EP4108932A1

EP4108932A1 - Recipient and high vacuum pump

Info

Publication number: EP4108932A1
Application number: EP22198845.4A
Authority: EP
Inventors: Sebastian Südwasser; Jan Hofmann; Peter Vorwerk; Martin Lohse
Original assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Current assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Priority date: 2022-09-29
Filing date: 2022-09-29
Publication date: 2022-12-28
Also published as: JP2024050401A

Abstract

Rezipient umfassend zumindest ein Pumpengehäuse und wenigstens eine Vakuumkammer, die einen Pumpenanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Hochvakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, umfasst. Erfindungsgemäß weist der Rezipient einen fest mit der Vakuumkammer verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt auf, der einen Vorvakuumanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe, umfasst.Recipient comprising at least one pump housing and at least one vacuum chamber, which comprises a pump connection for establishing a connection to an inlet side of a high-vacuum pump, in particular a turbomolecular pump. According to the invention, the recipient has a fore-vacuum connection section, which is firmly connected to the vacuum chamber and comprises a fore-vacuum connection for establishing a connection to an inlet side of a fore-vacuum pump.

Description

Die Erfindung betrifft einen Rezipienten und eine Hochvakuumpumpe.The invention relates to a recipient and a high-vacuum pump.

Hochvakuumpumpen, insbesondere Turbomolekularpumpen, werden dazu verwendet, ein Hochvakuum in einer oder mehreren Vakuumkammern eines Rezipienten zu erzeugen. Zu diesem Zweck ist es notwendig, dass eine Einlassseite der Vakuumpumpe mit der einen oder mehreren Vakuumkammern des Rezipienten verbunden wird. Herkömmlicherweise wird hierfür ein Einlass-Flansch der Vakuumpumpe mit einem Flansch des Rezipienten verbunden.High vacuum pumps, in particular turbomolecular pumps, are used to generate a high vacuum in one or more vacuum chambers of a recipient. For this purpose it is necessary that an inlet side of the vacuum pump is connected to the one or more vacuum chambers of the recipient. For this purpose, an inlet flange of the vacuum pump is conventionally connected to a flange of the recipient.

Das Pumpengehäuse kann durch den Rezipienten gebildet werden, d.h. die pumpaktiven Teile der Hochvakuumpumpe könnten in den Rezipienten integriert und mit diesem gemeinsam eine Pumpeinheit bilden.The pump housing can be formed by the recipient, i.e. the active pumping parts of the high-vacuum pump could be integrated into the recipient and form a pump unit together with it.

Ferner muss zur Erzeugung eines Hochvakuums an einer Ausgangsseite der entsprechenden Hochvakuumpumpe in der Regel zuerst ein Vorvakuum erzeugt werden, damit die Hochvakuumpumpe in der Lage ist, auf die gewünschte Enddrehzahl zu kommen. Dies geschieht üblicherweise mittels einer Vorvakuumpumpe, die über einen entsprechenden Vorvakuumanschluss mit der Hochvakuumpumpe verbunden werden muss.Furthermore, in order to generate a high vacuum on an output side of the corresponding high-vacuum pump, a pre-vacuum must generally first be generated so that the high-vacuum pump is able to reach the desired final speed. This is usually done using a fore-vacuum pump, which must be connected to the high-vacuum pump via a corresponding fore-vacuum connection.

Die Realisierung solcher Anordnungen kann aufwändig sein und viel Raum in Anspruch nehmen, insbesondere wenn kundenspezifische Anforderungen erfüllt werden müssen. Beispielsweise kann es sein, dass die zu verbindenden Flansche verschiedene Durchmesser aufweisen und deshalb nicht direkt aufeinander montierbar sind oder sich die Flansche an für die beiderseitige Montage ungünstigen Positionen befinden, während der Abnehmer eine kompakte Bauweise wünscht. Das Erfüllen solcher und ähnlicher Anforderungen macht das Ausarbeiten kundenspezifischer Individuallösungen erforderlich, was zeitaufwändig und kostenintensiv sein kann.The realization of such arrangements can be complex and take up a lot of space, especially when customer-specific requirements have to be met. For example, the flanges to be connected may have different diameters and therefore cannot be mounted directly on top of each other, or the flanges may be unfavorable for mounting on both sides Positions are located while the customer wants a compact design. Fulfilling these and similar requirements requires the development of customer-specific individual solutions, which can be time-consuming and expensive.

Dementsprechend besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, einen Rezipienten und eine Hochvakuumpumpe bereitzustellen, welche flexibel einsetzbar sind.Accordingly, one object of the present invention is to provide a recipient and a high-vacuum pump which can be used flexibly.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 2, sowie die Merkmale des Anspruch 12 gelöst.This object is achieved according to the invention by the features of claims 1 and 2 and the features of claim 12.

Insbesondere wird die Aufgabe durch einen Rezipient umfassend zumindest ein Pumpengehäuse und wenigstens eine Vakuumkammer, die einen Pumpenanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Hochvakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, umfasst. Der erfindungsgemäße Rezipient weist einen fest mit der Vakuumkammer verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt auf, der einen Vorvakuumanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe, umfasst.In particular, the object is achieved by a recipient comprising at least one pump housing and at least one vacuum chamber, which comprises a pump connection for establishing a connection to an inlet side of a high-vacuum pump, in particular a turbomolecular pump. The recipient according to the invention has a fore-vacuum connection section which is firmly connected to the vacuum chamber and comprises a fore-vacuum connection for establishing a connection to an inlet side of a fore-vacuum pump.

Die oben dargestellte Aufgabe wird außerdem gelöst durch einen Rezipient umfassend zumindest einen Pumpenaufnahmeabschnitt zur Aufnahme der Hochvakuumpumpe in dem Rezipienten, und wenigstens eine Vakuumkammer, die einen Pumpenanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Hochvakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, umfasst. Erfindungsgemäß weist der Rezipient ein fest mit der Vakuumkammer verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt auf, der einen Vorvakuumanschluss zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe, umfasst. In anderen Worten ist der Vorvakuumanschluss Teil der Kundenapplikation. Durch die Verschmelzung der Funktionen mehrere Bauteile und deren Verwirklichung an dem Rezipienten, insbesondere der Funktionen des Vorvakuumanschlussabschnitts und des Pumpenaufnahmeabschnitts, kann eine maximale Baumraumoptimierung erzielt werden. Ein Wechsel oder eine Wartung der Hochvakuumpumpe erfordert überdies auch keine Deinstallation der Vorvakuumpumpe, da diese dabei mit dem Rezipienten zugeordneten Vorvakuumanschlussabschnitt verbunden bleiben kann.The object presented above is also achieved by a recipient comprising at least one pump receiving section for receiving the high-vacuum pump in the recipient, and at least one vacuum chamber which includes a pump connection for establishing a connection to an inlet side of a high-vacuum pump, in particular a turbomolecular pump. According to the invention, the recipient has a fore-vacuum connection section, which is firmly connected to the vacuum chamber and comprises a fore-vacuum connection for establishing a connection to an inlet side of a fore-vacuum pump. In other words, the fore-vacuum connection is part of the customer application. By merging the functions of several components and their realization on the recipient, in particular the functions of the fore-vacuum connection section and the pump receiving section, maximum tree space optimization can be achieved. Moreover, a replacement or maintenance of the high-vacuum pump does not require the backing pump to be uninstalled, since it can remain connected to the backing connection section assigned to the recipient.

Zusätzlich kann der Vorvakuumanschlussabschnitt eine Vorvakuumkammer umfassen, d.h. die Vorvakuumkammer kann auch Teil der Kundenapplikation sein, was den Anschluss einer Vorvakuumpumpe zum Erzeugen des Vorvakuums erheblich vereinfacht.In addition, the fore-vacuum connection section can include a fore-vacuum chamber, i.e. the fore-vacuum chamber can also be part of the customer application, which considerably simplifies the connection of a fore-vacuum pump to generate the fore-vacuum.

Um eine noch kompaktere Ausgestaltung zu erzielen, können die Vakuumkammer und der Vorvakuumanschlussabschnitt zudem ein gemeinsames Gehäuse aufweisen.In order to achieve an even more compact configuration, the vacuum chamber and the fore-vacuum connection section can also have a common housing.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann ein Gehäuse der Vakuumkammer und/oder des Vorvakuumanschlussabschnitts den Pumpenaufnahmeabschnitt ausbilden. Insbesondere kann das Gehäuse zumindest einen Abschnitt eines Pumpengehäuses der Hochvakuumpumpe ausbilden, was es ermöglicht, die Hochvakuumpumpe besonders platzsparend in dem Rezipienten zu integrieren. Vakuumkammer-Gehäuse und Vakuumpumpe bilden vorzugsweise eine Pumpeinheit in der Pumpe und Kammer dasselbe Gehäuse haben. Ein zusätzliches Pumpengehäuse wäre in dieser Form nicht mehr nötig.According to a further embodiment, a housing of the vacuum chamber and/or of the fore-vacuum connection section can form the pump receiving section. In particular, the housing can form at least one section of a pump housing of the high-vacuum pump, which makes it possible to integrate the high-vacuum pump in the recipient in a particularly space-saving manner. Vacuum chamber housing and vacuum pump preferably form a pump unit in which the pump and chamber have the same housing. An additional pump housing would no longer be necessary in this form.

Ferner ist eine Anordnung denkbar, bei der der Pumpenaufnahmeabschnitt die Hochvakuumpumpe zumindest abschnittsweise umgibt. Insbesondere kann der Pumpenaufnahmeabschnitt lösbar mit dem Gehäuse und/oder der Vakuumkammer und/oder dem Vorvakuumanschlussabschnitt verbunden sein. Eine solche Ausgestaltung des Pumpenaufnahmeabschnitts bietet eine hohe Flexibilität in Bezug auf die Montageposition und die Art und Weise der Montage der Hochvakuumpumpe.Furthermore, an arrangement is conceivable in which the pump receiving section surrounds the high-vacuum pump at least in sections. In particular, the pump receiving portion can be detachably connected to the housing and / or Be connected to the vacuum chamber and / or the fore-vacuum connection section. Such a configuration of the pump receiving section offers a high degree of flexibility with regard to the mounting position and the type of mounting of the high-vacuum pump.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann ein Abschlusselement vorgesehen sein, das die Hochvakuumpumpe in einem montierten Zustand in axialer Richtung zumindest abschnittsweise abdeckt und das zumindest einen Kanal zur Herstellung einer Verbindung zwischen einer Ausgangsseite der Hochvakuumpumpe und dem Vorvakuumanschlussabschnitt umfasst. Ein solches Abschlusselement vereinfacht die Herstellung der Verbindung zwischen der Vorvakuumkammer und der Vorvakuumpumpe kundenseitig erheblich und kann gleichzeitig für eine Sicherung und/oder Fixierung (ordnungsgemäße, sichere Befestigung) der Hochvakuumpumpe sorgen.According to a further embodiment, a closing element can be provided which at least partially covers the high-vacuum pump in an assembled state in the axial direction and which comprises at least one channel for establishing a connection between an output side of the high-vacuum pump and the fore-vacuum connection section. Such a closing element considerably simplifies the production of the connection between the fore-vacuum chamber and the fore-vacuum pump by the customer and can at the same time ensure that the high-vacuum pump is secured and/or fixed (proper, secure fastening).

