EP1110254A1 - Piezo-actuator - Google Patents

Piezo-actuator

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EP1110254A1
EP1110254A1 EP00951223A EP00951223A EP1110254A1 EP 1110254 A1 EP1110254 A1 EP 1110254A1 EP 00951223 A EP00951223 A EP 00951223A EP 00951223 A EP00951223 A EP 00951223A EP 1110254 A1 EP1110254 A1 EP 1110254A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
piezo actuator
piezo
neutral
electrodes
thickening
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP00951223A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Klaus-Peter Schmoll
Friedrich Boecking
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Filing date
Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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    • H—ELECTRICITY
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    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers

Definitions

  • the invention relates to a piezo actuator, for example for actuating a mechanical component such as a valve or the like, according to the generic features of the main claim.
  • a piezo element can be constructed from a material with a suitable crystal structure using the so-called piezo effect.
  • an external electrical voltage is applied, there is a mechanical reaction of the piezo element which, depending on the crystal structure and the contact areas of the electrical voltage, represents a push or pull in a predeterminable direction.
  • On this piezo actuator can be done in several layers (Multilayer actuators), the electrodes via which the electrical voltage is applied being arranged between the layers. When operating the piezo actuator, it must be ensured that mechanical stresses in the layer structure do not result in any troublesome cracks.
  • the piezo actuator described at the outset which can be used, for example, to actuate a mechanical component, is advantageously constructed with a multilayer structure of piezo layers and electrodes arranged between them.
  • a neutral phase is formed in the area between two piezo layers. Since the electrodes contacted in each case on one side are integrated into the layer structure in the manner of a comb, the electrodes which follow one another in the direction of the layer structure must be contacted alternately on opposite sides.
  • the electrodes contacted on one side cannot be completely guided to the opposite side, otherwise voltage flashovers can destroy the piezo actuator.
  • the piezo actuator is actuated, i.e. When a voltage is applied between the electrodes lying opposite one another in the layer structure, different mechanical forces occur in the area of the electrodes and in the non-contacting neutral phases, which can lead to mechanical stresses and cracks in the piezo actuator.
  • the piezo actuator when clamped in, perpendicular to the layer structure a design of the multilayer structure specifically applied an increased mechanical stress in the area of the neutral phases to prevent cracking.
  • At least one outer cover layer of the multi-layer structure is designed on the outer end surface in such a way that it has a thickening in the region of the neutral phases and an increased prestressing force can be applied here in a targeted manner.
  • the thickening can be easily formed, for example, by grinding the cover layer.
  • an insulation layer is arranged between the layers of the multilayer structure, each of which has a thickening in the region of the neutral phases and acts in a manner comparable to that in the first exemplary embodiment.
  • a further embodiment advantageously has specially designed electrodes in the multilayer structure, which likewise each have a thickening in the region of the neutral phase, with some or all of the features being combined with one another with regard to the various previously mentioned embodiments.
  • FIG. 1 shows a section through a piezo actuator with a multi-layer structure of layers made of piezoceramic and electrodes
  • FIG. 2 shows a detail section through the layer structure in the area of neutral phases without application of an electrical voltage
  • FIG. 3 shows a detail section through the layer structure in the area of neutral phases with application of an electrical voltage
  • FIG. 4 shows a first exemplary embodiment of a piezo actuator in which an outer cover layer has thickenings on the side surfaces in the region of the neutral phases;
  • FIG. 5 shows a second exemplary embodiment of a piezo actuator, in which an outer cover layer has thickened portions in the area of the neutral phases at the opposite corners;
  • FIG. 6 shows a third exemplary embodiment of a piezo actuator, in which the electrodes have thickenings in the region of the neutral phases, and
  • FIG. 7 shows a fourth exemplary embodiment of a piezo actuator, in each case with an insulation layer between the layers, which has thickenings on the side surfaces in the region of the neutral phases.
