EP2458222B1 - Turbomolecular pump - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a turbomolecular pump according to the preamble of claim 1.

Seit Jahrzehnten werden Turbomolekularpumpen in der Vakuumtechnik zur Erzeugung von Hochvakuum und Ultrahochvakuum eingesetzt. Die Vakuumerzeugung beruht in ihnen auf einem Rotor mit mehreren entlang der Rotorachse zueinander versetzten Schaufelkränzen, zwischen denen statorseitig stehende Schaufelkränze angeordnet sind.For decades, turbomolecular pumps have been used in vacuum technology to produce high vacuum and ultrahigh vacuum. The vacuum generation is based in them on a rotor with a plurality along the rotor axis staggered blade rings, between which stator side standing blade rings are arranged.

Verschiedene Gestaltungsformen der statorseitigen Schaufelkränze sind im Stand der Technik bekannt. Nachfolgend werden so genannte Blechstatorscheiben betrachtet. Diese werden typischerweise aus Feinblech hergestellt, indem zunächst durch Stanzen oder Schneiden die Schaufeln des Schaufelkranzes freigelegt und in einem nachfolgenden Umformschritt aus der Scheibenebene herausgedreht werden. Diese Blechstatorscheiben sind kostengünstig und sind insbesondere für den Bereich des Vorvakuums beliebt, in welchem die Schaufeln nur um wenige Grad aus der Scheibenebene herausgestellt sind. Die EP 967 395 A2 zeigt eine solche Blechstatorscheibe. Da jeder statorseitige Schaufelkranz um die Welle des Rotors herum und in der Regel zwischen zwei rotorseitigen Schaufelkränzen angeordnet ist, erfordert die Montierbarkeit, die Blechstatorscheibe einer Stufe aus mehrerer, in der Regel zwei, Teilscheiben zu bilden. Dadurch wird die geringe Dicke des Bleches zu einem Nachteil: dort, wo die Teilscheiben aneinanderstoßen, können die dünnen Bleche übereinanderrutschen. Die Schaufeln des Schaufelkranzes sind dann falsch positioniert und weichen unter anderem in Richtung der Rotorachse von ihrer Solllage ab. In der Folge wird der Spalt zwischen rotorseitigem und statorseitigem Schaufelkranz aufgebraucht. In besonderen Betriebsbedingungen, beispielsweise bei hohen Gaslasten kann dies zu einem Kontakt zwischen rotorseitigen und statorseitigen Bauteilen führen. Im schlimmsten Fall ist das Versagen der Pumpe die Folge.Various designs of the stator blade rings are known in the art. In the following, so-called sheet metal stator disks are considered. These are typically made of thin sheet metal by first exposing the blades of the blade ring by punching or cutting and then turning them out of the disk plane in a subsequent forming step. These Blechstatorscheiben are inexpensive and are particularly popular in the field of Vorvakuums in which the blades are exposed only by a few degrees from the disk plane. The EP 967 395 A2 shows such a Blechstatorscheibe. Since each stator-side blade ring is arranged around the shaft of the rotor and usually between two rotor-side blade rings, the assemblability of forming the Blechstatorscheibe one stage of several, usually two, part discs to form. As a result, the small thickness of the sheet becomes a disadvantage: where the part discs abut each other, the thin sheets can slide over each other. The blades of the blade ring are then positioned incorrectly and deviate among others in the direction of the rotor axis from its desired position. As a result, the gap between the rotor-side and stator-side blade ring is used up. In special operating conditions, for example at high gas loads can lead to a contact between the rotor-side and stator-side components. In the worst case, the failure of the pump is the result.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung eine Turbomolekularpumpe vorzustellen, in welcher das Überlappen der Teilscheiben verhindert ist.It is therefore an object of the invention to present a turbomolecular pump, in which the overlapping of the part discs is prevented.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Turbomolekularpumpe mit den Merkmalen des ersten Anspruchs. Die abhängigen Ansprüche 2 bis 11 geben vorteilhafte Weiterbildungen an.This object is achieved by a turbomolecular pump having the features of the first claim. The dependent claims 2 to 11 indicate advantageous developments.