Das Abschlusselement kann ein in Bezug auf die Hochvakuumpumpe separates Bauteil sein oder umfassen, das lösbar an der Hochvakuumpumpe und/oder an der Vakuumkammer und/oder an dem Vorvakuumanschlussabschnitt und/oder dem Pumpenaufnahmeabschnitt befestigbar ist. Insbesondere bildet das Abschlusselement eine Art Deckel, der die Hochvakuumpumpe abdeckt und/oder an oder in dem Pumpenaufnahmeabschnitt sichert.The closing element can be or comprise a component which is separate from the high-vacuum pump and which can be detachably fastened to the high-vacuum pump and/or to the vacuum chamber and/or to the fore-vacuum connection section and/or to the pump receiving section. In particular, the closing element forms a type of cover that covers the high-vacuum pump and/or secures it on or in the pump receiving section.

In einer Ausführungsform kann das Abschlusselement als ein Befestigungsdeckel ausgebildet sein. Mit diesem Befestigungsdeckel kann die Hochvakuumpumpe an dem Rezipienten befestigt werden. Dabei kann die Hochvakuumpumpe auf dem Abschlusselement gelagert sein. Ein weiterer Vorteil ist beispielsweise, dass der Radius eines Lochkreises für Befestigungsschrauben des Deckels vergrößert werden kann, wodurch die Gefahr eines Schrauben-Abscherens im Crashfall verringert werden kann.In one embodiment, the closing element can be designed as a fastening cover. The high-vacuum pump can be attached to the recipient with this attachment cover. In this case, the high-vacuum pump can be mounted on the closing element. A further advantage is, for example, that the radius of a circle of holes for fastening screws of the cover can be increased, as a result of which the risk of screws shearing off in the event of a crash can be reduced.

Zusätzlich oder alternativ kann das Abschlusselement ein zusätzliches Kühlungselement sein oder als solch ein Element wirken. Vorzugsweise leitet das Abschlusselement durch den Kontakt zu dem Bodenabschnitt der Hochvakuumpumpe die ihrem Betrieb entstehende Wärme ab.Additionally or alternatively, the closing element can be an additional cooling element or act as such an element. The closing element preferably dissipates the heat generated during operation through contact with the base section of the high-vacuum pump.

Für eine noch kompaktere und stabilere Bauform des Rezipienten kann das Abschlusselement ein erstes Formmerkmal aufweisen, das in Eingriff mit einem zweiten Formmerkmal bringbar ist, das komplementär zu dem ersten Formmerkmal ausgebildet ist und das an der Hochvakuumpumpe und/oder an der Vakuumkammer und/oder an dem Vorvakuumanschlussabschnitt und/oder dem Pumpenaufnahmeabschnitt ausgebildet ist. Die komplementären Formmerkmale können auch eine Codierung bilden, die sicherstellt, dass des Abschlusselement nur in korrekter Weise befestigbar ist. Zudem ermöglichen die Formmerkmale eine Montage und Demontage der Vakuumpumpe, vom Rezipienten, in einer wohldefinierten Richtung.For an even more compact and stable design of the recipient, the closing element can have a first feature that can be brought into engagement with a second feature that is complementary to the first feature and that is on the high-vacuum pump and/or on the vacuum chamber and/or on the fore-vacuum connection section and/or the pump receiving section is formed. The complementary shape features can also form a code that ensures that the terminating element can only be fastened in the correct manner. In addition, the shape features allow the vacuum pump to be assembled and disassembled by the recipient in a well-defined direction.

Zudem ist eine Konfiguration des Rezipienten möglich, bei der der Kanal des Abschlusselements einen ersten Ausgangsanschluss aufweist, der mit dem Vorvakuumanschlussabschnitt verbindbar ist. Insbesondere kann der Kanal des Abschlusselements einen zweiten Ausgangsanschluss aufweisen, der mit einer Vorvakuumpumpe verbindbar ist. Dies kann eine effiziente Gasführung während des Betriebs der Hochvakuumpumpe ermöglichen. Weiterhin ermöglicht dies konstruktive Möglichkeiten und eine erhöhte Flexibilität bei der Konstruktion des Rezipienten-Vakuumpumpen-Gebildes, hinsichtlich der räumlichen Positionierung des Vorvakuumflansches. In der Variante mit dem zweiten Ausgangsanschluss kann somit eine Vorvakuumkammer des Rezipienten über das Abschlusselement mit der Vorvakuumpumpe verbunden werden.In addition, a configuration of the recipient is possible in which the channel of the closure element has a first outlet connection which can be connected to the fore-vacuum connection section. In particular, the channel of the closing element can have a second outlet connection which can be connected to a fore-vacuum pump. This can enable efficient gas routing during operation of the high-vacuum pump. Furthermore, this enables constructive possibilities and increased flexibility in the construction of the recipient-vacuum pump structure with regard to the spatial positioning of the fore-vacuum flange. In the variant with the second outlet connection, a fore-vacuum chamber of the recipient can thus be connected to the fore-vacuum pump via the closing element.

Für eine optimale Wärmeableitung kann das Abschlusselement mit Wärmetauschelementen versehen sein, wobei die Wärmetauschelemente insbesondere Kühlrippen sein können.For optimal heat dissipation, the terminating element can be provided with heat exchange elements, in which case the heat exchange elements can in particular be cooling fins.

Schutz wird auch begehrt für ein System umfassend einen Rezipienten gemäß zumindest einer der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen und eine damit verbundene oder verbindbare Hochvakuumpumpe. Dies gilt insbesondere für Ausführungsformen, bei denen das Abschlusselement ein Bestandteil der Pumpe sein kann oder ist.Protection is also sought for a system comprising a recipient according to at least one of the embodiments described above and a high-vacuum pump connected or connectable thereto. This applies in particular to embodiments in which the closing element can be or is a component part of the pump.

Die vorgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß auch durch eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, gelöst, welche insbesondere an oder in einem Pumpenaufnahmeabschnitt eines erfindungsgemäßen Rezipienten montierbar ist und die einen Stator und einen von einem Motor zu einer Drehung um eine Rotationsachse antreibbaren Rotor umfasst, die in einem Pumpengehäuse angeordnet sind, wobei ein Abschlusselement vorgesehen ist, das die Vakuumpumpe an ihrem in Pumprichtung stromabwärtigen Ende in axialer Richtung abschließt, wobei das Abschlusselement zumindest zwei, insbesondere eine Mehrzahl von um die Rotationsachse verteilt angeordnete Pumpauslassöffnungen aufweist, deren Austrittsöffnungen an einer ausgangsseitigen Stirnseite der Vakuumpumpe angeordnet sind.The aforementioned object is also achieved according to the invention by a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, which can be mounted in particular on or in a pump receiving section of a recipient according to the invention and which comprises a stator and a rotor which can be driven by a motor to rotate about an axis of rotation and which in a pump housing are arranged, with a closure element being provided which closes off the vacuum pump at its end downstream in the pumping direction in the axial direction, with the closure element having at least two, in particular a plurality of pump outlet openings distributed around the axis of rotation, the outlet openings of which are on an outlet-side end face of the vacuum pump are arranged.

Die Pumpauslassöffnungen sind Öffnungen, die sich in axialer Richtung erstrecken und die daher einen Ausstoß des gepumpten Mediums in axialer Richtung aus der Pumpe bewirken. Insbesondere weisen die Pumpauslassöffnungen einen geradlinigen Verlauf auf, d.h. sie sind frei von Stufen, Biegungen, Knicken oder ähnlichem, um den auslassseitigen Strömungswiderstand zu minimieren. Die Pumpauslassöffnungen ermöglichen demnach eine effiziente Gasführung am stromabwärtigen Ende der Vakuumpumpe, und damit eine verbesserte Pumpleistung.The pump outlet openings are openings which extend in the axial direction and which therefore cause the pumped medium to be discharged in the axial direction from the pump. In particular, the pump outlet openings have a straight course, ie they are free of steps, bends, kinks or the like in order to minimize the flow resistance on the outlet side. The pump outlet openings thus enable efficient gas routing at the downstream end of the vacuum pump, and hence improved pumping performance.

Gemäß einer Ausführungsform bilden das Abschlusselement und zumindest ein Gehäusebauteil das Pumpengehäuse.According to one embodiment, the closing element and at least one housing component form the pump housing.

Des Weiteren kann eine axiale Erstreckung des Abschlusselements im Bereich seines Außenumfangs mehr als 20%, insbesondere mehr als 30% oder mehr als 38%, einer axialen Erstreckung des Gehäusebauteils betragen. In anderen Worten, das Abschlusselement kann einen nicht unwesentlichen Teil der Vakuumpumpe bilden.Furthermore, an axial extent of the closing element in the area of its outer circumference can be more than 20%, in particular more than 30% or more than 38%, of an axial extent of the housing component. In other words, the closing element can form a not insignificant part of the vacuum pump.

Für eine einfache Montage und eine kompakte Bauart der Vakuumpumpe können ein Außendurchmesser des Abschlusselements und ein Außendurchmesser des Gehäusebauteils zumindest in einem Bereich, in dem das Abschlusselement und das Gehäusebauteil miteinander in Verbindung stehen, in etwa gleich groß sein.For easy assembly and a compact design of the vacuum pump, an outside diameter of the closing element and an outside diameter of the housing component can be approximately the same size at least in a region in which the closing element and the housing component are connected to one another.

Zudem ist eine Konfiguration denkbar, bei der das Abschlusselement einen Aufnahmeabschnitt aufweist, der sich von einem das stromabwärtige Ende eines Pumpraums der Vakuumpumpe bildenden Bodenabschnitt des Abschlusselements in Richtung zu dem Gehäusebauteil hin erstreckt, wobei der Aufnahmeabschnitt zumindest einen Teil des Motors und/oder eines den Rotor lagernden Lagerabschnitts aufnimmt.In addition, a configuration is conceivable in which the closing element has a receiving section that extends from a bottom section of the closing element that forms the downstream end of a pump chamber of the vacuum pump in the direction of the housing component, with the receiving section covering at least part of the motor and/or one of the Rotor superimposed bearing portion receives.

Schutz wird auch begehrt für ein System umfassend eine Hochvakuumpumpe gemäß zumindest einer der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen und einen damit verbundenen oder verbindbaren Rezipienten, der insbesondere gemäß einer der weiter oben beschriebenen Ausführungsformen ausgestaltet ist.Protection is also sought for a system comprising a high-vacuum pump according to at least one of the embodiments described above and a recipient connected or connectable thereto, which is designed in particular according to one of the embodiments described further above.

Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:

Fig. 1: eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe,
Fig. 2: eine Ansicht der Unterseite der Turbomolekularpumpe von Fig. 1,
Fig. 3: eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie A-A,
Fig. 4: eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie B-B,
Fig. 5: eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie C-C,
Fig. 6: eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer Hochvakuumpumpe,
Fig. 7A bis 7C: verschiedene Querschnittsansichten der Hochvakuumpumpe der Fig. 6, und
Fig. 8 bis 20: verschiedene Ausführungsformen eines erfindungsgemäßen Rezipienten.

The invention is described below by way of example using advantageous embodiments with reference to the attached figures. They show, each schematically:

1: a perspective view of an embodiment of a turbomolecular pump,
2: a view of the bottom of the turbo molecular pump from 1 ,
3: a cross-sectional view of the turbomolecular pump along the in 2 shown cutting line AA,
4: a cross-sectional view of the turbomolecular pump along the in 2 shown cutting line BB,
figure 5: a cross-sectional view of the turbomolecular pump along the in 2 shown cutting line CC,
6: a perspective view of an embodiment of a high vacuum pump,
Figures 7A to 7C: various cross-sectional views of the high-vacuum pump 6 , and
Figures 8 to 20: various embodiments of a recipient according to the invention.

