EP4073427A1 - Optical filter suitable for correcting the electronic noise of a sensor - Google Patents

Optical filter suitable for correcting the electronic noise of a sensor

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EP4073427A1
EP4073427A1 EP20817443.3A EP20817443A EP4073427A1 EP 4073427 A1 EP4073427 A1 EP 4073427A1 EP 20817443 A EP20817443 A EP 20817443A EP 4073427 A1 EP4073427 A1 EP 4073427A1
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EP
European Patent Office
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lenses
layer
optical filter
openings
substrate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP20817443.3A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Benjamin BOUTHINON
Pierre Muller
Noémie BALLOT
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Isorg SA
Original Assignee
Isorg SA
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Filing date
Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
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    • G—PHYSICS
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    • G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
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    • G06V40/10—Human or animal bodies, e.g. vehicle occupants or pedestrians; Body parts, e.g. hands
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    • G06V40/13—Sensors therefor
    • G06V40/1318—Sensors therefor using electro-optical elements or layers, e.g. electroluminescent sensing
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    • H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
    • H01L27/14685—Process for coatings or optical elements

Definitions

  • Optical filter adapted to correct the electronic noise of a sensor
  • the present description relates to an image acquisition system.
  • An image acquisition system generally comprises an image sensor and an optical system interposed between the sensitive part of the image sensor and the object to be imaged and which makes it possible to form a clear image of the object to be imaged on the sensitive part of the image sensor.
  • the optical system can be an optical filter and more particularly an angular filter.
  • An angular filter is a device making it possible to filter incident radiation as a function of the incidence of this radiation and thus block the rays whose incidence is greater than a desired angle, called maximum incidence.
  • One embodiment overcomes all or part of the drawbacks of image acquisition systems.
  • One embodiment provides an optical filter for an image sensor comprising first, opaque zones, each first zone occupying a surface area equal to the surface area. at least a first lens included in this first zone.
  • an optical filter for an image sensor comprising: an array of lenses consisting of first and second lenses juxtaposed and located on the first face of a substrate, the first lenses being included in first opaque zones and the second lenses being included in second zones, each first zone occupying an area equal to the area of at least one first lens included in this first zone; openings, on the second face side of said substrate, at least facing the second lenses; and an opaque layer facing the first lenses on the second face side of said substrate.
  • the transmittance of the first zones is less than approximately 0.1%, preferably less than approximately 0.00001%.
  • the optical filter comprises second areas, transparent, each second area occupying an area equal to the area of at least one second lens included in this second area.
  • the first lenses and the second lenses are coplanar.
  • the first zones and the second zones are juxtaposed and organized in rows and columns.
  • the first zones are organized in columns which are adjacent and located on one of the edges of the filter. [0014] According to one embodiment, the first zones are organized in columns which are distributed over two edges of the filter.
  • the radius of curvature of the first lenses is less than the radius of curvature of the second lenses.
  • the radius of curvature of the first lenses is greater than the radius of curvature of the second lenses.
  • the optical filter comprises successively: an array of lenses, consisting of the first and second juxtaposed lenses, located on the first face side of a substrate; and a first layer, on the second face side of said substrate, solid facing the first lenses and comprising openings facing the second lenses.
  • the optical filter comprises successively: an array of lenses, located on the first face side of a substrate; a first layer comprising a matrix of openings on the second face of said substrate; and a second opaque layer, in each first area.
  • the optical filter comprises successively: a lens array, consisting of the first locally deteriorated lenses and the second juxtaposed lenses, located on the first face of a substrate; and a first layer comprising a matrix of openings on the second face of said substrate.
  • a method of manufacturing the optical filter comprising among others the following steps: forming, by printing, the lens array on the first face of the substrate; depositing a first layer of a photosensitive resin on the second side of the substrate; and making openings in the first layer by photolithography through the lenses.
  • the second layer is formed in the openings in the first zones or on the first or second face of said openings.
  • the second layer is formed in the first zones.
  • the first lenses are partially damaged by a laser.
  • One embodiment provides a system comprising: an optical filter which can be likened to an angular filter; a source of radiation; and an image sensor comprising photodetectors adapted to detect said radiation.
  • One embodiment provides for a fingerprint sensor comprising a system as described.
  • FIG. 1 illustrates by a sectional view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system
  • FIG. 2 illustrates by a top view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system
  • FIG. 3 illustrates, in a top view, partial and schematic, another embodiment of an image acquisition system
  • FIG. 4 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another embodiment of an image acquisition system
  • FIG. 5 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a first embodiment of a method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 6 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 7 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 8 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a second embodiment of a method for manufacturing an angular filter
  • Figure 9 illustrates by a sectional view, partial and schematic, another step of the second embodiment of the manufacturing process of an angular filter
  • FIG. 10 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter
  • Figure 11 illustrates by a sectional view, partial and schematic, yet another step of the second mode of implementation of the method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 12 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a third embodiment of a method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 13 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 14 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter
  • FIG. 15 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter.
  • FIG. 16 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a fourth embodiment of a method for manufacturing an angular filter.
  • a layer or a film is said to be opaque to radiation when the transmittance of the radiation through the layer or the film is less than 10%.
  • a layer or a film is said to be transparent to radiation when the transmittance of the radiation through the layer or the film is greater than 10%.
  • all the elements of the optical system which are opaque to radiation have a transmittance which is less than half, preferably less than a fifth, more preferably less than a tenth, of the highest transmittance. weaker transparent optical system elements said radiation.
  • the electromagnetic radiation passing through the optical system in operation is called “useful radiation”.
  • an optical element formed on one face of a support is called “optical element of micrometric size”.
  • a film or a layer is said to be impervious to oxygen when the permeability of the film or of the layer to oxygen at 40 ° C. is less than 1.10 _1 cm 3 / (m 2 .day)
  • the oxygen permeability can be measured according to the ASTM D3985 method entitled "Standard Test Method for Oxygen Gas Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Coulometric Sensor".
  • a film or a layer is said to be waterproof when the permeability of the film or of the layer to water at 40 ° C. is less than 1.1CD 1 g / (m 2 .day).
  • the water permeability can be measured according to the ASTM F1249 method entitled "Standard Test Method for Water Vapor Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Modulated Infrared Sensor".
  • each micrometric-sized optical element corresponds to a micrometric-sized lens, or microlens, composed of of two dioptres.
  • each optical element of micrometric size being able to correspond, for example, to a Fresnel lens of micrometric size, to a lens with a gradient index of micrometric size or to a diffraction grating of micrometric size.
  • visible light is called electromagnetic radiation whose wavelength is between 400 nm and 700 nm and infrared radiation is called electromagnetic radiation whose wavelength is between 700 nm and 1 mm.
  • infrared radiation one distinguishes in particular near infrared radiation, the wavelength of which is between 700 nm and 1.7 ⁇ m.
  • a manufacturing step is assimilated to the structure obtained at the end of this step.
  • Figure 1 illustrates by a sectional view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system.
  • the acquisition system 1 comprises from top to bottom: a light source 11 which emits radiation 13; an object 15; an optical filter 17; and an image sensor 19, for example a complementary Metal-Oxide semiconductor CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) sensor or a sensor based on thin film transistors (TFT, Thin Film Transistor), which can be coupled to inorganic photodiodes (crystalline silicon for a CMOS sensor or amorphous silicon for a TFT sensor) or organic.
  • CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor
  • TFT Thin Film Transistor
  • the image acquisition system 1 further comprises circuits, not shown, for processing the signals supplied by the image sensor 19, comprising, for example, a microprocessor.
  • the light source 11 is illustrated above the object 15. It can however, as a variant, be located between the object 15 and the optical filter 17.
  • the radiation 13 is, for example, in the visible range and / or in the infrared range. It may be radiation of a single wavelength or radiation of several wavelengths (or range of wavelengths).
  • the photodiodes of the image sensor 19 generally form a pixel network. Each photodiode defines a pixel of the image sensor 19. Within the array, the photodiodes are, for example, aligned in rows and columns.
  • Some of the photodiodes of the network are generally used as a reference in order to detect and record only the noise of the sensor 19 and of its electronics. The noise is then deduced from the signals picked up by the other photodiodes of the sensor 19 in order to correct them. For this, the incident radiation at the reference photodiodes is generally cut (absorbed or reflected) by an opaque mask
  • the mask is generally positioned next to the optical filter 17, that is to say it covers the sensor 19 outside the optical filter.
  • the mask is generally coplanar with the optical filter 17.
  • pixel is used to denote a photodiode
  • reference pixel to denote a photodiode receiving no usable light radiation
  • useful pixel to denote a pixel which provides a useful signal of the captured image
  • FIG. 2 illustrates by a top view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system 1. More particularly, FIG. 2 illustrates an example of distribution of useful pixels 21 and of reference pixels 23 within an image acquisition system 1.
  • the pixels 21 and 23 are preferably aligned in rows and columns.
  • the pixels 21 and 23 are, for example, organized in about 2500 rows and about 1300 columns for an imager having a resolution of 500 dpi (ie a pixel pitch of 50.8 ⁇ m).
  • the resolution of the imager can, for example, vary between 254 dpi (ie a pixel pitch of 100 ⁇ m) and 1000 dpi (ie a pixel pitch of 25 ⁇ m).
  • the pixels 21 and 23 are organized in the network so that at least one reference pixel 23 is present per line.
  • the reference pixels 23 are all aligned in the same columns. For example, between about 4 columns and about 64 columns include only reference 23 pixels. Preferably, between about 16 columns and about 32 columns include only 23 reference pixels.
  • the reference pixel columns 23 are all juxtaposed and located on one of the edges of the system 1 (to the left of the system 1 in the orientation of FIG. 2).
  • FIG. 3 illustrates, in a top view, partial and schematic, another embodiment of an image acquisition system.
  • the embodiment illustrated in Figure 3 is substantially identical to the embodiment illustrated in Figure 2 with the difference that the reference pixel columns 23 are located on the two edges of the system 1. De Preferably, the same number of reference pixel columns 23 are found in each edge of the system 1.
  • the electronic noise is detected by all the photodiodes of the reference pixels 23.
  • the electronic noise detected by photodiodes of the reference pixels 23 of the same row is averaged .
  • the average noise is then used to correct the useful signals detected by the photodiodes of the useful pixels 21 of the same line.
  • FIG. 4 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another embodiment of an image acquisition system.
  • the image acquisition system 1 illustrated in FIG. 4 comprises: an angular filter 17; and the image sensor 19 comprising photodiodes or photodetectors 191.
  • the angular filter 17 comprises from top to bottom in the orientation of Figure 4: a lens array 25; a substrate or support 27; and a first layer 29 of a first resin 31 comprising openings 33, or holes, and walls 35.
  • optical filter 17 constituting an angular filter.
  • these embodiments can be applied to other types of optical filters such as, for example, a Red Green Blue RGB (Red Green Blue) color filter.
  • Red Green Blue RGB Red Green Blue
  • the angular filter 17 is adapted to filter the incident radiation as a function of the incidence of the radiation relative to the optical axes 24 of the lenses 25.
  • the angular filter 17 is adapted so that each photodetector 191 of the image sensor 19 receives only the rays whose respective incidences with respect to the respective optical axes 24 of the lenses 25 associated with this photodetector 191 are less than a maximum angle of incidence of less than 45 °, preferably less than 30 °, more preferably less than 10 °, even more preferably less than 4 °.
  • the angular filter 17 is adapted to block the rays of the incident radiation whose respective incidences with respect to the optical axes 24 of the lenses 25 of the filter 17 are greater than the maximum angle of incidence.
  • Each opening 33 is preferably associated with a single lens 25.
  • the optical axes 24 of the lenses 25 are preferably centered with the centers of the openings 33 of the first layer 29.
  • the diameter of the lenses 25 is, preferably greater than the maximum size of the section (perpendicular to the optical axis of the lenses 25) of the apertures 33.
  • each photodetector 191 is shown associated with a single opening 33, the center of each detector 191 being centered with the center of the opening 33 with which it is associated.
  • the resolution of the angular filter 17 is at least twice the resolution of the image sensor 19.
  • the system comprises at least twice as many lenses 25 (or apertures 33) as photodetectors. 191.
  • a photodiode 191 (FIG. 4) is associated with at least two lenses 25 (or apertures 33).
  • the term “zone” denotes each part of the filter 17 comprising at least one lens 25 and the underlying layers. For example, an area is associated with a single pixel but a pixel is associated with at least two areas. Each zone has a surface substantially identical to the surface of the lens 25 associated with the zone.