  • piezo actuator 1 shows a piezo actuator 1, which is constructed in a manner known per se from piezo foils 2 of a quartz material with a suitable crystal structure, so that using the so-called piezo effect when an external electrical voltage is applied to electrodes 3 and 4 via contact surfaces 5 and 6 a mechanical reaction of the piezo actuator 1 takes place.
  • FIG. 2 shows the electrodes 3 and 4, wherein the contacting of the electrodes 4 with the contact surface 6 can also be seen here. Since the electrodes 3 have to maintain a distance from this contact surface 6 due to the different polarity, neutral phases are formed here, which are shown by way of example with reference to the neutral phase 7. Due to the spatially different occurrence of the piezo effect, mechanical stresses arise in the neutral phase 7, which lead to a material impairment, which is indicated schematically by the wavy line 8.
  • FIG. 3 the area from FIG. 2 is shown with an applied electrical voltage, the mechanical reaction of the piezo actuator caused thereby being illustrated by arrows 9 and 10. It can be seen here that in the area of the neutral phase 7 there is less expansion in the direction of the arrows 9 and therefore a force effect in the direction of the arrow 10, which leads to crack formation in the area 8 of the neutral phase.
  • FIG. 4 A first exemplary embodiment of the invention is explained with reference to FIG. 4, in which an outer cover layer 11 is arranged on the multilayer structure, which is provided with a thickening 12 in the region of the neutral phase 7, which can reach a size of 2 to 8 ⁇ m in the outer maximum.
  • a thickening 12 in the region of the neutral phase 7, which can reach a size of 2 to 8 ⁇ m in the outer maximum.
  • FIG. 5 shows an outer cover layer 11 with thickened portions 13, which are arranged at opposite corners of the piezo actuator 1.
  • the neutral phases 7 are also formed here at the corners, since in this embodiment the electrodes 3 and 4 are contacted via a contact surface 14 attached to the corners and an invisible diagonally opposite contact surface.
  • thickening in the area of the neutral phase 7 is brought about by local thickening of the electrodes 3 and 4 exclusively in the area of the neutral phases 7.
  • a further exemplary embodiment according to FIG. 7 shows a piezo actuator 1, in which an extra thick insulation layer 15 is introduced between the piezo layers 2 in the area of the neutral phase 7, in order to apply a pre-tension here too when the piezo actuator 1 is clamped, which prevents crack formation.

Abstract

The invention relates to a piezo-actuator, for example, for actuating a mechanical component. The inventive piezo-actuator is provided with a multilayer structure of piezo-layers (2) and electrodes (3, 4) arranged therebetween. In the instance of a mutual lateral contacting (5, 6) of the electrodes (3, 4), a neutral phase (7) without an electrode layer is provided, in which fissuring can occur and can be prevented by shaping the multilayer structure thus enabling an increased mechanical stress to be applied in the area of the neutral phases (7) when the piezo-actuator (1) is mounted in a manner that is perpendicular to the layer structure.

Description

Piezoaktor Piezo actuator
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs .The invention relates to a piezo actuator, for example for actuating a mechanical component such as a valve or the like, according to the generic features of the main claim.
Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt . Der Auf au dieses Piezoaktors kann hier in mehreren Schichten erfolgen (Multilayer-Aktoren) , wobei die Elektroden, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils zwischen den Schichten angeordnet werden. Beim Betrieb des Piezoaktors ist darauf zu achten das durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau keine störenden Rissbildungen entstehen.It is generally known that a piezo element can be constructed from a material with a suitable crystal structure using the so-called piezo effect. When an external electrical voltage is applied, there is a mechanical reaction of the piezo element which, depending on the crystal structure and the contact areas of the electrical voltage, represents a push or pull in a predeterminable direction. On this piezo actuator can be done in several layers (Multilayer actuators), the electrodes via which the electrical voltage is applied being arranged between the layers. When operating the piezo actuator, it must be ensured that mechanical stresses in the layer structure do not result in any troublesome cracks.
Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention
Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, ist in vorteilhafter Weise mit einem Mehr- schichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Elektroden aufgebaut. Bei einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Elektroden entsteht im Bereich zwischen zwei Piezolagen jeweils eine neutrale Phase. Da die jeweils an einer Seite kontaktierten Elektroden kammartig in den Lagenaufbau integriert sind, müssen die in Richtung des Lagenaufbaus aufeinanderfolgenden Elektroden jeweils abwechseln an gegenüberliegen Seiten kontaktiert werden.The piezo actuator described at the outset, which can be used, for example, to actuate a mechanical component, is advantageously constructed with a multilayer structure of piezo layers and electrodes arranged between them. When the electrodes are mutually contacted laterally, a neutral phase is formed in the area between two piezo layers. Since the electrodes contacted in each case on one side are integrated into the layer structure in the manner of a comb, the electrodes which follow one another in the direction of the layer structure must be contacted alternately on opposite sides.
Die an einer Seite kontaktierten Elektroden können dabei nicht vollständig bis an die gegenüberliegende Seite geführt werden, da sonst Spannungsüberschläge zur Zerstörung des Piezoaktors führen können. Bei einer Betätigung des Piezoaktors, d.h. bei Anlage einer Spannung zwischen den im Lagenaufbau gegenüberliegenden Elektroden treten unterschiedliche mechanische Kräfte im Bereich der Elektroden sowie in den nichtkontaktierten neutralen Phasen auf, die zu mechanischen Spannungen und Rissbildungen im Piezoaktor führen können.The electrodes contacted on one side cannot be completely guided to the opposite side, otherwise voltage flashovers can destroy the piezo actuator. When the piezo actuator is actuated, i.e. When a voltage is applied between the electrodes lying opposite one another in the layer structure, different mechanical forces occur in the area of the electrodes and in the non-contacting neutral phases, which can lead to mechanical stresses and cracks in the piezo actuator.
In vorteilhafter Weise wird erfindungsgemäß bei einer Einspannung des Piezoaktors senkrecht zum Lagenaufbau mit einer Formgebung des Mehrschichtaufbaus gezielt eine erhöhte mechanische Spannung im Bereich der neutralen Phasen zur Verhinderung der Rissbildung aufgebracht .Advantageously, according to the invention, when the piezo actuator is clamped in, perpendicular to the layer structure a design of the multilayer structure specifically applied an increased mechanical stress in the area of the neutral phases to prevent cracking.
Bei einer ersten vorteilhaften Ausführungsform ist mindestens eine äußere Deckschicht des Mehrschichtaufbaus an der äußeren Endfläche so gestaltet, dass diese im Bereich der neutralen Phasen eine Verdickung aufweist und so hier gezielt eine erhöhte Vorspannkraft aufgebracht werden kann. Die Verdickung kann auf einfache Weise beispielsweise durch Schleifen der Deckschicht gebildet werden.In a first advantageous embodiment, at least one outer cover layer of the multi-layer structure is designed on the outer end surface in such a way that it has a thickening in the region of the neutral phases and an increased prestressing force can be applied here in a targeted manner. The thickening can be easily formed, for example, by grinding the cover layer.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausführungsform wird zwischen den Lagen des Mehrschichtaufbaus eine Isolations- schicht angeordnet, die im Bereich der neutralen Phasen jeweils eine Verdickung aufweist und so in vergleichbarer Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel wirkt.In another advantageous embodiment, an insulation layer is arranged between the layers of the multilayer structure, each of which has a thickening in the region of the neutral phases and acts in a manner comparable to that in the first exemplary embodiment.
Eine weitere Ausführungsform weist in vorteilhafter Weise besonders gestaltete Elektroden im Mehrschichtaufbau auf, die ebenfalls im Bereich der neutralen Phase jeweils eine Verdickung aufweisen, wobei hinsichtlich der verschiedenen zuvor genannten Ausführungsformen auch einige oder alle Merkmale miteinander kombiniert sind.A further embodiment advantageously has specially designed electrodes in the multilayer structure, which likewise each have a thickening in the region of the neutral phase, with some or all of the features being combined with one another with regard to the various previously mentioned embodiments.
Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildungen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. ZeichnunThese and further features of preferred developments of the invention are evident from the claims and also from the description and the drawings, the individual features being implemented individually or in groups in the form of subcombinations in the embodiment of the invention and in other fields, and can represent advantageous and protectable versions for which protection is claimed here. Drawing
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:Exemplary embodiments of the piezo actuator according to the invention are explained with reference to the drawing. Show it:
Figur 1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Piezokeramik und Elektroden;1 shows a section through a piezo actuator with a multi-layer structure of layers made of piezoceramic and electrodes;
Figur 2 einen Detailschnitt durch den Lagenaufbau im Bereich von neutralen Phasen ohne Anlage einer elektrischen Spannung;FIG. 2 shows a detail section through the layer structure in the area of neutral phases without application of an electrical voltage;
Figur 3 einen Detailschnitt durch den Lagenaufbau im Bereich von neutralen Phasen mit Anlage einer elektrischen Spannung;FIG. 3 shows a detail section through the layer structure in the area of neutral phases with application of an electrical voltage;
Figur 4 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors, bei dem eine äußere Deckschicht im Bereich der neutralen Phasen an den Seitenflächen Verdickungen aufweist;FIG. 4 shows a first exemplary embodiment of a piezo actuator in which an outer cover layer has thickenings on the side surfaces in the region of the neutral phases;
Figur 5 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors, bei dem eine äußere Deckschicht im Bereich der neutralen Phasen an den gegenüberliegenden Ecken Verdickungen aufweist;FIG. 5 shows a second exemplary embodiment of a piezo actuator, in which an outer cover layer has thickened portions in the area of the neutral phases at the opposite corners;
Figur 6 ein drittes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors, bei dem die Elektroden im Bereich der neutralen Phasen Verdickungen aufweist undFIG. 6 shows a third exemplary embodiment of a piezo actuator, in which the electrodes have thickenings in the region of the neutral phases, and
Figur 7 ein viertes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors, bei jeweils eine Isolationsschicht zwischen den lagen angebracht ist, die im Bereich der neutralen Phasen an den Seitenflächen Verdickungen aufweist . Beschreibunq der AusführunqsbeispieleFIG. 7 shows a fourth exemplary embodiment of a piezo actuator, in each case with an insulation layer between the layers, which has thickenings on the side surfaces in the region of the neutral phases. Description of the execution examples
In Figur 1 ist ein Piezoaktor 1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise aus Piezofolien 2 eines Quarzmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an Elektroden 3 und 4 über Kontaktflächen 5 und 6 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors 1 erfolgt.1 shows a piezo actuator 1, which is constructed in a manner known per se from piezo foils 2 of a quartz material with a suitable crystal structure, so that using the so-called piezo effect when an external electrical voltage is applied to electrodes 3 and 4 via contact surfaces 5 and 6 a mechanical reaction of the piezo actuator 1 takes place.
Aus Figur 2 ist ein Bereich des Piezoaktors 1 vergrößert dargestellt, der die Elektroden 3 und 4 zeigt, wobei hier auch die Kontaktierung der Elektroden 4 mit der Kontakt- fläche 6 zu erkennen ist . Da die Elektroden 3 aufgrund der anderen Polarität einen Abstand zu dieser Kontaktfläche 6 einhalten müssen sind hier neutrale Phasen gebildet, die anhand der neutralen Phase 7 beispielhaft dargestellt sind. Aufgrund des somit räumlich unterschiedlichen Auftretens des Piezoeffekts entstehen mechanische Spannungen in der neutralen Phase 7, die zu einer Materialbeeinträchtigung führen, die mit der gewellten Linie 8 schematisch angedeutet ist.A region of the piezo actuator 1 is shown enlarged from FIG. 2, which shows the electrodes 3 and 4, wherein the contacting of the electrodes 4 with the contact surface 6 can also be seen here. Since the electrodes 3 have to maintain a distance from this contact surface 6 due to the different polarity, neutral phases are formed here, which are shown by way of example with reference to the neutral phase 7. Due to the spatially different occurrence of the piezo effect, mechanical stresses arise in the neutral phase 7, which lead to a material impairment, which is indicated schematically by the wavy line 8.
