EP0410098A2 - Modular special climate room system - Google Patents

Abstract

In a modular special climate room system (1) with at least one production module (3) which contains residential and working regions, to which air flows prepared in different ways are supplied, and with a number of technical modules (4, 5) which can be added to the production module and in which aggregates are contained which serve for air preparation and/or air transport into the production module, there is provided, to achieve greater flexibility and better adaptation to the spatial conditions of the respective installation site, for at least two of the air flows in each case an individual technical module and an individual supply flow path leading from this technical module to the relevant region of the production module. If air flowing out of the residential and working regions of the production module is to be returned within the system, then for at least one of the air flows an individual return flow path is also provided, which leads to the associated technical module. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein modulares Sonderklima-Raumsystem der im Oberbegriff des Anspruches 1 genannten Art.The invention relates to a modular special climate room system of the type mentioned in the preamble of claim 1.

Sonderklima-Räume sind in vielen Industriebereichen, wie z.B. der Elektronik, Optik, Chemie, Biotechnik, Raumfahrt usw. sowohl in Forschungs- und Prüflabors als auch in be­stimmten Produktionsabschnitten immer dann erforderlich, wenn ein Arbeiten unter "normaler" Umgebungsluft schwierig bis unmöglich ist und/oder Neben- bzw. Abfallprodukte ins­besondere in Form von Gasen, Nebel oder Staub entstehen, die nicht einfach in die Umgebung abgegeben werden dürfen oder nicht in andere Arbeitsbereiche gelangen sollen.Special climate rooms are in many industrial areas, such as electronics, optics, chemistry, biotechnology, space travel, etc., both in research and test laboratories and in certain production sections, always required when working in "normal" ambient air is difficult or impossible and / or by-products or waste products, especially in the form of gases, mist or dust that should not simply be released into the environment or should not get into other work areas.

Neben individuell in herkömmlicher Bautechnik erstellten und somit unveränderlichen Sonderklima-Räumen sind auch variable Systeme bekannt, bei denen nach Funktion und Größe verschiedene, aufeinander abgestimmte Module serienmäßig so vorgefertigt werden, daß aus ihnen nach dem Baukastenprinzip auf den jeweiligen Anwendungsfall zugeschnittene Funktions­gruppen zusammengestellt werden können. Die vorgefertigten Einheiten werden an den Aufstellungsort transportiert und dort zusammengesetzt, wobei ein möglichst hohes Maß an geo­metrischer Variabilität erwünscht ist, um sich an die jewei­ligen räumlichen Gegebenheiten optimal anpassen zu können.In addition to individually created and therefore unchangeable special climate rooms in conventional construction technology Variable systems are known, in which different, coordinated modules are prefabricated in series according to function and size so that functional groups can be put together from them according to the modular principle. The prefabricated units are transported to the installation site and assembled there, with the greatest possible degree of geometric variability being desired in order to be able to adapt optimally to the respective spatial conditions.

Den zentralen Baustein eines solchen modularen Sonderklima-­Raumsystems, wie es beispielsweise in der Zeitschrift "Reinraumtechnik", 1. Jahrgang, November 1987, Seiten 16 bis 18 beschrieben ist, bildet ein sogenanntes Produktions­modul, in dessen über eine Tür zugänglichen Innenraum sich die Aufenthalts- und Arbeitsbereiche befinden, für die das jeweilige Sonderklima erzeugt und aufrechterhalten werden soll.The central component of such a modular special climate room system, as described, for example, in the magazine "Reinraumtechnik", 1st year, November 1987, pages 16 to 18, is a so-called production module, in the interior of which is accessible via a door. and work areas for which the respective special climate is to be created and maintained.

Dies bedeutet, daß diesen Bereichen entweder ständig oder intermittierend Luft zugeführt werden muß, die in besonderer Weise aufbereitet ist, so daß sie z.B. einen Reinheitsgrad und/oder eine Temperatur und/oder eine relative Feuchtig­keit aufweist, die sich von den entsprechenden Parametern der Außenluft unterscheiden. Dabei kann es wünschens­wert sein, die Temperatur und/oder die Luftfeuchtigkeit auf einem vorgebbaren Wert konstant zu halten oder gemäß einem vorgebbaren Programm im Laufe der Zeit zu variieren.This means that air must be supplied to these areas either continuously or intermittently, which is specially prepared so that it e.g. has a degree of purity and / or a temperature and / or a relative humidity which differ from the corresponding parameters of the outside air. It may be desirable to keep the temperature and / or the humidity constant at a predeterminable value or to vary it over time according to a predefinable program.