Die in Fig. 1 gezeigte Turbomolekularpumpe 111 umfasst einen von einem Einlassflansch 113 umgebenen Pumpeneinlass 115, an welchen in an sich bekannter Weise ein nicht dargestellter Rezipient angeschlossen werden kann. Das Gas aus dem Rezipienten kann über den Pumpeneinlass 115 aus dem Rezipienten gesaugt und durch die Pumpe hindurch zu einem Pumpenauslass 117 gefördert werden, an den eine Vorvakuumpumpe, wie etwa eine Drehschieberpumpe, angeschlossen sein kann.In the 1 The turbomolecular pump 111 shown comprises a pump inlet 115 surrounded by an inlet flange 113, to which a recipient, not shown, can be connected in a manner known per se. The gas from the recipient can be sucked out of the recipient via the pump inlet 115 and conveyed through the pump to a pump outlet 117 to which a backing pump, such as a rotary vane pump, can be connected.

Der Einlassflansch 113 bildet bei der Ausrichtung der Vakuumpumpe gemäß Fig. 1 das obere Ende des Gehäuses 119 der Vakuumpumpe 111. Das Gehäuse 119 umfasst ein Unterteil 121, an welchem seitlich ein Elektronikgehäuse 123 angeordnet ist. In dem Elektronikgehäuse 123 sind elektrische und/oder elektronische Komponenten der Vakuumpumpe 111 untergebracht, z.B. zum Betreiben eines in der Vakuumpumpe angeordneten Elektromotors 125 (vgl. auch Fig. 3). Am Elektronikgehäuse 123 sind mehrere Anschlüsse 127 für Zubehör vorgesehen. Außerdem sind eine Datenschnittstelle 129, z.B. gemäß dem RS485-Standard, und ein Stromversorgungsanschluss 131 am Elektronikgehäuse 123 angeordnet.The inlet flange 113 forms when the vacuum pump is aligned according to FIG 1 the upper end of the housing 119 of the vacuum pump 111. The housing 119 comprises a lower part 121 on which an electronics housing 123 is arranged laterally. Electrical and/or electronic components of the vacuum pump 111 are accommodated in the electronics housing 123, for example for operating an electric motor 125 arranged in the vacuum pump (cf. also 3 ). Several connections 127 for accessories are provided on the electronics housing 123 . In addition, a data interface 129, for example according to the RS485 standard, and a power supply connection 131 are arranged on the electronics housing 123.

Es existieren auch Turbomolekularpumpen, die kein derartiges angebrachtes Elektronikgehäuse aufweisen, sondern an eine externe Antriebselektronik angeschlossen werden.There are also turbomolecular pumps that do not have such an attached electronics housing, but are connected to external drive electronics.

Am Gehäuse 119 der Turbomolekularpumpe 111 ist ein Fluteinlass 133, insbesondere in Form eines Flutventils, vorgesehen, über den die Vakuumpumpe 111 geflutet werden kann. Im Bereich des Unterteils 121 ist ferner noch ein Sperrgasanschluss 135, der auch als Spülgasanschluss bezeichnet wird, angeordnet, über welchen Spülgas zum Schutz des Elektromotors 125 (siehe z.B. Fig. 3) vor dem von der Pumpe geförderten Gas in den Motorraum 137, in welchem der Elektromotor 125 in der Vakuumpumpe 111 untergebracht ist, eingelassen werden kann. Im Unterteil 121 sind ferner noch zwei Kühlmittelanschlüsse 139 angeordnet, wobei einer der Kühlmittelanschlüsse als Einlass und der andere Kühlmittelanschluss als Auslass für Kühlmittel vorgesehen ist, das zu Kühlzwecken in die Vakuumpumpe geleitet werden kann. Andere existierende Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt) werden ausschließlich mit Luftkühlung betrieben.A flood inlet 133, in particular in the form of a flood valve, is provided on the housing 119 of the turbomolecular pump 111, via which the vacuum pump 111 can be flooded. In the area of the lower part 121 there is also a sealing gas connection 135, which is also referred to as a flushing gas connection, through which flushing gas to protect the electric motor 125 (see e.g 3 ) before the pumped gas in the motor compartment 137, in which the electric motor 125 is housed in the vacuum pump 111, can be admitted. Two coolant connections 139 are also arranged in the lower part 121, one of the coolant connections being provided as an inlet and the other coolant connection being provided as an outlet for coolant, which can be conducted into the vacuum pump for cooling purposes. Other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown) operate solely on air cooling.

Die untere Seite 141 der Vakuumpumpe kann als Standfläche dienen, sodass die Vakuumpumpe 111 auf der Unterseite 141 stehend betrieben werden kann. Die Vakuumpumpe 111 kann aber auch über den Einlassflansch 113 an einem Rezipienten befestigt werden und somit gewissermaßen hängend betrieben werden. Außerdem kann die Vakuumpumpe 111 so gestaltet sein, dass sie auch in Betrieb genommen werden kann, wenn sie auf andere Weise ausgerichtet ist als in Fig. 1 gezeigt ist. Es lassen sich auch Ausführungsformen der Vakuumpumpe realisieren, bei der die Unterseite 141 nicht nach unten, sondern zur Seite gewandt oder nach oben gerichtet angeordnet werden kann. Grundsätzlich sind dabei beliebige Winkel möglich.The lower side 141 of the vacuum pump can serve as a standing surface, so that the vacuum pump 111 can be operated standing on the underside 141 . However, the vacuum pump 111 can also be fastened to a recipient via the inlet flange 113 and can thus be operated in a suspended manner, as it were. In addition, the vacuum pump 111 can be designed in such a way that it can also be operated when it is oriented in a different way than in FIG 1 is shown. It is also possible to realize embodiments of the vacuum pump in which the underside 141 cannot be arranged facing downwards but to the side or directed upwards. In principle, any angles are possible.

Andere existierende Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, können nicht stehend betrieben werden.Other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here, cannot be operated standing.

An der Unterseite 141, die in Fig. 2 dargestellt ist, sind noch diverse Schrauben 143 angeordnet, mittels denen hier nicht weiter spezifizierte Bauteile der Vakuumpumpe aneinander befestigt sind. Beispielsweise ist ein Lagerdeckel 145 an der Unterseite 141 befestigt.At the bottom 141, the in 2 shown, various screws 143 are also arranged, by means of which components of the vacuum pump that are not further specified here are fastened to one another. For example, a bearing cap 145 is attached to the underside 141 .

An der Unterseite 141 sind außerdem Befestigungsbohrungen 147 angeordnet, über welche die Pumpe 111 beispielsweise an einer Auflagefläche befestigt werden kann. Dies ist bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, nicht möglich.In addition, fastening bores 147 are arranged on the underside 141, via which the pump 111 can be fastened, for example, to a support surface. This is not possible with other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here.

In den Figuren 2 bis 5 ist eine Kühlmittelleitung 148 dargestellt, in welcher das über die Kühlmittelanschlüsse 139 ein- und ausgeleitete Kühlmittel zirkulieren kann.In the Figures 2 to 5 a coolant line 148 is shown, in which the coolant fed in and out via the coolant connections 139 can circulate.

Wie die Schnittdarstellungen der Figuren 3 bis 5 zeigen, umfasst die Vakuumpumpe mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 115 anstehenden Prozessgases zu dem Pumpenauslass 117.Like the sectional views of the Figures 3 to 5 show, the vacuum pump comprises several process gas pump stages for conveying the process gas present at the pump inlet 115 to the pump outlet 117.

In dem Gehäuse 119 ist ein Rotor 149 angeordnet, der eine um eine Rotationsachse 151 drehbare Rotorwelle 153 aufweist.A rotor 149 is arranged in the housing 119 and has a rotor shaft 153 which can be rotated about an axis of rotation 151 .

Die Turbomolekularpumpe 111 umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 153 befestigten radialen Rotorscheiben 155 und zwischen den Rotorscheiben 155 angeordneten und in dem Gehäuse 119 festgelegten Statorscheiben 157. Dabei bilden eine Rotorscheibe 155 und eine benachbarte Statorscheibe 157 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe. Die Statorscheiben 157 sind durch Abstandsringe 159 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.The turbomolecular pump 111 comprises a plurality of turbomolecular pumping stages connected in series with one another in a pumping manner, with a plurality of radial rotor disks 155 fastened to the rotor shaft 153 and stator disks 157 arranged between the rotor disks 155 and fixed in the housing 119. A rotor disk 155 and an adjacent stator disk 157 each form a turbomolecular pump stage. The stator discs 157 are held at a desired axial distance from one another by spacer rings 159 .

Die Vakuumpumpe umfasst außerdem in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweck-Pumpstufen. Es existieren andere Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die keine Holweck-Pumpstufen aufweisen.The vacuum pump also comprises Holweck pump stages which are arranged one inside the other in the radial direction and are connected in series with one another for pumping purposes. Other turbomolecular vacuum pumps (not shown) exist that do not have Holweck pumping stages.

Der Rotor der Holweck-Pumpstufen umfasst eine an der Rotorwelle 153 angeordnete Rotornabe 161 und zwei an der Rotornabe 161 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweck-Rotorhülsen 163, 165, die koaxial zur Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweck-Statorhülsen 167, 169 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung gesehen ineinander geschachtelt sind.The rotor of the Holweck pump stages comprises a rotor hub 161 arranged on the rotor shaft 153 and two Holweck rotor sleeves 163, 165 in the shape of a cylinder jacket, fastened to the rotor hub 161 and carried by it, which are oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another in the radial direction. Also provided are two cylinder jacket-shaped Holweck stator sleeves 167, 169, which are also oriented coaxially with respect to the axis of rotation 151 and are nested in one another when viewed in the radial direction.

Die pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Pumpstufen sind durch die Mantelflächen, also durch die radialen Innen- und/oder Außenflächen, der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 und der Holweck-Statorhülsen 167, 169 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Statorhülse 167 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 171 gegenüber und bildet mit dieser die der Turbomolekularpumpen nachfolgende erste Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 173 gegenüber und bildet mit dieser eine zweite Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Rotorhülse 165 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 175 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweck-Pumpstufe.The pumping-active surfaces of the Holweck pump stages are through the lateral surfaces, ie through the radial inner and/or outer surfaces, of the Holweck rotor sleeves 163, 165 and the Holweck stator sleeves 167, 169 are formed. The radial inner surface of the outer Holweck stator sleeve 167 lies opposite the radial outer surface of the outer Holweck rotor sleeve 163, forming a radial Holweck gap 171 and forming with it the first Holweck pump stage following the turbomolecular pumps. The radially inner surface of the outer Holweck rotor sleeve 163 faces the radially outer surface of the inner Holweck stator sleeve 169 to form a radial Holweck gap 173 and therewith forms a second Holweck pumping stage. The radially inner surface of the inner Holweck stator sleeve 169 faces the radially outer surface of the inner Holweck rotor sleeve 165 to form a radial Holweck gap 175 and therewith forms the third Holweck pumping stage.

Am unteren Ende der Holweck-Rotorhülse 163 kann ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der radial außenliegende Holweck-Spalt 171 mit dem mittleren Holweck-Spalt 173 verbunden ist. Außerdem kann am oberen Ende der inneren Holweck-Statorhülse 169 ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der mittlere Holweck-Spalt 173 mit dem radial innenliegenden Holweck-Spalt 175 verbunden ist. Dadurch werden die ineinander geschachtelten Holweck-Pumpstufen in Serie miteinander geschaltet. Am unteren Ende der radial innenliegenden Holweck-Rotorhülse 165 kann ferner ein Verbindungskanal 179 zum Auslass 117 vorgesehen sein.At the lower end of the Holweck rotor sleeve 163, a radially running channel can be provided, via which the radially outer Holweck gap 171 is connected to the middle Holweck gap 173. In addition, a radially extending channel can be provided at the upper end of the inner Holweck stator sleeve 169, via which the middle Holweck gap 173 is connected to the radially inner Holweck gap 175. As a result, the nested Holweck pump stages are connected in series with one another. Furthermore, a connecting channel 179 to the outlet 117 can be provided at the lower end of the radially inner Holweck rotor sleeve 165 .

Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Statorhülsen 167, 169 weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 151 herum in axialer Richtung verlaufende Holweck-Nuten auf, während die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 glatt ausgebildet sind und das Gas zum Betrieb der Vakuumpumpe 111 in den Holweck-Nuten vorantreiben. Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 153 sind ein Wälzlager 181 im Bereich des Pumpenauslasses 117 und ein Permanentmagnetlager 183 im Bereich des Pumpeneinlasses 115 vorgesehen.The above-mentioned pumping-active surfaces of the Holweck stator sleeves 167, 169 each have a plurality of Holweck grooves running in a spiral shape around the axis of rotation 151 in the axial direction, while the opposite lateral surfaces of the Holweck rotor sleeves 163, 165 are smooth and the gas for operating the Advance vacuum pump 111 in the Holweck grooves. A roller bearing 181 in the region of the pump outlet 117 and a permanent magnet bearing 183 in the region of the pump inlet 115 are provided for the rotatable mounting of the rotor shaft 153 .

Im Bereich des Wälzlagers 181 ist an der Rotorwelle 153 eine konische Spritzmutter 185 mit einem zu dem Wälzlager 181 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 185 steht mit mindestens einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt. Bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt) kann anstelle einer Spritzmutter eine Spritzschraube vorgesehen sein. Da somit unterschiedliche Ausführungen möglich sind, wird in diesem Zusammenhang auch der Begriff "Spritzspitze" verwendet.In the area of the roller bearing 181 , a conical spray nut 185 is provided on the rotor shaft 153 with an outer diameter that increases toward the roller bearing 181 . The injection nut 185 is in sliding contact with at least one stripper of an operating fluid store. In other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), an injection screw may be provided instead of an injection nut. Since different designs are thus possible, the term "spray tip" is also used in this context.

Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 187, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 181, z.B. mit einem Schmiermittel, getränkt sind.The resource reservoir comprises a plurality of absorbent discs 187 stacked on top of one another, which are impregnated with a resource for the roller bearing 181, e.g. with a lubricant.

Im Betrieb der Vakuumpumpe 111 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 185 übertragen und in Folge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 185 in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 185 zu dem Wälzlager 181 hin gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 181 und der Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 189 und den Lagerdeckel 145 in der Vakuumpumpe eingefasst.During operation of vacuum pump 111, the operating fluid is transferred by capillary action from the operating fluid reservoir via the scraper to the rotating spray nut 185 and, as a result of the centrifugal force, is conveyed along the spray nut 185 in the direction of the increasing outer diameter of the spray nut 185 to the roller bearing 181, where it e.g. fulfills a lubricating function. The roller bearing 181 and the operating fluid reservoir are surrounded by a trough-shaped insert 189 and the bearing cover 145 in the vacuum pump.

Das Permanentmagnetlager 183 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 191 und eine statorseitige Lagerhälfte 193, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 195, 197 umfassen. Die Ringmagnete 195, 197 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 199 gegenüber, wobei die rotorseitigen Ringmagnete 195 radial außen und die statorseitigen Ringmagnete 197 radial innen angeordnet sind.The permanent magnet bearing 183 comprises a bearing half 191 on the rotor side and a bearing half 193 on the stator side, which each comprise a ring stack of a plurality of permanent magnetic rings 195, 197 stacked on top of one another in the axial direction. The ring magnets 195, 197 lie opposite one another, forming a radial bearing gap 199, the ring magnets 195 on the rotor side being arranged radially on the outside and the ring magnets 197 on the stator side being arranged radially on the inside.

Das in dem Lagerspalt 199 vorhandene magnetische Feld ruft magnetische Absto-βungskräfte zwischen den Ringmagneten 195, 197 hervor, welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 153 bewirken. Die rotorseitigen Ringmagnete 195 sind von einem Trägerabschnitt 201 der Rotorwelle 153 getragen, welcher die Ringmagnete 195 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind von einem statorseitigen Trägerabschnitt 203 getragen, welcher sich durch die Ringmagnete 197 hindurch erstreckt und an radialen Streben 205 des Gehäuses 119 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse 151 sind die rotorseitigen Ringmagnete 195 durch ein mit dem Trägerabschnitt 201 gekoppeltes Deckelelement 207 festgelegt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind parallel zu der Rotationsachse 151 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 209 sowie einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 211 festgelegt. Zwischen dem Befestigungsring 211 und den Ringmagneten 197 kann außerdem eine Tellerfeder 213 vorgesehen sein.The magnetic field present in the bearing gap 199 causes magnetic repulsion forces between the ring magnets 195, 197, which cause the rotor shaft 153 to be supported radially. The ring magnets 195 on the rotor side are carried by a support section 201 of the rotor shaft 153, which radially surrounds the ring magnets 195 on the outside. The ring magnets 197 on the stator side are carried by a support section 203 on the stator side, which extends through the ring magnets 197 and is suspended on radial struts 205 of the housing 119 . The ring magnets 195 on the rotor side are fixed parallel to the axis of rotation 151 by a cover element 207 coupled to the carrier section 201 . The stator-side ring magnets 197 are fixed parallel to the axis of rotation 151 in one direction by a fastening ring 209 connected to the support section 203 and a fastening ring 211 connected to the support section 203 . A plate spring 213 can also be provided between the fastening ring 211 and the ring magnet 197 .

Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 215 vorgesehen, welches im normalen Betrieb der Vakuumpumpe 111 ohne Berührung leer läuft und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 149 relativ zu dem Stator in Eingriff gelangt, um einen radialen Anschlag für den Rotor 149 zu bilden, damit eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert wird. Das Fanglager 215 ist als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 149 und/oder dem Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 215 im normalen Pumpbetrieb außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 215 in Eingriff gelangt, ist groß genug bemessen, sodass das Fanglager 215 im normalen Betrieb der Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, sodass eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen verhindert wird.An emergency or safety bearing 215 is provided within the magnetic bearing, which runs idle without contact during normal operation of the vacuum pump 111 and only engages in the event of an excessive radial deflection of the rotor 149 relative to the stator, in order to create a radial stop for the rotor 149 to form, so that a collision of the rotor-side structures is prevented with the stator-side structures. The backup bearing 215 is designed as an unlubricated roller bearing and forms a radial gap with the rotor 149 and/or the stator, which causes the backup bearing 215 to be disengaged during normal pumping operation. The radial deflection at which the backup bearing 215 engages is dimensioned large enough so that the backup bearing 215 does not engage during normal operation of the vacuum pump, and at the same time small enough so that the rotor-side structures collide with the stator-side structures under all circumstances is prevented.

Die Vakuumpumpe 111 umfasst den Elektromotor 125 zum drehenden Antreiben des Rotors 149. Der Anker des Elektromotors 125 ist durch den Rotor 149 gebildet, dessen Rotorwelle 153 sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckt. Auf den sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 153 kann radial außenseitig oder eingebettet eine Permanentmagnetanordnung angeordnet sein. Zwischen dem Motorstator 217 und dem sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors 149 ist ein Zwischenraum 219 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst, über den sich der Motorstator 217 und die Permanentmagnetanordnung zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen können.The vacuum pump 111 includes the electric motor 125 for rotating the rotor 149. The armature of the electric motor 125 is formed by the rotor 149, the rotor shaft 153 of which extends through the motor stator 217. A permanent magnet arrangement can be arranged radially on the outside or embedded on the section of the rotor shaft 153 that extends through the motor stator 217 . Between the motor stator 217 and the section of the rotor 149 extending through the motor stator 217 there is an intermediate space 219 which includes a radial motor gap via which the motor stator 217 and the permanent magnet arrangement can influence each other magnetically for the transmission of the drive torque.

Der Motorstator 217 ist in dem Gehäuse innerhalb des für den Elektromotor 125 vorgesehenen Motorraums 137 festgelegt. Über den Sperrgasanschluss 135 kann ein Sperrgas, das auch als Spülgas bezeichnet wird, und bei dem es sich beispielsweise um Luft oder um Stickstoff handeln kann, in den Motorraum 137 gelangen. Über das Sperrgas kann der Elektromotor 125 vor Prozessgas, z.B. vor korrosiv wirkenden Anteilen des Prozessgases, geschützt werden. Der Motorraum 137 kann auch über den Pumpenauslass 117 evakuiert werden, d.h. im Motorraum 137 herrscht zumindest annäherungsweise der von der am Pumpenauslass 117 angeschlossenen Vorvakuumpumpe bewirkte Vakuumdruck.The motor stator 217 is fixed in the housing inside the motor room 137 provided for the electric motor 125 . A sealing gas, which is also referred to as flushing gas and which can be air or nitrogen, for example, can reach the engine compartment 137 via the sealing gas connection 135 . The sealing gas can protect the electric motor 125 from process gas, e.g. from corrosive components of the process gas. The engine compartment 137 can also be evacuated via the pump outlet 117, i.e. the vacuum pressure produced by the backing pump connected to the pump outlet 117 prevails in the engine compartment 137 at least approximately.

Zwischen der Rotornabe 161 und einer den Motorraum 137 begrenzenden Wandung 221 kann außerdem eine sog. und an sich bekannte Labyrinthdichtung 223 vorgesehen sein, insbesondere um eine bessere Abdichtung des Motorraums 217 gegenüber den radial außerhalb liegenden Holweck-Pumpstufen zu erreichen.What is known as a labyrinth seal 223 can also be provided between the rotor hub 161 and a wall 221 delimiting the motor compartment 137, in particular in order to achieve better sealing of the motor compartment 217 in relation to the Holweck pump stages located radially outside.

Fig. 6 zeigt eine Außenansicht einer beispielhaften Ausführungsform einer Hochvakuumpumpe 16 - hier eine Turbomolekularpumpe - umfassend ein Gehäusebauteil 56 und ein Abschlusselement 32 mit Wärmetauschelementen 46 (siehe Fig. 7A), wobei das Gehäusebauteil 56 und das Abschlusselement 32 ein Pumpengehäuse 30 bilden. Optional umfasst die Hochvakuumpumpe 16 an ihrem auslassseitigen Ende einen Anschlussflansch 74, der beispielsweise mit einem Rohr einer Vakuumanlage verbindbar ist. Die Hochvakuumpumpe 16 kann somit einfach in einen Abschnitt der Anlage mit geradliniger Rohrführung integriert werden. 6 shows an external view of an exemplary embodiment of a high-vacuum pump 16—here a turbomolecular pump—comprising a housing component 56 and a closing element 32 with heat exchange elements 46 (see FIG Figure 7A ), wherein the housing component 56 and the closing element 32 a Pump housing 30 form. Optionally, the high-vacuum pump 16 includes a connecting flange 74 at its outlet-side end, which can be connected, for example, to a pipe of a vacuum system. The high-vacuum pump 16 can thus be easily integrated into a section of the system with a straight pipe layout.

Die Hochvakuumpumpe 16 kann grundsätzlich in einem Pumpenaufnahmeabschnitt 22 eines erfindungsgemäßen Rezipienten 10 montierbar sein. Verschiedene Ausführungsformen des Rezipienten 10 sind nachstehend anhand der Fig. 8 bis 20 erläutert.In principle, the high-vacuum pump 16 can be mountable in a pump receiving section 22 of a recipient 10 according to the invention. Various embodiments of the recipient 10 are described below with reference to FIG Figures 8 to 20 explained.

