ES2160905T3 - Dispositivo para determinar la forma de la superficie de onda transmitida por una pieza transparente con caras sensiblemente paralelas. - Google Patents

Dispositivo para determinar la forma de la superficie de onda transmitida por una pieza transparente con caras sensiblemente paralelas.

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ES2160905T3
ES2160905T3 ES97401467T ES97401467T ES2160905T3 ES 2160905 T3 ES2160905 T3 ES 2160905T3 ES 97401467 T ES97401467 T ES 97401467T ES 97401467 T ES97401467 T ES 97401467T ES 2160905 T3 ES2160905 T3 ES 2160905T3
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Michael Bray
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Compagnie Industriel des Lasers CILAS SA
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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Abstract

LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA DETERMINAR LA FORMA DE LA SUPERFICIE DE ONDA TRANSMITIDA POR UNA PIEZA TRANSPARENTE (P) DE CARAS ESENCIALMENTE PARALELAS, QUE LLEVA UN SOPORTE (S) DE LA PIEZA (P), UN INTERFEROMETRO (I), MEDIOS DE DESPLAZAMIENTO DEL SOPORTE (S) Y UNA UNIDAD DE CONTROL QUE DETERMINA, A PARTIR DE LAS MEDICIONES DEL INTERFEROMETRO (I), LA FORMA DE DICHA SUPERFICIE DE ONDA. SEGUN LA INVENCION, EL SOPORTE (S) ESTA REALIZADO PARA DEJAR PASAR EL HAZ LUMINOSO (FM) EMITIDO POR EL INTERFEROMETRO (I) Y TRANSMITIDO POR LA PIEZA (P) QUE ES TRANSPARENTE, Y DICHO DISPOSITIVO LLEVA UN ESPEJO ORIENTABLE (M1) APROXIMADAMENTE ORTOGONAL AL HAZ (FM) TRANSMITIDO POR LA PIEZA Y ORIENTADO PARA REENVIAR DICHO HAZ (FM) EN LA DIRECCION DE EMISION (D1).
ES97401467T 1996-07-10 1997-06-24 Dispositivo para determinar la forma de la superficie de onda transmitida por una pieza transparente con caras sensiblemente paralelas. Expired - Lifetime ES2160905T3 (es)

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EP (1) EP0818667B1 (es)
DE (1) DE69706615T2 (es)
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FR2751069B1 (fr) 1998-10-16
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