Es ist vorgesehen, dass die Statorscheibe zwei Teilscheiben aufweist und die sich berührenden Stoßkanten der Teilscheiben derart geformt sind, dass sie wenigstens abschnittsweise gekreuzt aufeinanderstoßen. Dies kann durch Herausdrehen wenigstens eines Teiles der Stoßkante aus der Scheibenebene bewirkt werden. Hierdurch wird ein Überlappen der Teilscheiben verhindert, wobei das Herausdrehen im ohnehin notwendigen Umformschritt erfolgen kann, in welchem die Schaufeln aus der Scheibenebene herausgedreht werden. Es ist lediglich eine Bearbeitung des Umformwerkzeuges notwendig.It is envisaged that the stator disc has two partial disks and that the contacting abutting edges of the partial disks are shaped in such a way that they collide in a crossed manner at least in sections. This can be effected by unscrewing at least a portion of the abutting edge of the disc plane. As a result, an overlapping of the part discs is prevented, the unscrewing can take place in the already necessary forming step in which the blades are rotated out of the disk plane. It is only a processing of the forming tool necessary.

Die Weiterbildungen bringen weitere Vorteile, beispielsweise eine besonders einfache Fertigung in der Ausgestaltung nach Anspruch 2. Die Gestaltungen nach den Ansprüchen 3 und 4 verhindern nicht nur ein Überlappen, sondern Verriegeln die Tragringabschnitte gegen eine Auslenkung aus der Scheibenebene heraus. Die Montage dieser Weiterbildung wird in der Ausprägung nach Anspruch 5 erleichtert. Eine Verwendelung des Tragringes, insbesondere des inneren Tragringes, nach einem der Ansprüche 6 bis 9 führt zu einer Versteifung des Tragringes, so dass die Widerstandsfähigkeit gegen hohe Axialkräfte, beispielsweise durch hohe Gaslasten, verbessert wird. Auch das Einprägen einer Sicke nach Anspruch 10 ist in Bezug auf die Steifigkeit gegen senkrecht auf die Scheibenebene wirkende Kräfte von Vorteil.The developments bring further advantages, for example, a particularly simple production in the embodiment according to claim 2. The designs according to claims 3 and 4 not only prevent overlapping, but locking the support ring sections against deflection from the disk plane out. The installation of this development is facilitated in the expression according to claim 5. A use of the support ring, in particular of the inner support ring, according to one of claims 6 to 9 leads to a stiffening of the support ring, so that the resistance to high axial forces, for example by high gas loads, is improved. Also, the embossing of a bead according to claim 10 is in terms of stiffness against forces acting perpendicular to the disk plane forces advantage.

An Hand von Ausführungsbeispielen und deren Weiterbildungen soll die Erfindung näher erläutert und die Darstellung ihrer Vorteile vertieft werden.With reference to embodiments and their developments, the invention will be explained in more detail and the representation of its benefits to be deepened.

Es zeigen:

Fig. 1:

Schematischer Schnitt durch eine Turbomolekularvakuumpumpe;

Fig. 2:

Draufsicht auf zwei Teilscheiben einer Statorscheibe;

Fig. 3:

Seitenansicht in der Scheibenebene auf die in Berührung stehenden Abschnitte der Teilscheiben;

Fig. 4:

Blick auf eine Teilscheibe und deren Stoßkanten;

Fig. 5:

Alternative Bauform zur Variante der Fig. 4;

Fig. 6:

a) Blick auf einen Tragringabschnitt mit Nut, b) Blick auf eine Stoßkante mit Nut;

Fig. 7:

Teilscheibe mit einem gewendelten Tragringabschnitt in einer ersten Ausführung;

Fig. 8:

Blick auf den gewendelten Tragringabschnitt gemäß erster Ausführung;

Fig. 9:

Teilscheibe mit einem gewendelten Tragringabschnitt in einer zweiten Ausführung;

Fig. 10:

Blick auf den gewendelten Tragringabschnitt gemäß zweiter Ausführung;

Fig. 11:

a) Blick auf eine Statorscheibe mit Teilscheiben und einem Tragring, welcher eine Sicke aufweist, b) Blick auf die Stoßkante einer Teilscheibe;

Fig. 12:

a) und b) alternative Querschnittsformen der Sicke;

Fig. 13:

a) Draufblick auf Ausschnitt von Tragringabschnitten, welche Laschen aufweisen, b) Blick in der Scheibenebene.

