EP4204781A1 - Temperature sensor and method for producing a temperature sensor of this kind - Google Patents

Temperature sensor and method for producing a temperature sensor of this kind

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Publication number
EP4204781A1
EP4204781A1 EP21762446.9A EP21762446A EP4204781A1 EP 4204781 A1 EP4204781 A1 EP 4204781A1 EP 21762446 A EP21762446 A EP 21762446A EP 4204781 A1 EP4204781 A1 EP 4204781A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
substrate
layer
temperature sensor
contact pad
front side
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP21762446.9A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Karlheinz Wienand
Tim Asmus
Christoph Nick
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yageo Nexensos GmbH
Original Assignee
Yageo Nexensos GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yageo Nexensos GmbH filed Critical Yageo Nexensos GmbH
Publication of EP4204781A1 publication Critical patent/EP4204781A1/en
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C1/00—Details
    • H01C1/14—Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/06—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material including means to minimise changes in resistance with changes in temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K2007/163—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements provided with specially adapted connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/10—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material voltage responsive, i.e. varistors

Definitions

  • the invention relates to a temperature sensor and a method for producing such a temperature sensor.
  • US Pat. No. 6,151,771 A discloses an SMD temperature sensor based on a platinum thin-film structure.
  • the contacts are routed from an upper side to an underside of the substrate, in that two side surfaces of the substrate are metallized.
  • additional soldering connections are formed which enclose the side surfaces.
  • a disadvantage of such a design of a temperature sensor is again the complexity of the production.
  • the side surfaces described must be metalized in a work step that is necessary for this.
  • a semiconductor material is provided in the form of a cuboid and metallized on two opposite side faces.
  • the metallized side surfaces in turn serve as contacts for the electrical leads.
  • a further object of the invention consists in specifying a corresponding method for producing a temperature sensor according to the invention.
  • this object is achieved with regard to a temperature sensor by the subject matter of claim 1 and with regard to a method for producing a temperature sensor by the subject matter of patent claim 11.
  • the invention is based on the idea of specifying a temperature sensor which comprises: a substrate formed from a metal element, in particular a metal foil, the substrate having a front side and a rear side, an insulating layer which covers the front side of the substrate only in sections, such that an insulating layer-free section is formed on the front side of the substrate, and a sensor structure, in particular a resistive sensor structure, which is formed on the insulating layer and on the insulating layer-free section of the front side of the substrate, the sensor structure having at least two electrical contacting sections, and a first contacting section is connected to the insulating layer-free portion of the front side of the substrate and a second contacting portion is a first contact pad or is connected to a first contact pad, the first contact pad preferably being on the insulation layer is arranged.
  • a sensor structure is to be understood in particular as a coherent structure.
  • the sensor structure is preferably formed in one piece.
  • the first and the at least second contacting section are each formed by a section of a continuous or one-piece sensor structure.
  • a sensor structure is understood to be a coherent structure that does not consist of a number of structurally separate components.
  • first and the at least second contacting section are not structurally separate components.
  • An electrical contacting section is to be understood in particular as a section that brings about electrical contact with another component or another layer.
  • the sensor structure preferably has a meandering structure at least in sections, with the at least two contacting sections being different sections of the meandering structure.
  • the first contacting section is formed from the section of the sensor structure that is formed on the section without an insulating layer.
  • a temperature sensor which has a substrate, an insulation layer and a sensor structure, the insulation layer not being applied and/or applied over the full area on a front side of the substrate.
  • An insulating film bare portion is formed on the substrate.
  • the sensor structure is in turn formed at least in sections on this section without an insulation layer.
  • the sensor structure is formed on the section free of the insulation layer in such a way that at least one contacting section of the sensor structure is connected, in particular electrically connected, to the section of the front side of the substrate which is free of the insulation layer.
  • the underlying object is thus achieved according to the invention in that a sensor structure can be applied to a substrate, which can have relatively small dimensions, the electrical contacting on the insulating layer being made by connection to a contact pad and on the other hand by contacting the substrate due to the formation of the Sensor structure takes place on the insulating layer-free section.
  • the first contact pad can be arranged directly or indirectly on the insulation layer or can be connected to the insulation layer. It is possible for the first contact pad to be indirectly connected to the insulation layer via the second contacting section.
  • the front and back of a substrate are two opposite sides of the substrate. These are the opposite sides of the substrate that are larger in terms of surface area.
  • the front and back of a substrate are preferably not to be understood as meaning the sides of the substrate that are formed by the layer thickness or component thickness of the substrate. If both the front side and the back side are made of the same material or have the same coating, both sides can function as the front side and/or the back side.
  • the substrate is an electrically conductive substrate.
  • the front side of the substrate is preferably understood to mean the side of the substrate on which an insulating layer is formed directly or indirectly.
  • the insulating layer does not completely or incompletely cover the substrate.
  • the insulating layer-free portion is formed at an edge portion of the front side of the substrate.
  • An edge section is to be understood in particular as such a section of the front side which adjoins at least one side edge of the front side of the substrate.
  • the edge portion of the front side is the edge portion of the front side formed by a shorter side of the substrate.
  • the temperature sensor has supply lines for making electrical contact with it.
  • the temperature sensor preferably has two electrical supply lines. It is possible for the temperature sensor to have a first electrical lead, which is connected to the rear side of the substrate, and has at least a second electrical lead, which is connected to the first contact pad. The electrical contacting of the temperature sensor thus takes place on the one hand on the rear side of the substrate and on the other hand on the opposite side of the temperature sensor, namely on the first contact pad.
  • a temperature sensor Because of such an electrical contact, it is possible to use a temperature sensor to be made available with particularly small dimensions.
  • the small dimensions are achieved, among other things, by the contacting of the temperature sensor taking place on the opposite sides of the temperature sensor and not, as is usual with sensor structures, next to one another on one side of the temperature sensor or the substrate.
  • a passivation layer can be formed at least in sections on the side of the sensor structure pointing away from the substrate.
  • the passivation layer may be formed from glass frits or to have glass frits. It is also possible, for example, for layers made of aluminum oxide (Al2O3) to be formed as passivation layers.
  • Al2O3 aluminum oxide
  • the sensor structure is completely covered with a passivation layer. It is possible for the first contact pad of the temperature sensor to be covered, at least in sections, by a passivation layer.
  • the first contact pad is arranged in such a way that it rests in sections on the side of the passivation layer facing away from the sensor structure and is at the same time electrically connected to the sensor structure.
  • a further reduction in the sensor area is brought about.
  • Such an embodiment is realized by applying the contact pad simultaneously to the passivation layer and the uncovered area of the sensor structure after the application of the passivation layer, for example by screen printing a paste containing noble metal.
  • the metal element in particular the metal foil, from which a substrate is formed, preferably has one of the following elements: aluminum (Al) and/or steel, in particular ferritic steel, and/or titanium (Ti) and/or niobium (Nb) and /or tantalum (Ta) and/or nickel (Ni) and/or copper (Cu).
  • the metal element in particular the metal foil, is formed from one of the following elements: aluminum (Al) and/or steel, in particular ferritic steel, and/or titanium (Ti) and/or niobium (Nb) and/or tantalum (Ta) and/or nickel (Ni) and/or copper (Cu).
  • the metal foil prefferably be preferably formed from materials that form dense metal oxide layers with high electrical insulation during anionic oxidation. This serves to produce a corresponding insulation layer.
  • the steel in particular the ferritic steel, is preferably an FeCrAI alloy, in particular X8CRAI20-5 or FeCr25AI5.
  • FeCrAI alloy in particular X8CRAI20-5 or FeCr25AI5.
  • metal alloys should preferably be selected in such a way that their resistance remains as constant as possible over its lifetime.
  • the resistance of the carrier substrate according to the geometry of the sensor can be taken into account in a possible trim adjustment of the sensor.
  • a roll clad or clad metal substrate or sheet with a metallic surface coating such as electroplating may be provided.
  • the substrate preferably has a substrate thickness of from 10 ⁇ m to 1 mm, in particular from 0.02 mm to 0.5 mm, particularly preferably from 0.05 mm to 0.3 mm. If the substrate is formed from a metal foil with a substrate thickness of less than 300 ⁇ m, the substrate has particularly good mechanical flexibility.
  • the thermal expansion coefficient of the substrate should be in the range of 6*10′ 6 K′ 1 to 15*10′ 6 K′ 1 .
  • the selection of the material of the substrate with such a coefficient of expansion prevents a sensor structure applied thereon, which is made of platinum and/or a platinum alloy, from flaking off. If a sensor structure is formed from platinum, ferritic steels or titanium or tantalum are particularly suitable with regard to the substrate material.
  • the substrate is particularly preferably on at least one side, particularly preferably both on the front and on the back completely, is coated with a nickel protective layer and/or a gold protective layer.
  • a nickel protective layer preferably has a thickness of about 3 ⁇ m.
  • a protective gold layer preferably has a layer thickness of 0.1 ⁇ m, in particular approximately 0.1 ⁇ m.
  • Electrically insulating layers that electrically isolate the electrically conductive substrate from the heating structure are particularly suitable as insulating layers.
  • layers with a specific resistance of > 10E10 Q * cm are suitable for this.
  • the insulation layer includes, for example, a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer, or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer.
  • the insulation layer is a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer, or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer.
  • insulation layer that is or has a metal oxide layer, a metal nitride layer or a metal oxynitride layer is that such insulation layers have both good insulating properties and can be made as thin as possible, preferably as thin as possible and mechanically flexible.
  • Some metals such as aluminum or FeCrAI alloys, form particularly stable metal oxide layers, so that the insulation layer does not flake off or cracks form in the insulation layer, even in the event of rapid temperature changes.
  • the insulation layer has the following components or consists of the following components:
  • the insulation layer is produced by means of an ADM process (aerosol deposition method). With the help of one Method ceramic or glass-like insulation layers can be produced. These layers have a particularly high level of electrical insulation and can also have a thin layer thickness. If the insulation layer is produced using the ADM process, the thickness of the insulation layer can be 0.2 ⁇ m - 10 ⁇ m.
  • CVD chemical vapor deposition
  • CSD chemical solution deposition
  • PVD physical vapor deposition
  • the insulation layer is a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or is formed from a composite layer, or a vitreous or glass-ceramic layer formed from a slip or a paste containing metal oxides, in particular Aluminum oxide particles (AI2O3) and/or magnesium oxide particles (MgO), or is formed from a layered composite, wherein at least one layer has a polymer layer.
  • a metal oxide layer in particular an anodized metal oxide layer or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or is formed from a composite layer, or a vitreous or glass-ceramic layer formed from a slip or a paste containing metal oxides, in particular Aluminum oxide particles (AI2O3) and/or magnesium oxide particles (MgO), or is formed from a layered composite, wherein at least one layer has a polymer layer.
  • AI2O3 Aluminum oxide particles
  • the use of a metal foil for the production or the provision of a substrate, in particular the use of an aluminum foil, has the advantage that warping of the metal foil is prevented when the temperature sensor to be produced is subjected to higher temperatures.
  • the use of a metal foil to form an electrically conductive substrate also has the advantage that, for example, in contrast to the use of polymeric substrates, the insulation layer can be applied using variable methods. Since the metal foil can be exposed to high temperatures, the insulation layer can also be applied by means of such methods that involve exposure to high temperatures. This is the case, for example, when applying metal-containing pastes. Such pastes or layers of sintering paste are regularly to be sintered at high temperatures of, for example, 1,000.degree. Due to the use of a metal foil as a substrate, such thermal stresses can be applied without further ado.
  • An anodized metal oxide layer differs from an atmospheric metal oxide layer in having higher electrical insulation.
  • An anodized metal oxide layer can be produced, for example, by anodizing a metal surface.
  • an insulating layer that is an anodized metal oxide layer can be produced by anodizing the metal surface of the substrate. Due to electrolytic oxidation, the surface of the metal foil is converted into a metal oxide layer.
  • An anodizing process is a surface technology method for producing an oxidic protective layer through anodic oxidation.
  • the protective layer is not deposited on the workpiece, but rather an oxide or hydroxide is formed by converting the top metal layer.
  • a 5 pm - 25 pm thin layer is formed, which protects and insulates the underlying layers or elements, namely the substrate.
  • Another way to produce a metal oxide layer is a hard anodizing process.
  • the metal foil As in the anodizing process, the metal foil is immersed in an electrolyte and connected as an anode. The surface of the metal foil is oxidized in the process, so that a metal oxide layer is formed. In this case, the volume of the metal foil increases.
  • an electrically insulating insulation layer in particular an electrically insulating aluminum oxide layer, of up to 5 ⁇ m can be produced.
  • steel materials with a low CrAl content provided that such a steel material is aluminated on at least one surface or on at least one side.
  • An alitizing process provides that a layer containing aluminum is applied to the substrate material, with this layer containing aluminum then being annealed at temperatures of 800 °C to 1,200 °C. This results in dense AhOs layers with a thickness of > 20 pm.
  • the AhOs layer is in the a phase. Due to this process, an insulating layer is formed on at least one side of the substrate.
  • Such an insulation layer is an electrically insulating metal oxide layer.
  • the insulating layer can be made of a vitreous compound.
  • the insulation layer can be formed from a layered composite.
  • the insulation layer can have a multilayer structure.
  • Such a layered composite or a multilayer structure has the advantage that pinholes or other disruptions and/or defects in a first layer of the layered composite are covered by the application of further layers and as a result the probability of a short circuit between the sensor structure and the conductive substrate decreases.
  • the layered composite can also have the combination of inorganic layers with polymer layers.
  • the insulation layer is formed from a layer composite with a polymer layer, such polymer layers can be formed in particular that have materials that can be deposited from solution.
  • the polymer layer is a layer made of polyimide and/or teflon and/or polycarbonate.
  • the layered composite can be formed from three layers.
  • a first layer is an aluminum oxide (Al2O3) layer. This layer is preferably produced using the ADM method.
  • the second layer can be a polyimide layer.
  • the third layer is preferably in turn an aluminum oxide (Al20s) layer, which is particularly preferably produced by means of ADM processes.
  • Al20s aluminum oxide
  • the insulating layer covers the substrate, in particular the electrically conductive substrate, only in sections.
  • the substrate, in particular the electrically conductive substrate is not covered with the insulation layer in at least one section and can therefore be electrically contacted in this section which is free of the insulation layer.
  • the temperature sensor in a further embodiment of the invention it is possible for the temperature sensor to have a second contact pad which is formed in particular on the insulation layer.
  • the second contact pad is preferably electronically connected to the first contact pad, with the second contact pad preferably forming a further tap of a resistance network.
  • the first contact pad and/or the second contact pad form(s) the connection of the sensor structure to a contacting section of the sensor structure, in particular to the second contacting section of the sensor structure. If the temperature sensor according to the invention has a complex resistance network, it is necessary to form more than two contact pads on the side of the sensor structure.
  • the contact pads serve both as a contacting section for electrical leads and for corresponding taps.
  • two contact pads that are bridged with one another can be formed, so that the contribution of the electrical supply line to the overall resistance of the sensor structure can be detected.
  • the first contact pad and/or the second contact pad can be a bonding pad, for example.
  • the at least one contact pad preferably has a sinterable material or consists of such a sinterable material.
  • the sinterable material can contain or consist of metal.
  • the metal can preferably be formed from the group consisting of noble metals and non-noble metals.
  • Noble metals can be selected from the group consisting of gold, silver, platinum, palladium or iridium.
  • Base metals can be selected from the group consisting of aluminum, copper or nickel.
  • the metal may include or consist of an elemental metal or an alloy.
  • the metal is an alloy.
  • the alloy may contain a noble metal selected from the group consisting of gold, silver, platinum, palladium or iridium.
  • the alloy preferably contains two or more noble metals.
  • the alloy can be a silver alloy or a silver-platinum alloy.
  • the alloy may include at least one precious metal and at least one non-precious metal.
  • the alloy can include both precious metal and non-precious metal.
  • the area of the at least one contact pad is not further restricted according to the invention.
  • the first contact pad and/or the second contact pad has a dimension of not more than 1 mm, in particular not more than 200 ⁇ m, and very particularly preferably not more than 50 ⁇ m, in a first direction, which runs in particular parallel to the substrate surface. on.
  • the first contact pad and/or the second contact pad has a dimension of not more than 300 ⁇ m, in particular not more than 100 ⁇ m, in particular not more than 5 mm, and most preferably not more than 50 pm.
  • first contact pad and/or the second contact pad is not further restricted.
  • first contact pad and/or the second contact pad can be round or angular, in particular rectangular.
  • the sensor structure in particular the resistive sensor structure, can in particular be formed from a metal.
  • the sensor structure, in particular the resistive Sensor structure consist of a pure metal or a metal alloy.
  • the sensor structure has a metal or a metal alloy that has a temperature coefficient >3E-3/K.
  • the sensor structure has platinum and/or aluminum and/or nickel.
  • the sensor structure in particular the resistive sensor structure, is formed from platinum and/or a platinum alloy.
  • the at least one sensor structure is preferably applied in sections directly to the insulation layer. In other words, the sensor structure is applied, at least in sections, directly to the side of the insulation layer pointing away from the substrate. In such an embodiment of the invention, no further layers are formed between the sensor structure and the side of the insulating layer pointing away from the substrate.
  • adhesion promoter layers such as those made of the materials titanium/titanium oxide, tantalum/tantalum oxide or titanium nitride, lie between the insulation layer and the sensor structure.
  • the sensor structure describes such a structured element, which is preferably made of metal, which actually detects the temperature.
  • the sensor structure which is made in particular from a Meta II structure, can have any shape. For example, it is possible to form a sensor structure in a square shape. It is also possible to form a sensor structure with an essentially straight line structure.
  • the sensor structure particularly preferably has a meandering shape.
  • a meandering shape can be formed, for example, from a coherent, interwoven and/or nested and/or interlocking line structure.
  • the individual sections, in particular the individual line sections, can be made relatively thin.
