EP0769201A1 - Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions - Google Patents

Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions

Info

Publication number
EP0769201A1
EP0769201A1 EP95925012A EP95925012A EP0769201A1 EP 0769201 A1 EP0769201 A1 EP 0769201A1 EP 95925012 A EP95925012 A EP 95925012A EP 95925012 A EP95925012 A EP 95925012A EP 0769201 A1 EP0769201 A1 EP 0769201A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ionization chamber
chamber
ion beam
wall
cavities
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP95925012A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Louis Wartski
Véronique ROY
Christian Schwebel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Plasmion
Original Assignee
Plasmion
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Plasmion filed Critical Plasmion
Publication of EP0769201A1 publication Critical patent/EP0769201A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/08—Ion sources; Ion guns
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/06—Sources
    • H01J2237/08—Ion sources
    • H01J2237/0815—Methods of ionisation
    • H01J2237/0817—Microwaves
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/06—Sources
    • H01J2237/083—Beam forming

Definitions

  • Device for creating an adjustable energy ion beam in particular for processing on parade and under vacuum of large surfaces.
  • the present invention relates to a device for creating an adjustable ion beam of energy, in particular for processing on parade and under vacuum of large surfaces.
  • the processing on parade of a sheet consists of moving the latter in the field of a stationary ion beam, so that the ion beam scans the entire surface of the sheet. Depending on the density of the ion beam, the sheet is moved at an appropriate speed to obtain the desired bombardment.
  • the present invention aims to provide a device capable of providing a dense ion beam of large width and of good homogeneity, which is therefore particularly suitable for the treatment of large surfaces on parade.
  • the subject of the present invention is a device for creating an ion beam, in particular for treating parade of large surfaces, comprising an ionization chamber into which a gas can be introduced to undergo the action of a field.
  • excitation means capable of establishing the high frequency alternating electric field at l interior of the ionization chamber, being connected by a waveguide to a microwave generator, characterized in that said excitation means comprise a conductive box attached to a wall of the ionization chamber , the interior of this box being divided into a first part, opposite the ionization chamber, in which opens the waveguide, and a second part, adjacent to the ionization chamber, in which are substantially distributed substantially identical cylindrical conducting cavities, open at their two ends, and whose longitudinal axes are mutually parallel and perpendicular to said wall of the ionization chamber, each cavity comprising an adjustment member capable of adjusting the amount of microwave energy passing through said cavity.
  • cylindrical cavity means a cavity whose cross section is constant. This section can be of any shape, and preferably rectangular.
  • the excitation means according to the invention constitute a power divider which has the function of distributing the energy supplied by the microwave generator between the different cavities, which each constitute an independent waveguide which radiates , at its opening adjacent to the ionization chamber, in said ionization chamber.
  • the cavities being substantially identical, they emit the same amount of energy in the ionization chamber.
  • the electric field generated in the ionization chamber has good homogeneity.
  • the cavities are aligned in two rows parallel to the large dimension of the face of the ionization chamber which is located opposite the extraction optics, and are staggered between these two rows.
  • the displacement of the parts to be treated in a direction perpendicular to the two rows of cavities makes it possible to further improve the homogeneity of the ionic treatment of each part, because the less dense areas of the first row are compensated by the densest areas of the second row, and vice versa.
  • the ionization chamber is separated from the conductive box by a dielectric window which is impermeable to the gas to be ionized and is permeable to electromagnetic waves.
  • the dielectric window tends to metallize and thereby lose its dielectric properties. This may result in a degradation of the effectiveness of the device.
  • the device according to the invention comprises a large dielectric window which constitutes an expensive part and difficult to replace.
  • the axis of the extraction optic is inclined relative to the longitudinal axis of the device, so as to prevent possible metallic particles emitted by the surface. of the part being treated to reach said dielectric window.
  • the outer wall of the ionization chamber includes permanent magnets which have the effect of creating a static magnetic field in the ionization chamber.
  • the efficiency of ionization is increased by the known phenomenon of cyclotron electronic resonance.
  • FIG. 2 is a sectional view along II-II of FIG. 1,
  • FIG. 3 is a view similar to FIG. 1 of a device according to a second embodiment of the invention.
  • FIG. 4 is a sectional view on a larger scale according to IV-IV of FIG. 3.