  • the first zones correspond to the parts of the optical filter 17 facing the reference pixels 23 (FIGS. 2 and 3) and the second zones correspond to the parts of the optical filter 17 facing the useful pixels. 21 (figures 2 and 3).
  • the upper face of a structure or of a layer is considered, in the orientation of FIG. 4, as being the front face and the lower face of the structure or of the layer. , in the orientation of Figure 4, as the rear face.
  • Figures 5 to 7 illustrate, schematically and partially, successive steps of an example of a method of manufacturing an angular filter 17 according to a first embodiment.
  • FIG. 5 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 5 represents a starting structure comprising an array of first lenses 253 and of second coplanar lenses 251 and the substrate 27.
  • the substrate 27 can be made of a transparent polymer which does not absorb at least the wavelengths considered, here in the visible and infrared range.
  • This polymer can in particular be poly (ethylene terephthalate) PET, poly (methyl methacrylate) PMMA, a cyclic olefin polymer (COP), a polyimide (PI) or a polycarbonate (PC).
  • the thickness of the substrate 27 may, for example, vary from 1 to 100 ⁇ m, preferably between 20 and 100. mpi.
  • the substrate 27 can correspond to a color filter, to a polarizer, to a half-wave plate or to a quarter-wave plate.
  • the lenses or microlenses 251 and 253, on and in contact with the substrate 27, can be made of silica, of PMMA, of a positive photosensitive resin, of PET, of poly (ethylene naphthalate) (PEN), of COP, polydimethylsiloxane (PDMS) / silicone, epoxy resin or acrylate resin.
  • Microlenses 251 and 253 can be formed by creeping blocks of a photosensitive resin.
  • the microlenses 251 and 253 can further be formed by molding on a layer of PET, PEN, COP, PDMS / silicone, epoxy resin or acrylate resin.
  • Lenses 251 and 253 can be formed by printing.
  • the microlenses 251 and 253 are converging lenses each having a focal length f of between 1 ⁇ m and 100 ⁇ m, preferably between 20 ⁇ m and 70 ⁇ m.
  • the microlenses 251 and 253 are not identical. Indeed, the radius of curvature of the first lenses 253 is greater than the radius of curvature of the second lenses 251.
  • the height of the lenses 253 is, for example, less than the height of the lenses 251.
  • the first lenses 253 are assigned to the first zones 263 (reference zones) and the second lenses 251 are assigned to the second zones 261.
  • the radius of curvature of the first lenses 253 may be less than the radius of curvature of the second lenses 251.
  • the height of the lenses 253 is then, for example, greater than the height of the lenses 251.
  • FIG. 6 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 6 illustrates a step of depositing a film 37, on the front face of the structure illustrated in FIG. 5, and of the opaque layer 29 of the first resin 31 on the rear face of the same. structure.
  • the film 37 of a second material 38 allows to planarize the front face of the structure.
  • the film 37 also makes it possible to modify the focal length of the underlying lenses 251 and 253 in order to improve their convergence.
  • the film 37 is, for example, transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4) and has a refractive index different from the refractive index of air.
  • the film 37 can be obtained from an optically transparent adhesive (Optically Clear Adhesive - OCA), in particular an optically transparent liquid adhesive (Liquid Optically Clear Adhesive - LOCA), or from a material with a low refractive index, or d 'an epoxy / acrylate glue.
  • the film 37 conforms to the shape of the microlenses (251 and 253) and is made of the material 38 having a low refractive index, lower than that of the material of the microlenses 251 and 253.
  • the film 37 is, for example, deposited by centrifugation and then crosslinked by exposure to UV.
  • Layer 29 is, for example, deposited full wafer to a thickness of, for example, between approximately 1 ⁇ m and approximately 1 mm, preferably between approximately 12 ⁇ m and approximately 15 ⁇ m. Layer 29 is, for example, deposited by centrifugation, coating or printing.
  • the opaque layer 29 has, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
  • the resin 31 is a positive photosensitive resin, for example a colored or black DNQ-Novolac resin, or a DUV (Deep Ultraviolet) photosensitive resin.
  • DNQ-Novolak resins are based on a mixture of diazonaphthoquinone (DNQ) and a novolak resin (phenolformaldehyde resin).
  • DUV resins can include polymers based on polyhydroxystyrenes.
  • FIG. 7 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 7 illustrates a step of forming the openings 33, in the layer 29.
  • One embodiment of a method for manufacturing the openings 33 comprises the following steps: making the openings 33 in the layer 29 by exposure of the first resin 31 (photolithography), by its front face, by a light (UV ) collimated through the array of microlenses 251 and 253; and removing, by development, the exposed portions of the resin 31.
  • the microlenses 251 and 253 and the substrate 27 are preferably made of transparent materials over the range of wavelengths corresponding to the wavelengths used during the exposure.
  • the first microlenses 253 and the second microlenses 251 do not have the same effects, during exposure, on the incident rays of light. Indeed, the second microlenses 251 are sized (height, radius of curvature and focal length) so that the emerging rays converge (focus) at a point in the layer 29.
  • the first lenses 253 are on the other hand sized so that the emerging rays converge in one point outside the layer 29. This difference in focusing is essentially due to the difference between the radii of curvature of the first 253 and second 251 lenses.
  • the first resin 31 is positive, that is to say that the part exposed to UV becomes soluble in a developer. More particularly, a minimum dose of UV absorbed locally by the resin 31, during the exposure time, is necessary so that the resin can be dissolved by the developer.
  • the dose of UV absorbed, during the exposure, by the part of the layer 29 underlying the first lenses 253 is different from the dose of UV absorbed, during exposure, by the part of the layer 29 underlying the second lenses 251.
  • the exposure time is, in the embodiment of FIG. 7, defined so that: the UV dose absorbed by the parts of the layer 29 underlying the second lenses 251 reaches the minimum dose; and the UV dose absorbed by the portions of the layer 29 underlying the first lenses 253 does not reach the minimum dose.
  • the openings 33 are, for example, formed in the layer 29 only in the parts underlying the second lenses 251, that is to say in the second zones 261.
  • the second zones 261 are thus transparent.
  • the parts of the layer 29 underlying the first lenses 253, that is to say the parts of the layer 29 of the first zones 263, are preferably solid and opaque.
  • the openings 33 are shown with a cross section by a view in trapezoidal section.
  • the cross section of the openings 33 seen in section, can be square, triangular or rectangular.
  • the cross section of the openings 33 viewed from above, may be circular, oval or polygonal, for example triangular, square or rectangular.
  • the cross section of the openings 33 viewed from above, is preferably circular.
  • the openings 33 can have substantially the same dimensions. Called “w" the width or diameter of the openings 33 (measured at the base of the openings, that is to say at the interface with the substrate 27).
  • the width w can vary from 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the width w is preferably between 5 ⁇ m and 20 ⁇ m, for example equal to approximately 10 ⁇ m.
  • FIGS. 8 to 11 schematically and partially illustrate successive steps of an example of the method of manufacturing an angular filter 17 according to a second embodiment.
  • the second mode of implementation differs from the first mode of implementation in that the first zones 263 are made opaque thanks to the formation of a second opaque layer 39 facing the corresponding lenses 25. , on the rear face of the structure, in the openings 33.
  • the lenses 25 are, in the second embodiment, all identical to the second lenses 251 of the first embodiment.
  • FIG. 8 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 8 illustrates a starting structure identical to the starting structure of the method according to the first embodiment (FIG. 5) with the difference that all the lenses 25 are substantially identical.
  • FIG. 9 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 9 illustrates a step of depositing the film 37 on the front face of the structure illustrated in FIG. 8 and of forming the layer 29 of the first resin 31, comprising the matrix of openings 33, on the rear face of the starting structure illustrated in FIG. 8.
  • This step is substantially identical to all the steps of FIGS. 6 and 7 of the first embodiment, with the difference that, in the second embodiment work, an opening 33 is formed vis-à-vis each lens 25.
  • FIG. 10 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 10 illustrates a step of forming the second layer 39 of a first material 41 on the rear face of the structure, obtained at the end of the steps of FIGS. 8 and 9.
  • each opening 33 of the first zones 263 comprises a part 39 'of the second layer 39.
  • the material 41 is an opaque material having, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
  • the material 41 is, for example, a metal or an ink.
  • the material 41 can be based on silver, copper or graphene.
  • the material 41 can be based on metallic nanoparticles or on dyes (dye).
  • the material 41 is, for example, of the same composition as the first resin 31.
  • Layer 39 is, for example, deposited by an inkjet technique, by screen printing, by a localized deposition technique assisted by syringe, by flexography, by heliography or by a printing technique by vaporization.
  • Layer 39 is, for example, deposited by centrifugation and then exposed (photolithography) and developed so that only the parts 39 'remain.
  • the second layer 39 can be produced before the production of the layer 29.
  • the parts 39 ' are thus produced locally facing the lenses 25 of the first zone 263 on the rear face of the substrate 27.
  • Each part 39 'of the second layer 39 extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 with which the part 39 'is associated.
  • Layer 29 is then formed and covers either parts 39 'or the rear face of substrate 27 between parts 39'.
  • the step of producing the openings 33 is similar to the step described in relation to FIG. 9. In view of the opacity of the layer 39, the structure obtained at the end of this step is not similar to the structure illustrated in FIG. 9. In fact, openings 33 are formed only vis-à-vis the lenses 25 of the second zones 261.
  • FIG. 11 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 11 illustrates a step of forming a third layer 43, in a third material 44, on the rear face of the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 8 to 10.
  • the openings 33 which are not filled are filled in by the layer 39 of air or of a filling material, at least partially transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4), for example PDMS.
  • the openings 33 can be filled with a partially absorbent material in order to chromatically filter the rays filtered angularly by the angular filter 17.
  • the rear face of the structure is fully covered with the third layer 43.
  • the third layer 43 In other words, it is covered. the first layer 29, the second layer 39 and possibly the filling material by the third layer 43.
  • the lower face of the third layer 43 (in the orientation of FIG. 11) is, following this step, substantially plane.
  • the openings 33 are filled in by the third layer 43 if the step of filling the openings 33 has not been carried out beforehand.
  • the material 44 of the layer 43 is preferably at least partially transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4).
  • the material 44 is, for example, based on PDMS, an epoxy adhesive, an acrylate or a resin known under the trade name SU8.
  • the filling material, used during the optional filling of the openings 33, and the material 44 of the layer 43 can be of the same composition or of different compositions.
  • the second layer 39 is formed after the optional step of filling the openings 33 and before the step of depositing the third layer 43.
  • the parts 39 'of the layer 39 are formed locally facing the lenses 25 of the first zones 263 on the rear face of the openings 33.
  • Each part 39 'of the second layer 39 extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 to which part 39 'is associated.
  • FIGS. 12 to 15 schematically and partially illustrate successive steps of an example of the method of manufacturing an angular filter 17 according to a third embodiment.
  • the third mode of implementation differs from the second mode of implementation in that the first zones 263 are made opaque thanks to the formation of the second opaque layer 39, facing the lenses 25 of the first zones 263, on the front face of the structure.
  • FIG. 12 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17. More particularly, FIG. 12 illustrates a starting structure identical to the starting structure of the method according to the second embodiment shown in FIG. 8.
  • FIG. 13 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 13 represents a step of depositing the film 37 on the front face of the structure illustrated in FIG. 12 and of forming the first layer 29, of the first resin 31, comprising the matrix of openings 33. on the rear face of the starting structure illustrated in figure 12.
  • This step is substantially identical to the step illustrated in FIG. 9 of the method according to the second embodiment.
  • FIG. 14 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 14 illustrates a step of depositing the second layer 39, of the first material 41, on the film 37, on the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 12 and 13, opposite. -vis of the lenses 25 of the first zones 263.
  • the second layer 39 is formed, in the first material 41, on the front face of the film 37, opposite each lens 25 of the first zone 263.
  • the second layer 39 is not continuous but is divided into parts 39 '.
  • Each part 39 ′ is located opposite a lens 25 of first zone 263.
  • Each part 39 ′ extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 with which said part 39 ′ is associated.
  • Material 41 is an opaque material having, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
  • the material 41 is, for example, similar to the material 41 of the second embodiment (FIG. 10).
  • Layer 39 is, for example, produced in the same way as layer 39 of the second embodiment.
  • FIG. 15 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • FIG. 15 illustrates a step of forming the third layer 43, in the third material 44, on the rear face of the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 12 to 14.