Fig. 14:

Blick auf den Stoßbereich einer Weiterbildung der Teilscheiben mit Sicke.

Show it:

Fig. 1:

Schematic section through a turbomolecular vacuum pump;

Fig. 2:

Top view of two partial disks of a stator disk;

3:

Side view in the disc plane on the contacting portions of the part discs;

4:

View of a dividing disk and its abutting edges;

Fig. 5:

Alternative design to the variant of Fig. 4 ;

Fig. 6:

a) view of a supporting ring section with a groove, b) view of an abutting edge with a groove;

Fig. 7:

Partial disk with a coiled support ring portion in a first embodiment;

Fig. 8:

View of the coiled support ring section according to the first embodiment;

Fig. 9:

Partial disk with a coiled support ring portion in a second embodiment;

Fig. 10:

View of the coiled support ring section according to the second embodiment;

Fig. 11:

a) view of a stator with part discs and a support ring, which has a bead, b) view of the abutting edge of a part disc;

Fig. 12:

a) and b) alternative cross-sectional shapes of the bead;

Fig. 13:

a) An overview of the section of supporting ring sections which have tabs, b) view in the plane of the pane.

Fig. 14:

View of the joint area of a further development of the dividing disks with a bead.

Es zeigt Fig. 1 einen Schnitt durch eine Turbomolekularpumpe 1. Sie besitzt einen Flansch 4, der lösbar an dem Flansch einer zu evakuierenden Kammer befestigt ist. Durch die Ansaugöffnung 6 wird Gas in die Pumpe eingesaugt und durch den Auslass 8 ausgestoßen. Im Gehäuse 2 sind Rotor 10 und Stator 20 angordnet, durch deren Zusammenwirken die Förderwirkung erreicht wird.It shows Fig. 1 It has a flange 4 which is releasably secured to the flange of a chamber to be evacuated. Through the suction port 6 gas is sucked into the pump and discharged through the outlet 8. In the housing 2 rotor 10 and stator 20 are angordnet, by the interaction of the conveying effect is achieved.

Der Rotor umfasst eine Welle 12, auf der eine vorvakuumseitige Rotorscheibe 14, eine mittlere Rotorscheibe 16 und eine hochvakuumseitige Rotorscheibe 18 vorgesehen sind, wobei jede der Rotorscheiben einen aus einer Mehrzahl von Schaufeln bestehenden Schaufelkranz besitzt. Die Welle wird hochvakuumseitig durch ein Permanentmagnetlager 40 und vorvakuumseitig durch ein Wälzlager 42 drehbar unterstützt. Ein Antrieb 44 versetzt den Rotor in schnelle Drehung von einigen Zehntausend Umdrehungen in der Minute.The rotor comprises a shaft 12 on which a fore vacuum side rotor disk 14, a central rotor disk 16 and a high vacuum side rotor disk 18 are provided, each of the rotor disks having a blade ring consisting of a plurality of blades. The shaft is rotatably supported on the high vacuum side by a permanent magnet bearing 40 and on the fore vacuum side by a roller bearing 42. A drive 44 translates the rotor into rapid rotation of tens of thousands of revolutions per minute.

Der Stator umfasst eine vorvakuumseitige Statorscheibe 24, eine mittlere Statorscheibe 26 und eine hochvakuumseitige Statorscheibe 28. Diese sind durch Distanzringe 30, 32 und 34 in Bezug auf die Welle axial von einander beabstandet und mit den Rotorscheiben alternierend angeordnet. Die Statorscheiben besitzen ebenfalls Schaufelkränze.The stator includes a forward vacuum-side stator disk 24, a middle stator disk 26, and a high-vacuum-side stator disk 28. These are axially spaced apart from each other by spacer rings 30, 32, and 34 with respect to the shaft and are alternately arranged with the rotor disks. The stator discs also have blade rings.

