EP3249095B1 - Waschvorrichtung für einen geschlossenen reinraum - Google Patents

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EP3249095B1
EP3249095B1 EP17170607.0A EP17170607A EP3249095B1 EP 3249095 B1 EP3249095 B1 EP 3249095B1 EP 17170607 A EP17170607 A EP 17170607A EP 3249095 B1 EP3249095 B1 EP 3249095B1
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EP
European Patent Office
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washing
outer housing
washing device
housing
conduit
Prior art date
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EP17170607.0A
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English (en)
French (fr)
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EP3249095A1 (de
Inventor
Werner Stahl
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Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH
Original Assignee
Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH filed Critical Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH
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    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06F—LAUNDERING, DRYING, IRONING, PRESSING OR FOLDING TEXTILE ARTICLES
    • D06F95/00—Laundry systems or arrangements of apparatus or machines; Mobile laundries 
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06F—LAUNDERING, DRYING, IRONING, PRESSING OR FOLDING TEXTILE ARTICLES
    • D06F34/00—Details of control systems for washing machines, washer-dryers or laundry dryers
    • D06F34/14—Arrangements for detecting or measuring specific parameters
    • D06F34/20—Parameters relating to constructional components, e.g. door sensors
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06F—LAUNDERING, DRYING, IRONING, PRESSING OR FOLDING TEXTILE ARTICLES
    • D06F39/00—Details of washing machines not specific to a single type of machines covered by groups D06F9/00 - D06F27/00 
    • D06F39/12—Casings; Tubs
    • D06F39/14—Doors or covers; Securing means therefor

Definitions

  • the invention relates to a washing device comprising a washing chamber housing enclosing a washing chamber, which is provided with an access opening which can be closed by an access door, a movement system arranged in the washing chamber and a drive system for the movement system.
  • the invention has for its object to improve a washing device such that it is suitable for use in a clean room.
  • wash chamber housing and the drive device for the movement system are arranged in an interior of an outer housing and that the interior is connected to an exhaust duct, which at least during operation of the washing device air from the interior the outer housing dissipates and feeds an external exhaust duct.
  • the advantage of the solution according to the invention is thus to be seen in the fact that, even when particles form in the region of the wash chamber housing, for example in the area of the bearing of the movement system or in the area of the drive device for the movement system, the particles do not lead to contamination of the clean room. but can be discharged through the exhaust air discharged from the interior via the exhaust duct and thus do not enter the clean room.
  • the air enters the outer housing via an access opening to the access door permitting door opening in the outer housing into the interior.
  • the door opening is closed by a door hood.
  • Such a door hood also prevents the escape of particles from the area of the access door in the clean room.
  • the access of air from the clean room can be defined on the one hand in terms of its way and on the other hand in terms of volume.
  • a particularly advantageous solution provides that the outer housing encloses all the functional components of the washing device, wherein more functional components to the function of the washing device Essential components, such as clean medium and detergent, supply lines for washing medium, electrical lines, controls for such lines and drive elements and control units are to be understood.
  • Essential components such as clean medium and detergent, supply lines for washing medium, electrical lines, controls for such lines and drive elements and control units are to be understood.
  • the exhaust air line is provided with a discharge of air from the interior of the outer housing supporting blower, because such a blower allows to ensure a defined air flow through the interior of the outer housing.
  • the exhaust duct can be led out of the outer housing in a variety of ways.
  • Another advantageous solution provides that the exhaust air line is guided on the bottom side, in particular via a footprint, in the outer housing.
  • a device drain and / or a clean medium supply line in particular for water-based pure medium, are guided into the interior of the outer housing.
  • Such a device sequence serves to remove all, during operation of the washing device resulting liquid media, in particular washing medium.
  • the device drain is guided by a wall of the outer housing.
  • Another preferred solution provides that the device drain on the bottom side, in particular by a footprint, is guided in the outer housing.
  • a preferred solution provides that the device drain is connected in a non-contact manner with a drain associated with the wash chamber housing for the removal of washing medium from the wash chamber housing.
  • Such a non-contact connection between the device drain and the discharge creates the advantage that dirt films forming in the device drain can not thereby spread into the drain and thus in the direction of the wash chamber.
  • a particularly preferred embodiment provides that the device drain has a collector, in which a connection of the discharge opens without contact.
  • an advantageous solution provides that a clean medium supply line is guided through the wall of the outer housing.
  • Another advantageous solution provides that the clean medium supply line is guided on the bottom side, in particular via a footprint, in the outer housing.
  • the device drain and the drainage for the washing medium from the wash chamber housing are arranged in the outer housing.
  • the collector of the device drain and the discharge are arranged in the outer housing.
  • a further advantageous solution provides that the wash chamber housing has a vent connection, which is coupled with a vent filter, which filters out of the wash chamber of the wash chamber housing or flowing into the wash chamber air.
  • a leakage of particles from the vent filter is preferably provided that the vent filter is disposed in the interior of the outer housing.
  • venting filter has a filter housing mouth which opens into the interior of the outer housing, so that air emerging from the venting filter or air entering the venting filter comes from the interior of the outer housing and thus can not enter the cleanroom.
  • a particularly advantageous solution of a washing device according to the invention provides that drainage of washing medium from the washing chamber via a drain valve is gravity-driven.
  • the drain valve is arranged between a lowest point of the washing chamber in the direction of gravity and the outlet leading to the device drain.
  • the drain valve is arranged in the interior of the outer housing.
  • the washing chamber housing is preferably provided with an overflow line, which opens into the discharge for the washing medium, so that even from the washing chamber housing overflowing washing medium can not freely propagate in the interior of the outer housing, but is discharged in a defined manner.
  • the overflow line is provided with an overflow valve which opens only in the event of overflow of washing medium in the washing chamber housing.
  • the washing chamber is preferably assigned a measuring device for detecting the particle content of the washing medium, which detects the particle density in the washing medium either by means of electrical measuring methods or by means of optical measuring methods.
  • the invention relates to a method for keeping clean a closed clean room during its operation, incurred in which contaminated by particles objects.
  • the invention is therefore based on the object to improve a method for keeping clean a closed clean room during its operation.
  • the inventive method therefore provides that in the clean room a washing device is arranged, that in a washing chamber of the washing device, the particles are removed from the objects by a washing process and that the contaminated objects introduced directly from the clean room in the wash chamber, in this of the Particles are freed and then returned directly from the wash chamber in the clean room, so that a discharge of the objects from the clean room is not required and the freed in the wash chamber objects from the particles directly back into the clean room can be brought without additional measures, which must ensure contamination of the objects until they reach the clean room.
  • the inventive method is particularly simple to carry out when the contaminated objects in the clean room are introduced from the clean room into the wash chamber through the same access opening, through which the objects freed of particles are also returned from the wash chamber to the clean room.
  • FIG. 1 to 4 illustrated first embodiment of a washing device according to the invention comprises, as in Fig. 1 and 2 shown, a base frame 12, which can be set up for example with foot elements 14 on a footprint 16.