  • the sensor structure which is present in particular in a meandering form, can cover a relatively large area of the temperature sensor due to the structure formed. This enables the temperature to be detected to be recorded quickly.
  • the sensor structure can be formed from a structured metal foil. If such an embodiment with regard to the sensor structure is present, the sensor structure can be produced in a separate process and then applied to the insulation layer.
  • the sensor structure is produced from a metal-containing paste and/or a metal-containing ink.
  • a metal-containing paste and/or ink can be applied to the insulation layer and to the section of the front side of the substrate that is free of the insulation layer by means of printing, in particular by means of a screen printing process.
  • the sensor structure is formed from a paste containing noble metal.
  • the noble metals can be platinum and/or silver and/or gold.
  • the sensor structure is a Meta II structure produced by means of thin-film metal deposition.
  • the area of the temperature sensor is preferably smaller than 10 mm 2 , particularly preferably smaller than 3 mm 2 , particularly preferably smaller than 2 mm 2 , very particularly preferably smaller than 1 mm 2 .
  • the surface of the temperature sensor can be seen in particular when the temperature sensor is viewed from above.
  • the sensor structure can have a trimming distance.
  • the trimming distance is used to set a preferred desired resistance value for the sensor structure.
  • a three-dimensional sensor structure is to be understood as meaning a sensor structure of this type that has at least two stacked at least partially spaced metal layers.
  • An insulation layer is formed at least in sections between the metal layers.
  • the two metal layers touch at least in sections.
  • the at least two metal layers preferably touch in a region of the first contacting section.
  • a temperature sensor is made available which is characterized by a high level of accuracy with a very small size. Due to the small design of the temperature sensor, the mass of the temperature sensor is also reduced, so that the response time of the temperature sensor is correspondingly reduced. In other words, the temperature sensor responds more quickly to temperature changes.
  • a temperature sensor according to the structure according to the invention in particular with a sensor structure made of Pt, compared to an NTC sensor are the linear characteristic over a wide temperature range, the long-term stability and the high accuracy according to DIN IEC 60751.
  • a further aspect of the invention relates to a method for producing a temperature sensor according to the invention.
  • a method for producing a temperature sensor according to the invention With regard to individual aspects of the method, reference is also made to the explanations in connection with the temperature sensor according to the invention. Individual aspects relating to the production of the temperature sensor are already contained in the preceding part of the description.
  • the method according to the invention for producing a temperature sensor comprises the steps: a) providing a substrate which is formed from a metal element and has a front side and a rear side, b) forming at least one insulation layer on the front side of the substrate in such a way that a section of the Substrate is formed. c) application of a sensor structure, in particular a resistive sensor structure, to the insulation layer and to the insulation-free section of the front side of the substrate, d) application of at least one contact pad.
  • the insulating layer is applied to the front side of the substrate, for example over the entire surface, and in a further method step at least in sections removed such that the insulating layer free portion of the substrate is formed. It is possible to remove an insulation layer applied to the front side of the substrate again, for example by means of laser ablation and/or lift-off and/or by means of chemical etching and/or by means of plasma etching and/or abrasive removal. With some removal methods, in addition to removing the insulation layer, part of the underlying substrate material can optionally be removed and its thickness reduced locally.
  • the actual formation of the insulating layer-free section or the actual method to be used for producing an insulating layer-free section depends, for example, on the composition of the insulating layer and on the method by which the insulating layer is/was applied to the front side of the substrate.
  • the insulation layer it is possible for the insulation layer to be applied to the front of the Substrate is applied.
  • the insulation layer is already applied in a structured manner, as is made possible, for example, by means of a printing process, in particular by means of a screen printing process, no subsequent process step for removing the insulation layer in sections is required.
  • shading masks also allows the insulating layer to be applied in a structured manner on the front side of the substrate.
  • a thick film in order to apply the sensor structure, a thick film can be applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer by screen printing, for example.
  • the sensor structure in step c) can first be applied as a homogeneous metal layer, preferably over the entire surface, by means of PVD processes.
  • the metal layer can then be structured using a laser structuring method or photolithographically.
  • a lift-off process it is possible for a lift-off process to be carried out in order to produce the structure.
  • a photoresist is applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer.
  • the photoresist is then dried and exposed and then developed.
  • a conductive layer is then applied to the photoresist structure produced in this way.
  • the conductive layer is then structured by dissolving the photoresist structure with the aid of a solvent.
  • the metallization on the photoresist is removed and the film remaining on the surface again corresponds to the negative of the original photoresist structure.
  • the contact pad to be applied in step d) can be applied to the insulation layer. Furthermore, it is possible that the at least one contact pad is applied at least indirectly to the insulation layer or is at least indirectly connected to the insulation layer.
  • a further embodiment of the method according to the invention provides for a passivation layer to be applied at least in sections to the sensor structure.
  • a passivation layer is preferably applied to the entire upper side of the sensor structure.
  • the at least one contact pad is provided with a passivation layer at least in sections. Furthermore, it is possible for the contact pad or contact pads to be formed completely without a passivation layer. This makes it possible to make electrical contact with the contact pads in a correspondingly simple manner.
  • the method according to the invention for producing a temperature sensor according to the invention is characterized by a particularly simple method and a cost-effective implementation.
  • steps a) to d) are carried out on a substrate strip and/or a substrate carrier.
  • steps a) to d) are carried out in such a way that a large number of temperature sensors are produced together on a substrate strip and/or a substrate carrier and are then separated.
  • the molds of individual substrates are placed on the substrate strip and/or the substrate carrier.
  • the substrates are separated from the substrate strip and/or the substrate carrier at the sides.
  • the substrates are not detached or separated from the substrate belt and/or the substrate carrier, so that the individual substrates continue to be connected to the substrate belt and/or the substrate carrier.
  • the individual substrates can then be processed further in this form, so that steps b) to d) can be carried out in common method steps.
  • the individual substrates are separated from the substrate band and/or the substrate carrier.
  • a first lead of the temperature sensor is connected to the rear side of the substrate and a second lead of the temperature sensor is connected to the at least one contact pad, which is preferably formed on the front side.
  • Embodiment 1 is a diagrammatic representation of Embodiment 1:
  • the substrate is formed from a nickel sheet, the substrate having a front side and a back side.
  • the substrate is gold-plated on both sides and has a length of 0.8 mm, a width of 0.8 mm and a height of 100 ⁇ m.
  • An insulating layer is applied to the front of the substrate.
  • Al20s aluminum oxide
  • the layer thickness of the insulation layer is 2 ⁇ m.
  • a section of the insulation layer, i. H. a section of the AhCh layer is removed again by laser ablation, leaving, for example, a 0.1 mm x 0.8 mm strip of the underlying gold-coated substrate, i. H. of the gold-coated nickel sheet, is exposed.
  • a platinum layer is then applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer. This is done using the PVD process.
  • a platinum layer with a layer thickness of 200 nm is applied.
  • a sensor structure is worked out of the platinum layer by laser ablation. The trench created with the laser can also penetrate into the AhCh layer and/or into the area of the exposed nickel sheet.
  • the sensor structure consists of a first contacting section on the is formed insulation layer-free portion of the front side of the substrate, a meander, a trimming distance and a second contacting portion. The second contacting section is connected to a contact pad.
  • the meander of the sensor structure is dimensioned as follows:
  • the distance between the meander webs is 20 pm.
  • the web width is 20 ⁇ m.
  • the web length is 500 pm.
  • the total resistance of the meander is about 100 ⁇ .
  • the meander covers an area of about 0.3 mm x 0.5 mm.
  • the trimming distance which is also worked out of the platinum layer by laser ablation, has a similar dimension.
  • the total area of the sensor structure is 0.5mm*0.6mm.
  • the sensor structure is then set to the desired resistance value by removing individual segments of the trimming distance with a laser.
  • a first contact pad which is electrically connected to the second contacting section, is then applied to the passivation layer.
  • a first electrical lead is applied, which is connected to the rear side of the substrate.
  • the first electrical supply line is preferably connected to the underside by means of soldering.
  • the second electrical lead is provided in the form of a gold bonding wire. This gold wire is connected to the first contact pad.
  • Embodiment 2 is a diagrammatic representation of Embodiment 1:
  • the substrate is formed from a copper sheet.
  • An A ⁇ Os insulation layer is applied to the front of the copper sheet.
  • the A ⁇ Os layer is deposited using ADM processes.
  • the thickness of the insulation layer is 20 ⁇ m.
  • the copper sheet is then exposed to air in a furnace at 500°C for one hour. No additional copper oxidation is observed under the AhOs insulation layer after aging.
  • Embodiment 3 is a diagrammatic representation of Embodiment 3
  • a glass slip layer is applied to the cleaned copper sheet and baked.
  • the layer thickness is also about 20 ⁇ m.
  • the copper sheet is then exposed to air in a furnace at 500°C for one hour.
  • circular oxidation areas are formed on the copper foil in the masked area. Such circular oxidation areas indicate pin holes in the glass cover.
  • Embodiment 4 is a diagrammatic representation of Embodiment 4:
  • the substrate is formed from a nickel sheet, the substrate having a front side and a back side. Both of these sides are simultaneously coated over their entire surface by dip coating using the Chemical Solution Deposition process, each with 200 nm thick layers of lanthanum zirconate (La2Zr2O?). To protect the substrate from unwanted oxidation during heat treatment, this step is carried out in a forming gas atmosphere. With the Chemical Solution Deposition method, the back is inevitably coated as well, unless specific countermeasures are taken to prevent such a coating. In this case, the positive side effect is that the back is also covered with the same insulating layer and the substrate can be protected against unintentional oxidation in the further metallization steps.
  • the meander structure is covered with another insulation layer consisting of aluminum oxide deposited by screen printing.
  • another insulation layer consisting of aluminum oxide deposited by screen printing.
  • at least the one contact pad that has already been applied is left out of the coating.
  • a further meander structure with a length of 3.81 mm and a width of 20 ⁇ m is printed predominantly on the second insulation layer, starting at the end of the conductor track that is not covered with aluminum oxide.
  • the first and the second meander structure touch in the area that is not covered by the second insulation layer.
  • At least one area of the substrate that is not covered with platinum has all covering insulating layers removed by means of laser ablation in order to expose the underlying metal substrate.
  • the future electrical contact area to the substrate has a length of 0.5 mm and a width of 20 ⁇ m. This corresponds to an area of only 0.01 mm 2 .
  • the metal substrate exposed by laser ablation is contacted with its second end area.
  • a 0.30 mm 2 area of the lanthanum zirconate layer is exposed as a contact pad to the nickel substrate on the back of the substrate using laser ablation.
  • the front side of the substrate including the 0.01 mm 2 small contact area to the nickel substrate, but excluding the first deposited platinum contact pad, can be coated with a passivation layer.
  • the electrical contacting of the entire three-dimensional meander takes place via the platinum contact pad deposited in the first metallization step and the metallic nickel area exposed on the back of the substrate.
  • exemplary embodiment 4 dimensions specified in connection with exemplary embodiment 4 are exemplary values.
  • the three-dimensional structure presented in exemplary embodiment 4 can also be produced with other materials and/or with other dimensions.
  • FIG 3 shows a further embodiment of a temperature sensor according to the invention.
  • FIG. 1a shows an intermediate stage of a temperature sensor 10 to be produced in a plan view.
  • An insulating layer 20 is applied to the front side 16 of a substrate 15, which is formed, for example, from a metal foil.
  • the insulating layer 20 does not cover the front side 16 of the substrate 15 completely. Rather is an isolation layer free Section 25 formed.
  • the insulating layer-free section 25 is formed on an edge section 18 of the front side 16 of the substrate 15 .
  • An edge section 18 is to be understood as such a section of the front side 16 of the substrate 15 which is attached to at least one of the illustrated side edges 19 or 19' of the substrate
  • the side edges 19 are the long side edges of the substrate 15.
  • the side edges 19' are the short side edges of the rectangular substrate 15.
  • the insulation layer-free section 25 is produced, for example, by already structuring the insulation layer 20, i. H. in the final shape to be achieved on the front
  • a sensor structure 30 can also be seen.
  • the sensor structure 30 has a meander section 36 .
  • the sensor structure 30 also includes a first contacting section 31 and a second contacting section 32.
  • the first contacting section 31 is connected to the section 25 of the front side 16 of the substrate 15 which is free of an insulating layer.
  • the second contacting section 32 is connected to the first contact pad 41 .
  • the contact pad 41 is in turn arranged on the insulation layer 20 .
  • the sensor structure 30 is arranged with a first side 34 on the first side 21 of the insulation layer 20 and on the front side 16 of the substrate 15 .
  • the insulation layer 20 is in turn arranged with the second side 22 directly on the substrate 15 or on the front side 16 of the substrate 15 .
  • the second side 35 of the sensor structure 30 or the side 35 of the sensor structure 30 which points away from the substrate 15 can be coated with a passivation layer 60.
  • This relates both to the part of the sensor structure 30 which includes the first contacting section 31 and to the section of the sensor structure 30 which has the second contacting section 32 .
  • the first contact pad 41 is also coated by the passivation layer 60 at least in sections.
  • the passivation layer 60 essentially has a first side 61 and a second side 62 .
  • the first side 61 of the passivation layer 60 is the side facing away from the sensor structure 30 .
  • the second side 62 of the passivation layer is the side of the passivation layer that rests on the section 25 that is free of the insulating layer and on the insulating layer 20, among other things.
  • the supply lines 51 and 52 of the temperature sensor 10 are shown in FIG. 1d.
  • the temperature sensor 10 has a first electrical supply line 51 which is connected to the rear side 17 of the substrate 15 .
  • a second electrical supply line 52 is connected to the first contact pad 41 .
  • the electrical contacting of the temperature sensor 10 is thus made on the one hand via the first contact pad 41 and on the other hand via the rear side 17 of the substrate 15.
  • a contacting of the rear side 17 of the substrate 15 is possible by the sensor structure 30 in the first contacting section 31 in the insulation layer-free section 25 is electrically connected to the front side 16 of the substrate 15.
  • the sensor structure 30 is preferably a platinum structure. This sensor structure 30 is used for temperature detection.
  • a temperature sensor 10 as shown in FIGS. 1a to 1d has a high degree of accuracy, among other things due to a platinum sensor structure.
  • the small dimensions of the temperature sensor 10 can be realized by the electrical contacts of the temperature sensor 10 on the opposite sides of the temperature sensor, i. H. take place on the back 17 of the substrate 15 and on the side of the contact pad 41.
  • the temperature sensor 10 as shown in FIG. 1d, to be immersed in a glass slip and fired together with the supply lines 51, 52, so that the temperature sensor 10 is completely encapsulated.
  • the area A of the temperature sensor 10 is preferably smaller than 10 mm 2 , particularly preferably smaller than 1 mm 2 .
  • the area A of the temperature sensor 10 is formed due to the long side edge 19 and the short side edge 19' of the substrate 15 (see FIG. 1a).
  • a further embodiment of a temperature sensor 10 according to the invention is shown in FIGS. 2a and 2b. Such an embodiment allows a further reduction in the sensor area.
  • the structure essentially corresponds to the structure of FIGS. 1a to 1d.
  • the first contact pad 41 is arranged in such a way that this contact pad 41 rests at least partially on the side 61 of the passivation layer 60 facing away from the sensor structure 30 and at the same time with the second contacting section 32, which does not of the passivation layer 60 is electrically connected. Due to such an arrangement, the space of the substrate 15, which is associated with the extension of the first contact pad 41 in FIG. 1a, is additionally saved. With the embodiment shown in FIG. 2a, the area of the temperature sensor is further reduced.
  • the feed lines 51 and 52 are again shown in FIG. 2b.
  • the first lead 51 is in turn connected to the rear side 17 of the substrate 15 .
  • the second electrical supply line 52 is connected to the first contact pad 41 .
  • FIG. 3 A further embodiment of a temperature sensor 10 is shown in FIG. 3 .
  • the structure essentially corresponds to the structure of a temperature sensor shown in FIG. 1a.
  • a second contact pad 42 is formed.
  • the sensor structure 30 or the second contacting section 32 of the sensor structure is indirectly connected to the first contact pad 41 .
  • the second contact pad 42 and the first contact pad 41 are connected to each other.
  • the second contact pad 42 can be used as a center tap for a resistance network, for example to tap off a potential without current.
  • a surface temperature sensor A surface temperature sensor

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Abstract

The invention relates to a temperature sensor (10) comprising: - a substrate (15), formed from a metal element, in particular a metal foil, wherein the substrate (15) has a front side (16) and a rear side (17), - an insulation layer (20), which covers the front side (16) of the substrate (15) only in some portions, in such a way that an insulation-layer-free portion (25) is formed on the front side (16) of the substrate (15), and - a sensor structure (30), in particular a resistive sensor structure, which is formed on the insulation layer (20) and on the insulation-layer-free portion (25) of the front side (16) of the substrate (15), wherein the sensor structure (30) has at least two electrical contacting portions (31, 32), and a first contacting portion (31) is connected to the insulation-layer-free portion (25) of the front side (16) of the substrate (15), and a second contacting portion (32) is a first contact path (41) or is connected to a first contact path (41), wherein the first contact path (41) is preferably arranged on the insulation layer (20).

Description

BESCHREIBUNG DESCRIPTION
Temperatursensor und Verfahren zur Herstellung eines derartigen Temperatursensors Temperature sensor and method for manufacturing such a temperature sensor
Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor sowie ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Temperatursensors. The invention relates to a temperature sensor and a method for producing such a temperature sensor.
Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, Temperatursensoren möglichst klein bzw. miniaturisiert auszubilden. In EP 1 692 476 B1 wird beispielsweise ein Temperatursensor auf Basis eines Platin-Dünnschichtsensors vorgeschlagen. Die Kontaktflächen des Dünnschichtsensors sind auf gegenüberliegenden Seiten eines Substrates angeordnet. Die Kontaktierung der Sensorstruktur erfolgt dabei mit Hilfe einer sogenannten Durchführung, die ein erstes Kontaktpad der Oberseite mit der Metallisierung auf der Unterseite des Substrates elektrisch verbindet. Allerdings ist die Herstellung eines derartigen Sensors relativ aufwändig. In ein isolierendes Substrat ist eine Durchführung einzubringen, wobei diese Durchführung mit einem elektrisch leitfähigen Material gefüllt werden muss. It is known from the prior art to make temperature sensors as small or miniaturized as possible. In EP 1 692 476 B1, for example, a temperature sensor based on a platinum thin-film sensor is proposed. The contact areas of the thin-film sensor are arranged on opposite sides of a substrate. The sensor structure is contacted with the aid of what is known as a feedthrough, which electrically connects a first contact pad on the upper side to the metallization on the underside of the substrate. However, the production of such a sensor is relatively expensive. A feedthrough is to be made in an insulating substrate, and this feedthrough must be filled with an electrically conductive material.
In US 6 151 771 A wird hingegen ein SMD-Temperatursensor auf Basis einer Platin- Dünnschichtstruktur offenbart. Die Kontakte werden dabei von einer Oberseite auf eine Unterseite des Substrates geführt, indem zwei Seitenflächen des Substrates metallisiert werden. Um eine sichere elektrische Verbindung zwischen den beiden Kontaktabschnitten auf der Ober- und Unterseite des Substrates zu gewährleisten, werden zusätzliche Lötverbindungen ausgebildet, die die Seitenflächen umschließen. Nachteilig an einer derartigen Ausbildung eines Temperatursensors ist wiederum die Komplexität der Herstellung. Die beschriebenen Seitenflächen müssen in einem dafür notwendigen Arbeitsschritt metallisiert werden. Des Weiteren ist das Ausbilden eines zusätzlichen Lötverbindung notwendig, um die Verbindung zwischen den beiden Kontaktabschnitten zu ermöglichen. In contrast, US Pat. No. 6,151,771 A discloses an SMD temperature sensor based on a platinum thin-film structure. In this case, the contacts are routed from an upper side to an underside of the substrate, in that two side surfaces of the substrate are metallized. In order to ensure a reliable electrical connection between the two contact sections on the top and bottom of the substrate, additional soldering connections are formed which enclose the side surfaces. A disadvantage of such a design of a temperature sensor is again the complexity of the production. The side surfaces described must be metalized in a work step that is necessary for this. Furthermore, it is necessary to form an additional soldered connection in order to enable the connection between the two contact sections.
Es ist des Weiteren bekannt, kleine Temperatursensoren in Form von NTCs zu realisieren. Hierzu wird ein Halbleitermaterial in Form eines Quaders zur Verfügung gestellt und an zwei einander gegenüberliegenden Seitenflächen metallisiert. Die metallisierten Seitenflächen dienen wiederum als Kontakte für die elektrischen Zuleitungen. Diese Bauform erlaubt zwar kleine Baugrößen eines Temperatursensors, allerdings haben derartige Temperatursensoren den Nachteil, einer nur eingeschränkten Genauigkeit. Furthermore, it is known to implement small temperature sensors in the form of NTCs. For this purpose, a semiconductor material is provided in the form of a cuboid and metallized on two opposite side faces. The metallized side surfaces in turn serve as contacts for the electrical leads. Although this design allows small dimensions of a temperature sensor, however, such temperature sensors have the disadvantage of only limited accuracy.
Ausgehend von dem Vorgenannten, ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen derartigen Temperatursensor zur Verfügung zu stellen, der zum einen kleine Abmaße aufweisen kann, zum anderen eine hohe Messgenauigkeit aufweist und des Weiteren einfach herzustellen ist. Proceeding from the aforesaid, it is the object of the present invention to provide such a temperature sensor which on the one hand can have small dimensions, on the other hand has high measuring accuracy and is also easy to manufacture.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors anzugeben. A further object of the invention consists in specifying a corresponding method for producing a temperature sensor according to the invention.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe im Hinblick auf einen Temperatursensor durch den Gegenstand des Anspruches 1 und im Hinblick auf ein Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors durch den Gegenstand des Patentanspruches 11 gelöst. According to the invention, this object is achieved with regard to a temperature sensor by the subject matter of claim 1 and with regard to a method for producing a temperature sensor by the subject matter of patent claim 11.
Die Erfindung beruht auf dem Gedanken, einen Temperatursensor anzugeben, der umfasst: ein Substrat, gebildet aus einem Metallelement, insbesondere einer Metallfolie, wobei das Substrat eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist, eine Isolationsschicht, die die Vorderseite des Substrats lediglich abschnittsweise bedeckt, derart, dass ein isolationsschichtfreier Abschnitt auf der Vorderseite des Substrats gebildet ist, und eine Sensorstruktur, insbesondere eine resistive Sensorstruktur, die auf der Isolationsschicht und auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrats ausgebildet ist, wobei die Sensorstruktur mindestens zwei elektrische Kontaktierungsabschnitte aufweist, und ein erster Kontaktierungsabschnitt mit dem isolationsschichtfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrats verbunden ist und ein zweiter Kontaktierungsabschnitt ein erstes Kontaktpad ist oder mit einem ersten Kontaktpad verbunden ist, wobei das erste Kontaktpad vorzugsweise auf der Isolationsschicht angeordnet ist. The invention is based on the idea of specifying a temperature sensor which comprises: a substrate formed from a metal element, in particular a metal foil, the substrate having a front side and a rear side, an insulating layer which covers the front side of the substrate only in sections, such that an insulating layer-free section is formed on the front side of the substrate, and a sensor structure, in particular a resistive sensor structure, which is formed on the insulating layer and on the insulating layer-free section of the front side of the substrate, the sensor structure having at least two electrical contacting sections, and a first contacting section is connected to the insulating layer-free portion of the front side of the substrate and a second contacting portion is a first contact pad or is connected to a first contact pad, the first contact pad preferably being on the insulation layer is arranged.
Unter einer Sensorstruktur ist insbesondere eine zusammenhängende Struktur zu verstehen. Mit anderen Worten ist die Sensorstruktur vorzugsweise einteilig ausgebildet. Bei Ausbildung der Sensorstruktur als zusammenhängende bzw. einteilige Struktur wird der erste und der mindestens zweite Kontaktierungsabschnitt jeweils von einem Abschnitt einer zusammenhängenden bzw. einteiligen Sensorstruktur gebildet. A sensor structure is to be understood in particular as a coherent structure. In other words, the sensor structure is preferably formed in one piece. When the sensor structure is designed as a continuous or one-piece structure, the first and the at least second contacting section are each formed by a section of a continuous or one-piece sensor structure.
Unter einer Sensorstruktur wird eine zusammenhängende Struktur verstanden, die nicht aus mehreren baulich voneinander getrennten Bauteilen besteht. A sensor structure is understood to be a coherent structure that does not consist of a number of structurally separate components.
Insbesondere sind der erste und der mindestens zweite Kontaktierungsabschnitt keine baulich voneinander getrennte Bauteile. In particular, the first and the at least second contacting section are not structurally separate components.
Als elektrischer Kontaktierungsabschnitt ist insbesondere ein derartiger Abschnitt zu verstehen, der eine elektrische Konktakierung mit einem weiteren Bauteil oder einer anderen Schicht bewirkt. An electrical contacting section is to be understood in particular as a section that brings about electrical contact with another component or another layer.
Vorzugsweise weist die Sensorstruktur zumindest abschnittsweise eine Mäanderstruktur auf, wobei die mindestens zwei Kontaktierungsabschnitte unterschiedliche Abschnitte der Mäanderstruktur sind. The sensor structure preferably has a meandering structure at least in sections, with the at least two contacting sections being different sections of the meandering structure.
Der erste Kontaktierungsabschnitt wird erfindungsgemäß aus dem Abschnitt der Sensorstruktur gebildet, der auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt ausgebildet ist. According to the invention, the first contacting section is formed from the section of the sensor structure that is formed on the section without an insulating layer.
Mit anderen Worten wird ein Temperatursensor angegeben, der ein Substrat, eine Isolationsschicht sowie eine Sensorstruktur aufweist, wobei die Isolationsschicht nicht vollflächig auf einer Vorderseite des Substrates aufgetragen und/oder aufgebracht ist. Auf dem Substrat wird ein isolationsschichtfreier Abschnitt gebildet. Die Sensorstruktur ist wiederum zumindest abschnittsweise auf diesem isolationsschichtfreien Abschnitt ausgebildet. In other words, a temperature sensor is specified which has a substrate, an insulation layer and a sensor structure, the insulation layer not being applied and/or applied over the full area on a front side of the substrate. An insulating film bare portion is formed on the substrate. The sensor structure is in turn formed at least in sections on this section without an insulation layer.
Die Sensorstruktur ist derart auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt ausgebildet, dass mindestens ein Kontaktierungsabschnitt der Sensorstruktur mit dem isolationsschichtfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrates verbunden, insbesondere elektrisch verbunden, ist. Die zu Grunde liegende Aufgabe wird somit erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Sensorstruktur auf einem Substrat aufgebracht werden kann, das relativ kleine Abmaße aufweisen kann, wobei die elektrische Kontaktierung auf der Isolationsschicht durch Verbindung mit einem Kontaktpad und andererseits durch Kontaktierung des Substrates aufgrund der Ausbildung der Sensorstruktur auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt erfolgt. Das erste Kontaktpad kann direkt oder indirekt auf der Isolationsschicht angeordnet oder mit der Isolationsschicht verbunden sein. Es ist möglich, dass das erste Kontaktpad indirekt über den zweiten Kontaktierungsabschnitt mit der Isolationsschicht verbunden ist. The sensor structure is formed on the section free of the insulation layer in such a way that at least one contacting section of the sensor structure is connected, in particular electrically connected, to the section of the front side of the substrate which is free of the insulation layer. The underlying object is thus achieved according to the invention in that a sensor structure can be applied to a substrate, which can have relatively small dimensions, the electrical contacting on the insulating layer being made by connection to a contact pad and on the other hand by contacting the substrate due to the formation of the Sensor structure takes place on the insulating layer-free section. The first contact pad can be arranged directly or indirectly on the insulation layer or can be connected to the insulation layer. It is possible for the first contact pad to be indirectly connected to the insulation layer via the second contacting section.
Die Vorderseite und die Rückseite eines Substrates sind zwei gegenüberliegende Seiten des Substrates. Dabei handelt es sich um die flächenmäßig größeren gegenüberliegenden Seiten des Substrates. Als Vorderseite und Rückseite eines Substrates sind vorzugsweise nicht die Seiten des Substrates zu verstehen, die durch die Schichtdicke bzw. Bauteildicke des Substrates gebildet werden. Sofern sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite aus gleichem Material bestehen bzw. eine gleiche Beschichtung aufweisen, können beide Seiten als Vorderseite und/oder Rückseite fungieren. The front and back of a substrate are two opposite sides of the substrate. These are the opposite sides of the substrate that are larger in terms of surface area. The front and back of a substrate are preferably not to be understood as meaning the sides of the substrate that are formed by the layer thickness or component thickness of the substrate. If both the front side and the back side are made of the same material or have the same coating, both sides can function as the front side and/or the back side.
Bei dem Substrat handelt es sich in einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung um ein elektrisch leitendes Substrat. In a particularly preferred embodiment of the invention, the substrate is an electrically conductive substrate.
Als Vorderseite des Substrates ist vorzugsweise die Seite des Substrates zu verstehen, auf der direkt oder indirekt eine Isolationsschicht ausgebildet wird. Die Isolationsschicht bedeckt das Substrat nicht vollständig bzw. unvollständig. The front side of the substrate is preferably understood to mean the side of the substrate on which an insulating layer is formed directly or indirectly. The insulating layer does not completely or incompletely cover the substrate.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der isolationsschichtfreie Abschnitt an einem Randabschnitt der Vorderseite des Substrates ausgebildet. Als ein Randabschnitt ist insbesondere ein derartiger Abschnitt der Vorderseite zu verstehen, der an mindestens eine Seitenkante der Vorderseite des Substrates angrenzt. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Randabschnitt der Vorderseite um den Randabschnitt der Vorderseite, der von einer kürzeren Seite des Substrates gebildet wird. In a preferred embodiment of the invention, the insulating layer-free portion is formed at an edge portion of the front side of the substrate. An edge section is to be understood in particular as such a section of the front side which adjoins at least one side edge of the front side of the substrate. Preferably, the edge portion of the front side is the edge portion of the front side formed by a shorter side of the substrate.
Zur elektrischen Kontaktierung des Temperatursensors weist dieser Zuleitungen auf. Vorzugsweise weist der Temperatursensor zwei elektrische Zuleitungen auf. Es ist möglich, dass der Temperatursensor eine erste elektrische Zuleitung aufweist, die mit der Rückseite des Substrates verbunden ist und mindestens eine zweite elektrische Zuleitung aufweist, die mit dem ersten Kontaktpad verbunden ist. Die elektrische Kontaktierung des Temperatursensors erfolgt somit einerseits auf der Rückseite des Substrates und andererseits auf der gegenüberliegenden Seite des Temperatursensors, nämlich auf dem ersten Kontaktpad. The temperature sensor has supply lines for making electrical contact with it. The temperature sensor preferably has two electrical supply lines. It is possible for the temperature sensor to have a first electrical lead, which is connected to the rear side of the substrate, and has at least a second electrical lead, which is connected to the first contact pad. The electrical contacting of the temperature sensor thus takes place on the one hand on the rear side of the substrate and on the other hand on the opposite side of the temperature sensor, namely on the first contact pad.
Aufgrund einer derartigen elektrischen Kontaktierung ist es möglich, einen Temperatursensor mit besonders kleinen Abmaßen zur Verfügung zu stellen. Die kleinen Abmaße werden unter anderem dadurch realisiert, indem die Kontaktierungen des Temperatursensors auf den sich gegenüberliegenden Seiten des Temperatursensors erfolgen und nicht, wie bei Sensorstrukturen üblich, nebeneinander auf einer Seite des Temperatursensors bzw. des Substrates. Because of such an electrical contact, it is possible to use a temperature sensor to be made available with particularly small dimensions. The small dimensions are achieved, among other things, by the contacting of the temperature sensor taking place on the opposite sides of the temperature sensor and not, as is usual with sensor structures, next to one another on one side of the temperature sensor or the substrate.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann auf der vom Substrat wegweisenden Seite der Sensorstruktur zumindest abschnittsweise eine Passivierungsschicht ausgebildet sein. In a further embodiment of the invention, a passivation layer can be formed at least in sections on the side of the sensor structure pointing away from the substrate.
Es ist möglich, dass die Passivierungsschicht aus Glasfritten gebildet ist oder Glasfritten aufweist. Des Weiteren ist es möglich, dass beispielsweise Schichten aus Aluminiumoxid (AI2O3) als Passivierungsschichten ausgebildet sind. It is possible for the passivation layer to be formed from glass frits or to have glass frits. It is also possible, for example, for layers made of aluminum oxide (Al2O3) to be formed as passivation layers.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Sensorstruktur vollständig mit einer Passivierungsschicht abgedeckt. Es ist möglich, dass das erste Kontaktpad des Temperatursensors zumindest abschnittsweise von einer Passivierungsschicht abgedeckt wird. In a further embodiment of the invention, the sensor structure is completely covered with a passivation layer. It is possible for the first contact pad of the temperature sensor to be covered, at least in sections, by a passivation layer.
Des Weiteren ist es möglich, dass das erste Kontaktpad derart angeordnet ist, dass dieses abschnittsweise auf der von der Sensorstruktur wegweisenden Seite der Passivierungsschicht aufliegt und gleichzeitig mit der Sensorstruktur elektrisch verbunden ist. In einer derartigen Ausführungsform der Erfindung wird eine weitere Reduzierung der Sensorfläche bewirkt. Eine solche Ausgestaltungsform wird realisiert, indem das Kontaktpad nach dem Aufbringen der Passivierungsschicht gleichzeitig auf die Passivierungsschicht und den nicht abgedeckten Bereich der Sensorstruktur aufgebracht wird, wie zum Beispiel durch Siebdruck einer edelmetallhaltigen Paste. Furthermore, it is possible for the first contact pad to be arranged in such a way that it rests in sections on the side of the passivation layer facing away from the sensor structure and is at the same time electrically connected to the sensor structure. In such an embodiment of the invention, a further reduction in the sensor area is brought about. Such an embodiment is realized by applying the contact pad simultaneously to the passivation layer and the uncovered area of the sensor structure after the application of the passivation layer, for example by screen printing a paste containing noble metal.
Das Metallelement, insbesondere die Metallfolie, aus der ein Substrat gebildet wird, weist vorzugsweise eines der folgenden Elemente auf: Aluminium (AI) und/oder Stahl, insbesondere ferritischer Stahl, und/oder Titan (Ti) und/oder Niob (Nb) und/oder Tantal (Ta) und/oder Nickel (Ni) und/oder Kupfer (Cu). The metal element, in particular the metal foil, from which a substrate is formed, preferably has one of the following elements: aluminum (Al) and/or steel, in particular ferritic steel, and/or titanium (Ti) and/or niobium (Nb) and /or tantalum (Ta) and/or nickel (Ni) and/or copper (Cu).
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Metallelement, insbesondere die Metallfolie, aus einem der folgenden Elemente gebildet: Aluminium (AI) und/oder Stahl, insbesondere ferritischer Stahl, und/oder Titan (Ti) und/oder Niob (Nb) und/oder Tantal (Ta) und/oder Nickel (Ni) und/oder Kupfer (Cu). In a particularly preferred embodiment, the metal element, in particular the metal foil, is formed from one of the following elements: aluminum (Al) and/or steel, in particular ferritic steel, and/or titanium (Ti) and/or niobium (Nb) and/or tantalum (Ta) and/or nickel (Ni) and/or copper (Cu).