In dem gleichen Maße, in dem dem Produktionsmodul neue Luft zugeführt wird, muß aus ihm "alte" Luft abströmen, die in manchen Fällen erst nach einer gewissen Nachbereitung wie z.B. Filterung, Entkeimung, Entfeuchtung usw. an die Um­gebung abgegeben oder innerhalb des Systems zurückgeführt werden kann.To the same extent that new air is supplied to the production module, "old" air must flow out of it, which in some cases can only be released to the environment or returned within the system after a certain post-processing such as filtering, disinfection, dehumidification etc.

Liegt ein erhöhter Platzbedarf für die mit einem Sonderklima ausgestatteten Aufenthalts- und Arbeitsbereiche vor, so kön­nen auch mehrere Produktionsmodule unter Weglassen der entsprechenden Seiten- und/oder Stirnwände gas- und teilchendicht so aneinander angefügt werden, daß sich ein durchgehender Innenraum ergibt. Weitere Bausteine des be­kannten modularen Sonderklima-Raumsystems, die je nach Be­darf an das oder die Produktionsmodule angesetzt werden können, sind beispielsweise ein Umkleidemodul, in dem das An- bzw. Ablegen von Reinraumkleidung erfolgt oder ein ge­gebenenfalls zwischen Umkleide- und Produktionsmodul anzu­ordnendes Schleusenmodul, das zur Entfernung von auf der Reinraumkleidung abgelagerten Restpartikeln und zur luft­technischen Abschirmung des Innenraums des Produktionsmoduls dient.If there is an increased space requirement for the living and working areas equipped with a special climate, then several production modules can be attached to one another in a gas-tight and particle-tight manner, leaving out the corresponding side and / or end walls, so that a continuous interior space results. Other components of the well-known modular special climate room system that can be attached to the production module (s) as required are, for example, a changing module in which cleanroom clothing is put on and taken off, or a lock module that can be arranged between the changing and production module, for example serves to remove residual particles deposited on the clean room clothing and for air-technical shielding of the interior of the production module.

Die meisten der zur Luftauf- und/oder -nachbereitung dienen­den Aggregate wie Filter, Kühl- bzw. Heizvorrichtungen, Be- oder Entfeuchter usw. sowie die Gebläse zur Luftum­wälzung sind nach dem Stand der Technik alle in einem so­genannten Technikmodul untergebracht, das an das oder die Produktionsmodule angefügt und mit dem Rest der Anordnung zur Herstellung durchgehender Luftströmungswege und Leitungs­verbindungen gekoppelt wird. Dabei ist es möglich, an größere Komplexe mehrere solcher Technikmodule anzuschließen, die je­doch alle den gleichen Aufbau und die gleichen Funktionen be­sitzen.Most of the units used for air conditioning and / or post-processing such as filters, cooling or heating devices, humidifiers or dehumidifiers etc., as well as the blowers for air circulation are all housed in a so-called technology module according to the prior art, which is connected to the or the production modules are added and coupled with the rest of the arrangement for the manufacture of continuous air flow paths and line connections. It is possible to connect several such technology modules to larger complexes, but all of them have the same structure and the same functions.

Nun ist es aber nicht in jedem Fall erforderlich bzw. zweck­mäßig, allen Bereichen des Innenraums des oder der Produktons­module in identischer Weise aufbereitete Luft zuzuführen. So ist es beispielsweise bekannt, die aus dem Technikmodul kommen­de und dort vorgefilterte Luft in einen sich nahezu über die gesamte Grundrißfläche des Produktionsmoduls erstreckenden Deckenhohlraum einströmen zu lassen, aus dem sie dann in hochreine Bereiche, an deren Teilchenfreiheit besonders hohe Anforderungen gestellt werden, durch im Deckenboden angeord­nete Feinstfilter austritt, während sie in die übrigen Rein­raumbereiche durch weniger feine Filter oder einfach durch Lochplatten oder Auslaßdüsen im Deckenboden hineinströmt. Dabei wird die überschüssige Luft durch einen ebenfalls durch­gehenden Bodenhohlraum abgesaugt, wobei sich die aus den oben erwähnten verschiedenen Bereichen kommenden Luftan­teile miteinander vermischen und gemeinsam nach einer even­tuellen Nachbehandlung in den Deckenhohlraum zurückgeführt bzw. nach außen abgegeben werden.However, it is not always necessary or expedient to supply air treated in an identical manner to all areas of the interior of the product module or modules. For example, it is known to allow the air coming from the technology module and pre-filtered there to flow into a ceiling cavity that extends almost over the entire floor area of the production module, from which it can then be passed into high-purity areas, where particularly high demands are made on particle freedom Ceiling floor arranged fine filter emerges while it flows into the other clean room areas through less fine filters or simply through perforated plates or outlet nozzles in the ceiling floor. The excess air is sucked out through a floor cavity that is also continuous, the air components coming from the above-mentioned different areas mixing with one another and, after a possible aftertreatment, returned together into the ceiling cavity or discharged to the outside.