  • This step is substantially identical to the step illustrated in FIG. 11 of the method according to the second embodiment.
  • FIG. 16 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a fourth embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
  • the fourth embodiment differs from the third embodiment in that the first zones 263 are made opaque by the deterioration of the first lenses 253 which are associated therewith. There is therefore no second layer (39, figure 14).
  • the first lenses 253 are damaged.
  • the deterioration of the lenses 253 involves a modification of their optical properties and in particular of the opacity.
  • the deterioration is, for example, carried out by a laser 45 chosen to make the illuminated lenses opaque (material sensitive to a particular wavelength or to a particular energy level of the laser).
  • the deterioration is carried out on each first lens 253 and on the entire surface thereof.
  • the deterioration is carried out, on each first lens 253, locally on a surface lower than its surface.
  • the deterioration surface is, for example, centered on the optical axis of the lens 253 considered.
  • the first lenses 253 have, locally or entirely, a transmittance of less than about 0.1%, preferably less than about 0.00001%.
  • the substrate 27 is damaged by laser entirely or locally in relation to the first lenses 253.
  • the deterioration can be carried out before or after formation of the layer 29.
  • an additional step can be provided in which the third layer 43 is deposited on the rear face of the structure similarly to the step illustrated in FIG. 15 of the method according to third embodiment.
  • An advantage of the embodiments described is that they make it possible to integrate an opaque mask into the filter. angular. This makes it possible in particular to overcome the distance separating the mask from the optical filter while reducing the cost of manufacturing image acquisition systems. Indeed, the combination of the mask and the optical filter allows the reduction of the number of steps in the assembly process of the optical system.
  • optical filters formed are compatible with the usual image sensors.

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Abstract

The present description relates to an optical filter (17) for an image sensor, comprising first opaque regions (263), each of which has a surface equal to the surface of at least one first lens (253) included in this same first region (263).

Description

DESCRIPTION DESCRIPTION
Filtre optique adapté pour corriger le bruit électronique d'un capteur Optical filter adapted to correct the electronic noise of a sensor
La présente demande de brevet revendique la priorité de la demande de brevet français FR19/14198 qui sera considérée comme faisant partie intégrante de la présente description. The present patent application claims the priority of the French patent application FR19 / 14198 which will be considered as forming an integral part of the present description.
Domaine technique Technical area
[0001] La présente description concerne un système d'acquisition d'images. The present description relates to an image acquisition system.
Technique antérieure Prior art
[0002] Un système d'acquisition d'images comprend généralement un capteur d'images et un système optique interposé entre la partie sensible du capteur d'images et l'objet à imager et qui permet de former une image nette de l'objet à imager sur la partie sensible du capteur d'images. Le système optique peut être un filtre optique et plus particulièrement un filtre angulaire. An image acquisition system generally comprises an image sensor and an optical system interposed between the sensitive part of the image sensor and the object to be imaged and which makes it possible to form a clear image of the object to be imaged on the sensitive part of the image sensor. The optical system can be an optical filter and more particularly an angular filter.
[0003] Un filtre angulaire est un dispositif permettant de filtrer un rayonnement incident en fonction de l'incidence de ce rayonnement et ainsi bloquer les rayons dont l'incidence est supérieure à un angle souhaité, dit d'incidence maximale. An angular filter is a device making it possible to filter incident radiation as a function of the incidence of this radiation and thus block the rays whose incidence is greater than a desired angle, called maximum incidence.
[0004] Cela permet d'éviter les phénomènes d'éclairement parasites (crosstalk) entre pixels. [0004] This makes it possible to avoid parasitic illumination phenomena (crosstalk) between pixels.
Résumé de l'invention Summary of the invention
[0005] Il existe un besoin d'amélioration des systèmes d'acquisition d'images. [0005] There is a need to improve image acquisition systems.
[0006] Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des systèmes d'acquisition d'images. [0006] One embodiment overcomes all or part of the drawbacks of image acquisition systems.
[0007] Un mode de réalisation prévoit un filtre optique pour capteur d'images comprenant des premières zones, opaques, chaque première zone occupant une surface égale à la surface d'au moins une première lentille comprise dans cette première zone. [0007] One embodiment provides an optical filter for an image sensor comprising first, opaque zones, each first zone occupying a surface area equal to the surface area. at least a first lens included in this first zone.
[0008] Un mode de réalisation prévoit un filtre optique pour capteur d'images comprenant : un réseau de lentilles constitué de premières et de deuxièmes lentilles juxtaposées et situé coté première face d'un substrat, les premières lentilles étant comprises dans des premières zones opaques et les deuxièmes lentilles étant comprises dans des deuxièmes zones, chaque première zone occupant une surface égale à la surface d'au moins une première lentille comprise dans cette première zone ; des ouvertures, coté deuxième face dudit substrat, au moins en vis-à-vis des deuxièmes lentilles ; et une couche opaque en vis-à-vis des premières lentilles coté deuxième face dudit substrat. [0008] One embodiment provides for an optical filter for an image sensor comprising: an array of lenses consisting of first and second lenses juxtaposed and located on the first face of a substrate, the first lenses being included in first opaque zones and the second lenses being included in second zones, each first zone occupying an area equal to the area of at least one first lens included in this first zone; openings, on the second face side of said substrate, at least facing the second lenses; and an opaque layer facing the first lenses on the second face side of said substrate.
[0009] Selon un mode de réalisation, la transmittance des premières zones est inférieure à environ 0,1 %, de préférence inférieure à environ 0,00001 %. [0009] According to one embodiment, the transmittance of the first zones is less than approximately 0.1%, preferably less than approximately 0.00001%.
[0010] Selon un mode de réalisation, le filtre optique comprend des deuxièmes zones, transparentes, chaque deuxième zone occupant une surface égale à la surface d'au moins une deuxième lentille comprise dans cette deuxième zone. [0010] According to one embodiment, the optical filter comprises second areas, transparent, each second area occupying an area equal to the area of at least one second lens included in this second area.
[0011] Selon un mode de réalisation, les premières lentilles et les deuxièmes lentilles sont coplanaires. [0011] According to one embodiment, the first lenses and the second lenses are coplanar.
[0012] Selon un mode de réalisation, les premières zones et les deuxièmes zones sont juxtaposées et organisées en lignes et en colonnes. [0012] According to one embodiment, the first zones and the second zones are juxtaposed and organized in rows and columns.
[0013] Selon un mode de réalisation, les premières zones sont organisées en colonnes qui sont adjacentes et situées sur un des bords du filtre. [0014] Selon un mode de réalisation, les premières zones sont organisées en colonnes qui sont réparties sur deux bords du filtre . [0013] According to one embodiment, the first zones are organized in columns which are adjacent and located on one of the edges of the filter. [0014] According to one embodiment, the first zones are organized in columns which are distributed over two edges of the filter.
[0015] Selon un mode de réalisation, le rayon de courbure des premières lentilles est inférieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles. [0015] According to one embodiment, the radius of curvature of the first lenses is less than the radius of curvature of the second lenses.
[0016] Selon un mode de réalisation, le rayon de courbure des premières lentilles est supérieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles. According to one embodiment, the radius of curvature of the first lenses is greater than the radius of curvature of the second lenses.
[0017] Selon un mode de réalisation, le filtre optique comprend successivement : un réseau de lentilles, constitué des premières et deuxièmes lentilles juxtaposées, situé coté première face d'un substrat ; et une première couche, coté deuxième face dudit substrat, pleine en vis-à-vis des premières lentilles et comprenant des ouvertures en vis-à-vis des deuxièmes lentilles. According to one embodiment, the optical filter comprises successively: an array of lenses, consisting of the first and second juxtaposed lenses, located on the first face side of a substrate; and a first layer, on the second face side of said substrate, solid facing the first lenses and comprising openings facing the second lenses.
[0018] Selon un mode de réalisation, le filtre optique comprend successivement : un réseau de lentilles, situé coté première face d'un substrat ; une première couche comprenant une matrice d'ouvertures coté deuxième face dudit substrat ; et une deuxième couche opaque, dans chaque première zone. According to one embodiment, the optical filter comprises successively: an array of lenses, located on the first face side of a substrate; a first layer comprising a matrix of openings on the second face of said substrate; and a second opaque layer, in each first area.
[0019] Selon un mode de réalisation, le filtre optique comprend successivement : un réseau de lentilles, constitué des premières lentilles localement détériorées et des deuxièmes lentilles juxtaposées, situé coté première face d'un substrat ; et une première couche comprenant une matrice d'ouvertures coté deuxième face dudit substrat. [0020] Un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication du filtre optique, comprenant entre autres, les étapes suivantes : former, par impression, le réseau de lentilles coté première face du substrat ; déposer une première couche d'une résine photosensible coté deuxième face du substrat ; et réaliser des ouvertures, dans la première couche, par photolithographie à travers les lentilles. According to one embodiment, the optical filter comprises successively: a lens array, consisting of the first locally deteriorated lenses and the second juxtaposed lenses, located on the first face of a substrate; and a first layer comprising a matrix of openings on the second face of said substrate. One embodiment provides a method of manufacturing the optical filter, comprising among others the following steps: forming, by printing, the lens array on the first face of the substrate; depositing a first layer of a photosensitive resin on the second side of the substrate; and making openings in the first layer by photolithography through the lenses.
[0021] Selon un mode de réalisation, la deuxième couche est formée dans les ouvertures dans les premières zones ou coté première ou deuxième face desdites ouvertures. According to one embodiment, the second layer is formed in the openings in the first zones or on the first or second face of said openings.
[0022] Selon un mode de réalisation, la deuxième couche est formée dans les premières zones. [0022] According to one embodiment, the second layer is formed in the first zones.
[0023] Selon un mode de réalisation, les premières lentilles sont partiellement détériorées par un laser. [0023] According to one embodiment, the first lenses are partially damaged by a laser.
[0024] Un mode de réalisation prévoit un système comprenant : un filtre optique pouvant être assimilé à un filtre angulaire ; une source d'un rayonnement ; et un capteur d'images comprenant des photodétecteurs adaptés à détecter ledit rayonnement. One embodiment provides a system comprising: an optical filter which can be likened to an angular filter; a source of radiation; and an image sensor comprising photodetectors adapted to detect said radiation.
[0025] Un mode de réalisation prévoit un capteur d'empreintes digitales comprenant un système tel que décrit. [0025] One embodiment provides for a fingerprint sensor comprising a system as described.
Brève description des dessins Brief description of the drawings
[0026] Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : These characteristics and advantages, as well as others, will be explained in detail in the following description of particular embodiments made without limitation in relation to the accompanying figures, among which:
[0027] la figure 1 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, un mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images ; [0028] la figure 2 illustre par une vue de dessus, partielle et schématique, un mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images ; Figure 1 illustrates by a sectional view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system; [0028] FIG. 2 illustrates by a top view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system;
[0029] la figure 3 illustre par une vue de dessus, partielle et schématique, un autre mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images ; [0029] FIG. 3 illustrates, in a top view, partial and schematic, another embodiment of an image acquisition system;
[0030] la figure 4 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore un autre mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images ; [0030] FIG. 4 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another embodiment of an image acquisition system;
[0031] la figure 5 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape d'un premier mode de mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 5 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a first embodiment of a method for manufacturing an angular filter;
[0032] la figure 6 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du premier mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; [0032] FIG. 6 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter;
[0033] la figure 7 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore une autre étape du premier mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 7 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter;
[0034] la figure 8 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape d'un deuxième mode de mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 8 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a second embodiment of a method for manufacturing an angular filter;
[0035] la figure 9 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; Figure 9 illustrates by a sectional view, partial and schematic, another step of the second embodiment of the manufacturing process of an angular filter;
[0036] la figure 10 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 10 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter;
[0037] la figure 11 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; Figure 11 illustrates by a sectional view, partial and schematic, yet another step of the second mode of implementation of the method for manufacturing an angular filter;
[0038] la figure 12 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape d'un troisième mode de mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 12 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a third embodiment of a method for manufacturing an angular filter;
[0039] la figure 13 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 13 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter;
[0040] la figure 14 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; FIG. 14 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter;
[0041] la figure 15 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, encore une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire ; et FIG. 15 illustrates, in a partial and schematic sectional view, yet another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter; and
[0042] la figure 16 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape d'un quatrième mode de mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'un filtre angulaire.FIG. 16 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a fourth embodiment of a method for manufacturing an angular filter.