  • the base frame 12 carries a wholly designated 22 Waschschgepuruse which is supported by means of spring elements 24 on the base frame 12 and which is provided on its front side 26 with an access opening 28 which is closed by an access door 32, wherein the access door 32 to a door carrier 34 is held by a hinge unit 36 rotatably supported on the front side 26.
  • the door support 34 is also in its the access door 32 in a closing the access opening 28 position with a lock 38 on the front side 26 fixed, which acts on the door support 34 in the region of the hinge unit 36 opposite side of the door support 34.
  • a bearing unit 44 which rotatably supports a rotating movement system 48 arranged in a washing chamber 46 enclosed by the washing chamber housing 22 about an axis of rotation 52, wherein the rotating movement system 48 for objects to be washed in the washing chamber 46 is spaced from the rear side 42 of FIG Waschschgepuruses 22 arranged drive element 54 is driven.
  • the drive element 54 is arranged coaxially with the movement system 48 and rigidly connected thereto via a drive shaft 56, which in turn is rotatably mounted in the bearing unit 44 about the axis of rotation 52.
  • the drive element 54 comprises a circumferential belt seat 58 for a drive belt 62, which is drivable by a pulley 64 of a drive motor 66, wherein the drive motor 66 is fixedly connected to the washing chamber housing 22.
  • the drive element 54, the drive belt 62, the pulley 64 and the drive motor 66 together form a drive device 68 for the movement system 48th
  • an inflow port 72 is preferably also provided, which is connected to a feed line 74 coming from a mixing device 76 for washing medium.
  • the mixing device 76 for the washing medium is supplied, for example via a connected to an external clean medium line clean medium supply line, in particular a pure water supply 82, pure medium, which is then in this suitable for the washing process chemicals, especially detergents, added and via the supply line 74 and the inlet connection 72 enters the wash chamber 46.
  • an external clean medium line clean medium supply line in particular a pure water supply 82, pure medium, which is then in this suitable for the washing process chemicals, especially detergents, added and via the supply line 74 and the inlet connection 72 enters the wash chamber 46.
  • a drain valve 92 in the region of a lowest point thereof is arranged so that in the wash chamber 46 existing wash medium can enter at a lowermost gravity point in the wash chamber 46 in an inlet port 94 of the drain valve 92 to 92 when opening the drain valve to drain from the wash chamber 46 can.
  • an overflow line 96 is connected to the rear side 42 of the washing chamber housing 22, via which excess washing medium can run off at too high a level of washing medium in the washing chamber 46, wherein the overflow line 96 is provided with an overflow valve 98.
  • the overflow line 96 and the drain valve 92 open into a common discharge line 104, which has an outlet 106, which opens into a collector 112 connected to an external drain line device drain 114, preferably the discharge line 104 with the outlet 106 without contact to the collector 112 and to the device drain 114 is arranged to keep the discharge line 104 with the outlet 106 free from itself in the collector 112 or in the device drain forming dirt or bacteria layers.
  • the wash chamber housing 22, in particular the rear side 42 of the same, is further provided with a vent port 122, from which, starting a vent line 124 is guided to a vent filter 126 having a filter chamber 132 enclosed by a filter housing 132.
  • a filter material 134 is arranged, which filters a flow of air between a provided on the filter housing 128 external filter housing mouth 136 and the vent line 124, so that on the one hand from the washing chamber 46, for example, at the inlet of the washing medium, exiting air is filtered before they exiting through the external filter orifice 136 and, on the other hand, filtering air passing through the filter material 134 to the vent line 124 as the wash medium passes through the external filter housing mouth 136 to allow particles to escape from the wash chamber 46 and particles to enter the wash chamber 46 each over the filter housing mouth 136 to avoid.
  • the filter housing mouth 136 is arranged so that it opens into an interior 142 of a designated as a whole 140 outer housing of the washing device, wherein in the interior 142 both the base frame 12 with the wash chamber housing 22, the drive device 68, vent filter 126 and the other previously described Elements are arranged.
  • the outer housing 140 For loading the washing chamber 46 via the access door 32, the outer housing 140 comprises a door hood 152 which engages over a door opening 154 provided in the outer housing 140, via which the access door 32 and the door carrier 34 are accessible to open the access door 32 and thus via the access opening 28 of the washing chamber housing 22 to load the washing chamber 46 with objects to be washed.
  • the door hood 152 covers completely the door opening 154 of the outer housing 140 and forms with an example, the door opening 154 having front wall 156 of the outer housing 140 at least partially or around the entire door hood 152 circumferentially an air gap 158 through which the outer housing 140 surrounding air into the interior 142 can occur.
  • the door hood 152 is, for example, likewise pivotable away from the door opening 154 by means of a hinge or can be removed in another way in order to make the door opening 154 accessible in the front wall 156.
  • a cover 162 of the outer housing 140 for example, starting from a rear wall 166 in the direction of the front wall 156, formed obliquely sloping to reduce dirt accumulation on the lid 162.
  • the lid 162 has an inclination of more than 20 ° with respect to the horizontal, preferably an inclination of in the range of 20 ° to 60 ° relative to the horizontal.
  • the outer housing 140 is tightly connected to the footprint 16 and rises above the footprint 16 to the lid 162, wherein in this, for example in the region of the front wall 156, the door opening 154 is provided and, for example in the back wall 166 passages for the device drain 114, and the clean medium supply line 82 and additionally a passage for an exhaust duct 172 are provided.
  • the exhaust duct is connected to an external exhaust duct and opens into the interior 142 of the outer housing 140 to constantly suck air from this.
  • the only possibility of air access to the interior 142 of the outer housing 140 is provided in the region of the air gap 158 between the door hood 152 and the front wall 156, so that it is ensured that even if in the interior 142 of the outer housing 40 any dirt particles should form , These are discharged via the exhaust pipe 172 and in particular by a constantly passing through the air gap 158 and entering through the door opening 154 into the outer housing 140 and thereby in particular the wash chamber housing 22 at least partially flowing around the air stream are discharged.
  • a measuring device 174 is provided on the washing chamber housing 22, which detects the particle content of the washing medium, for example via the electrical conductivity of the washing medium and / or by other measuring methods, for example optical measuring methods.
  • Such a washing device 10 is, as in Fig. 5 exemplified, arranged in a designated as a whole with 180 clean room, which is raised above a clean room floor 182 clean room walls 184 and a in Fig. 5 drawing not shown clean room ceiling on all sides is enclosed and in which, for example, a working device 192 is provided, which may be either a measuring device or an examination device or a production device.
  • such a clean room 180 is constantly supplied with clean air, for example by an air supply 202 and air is constantly removed from the clean room 180 by an air discharge device 204, thus maintaining the required cleanliness of the clean air in the clean room 180.
  • the clean room 180 is accessible, for example via a clean room lock 206 for persons.
  • the exhaust duct 172 is connected to an external exhaust duct 212, which is a branch line to the air discharge means 204 and thus constantly discharges air from the interior 142 of the outer housing 140 in the manner described.