Diese bekannte Anordnung hat eine Reihe von Nachteilen: Zwar ist es möglich, die pro Zeiteinheit geförderten Volumina der den verschiedenen Bereichen des Produktionsmodul-Innenraums zugeführten, unterschiedlich aufbereiteten Luftströme inner­halb gewisser Grenzen dadurch zu variieren, daß die Strö­mungswiderstände für diese Luftströme unterschiedlich ver­ändert werden, was z.B. durch das Öffnen und Schließen von steuerbaren Klappen oder dergleichen geschehen kann.This known arrangement has a number of disadvantages: it is possible to vary the volumes of the differently processed air flows delivered to the different areas of the production module interior per unit of time within certain limits by changing the flow resistances for these air flows differently, which is what e.g. can be done by opening and closing controllable flaps or the like.

Dagegen ist es aber nicht möglich, einem der Bereiche die benötigte Luft in anderen Zeitintervallen zuzuführen als anderen Bereichen. Auch kann für die verschiedenen Luftströme nur die Aufbereitung in unterschiedlicher Weise erfolgen, die unmittelbar beim Hindurchtreten durch die Öffnungen im Decken­boden durchgeführt wird; dies ist praktisch nur die Endfil­ terung, so daß sich die Luftströme letztlich nur hinsichtlich ihrer Reinheitsklasse voneinander unterscheiden können. Eine unterschiedliche Erwärmung oder Abkühlung, Be- oder Entfeuch­tung usw. ist nicht möglich.However, it is not possible to supply the required air to one of the areas at different time intervals than other areas. Also, for the different air streams, only the preparation can be carried out in different ways, which is carried out directly when passing through the openings in the ceiling floor; this is practically only the endfil tion, so that the air flows can ultimately only differ from one another in terms of their cleanliness class. Different heating or cooling, humidification or dehumidification etc. is not possible.

Weiterhin muß die gesamte aus verschiedenen Produktionsmodul­bereichen abgesaugte Luft in einheitlicher Weise nachbehan­delt, beispielsweise entkeimt oder gewaschen werden, auch wenn dies eigentlich nur für den Luftstrom aus einem bestimm­ten Teilbereich, beispielsweise aus dem Bereich eines oder mehrerer Arbeitstische erforderlich wäre.Furthermore, all of the air extracted from various production module areas must be post-treated in a uniform manner, for example sterilized or washed, even if this would actually only be necessary for the air flow from a certain sub-area, for example from the area of one or more work tables.

Schließlich muß das Technikmodul so groß ausgelegt sein, daß in ihm alle denkbaren Luftförder- und Aufbereitungsaggregate untergebracht und angeschlossen werden können, die im extrem­sten Einzelfall benötigt werden. Das bedeutet, daß in den meisten Anwendungsfällen, in denen nur ein Teil dieser Aggre­gate erforderlich ist, das Technikmodul viel leeren Raum um­schließt, der auf der Außenseite der Anordnung zur Verfügung stehen muß, damit die betreffende Modulgruppe überhaupt auf­gestellt werden kann. Besonders nachteilig ist dabei, daß dieser vergleichsweise große Raumbedarf für das Technikmodul immer konzentriert an einer einzigen Stelle der gesamten An­ordnung anfällt.Finally, the technology module must be designed so large that it can accommodate and connect all conceivable air conveying and processing units that are required in the most extreme individual case. This means that in most applications in which only a part of these units is required, the technology module encloses a lot of empty space which must be available on the outside of the arrangement so that the module group in question can be set up at all. It is particularly disadvantageous that this comparatively large space requirement for the technology module is always concentrated at a single point in the entire arrangement.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein modulares Sonderklima-Raumsystem der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß mit einem möglichst geringen technischen Aufwand eine größtmögliche Flexibilität und Variabilität des Systems hinsichtlich seiner Anpassung an die in den verschie­denen Einsatzfällen erforderlichen Funktionen und die jewei­ligen räumlichen Möglichkeiten erzielt wird, und daß bei sei­nem Betrieb die den einzelnen Aufbereitungsvorgängen zuzu­führenden Luftvolumina so klein wie möglich gehalten werden können.In contrast, the invention has for its object to develop a modular special climate room system of the type mentioned so that with the least possible technical Effort the greatest possible flexibility and variability of the system with regard to its adaptation to the functions required in the various applications and the respective spatial possibilities is achieved, and that during its operation the air volumes to be supplied to the individual processing operations can be kept as small as possible.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung die im Anspruch 1 zusammengefaßten Merkmale vor.To achieve this object, the invention provides the features summarized in claim 1.