Description des modes de réalisation Description of the embodiments
[0043] De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. The same elements have been designated by the same references in the various figures. In particular, the structural and / or functional elements common to the different embodiments may have the same references and may have identical structural, dimensional and material properties.
[0044] Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, la réalisation du capteur d'images et des autres éléments que le filtre angulaire n'ont pas été détaillés, les modes de réalisation et les modes de mise en oeuvre décrits étant compatibles avec les réalisations usuelles du capteur et de ces autres éléments. For the sake of clarity, only the steps and elements useful for understanding the embodiments described have been shown and are detailed. In particular, the embodiment of the image sensor and of the elements other than the angular filter have not been detailed, the embodiments and the embodiments described being compatible with the usual embodiments of the sensor and of these other elements.
[0045] Sauf précision contraire, lorsque l'on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l'on fait référence à deux éléments reliés (en anglais "coupled") entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l'intermédiaire d'un ou plusieurs autres éléments. Unless otherwise specified, when referring to two elements connected together, this means directly connected without intermediate elements other than conductors, and when referring to two connected elements (in English "coupled") between them, this means that these two elements can be connected or be linked through one or more other elements.
[0046] Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des figures. In the following description, when reference is made to absolute position qualifiers, such as the terms "front", "rear", "top", "bottom", "left", "right", etc., or relative, such as the terms "above", "below", "upper", "lower", etc., or to orientation qualifiers, such as the terms "horizontal", "vertical", etc. ., Reference is made unless otherwise specified in the orientation of the figures.
[0047] Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. Unless otherwise specified, the expressions "approximately", "approximately", "substantially", and "of the order of" mean within 10%, preferably within 5%.
[0048] Dans la suite de la description, sauf précision contraire, une couche ou un film est dit opaque à un rayonnement lorsque la transmittance du rayonnement au travers de la couche ou du film est inférieure à 10 %. Dans la suite de la description, une couche ou un film est dit transparent à un rayonnement lorsque la transmittance du rayonnement au travers de la couche ou du film est supérieure à 10 %. Selon un mode de réalisation, pour un même système optique, tous les éléments du système optique qui sont opaques à un rayonnement ont une transmittance qui est inférieure à la moitié, de préférence inférieure au cinquième, plus préférentiellement inférieure au dixième, de la transmittance la plus faible des éléments du système optique transparents audit rayonnement. Dans la suite de la description, on appelle "rayonnement utile" le rayonnement électromagnétique traversant le système optique en fonctionnement. Dans la suite de la description, on appelle "élément optique de taille micrométrique" un élément optique formé sur une face d'un support dont la dimension maximale, mesurée parallèlement à ladite face, est supérieure à 1 pm et inférieure à 1 mm. Dans la suite de la description, un film ou une couche est dit étanche à l'oxygène lorsque la perméabilité du film ou de la couche à l'oxygène à 40 °C est inférieure à 1.10_1cm3/(m2.jour) La perméabilité à l'oxygène peut être mesurée selon la méthode ASTM D3985 intitulée "Standard Test Method for Oxygen Gas Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Coulometric Sensor". Dans la suite de la description, un film ou une couche est dit étanche à l'eau lorsque la perméabilité du film ou de la couche à l'eau à 40 °C est inférieure à 1.1CD 1g/(m2.jour). La perméabilité à l'eau peut être mesurée selon la méthode ASTM F1249 intitulée "Standard Test Method for Water Vapor Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Modulated Infrared Sensor". In the remainder of the description, unless otherwise specified, a layer or a film is said to be opaque to radiation when the transmittance of the radiation through the layer or the film is less than 10%. In the remainder of the description, a layer or a film is said to be transparent to radiation when the transmittance of the radiation through the layer or the film is greater than 10%. According to one embodiment, for the same optical system, all the elements of the optical system which are opaque to radiation have a transmittance which is less than half, preferably less than a fifth, more preferably less than a tenth, of the highest transmittance. weaker transparent optical system elements said radiation. In the remainder of the description, the electromagnetic radiation passing through the optical system in operation is called “useful radiation”. In the remainder of the description, an optical element formed on one face of a support, the maximum dimension of which, measured parallel to said face, is greater than 1 μm and less than 1 mm, is called “optical element of micrometric size”. In the remainder of the description, a film or a layer is said to be impervious to oxygen when the permeability of the film or of the layer to oxygen at 40 ° C. is less than 1.10 _1 cm 3 / (m 2 .day) The oxygen permeability can be measured according to the ASTM D3985 method entitled "Standard Test Method for Oxygen Gas Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Coulometric Sensor". In the remainder of the description, a film or a layer is said to be waterproof when the permeability of the film or of the layer to water at 40 ° C. is less than 1.1CD 1 g / (m 2 .day). The water permeability can be measured according to the ASTM F1249 method entitled "Standard Test Method for Water Vapor Transmission Rate Through Plastic Film and Sheeting Using a Modulated Infrared Sensor".
[0049] Des modes de réalisation de systèmes optiques vont maintenant être décrits pour des systèmes optiques comprenant une matrice d'éléments optiques à taille micrométrique dans le cas où chaque élément optique à taille micrométrique correspond à une lentille à taille micrométrique, ou microlentille, composée de deux dioptres. Toutefois, il est clair que ces modes de réalisation peuvent également être mis en oeuvre avec d'autres types d'éléments optiques de taille micrométrique, chaque élément optique de taille micrométrique pouvant correspondre, par exemple, à une lentille de Fresnel de taille micrométrique, à une lentille à gradient d'indice de taille micrométrique ou à un réseau de diffraction de taille micrométrique. [0050] Dans la suite de la description, on appelle lumière visible un rayonnement électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise entre 400 nm et 700 nm et on appelle rayonnement infrarouge un rayonnement électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise entre 700 nm et 1 mm. Dans le rayonnement infrarouge, on distingue notamment le rayonnement infrarouge proche dont la longueur d'onde est comprise entre 700 nm et 1,7 pm. [0049] Embodiments of optical systems will now be described for optical systems comprising a matrix of micrometric-sized optical elements in the case where each micrometric-sized optical element corresponds to a micrometric-sized lens, or microlens, composed of of two dioptres. However, it is clear that these embodiments can also be implemented with other types of optical elements of micrometric size, each optical element of micrometric size being able to correspond, for example, to a Fresnel lens of micrometric size, to a lens with a gradient index of micrometric size or to a diffraction grating of micrometric size. In the remainder of the description, visible light is called electromagnetic radiation whose wavelength is between 400 nm and 700 nm and infrared radiation is called electromagnetic radiation whose wavelength is between 700 nm and 1 mm. In infrared radiation, one distinguishes in particular near infrared radiation, the wavelength of which is between 700 nm and 1.7 μm.
[0051] Pour simplifier la description, sauf précision contraire, on assimile une étape de fabrication à la structure obtenue à l'issue de cette étape. To simplify the description, unless otherwise specified, a manufacturing step is assimilated to the structure obtained at the end of this step.
[0052] La figure 1 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, un mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images. Figure 1 illustrates by a sectional view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system.
[0053] Le système d'acquisition 1 comprend de haut en bas : une source lumineuse 11 qui émet un rayonnement 13 ; un objet 15 ; un filtre optique 17 ; et un capteur d'images 19, par exemple un capteur Metal- Oxyde semiconducteur complémentaire CMOS (Complementary Métal Oxide Semiconductor) ou un capteur à base de transistors en couches minces (TFT, Thin Film Transistor), qui peut être couplé à des photodiodes inorganiques (silicium cristallin pour un capteur CMOS ou silicium amorphe pour un capteur TFT) ou organiques. The acquisition system 1 comprises from top to bottom: a light source 11 which emits radiation 13; an object 15; an optical filter 17; and an image sensor 19, for example a complementary Metal-Oxide semiconductor CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) sensor or a sensor based on thin film transistors (TFT, Thin Film Transistor), which can be coupled to inorganic photodiodes (crystalline silicon for a CMOS sensor or amorphous silicon for a TFT sensor) or organic.
[0054] Le système d'acquisition d'images 1 comprend, en outre, des circuits non représentés de traitement des signaux fournis par le capteur d'images 19, comprenant, par exemple, un microprocesseur . The image acquisition system 1 further comprises circuits, not shown, for processing the signals supplied by the image sensor 19, comprising, for example, a microprocessor.
[0055] La source lumineuse 11 est illustrée au dessus de l'objet 15. Elle peut toutefois, en variante, être située entre l'objet 15 et le filtre optique 17. [0056] Le rayonnement 13 est, par exemple, dans le domaine du visible et/ou dans le domaine de l'infrarouge. Il peut s'agir d'un rayonnement d'une unique longueur d'onde ou d'un rayonnement de plusieurs longueurs d'onde (ou plage de longueurs d'onde). The light source 11 is illustrated above the object 15. It can however, as a variant, be located between the object 15 and the optical filter 17. The radiation 13 is, for example, in the visible range and / or in the infrared range. It may be radiation of a single wavelength or radiation of several wavelengths (or range of wavelengths).
[0057] Les photodiodes du capteur d'images 19 forment, généralement, un réseau pixelisé. Chaque photodiode définit un pixel du capteur d'images 19. Au sein du réseau, les photodiodes sont, par exemple, alignées en lignes et en colonnes . The photodiodes of the image sensor 19 generally form a pixel network. Each photodiode defines a pixel of the image sensor 19. Within the array, the photodiodes are, for example, aligned in rows and columns.
[0058] Certaines des photodiodes du réseau sont généralement utilisées comme référence afin de détecter et enregistrer uniquement le bruit du capteur 19 et de son électronique. Le bruit est ensuite déduit des signaux captés par les autres photodiodes du capteur 19 pour les corriger. Pour cela, le rayonnement incident aux photodiodes de référence est, généralement, coupé (absorbé ou réfléchi) par un masque opaqueSome of the photodiodes of the network are generally used as a reference in order to detect and record only the noise of the sensor 19 and of its electronics. The noise is then deduced from the signals picked up by the other photodiodes of the sensor 19 in order to correct them. For this, the incident radiation at the reference photodiodes is generally cut (absorbed or reflected) by an opaque mask
[0059] Dans des réalisations classiques, le masque est, généralement, positionné à côté du filtre optique 17, c'est- à-dire qu'il recouvre le capteur 19 hors du filtre optique. Le masque est, généralement, coplanaire au filtre optique 17. In conventional embodiments, the mask is generally positioned next to the optical filter 17, that is to say it covers the sensor 19 outside the optical filter. The mask is generally coplanar with the optical filter 17.
[0060] Dans la suite de la description, on utilise le terme "pixel" pour désigner une photodiode, l'expression "pixel de référence" pour désigner une photodiode ne recevant aucun rayonnement lumineux exploitable et l'expression "pixel utile" pour désigner un pixel qui fournit un signal utile de l'image captée. In the remainder of the description, the term "pixel" is used to denote a photodiode, the term "reference pixel" to denote a photodiode receiving no usable light radiation and the term "useful pixel" to denote a pixel which provides a useful signal of the captured image.
[0061] La figure 2 illustre par une vue de dessus, partielle et schématique, un mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images 1. [0062] Plus particulièrement, la figure 2 illustre un exemple de distribution de pixels utiles 21 et de pixels de référence 23 au sein d'un système d'acquisition d'images 1. FIG. 2 illustrates by a top view, partial and schematic, an embodiment of an image acquisition system 1. More particularly, FIG. 2 illustrates an example of distribution of useful pixels 21 and of reference pixels 23 within an image acquisition system 1.
[0063] Les pixels 21 et 23 sont, de préférence, alignés en lignes et colonnes. Pour un système d'acquisition d'images 1 pouvant s'adapter, par exemple, sur un téléphone portable ayant un écran de 6 pouces (6 inches), les pixels 21 et 23 sont, par exemple, organisés en environ 2500 lignes et environ 1300 colonnes pour un imageur ayant une résolution de 500 dpi (soit un pas de pixel de 50,8 pm). La résolution de 1'imageur peut, par exemple, varier entre 254 dpi (soit un pas de pixel de 100 pm) et 1000 dpi (soit un pas de pixel de 25 pm). The pixels 21 and 23 are preferably aligned in rows and columns. For an image acquisition system 1 capable of fitting, for example, on a mobile phone having a 6 inch (6 inch) screen, the pixels 21 and 23 are, for example, organized in about 2500 rows and about 1300 columns for an imager having a resolution of 500 dpi (ie a pixel pitch of 50.8 μm). The resolution of the imager can, for example, vary between 254 dpi (ie a pixel pitch of 100 µm) and 1000 dpi (ie a pixel pitch of 25 µm).