  • the device drain 114 is preferably connected to an external drainage channel 216, which receives the washing medium.
  • the clean medium supply line 82 is connected to an external clean medium supply line 218, via which the clean medium supply line 82 pure medium with the necessary degree of purity for maintaining the degree of purity in the clean room 180 is supplied.
  • the external clean medium supply line 218 is also guided, for example, to the working device 192, if clean medium should also be required there.
  • the washing device 10 is arranged so that it connects in particular with the rear wall 166 of the outer housing 140 to one of the clean room walls 184 and the front wall 156 is accessible with the door hood 152 from the clean room 180 starting.
  • the solution according to the invention thus opens up the possibility of introducing directly into the wash chamber housing 46 objects in the cleanroom 180 provided by the clean room 180 by removing the door hood 152 and opening the access door 32 via the access opening 28 in order to close the access door 32 and placing the door hood 152 to carry out a washing operation, in the context of which the particles are removed from the objects by the washing medium, in particular a water-based washing medium, from the objects and discharged via the device drain 114 and the external drainage channel 216.
  • a washing operation in the context of which the particles are removed from the objects by the washing medium, in particular a water-based washing medium, from the objects and discharged via the device drain 114 and the external drainage channel 216.
  • the door hood 52 is removed again and the access door 32 is opened so that the washed and particle-free objects can be used directly in the clean room 180 again.
  • plaster objects such as cleaning cloths, wiping cloths or mops, or also protective clothing or also in the working device 192 resulting objects, for example, in a production process or a test procedure or an investigation process afflicted with particles , in question.
  • FIG Fig. 6 In a second embodiment of a washing device according to the invention, shown in FIG Fig. 6 , those elements that are identical to those of the first embodiment, are provided with the same reference numerals, so that reference may be made in full to the description of the first embodiment with regard to the description.
  • the exhaust duct 172 is still associated with an exhaust fan 232, which supports the removal of air from the interior 142, in particular in the event that the external exhaust duct 212 does not generate sufficient negative pressure to reliably the air from the interior 142nd the outer housing 140 dissipate.
  • the device drain 114 ' is arranged so that the drain takes place via the installation surface 116 and not via the rear wall 166 of the outer housing 140.
  • exhaust duct 172 ' is arranged so that it takes place via the footprint 16.
  • the external clean medium supply line 218 also takes place via the installation surface 16.
  • a total of the rear wall 166 of the outer housing 140 is formed as a closed rear wall, so that the washing device 10 according to the invention can be placed anywhere within the clean room 180, without it being necessary to then rear wall 166 to one of the clean room walls 184 then to arrange.

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Waschvorrichtung umfassend ein eine Waschkammer umschließendes Waschkammergehäuse, welches mit einer Zugangsöffnung versehen ist, die durch eine Zugangstür verschließbar ist, ein in der Waschkammer angeordnetes Bewegungssystem und eine Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem.
  • Derartige Waschvorrichtungen sind aus dem Stand der Technik bekannt.
  • US 3 577 752 offenbart eine Waschvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Waschvorrichtung derart zu verbessern, dass diese zur Verwendung in einem Reinraum geeignet ist.
  • Diese Aufgabe wird bei einer Waschvorrichtung der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das Waschkammergehäuse und die Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem in einem Innenraum eines Außengehäuses angeordnet sind und dass der Innenraum mit einer Abluftleitung verbunden ist, welche mindestens beim Betrieb der Waschvorrichtung Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses abführt und einer externen Abluftleitung zuführt.
  • Der Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung ist somit darin zu sehen, dass dadurch selbst bei Entstehen von Partikeln im Bereich des Waschkammergehäuses, beispielsweise im Bereich der Lagerung des Bewegungssystems oder im Bereich der Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem auftretende Partikel, diese nicht zu einer Verschmutzung des Reinraums führen, sondern durch die aus dem Innenraum über die Abluftleitung abgeführte Abluft ausgetragen werden können und somit nicht in den Reinraum gelangen.
  • Um den Innenraum bevorzugt mit Luft zu durchfluten, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Luft in das Außengehäuse über eine einen Zugang zu der Zugangstür zulassende Türöffnung in dem Außengehäuse in den Innenraum eintritt.
  • Das heißt, dass die Luft die Zugangstür umströmend in den Innenraum eintritt und somit auch im Bereich der Zugangstür eventuell auftretende Partikel in den Innenraum des Außengehäuses und aus diesem über die Abluftleitung abführt.
  • Um die in dem Außengehäuse vorgesehene Türöffnung noch zusätzlich abzudecken, ist vorzugsweise vorgesehen, dass beim Betrieb der Waschvorrichtung die Türöffnung durch eine Türhaube verschlossen ist.
  • Eine derartige Türhaube verhindert ebenfalls das Austreten von Partikeln aus dem Bereich der Zugangstür in den Reinraum.
  • Insbesondere ist es günstig, wenn zwischen der Türhaube und einer Wand des Außengehäuses ein Luftspalt besteht, durch welchen Luft hindurchtritt und über die Türöffnung in den Innenraum eintritt.
  • Durch einen derartigen Luftspalt zwischen der Türhaube und der Wand des Außengehäuses lässt sich der Zutritt von Luft aus dem Reinraum einerseits hinsichtlich seines Weges und andererseits hinsichtlich des Volumens definieren.
  • Eine besonders vorteilhafte Lösung sieht dabei vor, dass das Außengehäuse sämtliche funktionalen Komponenten der Waschvorrichtung umschließt, wobei unter funktionalen Komponenten weitere zur Funktion der Waschvorrichtung wesentliche Komponenten, wie beispielsweise Zufuhreinrichtungen für Reinmedium und Detergention, Leitungen für Waschmedium, elektrische Leitungen, Steuerelemente für solche Leitungen sowie Antriebselemente und Steuereinheiten für diese zu verstehen sind.
  • Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn die Abluftleitung mit einem die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses unterstützenden Gebläse versehen ist, denn ein derartiges Gebläse erlaubt es, einen definierten Luftdurchsatz durch den Innenraum des Außengehäuses sicherzustellen.
  • Damit ist ein gesicherter Austrag von Partikeln über die Abluft aus dem Innenraum des Außengehäuses realisierbar.
  • Die Abluftleitung kann in unterschiedlichster Art und Weise aus dem Außengehäuse herausgeführt werden.
  • So sieht eine Lösung vor, dass die Abluftleitung durch eine Wand des Außengehäuses geführt ist.
  • Eine andere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass die Abluftleitung bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse geführt ist.
  • Ferner ist es zum Betrieb der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung von Vorteil, wenn zusätzlich zu der Abluftleitung noch ein Geräteablauf und/oder eine Reinmediumzuleitung, insbesondere für wasserbasiertes Reinmedium, in den Innenraum des Außengehäuses geführt sind.
  • Ein derartiger Geräteablauf dient dazu, sämtliche, beim Betrieb der Waschvorrichtung anfallende flüssige Medien, insbesondere Waschmedium, abzuführen.