  • the device shown in the drawing comprises "r.e ionization chamber 1 into which a gas can be introduced through an orifice 2.
  • Chamber 1 which is parallelepipedic, is elongated in a direction X.
  • An extraction optic 3 preferably comprising three grids is placed in front of one of the faces 1a of the ionization chamber.
  • the axis of the grids is parallel to the longitudinal axis of the device.
  • the ionization chamber On its face 1b opposite to the face 1a, the ionization chamber comprises a wall made of a dielectric material, permeable to microwaves, for example quartz, which constitutes a dielectric window tight against vacuum, and therefore gas, sense of invention.
  • a dielectric material permeable to microwaves, for example quartz, which constitutes a dielectric window tight against vacuum, and therefore gas, sense of invention.
  • Permanent magnets 5 are arranged on the two large side faces lç_ of the ionization chamber.
  • a power divider 6 is applied against the face 1b of the ionization chamber 1.
  • This power divider 6 comprises an electrically conductive box 7, shown diagrammatically in broken lines, with the same cross section as the ionization chamber 1. According to the invention, the interior of the box 7 is divided into a first part 8 opposite to the ionization chamber 1 and a second part 9, contiguous to the first and adjacent to the ionization chamber 1.
  • a waveguide 10 opens out inside the box 7 in its first part 8.
  • This waveguide 10 is connected to an impedance adapter 11, which advantageously comprises three tuning pistons 11a, and is itself even powered by a microwave generator not shown.
  • the second part 9 of the box 7 comprises cylindrical conductive cavities of rectangular section of the same dimensions which are constituted by a single wall 12, parallel to the direction X, and extending over the entire length of the box 7, and by partitions 13 , perpendicular to the wall 12, arranged on either side of the latter.
  • the wall 12 and the partitions 13 are electrically conductive.
  • the cavities 14 thus defined in the second part 9 of the box 7 have the same dimensions.
  • the cavities 14 are thus aligned on two parallel rows 15a and 15b and are furthermore staggered between these two rows.
  • the box 7 also comprises, on its large side walls, adjusting screws 16 which each open into a cavity 14.
  • the part of each adjusting screw 16 which opens into the corresponding cavity 14 constitutes an obstacle to the passage of microwaves, so that by more or less screwing this screw 16, the amount of energy which passes through said cavity 14 is regulated.
  • the cavities furthest from the mouth of the waveguide 10 can radiate in the ionization chamber 1 substantially the same amount of energy as the cavities located near the mouth of the waveguide 10.
  • the unused spaces 17 are occupied by conductive shims made of brass or aluminum 18, in the form of a parallelepiped, truncated along a diagonal plane.
  • the wedges 18 are arranged in each space 17 with their base applied against the wall 4 of the ionization chamber.
  • each shim 18 increases from the interface between the parts 8 and 9 of the box 7 in the direction of the ionization chamber 1. In this way, any reflections of waves in the first part are avoided. 8 of the box, which could disturb the distribution of energy between the cavities 14.
  • FIGS. 3 and 4 show a second embodiment of the invention in which the extraction optic 3 ′, which also consists of three grids, is positioned with its axis ⁇ inclined relative to the axis longitudinal of the device.
  • the ionization chamber l has the shape of a half-parallelepiped whose cross section is a rectangle and whose front face is inclined, as seen in Figures 3 and 4, by compared to its rear side the b.
  • this arrangement of the extraction optics 3 prevents possible metallic particles emitted by the surface of a part 20 subjected to an ion beam delimited by two lines mixed 21 to reach the gas-tight window 4.
  • the trajectories 19 of the metallic particles which pass through the extraction optics 3 in the opposite direction of the ion beam end up on one of the side walls ç. the ionization chamber.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Dispositif pour créer un faisceau d'ions notamment pour le traitement au défilé de surfaces de grandes dimensions, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour y subir l'action d'un champ électrique alternatif à haute fréquence, une optique d'extraction apte à extraire des ions de la chambre d'ionisation et émettre un faisceau d'ions sortant du dispositif et des moyens d'excitation aptes à établir le champ électrique alternatif à haute fréquence à l'intérieur de la chambre d'ionisation, en étant raccordés par un guide d'ondes à un générateur de micro-ondes. Lesdits moyens d'excitation comprennent un caisson conducteur (7) accolé à une paroi (1b) de la chambre d'ionisation (1), l'intérieur de ce caisson (7) étant divisé en une première partie (8), opposée à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle débouche le guide d'ondes (10) et une seconde partie (9), adjacente à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle sont régulièrement réparties des cavités conductrices cylindriques, chaque cavité comportant un organe de réglage apte à ajuster la quantité d'énergie micro-onde traversant ladite cavité.