Insbesondere ist es möglich, dass die Metallfolie vorzugsweise aus derartigen Materialien gebildet ist, die bei einer anionischen Oxidation dichte Metalloxidschichten mit einer hohen elektrischen Isolation ausbilden. Dies dient zur Herstellung einer entsprechenden Isolationsschicht. In particular, it is possible for the metal foil to be preferably formed from materials that form dense metal oxide layers with high electrical insulation during anionic oxidation. This serves to produce a corresponding insulation layer.
Der Stahl, insbesondere der ferritische Stahl, ist vorzugsweise eine FeCrAI-Legierung, insbesondere X8CRAI20-5 oder FeCr25AI5. Beim Einsatz von Metalllegierungen als Bestandteil des Substrates sind diese bevorzugt so zu wählen, dass deren Widerstand über seine Lebenszeit möglichst konstant bleibt. Zudem kann der Widerstand des Trägersubstrates entsprechend der Geometrie des Sensors bei einem möglichen Trimmabgleich des Sensors berücksichtigt werden. The steel, in particular the ferritic steel, is preferably an FeCrAI alloy, in particular X8CRAI20-5 or FeCr25AI5. When using metal alloys as a component of the substrate, these should preferably be selected in such a way that their resistance remains as constant as possible over its lifetime. In addition, the resistance of the carrier substrate according to the geometry of the sensor can be taken into account in a possible trim adjustment of the sensor.
In einer anderen Ausführungsform kann ein walzplattiertes oder kaschiertes Metallsubstrat oder ein Blech mit metallischer Oberflächenbeschichtung wie z.B. Galvanisation bereitgestellt werden. In another embodiment, a roll clad or clad metal substrate or sheet with a metallic surface coating such as electroplating may be provided.
Das Substrat weist vorzugsweise eine Substratdicke von 10 pm bis 1 mm, insbesondere von 0,02 mm bis 0,5 mm, besonders bevorzugt von 0,05 mm bis 0,3 mm, auf. Sofern das Substrat aus einer Metallfolie mit einer Substratdicke von weniger als 300 pm gebildet wird, weist das Substrat eine besonders gute mechanische Flexibilität auf. The substrate preferably has a substrate thickness of from 10 μm to 1 mm, in particular from 0.02 mm to 0.5 mm, particularly preferably from 0.05 mm to 0.3 mm. If the substrate is formed from a metal foil with a substrate thickness of less than 300 μm, the substrate has particularly good mechanical flexibility.
In Abhängigkeit der Materialauswahl im Zusammenhang mit der Sensorstruktur kann eine spezielle Auswahl hinsichtlich des Materials des Substrates erfolgen. Sofern beispielsweise die Sensorstruktur aus Platin und/oder einer Platinlegierung gebildet wird, sollte der thermische Ausdehnungskoeffizient des Substrates im Bereich von 6 * 10'6 K'1 bis 15 * 10'6 K'1 liegen. Die Wahl des Materials des Substrates mit einem derartigen Ausdehnungskoeffizienten verhindert ein Abplatzen einer darauf aufgebrachten Sensorstruktur, die aus Platin und/oder einer Platinlegierung hergestellt ist. Sofern eine Sensorstruktur aus Platin gebildet wird, eignen sich besonders ferritische Stähle oder Titan oder Tantal hinsichtlich des Substratmaterials. Depending on the choice of material in connection with the sensor structure, a special choice can be made with regard to the material of the substrate. If, for example, the sensor structure is made of platinum and/or a platinum alloy, the thermal expansion coefficient of the substrate should be in the range of 6*10′ 6 K′ 1 to 15*10′ 6 K′ 1 . The selection of the material of the substrate with such a coefficient of expansion prevents a sensor structure applied thereon, which is made of platinum and/or a platinum alloy, from flaking off. If a sensor structure is formed from platinum, ferritic steels or titanium or tantalum are particularly suitable with regard to the substrate material.
Des Weiteren ist es möglich, dass das Substrat auf mindestens einer Seite, besonders bevorzugt sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite, besonders bevorzugt vollständig, mit einer Nickel-Schutzschicht und/oder einer Gold-Schutzschicht beschichtet wird. Eine derartige Nickel-Schutzschicht weist vorzugsweise eine Dicke von ca. 3 pm auf. Furthermore, it is possible that the substrate is particularly preferably on at least one side, particularly preferably both on the front and on the back completely, is coated with a nickel protective layer and/or a gold protective layer. Such a nickel protective layer preferably has a thickness of about 3 μm.
Eine Gold-Schutzschicht weist vorzugsweise eine Schichtdicke von 0,1 pm, insbesondere von ca. 0,1 pm, auf. A protective gold layer preferably has a layer thickness of 0.1 μm, in particular approximately 0.1 μm.
Als Isolationsschichten eignen sich insbesondere derartige elektrisch isolierende Schichten, die das elektrisch leitende Substrat von der Heizstruktur elektrisch trennen. Generell eignen sich hierzu Schichten mit einem spezifischen Widerstand von > 10E10 Q * cm. Electrically insulating layers that electrically isolate the electrically conductive substrate from the heating structure are particularly suitable as insulating layers. In general, layers with a specific resistance of > 10E10 Q * cm are suitable for this.
Die Isolationsschicht umfasst beispielsweise eine Metalloxidschicht, insbesondere eine anodisierte Metalloxidschicht, oder eine Metallnitridschicht oder eine Metalloxidnitridschicht. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Isolationsschicht eine Metalloxidschicht, insbesondere eine anodisierte Metalloxidschicht, oder eine Metallnitridschicht oder eine Metalloxidnitridschicht. The insulation layer includes, for example, a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer, or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer. In a particularly preferred embodiment of the invention, the insulation layer is a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer, or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer.
Der Vorteil einer Isolationsschicht, die eine Metalloxidschicht, eine Metallnitridschicht oder eine Metalloxidnitridschicht ist oder aufweist, besteht darin, dass derartige Isolationsschichten sowohl gute isolierende Eigenschaften aufweisen als auch möglichst dünn, vorzugsweise als möglichst dünn und mechanisch flexibel, ausgestaltet werden können. The advantage of an insulation layer that is or has a metal oxide layer, a metal nitride layer or a metal oxynitride layer is that such insulation layers have both good insulating properties and can be made as thin as possible, preferably as thin as possible and mechanically flexible.
Einige Metalle, wie zum Beispiel Aluminium oder FeCrAI-Legierungen bilden besonders stabile Metalloxidschichten aus, sodass ein Abplatzen der Isolationsschicht bzw. das Ausbilden von Rissen in der Isolationsschicht, auch bei schnellen Temperaturwechseln verhindert wird. Some metals, such as aluminum or FeCrAI alloys, form particularly stable metal oxide layers, so that the insulation layer does not flake off or cracks form in the insulation layer, even in the event of rapid temperature changes.
Des Weiteren ist es möglich, dass die Isolationsschicht folgende Bestandteile aufweist oder ausfolgenden Bestandteilen besteht: Furthermore, it is possible that the insulation layer has the following components or consists of the following components:
Aluminiumoxid (AI2O3) und/oder Aluminiumtitanat (AhTiOs) und/oder Titandioxid (TiÜ2) und/oder Siliziumdioxid (SiÜ2) und/oder Siliziumoxid (SiO) und/oder Magnesiumoxid (MgO) und/oder Magnesiumtitanat (MgTiOs) und/oder eine binäre Zirkondioxid-Legierung und/oder eine ternäre Zirkoniumdioxid-Legierung und/oder Bornitrid (BN) und/oder Aluminiumnitrid (AIN) und/oder Siliziumnitrid (SisN^. Aluminum oxide (AI2O3) and/or aluminum titanate (AhTiOs) and/or titanium dioxide (TiÜ2) and/or silicon dioxide (SiÜ2) and/or silicon oxide (SiO) and/or magnesium oxide (MgO) and/or magnesium titanate (MgTiOs) and/or a binary zirconia alloy and/or a ternary zirconia alloy and/or boron nitride (BN) and/or aluminum nitride (AIN) and/or silicon nitride (SisN^.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Isolationsschicht mittels ADM-Verfahren (Aerosol-Deposition-Method) hergestellt. Mit Hilfe eines derartigen Verfahrens können keramische oder glasartige Isolationsschichten hergestellt werden. Diese Schichten weisen eine besonders hohe elektrische Isolation auf und können zusätzlich eine dünne Schichtdicke aufweisen. Sofern die Isolationsschicht mittels ADM-Verfahren hergestellt wird, kann die Isolationsschichtdicke 0,2 pm - 10 pm betragen. In a particularly preferred embodiment of the invention, the insulation layer is produced by means of an ADM process (aerosol deposition method). With the help of one Method ceramic or glass-like insulation layers can be produced. These layers have a particularly high level of electrical insulation and can also have a thin layer thickness. If the insulation layer is produced using the ADM process, the thickness of the insulation layer can be 0.2 μm - 10 μm.
Neben dem ADM-Verfahren sind auch andere bekannte Abscheideverfahren wie CVD (chemical vapor depostion), CSD (chemical solution deposition) oder PVD (physical vapor deposition) zum Aufbringen einer Isolationsschicht auf eine Metallfolie möglich. In addition to the ADM method, other known deposition methods such as CVD (chemical vapor deposition), CSD (chemical solution deposition) or PVD (physical vapor deposition) are also possible for applying an insulating layer to a metal foil.
Es ist möglich, dass die Isolationsschicht eine Metalloxidschicht, insbesondere eine anodisierte Metalloxidschicht oder eine Metallnitridschicht oder eine Metalloxinitridschicht, ist, oder aus einem Schichtenverbund gebildet ist, oder eine glasartige oder glaskeramische Schicht, gebildet aus einem Schlicker oder einer Paste mit darin enthaltenen Metalloxiden, insbesondere Aluminiumoxidpartikel (AI2O3) und/oder Magnesiumoxidpartikel (MgO), aufweist, oder aus einem Schichtenverbund gebildet ist, wobei mindestens eine Schicht eine Polymerschicht aufweist. It is possible that the insulation layer is a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or is formed from a composite layer, or a vitreous or glass-ceramic layer formed from a slip or a paste containing metal oxides, in particular Aluminum oxide particles (AI2O3) and/or magnesium oxide particles (MgO), or is formed from a layered composite, wherein at least one layer has a polymer layer.
Es ist möglich, die Auswahl des Materials der Isolationsschicht an die Auswahl hinsichtlich des Materials für das Metallelement, insbesondere für die Metallfolie, anzupassen. It is possible to adapt the choice of material for the insulating layer to the choice of material for the metal element, in particular for the metal foil.
Die Verwendung einer Metallfolie zur Herstellung bzw. das Zur-Verfügung-stellen eines Substrates, insbesondere die Verwendung einer Aluminiumfolie, hat den Vorteil, dass ein Verzug der Metallfolie bei Beaufschlagung des herzustellenden Temperatursensors mit höheren Temperaturen verhindert wird. The use of a metal foil for the production or the provision of a substrate, in particular the use of an aluminum foil, has the advantage that warping of the metal foil is prevented when the temperature sensor to be produced is subjected to higher temperatures.
Das Verwenden einer Metallfolie zur Ausbildung eines elektrisch leitenden Substrates hat weiterhin den Vorteil, dass beispielsweise im Gegensatz zur Verwendung von polymeren Substraten, die Isolationsschicht mittels variabler Verfahren aufgebracht werden kann. Da die Metallfolie hohen Temperaturen ausgesetzt werden kann, kann die Isolationsschicht auch mittels derartiger Verfahren aufgebracht werden, die mit einer hohen Temperaturbeaufschlagung einhergehen. Dies ist beispielsweise beim Aufbringen metallhaltiger Pasten der Fall. Derartige Pasten bzw. Sinterpastenschichten sind regelmäßig bei hohen Temperaturen von beispielsweise 1.000 °C zu sintern. Aufgrund der Verwendung einer Metallfolie als Substrat können derartige Temperaturbeaufschlagungen ohne weiteres erfolgen. The use of a metal foil to form an electrically conductive substrate also has the advantage that, for example, in contrast to the use of polymeric substrates, the insulation layer can be applied using variable methods. Since the metal foil can be exposed to high temperatures, the insulation layer can also be applied by means of such methods that involve exposure to high temperatures. This is the case, for example, when applying metal-containing pastes. Such pastes or layers of sintering paste are regularly to be sintered at high temperatures of, for example, 1,000.degree. Due to the use of a metal foil as a substrate, such thermal stresses can be applied without further ado.
Eine anodisierte Metalloxidschicht unterscheidet sich von einer atmosphärischen Metalloxidschicht durch eine höhere elektrische Isolation. Eine anodisierte Metalloxidschicht kann beispielsweise mittels Eloxierens einer Metalloberfläche erzeugt werden. Mit anderen Worten kann eine Isolationsschicht, die eine anodisierte Metalloxidschicht ist, durch Eloxieren der Metalloberfläche des Substrates hergestellt werden. Aufgrund einer elektrolytischen Oxidation wird die Oberfläche der Metallfolie in eine Metalloxidschicht umgewandelt. An anodized metal oxide layer differs from an atmospheric metal oxide layer in having higher electrical insulation. An anodized metal oxide layer can be produced, for example, by anodizing a metal surface. In other words, an insulating layer that is an anodized metal oxide layer can be produced by anodizing the metal surface of the substrate. Due to electrolytic oxidation, the surface of the metal foil is converted into a metal oxide layer.
Bei einem Eloxal-Verfahren handelt es sich um eine Methode der Oberflächentechnik zum Erzeugen einer oxidischen Schutzschicht durch anodische Oxidation. Dabei wird im Gegensatz zu galvanischen Beschichtungsverfahren, die Schutzschicht nicht auf dem Werkstück niedergeschlagen, sondern durch Umwandlung der obersten Metallschicht ein Oxid bzw. Hydroxid gebildet. Es entsteht eine 5 pm - 25 pm dünne Schicht, die darunterliegende Schichten bzw. Elemente, nämlich das Substrat, schützt und isoliert. An anodizing process is a surface technology method for producing an oxidic protective layer through anodic oxidation. In contrast to galvanic coating processes, the protective layer is not deposited on the workpiece, but rather an oxide or hydroxide is formed by converting the top metal layer. A 5 pm - 25 pm thin layer is formed, which protects and insulates the underlying layers or elements, namely the substrate.
Eine weitere Möglichkeit zur Herstellung einer Metalloxidschicht ist ein Hartanodisierungsverfahren. Dabei wird die Metallfolie wie beim Eloxal-Verfahren in einen Elektrolyten getaucht und als Anode geschaltet. Die Oberfläche der Metallfolie wird dabei oxidiert, so dass sich eine Metalloxidschicht ausbildet. In diesem Fall findet ein Volumenzuwachs an der Metallfolie statt. Another way to produce a metal oxide layer is a hard anodizing process. As in the anodizing process, the metal foil is immersed in an electrolyte and connected as an anode. The surface of the metal foil is oxidized in the process, so that a metal oxide layer is formed. In this case, the volume of the metal foil increases.
Durch entsprechende Auswahl des Materials des elektrisch leitenden Substrates kann eine entsprechende Auswahl hinsichtlich der darauf auszubildenden Isolationsschicht erfolgen. By appropriately selecting the material of the electrically conductive substrate, an appropriate selection can be made with regard to the insulation layer to be formed thereon.
Bei der Verwendung einer Stahlfolie aus einer FeCrAI-Legierung kann eine Oxidation dieser Schicht an Luft bei erhöhter Temperatur ebenfalls eine Metalloxidschicht erzeugen. When using a steel foil made of an FeCrAl alloy, oxidation of this layer in air at elevated temperatures can also produce a metal oxide layer.
Bei Verwendung einer FeCrAI-Legierung mit einem Aluminiumgehalt von beispielsweise 6% kann in Sauerstoffhaltiger Atmosphäre in einem Ofen bei Oxidationstemperaturen von 1.000 °C bis 1.100 °C eine elektrisch isolierende Isolationsschicht, insbesondere eine elektrisch isolierende Aluminiumoxid-Schicht, von bis zu 5 pm hergestellt werden. When using an FeCrAl alloy with an aluminum content of 6%, for example, in an oxygen-containing atmosphere in a furnace at oxidation temperatures of 1,000 °C up to 1,100° C. an electrically insulating insulation layer, in particular an electrically insulating aluminum oxide layer, of up to 5 μm can be produced.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, dass auch Stahlmaterialien mit einem geringen CrAI-Anteil verwendet werden, sofern ein derartiges Stahlmaterial auf mindestens einer Oberfläche bzw. auf mindestens einer Seite alitiert wird. Ein Alitierungsprozess sieht vor, dass eine aluminiumhaltige Schicht auf dem Substrat- Mate rial aufgebracht wird, wobei diese aluminiumhaltige Schicht anschließend bei Temperaturen von 800 °C bis 1.200 °C geglüht wird. Es entstehen dabei dichte AhOs-Schichten mit einer Dicke von > 20 pm. Die AhOs-Schicht liegt dabei in der a-Phase vor. Aufgrund dieses Prozesses wird auf mindestens einer Seite des Substrates eine Isolationsschicht ausgebildet. Bei einer derartigen Isolationsschicht handelt es sich um eine elektrisch isolierende Metalloxidschicht. In another embodiment of the invention, it is also possible to use steel materials with a low CrAl content, provided that such a steel material is aluminated on at least one surface or on at least one side. An alitizing process provides that a layer containing aluminum is applied to the substrate material, with this layer containing aluminum then being annealed at temperatures of 800 °C to 1,200 °C. This results in dense AhOs layers with a thickness of > 20 pm. The AhOs layer is in the a phase. Due to this process, an insulating layer is formed on at least one side of the substrate. Such an insulation layer is an electrically insulating metal oxide layer.