  • Vorzugsweise ist dabei der Geräteablauf durch eine Wand des Außengehäuses geführt.
  • Eine andere bevorzugte Lösung sieht vor, dass der Geräteablauf bodenseitig, insbesondere durch eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse geführt ist.
  • Hinsichtlich der Ausbildung des Geräteablaufs wurden bislang keine näheren Angaben gemacht.
  • So sieht eine bevorzugte Lösung vor, dass der Geräteablauf berührungslos mit einer dem Waschkammergehäuse zugeordneten Ableitung zur Abfuhr von Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse verbunden ist.
  • Eine derartige berührungslose Verbindung zwischen dem Geräteablauf und der Ableitung schafft den Vorteil, dass dadurch sich in dem Geräteablauf bildende Schmutzfilme nicht in die Ableitung und somit in Richtung der Waschkammer ausbreiten können.
  • Eine besonders bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass der Geräteablauf einen Sammler aufweist, in welchen ein Anschluss der Ableitung berührungslos einmündet.
  • Im Zusammenhang mit den bislang erläuterten Ausführungsbeispielen wurde nicht näher darauf eingegangen, wie eine Reinmediumzuleitung in den Innenraum des Außengehäuses geführt werden soll.
  • So sieht eine vorteilhafte Lösung vor, dass eine Reinmediumzuleitung durch die Wand des Außengehäuses geführt ist.
  • Eine andere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass die Reinmediumzuleitung bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse hineingeführt ist.
  • Um auch insbesondere im Bereich der Verbindung zwischen der Ableitung und dem Geräteablauf gegebenenfalls austretende Partikel nicht in den Reinraum eintreten zu lassen, ist vorzugsweise vorgesehen, dass zumindest ein Teil des Geräteablaufs und die Ableitung für das Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse in dem Außengehäuse angeordnet sind.
  • Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die Ableitung und der Geräteablauf berührungslos miteinander verbunden sind, da dann im Bereich eines die Berührungslosigkeit herstellenden freien Zwischenraums oder Luftspalts die Gefahr besteht, dass Partikel über diesen Zwischenraum oder Luftspalt in den Reinraum gelangen könnten, was dadurch vermieden wird, dass diese bei Anordnung der berührungslosen Verbindung innerhalb des Innenraums vermieden wird, da gegebenenfalls austretende Partikel über die den Innenraum durchströmende Luft abgeführt werden.
  • Insbesondere ist dabei vorgesehen, dass der Sammler des Geräteablaufs und die Ableitung in dem Außengehäuse angeordnet sind.
  • Eine weitere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass das Waschkammergehäuse einen Entlüftungsanschluss aufweist, der mit einem Entlüftungsfilter gekoppelt ist, welches aus der Waschkammer des Waschkammergehäuses abströmende oder in die Waschkammer einströmende Luft filtert.
  • Auch bei dieser Lösung wird somit vermieden, dass aus der Waschkammer Partikel austreten oder gegebenenfalls unerwünschte Partikel in die Waschkammer eintreten, da diese durch das Entlüftungsfilter gefiltert werden.
  • Um auch in diesem Fall möglichst umfassend einen Austritt von Partikeln auch aus dem Entlüftungsfilter zu vermeiden ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Entlüftungsfilter in dem Innenraum des Außengehäuses angeordnet ist.
  • Besonders günstig ist es, wenn das Entlüftungsfilter eine Filtergehäusemündung aufweist, welche in den Innenraum des Außengehäuses mündet, so dass aus dem Entlüftungsfilter austretende Luft oder in das Entlüftungsfilter eintretende Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses kommen und somit nicht in den Reinraum eintreten können.
  • Eine besonders vorteilhafte Lösung einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung sieht vor, dass ein Ablaufen von Waschmedium aus der Waschkammer über ein Ablaufventil schwerkraftgetrieben erfolgt.
  • Dadurch wird einerseits eine Pumpe vermieden und andererseits ein einfaches Abführen des Waschwassers sichergestellt, wobei auch in diesem Fall ein Auftreten von unerwünschten Partikeln durch die Einfachheit des Ablaufventils und die nicht notwendige Pumpe vermieden wird.
  • In diesem Fall ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Ablaufventil zwischen einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer und der zum Geräteablauf führenden Ableitung angeordnet ist.
  • Um auch durch das Ablaufventil generierte Partikel nicht in den Reinraum eintreten zu lassen, ist vorteilhafter Weise vorgesehen, dass das Ablaufventil in dem Innenraum des Außengehäuses angeordnet ist.
  • Darüber hinaus ist vorzugsweise das Waschkammergehäuse mit einer Überlaufleitung versehen, welche in die Ableitung für das Waschmedium mündet, so dass selbst aus dem Waschkammergehäuse überlaufendes Waschmedium sich nicht frei im Innenraum des Außengehäuses ausbreiten kann, sondern definiert abgeführt wird.
  • Um ferner sicherzustellen, dass über die Ableitung keine Flüssigkeit in das Waschkammergehäuse eintritt, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Überlaufleitung mit einem Überlaufventil versehen ist, welches nur im Falle des Überlaufens von Waschmedium in dem Waschkammergehäuse öffnet.
  • Zum Überwachen des Partikelbesatzes des Waschmediums ist vorzugsweise der Waschkammer eine Messeinrichtung zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums zugeordnet, die entweder mittels elektrischer Messverfahren oder mittels optischer Messverfahren die Partikeldichte im Waschmedium erfasst.
  • Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Reinhalten eines geschlossenen Reinraums während dessen Betrieb, bei welchem durch Partikel verunreinigte Objekte anfallen.
  • Bei einem derartigen Reinraum werden üblicherweise verunreinigte Objekte aus dem Reinraum ausgeschleust, außerhalb desselben gereinigt und wieder in den Reinraum eingeschleust.
  • Dadurch ist eine Vielzahl von Fehlerquellen und somit eine erneute Verunreinigung der gereinigten Objekte möglich.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Reinhalten eines geschlossenen Reinraums während dessen Betrieb zu verbessern.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren sieht daher vor, dass in dem Reinraum eine Waschvorrichtung angeordnet ist, dass in einer Waschkammer der Waschvorrichtung die Partikel von den Objekten durch einen Waschvorgang entfernt werden und dass die verunreinigten Objekte direkt von dem Reinraum in die Waschkammer eingebracht, in dieser von den Partikeln befreit und dann direkt von der Waschkammer in den Reinraum zurückgebracht werden, so dass ein Ausschleusen der Objekte aus dem Reinraum nicht erforderlich ist und die in der Waschkammer von den Partikeln befreiten Objekte direkt wieder zurück in den Reinraum gebracht werden können, ohne zusätzliche Maßnahmen, die eine Verunreinigung der Objekte bis zum Erreichen des Reinraums sicherstellen müssen.