[0064] Les pixels 21 et 23 sont organisés dans le réseau de sorte qu'au moins un pixel de référence 23 soit présent par ligne. Les pixels de référence 23 sont tous alignés dans des mêmes colonnes. Par exemple, entre environ 4 colonnes et environ 64 colonnes comprennent uniquement des pixels de référence 23. De préférence, entre environ 16 colonnes et environ 32 colonnes comprennent uniquement des pixels de référence 23. The pixels 21 and 23 are organized in the network so that at least one reference pixel 23 is present per line. The reference pixels 23 are all aligned in the same columns. For example, between about 4 columns and about 64 columns include only reference 23 pixels. Preferably, between about 16 columns and about 32 columns include only 23 reference pixels.
[0065] Dans le mode de réalisation illustré en figure 2, les colonnes de pixels de référence 23 sont toutes juxtaposées et situées sur un des bords du système 1 (à gauche du système 1 dans l'orientation de la figure 2). In the embodiment illustrated in FIG. 2, the reference pixel columns 23 are all juxtaposed and located on one of the edges of the system 1 (to the left of the system 1 in the orientation of FIG. 2).
[0066] La figure 3 illustre par une vue de dessus, partielle et schématique, un autre mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images. FIG. 3 illustrates, in a top view, partial and schematic, another embodiment of an image acquisition system.
[0067] Le mode de réalisation illustré en figure 3 est sensiblement identique au mode de réalisation illustré en figure 2 à la différence près que les colonnes de pixels de référence 23 sont situées sur les deux bords du système 1. De préférence, un même nombre de colonnes de pixels de référence 23 se trouve dans chaque bord du système 1. The embodiment illustrated in Figure 3 is substantially identical to the embodiment illustrated in Figure 2 with the difference that the reference pixel columns 23 are located on the two edges of the system 1. De Preferably, the same number of reference pixel columns 23 are found in each edge of the system 1.
[0068] Dans les modes de réalisation des figures 2 et 3, le bruit électronique est détecté par l'ensemble des photodiodes des pixels de référence 23. Le bruit électronique détecté par des photodiodes des pixels de référence 23 d'une même ligne est moyenné. Le bruit moyen est ensuite utilisé pour corriger les signaux utiles détectés par les photodiodes des pixels utiles 21 de la même ligne. In the embodiments of Figures 2 and 3, the electronic noise is detected by all the photodiodes of the reference pixels 23. The electronic noise detected by photodiodes of the reference pixels 23 of the same row is averaged . The average noise is then used to correct the useful signals detected by the photodiodes of the useful pixels 21 of the same line.
[0069] La figure 4 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, un autre mode de réalisation d'un système d'acquisition d'images. FIG. 4 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another embodiment of an image acquisition system.
[0070] Le système d'acquisition d'images 1 illustré en figure 4 comprend : un filtre angulaire 17 ; et le capteur d'images 19 comprenant des photodiodes ou photodétecteurs 191. The image acquisition system 1 illustrated in FIG. 4 comprises: an angular filter 17; and the image sensor 19 comprising photodiodes or photodetectors 191.
[0071] Le filtre angulaire 17 comprend de haut en bas dans l'orientation de la figure 4 : un réseau de lentilles 25 ; un substrat ou support 27 ; et une première couche 29 d'une première résine 31 comprenant des ouvertures 33, ou trous, et des murs 35. The angular filter 17 comprises from top to bottom in the orientation of Figure 4: a lens array 25; a substrate or support 27; and a first layer 29 of a first resin 31 comprising openings 33, or holes, and walls 35.
[0072] Les modes de réalisation décrits prennent pour exemple le cas d'un filtre optique 17 constituant un filtre angulaire. Toutefois, ces modes de réalisation peuvent s'appliquer à d'autres types de filtres optiques tel que, par exemple, un filtre couleur Rouge Vert Bleu RGB (Red Green Blue). The embodiments described take for example the case of an optical filter 17 constituting an angular filter. However, these embodiments can be applied to other types of optical filters such as, for example, a Red Green Blue RGB (Red Green Blue) color filter.
[0073] Le filtre angulaire 17 est adapté à filtrer le rayonnement incident en fonction de l'incidence du rayonnement par rapport aux axes optiques 24 des lentilles 25. Le filtre angulaire 17 est adapté à ce que chaque photodétecteur 191 du capteur d'images 19 reçoive seulement les rayons dont les incidences respectives par rapport aux axes optiques 24 respectifs des lentilles 25 associées à ce photodétecteur 191 sont inférieures à un angle d'incidence maximal inférieur à 45°, de préférence inférieur à 30°, plus préférentiellement inférieur à 10°, encore plus préférentiellement inférieur à 4°. Le filtre angulaire 17 est adapté à bloquer les rayons du rayonnement incident dont les incidences respectives par rapport aux axes optiques 24 des lentilles 25 du filtre 17 sont supérieures à l'angle d'incidence maximale. The angular filter 17 is adapted to filter the incident radiation as a function of the incidence of the radiation relative to the optical axes 24 of the lenses 25. The angular filter 17 is adapted so that each photodetector 191 of the image sensor 19 receives only the rays whose respective incidences with respect to the respective optical axes 24 of the lenses 25 associated with this photodetector 191 are less than a maximum angle of incidence of less than 45 °, preferably less than 30 °, more preferably less than 10 °, even more preferably less than 4 °. The angular filter 17 is adapted to block the rays of the incident radiation whose respective incidences with respect to the optical axes 24 of the lenses 25 of the filter 17 are greater than the maximum angle of incidence.
[0074] Chaque ouverture 33 est, de préférence, associée à une seule lentille 25. Les axes optiques 24 des lentilles 25 sont, de préférence, centrés avec les centres des ouvertures 33 de la première couche 29. Le diamètre des lentilles 25 est, de préférence, supérieur à la taille maximale de la section (perpendiculaire à l'axe optique des lentilles 25) des ouvertures 33. Each opening 33 is preferably associated with a single lens 25. The optical axes 24 of the lenses 25 are preferably centered with the centers of the openings 33 of the first layer 29. The diameter of the lenses 25 is, preferably greater than the maximum size of the section (perpendicular to the optical axis of the lenses 25) of the apertures 33.
[0075] Dans l'exemple de la figure 4, chaque photodétecteur 191 est représenté associé à une seule ouverture 33, le centre de chaque détecteur 191 étant centré avec le centre de l'ouverture 33 à laquelle il est associé. En pratique, la résolution du filtre angulaire 17 est au moins deux fois supérieure à la résolution du capteur d'images 19. En d'autres termes, le système comporte au moins deux fois plus de lentilles 25 (ou ouvertures 33) que de photodétecteurs 191. Ainsi, une photodiode 191 (figure 4) est associée à au moins deux lentilles 25 (ou ouvertures 33). In the example of Figure 4, each photodetector 191 is shown associated with a single opening 33, the center of each detector 191 being centered with the center of the opening 33 with which it is associated. In practice, the resolution of the angular filter 17 is at least twice the resolution of the image sensor 19. In other words, the system comprises at least twice as many lenses 25 (or apertures 33) as photodetectors. 191. Thus, a photodiode 191 (FIG. 4) is associated with at least two lenses 25 (or apertures 33).
[0076] Dans la présente description, on désigne par "zone", chaque partie du filtre 17 comprenant au moins une lentille 25 et les couches sous-jacentes. Par exemple, une zone est associée à un unique pixel mais un pixel est associé à au moins deux zones. [0077] Chaque zone a une surface sensiblement identique à la surface de la lentille 25 associée à la zone. De plus, des premières zones correspondent aux parties du filtre optique 17 en vis-à-vis des pixels de référence 23 (figures 2 et 3) et des deuxièmes zones correspondent aux parties du filtre optique 17 en vis-à-vis des pixels utiles 21 (figures 2 et 3). In the present description, the term “zone” denotes each part of the filter 17 comprising at least one lens 25 and the underlying layers. For example, an area is associated with a single pixel but a pixel is associated with at least two areas. Each zone has a surface substantially identical to the surface of the lens 25 associated with the zone. In addition, the first zones correspond to the parts of the optical filter 17 facing the reference pixels 23 (FIGS. 2 and 3) and the second zones correspond to the parts of the optical filter 17 facing the useful pixels. 21 (figures 2 and 3).
[0078] Dans la suite de la description, on considère la face supérieure d'une structure ou d'une couche, dans l'orientation de la figure 4, comme étant la face avant et la face inférieure de la structure ou de la couche, dans l'orientation de la figure 4, comme étant la face arrière. In the remainder of the description, the upper face of a structure or of a layer is considered, in the orientation of FIG. 4, as being the front face and the lower face of the structure or of the layer. , in the orientation of Figure 4, as the rear face.
[0079] Les figures 5 à 7 illustrent, de façon schématique et partielle, des étapes successives d'un exemple de procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17 selon un premier mode de mise en oeuvre. Figures 5 to 7 illustrate, schematically and partially, successive steps of an example of a method of manufacturing an angular filter 17 according to a first embodiment.
[0080] La figure 5 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape du premier mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. FIG. 5 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0081] Plus particulièrement, la figure 5 représente une structure de départ comprenant un réseau de premières lentilles 253 et de deuxièmes lentilles 251 coplanaires et le substrat 27. More particularly, FIG. 5 represents a starting structure comprising an array of first lenses 253 and of second coplanar lenses 251 and the substrate 27.
[0082] Le substrat 27 peut être en un polymère transparent qui n'absorbe pas au moins les longueurs d'onde considérées, ici dans le domaine du visible et de l'infrarouge. Ce polymère peut notamment être du poly(téréphtalate d'éthylène) PET, du poly (métacrylate de méthyle) PMMA, un polymère d'oléfinecyclique (COP), un polyimide (PI) ou un polycarbonate (PC). L'épaisseur du substrat 27 peut, par exemple, varier de 1 à 100 pm, de préférence entre 20 et 100 mpi. Le substrat 27 peut correspondre à un filtre coloré, à un polariseur, à une lame demi-onde ou à une lame quart d'onde. The substrate 27 can be made of a transparent polymer which does not absorb at least the wavelengths considered, here in the visible and infrared range. This polymer can in particular be poly (ethylene terephthalate) PET, poly (methyl methacrylate) PMMA, a cyclic olefin polymer (COP), a polyimide (PI) or a polycarbonate (PC). The thickness of the substrate 27 may, for example, vary from 1 to 100 µm, preferably between 20 and 100. mpi. The substrate 27 can correspond to a color filter, to a polarizer, to a half-wave plate or to a quarter-wave plate.
[0083] Les lentilles ou microlentilles 251 et 253, sur et en contact du substrat 27, peuvent être réalisées en silice, en PMMA, en une résine photosensible positive, en PET, en poly (naphtalate d'éthylène) (PEN), en COP, en polydiméthylsiloxane (PDMS)/silicone, en résine époxy ou en résine acrylate. Les microlentilles 251 et 253 peuvent être formées par fluage de blocs d'une résine photosensible. Les microlentilles 251 et 253 peuvent, en outre, être formées par moulage sur une couche de PET, PEN, COP, PDMS/silicone, de résine époxy ou de résine acrylate. Les lentilles 251 et 253 peuvent être formées par impression. The lenses or microlenses 251 and 253, on and in contact with the substrate 27, can be made of silica, of PMMA, of a positive photosensitive resin, of PET, of poly (ethylene naphthalate) (PEN), of COP, polydimethylsiloxane (PDMS) / silicone, epoxy resin or acrylate resin. Microlenses 251 and 253 can be formed by creeping blocks of a photosensitive resin. The microlenses 251 and 253 can further be formed by molding on a layer of PET, PEN, COP, PDMS / silicone, epoxy resin or acrylate resin. Lenses 251 and 253 can be formed by printing.
[0084] Les microlentilles 251 et 253 sont des lentilles convergentes ayant chacune une distance focale f comprise entre 1 pm et 100 pm, de préférence entre 20 pm et 70 pm. The microlenses 251 and 253 are converging lenses each having a focal length f of between 1 μm and 100 μm, preferably between 20 μm and 70 μm.
[0085] Dans le mode de réalisation illustré en figure 5, les microlentilles 251 et 253 ne sont pas identiques. En effet, le rayon de courbure des premières lentilles 253 est supérieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles 251. La hauteur des lentilles 253 est, par exemple, inférieure à la hauteur des lentilles 251. In the embodiment illustrated in FIG. 5, the microlenses 251 and 253 are not identical. Indeed, the radius of curvature of the first lenses 253 is greater than the radius of curvature of the second lenses 251. The height of the lenses 253 is, for example, less than the height of the lenses 251.