Die Isolationsschicht kann des Weiteren aus einer glasartigen Verbindung hergestellt werden. Hierzu werden Glas-Schlicker, die verschiedene fein aufgemahlene Metalloxide, insbesondere Aluminiumoxidpartikel und/oder Magnesiumoxidpartikel und/oder Titanoxidpartikel, enthalten verwendet. Furthermore, the insulating layer can be made of a vitreous compound. Glass slips containing various finely ground metal oxides, in particular aluminum oxide particles and/or magnesium oxide particles and/or titanium oxide particles, are used for this purpose.
Ebenso ist es möglich, dass die Isolationsschicht aus einem Schichtenverbund gebildet ist. Mit anderen Worten kann die Isolationsschicht einen Multischichtaufbau aufweisen. Ein derartiger Schichtverbund bzw. ein Multischichtaufbau hat den Vorteil, dass Pin-Holes oder andere Störungen und/oder Defekte in einer ersten Schicht des Schichtverbundes durch das Aufbringen weiterer Schichten abgedeckt werden und aufgrund dessen die Kurzschlusswahrscheinlichkeit zwischen der Sensorstruktur und dem leitfähigen Substrat sinkt. It is also possible for the insulation layer to be formed from a layered composite. In other words, the insulation layer can have a multilayer structure. Such a layered composite or a multilayer structure has the advantage that pinholes or other disruptions and/or defects in a first layer of the layered composite are covered by the application of further layers and as a result the probability of a short circuit between the sensor structure and the conductive substrate decreases.
Sofern der erfindungsgemäße Temperatursensor bei Temperaturen von weniger als 260 °C eingesetzt werden soll, kann der Schichtverbund auch die Kombination von anorganischen Schichten mit Polymerschichten aufweisen. Sofern die Isolationsschicht aus einem Schichtverbund mit einer Polymerschicht gebildet ist, können insbesondere derartige Polymerschichten ausgebildet sein, die aus Lösung abscheidbare Materialien aufweisen. Beispielsweise handelt es sich bei der Polymerschicht um eine Schicht aus Polyimid und/oder Teflon und/oder Polykarbonat. If the temperature sensor according to the invention is to be used at temperatures of less than 260° C., the layered composite can also have the combination of inorganic layers with polymer layers. If the insulation layer is formed from a layer composite with a polymer layer, such polymer layers can be formed in particular that have materials that can be deposited from solution. For example, the polymer layer is a layer made of polyimide and/or teflon and/or polycarbonate.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann der Schichtenverbund aus drei Schichten gebildet sein. Eine erste Schicht ist eine Aluminiumoxid (Al2O3)-Schicht. Vorzugsweise ist diese Schicht mittels ADM-Verfahren hergestellt. Bei der zweiten Schicht kann es sich um eine Polyimidschicht handeln. Bei der dritten Schicht handelt es sich vorzugsweise wiederum um eine Aluminiumoxid (Al20s)-Schicht, die besonders bevorzugt mittels ADM- Verfahren hergestellt ist. Ein derartiger Schichtenverbund stellt eine besonders kurzschlussfeste Isolationsschicht zur Verfügung. In a particularly preferred embodiment of the invention, the layered composite can be formed from three layers. A first layer is an aluminum oxide (Al2O3) layer. This layer is preferably produced using the ADM method. The second layer can be a polyimide layer. The third layer is preferably in turn an aluminum oxide (Al20s) layer, which is particularly preferably produced by means of ADM processes. Such a layered composite provides an insulating layer that is particularly resistant to short circuits.
Unabhängig von der Ausführungsform der Isolationsschicht, bedeckt die Isolationsschicht das Substrat, insbesondere das elektrisch leitfähige Substrat, lediglich abschnittsweise. Mit anderen Worten ist das Substrat, insbesondere das elektrisch leitfähige Substrat, in wenigstens einem Abschnitt nicht mit der Isolationsschicht bedeckt und ist somit in diesem isolationsschichtfreien Abschnitt elektrisch kontaktierbar. Irrespective of the embodiment of the insulating layer, the insulating layer covers the substrate, in particular the electrically conductive substrate, only in sections. In other words, the substrate, in particular the electrically conductive substrate, is not covered with the insulation layer in at least one section and can therefore be electrically contacted in this section which is free of the insulation layer.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, dass der Temperatursensor ein zweites Kontaktpad aufweist, das insbesondere auf der Isolationsschicht ausgebildet ist. Das zweite Kontaktpad ist vorzugsweise mit dem ersten Kontaktpad elektronisch verbunden, wobei das zweite Kontaktpad vorzugsweise einen weiteren Abgriff eines Widerstandsnetzwerkes bildet. In a further embodiment of the invention it is possible for the temperature sensor to have a second contact pad which is formed in particular on the insulation layer. The second contact pad is preferably electronically connected to the first contact pad, with the second contact pad preferably forming a further tap of a resistance network.
Das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad bildet/bilden den Anschluss der Sensorstruktur mit einem Kontaktierungsabschnitt der Sensorstruktur, insbesondere mit dem zweiten Kontaktierungsabschnitt der Sensorstruktur. Sofern der erfindungsgemäße Temperatursensor ein komplexes Widerstandsnetzwerk aufweist, ist es notwendig, mehr als zwei Kontaktpads auf der Seite der Sensorstruktur auszubilden. Die Kontaktpads dienen sowohl als Kontaktierungsabschnitt für elektrische Zuleitungen als auch für entsprechende Abgriffe. The first contact pad and/or the second contact pad form(s) the connection of the sensor structure to a contacting section of the sensor structure, in particular to the second contacting section of the sensor structure. If the temperature sensor according to the invention has a complex resistance network, it is necessary to form more than two contact pads on the side of the sensor structure. The contact pads serve both as a contacting section for electrical leads and for corresponding taps.
In einer Ausführungsform der Erfindung können zwei miteinander verbrückte Kontaktpads ausgebildet sein, so dass der Beitrag der elektrischen Zuleitung zum Gesamtwiderstand der Sensorstruktur erfasst werden kann. In one embodiment of the invention, two contact pads that are bridged with one another can be formed, so that the contribution of the electrical supply line to the overall resistance of the sensor structure can be detected.
Das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad kann beispielsweise ein Bondpad sein. Das mindestens eine Kontaktpad weist vorzugsweise ein sinterbares Material auf oder besteht aus einem derartigen sinterbaren Material. Das sinterbare Material kann Metall enthalten oder daraus bestehen. Das Metall kann vorzugsweise ausgebildet sein aus der Gruppe bestehend aus Edelmetallen oder Nicht-Edelmetallen. Edelmetalle können ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus Gold, Silber, Platin, Palladium oder Iridium. The first contact pad and/or the second contact pad can be a bonding pad, for example. The at least one contact pad preferably has a sinterable material or consists of such a sinterable material. The sinterable material can contain or consist of metal. The metal can preferably be formed from the group consisting of noble metals and non-noble metals. Noble metals can be selected from the group consisting of gold, silver, platinum, palladium or iridium.
Nicht-Edelmetalle können ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus Aluminium, Kupfer oder Nickel. Base metals can be selected from the group consisting of aluminum, copper or nickel.
Das Metall kann ein elementares Metall oder eine Legierung aufweisen oder daraus bestehen. The metal may include or consist of an elemental metal or an alloy.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Metall eine Legierung. Die Legierung kann ein Edelmetall enthalten, das ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Gold, Silber, Platin, Palladium oder Iridium. Bevorzugt enthält die Legierung zwei oder mehr Edelmetalle. Beispielsweise kann die Legierung eine Silberlegierung oder eine Silber-Platin-Legierung sein. In einer anderen Ausführungsform kann die Legierung mindestens ein Edelmetall und mindestens ein Nicht-Edelmetall aufweisen. Optional kann die Legierung sowohl Edelmetall als auch Nicht-Edelmetall aufweisen. Weiterhin ist es möglich, dass die Legierung Nicht-Metalle umfasst. In a preferred embodiment, the metal is an alloy. The alloy may contain a noble metal selected from the group consisting of gold, silver, platinum, palladium or iridium. The alloy preferably contains two or more noble metals. For example, the alloy can be a silver alloy or a silver-platinum alloy. In another embodiment, the alloy may include at least one precious metal and at least one non-precious metal. Optionally, the alloy can include both precious metal and non-precious metal. Furthermore, it is possible for the alloy to include non-metals.
Die Fläche des mindestens einen Kontaktpads ist erfindungsgemäß nicht weiter beschränkt. In einer bevorzugten Ausführungsform weist das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad in einer ersten Richtung, die insbesondere parallel zur Substratoberfläche verläuft, eine Dimension von nicht mehr als 1 mm, insbesondere nicht mehr als 200pm, und ganz besonders bevorzugt nicht mehr als 50pm, auf. The area of the at least one contact pad is not further restricted according to the invention. In a preferred embodiment, the first contact pad and/or the second contact pad has a dimension of not more than 1 mm, in particular not more than 200 μm, and very particularly preferably not more than 50 μm, in a first direction, which runs in particular parallel to the substrate surface. on.
In einer weiteren Ausführungsform weist das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad in einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung, die vorzugsweise ebenfalls parallel zur Substratoberfläche verläuft, eine Dimension von nicht mehr als 300pm, insbesondere nicht mehr als 100pm, insbesondere nicht mehr als 5 mm, und ganz besonders bevorzugt von nicht mehr als 50pm, auf. In a further embodiment, the first contact pad and/or the second contact pad has a dimension of not more than 300 μm, in particular not more than 100 μm, in particular not more than 5 mm, and most preferably not more than 50 pm.
Die Form des ersten Kontaktpads und/oder des zweiten Kontaktpads ist nicht weiter beschränkt. Beispielsweise kann das erste Kontaktpad und/oder das zweite Kontaktpad rund oder eckig, insbesondere rechteckig, sein. The shape of the first contact pad and/or the second contact pad is not further restricted. For example, the first contact pad and/or the second contact pad can be round or angular, in particular rectangular.
Die Sensorstruktur, insbesondere die resistive Sensorstruktur, kann insbesondere aus einem Metall gebildet sein. Vorzugsweise kann die Sensorstruktur, insbesondere die resistive Sensorstruktur, aus einem reinen Metall oder einer Metalllegierung bestehen. Insbesondere weist die Sensorstruktur ein Metall oder eine Metalllegierung auf, das/die einen Temperaturkoeffizienten >3E-3/K aufweist. The sensor structure, in particular the resistive sensor structure, can in particular be formed from a metal. Preferably, the sensor structure, in particular the resistive Sensor structure consist of a pure metal or a metal alloy. In particular, the sensor structure has a metal or a metal alloy that has a temperature coefficient >3E-3/K.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Sensorstruktur Platin und/oder Aluminium und/oder Nickel auf. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Sensorstruktur, insbesondere die resistive Sensorstruktur, aus Platin und/oder einer Platinlegierung gebildet. Die mindestens eine Sensorstruktur ist abschnittsweise vorzugsweise direkt auf der Isolationsschicht aufgebracht. Mit anderen Worten ist die Sensorstruktur zumindest abschnittsweise direkt auf der vom Substrat wegweisenden Seite der Isolationsschicht aufgebracht. Bei einer derartigen Ausführungsform der Erfindung sind zwischen der Sensorstruktur und der vom Substrat wegweisenden Seite der Isolationsschicht keine weiteren Schichten ausgebildet. In a particularly preferred embodiment of the invention, the sensor structure has platinum and/or aluminum and/or nickel. In a particularly preferred embodiment of the invention, the sensor structure, in particular the resistive sensor structure, is formed from platinum and/or a platinum alloy. The at least one sensor structure is preferably applied in sections directly to the insulation layer. In other words, the sensor structure is applied, at least in sections, directly to the side of the insulation layer pointing away from the substrate. In such an embodiment of the invention, no further layers are formed between the sensor structure and the side of the insulating layer pointing away from the substrate.
Es sind aber auch Ausführungsformen möglich, in denen Haftvermittlerschichten, wie zum Beispiel aus den Materialien Titan/Titanoxid, Tantal/Tantaloxid oder Titannitid zwischen der Isolationsschicht und der Sensorstruktur liegen. However, embodiments are also possible in which adhesion promoter layers, such as those made of the materials titanium/titanium oxide, tantalum/tantalum oxide or titanium nitride, lie between the insulation layer and the sensor structure.
Die Sensorstruktur beschreibt ein derartig strukturiertes Element, das vorzugsweise aus Metall gebildet ist, das tatsächlich die Temperatur erfasst. The sensor structure describes such a structured element, which is preferably made of metal, which actually detects the temperature.
Die Sensorstruktur, die insbesondere aus einer Meta II Struktur hergestellt ist, kann eine beliebige Form aufweisen. Beispielsweise ist das Ausbilden einer Sensorstruktur in quadratischer Form möglich. Auch das Ausbilden einer Sensorstruktur mit einer im Wesentlichen geraden Leitungsstruktur ist möglich. The sensor structure, which is made in particular from a Meta II structure, can have any shape. For example, it is possible to form a sensor structure in a square shape. It is also possible to form a sensor structure with an essentially straight line structure.
Besonders bevorzugt weist die Sensorstruktur eine mäandrierende Form auf. Eine derartig mäandrierende Form kann beispielsweise aus einer zusammenhängenden, ineinander verwobenen und/oder ineinander geschachtelten und/oder ineinandergreifenden, Leitungsstruktur gebildet sein. Die einzelnen Abschnitte, insbesondere die einzelnen Leitungsabschnitte, können relativ dünn ausgebildet sein. The sensor structure particularly preferably has a meandering shape. Such a meandering shape can be formed, for example, from a coherent, interwoven and/or nested and/or interlocking line structure. The individual sections, in particular the individual line sections, can be made relatively thin.
Die Sensorstruktur, die insbesondere in einer mäandrierenden Form vorliegt, kann aufgrund der gebildeten Struktur eine relativ große Fläche des Temperatursensors bedecken. Dies ermöglicht eine schnelle Erfassung der zu detektierenden Temperatur. Die Sensorstruktur kann aus einer strukturierten Metallfolie gebildet sein. Sofern eine derartige Ausführung hinsichtlich der Sensorstruktur vorliegt, kann die Sensorstruktur in einem separaten Prozess erzeugt und anschließend auf die Isolationsschicht aufgebracht werden. The sensor structure, which is present in particular in a meandering form, can cover a relatively large area of the temperature sensor due to the structure formed. This enables the temperature to be detected to be recorded quickly. The sensor structure can be formed from a structured metal foil. If such an embodiment with regard to the sensor structure is present, the sensor structure can be produced in a separate process and then applied to the insulation layer.
Des Weiteren ist es möglich, dass die Sensorstruktur aus einer metallhaltigen Paste und/oder einer metallhaltigen Tinte hergestellt ist. Eine derartig metallhaltige Paste und/oder Tinte kann im Rahmen eines Aufdruckens, insbesondere im Rahmen eines Siebdruckverfahrens, auf der Isolationsschicht sowie auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrates aufgebracht werden. Furthermore, it is possible for the sensor structure to be produced from a metal-containing paste and/or a metal-containing ink. Such a metal-containing paste and/or ink can be applied to the insulation layer and to the section of the front side of the substrate that is free of the insulation layer by means of printing, in particular by means of a screen printing process.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Sensorstruktur aus einer edelmetallhaltigen Paste gebildet. Insbesondere kann es sich bei den Edelmetallen um Platin und/oder Silber und/oder Gold handeln. In a particularly preferred embodiment of the invention, the sensor structure is formed from a paste containing noble metal. In particular, the noble metals can be platinum and/or silver and/or gold.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei der Sensorstruktur um eine mittels Dünnschichtmetallabscheidung hergestellte Meta II Struktur. In a further embodiment of the invention, the sensor structure is a Meta II structure produced by means of thin-film metal deposition.
Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausbildung des Temperatursensors mit den erfindungsgemäß ausgebildeten Schichten sowie der Anordnung der Sensorstruktur kann ein im Vergleich zum Stand der Technik verbesserter Temperatursensor mit verringerter Fläche zur Verfügung gestellt werden. Due to the configuration of the temperature sensor according to the invention with the layers configured according to the invention and the arrangement of the sensor structure, an improved temperature sensor with a reduced area can be made available in comparison to the prior art.
Die Fläche des Temperatursensors ist vorzugsweise kleiner als 10 mm2, besonders bevorzugt kleiner als 3 mm2, besonders bevorzugt kleiner als 2 mm2, ganz besonders bevorzugt kleiner als 1 mm2. Die Fläche des Temperatursensors ist insbesondere bei einer Draufsicht auf den Temperatursensor zu erkennen. The area of the temperature sensor is preferably smaller than 10 mm 2 , particularly preferably smaller than 3 mm 2 , particularly preferably smaller than 2 mm 2 , very particularly preferably smaller than 1 mm 2 . The surface of the temperature sensor can be seen in particular when the temperature sensor is viewed from above.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann die Sensorstruktur eine Trimmstrecke aufweisen. Die Trimmstrecke dient zur Einstellung eines bevorzugten Widerstandssollwertes der Sensorstruktur. In a further embodiment of the invention, the sensor structure can have a trimming distance. The trimming distance is used to set a preferred desired resistance value for the sensor structure.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, dass auf dem Substrat eine dreidimensionale Sensorstruktur angeordnet ist. Als eine dreidimensionale Sensorstruktur ist eine derartige Sensorstruktur zu verstehen, die mindestens zwei übereinander zumindest teilweise voneinander beabstandete Metallschichten aufweist. Zwischen den Metallschichten ist zumindestens abschnittsweise eine Isolationsschicht ausgebildet. Außerdem berühren sich die zwei Metallschichten zumindest abschnittsweise. Vorzugsweise berühren sich die mindestens zwei Metallschichten in einem Bereich des ersten Kontaktierungsabschnittes. In a further embodiment of the invention it is possible for a three-dimensional sensor structure to be arranged on the substrate. A three-dimensional sensor structure is to be understood as meaning a sensor structure of this type that has at least two stacked at least partially spaced metal layers. An insulation layer is formed at least in sections between the metal layers. In addition, the two metal layers touch at least in sections. The at least two metal layers preferably touch in a region of the first contacting section.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Temperatursensors wird ein Temperatursensor zur Verfügung gestellt, der sich bei einer sehr kleinen Baugröße durch eine hohe Genauigkeit auszeichnet. Aufgrund der kleinen Bauform des Temperatursensors wird auch die Temperatursensormasse reduziert, so dass die Ansprechzeit des Temperatursensors entsprechend verringert ist. Mit anderen Worten spricht der Temperatursensor schneller auf Temperaturwechsel an. With the aid of the temperature sensor according to the invention, a temperature sensor is made available which is characterized by a high level of accuracy with a very small size. Due to the small design of the temperature sensor, the mass of the temperature sensor is also reduced, so that the response time of the temperature sensor is correspondingly reduced. In other words, the temperature sensor responds more quickly to temperature changes.