  • Besonders einfach durchführbar ist das erfindungsgemäße Verfahren dann, wenn die verunreinigten Objekte in dem Reinraum durch dieselbe Zugangsöffnung von dem Reinraum in die Waschkammer eingebracht werden, durch die auch die von Partikeln befreiten Objekte wieder von der Waschkammer in den Reinraum zurückgebracht werden.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Merkmale verwendet wird.
  • Die vorstehende Beschreibung erfindungsgemäßer Lösungen umfasst somit insbesondere die durch die nachfolgenden durchnummerierten Ausführungsformen definierten verschiedenen Merkmalskombinationen:
    1. 1. Waschvorrichtung umfassend ein eine Waschkammer (46) umschließendes Waschkammergehäuse (22), welches mit einer Zugangsöffnung (28) versehen ist, die durch eine Zugangstür (32) verschließbar ist, ein in der Waschkammer (46) angeordnetes Bewegungssystem (48) und eine Antriebsvorrichtung (68) für das Bewegungssystem (48), dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) und die Antriebsvorrichtung (68) für das Bewegungssystem (48) in einem Innenraum (142) eines Außengehäuses (140) angeordnet sind und dass der Innenraum (142) mit einer Abluftleitung (172) verbunden ist, welche mindestens beim Betrieb der Waschvorrichtung Luft aus dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) abführt.
    2. 2. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Luft in das Außengehäuse (140) über eine einen Zugang zu der Zugangstür (32) zulassende Türöffnung (154) in dem Außengehäuse (140) in den Innenraum (142) eintritt.
    3. 3. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 2, dadurch gekennzeichnet, dass beim Betrieb der Waschvorrichtung die Türöffnung (154) durch eine Türhaube (152) verschlossen ist.
    4. 4. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Türhaube (152) und einer Wand (156) des Außengehäuses (140) ein Luftspalt (158) besteht, durch welchen Luft hindurchtritt und über die Türöffnung (154) in den Innenraum (142) eintritt.
    5. 5. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass das Außengehäuse (140) sämtliche funktionale Komponenten der Waschvorrichtung umschließt.
    6. 6. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass die Abluftleitung (172) mit einem die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) unterstützenden Gebläse (232) versehen ist.
    7. 7. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass die Abluftleitung (172) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist.
    8. 8. Waschvorrichtung nach einer der Ausführungsformen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abluftleitung (172) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (16), in das Außengehäuse geführt ist.
    9. 9. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu der Abluftleitung (172) noch ein Geräteablauf (114) und/oder eine Reinmediumzuleitung (82) in den Innenraum (142) des Außengehäuses (140) geführt sind.
    10. 10. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist.
    11. 11. Waschvorrichtung nach einer der Ausführungsformen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (16), in das Außengehäuse (140) geführt ist.
    12. 12. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) berührungslos mit einer dem Waschkammergehäuse (22) zugeordneten Ableitung (104) zur Abfuhr von Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse (22) verbunden ist.
    13. 13. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) einen Sammler (112) aufweist, in welchen ein Anschluss (106) einer Ableitung (104) berührungslos einmündet.
    14. 14. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinmediumzuleitung (82) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist.
    15. 15. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinmediumzuleitung (82) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (116), in das Außengehäuse (140) hineingeführt ist.
    16. 16. Waschvorrichtung nach dem Oberbegriff der Ausführungsform 1 oder nach einer der Ausführungsformen 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Geräteablaufs (114) und die Ableitung (104) für das Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse (22) in dem Außengehäuse (140) angeordnet sind.
    17. 17. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Sammler (112) des Geräteablaufs und die Ableitung (104) in dem Außengehäuse (140) angeordnet sind.
    18. 18. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) einen Entlüftungsanschluss (122) aufweist, der mit einem Entlüftungsfilter (126) gekoppelt ist, welches aus der Waschkammer (46) des Waschkammergehäuses (22) abströmende oder in die Waschkammer (46) einströmende Luft filtert.
    19. 19. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Entlüftungsfilter (126) in dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) angeordnet ist.
    20. 20. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Entlüftungsfilter (126) eine Filtergehäusemündung (136) aufweist, welche in den Innenraum (142) des Außengehäuses (140) einmündet.
    21. 21. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ablaufen von Waschmedium aus der Waschkammer (46) über ein Ablaufventil (92) schwerkraftgetrieben erfolgt.
    22. 22. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablaufventil (92) zwischen einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer (46) und der zum Geräteablauf (114) führenden Ableitung (104) angeordnet ist.
    23. 23. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablaufventil (92) in dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) angeordnet ist.
    24. 24. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) mit einer Überlaufleitung (96) versehen ist, welche in die Ableitung (104) für das Waschmedium mündet.
    25. 25. Waschvorrichtung nach Ausführungsform 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Überlaufleitung (96) mit einem Überlaufventil (98) versehen ist.
    26. 26. Waschvorrichtung nach einer der voranstehenden Ausführungsformen, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschkammer (46) eine Messeinrichtung (174) zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums zugeordnet ist.
    27. 27. Verfahren zum Reinhalten eines geschlossenen Reinraums (180) während dessen Betrieb, bei welchem durch Partikel verunreinigte Objekte anfallen, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Reinraum (180) eine Waschvorrichtung (10) angeordnet ist, dass in einer Waschkammer (46) der Waschvorrichtung (10) die Partikel von den Objekten durch einen Waschvorgang entfernt werden, dass die verunreinigten Objekte direkt vom Reinraum (180) in die Waschkammer (46) eingebracht, in dieser von Partikeln befreit und dann direkt von der Waschkammer (46) in den Reinraum (180) zurückgebracht werden.
    28. 28. Verfahren zum Reinhalten nach Ausführungsform 27, dadurch gekennzeichnet, dass die verunreinigten Objekte von dem Reinraum (180) durch dieselbe Zugangsöffnung (28) vom Reinraum (180) in die Waschkammer (46) eingebracht werden durch die auch die von den Partikeln befreiten Objekte wieder von der Waschkammer (46) in den Reinraum zurückgebracht werden.
    29. 29. Verfahren zum Reinhalten nach Ausführungsform 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, dass eine Waschvorrichtung (10) nach einer der Ausführungsformen 1 bis 26 verwendet wird.
  • Weitere Merkmale und Vorteile sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung eines Ausführungsbeispiels.
  • In der Zeichnung zeigen:
    • Fig. 1
    eine perspektivische Darstellung eines Grundgestells und eines Waschkammergehäuses in einer Frontansicht bei einem ersten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung;
    Fig. 2
    eine Darstellung des Grundgestells und des Waschkammergehäuses gemäß Fig. 1 in einer Rückansicht;
    Fig. 3
    einen Querschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung;
    Fig. 4
    einen vergrößerten Querschnitt ähnlich Fig. 3 im Bereich einer Türhaube eines Außengehäuses;
    Fig. 5
    eine schematische Darstellung eines Reinraums in Draufsicht;
    Fig. 6
    einen Schnitt ähnlich Fig. 3 durch ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung und
    Fig. 7
    einen Schnitt ähnlich Fig. 3 durch ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung.