Die Wärmetauschelemente 46 sind in der Form von Kühlrippen ausgebildet, die in axialer Richtung jeweils zueinander beabstandet auf dem Abschlusselement 32 angeordnet sind. Die Wärmetauschelemente 46 überdecken mehr als 80% der Außenfläche des Abschlusselements 32, wodurch eine noch effizientere Ableitung der von der Pumpe erzeugten Wärme erzielt wird. Zu diesem Zweck kann auch das Gehäusebauteil 56 mit Wärmetauschelementen 46 versehen sein.The heat exchange elements 46 are designed in the form of cooling ribs, which are arranged spaced apart from one another in the axial direction on the closing element 32 . The heat exchange elements 46 cover more than 80% of the outer surface of the closure element 32, which results in an even more efficient dissipation of the heat generated by the pump. The housing component 56 can also be provided with heat exchange elements 46 for this purpose.

Wie in der Querschnittansicht von Fig. 7A gezeigt ist, sind die Bestandteile der Hochvakuumpumpe 16 in dem Pumpengehäuse 30 angeordnet. Insbesondere sind ein Stator, ein Motor 52 und ein Rotor 149 der Pumpe in dem Pumpengehäuses 30 angeordnet, wobei ein Teil des Motors 52 und ein den Rotor 149 lagernder Lagerabschnitt in einem Aufnahmeabschnitt 62 des Abschlusselements 32 angeordnet sind. Der Aufnahmeabschnitt 62 erstreckt sich von einem das stromabwärtige Ende eines Pumpraums 64 der Hochvakuumpumpe 16 bildenden Bodenabschnitt 66 des Abschlusselements 32 (hier in einer Variante ohne Wärmetauschelemente 46) in Richtung zu dem Gehäusebauteil 56 hin.As in the cross-sectional view of Figure 7A is shown, the components of the high-vacuum pump 16 are arranged in the pump housing 30 . Specifically, a stator, a motor 52 and a rotor 149 of the pump are arranged in the pump housing 30 , with a part of the motor 52 and a bearing portion supporting the rotor 149 being arranged in a receiving portion 62 of the closure member 32 . The receiving section 62 extends from a bottom section 66 of the closing element 32 (here in a variant without heat exchange elements 46) that forms the downstream end of a pump chamber 64 of the high-vacuum pump 16 in the direction of the housing component 56.

Wie vorstehend bereits beschrieben wirken, bei Betrieb der Pumpe fest mit dem Rotor 149 verbundene Rotorscheiben mit raumfest angeordneten Statorscheiben zusammen, um eine Pumpwirkung zu erzeugen.As already described above, during operation of the pump, rotor disks which are fixedly connected to the rotor 149 interact with stationary arranged stator disks in order to generate a pumping effect.

Das Abschlusselement 32 - das auch als Basiselement bezeichnet werden kann - schließt die Hochvakuumpumpe 16 an ihrem in Pumprichtung stromabwärtigen Ende in axialer Richtung ab.The closing element 32--which can also be referred to as the base element--closes the high-vacuum pump 16 in the axial direction at its downstream end in the pumping direction.

Zudem weist das Abschlusselement 32 Pumpauslassöffnungen oder Pumpauslasskanäle 54 auf, die um die Rotationsachse 151 des Rotors 149 verteilt angeordnet sind. Die kanalartigen Pumpauslassöffnungen 54 sind beispielsweise in Umfangsrichtung verteilte, insbesondere gleichverteilte Bohrungen oder gekrümmte Langlöcher (siehe Fig. 7C). Sie ermöglichen eine effiziente Gasführung von dem Pumpraum 64 in Richtung einer Ausgangsseite 36 der Hochvakuumpumpe 16. Beispielsweise in einem Fall, in dem elektrische Versorgungsleitungen für Komponenten der Hochvakuumpumpe 16 durch das Abschlusselement 32 geführt werden, können die Pumpauslassöffnungen 54 auch asymmetrisch angeordnet sein (siehe Fig. 7B), um den für die Versorgungsleitungen benötigten Bauraum bereitstellen zu können. Beispielsweise kann das Abschlusselement 32 sieben gekrümmte Langlöcher aufweisen.In addition, the closing element 32 has pump outlet openings or pump outlet channels 54 which are distributed around the axis of rotation 151 of the rotor 149 . The channel-like pump outlet openings 54 are, for example, bores distributed in the circumferential direction, in particular uniformly distributed, or curved slots (see FIG Figure 7C ). They enable efficient gas routing from the pump chamber 64 in the direction of an outlet side 36 of the high-vacuum pump 16. For example, in a case in which electrical supply lines for components of the high-vacuum pump 16 are routed through the closing element 32, the pump outlet openings 54 can also be arranged asymmetrically (see Figure 7B ) in order to be able to provide the installation space required for the supply lines. For example, the closing element 32 can have seven curved elongated holes.

An der ausgangseitigen Stirnseite der Pumpe 16 münden die kanalartigen Pumpauslassöffnungen in Austrittsöffnungen 48, wodurch das von der Pumpe 16 geförderte Medium aus dieser ausgestoßen wird.On the outlet-side end face of the pump 16, the channel-like pump outlet openings open into outlet openings 48, as a result of which the medium delivered by the pump 16 is ejected from the latter.

Im Gegensatz zur der Pumpe 111 gemäß den Fig. 1 bis 5 (siehe radialer Pumpenauslass 117 in Fig. 4) sind hier also geradlinige axiale Pumpauslassöffnungen oder - kanäle 54 vorgesehen, die zusammen einen effizienten Ausstoß des gepumpten Mediums ermöglichen.In contrast to the pump 111 according to the Figures 1 to 5 (see radial pump outlet 117 in 4 ) are here so straight axial pump outlet openings or channels 54 are provided, which together allow efficient ejection of the pumped medium.

Ferner bildet das Abschlusselement 32 einen nicht unwesentlichen Teil des Pumpengehäuses 30, d.h. eine axiale Erstreckung 58 des Abschlusselements 32 im Bereich seines Außenumfangs beträgt mehr als 20% einer axialen Erstreckung 60 des Gehäusebauteils 56. Insbesondere kann die axiale Erstreckung 58 des Abschlusselements 32 mehr als 30% oder mehr als 38% der axialen Erstreckung 60 des Gehäusebauteils 56 betragen.Furthermore, the closing element 32 forms a not insignificant part of the pump housing 30, i.e. an axial extent 58 of the closing element 32 in the area of its outer circumference is more than 20% of an axial extent 60 of the housing component 56. In particular, the axial extent 58 of the closing element 32 can be more than 30 % or more than 38% of the axial extent 60 of the housing component 56.

Das Gehäusebauteil 56 und das Abschlusselement 32 sind an ihren jeweils zugewandten Enden komplementär ausgebildet. Insbesondere sind ein Außendurchmesser des Abschlusselements 32 und ein Außendurchmesser des Gehäusebauteils 56 zumindest in einem Bereich, in dem das Abschlusselement 32 und das Gehäusebauteil 56 miteinander in Verbindung stehen, im Wesentlichen gleich groß.The housing component 56 and the closing element 32 are of complementary design at their respectively facing ends. In particular, an outside diameter of the closing element 32 and an outside diameter of the housing component 56 are essentially the same size, at least in a region in which the closing element 32 and the housing component 56 are connected to one another.

Durch das Verschmelzen vorgenannter Funktionen des Abschlusselements 32 kann eine kompakte und flexible Bauweise der Vakuumpumpe verwirklicht werden, während die Pumpleistung verbessert wird.By merging the aforementioned functions of the closing element 32, a compact and flexible construction of the vacuum pump can be realized, while the pump performance is improved.

Gemäß der in Fig. 8 gezeigten beispielhaften Ausführungsform eines Rezipienten 10 ist ein wesentlicher Teil einer Hochvakuumpumpe 16 in einem Pumpenaufnahmeabschnitt 22 des Rezipienten 10 angeordnet. Beispielsweise wurde die Hochvakuumpumpe 16 in den Pumpenaufnahmeabschnitt 22 eingeschoben. Ein wesentlicher Teil der Hochvakuumpumpe 16 ist direkt in dem Gehäuse 26, 28 des Rezipienten 10 integriert bzw. bildet einen Bestandteil des Rezipienten 10. Die Hochvakuumpumpe 16 ist fest oder lösbar, bevorzugt lösbar, in dem Pumpenaufnahmeabschnitt 22 angeordnet. Der Rezipient 10 und die Hochvakuumpumpe 16 sind aufeinander abgestimmt, so dass sie ein kompaktes und leicht zu wartendes System bilden. Dies gilt auch für die nachstehend noch beschriebenen Ausführungsformen.According to the 8 In the exemplary embodiment of a recipient 10 shown, an essential part of a high-vacuum pump 16 is arranged in a pump receiving section 22 of the recipient 10 . For example, the high-vacuum pump 16 has been pushed into the pump receiving section 22 . A significant part of the high-vacuum pump 16 is integrated directly into the housing 26, 28 of the recipient 10 or forms part of the recipient 10. The high-vacuum pump 16 is fixed or detachable, preferably detachable, in the pump receiving section 22. The recipient 10 and the high-vacuum pump 16 are matched to one another so that they form a compact and easy-to-maintain system. This also applies to the embodiments described below.

Zudem weist der Rezipient 10 drei Vakuumkammern 12 auf, die über einen jeweiligen Pumpenanschluss 14 mit entsprechenden Einlässen der Hochvakuumpumpe 16 (z.B. eine Splitflow-Pumpe) verbunden sind. Der Rezipient 10 kann je nach Kundenapplikation auch nur eine, zwei oder mehr als drei Vakuumkammern 12 aufweisen. Da jede der Vakuumkammern 12 direkt über einen Pumpenanschluss 14 mit dem Pumpraum 64 verbunden ist, kann eine Entfernung zwischen dem Pumpraum 64 und jeder der Vakuumkammern 12 geringgehalten werden, was ein effizientes Bereitstellen eines Vakuums in jeder der Vakuumkammern 12 ermöglicht. Zudem entfällt eine aufwändige Herstellung einer Verbindung zwischen einer Vakuumkammer 12 und einem Einlassflansch 113 einer Vakuumpumpe.In addition, the recipient 10 has three vacuum chambers 12, which are connected via a respective pump connection 14 to corresponding inlets of the high-vacuum pump 16 (e.g. a split-flow pump). Depending on the customer application, the recipient 10 can also have only one, two or more than three vacuum chambers 12 . Since each of the vacuum chambers 12 is directly connected to the pump space 64 via a pump port 14, a distance between the pump space 64 and each of the vacuum chambers 12 can be kept small, enabling a vacuum to be efficiently provided in each of the vacuum chambers 12. In addition, there is no need for a complex production of a connection between a vacuum chamber 12 and an inlet flange 113 of a vacuum pump.

Der Rezipient 10 weist ferner einen fest mit einer Vakuumkammer 12 verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt 18 auf, wobei die Vakuumkammern 12 und der Vorvakuumanschlussabschnitt 18 ein gemeinsames Gehäuse 26 aufweisen, das zugleich den Pumpenaufnahmeabschnitt 22 und einen wesentlichen Teil des Pumpengehäuses 30 ausbildet.The recipient 10 also has a fore-vacuum connection section 18 which is firmly connected to a vacuum chamber 12 , the vacuum chambers 12 and the fore-vacuum connection section 18 having a common housing 26 which at the same time forms the pump receiving section 22 and a substantial part of the pump housing 30 .