[0086] Les premières lentilles 253 sont affectées aux premières zones 263 (zones de référence) et les deuxièmes lentilles 251 sont affectées aux deuxièmes zones 261. The first lenses 253 are assigned to the first zones 263 (reference zones) and the second lenses 251 are assigned to the second zones 261.
[0087] Selon un autre mode de réalisation, non représenté, le rayon de courbure des premières lentilles 253, peut être inférieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles 251. La hauteur des lentilles 253 est alors, par exemple, supérieure à la hauteur des lentilles 251. [0088] La figure 6 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du premier mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. According to another embodiment, not shown, the radius of curvature of the first lenses 253 may be less than the radius of curvature of the second lenses 251. The height of the lenses 253 is then, for example, greater than the height of the lenses 251. FIG. 6 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0089] Plus particulièrement, la figure 6 illustre une étape de dépôt d'un film 37, sur la face avant de la structure illustrée en figure 5, et de la couche 29 opaque de la première résine 31 sur la face arrière de cette même structure. More particularly, FIG. 6 illustrates a step of depositing a film 37, on the front face of the structure illustrated in FIG. 5, and of the opaque layer 29 of the first resin 31 on the rear face of the same. structure.
[0090] On vient déposer le film 37 en un deuxième matériau 38 sur la face avant de la structure obtenue à l'issue de l'étape de la figure 5. Ce film 37 permet de planariser la face avant de la structure. Le film 37 permet, en outre de modifier la distance focale des lentilles 251 et 253 sous- jacentes afin d'améliorer leur convergence. Le film 37 est, par exemple, transparent aux rayonnements détectés par les photodétecteurs (191, figure 4) et a un indice de réfraction différent de l'indice de réfraction de l'air. Le film 37 peut être obtenu à partir d'un adhésif optiquement transparent (Optically Clear Adhesive - OCA), notamment un adhésif optiquement transparent liquide (Liquid Optically Clear Adhesive - LOCA), ou d'un matériau à bas indice de réfraction, ou d'une colle epoxy/acrylate. De préférence, le film 37 épouse la forme des microlentilles (251 et 253) et est en le matériau 38 ayant un bas indice de réfraction, inférieur à celui du matériau des microlentilles 251 et 253. We just deposit the film 37 of a second material 38 on the front face of the structure obtained at the end of the step of Figure 5. This film 37 allows to planarize the front face of the structure. The film 37 also makes it possible to modify the focal length of the underlying lenses 251 and 253 in order to improve their convergence. The film 37 is, for example, transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4) and has a refractive index different from the refractive index of air. The film 37 can be obtained from an optically transparent adhesive (Optically Clear Adhesive - OCA), in particular an optically transparent liquid adhesive (Liquid Optically Clear Adhesive - LOCA), or from a material with a low refractive index, or d 'an epoxy / acrylate glue. Preferably, the film 37 conforms to the shape of the microlenses (251 and 253) and is made of the material 38 having a low refractive index, lower than that of the material of the microlenses 251 and 253.
[0091] Le film 37 est, par exemple, déposé par centrifugation puis réticulé par une exposition aux UV. The film 37 is, for example, deposited by centrifugation and then crosslinked by exposure to UV.
[0092] La couche 29 est, par exemple, déposée pleine plaque sur une épaisseur comprise, par exemple, entre environ 1 pm et environ 1 mm, de préférence comprise entre environ 12 pm et environ 15 pm. La couche 29 est, par exemple, déposée par centrifugation, par enduction ou impression. [0093] La couche 29 opaque a, par exemple, une transmittance inférieure à environ 0,1 %, la transmittance étant, de préférence, inférieure à environ 0,00001 %. Layer 29 is, for example, deposited full wafer to a thickness of, for example, between approximately 1 μm and approximately 1 mm, preferably between approximately 12 μm and approximately 15 μm. Layer 29 is, for example, deposited by centrifugation, coating or printing. The opaque layer 29 has, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
[0094] Selon un mode de réalisation, la résine 31 est une résine photosensible positive, par exemple une résine DNQ- Novolaque colorée ou noire, ou une résine photosensible DUV (Deep Ultraviolet). Les résines DNQ-Novolaque sont basées sur un mélange de diazonaphtoquinone (DNQ) et d'une résine novolaque (résine de phénolformaldéhyde). Les résines DUV peuvent comprendre des polymères basés sur les polyhydroxystyrènes . According to one embodiment, the resin 31 is a positive photosensitive resin, for example a colored or black DNQ-Novolac resin, or a DUV (Deep Ultraviolet) photosensitive resin. DNQ-Novolak resins are based on a mixture of diazonaphthoquinone (DNQ) and a novolak resin (phenolformaldehyde resin). DUV resins can include polymers based on polyhydroxystyrenes.
[0095] La figure 7 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du premier mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. FIG. 7 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the first embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0096] Plus particulièrement, la figure 7 illustre une étape de formation des ouvertures 33, dans la couche 29. More particularly, FIG. 7 illustrates a step of forming the openings 33, in the layer 29.
[0097] Un mode de réalisation d'un procédé de fabrication des ouvertures 33 comprend les étapes suivantes : réaliser les ouvertures 33 dans la couche 29 par exposition de la première résine 31 (photolithographie), par sa face avant, par une lumière (UV) collimatée à travers le réseau de microlentilles 251 et 253 ; et retirer, par développement, les portions exposées de la résine 31. One embodiment of a method for manufacturing the openings 33 comprises the following steps: making the openings 33 in the layer 29 by exposure of the first resin 31 (photolithography), by its front face, by a light (UV ) collimated through the array of microlenses 251 and 253; and removing, by development, the exposed portions of the resin 31.
[0098] Selon ce mode de réalisation, les microlentilles 251 et 253 et le substrat 27 sont, de préférence, réalisés dans des matériaux transparents sur la plage de longueurs d'onde correspondant aux longueurs d'onde utilisées lors de 1'exposition. According to this embodiment, the microlenses 251 and 253 and the substrate 27 are preferably made of transparent materials over the range of wavelengths corresponding to the wavelengths used during the exposure.
[0099] Les premières microlentilles 253 et les deuxièmes microlentilles 251 n'ont pas les mêmes effets, lors de l'exposition, sur les rayons de lumière incidents. En effet, les deuxièmes microlentilles 251 sont dimensionnées (hauteur, rayon de courbure et distance focale) pour que les rayons émergents convergent (se focalisent) en un point dans la couche 29. Les premières lentilles 253 sont par contre dimensionnées pour que les rayons émergents convergent en un point en dehors de la couche 29. Cette différence de focalisation est essentiellement due à la différence entre les rayons de courbure des premières 253 et deuxièmes lentilles 251. The first microlenses 253 and the second microlenses 251 do not have the same effects, during exposure, on the incident rays of light. Indeed, the second microlenses 251 are sized (height, radius of curvature and focal length) so that the emerging rays converge (focus) at a point in the layer 29. The first lenses 253 are on the other hand sized so that the emerging rays converge in one point outside the layer 29. This difference in focusing is essentially due to the difference between the radii of curvature of the first 253 and second 251 lenses.
[0100] La première résine 31 est positive, c'est-à-dire que la partie exposée aux UV devient soluble dans un développeur. Plus particulièrement, une dose minimale d'UV absorbée localement par la résine 31, pendant le temps d'exposition, est nécessaire pour que la résine puisse être dissoute par le développeur . The first resin 31 is positive, that is to say that the part exposed to UV becomes soluble in a developer. More particularly, a minimum dose of UV absorbed locally by the resin 31, during the exposure time, is necessary so that the resin can be dissolved by the developer.
[0101] Par les différences entre les rayons de courbure et les distances focales, la dose d'UV absorbée, lors de l'exposition, par la partie de la couche 29 sous-jacente aux premières lentilles 253 est différente de la dose d'UV absorbée, lors de l'exposition, par la partie de la couche 29 sous-jacente aux deuxièmes lentilles 251. By the differences between the radii of curvature and the focal lengths, the dose of UV absorbed, during the exposure, by the part of the layer 29 underlying the first lenses 253 is different from the dose of UV absorbed, during exposure, by the part of the layer 29 underlying the second lenses 251.
[0102] Le temps d'exposition est, dans le mode de réalisation de la figure 7, défini afin que : la dose d'UV absorbée par les parties de la couche 29 sous-jacentes aux deuxièmes lentilles 251 atteigne la dose minimale ; et la dose d'UV absorbée par les parties de la couche 29 sous-jacentes aux premières lentilles 253 n'atteigne pas la dose minimale. The exposure time is, in the embodiment of FIG. 7, defined so that: the UV dose absorbed by the parts of the layer 29 underlying the second lenses 251 reaches the minimum dose; and the UV dose absorbed by the portions of the layer 29 underlying the first lenses 253 does not reach the minimum dose.
[0103] Ainsi, les ouvertures 33 sont, par exemple, formées dans la couche 29 uniquement dans les parties sous-jacentes aux deuxièmes lentilles 251, c'est-à-dire dans les deuxièmes zones 261. Les deuxièmes zones 261 sont ainsi transparentes. [0104] Les parties de la couche 29 sous-jacentes aux premières lentilles 253, c'est-à-dire les parties de la couche 29 des premières zones 263, sont, de préférence, pleines et opaques . [0103] Thus, the openings 33 are, for example, formed in the layer 29 only in the parts underlying the second lenses 251, that is to say in the second zones 261. The second zones 261 are thus transparent. . The parts of the layer 29 underlying the first lenses 253, that is to say the parts of the layer 29 of the first zones 263, are preferably solid and opaque.
[0105] En figure 7, les ouvertures 33 sont représentées avec une section droite par une vue en coupe trapézoïdale. De façon générale, en fonction des paramètres de l'exposition, la section droite des ouvertures 33, vue en coupe, peut être carrée, triangulaire, rectangulaire. De plus, la section droite des ouvertures 33, vue de dessus, peut être circulaire, ovale ou polygonale, par exemple triangulaire, carrée ou rectangulaire. La section droite des ouvertures 33, vue de dessus, est, de préférence, circulaire. Les ouvertures 33 peuvent avoir sensiblement les mêmes dimensions. On appelle "w" la largeur ou le diamètre des ouvertures 33 (mesuré à la base des ouvertures, c'est-à-dire à l'interface avec le substrat 27). La largeur w peut varier de 5 pm à 30 pm. La largeur w est, de préférence, comprise entre 5 pm et 20 pm, par exemple égale à environ 10 pm. In Figure 7, the openings 33 are shown with a cross section by a view in trapezoidal section. In general, depending on the parameters of the exposure, the cross section of the openings 33, seen in section, can be square, triangular or rectangular. In addition, the cross section of the openings 33, viewed from above, may be circular, oval or polygonal, for example triangular, square or rectangular. The cross section of the openings 33, viewed from above, is preferably circular. The openings 33 can have substantially the same dimensions. Called "w" the width or diameter of the openings 33 (measured at the base of the openings, that is to say at the interface with the substrate 27). The width w can vary from 5 µm to 30 µm. The width w is preferably between 5 μm and 20 μm, for example equal to approximately 10 μm.
[0106] Les figures 8 à 11 illustrent, de façon schématique et partielle, des étapes successives d'un exemple du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17 selon un deuxième mode de mise en oeuvre. [0106] FIGS. 8 to 11 schematically and partially illustrate successive steps of an example of the method of manufacturing an angular filter 17 according to a second embodiment.
[0107] Le deuxième mode de mise en oeuvre diffère du premier mode de mise en oeuvre par le fait que les premières zones 263 sont rendues opaques grâce à la formation d'une deuxième couche 39 opaque en vis-à-vis des lentilles 25 correspondantes, sur la face arrière de la structure, dans les ouvertures 33. Les lentilles 25 sont, dans le deuxième mode de réalisation, toutes identiques aux deuxièmes lentilles 251 du premier mode de mise en oeuvre. [0108] La figure 8 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. The second mode of implementation differs from the first mode of implementation in that the first zones 263 are made opaque thanks to the formation of a second opaque layer 39 facing the corresponding lenses 25. , on the rear face of the structure, in the openings 33. The lenses 25 are, in the second embodiment, all identical to the second lenses 251 of the first embodiment. [0108] FIG. 8 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0109] Plus particulièrement, la figure 8 illustre une structure de départ identique à la structure de départ du procédé selon le premier mode de mise en oeuvre (figure 5) à la différence près que toutes les lentilles 25 sont sensiblement identiques. [0109] More particularly, FIG. 8 illustrates a starting structure identical to the starting structure of the method according to the first embodiment (FIG. 5) with the difference that all the lenses 25 are substantially identical.