  • Ein in den Fig. 1 bis 4 dargestelltes erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung umfasst, wie in Fig. 1 und 2 dargestellt, ein Grundgestell 12, welches beispielsweise mit Fußelementen 14 auf einer Aufstellfläche 16 aufstellbar ist.
  • Das Grundgestell 12 trägt ein als Ganzes mit 22 bezeichnetes Waschkammergehäuse, welches mittels Federelementen 24 auf dem Grundgestell 12 abgestützt ist und welches an seiner Frontseite 26 mit einer Zugangsöffnung 28 versehen ist, welche durch eine Zugangstür 32 verschließbar ist, wobei die Zugangstür 32 an einem Türträger 34 gehalten ist, der über eine Scharniereinheit 36 drehbar an der Frontseite 26 gehalten ist.
  • Der Türträger 34 ist ferner in seiner die Zugangstür 32 in einer die Zugangsöffnung 28 verschließenden Stellung mit einem Schloss 38 an der Frontseite 26 fixierbar, das auf den Türträger 34 im Bereich einer der Scharniereinheit 36 gegenüberliegenden Seite des Türträgers 34 wirkt.
  • An einer der Frontseite 26 gegenüberliegenden Rückseite 42 der Waschkammer 22 ist, wie beispielsweise in Fig. 2 und 3 dargestellt, eine Lagereinheit 44 vorgesehen, welche ein in einer vom Waschkammergehäuse 22 umschlossenen Waschkammer 46 angeordnetes rotierendes Bewegungssystem 48 um eine Drehachse 52 drehbar lagert, wobei das rotierende Bewegungssystem 48 für in der Waschkammer 46 zu waschende Objekte durch ein im Abstand von der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 angeordnetes Antriebselement 54 antreibbar ist.
  • Das Antriebselement 54 ist koaxial zum Bewegungssystem 48 angeordnet und mit diesem über eine Antriebswelle 56 starr verbunden, die ihrerseits in der Lagereinheit 44 um die Drehachse 52 drehbar gelagert ist.
  • Ferner umfasst das Antriebselement 54 eine umlaufende Riemenaufnahme 58 für einen Antriebsriemen 62, der durch eine Riemenscheibe 64 eines Antriebsmotors 66 antreibbar ist, wobei der Antriebsmotor 66 fest mit dem Waschkammergehäuse 22 verbunden ist.
  • Das Antriebselement 54, der Antriebsriemen 62, die Riemenscheibe 64 und der Antriebsmotor 66 bilden zusammen eine Antriebsvorrichtung 68 für das Bewegungssystem 48.
  • An der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 ist vorzugsweise noch ein Zulaufanschluss 72 vorgesehen, welcher mit einer von einer Mischeinrichtung 76 für Waschmedium kommenden Zulaufleitung 74 verbunden ist.
  • Der Mischeinrichtung 76 für das Waschmedium wird beispielsweise über eine mit einer externen Reinmediumleitung verbundene Reinmediumzuleitung, insbesondere eine Reinwasserzuleitung 82, Reinmedium zugeführt, welches dann in dieser mit für den Waschvorgang geeigneten chemischen Stoffen, insbesondere Detergenzien, versetzt wird und über die Zulaufleitung 74 und den Zulaufanschluss 72 in die Waschkammer 46 eintritt.
  • Ferner ist an dem Waschkammergehäuse 22 ein Ablaufventil 92 im Bereich eines tiefsten Punktes derselben so angeordnet, dass in der Waschkammer 46 vorhandenes Waschmedium an einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer 46 in einen Eintrittsstutzen 94 des Ablaufventils 92 eintreten kann, um beim Öffnen des Ablaufventils 92 aus der Waschkammer 46 abfließen zu können.
  • Ferner ist an der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 noch eine Überlaufleitung 96 angeschlossen, über welche bei einem zu hohen Stand von Waschmedium in der Waschkammer 46 überschüssiges Waschmedium ablaufen kann, wobei die Überlaufleitung 96 mit einem Überlaufventil 98 versehen ist.
  • Die Überlaufleitung 96 und das Ablaufventil 92 münden in eine gemeinsame Ableitung 104 ein, die einen Auslass 106 aufweist, der in einen Sammler 112 eines mit einer externen Ablaufleitung verbundenen Geräteablaufs 114 einmündet, wobei vorzugsweise die Ableitung 104 mit dem Auslass 106 berührungsfrei zum Sammler 112 und zum Geräteablauf 114 angeordnet ist, um die Ableitung 104 mit dem Auslass 106 frei von sich im Sammler 112 oder im Geräteablauf ausbildenden Schmutz- oder Bakterienschichten zu halten.
  • Das Waschkammergehäuse 22, insbesondere die Rückseite 42 desselben, ist ferner noch mit einem Entlüftungsanschluss 122 versehen, von welchem ausgehend eine Entlüftungsleitung 124 zu einem Entlüftungsfilter 126 geführt ist, welches eine von einem Filtergehäuse 128 umschlossene Filterkammer 132 aufweist.
  • In der Filterkammer 132 ist ein Filtermaterial 134 angeordnet, welches einen Luftstrom zwischen einer an dem Filtergehäuse 128 vorgesehenen externen Filtergehäusemündung 136 und der Entlüftungsleitung 124 filtert, so dass einerseits aus der Waschkammer 46, beispielsweise beim Einlauf von Waschmedium, austretende Luft gefiltert wird, bevor sie über die externe Filtermündung 136 austritt, und andererseits beim Ablaufen des Waschmediums durch die externe Filtergehäusemündung 136 eintretende und durch das Filtermaterial 134 zur Entlüftungsleitung 124 strömende Luft gefiltert wird, um ein Austreten von Partikeln aus der Waschkammer 46 und ein Eintreten von Partikeln in die Waschkammer 46 jeweils über die Filtergehäusemündung 136 zu vermeiden.
  • Die Filtergehäusemündung 136 ist dabei so angeordnet, dass sie in einen Innenraum 142 eines als Ganzes mit 140 bezeichneten Außengehäuses der Waschvorrichtung einmündet, wobei in dem Innenraum 142 sowohl das Grundgestell 12 mit dem Waschkammergehäuse 22, die Antriebsvorrichtung 68, Entlüftungsfilter 126 und die übrigen bislang beschriebenen Elemente angeordnet sind.
  • Zum Beladen der Waschkammer 46 über die Zugangstür 32 umfasst das Außengehäuse 140 eine Türhaube 152, welche eine im Außengehäuse 140 vorgesehene Türöffnung 154 übergreift, über welche die Zugangstür 32 und der Türträger 34 zugänglich sind, um die Zugangstür 32 zu öffnen und somit über die Zugangsöffnung 28 des Waschkammergehäuses 22 die Waschkammer 46 mit zu waschenden Objekten zu beladen.