Der Vorvakuumanschlussabschnitt 18 weist einen Vorvakuumanschluss 20, eine Vorvakuumkammer 24 und einen Vorvakuum-Flansch 20a zur Herstellung einer Verbindung zwischen einem in dem Abschlusselement 32 ausgebildeten Kanal 34 und einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe (nicht gezeigt) auf.The fore-vacuum connection section 18 has a fore-vacuum connection 20, a fore-vacuum chamber 24 and a fore-vacuum flange 20a for establishing a connection between a channel 34 formed in the closing element 32 and an input side of a fore-vacuum pump (not shown).

Um eine kompakte und stabile Bauform zu realisieren, sind der Vorvakuumanschlussabschnitts 18 und das Abschlusselements 32 komplementär zueinander ausgebildet. Insbesondere weisen der Vorvakuumanschluss 20 und ein erster Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 des Abschlusselements 32 komplementäre Formmerkmale 38, 40 auf. Konkret sind dies im gezeigten Beispiel Schrägen mit einem Winkel 76 in Bezug auf die axiale Richtung, wobei die axiale Richtung eine Richtung ist, die parallel zur Rotationsachse 151 verläuft. Der Winkel 76 kann zwischen 0° und 90°, bevorzugt zwischen 22,5 ° und 47,5° betragen (beispielsweise 0°, 30°, 45°, 60° oder 90°). Um eine kompakte Bauform zu realisieren, fluchten eine Unterseite des Abschlusselements 32 und eine Unterseite des Vorvakuumanschlussabschnitts 18.In order to achieve a compact and stable design, the fore-vacuum connection section 18 and the closing element 32 are designed to complement one another. In particular, the fore-vacuum connection 20 and a first outlet connection 42 of the channel 34 of the closure element 32 have complementary shape features 38 , 40 . Specifically, in the example shown, these are bevels at an angle 76 with respect to the axial direction, the axial direction being a direction that runs parallel to the axis of rotation 151 . The angle 76 can be between 0° and 90°, preferably between 22.5° and 47.5° (e.g 0°, 30°, 45°, 60° or 90°). In order to achieve a compact design, an underside of the closing element 32 and an underside of the fore-vacuum connection section 18 are aligned.

Der Kanal 34 stellt also über den Ausgangsanschluss 42, den Vorvakuumanschluss 20 und die Vorvakuumkammer 24 eine Verbindung des Pumpraums 64 der Hochvakuumpumpe 16 mit dem Vorvakuum-Flansch 20a her, der die Schnittstelle zu einer Vorvakuumpumpe bildet. Anders als bei bekannten Systemen wird diese Schnittstelle somit nicht an der Hochvakuumpumpe sondern rezipientenseitig bereitgestellt.The channel 34 thus establishes a connection between the pump chamber 64 of the high-vacuum pump 16 and the fore-vacuum flange 20a via the outlet connection 42, the fore-vacuum connection 20 and the fore-vacuum chamber 24, which forms the interface to a fore-vacuum pump. In contrast to known systems, this interface is not provided on the high-vacuum pump but on the recipient side.

Das Abschlusselement 32 kann lösbar an dem Pumpenaufnahmeabschnitt 22, der integraler Bestandteil des Rezipienten 10 sein kann, und an dem Vorvakuumanschlussabschnitt 18 befestigbar sein, sodass das Innere der Hochvakuumpumpe 16 leicht zugänglich ist. Dies ermöglicht eine Senkung der Wartungskosten der Hochvakuumpumpe 16 und des Rezipienten 10. In einem montierten Zustand bildet das Abschlusselement 32 das axiale Ende der Hochvakuumpumpe 16.The closing element 32 can be detachably fastened to the pump receiving section 22, which can be an integral part of the recipient 10, and to the fore-vacuum connection section 18, so that the interior of the high-vacuum pump 16 is easily accessible. This enables the maintenance costs of the high-vacuum pump 16 and the recipient 10 to be reduced. In an assembled state, the closing element 32 forms the axial end of the high-vacuum pump 16.

Die in Fig. 9 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 8 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass die pumpaktiven Merkmale der Hochvakuumpumpe 16 in einem Cartridge-Gehäuse 72 angeordnet sind. Dies erleichtert das Montieren der Hochvakuumpumpe 16 in dem Pumpenaufnahmeabschnitt 22, sodass ein Austausch der Vakuumpumpe im Wartungsfall auch für den Kunden möglich ist.In the 9 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 8 shown essentially in that the active pumping features of the high vacuum pump 16 are arranged in a cartridge housing 72. This makes it easier to mount the high-vacuum pump 16 in the pump receiving section 22, so that it is also possible for the customer to replace the vacuum pump in the event of maintenance.

Das Cartridge-Gehäuse 72 weist Anschlussmittel oder -öffnungen an entsprechenden Positionen auf, sodass jede der Vakuumkammern 12 über einen jeweiligen Pumpenanschluss 14 mit dem Pumpraum 64 verbindbar ist. Ferner kann das Cartridge-Gehäuse 72 funktionelle Bestandteile Hochvakuumpumpe 16, insbesondere pumpaktive Merkmale der Hochvakuumpumpe 16, bilden. Die Hochvakuumpumpe 16 bildet somit eine Cartridge-Pumpe, die auf einfache Weise montierbar ist. Sie muss im Wesentlichen nur in den Pumpenaufnahmeabschnitt 22 eingeschoben werden, wobei bei geeigneter Ausgestaltung der Anschlussmittel oder -öffnungen bzw. der Öffnungen 14 auch gleich die Verbindungen zu den Kammern 12 hergestellt werden kann.The cartridge housing 72 has connection means or openings at corresponding positions, so that each of the vacuum chambers 12 can be connected to the pump chamber 64 via a respective pump connection 14 . Furthermore, the cartridge housing 72 can form functional components of the high-vacuum pump 16 , in particular pump-active features of the high-vacuum pump 16 . the High-vacuum pump 16 thus forms a cartridge pump that can be installed in a simple manner. Essentially, it only has to be pushed into the pump receiving section 22, with the connections to the chambers 12 also being able to be established at the same time if the connection means or openings or the openings 14 are suitably designed.

Die in Fig. 10 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 9 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass der Vorvakuumanschluss 20 des Vorvakuumanschlussabschnitts 18 senkrecht in Bezug auf die axiale Richtung ausgebildet ist, während der Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 des Abschlusselements 32 parallel hierzu angeordnet ist (also senkrecht zu dem Vorvakuumanschluss 20) . Der erste Ausgangsanschluss 42 und der Vorvakuumanschluss 20 des Vorvakuumanschlussabschnitts 18 sind über einen Adapter 68 miteinander verbunden. Der Adapter weist einen ersten Anschlussabschnitt 80 und einen zweiten Anschlussabschnitt 82 auf, die mit dem Vorvakuumanschluss 20 bzw. dem ersten Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 verbindbar sind. Eine solche Ausgestaltung ermöglicht eine hohe Flexibilität in Bezug auf die Ausgestaltung des Vorvakuumanschlussabschnitts 18, insbesondere in Bezug auf die Position des Vorvakuumanschlusses 20. Zudem kann die Vorvakuumkammer 24 kleiner ausgestaltet werden, um Platz zu sparen. Es ist also lediglich der Adapter 68 auszutauschen, falls sich Anschlussverhältnisse ändern, beispielsweise wenn eine Pumpe mit einem geänderten Abschlusselement 32 zum Einsatz gelangt.In the 10 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 9 shown essentially in that the fore-vacuum connection 20 of the fore-vacuum connection section 18 is formed perpendicularly with respect to the axial direction, while the outlet connection 42 of the channel 34 of the closing element 32 is arranged parallel thereto (ie perpendicular to the fore-vacuum connection 20). The first outlet connection 42 and the fore-vacuum connection 20 of the fore-vacuum connection section 18 are connected to one another via an adapter 68 . The adapter has a first connection section 80 and a second connection section 82 which can be connected to the fore-vacuum connection 20 or the first outlet connection 42 of the channel 34 . Such a configuration enables a high level of flexibility in relation to the configuration of the fore-vacuum connection section 18, in particular in relation to the position of the fore-vacuum connection 20. In addition, the fore-vacuum chamber 24 can be made smaller in order to save space. It is therefore only necessary to exchange the adapter 68 if the connection conditions change, for example if a pump with a modified closing element 32 is used.

Die in Fig. 11 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 10 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass - bildlich gesprochen - das Abschlusselement 32 und der Adapter 68 einteilig ausgebildet sind. Anstelle des Zwischenschaltens des Adapters 68 ist der erste Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 des Abschlusselements 32 komplementär zu dem in Bezug auf die axiale Richtung senkrecht ausgebildeten Vorvakuumanschluss 20 des Vorvakuumanschlussabschnitts 18 ausgebildet. D.h., der Vorvakuumanschluss 20 und der erste Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 weisen einen Winkel 76 von 90° in Bezug auf die axiale Richtung auf und ein Oberflächenabschnitt des Abschlusselements 32, in dem der erste Ausgangsanschluss 42 des Kanals 34 ausgebildet ist, deckt einen Oberflächenabschnitt der Unterseite des Vorvakuumanschlussabschnitts 18, in dem der Vorvakuumanschluss 20 ausgebildet ist, in axialer Richtung ab. Da hier weniger Verbindungen hergestellt werden müssen, erleichtert diese Konfiguration die Montage des Abschlusselements 32 an den Vorvakuumanschlussabschnitt 18.In the 11 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 10 shown essentially in that - figuratively speaking - the closing element 32 and the adapter 68 are formed in one piece. Instead of the adapter 68 being interposed, the first outlet connection 42 of the channel 34 of the closing element 32 is designed to be complementary to the fore-vacuum connection 20 of the fore-vacuum connection section 18 which is designed perpendicularly in relation to the axial direction. That is, the fore-vacuum connection 20 and the first Outlet port 42 of channel 34 has an angle 76 of 90° with respect to the axial direction, and a surface section of closure element 32 in which first outlet port 42 of channel 34 is formed covers a surface section of the underside of fore-vacuum connection section 18 in which the Fore-vacuum connection 20 is formed in the axial direction. Since fewer connections have to be made here, this configuration facilitates the assembly of the closing element 32 on the fore-vacuum connection section 18.

Die in Fig. 12 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 10 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass das Gehäuse 26 der Vakuumkammer 12 und des Vorvakuumanschlussabschnitts 18 einerseits und der Pumpenaufnahmeabschnitt 22 andererseits separate Bauteile sind. Der Pumpenaufnahmeabschnitt 22 ist komplementär zu dem Gehäuse 26 und dem Cartridge-Gehäuse 72 ausgebildet, sodass der Abschnitt 22 leicht an dem Gehäuse 26 und die Pumpe 16 einfach in dem Abschnitt 22 montierbar sind. Mechanische Codierungen an den genannten Komponenten können sicherstellen, dass diese sich nur in korrekter Weise montieren lassen.In the 12 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 10 shown essentially in that the housing 26 of the vacuum chamber 12 and the fore-vacuum connection section 18 on the one hand and the pump receiving section 22 on the other hand are separate components. The pump receiving section 22 is designed to complement the housing 26 and the cartridge housing 72 so that the section 22 can be easily mounted on the housing 26 and the pump 16 can be easily mounted in the section 22 . Mechanical coding on the components mentioned can ensure that they can only be installed in the correct way.