[0110] La figure 9 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0110] FIG. 9 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0111] Plus particulièrement, la figure 9 illustre une étape de dépôt du film 37 sur la face avant de la structure illustrée en figure 8 et de formation de la couche 29 de la première résine 31, comprenant la matrice d'ouvertures 33, sur la face arrière de la structure de départ illustrée en figure 8. Cette étape est sensiblement identique à l'ensemble des étapes des figures 6 et 7 du premier mode de mise en oeuvre, à la différence près que, dans le deuxième mode de mise en oeuvre, une ouverture 33 est formée en vis-à-vis de chaque lentille 25. [0111] More particularly, FIG. 9 illustrates a step of depositing the film 37 on the front face of the structure illustrated in FIG. 8 and of forming the layer 29 of the first resin 31, comprising the matrix of openings 33, on the rear face of the starting structure illustrated in FIG. 8. This step is substantially identical to all the steps of FIGS. 6 and 7 of the first embodiment, with the difference that, in the second embodiment work, an opening 33 is formed vis-à-vis each lens 25.
[0112] La figure 10 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. FIG. 10 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0113] Plus particulièrement, la figure 10 illustre une étape de formation de la deuxième couche 39 d'un premier matériau 41 sur la face arrière de la structure, obtenue à l'issue des étapes des figures 8 et 9. More particularly, FIG. 10 illustrates a step of forming the second layer 39 of a first material 41 on the rear face of the structure, obtained at the end of the steps of FIGS. 8 and 9.
[0114] On notera que dans l'exemple de la figure 10, l'orientation de la structure est inversée par rapport aux vues en coupe des figures précédentes. [0115] Dans le mode de réalisation illustré en figure 10, on vient déposer la deuxième couche 39 du premier matériau 41 sur la face arrière de la structure obtenue à l'issue des étapes des figures 8 et 9. La deuxième couche 39 est déposée localement dans toutes les ouvertures 33 en vis-à-vis des lentilles 25 des premières zones 263. La deuxième couche 39 n'est pas continue. Ainsi, chaque ouverture 33 des premières zones 263 comprend une partie 39' de la deuxième couche 39. It will be noted that in the example of FIG. 10, the orientation of the structure is reversed with respect to the sectional views of the preceding figures. In the embodiment illustrated in FIG. 10, the second layer 39 of the first material 41 is deposited on the rear face of the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 8 and 9. The second layer 39 is deposited. locally in all the openings 33 facing the lenses 25 of the first zones 263. The second layer 39 is not continuous. Thus, each opening 33 of the first zones 263 comprises a part 39 'of the second layer 39.
[0116] Le matériau 41 est un matériau opaque ayant, par exemple, une transmittance inférieure à environ 0,1 %, la transmittance étant, de préférence, inférieure à environ 0,00001 %. The material 41 is an opaque material having, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
[0117] Le matériau 41 est, par exemple, un métal ou une encre. La matériau 41 peut être à base d'argent, de cuivre ou de graphène . La matériau 41 peut être à base de nanoparticules métalliques ou de colorants (dye). The material 41 is, for example, a metal or an ink. The material 41 can be based on silver, copper or graphene. The material 41 can be based on metallic nanoparticles or on dyes (dye).
[0118] Le matériau 41 est, par exemple, de même composition que la première résine 31. The material 41 is, for example, of the same composition as the first resin 31.
[0119] La couche 39 est, par exemple, déposée par une technique de jet d'encre (inkjet), par sérigraphie, par une technique de dépôt localisé assisté par seringue, par flexographie, par héliographie ou par une technique d'impression par vaporisation. Layer 39 is, for example, deposited by an inkjet technique, by screen printing, by a localized deposition technique assisted by syringe, by flexography, by heliography or by a printing technique by vaporization.
[0120] La couche 39 est, par exemple, déposée par centrifugation puis exposée (photolithographie) et développée afin que seules les parties 39' subsistent. Layer 39 is, for example, deposited by centrifugation and then exposed (photolithography) and developed so that only the parts 39 'remain.
[0121] Selon un autre mode de réalisation, non représenté en figure 10, la deuxième couche 39 peut être réalisée avant la réalisation de la couche 29. Les parties 39' sont ainsi réalisées localement en vis-à-vis des lentilles 25 de la première zone 263 sur la face arrière du substrat 27. Chaque partie 39' de la deuxième couche 39 s'étend sur une surface sensiblement identique à la surface de la lentille 25 à laquelle la partie 39' est associée. La couche 29 est ensuite formée et recouvre soit les parties 39' soit la face arrière du substrat 27 entre les parties 39'. L'étape de réalisation des ouvertures 33 est similaire à l'étape décrite en relation avec la figure 9. Au vu de l'opacité de la couche 39, la structure obtenue à l'issue de cette étape n'est pas similaire à la structure illustrée en figure 9. En effet, des ouvertures 33 se forment uniquement en vis-à-vis des lentilles 25 des deuxièmes zones 261. [0121] According to another embodiment, not shown in FIG. 10, the second layer 39 can be produced before the production of the layer 29. The parts 39 'are thus produced locally facing the lenses 25 of the first zone 263 on the rear face of the substrate 27. Each part 39 'of the second layer 39 extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 with which the part 39 'is associated. Layer 29 is then formed and covers either parts 39 'or the rear face of substrate 27 between parts 39'. The step of producing the openings 33 is similar to the step described in relation to FIG. 9. In view of the opacity of the layer 39, the structure obtained at the end of this step is not similar to the structure illustrated in FIG. 9. In fact, openings 33 are formed only vis-à-vis the lenses 25 of the second zones 261.
[0122] La figure 11 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0122] FIG. 11 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the second embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0123] Plus particulièrement, la figure 11 illustre une étape de formation d'une troisième couche 43, en un troisième matériau 44, sur la face arrière de la structure obtenue à l'issue des étapes des figures 8 à 10. More particularly, FIG. 11 illustrates a step of forming a third layer 43, in a third material 44, on the rear face of the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 8 to 10.
[0124] Optionnellement, on vient combler les ouvertures 33 non remplies par la couche 39 d'air ou d'un matériau de remplissage, au moins partiellement transparent au rayonnement détecté par les photodétecteurs (191, figure 4), par exemple du PDMS. A titre de variante, les ouvertures 33 peuvent être remplies d'un matériau partiellement absorbant afin de filtrer chromatiquement les rayons filtrés angulairement par le filtre angulaire 17. Optionally, the openings 33 which are not filled are filled in by the layer 39 of air or of a filling material, at least partially transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4), for example PDMS. As a variant, the openings 33 can be filled with a partially absorbent material in order to chromatically filter the rays filtered angularly by the angular filter 17.
[0125] A la suite de l'étape illustrée en figure 10 ou à la suite du comblement optionnel des ouvertures 33, la face arrière de la structure est recouverte pleine plaque par la troisième couche 43. En d'autres termes, on vient recouvrir la première couche 29, la deuxième couche 39 et éventuellement le matériau de comblement par la troisième couche 43. La face inférieure de la troisième couche 43 (dans l'orientation de la figure 11) est, à la suite de cette étape, sensiblement plane. Les ouvertures 33 sont comblées par la troisième couche 43 si l'étape de comblement des ouvertures 33 n'a pas été réalisée au préalable. Following the step illustrated in FIG. 10 or following the optional filling of the openings 33, the rear face of the structure is fully covered with the third layer 43. In other words, it is covered. the first layer 29, the second layer 39 and possibly the filling material by the third layer 43. The lower face of the third layer 43 (in the orientation of FIG. 11) is, following this step, substantially plane. The openings 33 are filled in by the third layer 43 if the step of filling the openings 33 has not been carried out beforehand.
[0126] Le matériau 44 de la couche 43 est, de préférence, au moins partiellement transparent au rayonnement détecté par les photodétecteurs (191, figure 4). Le matériau 44 est, par exemple, à base de PDMS, d'une colle époxy, d'acrylate ou en une résine connue sous la dénomination commerciale SU8. Le matériau de remplissage, utilisé lors du comblement optionnel des ouvertures 33, et le matériau 44 de la couche 43 peuvent être de même composition ou de compositions différentes. [0126] The material 44 of the layer 43 is preferably at least partially transparent to the radiation detected by the photodetectors (191, FIG. 4). The material 44 is, for example, based on PDMS, an epoxy adhesive, an acrylate or a resin known under the trade name SU8. The filling material, used during the optional filling of the openings 33, and the material 44 of the layer 43 can be of the same composition or of different compositions.
[0127] Selon un autre mode de réalisation, non représenté, la deuxième couche 39 est formée après l'étape optionnelle de comblement des ouvertures 33 et avant l'étape de dépôt de la troisième couche 43. Les parties 39' de la couche 39 sont formées localement en vis-à-vis des lentilles 25 des premières zones 263 sur la face arrière des ouvertures 33. Chaque partie 39' de la deuxième couche 39 s'étend sur une surface sensiblement identique à la surface de la lentille 25 à laquelle la partie 39' est associée. [0127] According to another embodiment, not shown, the second layer 39 is formed after the optional step of filling the openings 33 and before the step of depositing the third layer 43. The parts 39 'of the layer 39 are formed locally facing the lenses 25 of the first zones 263 on the rear face of the openings 33. Each part 39 'of the second layer 39 extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 to which part 39 'is associated.
[0128] Les figures 12 à 15 illustrent, de façon schématique et partielle, des étapes successives d'un exemple du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17 selon un troisième mode de mise en oeuvre. [0128] FIGS. 12 to 15 schematically and partially illustrate successive steps of an example of the method of manufacturing an angular filter 17 according to a third embodiment.
[0129] Le troisième mode de mise en oeuvre diffère du deuxième mode de mise en oeuvre par le fait que les premières zones 263 sont rendues opaques grâce à la formation de la deuxième couche 39 opaque, en vis-à-vis des lentilles 25 des premières zones 263, sur la face avant de la structure. The third mode of implementation differs from the second mode of implementation in that the first zones 263 are made opaque thanks to the formation of the second opaque layer 39, facing the lenses 25 of the first zones 263, on the front face of the structure.
[0130] La figure 12 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0131] Plus particulièrement, la figure 12 illustre une structure de départ identique à la structure de départ du procédé selon le deuxième mode de mise en oeuvre représentée en figure 8. [0130] FIG. 12 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17. More particularly, FIG. 12 illustrates a starting structure identical to the starting structure of the method according to the second embodiment shown in FIG. 8.
[0132] La figure 13 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0132] FIG. 13 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0133] Plus particulièrement, la figure 13 représente une étape de dépôt du film 37 sur la face avant de la structure illustrée en figure 12 et de formation de la première couche 29, de la première résine 31, comprenant la matrice d'ouvertures 33 sur la face arrière de la structure de départ illustrée en figure 12. More particularly, FIG. 13 represents a step of depositing the film 37 on the front face of the structure illustrated in FIG. 12 and of forming the first layer 29, of the first resin 31, comprising the matrix of openings 33. on the rear face of the starting structure illustrated in figure 12.
[0134] Cette étape est sensiblement identique à l'étape illustrée en figure 9 du procédé selon le deuxième mode de mise en oeuvre. This step is substantially identical to the step illustrated in FIG. 9 of the method according to the second embodiment.
[0135] La figure 14 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. FIG. 14 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0136] Plus particulièrement, la figure 14 illustre une étape de dépôt de la deuxième couche 39, du premier matériau 41, sur le film 37, sur la structure obtenue à l'issue des étapes des figures 12 et 13, en vis-à-vis des lentilles 25 des premières zones 263. [0136] More particularly, FIG. 14 illustrates a step of depositing the second layer 39, of the first material 41, on the film 37, on the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 12 and 13, opposite. -vis of the lenses 25 of the first zones 263.