Gemäß der Erfindung werden also für die Anwendungsfälle, in denen verschiedenen Bereichen des Produktionsmodul-Innen­raums in unterschiedlicher Weise aufbereitete Luftströme zugeführt werden, statt des einen mehrere hinsichtlich ihrer Auf­bereitungsfunktionen unterschiedlich ausgerüstete Technikmodule vorgesehen, die je nach Bedarf baukastenmäßig an das oder die Produktionsmodule anfügbar sind und von denen jeweils eines zur Erzeugung und Aufbereitung eines der verschiedenen Luftströme dient. Wichtig ist dabei, daß die Strömungswege für diese Luftströme prinzipiell voneinander getrennt gehal­ten werden, so daß es möglich ist, unterschiedlich aufberei­tete Luftvolumina ohne vorherige Vermischung in den Pro­duktionsmodul-Innenraum hineinzublasen.According to the invention, therefore, for the applications in which different areas of the production module interior are supplied with air streams prepared in different ways, instead of the one, a number of differently equipped technology modules with regard to their processing functions are provided, which can be modularly added to the production module or modules as required and one of which is used to generate and process one of the various air flows. It is important that the flow paths for these air flows are kept separate from each other, so that it is possible to blow differently prepared air volumes into the interior of the production module without prior mixing.

Dem steht nicht entgegen, daß gemäß einer bevorzugten Weiter­bildung in die Wände, die verschiedene Strömungswege vonein­ander trennen, steuerbare, im geschlossenen Zustand völlig dicht schließende Klappenanordnungen eingebaut sein können, die gewünschtenfalls je nach Öffnungsgrad eine mehr oder we­niger starke Teilvermischung der verschiedenen Luftströme zulassen.This does not conflict with the fact that, according to a preferred development, controllable flap arrangements which close completely tightly in the closed state can be built into the walls which separate different flow paths and, if desired, allow a more or less strong partial mixing of the different air flows depending on the degree of opening.

Da gewünschtenfalls jedes der verwendeten Technikmodule seine eigene Gebläseanordnung enthalten kann,können die pro Zeiteinheit geförderten Volumina in jedem der verschiedenen Luftströme völlig unabhängig von den anderen Luftströmen gesteuert werden. Insbe­sondere kann diese Steuerung durch Veränderung der Förder­leistung des jeweiligen Gebläses erfolgen, so daß eine unter Umständen zu Leistungsverlusten führende Variation von Strö­mungswiderständen nicht erforderlich ist. Hierdurch, sowie durch die Tatsache, daß den einzelnen Aufbereitungsaggregaten immer nur die Luftmengen zugeführt werden, für die der betreffende Aufbereitungsschritt tatsächlich erforderlich ist, arbeitet ein erfindungsgemäßes System mit optimalem Wirkungsgrad.Since, if desired, each of the technology modules used can contain its own fan arrangement, the volumes conveyed per unit of time in each of the various air streams can be controlled completely independently of the other air streams. In particular, this control can be carried out by changing the delivery capacity of the respective blower, so that a variation in flow resistances which may result in performance losses is not necessary. As a result of this, as well as the fact that only the air quantities for which the respective processing step is actually required are supplied to the individual processing units, a system according to the invention operates with optimum efficiency.