Description

Dispositif pour créer un faisceau d'ions d'énergie ajustable notamment pour le traitement au défilé et sous vide de surfaces de grandes dimensions.
La présente invention concerne un dispositif pour créer un faisceau d'ions d'énergie ajustable notamment pour le traitement au défilé et sous vide de surfaces de grandes dimensions.
Pour traiter en particulier des tôles de véhicules automobiles, afin d'en augmenter la résistance à la corrosion, il est connu de les soumettre à un bombardement d'ions obtenus par ionisation d'un gaz approprié tel que de l'azote.
Le traitement au défilé d'une tôle consiste à déplacer cette dernière dans le champ d'un faisceau d'ions immobile, de manière à ce que le faisceau d'ions balaye toute la surface de la tôle. Selon la densité du faisceau d'ions, on déplace la tôle à une vitesse appropriée pour obtenir le bombardement désiré.
Pour pouvoir mettre en oeuvre cette technique, il est préférable de disposer d'un faisceau d'ions de largeur importante.
Mais dans ce cas, le problème se pose de générer un faisceau d'ions qui soit suffisamment dense et homogène sur toute sa largeur.
La présente invention vise à fournir un dispositif apte à fournir un faisceau d'ions dense de grande largeur et d'une bonne homogénéité, qui est donc particulièrement adapté au traitement au défilé de surfaces de grandes dimensions. La présente invention a pour objet un dispositif pour créer un faisceau d'ions notamment pour le traitement au défilé de surfaces de grandes dimensions, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour y subir l'action d'un champ électrique alternatif à haute fréquence, une optique d'extraction apte à extraire des ions de la chambre d'ionisation et émettre un faisceau d'ions sortant du dispositif et des moyens d'excitation aptes à établir le champ électrique alternatif à haute fréquence à l'intérieur de la chambre d'ionisation, en étant raccordés par un guide d'ondes à un générateur de micro-ondes, caractérisé par le fait que lesdits moyens d'excitation comprennent un caisson conducteur accolé à une paroi de la chambre d'ionisation, l'intérieur de ce caisson étant divisé en une première partie, opposée à la chambre d'ionisation, dans laquelle débouche le guide d'ondes, et une seconde partie, adjacente à la chambre d'ionisation, dans laquelle sont régulièrement réparties des cavités conductrices cylindriques sensiblement identiques, ouvertes à leurs deux extrémités, et dont les axes longitudinaux sont parallèles entre eux et perpendiculaires à ladite paroi de la chambre d'ionisation, chaque cavité comportant un organe de réglage apte à ajuster la quantité d'énergie micro-onde traversant ladite cavité.
Selon l'invention, on entend par cavité cylindrique une cavité dont la section transversale est constante. Cette section peut être de forme quelconque, et de préférence rectangulaire.
On comprend que les moyens d'excitation selon l'invention constituent un diviseur de puissance qui a pour fonction de répartir l'énergie fournie par le générateur de micro-ondes entre les différentes cavités, lesquelles constituent chacune un guide d'ondes indépendant qui rayonne, à son ouverture voisine de la chambre d'ionisation, dans ladite chambre d'ionisation.
Les cavités étant sensiblement identiques, elles émettent la même quantité d'énergie dans la chambre d'ionisation.
En outre, les cavités étant régulièrement réparties dans le caisson, le champ électrique généré dans la chambre d'ionisation présente une bonne homogénéité.
Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, les cavités sont alignées sur deux rangées parallèles à la grande dimension de la face de la chambre d'ionisation qui est située en regard de l'optique d'extraction, et sont disposées en quinconce entre ces deux rangées.
Dans ce mode de réalisation, le déplacement des pièces à traiter selon une direction perpendiculaire aux deux rangées de cavités permet d'améliorer encore l'homogénéité du traitement ionique de chaque pièce, du fait que les zones les moins denses de la première rangée sont compensées par les zones les plus denses de la seconde rangée, et inversement.