Die Anzahl von Rotor- und Statorscheiben hängt von den gewünschten vakuumtechnischen Parametern wie Saugvermögen und Druckverhältnis zwischen Ansaugöffnung und Auslass ab. Der Rotor kann anstelle von Scheiben auch in im Stand der Technik bekannter Glockenbauweise gebaut sein, zudem können beide Lager vorvakuumseitig angeordnet sein.The number of rotor and stator disks depends on the desired vacuum parameters, such as suction capacity and pressure ratio between intake opening and outlet. The rotor may be constructed instead of discs also known in the art bell design, also both bearings can be arranged on the vacuum side.

Die nachfolgend anhand der Fig. 2 bis 14 beschriebenen Ausführungsbeispiele können auf eine, mehrere oder jede der aus Feinblech hergestellten Statorscheiben der Turbomolekularpumpe angewendet werden.The following are based on the Fig. 2 to 14 described embodiments can be applied to one, several or each of the stator made of sheet steel turbomolecular pump.

In der Draufsicht nach Fig. 2 auf eine Statorscheibe 14 aus Feinblech sind deren erste und zweite Teilscheiben 140 und 142 voneinander beabstandet dargestellt. Im montierten Zustand stoßen beiden Teilscheiben aneinander.In the plan view Fig. 2 on a stator 14 made of sheet metal whose first and second part discs 140 and 142 are shown spaced from each other. In the assembled state, two part discs abut each other.

Die Statorscheibe weist einen äußeren Tragring 50 und einen inneren Tragring 60 auf. Ein erster Tragringabschnitt 52 des äußeren Tragringes ist Teil der ersten Teilscheibe 140, ein zweiter Tragringabschnitt 56 ist Teil der zweiten Teilscheibe 142. Der Tragring 60 besitzt einen ersten inneren Tragringabschnitt 62, der Bestandteil der ersten Teilscheibe ist, und einen zweiten inneren Tragringabschnitt 66, der Teil der zweiten Teilscheibe ist. Schaufeln 48 sind an innerem und äußerem Tragring befestigt und bilden einen Schaufelkranz.The stator disc has an outer support ring 50 and an inner support ring 60. A first support ring portion 52 of the outer support ring is part of the first part disc 140, a second support ring portion 56 is part of the second part disc 142. The support ring 60 has a first inner support ring portion 62 which is part of the first part disc, and a second inner support ring portion 66 which Part of the second part of the disc is. Blades 48 are attached to inner and outer support ring and form a blade ring.

Die Tragringabschnitte 52 und 56 beziehungsweise 62 und 66 stoßen im montierten Zustand an Stoßkanten aneinander. Im Detail berühren sich die Stoßkanten 54 und 58 sowie 70 und 72 der äußeren Tragringabschnitte und die Stoßkanten 64 und 68 sowie 74 und 76 der inneren Tragringabschnitte.The support ring sections 52 and 56 or 62 and 66 abut each other in the assembled state at abutting edges. In detail, the abutting edges 54 and 58 and 70 and 72 of the outer support ring portions and the abutting edges 64 and 68 and 74 and 76 of the inner support ring portions are in contact.

In der Seitenansicht in Fig. 3 ist als Beispiel der Bereich der Tragringabschnitte 52 und 56 dargestellt. Die Tragringabschnitte definieren eine Scheibenebene 200. Gegen diese sind die Schaufeln 48 verkippt, wobei der Anstellwinkel 202 zwischen Schaufelebene und Scheibenebene von dem Druckbereich abhängt, in dem die Scheibe verwendet wird. In der Regel nimmt der Anstellwinkel zwischen Hochvakuumseite und Vorvakuumseite ab. Die Stoßkanten 54 und 58 sind ebenfalls gegen die Scheibenebene geneigt, wobei die Verkippung vorzugsweise gegensinnig erfolgt, so dass sich die Stoßkanten kreuzen. Durch dieses Kreuzen wird ein
Überlappen wirkungsvoll mit sehr einfachen Mitteln erhindert, da das Verkippen der Stoßkanten in einem Arbeitsgang mit dem Herausdrehen der Schaufeln aus der Scheibenebene erfolgen kann.In the side view in Fig. 3 For example, the area of the support ring sections 52 and 56 is shown. The support ring sections define a disk plane 200. Toward these, the blades 48 are tilted, the angle of attack 202 between the blade plane and the disk plane depending on the pressure range in which the disk is used. As a rule, the angle of attack between the high-vacuum side and the fore-vacuum side decreases. The abutting edges 54 and 58 are also inclined towards the disk plane, wherein the tilting is preferably in opposite directions, so that the abutting edges intersect. This cruising turns into one
Overlapping effectively prevented by very simple means, since the tilting of the abutting edges can be done in a single operation with the unscrewing of the blades from the disk plane.