Der Rezipient der in Fig. 13 gezeigten Ausführungsform zeigt ein Abschlusselement 32 mit axialen Pumpauslassöffnungen 54, deren Austrittsöffnungen 48 mit einem Eingangsanschluss 44 des Kanals 34 in Verbindung stehen. Der Kanal 34 ist in einem separaten Deckel 84 ausgebildet, der zur Herstellung einer Verbindung zwischen den Pumpauslassöffnungen 54 der Pumpe 16 und dem Vorvakuumanschluss 20 dient. Insbesondere weist der Kanal 34 einen Ausgangsanschluss 42 zur Herstellung einer Verbindung zwischen den Pumpauslassöffnungen 54 der Pumpe 16 und dem Vorvakuumanschluss 20 auf.The recipient of the in 13 The embodiment shown shows a closing element 32 with axial pump outlet openings 54 whose outlet openings 48 are connected to an inlet connection 44 of the channel 34 . The channel 34 is formed in a separate cover 84 which serves to establish a connection between the pump outlet openings 54 of the pump 16 and the fore-vacuum connection 20 . In particular, the channel 34 has an outlet port 42 for establishing a connection between the pump outlet openings 54 of the pump 16 and the fore-vacuum port 20 .

Der Deckel 84 weist zudem Wärmetauschelemente 46, insbesondere Kühlrippen, auf. Für eine optimale Wärmeableitung ist bevorzugt mehr als die die Hälfte der Oberfläche des Anschlusselements 32 mit Wärmetauschelementen 46 versehen. Wie in Fig. 17 gezeigt, ist auch eine Ausgestaltung ohne Wärmetauschelemente 46 denkbar, was die Herstellungskosten reduziert.The cover 84 also has heat exchange elements 46, in particular cooling ribs. More than half of the surface of the connection element 32 is preferably provided with heat exchange elements 46 for optimal heat dissipation. As in 17 shown, an embodiment without heat exchange elements 46 is also conceivable, which reduces the manufacturing costs.

Der Deckel 84 erfüllt nicht nur die Funktion eines Verbindungselements und eines Kühlelements, sondern sorgt gleichzeitig für eine Sicherung und/oder Fixierung der Hochvakuumpumpe 10 in bzw. an dem Rezipienten 10.The cover 84 not only fulfills the function of a connecting element and a cooling element, but also ensures that the high-vacuum pump 10 is secured and/or fixed in or on the recipient 10.

Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform kann der Deckel 84 zudem einen oder mehrere Befestigungsbereiche 70a, b aufweisen. Wie in Fig. 14 gezeigt, weist der Deckel 84 einen Befestigungsbereich 70a auf, der die Hochvakuumpumpe 16 seitlich, d.h., in einer Richtung senkrecht zu der axialen Richtung, teilweise umgibt. Ein weiterer Befestigungsbereich 70b befindet sich an einem vorvakuumanschlussseitigen Abschnitt des Deckels 84. Die Befestigungsbereiche 70a, b bieten zusätzliche Sicherheit und Stabilität in einem Crashfall der Hochvakuumpumpe 16, indem ein Burstmoment an umliegende Teile der Hochvakuumpumpe 16 abgeleitet wird.According to a further exemplary embodiment, the cover 84 can also have one or more fastening areas 70a, b. As in 14 As shown, the cover 84 has a mounting portion 70a that partially surrounds the high vacuum pump 16 laterally, ie, in a direction perpendicular to the axial direction. Another fastening area 70b is located on a section of the cover 84 on the fore-vacuum connection side. The fastening areas 70a, b offer additional safety and stability in the event of a crash of the high-vacuum pump 16 by dissipating a burst torque to surrounding parts of the high-vacuum pump 16.

Die in Fig. 15 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 12 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass der Rezipient 10 sechs anstatt drei Vakuumkammern 12 umfasst. Die Hochvakuumpumpe 16 weist eine entsprechend größere Anzahl an Pumpstufen auf.In the 15 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 12 shown essentially in that the recipient 10 comprises six instead of three vacuum chambers 12. The high-vacuum pump 16 has a correspondingly larger number of pump stages.

Wie in Fig. 16 gezeigt, ist auch eine Konfiguration denkbar, bei der der Deckel 84 den Vorvakuum-Flansch 20a aufweist. Bei dieser Ausgestaltung des Abschlusselements 32 umfasst der Kanal 34 einen zweiten Ausgangsanschluss 78 zur Herstellung einer Verbindung zwischen dem Vorvakuum-Flansch 20a und dem Kanal 34. Der zweite Ausgangsanschluss 78 des Kanals 34 stellt also eine Verbindung zwischen der Vorvakuumkammer 24 und einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe und eine Verbindung zwischen den Pumpauslassöffnungen 54 und einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe her. Der Anschluss 42 fungiert hier als Eingangsanschluss.As in 16 shown, a configuration is also conceivable in which the cover 84 has the pre-vacuum flange 20a. In this configuration of the closing element 32, the channel 34 includes a second outlet connection 78 for establishing a connection between the fore-vacuum flange 20a and the channel 34. The second outlet connection 78 of the channel 34 thus provides a connection between the fore-vacuum chamber 24 and an inlet side of a fore-vacuum pump and a connection between the pump outlet openings 54 and a Input side of a backing pump. Port 42 acts as an input port here.

Eine entsprechende Ausgestaltung ist auch bei Ausführungsformen ohne Deckel 84 denkbar.A corresponding design is also conceivable in embodiments without a cover 84 .

Der Vorvakuum-Flansch 20a ist an der Unterseite des Abschlusselement 32 neben den Wärmetauschelementen 46 angeordnet. Bei dieser Ausgestaltung muss weder die Hochvakuumpumpe 16 noch die Vorvakuumkammer 24 einen Vorvakuum-Flansch 20a aufweisen. Der Deckel 84 kann - wie auch bei den anderen Ausführungsformen - dem Rezipienten 10 zugeordnet sein bzw. eine den Pumpenaufnahmeabschnitt 22 abschließende Komponente sein (siehe z.B. Fig. 14).The fore-vacuum flange 20a is arranged on the underside of the closure element 32 next to the heat exchange elements 46 . In this configuration, neither the high-vacuum pump 16 nor the fore-vacuum chamber 24 has to have a fore-vacuum flange 20a. As in the other embodiments, the cover 84 can be assigned to the recipient 10 or be a component that closes off the pump receiving section 22 (see, e.g 14 ).

Die in Fig. 18 gezeigte Ausführungsform eines Rezipienten 10 unterscheidet sich von der in Fig. 12 gezeigten im Wesentlichen dadurch, dass die Hochvakuumpumpe 16 kein Cartridge-Gehäuse 72 aufweist und das Abschlusselement 32 von einem Deckel 84 mit Kanal 34 axial überdeckt ist, der an der Ausgangsseite 36 der Hochvakuumpumpe 16 - oder bei entsprechender Ausgestaltung direkt an dem Pumpenaufnahmeabschnitt 22 - und dem Vorvakuumanschlussabschnitt 18 montierbar ist.In the 18 The embodiment shown of a recipient 10 differs from that in 12 shown essentially in that the high-vacuum pump 16 does not have a cartridge housing 72 and the closing element 32 is axially covered by a cover 84 with a channel 34, which is located on the output side 36 of the high-vacuum pump 16 - or, with a corresponding design, directly on the pump receiving section 22 - and the fore-vacuum connection section 18 can be mounted.

Wie in Fig. 19 gezeigt, ist aber auch eine Konfiguration denkbar, bei der neben einem separaten Pumpenaufnahmeabschnitt 22 auch eine Pumpe mit Cartridge-Gehäuse 72 und separatem Deckel 84 vorgesehen ist. Hierzu wird auf die entsprechenden Ausführungen zu Fig. 12 verwiesen.As in 19 shown, but a configuration is also conceivable in which, in addition to a separate pump receiving section 22, a pump with a cartridge housing 72 and a separate cover 84 is also provided. For this purpose, refer to the corresponding explanations 12 referred.

Entsprechend der in Fig. 20 gezeigten Ausführungsform kann der Rezipient 10 aber auch ein gemeinsames Gehäuse 28 umfassen, das die Vakuumkammern 12 und einen wesentlichen Teil des Pumpenaufnahmeabschnitts 22 ausbildet.According to the 20 In the embodiment shown, the recipient 10 can also comprise a common housing 28 which forms the vacuum chambers 12 and a substantial part of the pump receiving section 22 .

BezugszeichenlisteReference List

1010: Rezipientrecipient
1212: Vakuumkammervacuum chamber
1414: Pumpenanschlusspump connection
1616: Hochvakuumpumpehigh vacuum pump
1818: Vorvakuumanschlussabschnittforeline connection section
2020: Vorvakuumanschlussforeline connection
20a20a: Vorvakuum-Flanschforevacuum flange
2222: Pumpenaufnahmeabschnittpump receiving section
2424: Vorvakuumkammerfore-vacuum chamber
2626: gemeinsames Gehäuse der Vakuumkammer und des Vorvakuumanschlussabschnittscommon housing of the vacuum chamber and the fore-vacuum connection section
2828: gemeinsames Gehäuse der Vakuumkammer und des Pumpenaufnahmeabschnittescommon housing of the vacuum chamber and the pump accommodating portion
3030: Pumpengehäusepump housing
3232: Abschlusselementfinal element
3434: Kanal des AbschlusselementsChannel of the closing element
3636: Ausgangsseite der HochvakuumpumpeOutlet side of the high vacuum pump
3838: erstes Formmerkmalfirst shape feature
4040: zweites Formmerkmalsecond shape feature
4242: erster Ausgangsanschluss des Kanals des Abschlusselementsfirst exit connection of the channel of the closing element
4444: Eingangsanschluss des Kanals des DeckelsEntry port of the channel of the cover
4646: Wärmetauschelementeheat exchange elements
4848: Austrittsöffnungen der PumpauslassöffnungenOutlet openings of the pump outlet openings
5252: Motorengine
5454: Pumpauslassöffnungenpump outlet ports
5656: Gehäusebauteilhousing component
5858: axiale Erstreckung des Abschlusselementsaxial extension of the closing element
6060: axiale Erstreckung des Gehäusebauteilsaxial extension of the housing component
6262: Aufnahmeabschnitt des Abschlusselementsreceiving section of the end element
6464: Pumpraumpump room
6666: Bodenabschnittbottom section
6868: Adapteradapter
70a, 70b70a, 70b: Befestigungsbereichemounting areas
7272: Cartridge-Gehäusecartridge case
7474: Anschlussabschnittconnector section
7676: Winkelangle
7878: zweiter Ausgangsanschluss des Kanals des Abschlusselements/Deckelssecond exit connection of the duct of the closing element/cover
8080: erster Anschlussabschnitt des Adaptersfirst connection section of the adapter
8282: zweiter Anschlussabschnitt des Adapterssecond connection section of the adapter
8484: Deckellid
111111: Turbomolekularpumpeturbomolecular pump
113113: Einlassflanschinlet flange
115115: Pumpeneinlasspump inlet
117117: Pumpenauslasspump outlet
119119: GehäuseHousing
121121: Unterteillower part
123123: Elektronikgehäuseelectronics housing
125125: Elektromotorelectric motor
127127: Zubehöranschlussaccessory port
129129: Datenschnittstelledata interface
131131: Stromversorgungsanschlusspower connector
133133: Fluteinlassflood inlet
135135: Sperrgasanschlusssealing gas connection
137137: Motorraumengine compartment
139139: Kühlmittelanschlusscoolant connection
141141: Unterseitebottom
143143: Schraubescrew
145145: Lagerdeckelbearing cap
147147: Befestigungsbohrungmounting hole
148148: Kühlmittelleitungcoolant line
149149: Rotorrotor
151151: Rotationsachseaxis of rotation
153153: Rotorwellerotor shaft
155155: Rotorscheiberotor disk
157157: Statorscheibestator disc
159159: Abstandsringspacer ring
161161: Rotornaberotor hub
163163: Holweck-RotorhülseHolweck rotor sleeve
165165: Holweck-RotorhülseHolweck rotor sleeve
167167: Holweck-StatorhülseHolweck stator sleeve
169169: Holweck-StatorhülseHolweck stator sleeve
171171: Holweck-SpaltHolweck fissure
173173: Holweck-SpaltHolweck fissure
175175: Holweck-SpaltHolweck fissure
179179: Verbindungskanalconnecting channel
181181: Wälzlagerroller bearing
183183: Permanentmagnetlagerpermanent magnet bearing
185185: Spritzmutterinjection nut
187187: Scheibedisc
189189: Einsatzmission
191191: rotorseitige Lagerhälfterotor-side bearing half
193193: statorseitige Lagerhälftestator bearing half
195195: Ringmagnetring magnet
197197: Ringmagnetring magnet
199199: Lagerspaltbearing gap
201201: Trägerabschnittcarrier section
203203: Trägerabschnittcarrier section
205205: radiale Streberadial strut
207207: Deckelelementcover element
209209: Stützringsupport ring
211211: Befestigungsringmounting ring
213213: Tellerfederdisc spring
215215: Not- bzw. FanglagerEmergency or catch camp
217217: Motorstatormotor stator
219219: Zwischenraumspace
221221: Wandungwall
223223: Labyrinthdichtunglabyrinth seal

