de la señal del haz de
luz de medición 3, el haz de luz de referencia 4 dispone de un disco
de atenuación 15.
En la Fig. 2 está representado un dispositivo de
disparo óptico que trabaja en principio del mismo modo, en el que
se emplea un divisor de rallos 2 de fibra óptica. La luz de la
fuente de luz 1 se acopla en una fibra, y se divide en el divisor
de rayos 2 de fibra óptica en un haz de luz de medición 3 y un haz
de luz de referencia 4. El conductor de luz de medición 5 lleva a
una sonda 9, que está construida tal y como se representa y se
explica en la Fig. 1. El conductor de luz de referencia 6 lleva a
una unidad de ajuste 16 en la que el rayo de luz se hace paralelo
por medio de una óptica 17 adecuada, y se refleja en un espejo 18.
El espejo dispone de una posibilidad de ajuste A3. Gracias a ello
se puede ajustar el camino óptico efectivo del haz de luz de
referencia 4. El ajuste necesario antes de la generación de marcas
temporales de los caminos ópticos de los dos haces de luz se puede
conseguir, con ello, a pesar de que no haya una posibilidad de
ajuste en el divisor de rayos 2 de fibra óptica.
En la Fig. 3 se representa la señal detectada
por el detector y las señales que se originan después de un
procesado a modo de ejemplo. Para la generación de una marca
temporal, el componente que ha de ser medido, por ejemplo una pala
de una turbina, se mueve a través del foco del haz de luz de
medición. Gracias a ello se refleja la luz, y se acopla de modo
retroactivo, parcialmente, en el haz de luz de medición. Esto lleva
a una modulación de la señal que ha de ser determinada en el
detector. Con una longitud de onda de, por ejemplo, 630 nm, así como
para velocidades de contorno en una pala de turbina en el intervalo
entre 10 y 500 m/s, esto lleva a frecuencias de modulación de 30 a
1.600 MHz. Después de pasar por un filtro de paso alto, la señal
tiene la forma representada en la fig. 3a. Después de la
rectificación se consigue entonces la señal representada en la Fig.
3B. Por medio del empleo de un filtro de paso bajo, la señal adopta
la forma representada en la Fig. 3c. Una marca temporal V, tal y
como está representada en la Fig. 3d, se puede conformar, por
ejemplo, después de la diferenciación de la señal de la Fig. 3c con
un paso por cero negativo de la señal que se genera.
Claims (8)
1. Procedimiento para la generación de marcas
temporales de puntos arbitrarios en componentes (13) que se mueven,
en el que la luz de una fuente de luz (1) de banda ancha con una
longitud de coherencia correspondientemente corta se divide en dos
haces, en concreto un haz de luz de medición (3) y un haz de luz de
referencia (4), y se acopla en dos conductores de luz (5, 6), la luz
del haz de luz de referencia (4) se acopla de modo retroactivo, al
menos parcialmente, y la luz del haz de luz de medición (3) se
enfoca en un punto de medición (11), y la luz acoplada de modo
retroactivo formada por el haz de luz de referencia (4) y el haz de
luz de medición (3) se lleva a interferencia y es detectada por un
detector (14), se pueden ajustar con la misma longitud los caminos
ópticos en el haz de luz de medición (3) hasta el foco (11) y en el
haz de luz de referencia (4) hasta el plano de acoplamiento
retroactivo (12, 18) dentro de la longitud de coherencia de la luz
irradiada, y la luz en el haz de luz de medición (3) es reflejada
por el componente que se ha de medir, y en el que a partir de la
modulación de la luz interferente originada al pasar el componente a
través del foco se determinan las marcas temporales.
2. Procedimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque para la división de la luz y para la
interferencia de la luz acoplada de modo retroactivo se usa un
interferómetro de Michelson.
3. Unidad de disparo óptica para la generación
de marcas temporales de puntos arbitrarios sobre componentes (13)
que se mueven según el procedimiento según la reivindicación 1 ó 2,
formada por
- -
- una fuente de luz (1) de banda ancha con una longitud de coherencia correspondientemente corta,
- -
- medios (2) para la división de la luz de la fuente de luz (1) en dos haces, en concreto un haz de luz de medición (3) y un haz de luz de referencia (4), cada uno de los cuales comprende un conductor de luz (5, 6) y medios (7, 8) para la alimentación de la luz a los conductores de luz (5, 6) correspondientes, siendo los caminos ópticos en el haz de luz de medición (3) hasta el foco y en el haz de luz de referencia (4) hasta el plano de acoplamiento retroactivo (12, 18) igual de largos dentro de la longitud de coherencia de la luz irradiada,
- -
- medios (10) para el enfoque de la luz que sale del conductor de luz de medición (5) en un punto de medición (11),
- -
- medios (12, 18) para el acoplamiento retroactivo de la luz de la rama de luz de referencia (4)
- -
- medios (2) para la interferencia de la luz acoplada retroactivamente de los dos haces (3, 4), y
- -
- un detector (14) para la detección de la luz interferente, acoplada de modo retroactivo, y de la modulación de la luz al pasar el componente (13) a través del foco (11).
4. Dispositivo de disparo óptico según la
reivindicación 3, caracterizado porque el camino óptico del
haz de luz de medición (3) y/o del haz de luz de referencia (4) se
pueden ajustar.
5. Dispositivo de disparo óptico según la
reivindicación 3 ó 4, caracterizado porque los medios (2)
para la división e interferencia de la luz son un interferómetro de
Michelson.
6. Dispositivo de disparo óptico según una de
las reivindicaciones 3 a 5, caracterizado porque se puede
ajustar la posición del foco (11) de la rama de luz de medición
(3).
7. Dispositivo de disparo óptico según una de
las reivindicaciones 3 a 6, caracterizado porque se puede
ajustar la intensidad de luz de la rama de referencia (4).
8. Dispositivo de disparo óptico según una de
las reivindicaciones 3 a 7, caracterizado porque el
dispositivo de disparo comprende varios haces de luz de medición (3)
para la generación simultánea de señales de disparo de varios puntos
en componentes que se mueven.
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|---|---|---|---|---|
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| US8151647B2 (en) * | 2008-09-24 | 2012-04-10 | Siemens Energy, Inc. | Apparatus for monitoring blade vibration with an imaging fiber optic ribbon probe |
| US8126662B2 (en) * | 2008-09-24 | 2012-02-28 | Siemens Energy, Inc. | Method and apparatus for monitoring blade vibration with a fiber optic ribbon probe |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3355934A (en) * | 1967-04-24 | 1967-12-05 | John V Foster | Vibration measurment with coherent light |
| US3879988A (en) * | 1973-12-19 | 1975-04-29 | Gen Electric | Optical comparator for measuring vibration on a rotating object |
| DE3820170A1 (de) * | 1988-06-14 | 1989-12-21 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Messgeber zur messung physikalischer groessen |
| US5267016A (en) * | 1991-11-27 | 1993-11-30 | United Technologies Corporation | Laser diode distance measurement |
| JPH05187972A (ja) | 1992-01-16 | 1993-07-27 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 動翼の振動モード判定方法及び動翼の振動モード判定装置 |
| DE4344650C1 (de) * | 1993-12-24 | 1995-01-26 | Mtu Muenchen Gmbh | Signaleinrichtung für Turbomaschinen |
| DE19548158C2 (de) | 1995-12-22 | 1998-12-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Oberflächenschwingungen |
| GB9802688D0 (en) | 1998-02-06 | 1998-07-29 | Marconi Gec Ltd | Improvements in or relating to sound detection |
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