Conformément à l'invention, la chambre d'ionisation est séparée du caisson conducteur par une fenêtre diélectrique étanche au gaz à ioniser et perméable aux ondes électromagnétiques.
Si elle est soumise à l'action d'éventuelles particules métalliques émises par la surface de la pièce en cours de traitement, la fenêtre diélectrique a tendance à se métalliser et à perdre, de ce fait, ses propriétés diélectriques. Il peut en résulter une dégradation de l'efficacité du dispositif.
Il est alors nécessaire de remplacer ladite fenêtre diélectrique, ce qui ne pose aucun problème pour des dispositifs de petite dimension.
En revanche, le dispositif selon l'invention comporte une fenêtre diélectrique de grande taille qui constitue une pièce coûteuse et difficile à remplacer. Pour résoudre cet inconvénient dans un mode de réalisation préféré de l'invention, l'axe de l'optique d'extraction est incliné par rapport à l'axe longitudinal du dispositif, de manière à empêcher d'éventuelles particules métalliques émises par la surface de la pièce en cours de traitement d'atteindre ladite fenêtre diélectrique. Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, la paroi extérieure de la chambre d'ionisation comporte des aimants permanents qui ont pour effet de créer un champ magnétique statique dans la chambre d'ionisation.
Grâce à la combinaison du champ électrique alternatif et du champ magnétique statique, l'efficacité de l'ionisation est accrue par le phénomène connu de résonance électronique cyclotron.
Dans le but de mieux faire comprendre l'invention, on va en décrire maintenant deux modes de réalisation donnés à titre d'exemples non limitatifs en référence au dessin annexé dans lequel : - la figure 1 est une vue en perspective d'un dispositif selon un premier mode de réalisation de l'invention,
- la figure 2 est une vue en coupe selon II-II de la figure 1,
- la figure 3 est une vue analogue à la figure 1 d'un dispositif selon un second mode de réalisation de l'invention et,
- la figure 4 est une vue en coupe et à plus grande échelle selon IV-IV de la figure 3.
Le dispositif représenté sur le dessin comporte «r.e chambre d'ionisation 1 dans laquelle un gaz peut être introduit par un orifice 2.
La chambre 1, qui est parallélépipédique, est allongée selon une direction X. Une optique d'extraction 3 comportant de préférence trois grilles est placée devant l'une des faces la de la chambre d'ionisation.
L'axe des grilles est parallèle à l'axe longitudinal du dispositif.
Sur sa face lb opposée a la face la, la chambre d'ionisation comporte une paroi réalisée en un matériau diélectrique, perméable aux micro-ondes, par exemple en quartz, qui constitue une fenêtre diélectrique étanche au vide, et donc au gaz, au sens de l'invention.
Des aimants permanents 5 sont disposés sur les deux grandes faces latérales lç_ de la chambre d'ionisation.
A la manière connue, deux aimants voisins présentent des polarités opposées. Un diviseur de puissance 6 est appliqué contre la face lb de la chambre d'ionisation 1.
Ce diviseur de puissance 6 comprend un caisson électriquement conducteur 7, schématisé en trait interrompu, de même section transversale que la chambre d'ionisation 1. Conformément à l'invention, l'intérieur du caisson 7 est divisé en une première partie 8 opposée à la chambre d'ionisation 1 et une seconde partie 9, contiguë à la première et adjacente à la chambre d'ionisation 1.
Un guide d'ondes 10 débouche à l'intérieur du caisson 7 dans sa première partie 8. Ce guide d'ondes 10 est relié à un adaptateur d'impédance 11, qui comporte avantageusement trois pistons d'accord lia, et est lui-même alimenté par un générateur de micro-ondes non représenté.
La seconde partie 9 du caisson 7 comporte des cavités conductrices cylindriques à section rectangulaire de mêmes dimensions qui sont constituées par une unique paroi 12, parallèle à la direction X, et s'étendant sur toute la longueur du caisson 7, et par des cloisons 13, perpendiculaires à la paroi 12, disposées de part et d'autre de cette dernière. La paroi 12 et les cloisons 13 sont électriquement conductrices. Sur la vue en coupe de la figure 2, on voit clairement que les cavités 14 ainsi définies dans la seconde partie 9 du caisson 7 présentent les mêmes dimensions.