Die Fig. 4 und 5 zeigen die Seitenansicht einer Teilscheibe aus Richtung der Welle.The 4 and 5 show the side view of a part disc from the direction of the shaft.

In Fig. 4 sind die Stoßkanten 54 und 70 des äußeren Tragringabschnitts gegen die Scheibenebene 200 geneigt, während die Stoßkanten 64 und 74 des inneren Tragringabschnitts in der Scheibenebene liegen. Vorteilhaft ist, beide Stoßkanten 54 und 70 in gleicher Richtung gegen die Scheibenebene zu neigen. Dadurch ist es möglich, beide Teilscheiben symmetrisch zu gestalten und gleichzeitig einen Schutz gegen das Überlappen zu erreichen. Die gezeigte Teilscheibe kann sowohl als Teilscheibe 140 als auch als Teilscheibe 142 verwendet werden, so dass die Zahl unterschiedlicher Teile in der Turbopumpe verringert und Montagefehler vermieden werden.In Fig. 4 For example, the abutting edges 54 and 70 of the outer support ring portion are inclined against the disk plane 200 while the abutting edges 64 and 74 of the inner support ring portion are in the disk plane. It is advantageous to incline both abutting edges 54 and 70 in the same direction against the disc plane. This makes it possible to make symmetrical both partial discs and at the same time to achieve protection against overlapping. The partial disk shown can be used both as a partial disk 140 and as a partial disk 142, so that the number of different parts in the turbo pump reduces and assembly errors are avoided.

In Fig. 5 liegen die Stoßkanten 72 und 58 des äußeren Tragringabschnittes in der Scheibenebene 200, während die Stoßkanten 76 und 68 des inneren Tragringabschnittes in gleichem Sinne gegen die Scheibenebene geneigt sind.In Fig. 5 are the abutting edges 72 and 58 of the outer support ring portion in the disk plane 200, while the abutting edges 76 and 68 of the inner support ring portion are inclined in the same direction against the disk plane.

Alternativ können sowohl die Stoßkanten des inneren als auch des äußeren Tragringabschnittes gegen die Scheibenebene geneigt sein, wodurch die Sicherheit gegen Überlappen erhöht wird.Alternatively, both the abutting edges of the inner and outer support ring portions may be inclined against the disk plane, thereby increasing the security against overlap.

Eine Weiterbildung zeigen Fig. 6a und Fig. 6b. In die Stoßkante 54 des Tragringabschnitts 52 ist eine Ausnehmung 80 eingearbeitet, so dass die Stoßkanten 54 und 56 zweier Teilscheiben nach Montage ineinandergreifen. Vorteilhaft ist, die Weite 204 der Ausnehmung nur geringfügig größer die Dicke 206 der Teilscheibe zu wählen, da dies eine präzise Positionierung der Teilscheiben zueinander bewirkt.Show a training Fig. 6a and Fig. 6b , In the abutting edge 54 of the support ring portion 52, a recess 80 is incorporated, so that the abutting edges 54 and 56 of two part discs engage each other after assembly. It is advantageous to select the width 204 of the recess only slightly larger than the thickness 206 of the dividing disk, since this causes precise positioning of the dividing disks relative to each other.