Die Vorteile eines Temperatursensors gemäß erfindungsgemäßem Aufbau insbesondere mit einer Sensorstruktur aus Pt gegenüber einem NTC-Sensor sind die lineare Kennlinie über einen weiten Temperaturbereich, die Langzeit-Stabilität und die hohe Genauigkeit gemäß DIN IEC 60751. The advantages of a temperature sensor according to the structure according to the invention, in particular with a sensor structure made of Pt, compared to an NTC sensor are the linear characteristic over a wide temperature range, the long-term stability and the high accuracy according to DIN IEC 60751.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors. Bezüglich einzelner Verfahrensaspekte wird zusätzlich auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Temperatursensor verwiesen. Im vorangegangenen Teil der Beschreibung sind bereits einzelne Aspekte hinsichtlich der Herstellung des Temperatursensors enthalten. A further aspect of the invention relates to a method for producing a temperature sensor according to the invention. With regard to individual aspects of the method, reference is also made to the explanations in connection with the temperature sensor according to the invention. Individual aspects relating to the production of the temperature sensor are already contained in the preceding part of the description.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors umfasst die Schritte: a) Bereitstellen eines Substrats, das aus einem Metallelement gebildet ist und eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist, b) Ausbilden mindestens einer Isolationsschicht auf der Vorderseite des Substrates, derart, dass ein isolationsschichtfreier Abschnitt des Substrates ausgebildet wird. c) Aufbringen einer Sensorstruktur, insbesondere einer resistiven Sensorstruktur, auf die Isolationsschicht und auf den isolationsfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrates, d) Aufbringen mindestens eines Kontaktpads. The method according to the invention for producing a temperature sensor comprises the steps: a) providing a substrate which is formed from a metal element and has a front side and a rear side, b) forming at least one insulation layer on the front side of the substrate in such a way that a section of the Substrate is formed. c) application of a sensor structure, in particular a resistive sensor structure, to the insulation layer and to the insulation-free section of the front side of the substrate, d) application of at least one contact pad.
Im Schritt b) wird die Isolationsschicht auf die Vorderseite des Substrates beispielsweise vollflächig aufgetragen und in einem weiteren Verfahrensschritt zumindest abschnittsweise entfernt, derart, dass der isolationsschichtfreie Abschnitt des Substrates ausgebildet wird. Es ist möglich, eine auf die Vorderseite des Substrates aufgebrachte Isolationsschicht beispielsweise mittels Laserablation und/oder Lift-Off und/oder mittels chemischen Ätzens und/oder mittels Plasma-Ätzens und/oder abrasivem Abtragen wieder zu entfernen. Bei einigen Abtragsverfahren kann optional zusätzlich zum Abtrag der Isolationsschicht ein Teil des darunterliegenden Substratmaterials abgetragen und dessen Dicke lokal reduziert werden. In step b), the insulating layer is applied to the front side of the substrate, for example over the entire surface, and in a further method step at least in sections removed such that the insulating layer free portion of the substrate is formed. It is possible to remove an insulation layer applied to the front side of the substrate again, for example by means of laser ablation and/or lift-off and/or by means of chemical etching and/or by means of plasma etching and/or abrasive removal. With some removal methods, in addition to removing the insulation layer, part of the underlying substrate material can optionally be removed and its thickness reduced locally.
Die tatsächliche Ausbildung des isolationsschichtfreien Abschnittes bzw. das tatsächlich anzuwendende Verfahren zur Herstellung eines isolationsschichtfreien Abschnittes hängt beispielsweise von der Zusammensetzung der Isolationsschicht ab sowie von dem Verfahren, wie die Isolationsschicht auf die Vorderseite des Substrates aufgebracht wird/wurde. The actual formation of the insulating layer-free section or the actual method to be used for producing an insulating layer-free section depends, for example, on the composition of the insulating layer and on the method by which the insulating layer is/was applied to the front side of the substrate.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, dass die Isolationsschicht mittels eines Gasabscheideverfahrens und/oder eines Druckverfahrens und/oder eines Tauchverfahrens und/oder eines Sprühverfahrens, insbesondere mittels eines ADM-Verfahrens (Aerosol-Deposition-Method), auf die Vorderseite des Substrates aufgebracht wird. In a further embodiment of the invention, it is possible for the insulation layer to be applied to the front of the Substrate is applied.
Sofern die Isolationsschicht bereits strukturiert aufgebracht wird, wie dies beispielsweise mittels eines Druckverfahrens, insbesondere mittels eines Siebdruckverfahrens, ermöglicht wird, wird kein nachfolgender Verfahrensschritt zur abschnittsweisen Entfernung der Isolationsschicht benötigt. If the insulation layer is already applied in a structured manner, as is made possible, for example, by means of a printing process, in particular by means of a screen printing process, no subsequent process step for removing the insulation layer in sections is required.
Die Verwendung von Abschattungsmasken ermöglichen auch das strukturierte Aufbringen der Isolationsschicht auf der Vorderseite des Substrates. The use of shading masks also allows the insulating layer to be applied in a structured manner on the front side of the substrate.
Im Schritt c) kann zur Aufbringung der Sensorstruktur beispielsweise ein Dickschichtfilm durch Siebdruck auf die Isolationsschicht sowie auf den isolationsschichtfreien Abschnitt aufgebracht werden. In step c), in order to apply the sensor structure, a thick film can be applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer by screen printing, for example.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann im Schritt c) zunächst die Sensorstruktur mittels PVD-Verfahren als homogene Metallschicht vorzugsweise ganzflächig, aufgebracht werden. Die Metallschicht kann anschließend mittels eines Laserstrukturierungsverfahrens oder fotolithographisch strukturiert werden. Des Weiteren ist es möglich, dass ein Lift-Off-Prozess durchgeführt wird, um die Struktur zu erzeugen. Hierzu wird ein Fotolack auf die Isolationsschicht sowie auf den isolationsschichtfreien Abschnitt aufgebracht. Anschließend wird der Fotolack getrocknet und belichtet sowie anschließend entwickelt. Auf die derart erzeugte Fotolack-Struktur wird anschließend eine leitfähige Schicht aufgebracht. Es folgt eine Strukturierung der leitfähigen Schicht durch Auflösen der Fotolack-Struktur mit Hilfe eines Lösungsmittels. Hierbei wird die Metallisierung auf dem Fotolack entfernt und der auf der Oberfläche verbleibende Film entspricht wiederum dem Negativ der ursprünglichen Fotolack-Struktur. In a further embodiment of the invention, in step c) the sensor structure can first be applied as a homogeneous metal layer, preferably over the entire surface, by means of PVD processes. The metal layer can then be structured using a laser structuring method or photolithographically. Furthermore, it is possible for a lift-off process to be carried out in order to produce the structure. For this purpose, a photoresist is applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer. The photoresist is then dried and exposed and then developed. A conductive layer is then applied to the photoresist structure produced in this way. The conductive layer is then structured by dissolving the photoresist structure with the aid of a solvent. Here, the metallization on the photoresist is removed and the film remaining on the surface again corresponds to the negative of the original photoresist structure.
Das im Schritt d) aufzubringende Kontaktpad kann in einer Ausführungsform der Erfindung auf die Isolationsschicht aufgebracht werden. Des Weiteren ist es möglich, dass das mindestens eine Kontaktpad zumindest indirekt auf die Isolationsschicht aufgebracht wird oder zumindest indirekt mit der Isolationsschicht verbunden wird. In one embodiment of the invention, the contact pad to be applied in step d) can be applied to the insulation layer. Furthermore, it is possible that the at least one contact pad is applied at least indirectly to the insulation layer or is at least indirectly connected to the insulation layer.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es vorgesehen, auf die Sensorstruktur zumindest abschnittsweise eine Passivierungsschicht aufzubringen. A further embodiment of the method according to the invention provides for a passivation layer to be applied at least in sections to the sensor structure.
Vorzugsweise wird auf die vollständige Oberseite der Sensorstruktur eine Passivierungsschicht aufgebracht. Das mindestens eine Kontaktpad ist dabei mindestens abschnittsweise mit einer Passivierungsschicht versehen. Des Weiteren ist es möglich, dass das Kontaktpad bzw. die Kontaktpads vollständig passivierungsschichtfrei ausgebildet sind. Dies ermöglicht es, die Kontaktpads entsprechend einfach elektrisch zu kontaktieren. A passivation layer is preferably applied to the entire upper side of the sensor structure. The at least one contact pad is provided with a passivation layer at least in sections. Furthermore, it is possible for the contact pad or contact pads to be formed completely without a passivation layer. This makes it possible to make electrical contact with the contact pads in a correspondingly simple manner.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors zeichnet sich durch eine besonders einfache Methodik und eine kostengünstige Durchführung aus. The method according to the invention for producing a temperature sensor according to the invention is characterized by a particularly simple method and a cost-effective implementation.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung werden die Schritte a) bis d) auf einem Substratband und/oder einem Substratträger durchgeführt. Mit anderen Worten werden die Schritte a) bis d) derart durchgeführt, dass eine Vielzahl von Temperatursensoren gemeinsam auf einem Substratband und/oder einem Substratträger hergestellt und anschließend vereinzelt werden. In a further embodiment of the invention, steps a) to d) are carried out on a substrate strip and/or a substrate carrier. In other words, steps a) to d) are carried out in such a way that a large number of temperature sensors are produced together on a substrate strip and/or a substrate carrier and are then separated.
Auf dem Substratband und/oder dem Substratträger werden die Formen von einzelnen Substraten eingebracht. Hierzu werden die Substrate an den Seiten vom Substratband und/oder dem Substratträger getrennt. An Ecken und/oder einzelnen Seitenabschnitten werden die Substrate nicht vom Substratband und/oder dem Substratträger gelöst bzw. getrennt, so dass die einzelnen Substrate weiterhin mit dem Substratband und/oder dem Substratträger verbunden sind. In dieser dann vorliegenden Form können die einzelnen Substrate weiterprozessiert werden, so dass die Schritte b) bis d) in gemeinsamen Verfahrensschritten durchgeführt werden können. The molds of individual substrates are placed on the substrate strip and/or the substrate carrier. For this purpose, the substrates are separated from the substrate strip and/or the substrate carrier at the sides. At corners and/or individual side sections the substrates are not detached or separated from the substrate belt and/or the substrate carrier, so that the individual substrates continue to be connected to the substrate belt and/or the substrate carrier. The individual substrates can then be processed further in this form, so that steps b) to d) can be carried out in common method steps.
Abschließend erfolgt ein Trennen der einzelnen Substrate vom Substratband und/oder dem Substratträger. Finally, the individual substrates are separated from the substrate band and/or the substrate carrier.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird eine erste Zuleitung des Temperatursensors mit der Rückseite des Substrates verbunden und eine zweite Zuleitung des Temperatursensors wird mit dem mindestens einen Kontaktpad, das vorzugsweise auf der Vorderseite ausgebildet ist, verbunden. In a further embodiment of the invention, a first lead of the temperature sensor is connected to the rear side of the substrate and a second lead of the temperature sensor is connected to the at least one contact pad, which is preferably formed on the front side.
Im Folgenden werden gemäß Ausführungsformen 1 bis 3 verschiedene erfindungsgemäße Temperatursensoren sowie verschiedene Verfahren zur Herstellung derartiger Temperatursensoren angegeben. Various temperature sensors according to the invention and various methods for producing such temperature sensors are specified below according to embodiments 1 to 3.
Ausführungsform 1: Embodiment 1:
Das Substrat ist aus einem Nickelblech gebildet, wobei das Substrat eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist. Das Substrat ist beidseitig vergoldet und weist eine Länge von 0,8 mm, eine Breite von 0,8 mm und eine Höhe von 100 pm auf. Auf der Vorderseite des Substrates ist eine Isolationsschicht aufgebracht. Hierzu ist eine Aluminiumoxid (Al20s)-Schicht mittels ADM- Verfahren aufgebracht. Die Schichtdicke der Isolationsschicht beträgt 2 pm. Anschließend wird ein Abschnitt der Isolationsschicht, d. h. ein Abschnitt der AhCh-Schicht, mittels Laserablation wieder entfernt, so dass beispielsweise ein Streifen von 0,1 mm x 0,8 mm des darunterliegenden goldbeschichteten Substrates, d. h. des goldbeschichteten Nickel-Bleches, freigelegt wird. The substrate is formed from a nickel sheet, the substrate having a front side and a back side. The substrate is gold-plated on both sides and has a length of 0.8 mm, a width of 0.8 mm and a height of 100 μm. An insulating layer is applied to the front of the substrate. For this purpose, an aluminum oxide (Al20s) layer is applied using the ADM process. The layer thickness of the insulation layer is 2 μm. Then a section of the insulation layer, i. H. a section of the AhCh layer is removed again by laser ablation, leaving, for example, a 0.1 mm x 0.8 mm strip of the underlying gold-coated substrate, i. H. of the gold-coated nickel sheet, is exposed.
Anschließend wird auf die Isolationsschicht sowie auf den isolationsschichtfreien Abschnitt eine Platin-Schicht aufgebracht. Dies erfolgt mittels PVD-Verfahren. Es wird eine Platin-Schicht mit einer Schichtdicke von 200 nm aufgebracht. Durch Laserablation wird eine Sensorstruktur aus der Platin-Schicht herausgearbeitet. Dabei kann der mit dem Laser erzeugte Graben auch in die AhCh-Schicht und/oder in den Bereich des freigelegten Nickelblechs eindringen. Die Sensorstruktur besteht aus einem ersten Kontaktierungsabschnitt, der auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt der Vorderseite des Substrates ausgebildet ist, einem Mäander, einer Trimmstrecke und einem zweiten Kontaktierungsabschnitt. Der zweite Kontaktierungsabschnitt ist mit einem Kontaktpad verbunden. Der Mäander der Sensorstruktur ist wie folgt dimensioniert: A platinum layer is then applied to the insulation layer and to the section free of the insulation layer. This is done using the PVD process. A platinum layer with a layer thickness of 200 nm is applied. A sensor structure is worked out of the platinum layer by laser ablation. The trench created with the laser can also penetrate into the AhCh layer and/or into the area of the exposed nickel sheet. The sensor structure consists of a first contacting section on the is formed insulation layer-free portion of the front side of the substrate, a meander, a trimming distance and a second contacting portion. The second contacting section is connected to a contact pad. The meander of the sensor structure is dimensioned as follows:
Der Abstand der Mäanderstege voneinander beträgt 20 pm. Die Stegbreite beträgt 20 pm. Die Steglänge beträgt 500 pm. Bei einer Mäander-Gesamtlänge von 3,81 mm beträgt der Gesamtwiderstand des Mäanders ca. 100 Q. Der Mäander bedeckt eine Fläche von ca. 0,3 mm x 0,5 mm. The distance between the meander webs is 20 pm. The web width is 20 μm. The web length is 500 pm. With a total meander length of 3.81 mm, the total resistance of the meander is about 100 Ω. The meander covers an area of about 0.3 mm x 0.5 mm.
Die Trimmstrecke, die ebenfalls durch Laserablation aus der Platin-Schicht herausgearbeitet wird, hat eine ähnliche Abmessung. Die Gesamtfläche der Sensorstruktur beträgt 0,5 mm * 0,6 mm. The trimming distance, which is also worked out of the platinum layer by laser ablation, has a similar dimension. The total area of the sensor structure is 0.5mm*0.6mm.
Anschließend wird die Sensorstruktur durch Entfernung einzelner Segmente der Trimmstrecke mit einem Laser auf den Widerstandssollwert eingestellt. The sensor structure is then set to the desired resistance value by removing individual segments of the trimming distance with a laser.
Dann wird ein Glas-Schlicker auf die gesamte Sensorstruktur mit Ausnahme des zweiten Kontaktierungsabschnittes aufgetragen und eingebrannt. Then a glass slip is applied to the entire sensor structure with the exception of the second contacting section and baked.
Auf die Passivierungsschicht wird anschließend ein erstes Kontaktpad aufgebracht, das mit dem zweiten Kontaktierungsabschnitt elektrisch verbunden ist. A first contact pad, which is electrically connected to the second contacting section, is then applied to the passivation layer.
Es wird eine erste elektrische Zuleitung aufgebracht, die mit der Rückseite des Substrates verbunden wird. Vorzugsweise wird die erste elektrische Zuleitung mittels Lötens mit der Unterseite verbunden. Die zweite elektrische Zuleitung wird in Form eines Gold-Bonddrahtes zur Verfügung gestellt. Dieser Gold-Draht wird mit dem ersten Kontaktpad verbunden. A first electrical lead is applied, which is connected to the rear side of the substrate. The first electrical supply line is preferably connected to the underside by means of soldering. The second electrical lead is provided in the form of a gold bonding wire. This gold wire is connected to the first contact pad.