Les cavités 14 sont ainsi alignées sur deux rangées parallèles 15a et 15b et sont en outre disposées en quinconce entre ces deux rangées.
De cette manière, lorsque des pièces à traiter défilent selon une direction Y perpendiculaire à la direction X, elles subissent successivement l'action d'un premier faisceau d'ions issu de la rangée 15a et celle d'un second faisceau d'ions issu de la rangée 15b, de sorte que les deux traitements ioniques successifs se superposent, ce qui permet de compenser d'éventuels défauts d'homogénéité du faisceau de chaque rangée, notamment entre les régions centrales des cavités 14 et les régions voisines des parois 12, et de la cloison 13.
De manière à assurer une bonne répartition de l'énergie micro-ondes entre les différentes cavités 14, le caisson 7 comporte en outre, sur ses grandes parois latérales, des vis de réglage 16 qui débouchent chacune dans une cavité 14. La partie de chaque vis de réglage 16 qui débouche dans la cavité 14 correspondante constitue un obstacle au passage des micro-ondes, de sorte qu'en vissant plus ou moins cette vis 16, on règle la quantité d'énergie qui traverse ladite cavité 14.
Ainsi, les cavités les plus éloignées de l'embouchure du guide d'ondes 10 peuvent rayonner dans la chambre d'ionisation 1 sensiblement la même quantité d'énergie que les cavités situées au voisinage de l'embouchure du guide d'ondes 10.
Du fait de la disposition en quinconce des cavités 14 entre les deux rangées 15a et 15b, il subsiste des petits espaces inutilisés 17 à l'une des extrémités de chaque rangée. La dimension de ces espaces 17, selon la direction X, est égale à la moitié de la longueur des cavités 14.
Dans le mode de réalisation représenté, les espaces inutilisés 17 sont occupés par des cales conductrices en laiton ou en aluminium 18, en foπr- de deπ parallélépipède, tronqué selon un plan diagonal. Les cales 18 sont disposées dans chaque espace 17 avec leur base appliquée contre la paroi 4 de la chambre d'ionisation.
Ainsi, la section de chaque cale 18 va croissant depuis l'interface entre les parties 8 et 9 du caisson 7 en direction de la chambre d'ionisation 1. De cette manière, on évite d'éventuelles réflexions d'ondes dans la première partie 8 du caisson, ce qui pourrait perturber la répartition de l'énergie entre les cavités 14.
Dans l'exemple illustré, la dimension du dispositif selon la direction X est d'environ 50 cm et selon la direction Y d'environ 4 cm. Sur les figures 3 et 4, on a représenté un second mode de réalisation de l'invention dans lequel l'optique d'extraction 3', qui est également constituée par trois grilles, est positionnée avec son axeΔ incliné par rapport à l'axe longitudinal du dispositif.
A cet effet, la chambre d'ionisation l' présente la forme d'un demi-parallélépipède dont la section droite est un rectangle et dont la face avant l'a est inclinée, comme on le voit sur les figures 3 et 4, par rapport à sa face arrière l'b.
Ainsi que représenté sur la vue en coupe de la figure 4, cette disposition de l'optique d'extraction 3' empêche d'éventuelles particules métalliques émises par la surface d'une pièce 20 soumise à un faisceau d'ions délimité par deux traits mixtes 21 d'atteindre la fenêtre étanche au gaz 4.
En effet, on voit que les trajectoires 19 des particules métalliques qui traversent l'optique d'extraction 3 en sens contraire du faisceau d'ions aboutissent sur l'une des parois latérales l'ç. de la chambre d'ionisation l'.
Par conséquent, seule cette paroi l'ç. est susceptible de se métalliser, ce qui n'a aucune incidence sur la formation du faisceau d'ion. En revanche, la paroi étanche 4 étant soustraite aux particules métalliques, elle conserve ses propriétés diélectriques. Il n'est donc plus nécessaire de la remplacer.
Il est bien entendu que le mode de réalisation qui vient d'être décrit ne présente aucun caractère limitatif et qu'il pourra recevoir toutes modifications désirables sans sortir pour cela du cadre de l'invention.