Dies erhöht ebenfalls die Sicherheit gegen Überlappen der Teilscheiben. Dies lässt sich vorteilhaft weiterbilden, indem die Ausnehmung Abschrägungen 82 aufweist, so dass sich die Ausnehmung in Richtung Stoßkante aufweitet. Die Abschrägungen bewirken eine Führung der Tragringabschnitte während der Montage, wodurch eine Zentrierung erfolgt. Eine andere Weiterbildung sieht vor, an beiden Teilscheiben Ausnehmungen vorzusehen, was eine besonders gute Verriegelung der Tragringabschnitte bewirkt.This also increases the security against overlapping of the dividing discs. This can advantageously be further developed in that the recess has chamfers 82, so that the recess widens in the direction of the abutting edge. The chamfers cause a guide of the support ring sections during assembly, whereby a centering takes place. Another development provides to provide recesses on both part discs, which causes a particularly good locking of the support ring sections.

Zwei Weiterbildungen, die sich auf den inneren Tragring beziehen, sind in den Fig. 7 bis 10 gezeigt.Two developments, which relate to the inner support ring are in the Fig. 7 to 10 shown.

Die erste Weiterbildung ist in Fig. 7 in einer Vorderansicht und in Fig. 8 in einem teilweisen Draufblock dargestellt. Der innere Tragringabschnitt 62' ist über seine Länge verwendelt gestaltet. Die Stoßkanten 64' und 74' sind in gleichem Sinne gegen die Scheibenebene 200 geneigt. Die Schaufeln 48 der Teilscheibe sind über Stege 84, welche in der Scheibenebene liegen, mit dem inneren Tragringabschnitt verbunden. Die neutrale Faser 88 der Verwendelung, also jener Bereich des Tragringabschnitts, der über die gesamte Länge des Tragringabschnitts in der Scheibenebene liegt, liegt im Wesentlichen auf der Kante des Tragringabschnitts, mit welcher die Stege verbunden sind.The first training is in Fig. 7 in a front view and in Fig. 8 represented in a partial top block. The inner support ring portion 62 'is designed to be used over its length. The abutting edges 64 'and 74' are inclined in the same direction against the disk plane 200. The vanes 48 of the dividing disc are connected by webs 84, which lie in the disc plane, with the inner support ring portion. The neutral fiber 88 of the utilization, that is to say the region of the supporting ring section which lies in the plane of the pane over the entire length of the supporting ring section, lies substantially on the edge of the supporting ring section with which the webs are connected.

Die zweite Weiterbildung ist in Fig. 9 in einer Vorderansicht und in Fig. 10 in einem teilweisen Draufblock dargestellt. Auch hier ist der innere Tragringabschnitt 62' über seine Länge, also zwischen den zur Scheibenebene 200 geneigten Stoßkanten 64" und 74", verwendelt gestaltet. Die Schaufeln 48 sind wiederum über Stege 84 mit dem inneren Tragringabschnitt verbunden. Die Stege sind jedoch mit der in der Scheibenebene liegenden neutralen Faser 88 verbunden, wobei diese nicht auf der Kante des Tragringabschnittes sonderen im inneren liegt. Spalte 86 sind zwischen Kante und neutraler Faser geformt, so dass die Stege in der Scheibenebene zu liegen kommen.The second training is in Fig. 9 in a front view and in Fig. 10 represented in a partial top block. Again, the inner support ring portion 62 'over its length, ie designed between the inclined plane to the disk 200 abutting edges 64 "and 74". The blades 48 are in turn connected by webs 84 with the inner support ring portion. However, the webs are connected to the lying in the disk plane neutral fiber 88, which is not on the edge of the support ring portion but in the interior. Column 86 are formed between edge and neutral fiber, so that the webs come to rest in the disk plane.

