ES2094433T3 - Dispositivo para evitar descargas en instalaciones de atomizacion en vacio. - Google Patents

Dispositivo para evitar descargas en instalaciones de atomizacion en vacio.

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ES2094433T3
ES2094433T3 ES93113713T ES93113713T ES2094433T3 ES 2094433 T3 ES2094433 T3 ES 2094433T3 ES 93113713 T ES93113713 T ES 93113713T ES 93113713 T ES93113713 T ES 93113713T ES 2094433 T3 ES2094433 T3 ES 2094433T3
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ES
Spain
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prevent discharges
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discharges
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ES93113713T
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Johann Sturmer
Michael Dr Lubbehusen
Gernot Dipl-Ing Thorn
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold AG
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
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Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO. ESTE DISPOSITIVO CONTIENE UN GENERADOR DE IMPULSOS (12), EL CUAL LLEVA EL CATODO (5) DE LA INSTALACION DE PULVERIZACION A INTERVALOS PREFIJADOS A POTENCIAL POSITIVO, POR LO CUAL TIENE LUGAR UNA DESCARGA DE CAPAS SOBRE UN BLANCO (7). ESTA DESCARGA IMPIDE LA FORMACION DE TENSIONES ELEVADAS QUE PUEDEN CONDUCIR A UNA DESCARGA.
ES93113713T 1992-10-07 1993-08-27 Dispositivo para evitar descargas en instalaciones de atomizacion en vacio. Expired - Lifetime ES2094433T3 (es)

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