[0137] On vient former la deuxième couche 39, en le premier matériau 41, sur la face avant du film 37, en vis-à-vis de chaque lentille 25 de première zone 263. La deuxième couche 39 n'est pas continue mais est divisée en parties 39'. Chaque partie 39' est située en regard d'une lentille 25 de première zone 263. Chaque partie 39' s'étend sur une surface sensiblement identique à la surface de la lentille 25 à laquelle ladite partie 39' est associée. Le matériau 41 est un matériau opaque ayant, par exemple, une transmittance inférieure à environ 0,1 %, la transmittance étant, de préférence, inférieure à environ 0,00001 %. The second layer 39 is formed, in the first material 41, on the front face of the film 37, opposite each lens 25 of the first zone 263. The second layer 39 is not continuous but is divided into parts 39 '. Each part 39 ′ is located opposite a lens 25 of first zone 263. Each part 39 ′ extends over a surface substantially identical to the surface of the lens 25 with which said part 39 ′ is associated. Material 41 is an opaque material having, for example, a transmittance of less than about 0.1%, the transmittance preferably being less than about 0.00001%.
[0138] Le matériau 41 est, par exemple, similaire au matériau 41 du deuxième mode de mise en oeuvre (figure 10). The material 41 is, for example, similar to the material 41 of the second embodiment (FIG. 10).
[0139] La couche 39 est, par exemple, réalisée de la même façon que la couche 39 du deuxième mode de mise en oeuvre. Layer 39 is, for example, produced in the same way as layer 39 of the second embodiment.
[0140] Optionnellement, on peut envisager déposer un second film (non représenté), de composition identique au film 37, sur la face avant de la structure obtenue à l'issue des étapes des figures 12 à 14, pour planariser ladite face. Optionally, one can consider depositing a second film (not shown), of composition identical to film 37, on the front face of the structure obtained at the end of the steps of Figures 12 to 14, to planarize said face.
[0141] La figure 15 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une autre étape du troisième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0141] FIG. 15 illustrates, in a partial and schematic sectional view, another step of the third embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0142] Plus particulièrement, la figure 15 illustre une étape de formation de la troisième couche 43, en le troisième matériau 44, sur la face arrière de la structure obtenue à l'issue des étapes des figures 12 à 14. [0142] More particularly, FIG. 15 illustrates a step of forming the third layer 43, in the third material 44, on the rear face of the structure obtained at the end of the steps of FIGS. 12 to 14.
[0143] Cette étape est sensiblement identique à l'étape illustrée en figure 11 du procédé selon le deuxième mode de mise en oeuvre. This step is substantially identical to the step illustrated in FIG. 11 of the method according to the second embodiment.
[0144] La figure 16 illustre par une vue en coupe, partielle et schématique, une étape d'un quatrième mode de mise en oeuvre du procédé de fabrication d'un filtre angulaire 17. [0144] FIG. 16 illustrates, in a partial and schematic sectional view, a step of a fourth embodiment of the method for manufacturing an angular filter 17.
[0145] Le quatrième mode de mise en oeuvre diffère du troisième mode de mise en oeuvre par le fait que les premières zones 263 sont rendues opaques par la détérioration des premières lentilles 253 qui y sont associées. Il n'y a donc pas de deuxième couche (39, figure 14). The fourth embodiment differs from the third embodiment in that the first zones 263 are made opaque by the deterioration of the first lenses 253 which are associated therewith. There is therefore no second layer (39, figure 14).
[0146] Plus particulièrement, à partir d'une structure identique à la structure illustrée en figure 13 du procédé selon le troisième mode de mise en oeuvre, les premières lentilles 253 sont détériorées. La détérioration des lentilles 253 implique une modification de leurs propriétés optiques et notamment de l'opacité. [0146] More particularly, from a structure identical to the structure illustrated in FIG. 13 of the method according to the third embodiment, the first lenses 253 are damaged. The deterioration of the lenses 253 involves a modification of their optical properties and in particular of the opacity.
[0147] La détérioration est, par exemple, effectuée par un laser 45 choisi pour rendre opaque les lentilles éclairées (matériau sensible à une longueur d'onde particulière ou à un niveau d'énergie particulier du laser). [0147] The deterioration is, for example, carried out by a laser 45 chosen to make the illuminated lenses opaque (material sensitive to a particular wavelength or to a particular energy level of the laser).
[0148] Selon un mode de réalisation, la détérioration est effectuée sur chaque première lentille 253 et sur l'ensemble de la surface de celle-ci. [0148] According to one embodiment, the deterioration is carried out on each first lens 253 and on the entire surface thereof.
[0149] Selon un autre mode de réalisation, la détérioration est effectuée, sur chaque première lentille 253, localement sur une surface inférieure à sa surface. La surface de détérioration est, par exemple, centrée sur l'axe optique de la lentille 253 considérée. [0149] According to another embodiment, the deterioration is carried out, on each first lens 253, locally on a surface lower than its surface. The deterioration surface is, for example, centered on the optical axis of the lens 253 considered.
[0150] Ainsi, après détérioration, les premières lentilles 253 ont, localement ou entièrement, une transmittance inférieure à environ 0,1 %, de préférence, inférieure à environ 0,00001 %. [0150] Thus, after deterioration, the first lenses 253 have, locally or entirely, a transmittance of less than about 0.1%, preferably less than about 0.00001%.
[0151] Selon encore un autre mode de réalisation, le substrat 27 est détériorée par laser entièrement ou localement en vis- à-vis des premières lentilles 253. [0151] According to yet another embodiment, the substrate 27 is damaged by laser entirely or locally in relation to the first lenses 253.
[0152] La détérioration peut être effectuée avant ou après formation de la couche 29. [0152] The deterioration can be carried out before or after formation of the layer 29.
[0153] A la suite de l'étape illustrée en figure 16, on peut prévoir une étape supplémentaire dans laquelle on vient déposer la troisième couche 43 sur la face arrière de la structure similairement à l'étape illustrée en figure 15 du procédé selon le troisième mode de réalisation. Following the step illustrated in FIG. 16, an additional step can be provided in which the third layer 43 is deposited on the rear face of the structure similarly to the step illustrated in FIG. 15 of the method according to third embodiment.
[0154] Un avantage des modes de réalisation décrits est qu'ils permettent d'intégrer un masque opaque au filtre angulaire. Cela permet notamment de s'affranchir de la distance séparant le masque du filtre optique tout en réduisant le coût de fabrication des systèmes d'acquisition d'images. En effet, la combinaison du masque et du filtre optique permet la diminution du nombre d'étapes dans le processus d'assemblage du système optique. An advantage of the embodiments described is that they make it possible to integrate an opaque mask into the filter. angular. This makes it possible in particular to overcome the distance separating the mask from the optical filter while reducing the cost of manufacturing image acquisition systems. Indeed, the combination of the mask and the optical filter allows the reduction of the number of steps in the assembly process of the optical system.
[0155] Un autre avantage des modes de réalisation décrits est que les filtres optiques formés sont compatibles avec les capteurs d'images usuels. Another advantage of the embodiments described is that the optical filters formed are compatible with the usual image sensors.
[0156] Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. L'homme de l'art comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d'autres variantes apparaîtront à l'homme de l'art. Various embodiments and variants have been described. Those skilled in the art will understand that certain features of these various embodiments and variants could be combined, and other variants will be apparent to those skilled in the art.
[0157] Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de l'homme du métier à partir des indications fonctionnelles données ci- dessus . Finally, the practical implementation of the embodiments and variants described is within the abilities of those skilled in the art on the basis of the functional indications given above.

Claims

REVENDICATIONS
1. Filtre optique (17) pour capteur d'images (19) comprenant : un réseau de lentilles constitué de premières (253) et de deuxièmes lentilles (251) juxtaposées et situé coté première face d'un substrat (27), les premières lentilles étant comprises dans des premières zones (263) opaques et les deuxièmes lentilles étant comprises dans des deuxièmes zones (261), chaque première zone occupant une surface égale à la surface d'au moins une première lentille comprise dans cette première zone ; des ouvertures (33), coté deuxième face dudit substrat, au moins en vis-à-vis des deuxièmes lentilles ; et une couche opaque en vis-à-vis des premières lentilles coté deuxième face dudit substrat. 1. Optical filter (17) for image sensor (19) comprising: an array of lenses consisting of first (253) and second lenses (251) juxtaposed and located on the first face of a substrate (27), the first lenses being included in first opaque zones (263) and the second lenses being included in second zones (261), each first zone occupying an area equal to the area of at least one first lens included in this first zone; openings (33), on the second face side of said substrate, at least facing the second lenses; and an opaque layer facing the first lenses on the second face side of said substrate.
2. Filtre optique (17) selon la revendication 1, dans lequel la transmittance des premières zones (263) est inférieure à environ 0,1 %, de préférence inférieure à environ 0,00001 %. 2. An optical filter (17) according to claim 1, wherein the transmittance of the first areas (263) is less than about 0.1%, preferably less than about 0.00001%.
3. Filtre optique selon la revendication 1 ou 2, dans lequel chaque deuxième zone (261) occupe une surface égale à la surface d'au moins une deuxième lentille (251). 3. Optical filter according to claim 1 or 2, wherein each second zone (261) occupies an area equal to the area of at least one second lens (251).
4. Filtre optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les premières lentilles (253) et les deuxièmes lentilles (251) sont coplanaires. 4. Optical filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the first lenses (253) and the second lenses (251) are coplanar.
5. Filtre optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel les premières zones (263) et les deuxièmes zones (261) sont juxtaposées et organisées en lignes et en colonnes. 5. Optical filter according to any one of claims 1 to 4, wherein the first areas (263) and the second areas (261) are juxtaposed and organized in rows and columns.
6. Filtre optique selon la revendication 5, dans lequel les premières zones (263) sont organisées en colonnes qui sont adjacentes et situées sur un des bords du filtre (17). 6. An optical filter according to claim 5, wherein the first areas (263) are organized in columns which are adjacent and located on one of the edges of the filter (17).
7. Filtre optique selon la revendication 5, dans lequel les premières zones (263) sont organisées en colonnes qui sont réparties sur deux bords du filtre (17). 7. An optical filter according to claim 5, wherein the first areas (263) are organized in columns which are distributed over two edges of the filter (17).
8. Filtre optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le rayon de courbure des premières lentilles (253) est inférieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles (251). 8. An optical filter according to any one of claims 1 to 7, wherein the radius of curvature of the first lenses (253) is less than the radius of curvature of the second lenses (251).
9. Filtre optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le rayon de courbure des premières lentilles (253) est supérieur au rayon de courbure des deuxièmes lentilles (251). 9. An optical filter according to any one of claims 1 to 7, wherein the radius of curvature of the first lenses (253) is greater than the radius of curvature of the second lenses (251).
10. Filtre optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les premières lentilles (253) sont localement détériorées. 10. An optical filter according to any one of claims 1 to 7, wherein the first lenses (253) are locally damaged.
11. Procédé de fabrication du filtre optique (17) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, comprenant entre autres, les étapes suivantes : former, par impression, le réseau de lentilles coté première face du substrat (27) ; déposer une première couche (29) d'une résine (31) photosensible coté deuxième face du substrat (27) ; et réaliser des ouvertures (33), dans la première couche (29), par photolithographie à travers les lentilles (25 ; 251, 253). 11. A method of manufacturing the optical filter (17) according to any one of claims 1 to 10, comprising, inter alia, the following steps: forming, by printing, the array of lenses on the first side of the substrate (27); depositing a first layer (29) of a photosensitive resin (31) on the second side of the substrate (27); and making openings (33) in the first layer (29) by photolithography through the lenses (25; 251, 253).
12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel la deuxième couche (39) est formée dans les ouvertures (33) dans les premières zones (263) ou coté première ou deuxième face desdites ouvertures (33). 12. The method of claim 11, wherein the second layer (39) is formed in the openings (33) in the first areas (263) or on the first or second face of said openings (33).
13. Procédé selon la revendication 11 ou 12, dans lequel la deuxième couche (39) est formée dans les premières zones (263). 13. The method of claim 11 or 12, wherein the second layer (39) is formed in the first areas (263).
14. Procédé selon la revendication 11, dans son rattachement à la revendication 10, dans lequel les premières lentilles (253) sont partiellement détériorées par un laser (45). 14. The method of claim 11, as it relates to claim 10, wherein the first lenses (253) are partially damaged by a laser (45).
15. Système comprenant : un filtre optique (17) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, pouvant être assimilé à un filtre angulaire ; une source (11) d'un rayonnement (13) ; et un capteur d'images (19) comprenant des photodétecteurs (191) adaptés à détecter ledit rayonnement (13). 15. A system comprising: an optical filter (17) according to any one of claims 1 to 10, which can be likened to an angular filter; a source (11) of radiation (13); and an image sensor (19) comprising photodetectors (191) adapted to detect said radiation (13).
16. Capteur d'empreintes digitales comprenant un système selon la revendication 15. 16. A fingerprint sensor comprising a system according to claim 15.
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