Die Verwendelung des inneren Tragringabschnitts ist gegenüber einer ebenfalls denkbaren Verwendelung des äußeren Tragringabschnitts vorteilhaft, da aufwändige, an die Verwendelung angepasste Gestaltungen des Distanzringes entfallen.The use of the inner support ring portion is advantageous over a likewise conceivable use of the outer support ring portion, since complex, adapted to the use of configurations of the spacer ring omitted.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel zeigen die Fig. 11 bis 13. In Fig. 11a sind die inneren Tragringabschnitte 62'" und 66'" zweier Teilscheiben im Draufblick zu sehen. Mindestens die Teilscheibe 62"' weist eine Sicke 100 auf, die bis an die Stoßkanten 62'" und 74'" geführt ist. Vorteilhaft, um die Teilscheiben als Gleichteil gestalten zu können, verläuft die Sicke gemäß Fig. 11a nicht koaxial zum Tragring. Dies ist Fig. 11b anhand der Radien veranschaulicht. Der Radius des tiefsten Punkts der Sicke besitzt an der Stoßkante 64'" einen großen Radius 104, der größer als der kleine Radius 102 an der Stoßkante 74"' ist. Durch diese Wahl der Radien wird ein Übereinandergleiten der Stoßkanten verhindert. Radial innerhalb und außerhalb der Sicke liegen ebene Abschnitte 106 und 102, an denen die Stoßkanten der Teilscheiben aufeinanderliegen verlaufen.Another embodiment show the Fig. 11 to 13 , In Fig. 11a the inner support ring sections 62 '"and 66'" of two part discs can be seen in the plan view. At least the partial disk 62 "'has a bead 100, which is guided as far as the abutting edges 62'" and 74 '. "Advantageously, in order to be able to design the partial disks as an identical part, the bead runs according to FIG Fig. 11a not coaxial to the support ring. This is Fig. 11b illustrated by the radii. The radius of the deepest point of the bead has at the abutting edge 64 '''a large radius 104 which is greater than the small radius 102 at the abutting edge 74'''. This choice of radii prevents the edges from sliding over each other. Radially inside and outside the bead lie flat portions 106 and 102, on which the abutting edges of the part discs are superimposed.

Die Sicke kann unterschiedliche Querschnitte besitzen. In Fig. 11 besitzt die Sicke 100 einen im Wesentlichen dreieckigen Querschnitt. Die Sicke 100' in Fig. 12a hat einen rechteckigen, die Sicke 100" in Fig. 12b einen runden Querschnitt.The bead can have different cross sections. In Fig. 11 the bead 100 has a substantially triangular cross-section. The bead 100 'in Fig. 12a has a rectangular, the bead 100 "in Fig. 12b a round cross section.

Die Sicke kann zudem in einer Weiterbildung, gezeigt in Fig. 13a und 13b, Laschen 110 und 112 aufweisen, die bei Montage die Sicken 100 der Tragringabschnitte 62"' und 66'" in Eingriff miteinander bringen. Dies wird in der Variante nach Fig. 13 erreicht, in dem die Laschen an gekreuzt aufeinander stehenden Abschnitten der Sicke angeordnet sind, so dass sich eine Wirkung analog der Fig. 6a und b ergibt. In Fig. 13b ist der Tragringabschnitt 66'" gestrichelt dargestellt, der Tragringabschnitt 62'" mit durchgezogener Linie. Diese Darstellung veranschaulicht die gekreuzte Stellung der Sickenabschnitte zueinander.The beading can also be seen in a continuing education, shown in Fig. 13a and 13b , Tabs 110 and 112, which bring the beads 100 of the support ring portions 62 '' and 66 '' in engagement with each other when assembled. This is according to the variant Fig. 13 achieved in which the tabs are arranged on crossed sections of the bead, so that an effect analogous to Fig. 6a and b results. In Fig. 13b is the support ring portion 66 '"shown in dashed lines, the support ring portion 62'" with a solid line. This illustration illustrates the crossed position of the bead sections to each other.

In Fig. 14 ist eine Ausprägung dieses Gedankens gezeigt, bei der die Tragringabschnitte 62"" und 66"" Sicken 100 aufweisen, welche an den Stoßkanten 64"" und 68"" derart radial zueinander versetzt angeordnet sind, dass sie sich nicht überdecken. An den Stoßkanten der Tragringabschnitte sind Laschen 114 und 116 angeordnet, die jeweils in den durch die Sicke des gegenüberliegenden Tragringabschnitts geschaffenen Raum hineinragen. Durch diese Gestaltung wird zum einen ein Überlappen der Tragringabschnitte verhindert, zum anderen die Verschiebung der Tragringabschnitte in axialer Richtung begrenzt. Bei Anpassung der Laschen derart, dass sie die volle Breite der Sicke besitzen, wird die axiale Bewegung vollständig unterdrückt.In Fig. 14 is an expression of this idea shown, in which the support ring portions 62 "" and 66 "" have beads 100 which are arranged at the abutting edges 64 "" and 68 "" radially offset from each other so that they do not overlap. At the abutting edges of the support ring portions tabs 114 and 116 are arranged, which protrude respectively into the space created by the bead of the opposite support ring portion. By this design, on the one hand, an overlapping of the support ring sections is prevented, on the other hand limits the displacement of the support ring sections in the axial direction. When adjusting the tabs so that they have the full width of the bead, the axial movement is completely suppressed.