  • Die Türhaube 152 überdeckt dabei vollständig die Türöffnung 154 des Außengehäuses 140 und bildet mit einer beispielsweise die Türöffnung 154 aufweisenden Frontwand 156 des Außengehäuses 140 zumindest partiell oder auch um die gesamte Türhaube 152 umlaufend einen Luftspalt 158, durch welchen das Außengehäuse 140 umgebende Luft in den Innenraum 142 eintreten kann.
  • Die Türhaube 152 ist dabei beispielsweise ebenfalls mittels eines Scharniers von der Türöffnung 154 abschwenkbar oder in anderer Weise abnehmbar, um die Türöffnung 154 in der Frontwand 156 zugänglich zu machen.
  • Ferner ist ein Deckel 162 des Außengehäuses 140, beispielsweise ausgehend von einer Rückwand 166 in Richtung der Frontwand 156, schräg abfallend ausgebildet, um Schmutzansammlungen auf dem Deckel 162 zu reduzieren.
  • Vorzugsweise hat der Deckel 162 eine Neigung von mehr als 20° gegenüber der Horizontalen, vorzugsweise eine Neigung von im Bereich von 20° bis 60° gegenüber der Horizontalen.
  • Das Außengehäuse 140 ist dicht abschließend mit der Aufstellfläche 16 verbunden und erhebt sich über der Aufstellfläche 16 bis zum Deckel 162, wobei in diesem, beispielsweise im Bereich der Frontwand 156, die Türöffnung 154 vorgesehen ist und beispielsweise im Bereich der Rückwand 166 Durchlässe für den Geräteablauf 114, sowie die Reinmediumzuleitung 82 und zusätzlich noch ein Durchlass für eine Abluftleitung 172 vorgesehen sind.
  • Die Abluftleitung ist mit einer externen Abluftleitung verbunden und mündet in den Innenraum 142 des Außengehäuses 140, um aus diesem ständig Luft abzusaugen.
  • Die einzige Möglichkeit eines Luftzutritts zum Innenraum 142 des Außengehäuses 140 ist dabei im Bereich des Luftspalts 158 zwischen der Türhaube 152 und der Frontwand 156 vorgesehen, so dass dadurch sichergestellt ist, dass selbst dann, wenn sich im Innenraum 142 des Außengehäuses 40 irgendwelche Schmutzpartikel ausbilden sollten, diese über die Abluftleitung 172 abgeführt werden und insbesondere durch einen ständig durch den Luftspalt 158 hindurchtretenden und über die Türöffnung 154 in das Außengehäuse 140 eintretenden und dabei insbesondere das Waschkammergehäuse 22 zumindest teilweise umströmenden Luftstrom abgeführt werden.
  • Dies führt auch dazu, dass selbst dann, wenn über die Filtergehäusemündung 136 Partikel in den Innenraum 142 eintreten sollten, diese mittels des durch den Innenraum 142 des Außengehäuses 140 ständig hindurchgeführten Luftstrom durch die Abluftleitung 172 zumindest im Laufe der Zeit abgeführt werden.
  • Zum Testen der Qualität des Waschmediums, insbesondere zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums, ist eine Messeinrichtung 174 an dem Waschkammergehäuse 22 vorgesehen, welche beispielsweise über die elektrische Leitfähigkeit des Waschmediums und oder über andere Messverfahren, beispielsweise optische Messverfahren, den Partikelbesatz des Waschmediums erfasst.
  • Eine derartige Waschvorrichtung 10 ist, wie in Fig. 5 beispielshaft dargestellt, in einem als Ganzes mit 180 bezeichneten Reinraum angeordnet, welcher durch sich über einem Reinraumboden 182 erhebende Reinraumwände 184 sowie eine in Fig. 5 zeichnerisch nicht dargestellte Reinraumdecke allseitig umschlossen ist und in welchem beispielsweise eine Arbeitseinrichtung 192 vorgesehen ist, welche entweder eine Messeinrichtung oder eine Untersuchungseinrichtung oder eine Produktionseinrichtung sein kann.
  • Üblicherweise wird ein derartiger Reinraum 180 beispielsweise durch eine Luftzufuhreinrichtung 202 ständig mit Reinluft versorgt und durch eine Luftabfuhreinrichtung 204 wird ständig Luft aus dem Reinraum 180 abgeführt, um somit in dem Reinraum 180 den erforderlichen Reinheitsgrad der Reinluft aufrecht zu erhalten.
  • Ferner ist der Reinraum 180 beispielsweise über eine Reinraumschleuse 206 für Personen zugänglich.
  • Im Fall der in dem Reinraum 180 angeordneten Waschvorrichtung 10 wird beispielsweise die Abluftleitung 172 mit einer externen Abluftleitung 212 verbunden, die eine Zweigleitung zur Luftabfuhreinrichtung 204 darstellt und somit ständig aus dem Innenraum 142 des Außengehäuses 140 in der beschriebenen Art und Weise Luft abführt.
  • Ferner ist vorzugsweise der Geräteablauf 114 mit einem externen Ablaufkanal 216 verbunden, welcher das Waschmedium aufnimmt.
  • Außerdem ist die Reinmediumzuleitung 82 mit einer externen Reinmediumzuleitung 218 verbunden, über welche der Reinmediumzuleitung 82 Reinmedium mit dem notwendigen Reinheitsgrad für die Aufrechterhaltung des Reinheitsgrades im Reinraum 180 zugeführt wird.
  • Die externe Reinmediumzuleitung 218 wird dabei beispielsweise auch zu der Arbeitsreinrichtung 192 geführt, wenn dort ebenfalls Reinmedium erforderlich sein sollte.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Reinraum 180 ist die Waschvorrichtung 10 so angeordnet, dass diese insbesondere mit der Rückwand 166 des Außengehäuses 140 an eine der Reinraumwände 184 anschließt und die Frontwand 156 mit der Türhaube 152 von dem Reinraum 180 ausgehend zugänglich ist.
  • Die erfindungsgemäße Lösung eröffnet somit die Möglichkeit, in die in dem Reinraum 180 vorgesehene Waschvorrichtung 10 vom Reinraum 180 aus Partikel tragende Objekte durch Abnehmen der Türhaube 152 und Öffnen der Zugangstür 32 über die Zugangsöffnung 28 direkt in das Waschkammergehäuse 46 einzubringen, um nach Schließen der Zugangstür 32 und Aufsetzen der Türhaube 152 einen Waschvorgang durchzuführen, im Rahmen von welchem die Partikel von den Objekten durch das Waschmedium, insbesondere ein wasserbasiertes Waschmedium, von den Objekten entfernt werden und über den Geräteablauf 114 und den externen Ablaufkanal 216 abgeführt werden.
  • Nach Beendigung des Waschvorgangs erfolgt wieder ein Abnehmen der Türhaube 52 und ein Öffnen der Zugangstür 32, so dass die gewaschenen und von Partikeln befreiten Objekte direkt wieder in dem Reinraum 180 eingesetzt werden können.