Nach Figur 3 ist der Bereich aus der Figur 2 mit einer angelegten elektrischen Spannung gezeigt, wobei die dadurch hervorgerufene mechanische Reaktion des Piezoaktors mit Pfeilen 9 und 10 verdeutlicht ist. Hierbei ist erkennbar, dass im Bereich der neutralen Phase 7 eine geringere Ausdehnung in Richtung der Pfeile 9 und daher eine Kraftwirkung in Richtung des Pfeiles 10 bewirkt wird, die zu Rissbildung im Bereich 8 der neutralen Phase führt .According to FIG. 3, the area from FIG. 2 is shown with an applied electrical voltage, the mechanical reaction of the piezo actuator caused thereby being illustrated by arrows 9 and 10. It can be seen here that in the area of the neutral phase 7 there is less expansion in the direction of the arrows 9 and therefore a force effect in the direction of the arrow 10, which leads to crack formation in the area 8 of the neutral phase.
Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand Figur 4 erläutert, bei dem eine äußere Deckschicht 11 auf dem Mehrschichtaufbau angeordnet ist, die im Bereich der neutralen Phase 7 mit einer Verdickung 12 versehen ist, welche im äußeren Maximum eine Größenordnung von 2 bis 8 μm erreichen kann. Mit dieser Verdickung 12 kann beim Einspannen des Piezoaktors 1 eine Vorspannung im Bereich der neutralen Phasen 7 aufgebracht werden, die die Rissbildung im Bereich 8 der Elektroden 3 und 4 verhindert (siehe Fig. 3) .A first exemplary embodiment of the invention is explained with reference to FIG. 4, in which an outer cover layer 11 is arranged on the multilayer structure, which is provided with a thickening 12 in the region of the neutral phase 7, which can reach a size of 2 to 8 μm in the outer maximum. With this thickening 12, when the piezo actuator 1 is clamped in, a pretension in the area of the neutral phases 7 is applied, which prevents the formation of cracks in the area 8 of the electrodes 3 and 4 (see FIG. 3).
Aus Figur 5 ist eine zweites Ausführungsbeispiel zu entnehmen, das eine äußerer Deckschicht 11 mit Verdickungen 13 zeigt, die an gegenüberliegenden Ecken des Piezoaktors 1 angeordnet sind. Die neutralen Phasen 7 sind hier ebenfalls an den Ecken ausgebildet, da bei diesem Ausführungsbeispiel die Kontaktierung der Elektroden 3 und 4 über eine an den Ecken angebrachte Kontaktfläche 14 und eine nicht sichtbare diagonal gegenüberliegenden Kontakt- fläche erfolgt .A second exemplary embodiment can be seen in FIG. 5, which shows an outer cover layer 11 with thickened portions 13, which are arranged at opposite corners of the piezo actuator 1. The neutral phases 7 are also formed here at the corners, since in this embodiment the electrodes 3 and 4 are contacted via a contact surface 14 attached to the corners and an invisible diagonally opposite contact surface.