Die Sicke kann abschnittsweise nur im Bereich der Stoßkanten vorgesehen sein. Vorteilhaft ist, sie über die gesamte Länge des Tragringabschnitts zwischen den Stoßkanten verlaufen zu lassen, da so als weiterer Vorteil eine Versteifung des Tragringabschnitts erreicht wird.The bead may be provided in sections only in the region of the abutting edges. It is advantageous to let it run over the entire length of the support ring portion between the abutting edges, since as a further advantage, a stiffening of the support ring portion is achieved.

An den unterschiedlichen Enden der Tragringabschnitte können verschiedene der gezeigten Maßnahmen eingesetzt werden, so dass an einer Teilscheibe eines oder mehrere der vorgestellten Beispiele kombiniert werden. Auch ist die Kombination einzelner Merkmale der Beispiele möglich.At the different ends of the support ring sections, various of the measures shown can be used, so that one or more of the presented examples are combined on a part disc. Also, the combination of individual features of the examples is possible.

Claims (11)

1. A turbomolecular pump (1) comprising a rotor (10) which has a ring of vanes; and a stator disk (14, 16, 18) which comprises a support ring (50, 60), a ring of vanes connected thereto and two part disks (140, 142), wherein each part disk has a support ring section (52, 56, 62, 66; 62'; 62"; 62"', 66"'; 62"", 66"") and an abutment edge (54, 58, 64, 68, 70, 72, 74, 76; 64', 74'; 64", 74"; 64"', 74"') arranged thereat and the abutment edges of the part disks contact one another, characterized in that the abutment edges of the part disks are formed such that they abut one another in an intersecting manner at least sectionally so that an overlapping of the part disks is prevented.
2. A turbomolecular pump in accordance with claim 1, characterized in that the abutment edges of the part disks are formed in a straight line.
3. A turbomolecular pump in accordance with claim 1 or claim 2, characterized in that at least the support ring section of one part disk has a recess (80) which is open toward the abutment edge and which is in engagement with the support ring section of a second part disk.
4. A turbomolecular pump in accordance with claim 3, characterized in that the support ring sections of both part disks have recesses (80) which are arranged engaging into one another.
5. A turbomolecular pump in accordance with claim 3 or claim 4, characterized in that the recess is formed in a self-centering manner, in particular widening toward the abutment edge.
6. A turbomolecular pump in accordance with any one of the preceding claims, characterized in that at least one support ring section (62'; 62") is arranged radially inside the ring of vanes and is designed in the manner of a helix along its periphery.
7. A turbomolecular pump in accordance with claim 6, characterized in that vanes (48) provided in the ring of vanes are connected to a neutral axis (88) of the support ring section (62'; 62").
8. A turbomolecular pump in accordance with claim 6, characterized in that webs (84) are provided between the support ring section (62") and the vanes provided in the ring of vanes and are connected to a neutral axis (88) of the support ring section; and in that a gap (86) is provided between the web and the support ring section.
9. A turbomolecular pump in accordance with any one of the claims 6 to 8, characterized in that the helical support ring section intersects the disk plane, as defined by the ring of vanes, a multiple of times.
10. A turbomolecular pump in accordance with any one of the claims 1 to 5, characterized in that each support ring section (62"', 66"'; 62"", 66"") comprises a bead (100; 100'; 100") extending in the peripheral direction.
11. A turbomolecular pump in accordance with claim 10, characterized in that the beads (100) of two part disks each have a bead end at one of the abutment edges; and in that these bead ends are arranged radially offset from one another.

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