Claims

Rezipient (10) umfassend zumindest ein Pumpengehäuse und

wenigstens eine Vakuumkammer (12), die einen Pumpenanschluss (14) zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Hochvakuumpumpe (16), insbesondere einer Turbomolekularpumpe, umfasst,

dadurch gekennzeichnet, dass
der Rezipient einen fest mit der Vakuumkammer (12) verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt (18), der einen Vorvakuumanschluss (20) zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe aufweist, umfasst.Recipient (10) comprising at least one pump housing and

at least one vacuum chamber (12) which comprises a pump connection (14) for establishing a connection to an inlet side of a high-vacuum pump (16), in particular a turbomolecular pump,

characterized in that
the recipient comprises a fore-vacuum connection section (18) which is firmly connected to the vacuum chamber (12) and has a fore-vacuum connection (20) for establishing a connection to an inlet side of a fore-vacuum pump.

Rezipient (10) umfassend zumindest einen Pumpenaufnahmeabschnitt (22) zur Aufnahme der Hochvakuumpumpe (16) in dem Rezipienten, und

dadurch gekennzeichnet, dass
der Rezipient ein fest mit der Vakuumkammer (12) verbundenen Vorvakuumanschlussabschnitt (18), der einen Vorvakuumanschluss (20) zur Herstellung einer Verbindung mit einer Eingangsseite einer Vorvakuumpumpe aufweist, umfasst.Recipient (10) comprising at least one pump receiving section (22) for receiving the high-vacuum pump (16) in the recipient, and

Rezipient (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Vorvakuumanschlussabschnitt (18) eine Vorvakuumkammer (24) umfasst.Recipient (10) according to claim 1 or 2, wherein the fore-vacuum connection section (18) comprises a fore-vacuum chamber (24).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Vakuumkammer (12) und der Vorvakuumanschlussabschnitt (18) ein gemeinsames Gehäuse (26) aufweisen.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein the vacuum chamber (12) and the fore-vacuum connection section (18) have a common housing (26).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei ein Gehäuse (28) der Vakuumkammer (12) und/oder des Vorvakuumanschlussabschnitts (18) den Pumpenaufnahmeabschnitt (22) ausbildet, insbesondere wobei das Gehäuse (28) zumindest einen Abschnitt eines Pumpengehäuses (30) der Hochvakuumpumpe (16) ausbildet.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein a housing (28) of the vacuum chamber (12) and/or of the fore-vacuum connection section (18) forms the pump receiving section (22), in particular wherein the housing (28) forms at least one section of a pump housing (30 ) of the high-vacuum pump (16).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Pumpenaufnahmeabschnitt (22) die Hochvakuumpumpe (16) zumindest abschnittsweise umgibt, insbesondere wobei der Pumpenaufnahmeabschnitt (22) lösbar mit dem Gehäuse (28) und/oder der Vakuumkammer (12) und/oder dem Vorvakuumanschlussabschnitt (18) verbunden ist.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein the pump receiving section (22) surrounds the high vacuum pump (16) at least in sections, in particular wherein the pump receiving section (22) is detachably connected to the housing (28) and/or the vacuum chamber (12) and/or is connected to the fore-vacuum connection section (18).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei ein Abschlusselement (32, 84) vorgesehen ist, das die Hochvakuumpumpe (16) in einem montierten Zustand in axialer Richtung zumindest abschnittsweise abdeckt und das zumindest einen Kanal (34) zur Herstellung einer Verbindung zwischen einer Ausgangsseite (36) der Hochvakuumpumpe (16) und dem Vorvakuumanschlussabschnitt (18) umfasst.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein a closing element (32, 84) is provided, which covers the high-vacuum pump (16) in an assembled state in the axial direction at least in sections and which has at least one channel (34) for establishing a connection between an output side (36) of the high-vacuum pump (16) and the fore-vacuum connection section (18).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Abschlusselement (84) ein in Bezug auf die Hochvakuumpumpe (16) separates Bauteil ist oder umfasst, das lösbar an der Hochvakuumpumpe (16) und/oder an der Vakuumkammer (12) und/oder an dem Vorvakuumanschlussabschnitt (18) und/oder dem Pumpenaufnahmeabschnitt (22) befestigbar ist.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein the closing element (84) is or comprises a component which is separate in relation to the high-vacuum pump (16) and which is detachably attached to the high-vacuum pump (16) and/or to the vacuum chamber (12) and/or or can be fastened to the fore-vacuum connection section (18) and/or the pump receiving section (22).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Abschlusselement (32, 84) ein erstes Formmerkmal (38) aufweist, das in Eingriff mit einem zweiten Formmerkmal (40) bringbar ist, das komplementär zu dem ersten Formmerkmal (38) ausgebildet ist und das an der Hochvakuumpumpe (16) und/oder an der Vakuumkammer (12) und/oder an dem Vorvakuumanschlussabschnitt (18) und/oder dem Pumpenaufnahmeabschnitt (22) ausgebildet ist.Recipient (10) according to any one of the preceding claims, wherein the closing element (32, 84) has a first feature (38) which can be brought into engagement with a second feature (40) which is complementary to the first feature (38). and which is formed on the high-vacuum pump (16) and/or on the vacuum chamber (12) and/or on the fore-vacuum connection section (18) and/or the pump receiving section (22).

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Kanal (34) des Abschlusselements (32, 84) einen ersten Ausgangsanschluss (42) aufweist, der mit dem Vorvakuumanschlussabschnitt (18) verbindbar ist, insbesondere wobei der Kanal (34) des Abschlusselements (32, 84) einen zweiten Ausgangsanschluss (44) aufweist, der mit einer Vorvakuumpumpe verbindbar ist.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein the channel (34) of the closing element (32, 84) has a first outlet connection (42) which can be connected to the fore-vacuum connection section (18), in particular wherein the channel (34) of the closing element (32, 84) has a second outlet connection (44) which can be connected to a backing pump.

Rezipient (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Abschlusselement (32) mit Wärmetauschelementen (46) versehen ist, insbesondere mit Kühlrippen.Recipient (10) according to one of the preceding claims, wherein the closing element (32) is provided with heat exchange elements (46), in particular with cooling fins.

Hochvakuumpumpe (16), insbesondere eine Turbomolekularpumpe, welche insbesondere an oder in einem Pumpenaufnahmeabschnitt (22) eines Rezipienten (10) montierbar ist, der bevorzugt gemäß einem der vorstehenden Ansprüche ausgebildet ist, umfassend einen Stator und einen von einem Motor (52) zu einer Drehung um eine Rotationsachse (151) antreibbaren Rotor (149), die in einem Pumpengehäuse (30) angeordnet sind, wobei ein Abschlusselement (32) vorgesehen ist, das die Hochvakuumpumpe (16) an ihrem in Pumprichtung stromabwärtigen Ende in axialer Richtung abschließt, wobei das Abschlusselement (32) zumindest zwei um die Rotationsachse (151) verteilt angeordnete Pumpauslassöffnungen (54) aufweist, deren Austrittsöffnungen (48) an einer ausgangsseitigen Stirnseite der Hochvakuumpumpe (16) angeordnet sind.High-vacuum pump (16), in particular a turbomolecular pump, which can be mounted in particular on or in a pump receiving section (22) of a recipient (10), which is preferably designed according to one of the preceding claims, comprising a stator and a motor (52) to a A rotor (149) which can be driven in rotation about an axis of rotation (151) and is arranged in a pump housing (30), with a closing element (32) being provided which closes off the high-vacuum pump (16) in the axial direction at its downstream end in the pumping direction, wherein the closing element (32) has at least two pump outlet openings (54) distributed around the axis of rotation (151), whose outlet openings (48) are arranged on an outlet-side end face of the high-vacuum pump (16).

Hochvakuumpumpe (16) nach Anspruch 12, wobei das Abschlusselement (32) und zumindest ein Gehäusebauteil (56) das Pumpengehäuse (30) bilden.High-vacuum pump (16) according to claim 12, wherein the closing element (32) and at least one housing component (56) form the pump housing (30).

Hochvakuumpumpe (16) nach Anspruch 12 oder 13, wobei eine axiale Erstreckung (58) des Abschlusselements (32) im Bereich seines Außenumfangs mehr als 20%, insbesondere mehr als 30% oder mehr als 38%, einer axialen Erstreckung (60) des Gehäusebauteils (56) beträgt.High-vacuum pump (16) according to claim 12 or 13, wherein an axial extension (58) of the closing element (32) in the area of its outer circumference is more than 20%, in particular more than 30% or more than 38%, of an axial extension (60) of the housing component (56) is.

Hochvakuumpumpe (16) nach einem der Ansprüche 12 bis 14, wobei ein Außendurchmesser des Abschlusselements (32) und ein Außendurchmesser des Gehäusebauteils (56) zumindest in einem Bereich, in dem das Abschlusselement (32) und das Gehäusebauteil (56) miteinander in Verbindung stehen, in etwa gleich groß sind.High-vacuum pump (16) according to one of Claims 12 to 14, wherein an outside diameter of the closing element (32) and an outside diameter of the housing component (56) are connected to one another at least in a region in which the closing element (32) and the housing component (56) are connected , are about the same size.

Hochvakuumpumpe (16) nach einem der Ansprüche 12 bis 15, wobei das Abschlusselement (32) einen Aufnahmeabschnitt (62) aufweist, der sich von einem das stromabwärtige Ende eines Pumpraums (64) der Hochvakuumpumpe (16) bildenden Bodenabschnitt (66) des Abschlusselements (32) in Richtung zu dem Gehäusebauteil (56) hin erstreckt, wobei der Aufnahmeabschnitt (62) zumindest einen Teil des Motors (52) und/oder eines den Rotor (149) lagernden Lagerabschnitts aufnimmt.High-vacuum pump (16) according to one of Claims 12 to 15, in which the closing element (32) has a receiving section (62) which extends from a bottom section (66) of the closing element ( 32) extends in the direction of the housing component (56), the receiving section (62) receiving at least part of the motor (52) and/or a bearing section supporting the rotor (149).