Ausführungsform 2: Embodiment 2:
Das Substrat wird aus einem Kupfer-Blech gebildet. Auf der Vorderseite des Kupfer-Bleches wird eine A^Os-lsolationsschicht aufgebracht. Die A^Os-Schicht wird mittels ADM-Verfahren abgeschieden. Die Dicke der Isolationsschicht beträgt 20 pm. Anschließend wird das Kupfer-Blech in einem Ofen bei 500 °C für eine Stunde unter Luftzufuhr ausgelagert. Unter der AhOs-lsolationsschicht wird nach der Auslagerung keine zusätzliche Kupfer-Oxidation beobachtet. The substrate is formed from a copper sheet. An A^Os insulation layer is applied to the front of the copper sheet. The A^Os layer is deposited using ADM processes. The thickness of the insulation layer is 20 μm. The copper sheet is then exposed to air in a furnace at 500°C for one hour. No additional copper oxidation is observed under the AhOs insulation layer after aging.
Ausführungsform 3: Embodiment 3:
Im Gegensatz zur Ausführungsform 2 wird auf das gereinigte Kupfer-Blech eine Glas- Schlickerschicht aufgebracht und eingebrannt. Die Schichtdicke beträgt ebenfalls ca. 20 pm. Anschließend wird das Kupfer-Blech in einem Ofen bei 500 °C für eine Stunde unter Luftzufuhr ausgelagert. In contrast to embodiment 2, a glass slip layer is applied to the cleaned copper sheet and baked. The layer thickness is also about 20 μm. The copper sheet is then exposed to air in a furnace at 500°C for one hour.
Bei den gleichen Auslagerungs-Bedingungen wie diese auch bei Ausführungsform 2 angewandt wurden, werden in Ausführungsform 3 kreisförmige Oxidationsflächen auf der Kupfer-Folie im abgedeckten Bereich gebildet. Derartige kreisförmige Oxidationsflächen deuten auf Pin-Holes in der Glasabdeckung hin. In embodiment 3, under the same aging conditions as those used in embodiment 2, circular oxidation areas are formed on the copper foil in the masked area. Such circular oxidation areas indicate pin holes in the glass cover.
In einem Vergleich der Ausführungsformen 2 und 3 werden somit die verbesserten Isolationseigenschaften einer mittels ADM-Verfahren hergestellten Isolationsschicht gegenüber einer Glas-Schlickerschicht sichtbar. In a comparison of embodiments 2 and 3, the improved insulation properties of an insulation layer produced using the ADM method compared to a glass slip layer become visible.
Ausführungsform 4: Embodiment 4:
Das Substrat ist aus einem Nickelblech gebildet, wobei das Substrat eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist. Diese beiden Seiten werden gleichzeitig vollflächig durch Tauchbeschichtungen im Chemical Solution Deposition Verfahren mit jeweils 200 nm dicken Lanthanzirkonatschichten (La2Zr2O?) beschichtet. Zum Schutz des Substrates vor ungewollter Oxidation bei Wärmebehandlung wird dieser Schritt unter Formiergasatmosphäre ausgeführt. Bei der Chemical Solution Deposition Methode wird die Rückseite zwangsläufig mitbeschichtet, sofern nicht konkrete Gegenmaßnahmen getroffen werden, um eine derartige Beschichtung zu unterbinden. In diesem Fall ist der positive Nebeneffekt, dass die Rückseite ebenfalls mit der gleichen Isolationschicht bedeckt ist und in den weiteren Metallisierungsschritten das Substrat vor unbeabsichtigter Oxidation geschützt werden kann. The substrate is formed from a nickel sheet, the substrate having a front side and a back side. Both of these sides are simultaneously coated over their entire surface by dip coating using the Chemical Solution Deposition process, each with 200 nm thick layers of lanthanum zirconate (La2Zr2O?). To protect the substrate from unwanted oxidation during heat treatment, this step is carried out in a forming gas atmosphere. With the Chemical Solution Deposition method, the back is inevitably coated as well, unless specific countermeasures are taken to prevent such a coating. In this case, the positive side effect is that the back is also covered with the same insulating layer and the substrate can be protected against unintentional oxidation in the further metallization steps.
Danach folgen drei Metallisierungsschritte mit Platin und zwei weitere Depositionsschritte einer per Siebdruck aufgebrachten Aluminiumoxidschicht (AI2O3), um eine dreidimensionale Struktur mit einem Gesamtwiderstand von ca. 300 Ohm zu bilden. Im ersten Platin-Metallisierungsschritt wird ein 0,25 mm2 großes Kontaktpad und eine Mäanderstruktur mit Stegbreite 20 pm und Steglänge 3,81 mm sowie 200 nm Schichtdicke auf der Lanthanzirkonatschicht so aufgebracht, sodass daneben noch eine ausreichend große Fläche für die spätere Kontaktierung des noch freizulegenden Bereichs ungenutzt bleibt. Zudem ist der Mäander so zu gestalten, dass ca. die letzten 0,4 mm der Mäanderlänge in der Nähe des bereits deponierten Kontaktpads zu liegen kommen. Zur Strukturierung des Mäanders wird ein Laserablationsverfahren angewandt. This is followed by three metallization steps with platinum and two more deposition steps of a screen-printed aluminum oxide layer (AI2O3) to form a three-dimensional structure with a total resistance of approx. 300 ohms. In the first platinum metallization step, a 0.25 mm 2 contact pad and a meander structure with a web width of 20 μm and a web length of 3.81 mm and a layer thickness of 200 nm are applied to the lanthanum zirconate layer in such a way that there is still a sufficiently large area next to it for subsequent contacting of the still area to be exposed remains unused. In addition, the meander is to be designed in such a way that the last 0.4 mm of the meander length is close to the contact pad that has already been deposited. A laser ablation process is used to structure the meander.
Im zweiten Depositionsschritt der Isolationsschicht wird 90% der Mäanderstruktur mit einer weiteren Isolationsschicht bestehend aus per Siebdruck deponiertem Aluminiumoxid bedeckt. Dabei wird mindestens das eine bereits angebrachte Kontaktpad von der Beschichtung ausgespart. In the second deposition step of the insulation layer, 90% of the meander structure is covered with another insulation layer consisting of aluminum oxide deposited by screen printing. In this case, at least the one contact pad that has already been applied is left out of the coating.
Im Depositionsschritt der Platinschichtstruktur wird beginnend auf dem nicht mit Aluminiumoxid bedeckten Leiterbahnende eine weitere Mäanderstruktur der Länge 3,81 mm und Breite 20 pm überwiegend auf die zweite Isolationsschicht gedruckt. Die erste und die zweite Mäanderstruktur berühren sich in dem Bereich, der nicht von der zweiten Isolationsschicht bedeckt ist. In the deposition step of the platinum layer structure, a further meander structure with a length of 3.81 mm and a width of 20 μm is printed predominantly on the second insulation layer, starting at the end of the conductor track that is not covered with aluminum oxide. The first and the second meander structure touch in the area that is not covered by the second insulation layer.
Im dritten Depositionsschritt einer Isolationsschicht werden wieder 90% der zweiten Platinschichtstruktur des zweiten Depositionsschrittes überdeckt. In the third deposition step of an insulation layer, 90% of the second platinum layer structure of the second deposition step is again covered.
Wenigstens an einem nicht mit Platin bedeckten Substratbereich werden alle abdeckenden Isolationsschichten mittels Laserablation entfernt, um das darunterliegende Metallsubstrat freizulegen. Der zukünftige elektrische Kontaktbereich zum Substrat hat eine Länge von 0,5 mm und eine Breite von 20 pm. Dies entspricht einer Fläche von nur 0,01 mm2. At least one area of the substrate that is not covered with platinum has all covering insulating layers removed by means of laser ablation in order to expose the underlying metal substrate. The future electrical contact area to the substrate has a length of 0.5 mm and a width of 20 μm. This corresponds to an area of only 0.01 mm 2 .
In der dritten Deposition der mäandrierenden Platinstruktur kontaktiert diese die zweite Platinstruktur mit seinem ersten Endbereich. Mit seinen zweiten Endbereich wird das per Laserablation freigelegte Metall Substrat kontaktiert. In the third deposition of the meandering platinum structure, this contacts the second platinum structure with its first end area. The metal substrate exposed by laser ablation is contacted with its second end area.
Im letzten Arbeitsschritt wird auf der Substratrückseite eine 0,30 mm2 große Fläche von der Lanthanzirkonatschicht als Kontaktpad zum Nickelsubstrat per Laserablation freigelegt. Danach kann optional die Substratvorderseite einschließlich des 0,01 mm2 kleinen Kontaktbereiches zum Nickelsubstrat, aber ausschließlich des zuerst deponierten Platin- Kontaktpads mit einer Passivierungsschicht überzogen werden. In the final step, a 0.30 mm 2 area of the lanthanum zirconate layer is exposed as a contact pad to the nickel substrate on the back of the substrate using laser ablation. After that, optionally the front side of the substrate including the 0.01 mm 2 small contact area to the nickel substrate, but excluding the first deposited platinum contact pad, can be coated with a passivation layer.
Die elektrische Kontaktierung des gesamten dreidimensionalen Mäanders erfolgt über das im ersten Metallisierungsschritt deponierte Platin-Kontaktpad und den auf der Substratrückseite freigelegten metallischen Nickelbereich. The electrical contacting of the entire three-dimensional meander takes place via the platinum contact pad deposited in the first metallization step and the metallic nickel area exposed on the back of the substrate.
Der Fachmann erkennt, dass es sich bei den im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel 4 angegebenen Maßangaben um beispielhafte Werte handelt. Die im Ausführungsbeispiel 4 dargelegte dreidimensionale Struktur kann auch mit anderen Materialien und/oder mit anderen Abmaßen hergestellt werden. Those skilled in the art will recognize that the dimensions specified in connection with exemplary embodiment 4 are exemplary values. The three-dimensional structure presented in exemplary embodiment 4 can also be produced with other materials and/or with other dimensions.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. The invention is explained in more detail below using exemplary embodiments with reference to the accompanying drawings.
In diesen zeigen: In these show:
Fig. 1a - 1d verschiedene Ansichten und Herstellungszwischenprodukte eines ersten erfindungsgemäßen T emperatursensors; 1a - 1d different views and intermediate production products of a first temperature sensor according to the invention;
Fig. 2a u. 2b die Darstellung eines weiteren erfindungsgemäßen Temperatursensors; und 2a and 2b show a further temperature sensor according to the invention; and
Fig. 3 eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperatursensors. 3 shows a further embodiment of a temperature sensor according to the invention.
Im Folgenden werden für gleiche und gleich wirkende Bauteile die gleichen Bezugszeichen verwendet. In the following, the same reference numbers are used for the same components and those with the same effect.
In Fig. 1a wird in einer Draufsicht eine Zwischenstufe eines herzustellenden Temperatursensors 10 dargestellt. Auf einem Substrat 15, das beispielsweise aus einer Metallfolie gebildet ist, wird auf die Vorderseite 16 eine Isolationsschicht 20 aufgebracht. 1a shows an intermediate stage of a temperature sensor 10 to be produced in a plan view. An insulating layer 20 is applied to the front side 16 of a substrate 15, which is formed, for example, from a metal foil.
Wie in der Seitenansicht der Fig. 1b dargestellt ist, bedeckt die Isolationsschicht 20 die Vorderseite 16 des Substrates 15 nicht vollständig. Vielmehr ist ein isolationsschichtfreier Abschnitt 25 ausgebildet. Der isolationsschichtfreie Abschnitt 25 ist an einem Randabschnitt 18 der Vorderseite 16 des Substrates 15 ausgebildet. As shown in the side view of FIG. 1b, the insulating layer 20 does not cover the front side 16 of the substrate 15 completely. Rather is an isolation layer free Section 25 formed. The insulating layer-free section 25 is formed on an edge section 18 of the front side 16 of the substrate 15 .
Als Randabschnitt 18 ist ein derartiger Abschnitt der Vorderseite 16 des Substrates 15 zu verstehen, der an mindestens eine der dargestellten Seitenkanten 19 bzw. 19‘ des SubstratesAn edge section 18 is to be understood as such a section of the front side 16 of the substrate 15 which is attached to at least one of the illustrated side edges 19 or 19' of the substrate
15 angrenzt. Bei den Seitenkanten 19 handelt es sich um die langen Seitenkanten des Substrates 15. Die Seitenkanten 19‘ sind hingegen die kurzen Seitenkanten des rechteckförmigen Substrates 15. 15 adjacent. The side edges 19 are the long side edges of the substrate 15. The side edges 19', on the other hand, are the short side edges of the rectangular substrate 15.
Der isolationsschichtfreie Abschnitt 25 wird beispielsweise dadurch hergestellt, indem die Isolationsschicht 20 bereits strukturiert, d. h. in der zu erzielenden Endform auf die VorderseiteThe insulation layer-free section 25 is produced, for example, by already structuring the insulation layer 20, i. H. in the final shape to be achieved on the front
16 des Substrates 15 aufgebracht wird. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, zunächst die vollständige Vorderseite 16 mit einer Isolationsschicht 20 zu beschichten und den isolationsschichtfreien Abschnitt anschließend durch Entfernen eines entsprechenden Isolationsschicht-Abschnittes herzustellen. 16 of the substrate 15 is applied. In a further embodiment of the invention, it is possible first to coat the entire front side 16 with an insulation layer 20 and then to produce the insulation-layer-free section by removing a corresponding insulation-layer section.
Des Weiteren ist eine Sensorstruktur 30 zu erkennen. Die Sensorstruktur 30 weist einen Mäander-Abschnitt 36 auf. Die Sensorstruktur 30 umfasst des Weiteren einen ersten Kontaktierungsabschnitt 31 sowie einen zweiten Kontaktierungsabschnitt 32. Der erste Kontaktierungsabschnitt 31 ist mit dem isolationsschichtfreien Abschnitt 25 der Vorderseite 16 des Substrates 15 verbunden. Der zweite Kontaktierungsabschnitt 32 ist hingegen mit dem ersten Kontaktpad 41 verbunden. Das Kontaktpad 41 ist wiederum auf der Isolationsschicht 20 angeordnet. A sensor structure 30 can also be seen. The sensor structure 30 has a meander section 36 . The sensor structure 30 also includes a first contacting section 31 and a second contacting section 32. The first contacting section 31 is connected to the section 25 of the front side 16 of the substrate 15 which is free of an insulating layer. In contrast, the second contacting section 32 is connected to the first contact pad 41 . The contact pad 41 is in turn arranged on the insulation layer 20 .
Die Sensorstruktur 30 ist mit einer ersten Seite 34 auf der ersten Seite 21 der Isolationsschicht 20 sowie auf der Vorderseite 16 des Substrates 15 angeordnet. Die Isolationsschicht 20 ist wiederum mit der zweiten Seite 22 direkt auf dem Substrat 15 bzw. auf der Vorderseite 16 des Substrates 15 angeordnet. The sensor structure 30 is arranged with a first side 34 on the first side 21 of the insulation layer 20 and on the front side 16 of the substrate 15 . The insulation layer 20 is in turn arranged with the second side 22 directly on the substrate 15 or on the front side 16 of the substrate 15 .
Wie der Fig. 1c entnommen werden kann, kann die zweite Seite 35 der Sensorstruktur 30 bzw. die Seite 35 der Sensorstruktur 30, die vom Substrat 15 wegweist, mit einer Passivierungsschicht 60 beschichtet sein. Dies betrifft sowohl den Teil der Sensorstruktur 30, der den ersten Kontaktierungsabschnitt 31 umfasst, als auch den Abschnitt der Sensorstruktur 30, der den zweiten Kontaktierungsabschnitt 32 aufweist. Zumindest abschnittsweise ist auch das erste Kontaktpad 41 von der Passivierungsschicht 60 beschichtet. Die Passivierungsschicht 60 weist im Wesentlichen eine erste Seite 61 sowie eine zweite Seite 62 auf. Bei der ersten Seite 61 der Passivierungsschicht 60 handelt es sich um die Seite, die von der Sensorstruktur 30 wegweist. Bei der zweiten Seite 62 der Passivierungsschicht handelt es sich um die Seite der Passivierungsschicht, die unter anderem auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt 25 sowie auf der Isolationsschicht 20 aufliegt. As can be seen from FIG. 1c, the second side 35 of the sensor structure 30 or the side 35 of the sensor structure 30 which points away from the substrate 15 can be coated with a passivation layer 60. This relates both to the part of the sensor structure 30 which includes the first contacting section 31 and to the section of the sensor structure 30 which has the second contacting section 32 . The first contact pad 41 is also coated by the passivation layer 60 at least in sections. The passivation layer 60 essentially has a first side 61 and a second side 62 . The first side 61 of the passivation layer 60 is the side facing away from the sensor structure 30 . The second side 62 of the passivation layer is the side of the passivation layer that rests on the section 25 that is free of the insulating layer and on the insulating layer 20, among other things.
In Fig. 1d sind die Zuleitungen 51 und 52 des Temperatursensors 10 dargestellt. The supply lines 51 and 52 of the temperature sensor 10 are shown in FIG. 1d.
Demnach weist der Temperatursensor 10 eine erste elektrische Zuleitung 51 auf, die mit der Rückseite 17 des Substrates 15 verbunden ist. Eine zweite elektrische Zuleitung 52 ist mit dem ersten Kontaktpad 41 verbunden. Accordingly, the temperature sensor 10 has a first electrical supply line 51 which is connected to the rear side 17 of the substrate 15 . A second electrical supply line 52 is connected to the first contact pad 41 .
Die elektrische Kontaktierung des Temperatursensors 10 erfolgt also zum einen über das erste Kontaktpad 41 und zum anderen über die Rückseite 17 des Substrates 15. Eine Kontaktierung der Rückseite 17 des Substrates 15 ist dadurch möglich, indem die Sensorstruktur 30 im ersten Kontaktierungsabschnitt 31 im isolationsschichtfreien Abschnitt 25 elektrisch mit der Vorderseite 16 des Substrates 15 verbunden ist. The electrical contacting of the temperature sensor 10 is thus made on the one hand via the first contact pad 41 and on the other hand via the rear side 17 of the substrate 15. A contacting of the rear side 17 of the substrate 15 is possible by the sensor structure 30 in the first contacting section 31 in the insulation layer-free section 25 is electrically connected to the front side 16 of the substrate 15.