  • Im Gegensatz zu den aus dem Stand der Technik bekannten Vorgehensweisen zur Reinigung von partikeltragenden Objekten in einem Reinraum erübrigt sich somit durch das Anordnen der Waschvorrichtung 10 direkt in dem Reinraum 180 das Ausschleusen der Objekte mit den Partikeln, aus dem Reinraum 180 das Waschen der Objekte zum Entfernen der Partikel außerhalb des Reinraums 180 und das Wiedereinschleusen der Objekte in dem Reinraum 180, wobei insbesondere bei den gewaschenen Objekten zwischen dem Entnehmen derselben aus der Waschkammer 46 und dem Einschleusen derselben in den Reinraum 180 wieder Kontaminationen mit Partikeln erfolgen können.
  • Als Objekte, die in der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung gewaschen werden können, kommen dabei insbesondere Putzobjekte, wie Putzlappen, Wischlappen oder Wischmops, oder auch Schutzkleidung oder auch in der Arbeitseinrichtung 192 anfallende Objekte, beispielsweise bei einem Produktionsvorgang oder einem Prüfvorgang oder einem Untersuchungsvorgang mit Partikeln behaftete Objekte, in Frage.
  • Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung, dargestellt in Fig. 6, sind diejenigen Elemente, die mit denen des ersten Ausführungsbeispiels identisch sind, mit denselben Bezugszeichen versehen, so dass hinsichtlich der Beschreibung vollinhaltlich auf die Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen werden kann.
  • Im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel ist allerdings der Abluftleitung 172 noch ein Abluftgebläse 232 zugeordnet, welches die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum 142 unterstützt, insbesondere in dem Fall, dass der externe Abluftkanal 212 keinen ausreichenden Unterdruck erzeugt, um zuverlässig die Luft aus dem Innenraum 142 des Außengehäuses 140 abzuführen.
  • Bei einem dritten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung, dargestellt in Fig. 7, ist in Abwandlung zum ersten Ausführungsbeispiel der Geräteablauf 114' so angeordnet, dass der Ablauf über die Aufstellfläche 116 und nicht über die Rückwand 166 des Außengehäuses 140 erfolgt.
  • Ferner ist auch die Abluftleitung 172' so angeordnet, dass sie über die Aufstellfläche 16 erfolgt.
  • Zusätzlich ist vorzugsweise auch noch vorgesehen, dass die externe Reinmediumzuleitung 218 ebenfalls über die Aufstellfläche 16 erfolgt.
  • Damit ist insgesamt die Rückwand 166 des Außengehäuses 140 als geschlossene Rückwand ausgebildet, so dass die erfindungsgemäße Waschvorrichtung 10 an beliebigen stellen innerhalb des Reinraums 180 angeordnet werden kann, ohne dass es notwendig ist, die Rückwand 166 an eine der Reinraumwände 184 anschließend anzuordnen.

Claims (15)

  1. Waschvorrichtung umfassend ein eine Waschkammer (46) umschließendes Waschkammergehäuse (22), welches mit einer Zugangsöffnung (28) versehen ist, die durch eine Zugangstür (32) verschließbar ist, ein in der Waschkammer (46) angeordnetes Bewegungssystem (48) und eine Antriebsvorrichtung (68) für das Bewegungssystem (48),
    dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) und die Antriebsvorrichtung (68) für das Bewegungssystem (48) in einem Innenraum (142) eines Außengehäuses (140) angeordnet sind und dass der Innenraum (142) mit einer Abluftleitung (172) verbunden ist, welche mindestens beim Betrieb der Waschvorrichtung Luft aus dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) abführt und einer externen Abluftleitung zuführt.
  2. Waschvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Luft in das Außengehäuse (140) über eine einen Zugang zu der Zugangstür (32) zulassende Türöffnung (154) in dem Außengehäuse (140) in den Innenraum (142) eintritt.
  3. Waschvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass beim Betrieb der Waschvorrichtung die Türöffnung (154) durch eine Türhaube (152) verschlossen ist, dass insbesondere zwischen der Türhaube (152) und einer Wand (156) des Außengehäuses (140) ein Luftspalt (158) besteht, durch welchen Luft hindurchtritt und über die Türöffnung (154) in den Innenraum (142) eintritt.
  4. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Außengehäuse (140) sämtliche funktionale Komponenten der Waschvorrichtung umschließt.
  5. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abluftleitung (172) mit einem die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) unterstützenden Gebläse (232) versehen ist.
  6. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abluftleitung (172) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist, oder dass insbesondere die Abluftleitung (172) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (16), in das Außengehäuse geführt ist.
  7. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu der Abluftleitung (172) noch ein Geräteablauf (114) und/oder eine Reinmediumzuleitung (82) in den Innenraum (142) des Außengehäuses (140) geführt sind.
  8. Waschvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist, oder dass insbesondere der Geräteablauf (114) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (16), in das Außengehäuse (140) geführt ist.
  9. Waschvorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Geräteablauf (114) berührungslos mit einer dem Waschkammergehäuse (22) zugeordneten Ableitung (104) zur Abfuhr von Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse (22) verbunden ist, dass insbesondere der Geräteablauf (114) einen Sammler (112) aufweist, in welchen ein Anschluss (106) einer Ableitung (104) berührungslos einmündet.
  10. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinmediumzuleitung (82) durch eine Wand des Außengehäuses (140) geführt ist und/oder dass eine Reinmediumzuleitung (82) bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche (116), in das Außengehäuse (140) hineingeführt ist.
  11. Waschvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Geräteablaufs (114) und die Ableitung (104) für das Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse (22) in dem Außengehäuse (140) angeordnet sind, dass insbesondere der Sammler (112) des Geräteablaufs und die Ableitung (104) in dem Außengehäuse (140) angeordnet sind.
  12. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) einen Entlüftungsanschluss (122) aufweist, der mit einem Entlüftungsfilter (126) gekoppelt ist, welches aus der Waschkammer (46) des Waschkammergehäuses (22) abströmende oder in die Waschkammer (46) einströmende Luft filtert, dass insbesondere das Entlüftungsfilter (126) in dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) angeordnet ist, dass insbesondere das Entlüftungsfilter (126) eine Filtergehäusemündung (136) aufweist, welche in den Innenraum (142) des Außengehäuses (140) einmündet.
  13. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ablaufen von Waschmedium aus der Waschkammer (46) über ein Ablaufventil (92) schwerkraftgetrieben erfolgt, dass insbesondere das Ablaufventil (92) zwischen einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer (46) und der zum Geräteablauf (114) führenden Ableitung (104) angeordnet ist und/oder dass insbesondere das Ablaufventil (92) in dem Innenraum (142) des Außengehäuses (140) angeordnet ist.
  14. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Waschkammergehäuse (22) mit einer Überlaufleitung (96) versehen ist, welche in die Ableitung (104) für das Waschmedium mündet, dass insbesondere die Überlaufleitung (96) mit einem Überlaufventil (98) versehen ist.
  15. Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschkammer (46) eine Messeinrichtung (174) zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums zugeordnet ist.
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