Claims

REVENDICATIONS
1 - Dispositif pour créer un faisceau d'ions notamment pour le traitement au défilé de surfaces de grandes dimensions, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour y subir l'action d'un champ électrique alternatif à haute fréquence, une optique d'extraction apte à extraire des ions de la chambre d'ionisation et émettre un faisceau d'ions sortant du dispositif et des moyens d'excitation aptes à établir le champ électrique alternatif à haute fréquence à l'intérieur de la chambre d'ionisation, en étant raccordés par un guide d'ondes à un générateur de micro-ondes, caractérisé par le fait que lesdits moyens d'excitation comprennent un caisson conducteur (7) accolé à une paroi (lb) de la chambre d'ionisation (1), l'intérieur de ce caisson (7) étant divisé en une première partie (8), opposée à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle débouche le guide d'ondes (10) et une seconde partie (9), adjacente à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle sont régulièrement réparties des cavités (14) conductrices cylindriques sensiblement identiques, ouvertes à leurs deux extrémités, et dont les axes longitudinaux sont parallèles entre eux et perpendiculaires à ladite paroi (lb) de la chambre d'ionisation (1), chaque cavité comportant un organe de réglage (16) apte à ajuster la quantité d'énergie micro-onde traversant ladite cavité (14).
2 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que l'axe (Δ-) de l'optique d'extraction (3') est incliné par rapport à l'axe longitudinal (Δ9) du dispositif, de manière à empêcher d'éventuelles particules métalliques (19), émises par la surface de la pièce (20) en cours de traitement, d'atteindre une fenêtre diélectrique (4) séparant la chambre d'ionisation (1) du caisson conducteur (7).
3 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait que les cavités (14) sont alignées sur deux rangées (15a,15b) parallèles à la grande dimension (X) de la face (la) de la chambre d'ionisation (1) qui est située en regard de l'optique d'extraction (3), et sont disposées en quinconce entre ces deux rangées. 4 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à
3, caractérisé par le fait que la paroi extérieure (lç.) de la chambre d'ionisation (1) comporte des aimants permanents (5) qui ont pour effet de créer un champ magnétique statique dans la chambre d'ionisation (1).
5 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à
4, caractérisé par le fait que les cavités (14) sont constituées par une unique paroi (12) parallèle à grande dimension de la chambre d'ionisation (X), et s'étendant sur toute la longueur du caisson (7), et par des cloisons (13), perpendiculaires à ladite paroi (12) disposées de part et d'autre de cette dernière.
EP95925012A 1994-07-05 1995-07-05 Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions Withdrawn EP0769201A1 (fr)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9408279A FR2722213B1 (fr) 1994-07-05 1994-07-05 Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions
FR9408279 1994-07-05
PCT/FR1995/000900 WO1996001490A1 (fr) 1994-07-05 1995-07-05 Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP0769201A1 true EP0769201A1 (fr) 1997-04-23

Family

ID=9465003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP95925012A Withdrawn EP0769201A1 (fr) 1994-07-05 1995-07-05 Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5754008A (fr)
EP (1) EP0769201A1 (fr)
JP (1) JPH10506220A (fr)
FR (1) FR2722213B1 (fr)
WO (1) WO1996001490A1 (fr)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2349005B (en) * 1999-01-27 2003-07-02 Jacqueline Anne Moore Directional pedestrian information aid
US6375790B1 (en) 1999-07-19 2002-04-23 Epion Corporation Adaptive GCIB for smoothing surfaces
US6873113B2 (en) 2000-04-13 2005-03-29 Tokyo Electron Limited Stand alone plasma vacuum pump
US6729850B2 (en) 2001-10-31 2004-05-04 Tokyo Electron Limited Applied plasma duct system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4507588A (en) * 1983-02-28 1985-03-26 Board Of Trustees Operating Michigan State University Ion generating apparatus and method for the use thereof
US4894546A (en) * 1987-03-11 1990-01-16 Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha Hollow cathode ion sources
DE3803355A1 (de) * 1988-02-05 1989-08-17 Leybold Ag Teilchenquelle fuer eine reaktive ionenstrahlaetz- oder plasmadepositionsanlage
JP2546357B2 (ja) * 1988-11-11 1996-10-23 日新電機株式会社 プラズマ発生装置およびそれを用いたイオン源
US4906900A (en) * 1989-04-03 1990-03-06 Board Of Trustees Operating Michigan State University Coaxial cavity type, radiofrequency wave, plasma generating apparatus
JPH03111577A (ja) * 1989-09-26 1991-05-13 Idemitsu Petrochem Co Ltd マイクロ波プラズマ発生装置およびそれを利用するダイヤモンド膜の製造方法
DE4037091C2 (de) * 1990-11-22 1996-06-20 Leybold Ag Vorrichtung für die Erzeugung eines homogenen Mikrowellenfeldes
US5218210A (en) * 1992-02-18 1993-06-08 Eaton Corporation Broad beam flux density control