Bei der Sensorstruktur 30 handelt es sich vorzugsweise um eine Platinstruktur. Diese Sensorstruktur 30 dient zur Temperaturerfassung. Ein wie in den Fig. 1a bis 1d dargestellter Temperatursensor 10 weist unter anderem aufgrund einer Platin-Sensorstruktur eine hohe Genauigkeit auf. Die kleinen Abmessungen des Temperatursensors 10 sind dadurch realisierbar, indem die elektrischen Kontaktierungen des Temperatursensors 10 auf den gegenüberliegenden Seiten des Temperatursensors, d. h. auf der Rückseite 17 des Substrates 15 sowie auf der Seite des Kontaktpads 41 erfolgen. The sensor structure 30 is preferably a platinum structure. This sensor structure 30 is used for temperature detection. A temperature sensor 10 as shown in FIGS. 1a to 1d has a high degree of accuracy, among other things due to a platinum sensor structure. The small dimensions of the temperature sensor 10 can be realized by the electrical contacts of the temperature sensor 10 on the opposite sides of the temperature sensor, i. H. take place on the back 17 of the substrate 15 and on the side of the contact pad 41.
Es ist möglich, dass der Temperatursensor 10, wie dieser in Fig. 1d dargestellt ist, zusammen mit den Zuleitungen 51, 52 in einen Glas-Schlicker getaucht und gebrannt wird, so dass der Temperatursensor 10 vollständig verkapselt ist. It is possible for the temperature sensor 10, as shown in FIG. 1d, to be immersed in a glass slip and fired together with the supply lines 51, 52, so that the temperature sensor 10 is completely encapsulated.
Die Fläche A des Temperatursensors 10 ist vorzugsweise kleiner als 10 mm2, besonders bevorzugt kleiner als 1 mm2. Die Fläche A des Temperatursensors 10 wird aufgrund der langen Seitenkante 19 und der kurzen Seitenkante 19‘ des Substrates 15 gebildet (siehe hierzu Fig. 1a). In den Fig. 2a und 2b wird eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperatursensors 10 dargestellt. Eine derartige Ausführungsform erlaubt eine weitere Reduzierung der Sensorfläche. Der Aufbau entspricht im Wesentlichen dem Aufbau der Fig. 1a bis 1d. The area A of the temperature sensor 10 is preferably smaller than 10 mm 2 , particularly preferably smaller than 1 mm 2 . The area A of the temperature sensor 10 is formed due to the long side edge 19 and the short side edge 19' of the substrate 15 (see FIG. 1a). A further embodiment of a temperature sensor 10 according to the invention is shown in FIGS. 2a and 2b. Such an embodiment allows a further reduction in the sensor area. The structure essentially corresponds to the structure of FIGS. 1a to 1d.
Im Unterschied zu der Ausführungsform gemäß Fig. 1a bis 1d ist das erste Kontaktpad 41 derart angeordnet, dass dieses Kontaktpad 41 auf der von der Sensorstruktur 30 weg weisenden Seite 61 der Passivierungsschicht 60 zumindest teilweise aufliegt und gleichzeitig mit dem zweiten Kontaktierungsabschnitt 32, der nicht mit der Passivierungsschicht 60 bedeckt ist, elektrisch verbunden ist. Aufgrund einer derartigen Anordnung wird zusätzlich der Platz des Substrates 15 eingespart, der in Fig. 1a mit der Erstreckung des ersten Kontaktpads 41 einhergeht. Mit der in Fig. 2a dargestellten der Ausführungsform wird die Fläche des Temperatursensors weiter reduziert. In contrast to the embodiment according to FIGS. 1a to 1d, the first contact pad 41 is arranged in such a way that this contact pad 41 rests at least partially on the side 61 of the passivation layer 60 facing away from the sensor structure 30 and at the same time with the second contacting section 32, which does not of the passivation layer 60 is electrically connected. Due to such an arrangement, the space of the substrate 15, which is associated with the extension of the first contact pad 41 in FIG. 1a, is additionally saved. With the embodiment shown in FIG. 2a, the area of the temperature sensor is further reduced.
In Fig. 2b sind wiederum die Zuleitungen 51 und 52 dargestellt. Die erste Zuleitung 51 ist wiederum mit der Rückseite 17 des Substrates 15 verbunden. Die zweite elektrische Zuleitung 52 ist mit dem ersten Kontaktpad 41 verbunden. The feed lines 51 and 52 are again shown in FIG. 2b. The first lead 51 is in turn connected to the rear side 17 of the substrate 15 . The second electrical supply line 52 is connected to the first contact pad 41 .
In Fig. 3 wird eine weitere Ausführungsform eines Temperatursensors 10 dargestellt. Der Aufbau entspricht im Wesentlichen dem in Fig. 1a dargestellten Aufbau eines T emperatursensors. A further embodiment of a temperature sensor 10 is shown in FIG. 3 . The structure essentially corresponds to the structure of a temperature sensor shown in FIG. 1a.
Zusätzlich ist ein zweites Kontaktpad 42 ausgebildet. Die Sensorstruktur 30 bzw. der zweite Kontaktierungsabschnitt 32 der Sensorstruktur ist indirekt mit dem ersten Kontaktpad 41 verbunden. Das zweite Kontaktpad 42 und das erste Kontaktpad 41 sind miteinander verbunden. Das zweite Kontaktpad 42 kann als Mittelabgriff für ein Widerstandsnetzwerk verwendet werden, um zum Beispiel stromlos ein Potenzial abzugreifen. Bezugszeichenliste In addition, a second contact pad 42 is formed. The sensor structure 30 or the second contacting section 32 of the sensor structure is indirectly connected to the first contact pad 41 . The second contact pad 42 and the first contact pad 41 are connected to each other. The second contact pad 42 can be used as a center tap for a resistance network, for example to tap off a potential without current. Reference List
10 Temperatursensor 10 temperature sensor
15 Substrat 15 substrate
16 Vorderseite Substrat 16 front side substrate
17 Rückseite Substrat 17 backside substrate
18 Randabschnitt 18 edge section
19, 19‘ Seitenkante 19, 19' side edge
20 Isolationsschicht 20 insulation layer
21 erste Seite Isolationsschicht 21 first side insulation layer
22 zweite Seite Isolationsschicht22 second side insulation layer
25 isolationsschichtfreier Abschnitt25 insulation layer free section
30 Sensorstruktur 30 sensor structure
31 erster Kontaktierungsabschnitt31 first contacting section
32 zweiter Kontaktierungsabschnitt32 second contacting section
34 erste Seite Sensorstruktur 34 first page sensor structure
35 zweite Seite Sensorstruktur 35 second side sensor structure
36 Mäanderabschnitt 36 meander section
41 erstes Kontaktpad 41 first contact pad
42 zweites Kontaktpad 42 second contact pad
51 erste elektrische Zuleitung 51 first electrical lead
52 zweite elektrische Zuleitung 52 second electrical lead
60 Passivierungsschicht 60 passivation layer
61 erste Seite Passivierungsschicht61 first side passivation layer
62 zweite Seite Passivierungsschicht62 second side passivation layer
A Fläche Temperatursensor A surface temperature sensor

Claims

27 ANSPRÜCHE 27 CLAIMS
1. Temperatursensor (10) umfassend: A temperature sensor (10) comprising:
- ein Substrat (15), gebildet aus einem Metallelement, insbesondere einer Metallfolie, wobei das Substrat (15) eine Vorderseite (16) und eine Rückseite (17) aufweist, - a substrate (15) formed from a metal element, in particular a metal foil, the substrate (15) having a front side (16) and a back side (17),
- eine Isolationsschicht (20), die die Vorderseite (16) des Substrats (15) lediglich abschnittsweise bedeckt, derart, dass ein isolationsschichtfreier Abschnitt (25) auf der Vorderseite (16) des Substrats (15) gebildet ist, und - an insulation layer (20) which covers the front side (16) of the substrate (15) only in sections, such that an insulation layer-free section (25) is formed on the front side (16) of the substrate (15), and
- eine Sensorstruktur (30), insbesondere eine resistive Sensorstruktur, die auf der Isolationsschicht (20) und auf dem isolationsschichtfreien Abschnitt (25) der Vorderseite (16) des Substrats (15) ausgebildet ist, wobei die Sensorstruktur (30) mindestens zwei elektrische Kontaktierungsabschnitte (31 , 32) aufweist, und ein erster Kontaktierungsabschnitt (31) mit dem isolationsschichtfreien Abschnitt (25) der Vorderseite (16) des Substrats (15) verbunden ist und ein zweiter Kontaktierungsabschnitt (32) ein erstes Kontaktpad (41) ist oder mit einem ersten Kontaktpad (41) verbunden ist, wobei das erste Kontaktpad (41) vorzugsweise auf der Isolationsschicht (20) angeordnet ist. - A sensor structure (30), in particular a resistive sensor structure, which is formed on the insulating layer (20) and on the insulating layer-free section (25) of the front side (16) of the substrate (15), the sensor structure (30) having at least two electrical contacting sections (31, 32), and a first contacting section (31) is connected to the insulating layer-free section (25) of the front side (16) of the substrate (15) and a second contacting section (32) is a first contact pad (41) or with a first contact pad (41) is connected, wherein the first contact pad (41) is preferably arranged on the insulating layer (20).
2. Temperatursensor (10) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der isolationsschichtfreie Abschnitt (25) an einem Randabschnitt (18) der Vorderseite (16) des Substrats (15) ausgebildet ist. 2. Temperature sensor (10) according to claim 1, characterized in that the insulating layer-free section (25) is formed on an edge section (18) of the front side (16) of the substrate (15).
3. Temperatursensor (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (10) eine erste elektrische Zuleitung (51) aufweist, die mit der Rückseite (17) des Substrats (15) verbunden ist und mindestens eine zweite elektrische Zuleitung (52) aufweist, die mit dem ersten Kontaktpad (41) verbunden ist. 3. Temperature sensor (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the temperature sensor (10) has a first electrical lead (51) which is connected to the back (17) of the substrate (15) and at least one second electrical lead (52) which is connected to the first contact pad (41).
4. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der vom Substrat wegweisenden Seite (35) der Sensorstruktur (30) zumindest abschnittsweise eine Passivierungsschicht (60) ausgebildet ist. 4. Temperature sensor (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that on the side facing away from the substrate (35) of the sensor structure (30) at least a passivation layer (60) is formed in sections.
5. Temperatursensor (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Kontaktpad (41) derart angeordnet ist, insbesondere derart gebogen ist, dass dieses abschnittsweise auf der von der Sensorstruktur (30) wegweisenden Seite (61) der Passivierungsschicht (60) aufliegt. 5. Temperature sensor (10) according to claim 4, characterized in that the first contact pad (41) is arranged in such a way, in particular is bent in such a way, that it is partially on the side (61) of the passivation layer (60) pointing away from the sensor structure (30). rests.
6. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallelement, insbesondere die Metallfolie, aus Aluminium (AI) und/oder Stahl, insbesondere ferritischem Stahl, und/oder Titan (Ti) und/oder Niob (Nb) und/oder Tantal (Ta) und/oder Nickel (Ni) und/oder Kupfer (Cu) gebildet ist. 6. Temperature sensor (10) according to one of the preceding claims, characterized in that the metal element, in particular the metal foil, is made of aluminum (Al) and/or steel, in particular ferritic steel, and/or titanium (Ti) and/or niobium (Nb ) and/or tantalum (Ta) and/or nickel (Ni) and/or copper (Cu).
7. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolationsschicht (20) Aluminiumoxid (AI2O3) und/oder Aluminiumtitantat (A^TiOs) und/oder Titandioxid (TiC>2) und/oder Siliziumdioxid (SiC>2) und/oder Siliziumoxid (SiO) und/oder Magnesiumoxid (MgO) und/oder Magnesiumtitanat (MgTiCh) und/oder eine binäre Zirkondioxid-Legierung und/oder eine ternäre Zirkoniumdioxid-Legierung und/oder Bornitrid (BN) und/oder Aluminiumnitrid (AIN) und/oder Siliziumnitrid (SisN^ aufweist. 7. Temperature sensor (10) according to one of the preceding claims, characterized in that the insulating layer (20) is aluminum oxide (Al2O3) and/or aluminum titanate (A^TiOs) and/or titanium dioxide (TiC>2) and/or silicon dioxide (SiC> 2) and/or silicon oxide (SiO) and/or magnesium oxide (MgO) and/or magnesium titanate (MgTiCh) and/or a binary zirconia alloy and/or a ternary zirconia alloy and/or boron nitride (BN) and/or aluminum nitride (AlN) and/or silicon nitride (SisN^.
8. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolationsschicht (20) 8. Temperature sensor (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that the insulating layer (20)
- eine Metalloxidschicht, insbesondere eine anodisierte Metalloxidschicht oder eine Metallnitridschicht oder eine Metalloxinitridschicht, ist, oder - a metal oxide layer, in particular an anodized metal oxide layer or a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or
- aus einem Schichtenverbund gebildet ist, oder - is formed from a layered composite, or
- eine glasartige oder glaskeramische Schicht, gebildet aus einem Schlicker oder einer Paste mit darin enthaltenen Metalloxiden, insbesondere Aluminiumoxidpartikel (AI2O3) und/oder Magnesiumoxidpartikel (MgO), aufweist, oder - aus einem Schichtenverbund gebildet ist, wobei mindestens eine Schicht eine Polymerschicht aufweist. - a vitreous or glass-ceramic layer formed from a slip or a paste containing metal oxides, in particular aluminum oxide particles (AI2O3) and/or magnesium oxide particles (MgO), or - Is formed from a layered composite, wherein at least one layer has a polymer layer.
9. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch ein zweites Kontaktpad (42), das insbesondere auf der Isolationsschicht (20) ausgebildet ist, wobei das zweite Kontaktpad (42) mit dem ersten Kontaktpad (41) elektronisch verbunden ist, wobei das zweite Kontaktpad (42) vorzugsweise einen weiteren Abgriff eines Widerstandsnetzwerkes bildet. 9. Temperature sensor (10) according to one of the preceding claims, characterized by a second contact pad (42) which is formed in particular on the insulating layer (20), the second contact pad (42) being electronically connected to the first contact pad (41), wherein the second contact pad (42) preferably forms a further tap of a resistance network.
10. Temperatursensor (10) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fläche (A) des Temperatursensors (10) kleiner ist als 10 mm2, bevorzugt kleiner ist als 3 mm2, besonders bevorzugt kleiner ist als 2 mm2, ganz besonders bevorzugt kleiner ist als 1 mm2. 10. Temperature sensor (10) according to one of the preceding claims, characterized in that the area (A) of the temperature sensor (10) is smaller than 10 mm 2 , preferably smaller than 3 mm 2 , particularly preferably smaller than 2 mm 2 , is very particularly preferably smaller than 1 mm 2 .
11. Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, umfassend die Schritte: a) Bereitstellen eines Substrats (15), das aus einem Metallelement gebildet ist und eine Vorderseite (16) und eine Rückseite (17) aufweist, b) Ausbilden mindestens einer Isolationsschicht (20) auf der Vorderseite (16) des Substrates (15), derart, dass ein isolationsschichtfreier Abschnitt (25) des Substrates (15) ausgebildet wird, c) Aufbringen einer Sensorstruktur (30), insbesondere einer resistiven Sensorstruktur, auf die Isolationsschicht (20) und auf den isolationsfreien Abschnitt (25) der Vorderseite (16) des Substrates (15), d) Aufbringen mindestens eines Kontaktpads (41, 42). 11. A method for manufacturing a temperature sensor (10) according to any one of claims 1 to 10, comprising the steps of: a) providing a substrate (15) which is formed of a metal member and has a front side (16) and a back side (17). , b) forming at least one insulation layer (20) on the front side (16) of the substrate (15) in such a way that a section (25) of the substrate (15) without an insulation layer is formed, c) applying a sensor structure (30), in particular one resistive sensor structure, on the insulation layer (20) and on the insulation-free section (25) of the front side (16) of the substrate (15), d) applying at least one contact pad (41, 42).
12. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) die Isolationsschicht (20) auf die Vorderseite (16) des Substrates (15) vollflächig aufgetragen und in einem weiteren Verfahrensschritt zumindest abschnittsweise entfernt wird, derart, dass der isolationsschichtfreie Abschnitt (25) des Substrates (15) ausgebildet wird. 12. The method according to claim 11, characterized in that in step b) the insulating layer (20) is applied to the front side (16) of the substrate (15) over the entire surface and is removed at least in sections in a further method step, such that the insulating layer-free section ( 25) of the substrate (15) is formed.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) die Isolationsschicht (20) mittels eines Gasabscheideverfahrens, eines Druckverfahren, eines Tauchverfahren oder eines Sprühverfahrens, insbesondere mittels eines ADM-Verfahrens (Aerosol-Deposition-Method) aufgebracht wird. 13. The method according to claim 11 or 12, characterized in that in step b) the insulating layer (20) is applied by means of a gas deposition method, a printing method, an immersion method or a spraying method, in particular by means of an ADM method (aerosol deposition method). .
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Schritte a) - d) derart durchgeführt werden, dass eine Vielzahl von Temperatursensoren (10) gemeinsam auf einem Substratband und/oder einem Substratträger hergestellt und anschließend vereinzelt werden. 14. The method according to any one of claims 11 to 13, characterized in that steps a) - d) are carried out such that a plurality of temperature sensors (10) are produced together on a substrate strip and / or a substrate carrier and then separated.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Zuleitung (51) mit der Rückseite (17) des Substrats (15) verbunden wird und eine zweite Zuleitung (52) mit dem mindestens einen Kontaktaktpad (41 , 42)verbunden wird. 15. The method according to any one of claims 11 to 14, characterized in that a first supply line (51) is connected to the rear side (17) of the substrate (15) and a second supply line (52) is connected to the at least one contact pad (41, 42 )is connected.
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