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 6 wird eine Verdik- kung im Bereich der neutralen Phase 7 durch eine lokale Verdickung der Elektroden 3 und 4 ausschließlich im Bereich der neutralen Phasen 7 bewirkt .In the exemplary embodiment according to FIG. 6, thickening in the area of the neutral phase 7 is brought about by local thickening of the electrodes 3 and 4 exclusively in the area of the neutral phases 7.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel nach Figur 7 zeigt einen Piezoaktor 1, bei dem im Bereich der neutralen Phase 7 eine hier extra verdickte Isolationsschicht 15 zwischen den Piezolagen 2 eingebracht ist, um auch hier beim Einspannen des Piezoaktors 1 eine Vorspannung aufzubringen, die eine Rissbildung zu verhindert. A further exemplary embodiment according to FIG. 7 shows a piezo actuator 1, in which an extra thick insulation layer 15 is introduced between the piezo layers 2 in the area of the neutral phase 7, in order to apply a pre-tension here too when the piezo actuator 1 is clamped, which prevents crack formation.

Claims

Patentansprücheclaims
1) Piezoaktor, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2) und dazwischen angeordneten Elektroden (3,4), einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung (5,6) der Elektroden (3,4), wobei im Bereich zwischen zwei Piezolagen, der eine an der jeweils gegenüberliegenden Seite kontaktierte Elektrode (3,4) aufweist eine neutrale Phase (7) ohne Elektrodenschicht vorhanden ist und mit einer Formgebung des Mehrschichtaufbaus über die eine erhöhte mechanische Spannung, bei einer Einspannung des Piezoaktors (1) senkrecht zum Lagenaufbau, im Bereich der neutralen Phasen (7) aufbringbar ist.1) Piezo actuator, with a multilayer structure of piezo layers (2) and electrodes (3, 4) arranged between them, a mutual lateral contacting (5, 6) of the electrodes (3, 4), the area between two piezo layers, one on the Each electrode (3, 4) contacted on the opposite side has a neutral phase (7) without an electrode layer and with a shape of the multilayer structure via which increased mechanical tension, when the piezo actuator (1) is clamped perpendicular to the layer structure, in the area of the neutral one Phases (7) can be applied.
2) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet/ dass2) Piezo actuator according to claim 1, characterized / that
- mindestens eine äußere Deckschicht (11) des Mehrschichtaufbaus an der äußeren Endfläche so gestaltet ist, dass diese im Bereich der neutralen Phasen eine Verdickung (12; 13) aufweist.- At least one outer cover layer (11) of the multilayer structure on the outer end surface is designed in this way is that this has a thickening (12; 13) in the area of the neutral phases.
3) Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdickung (12) an gegenüberliegenden Seiten der Deckschicht (11) , entsprechend der Anordnung der neutralen Phasen (7), angeordnet ist.3) Piezo actuator according to claim 2, characterized in that the thickening (12) on opposite sides of the cover layer (11), according to the arrangement of the neutral phases (7), is arranged.
4) Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdickung (13) an diagonal gegenüberliegenden Ek- ken der Deckschicht (11) entsprechend der Anordnung der neutralen Phasen (7) angeordnet ist.4) Piezo actuator according to claim 2, characterized in that the thickening (13) on diagonally opposite corners of the cover layer (11) is arranged in accordance with the arrangement of the neutral phases (7).
5) Piezoaktor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdickung durch Schleifen der Deckschicht gebildet ist.5) Piezo actuator according to one of claims 2 to 4, characterized in that the thickening is formed by grinding the cover layer.
6 ) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen (einigen oder allen ?) Lagen des Mehrschichtaufbaus eine Isolationsschicht (15) angeordnet ist, die im Bereich der neutralen Phasen (7) jeweils eine Verdickung aufweist . 7) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (3,4) des Mehrschichtaufbaus im Bereich der neutralen Phase (7) jeweils eine Verdickung aufweisen.6) Piezo actuator according to claim 1, characterized in that between (some or all?) Layers of the multilayer structure, an insulation layer (15) is arranged, each having a thickening in the region of the neutral phases (7). 7) Piezo actuator according to claim 1, characterized in that the electrodes (3, 4) of the multilayer structure each have a thickening in the region of the neutral phase (7).
8) Piezoaktor nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass einige oder alle Merkmale dieser Ansprüche miteinander kombiniert sind. 8) Piezo actuator according to one of claims 2 to 7, characterized in that some or all of the features of these claims are combined.
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