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO9601490A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2722213A1 (fr) 1996-01-12
JPH10506220A (ja) 1998-06-16
US5754008A (en) 1998-05-19
WO1996001490A1 (fr) 1996-01-18
FR2722213B1 (fr) 1996-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1075168B1 (fr) Procédé de production d'un plasma élémentaire en vue de créer un plasma uniforme pour une surface d'utilisation et dispositif de production d'un tel plasma
EP0209469B1 (fr) Procédé et dispositif d'excitation d'un plasma par micro-ondes à la résonance cyclotronique électronique
FR2762748A1 (fr) Dispositif d'excitation d'un gaz par plasma d'onde de surface
EP0711100B1 (fr) Dispositif de production d'un plasma permettant une dissociation entre les zones de propagation et d'absorption des micro-ondes
EP2193694A1 (fr) Dispositifs generateurs de plasma micro-ondes et torches a plasma
FR2671931A1 (fr) Dispositif de repartition d'une energie micro-onde pour l'excitation d'un plasma.
WO2003083893A1 (fr) Dispositif de confinement d'un plasma dans un volume
EP2201593A2 (fr) Procede de traitement de surface d'au moins une piece au moyen de sources elementaires de plasma par resonance cyclotronique electronique
CA2475352C (fr) Piege a ions a aimant permanent et spectrometre de masse utilisant un tel aimant
EP2338318B1 (fr) Source de plasma gazeux basse puissance
WO2014041280A1 (fr) Dispositif pour generer un plasma presentant une etendue importante le long d'un axe par resonnance cyclotronique electronique rce a partir d'un milieu gazeux.
WO1996001490A1 (fr) Dispositif pour creer un faisceau d'ions d'energie ajustable notamment pour le traitement au defile et sous vide de surfaces de grandes dimensions
WO2008009558A1 (fr) Dispositif et procédé de production et de confinement d'un plasma
EP0167746B1 (fr) Generateur laser a gaz
EP0532411B1 (fr) Source d'ions à résonance cyclotronique électronique et à injection coaxiale d'ondes électromagnétiques
FR2617364A1 (fr) Procede et dispositif de production d'electrons utilisant un couplage de champ et l'effet photoelectrique
FR2478887A1 (fr) Appareil a decharge electronique
WO2014184357A1 (fr) Générateur de plasma étendu comprenant des générateurs élémentaires intégrés
FR2757310A1 (fr) Systeme magnetique, en particulier pour les sources ecr, permettant la creation de surfaces fermees d'equimodule b de forme et de dimensions quelconques
FR2649490A1 (fr) Capteur de rayonnement d'energie electromagnetique
EP1080612A1 (fr) Procede de modulation de la configuration d'un champ magnetique
FR3133150A3 (fr) Dispositif d’usinage par électroérosion d’une pluralité de barres, comprenant une isolation électrique des barres
FR2648230A1 (fr) Procede et dispositif d'analyse d'un echantillon par spectrometrie de masse a bon rendement de transmission des ions
WO1996025755A1 (fr) Dispositif a resonance cyclotron electronique pour creer un faisceau d'ions
FR2736792A1 (fr) Excitateur a micro-ondes auto-adapte, notamment excitateur de plasma

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19970110

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

17Q First examination report despatched

Effective date: 19980226

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 19980812