Da für verschiedene Aufbereitungsarten verschiedene, vonein­ander getrennte Technikmodule vorgesehen werden, kann die Größe dieser Module optimal ausgelegt werden. Außerdem kann prinzipiell jedes dieser Module unmittelbar an das oder die Produktionsmodule angefügt werden, so daß sich der für meh­rere Aufbereitungsaggregate erforderliche Raumbedarf um die Produktionsmodul-Anordnung herum "verteilen" läßt, was z.B. immer dann von Vorteil ist, wenn eine Modulkombination in einem bereits vorhandenen Gebäude aufgestellt werden soll und um die Produktionsmoduleinheit herum zwar langgestreckte aber enge Freiräume verbleiben, welche die Aufstellung eines alle erforderlichen Aggregate umfassenden Technikmoduls, wie es nach dem Stand der Technik bekannt ist, nicht zulassen würden.Since different, separate technology modules are provided for different types of preparation, the size of these modules can be optimally designed. In addition, in principle each of these modules can be directly attached to the production module (s), so that the space required for several processing units can be "distributed" around the production module arrangement, which e.g. It is always advantageous if a module combination is to be set up in an existing building and there are elongated but narrow free spaces around the production module unit, which does not require the installation of a technology module that includes all the necessary units, as is known in the prior art would allow.

Bei einem modularen Sonderklima-Raumsystem, bei dem, wie dies meist der Fall ist, die Luft, die durch die Zufuhr frisch auf­bereiteter Luft im Produktionsmodul überschüssig wird, nicht einfach an die Umgebung abgegeben sondern innerhalb des Systems rückgeführt wird, ist in Weiterbildung des Anspruches 1 vor­ gesehen, daß zumindest für einen, im Regelfall für alle zu­rückgeführten Luftströme ein eigener Strömungsweg vorhanden ist, der prinzipiell von den Strömungswegen der anderen Luft­ströme getrennt ist und im allgemeinen zu dem Technikmodul zurückführt, das den Bereich des Produktionsmoduls mit Luft versorgt, von dem der betreffende Luftstrom abgezogen wird. Allerdings muß dieser Strömungsweg nicht unmittelbar zum Aus­gangs-Technikmodul zurückführen. Es können hier erforderlichen­falls ein oder mehrere Nachbehandlungs-Technikmodule zwischen­geschaltet werden, die z.B. für eine Entkeimung und/oder Ent­feuchtung usw. der aus dem Produktionsmodul kommenden Luft sorgen, bevor diese an die Umgebung abgegeben oder einer er­neuten Aufbereitung und Rückführung zugeführt wird.In a modular special climate room system, in which, as is usually the case, the air that is excess due to the supply of freshly prepared air in the production module is not simply released into the environment but is returned within the system 1 before seen that at least for one, as a rule for all recirculated air flows, there is a separate flow path which is in principle separated from the flow paths of the other air flows and generally leads back to the technology module which supplies the area of the production module with air from which the relevant one Airflow is withdrawn. However, this flow path does not have to lead directly back to the output technology module. If necessary, one or more post-treatment technology modules can be interposed here, which, for example, provide for a disinfection and / or dehumidification etc. of the air coming out of the production module before it is released into the environment or fed to a new treatment and recycling.

Ein besonderer Vorteil dieser Weiterbildung ist darin zu sehen, daß in vielen Fällen den einzelnen Aufbereitungs­schritten immer wieder die gleiche Luft zugeführt wird, die zwar zwischen zwei aufeinanderfolgenden Durchläufen durch das oder die Aufbereitungsaggregate den zugehörigen Bereich des Produktionsmoduls durchströmt, dort häufig aber nur re­lativ wenig konterminiert wird, so daß der insgesamt erfor­derliche Aufbereitungsaufwand stark reduziert ist.A particular advantage of this development can be seen in the fact that in many cases the individual preparation steps are repeatedly supplied with the same air, which flows through the associated area of the production module between two successive passes through the preparation unit (s), but frequently only there with relatively little termination is, so that the total processing effort required is greatly reduced.

Auch bei den grundsätzlich voneinander getrennt gehaltenen Rückführströmungswegen ist es möglich, gewünschtenfalls über steuerbare Klappenanordnungen eine teilweise Luftdurchmischung herbeizuführen.Even in the case of the return flow paths, which are fundamentally kept separate from one another, it is possible, if desired, to bring about partial air mixing by means of controllable flap arrangements.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die zu den ein­zelnen Bereichen des Produktionsmodul-Innenraums hinführenden Zuführströmungswege und/oder die von dort wegführenden Rück­führströmungswege in vertikal übereinanderliegenden Ebenen angeordnet. Dies gilt zunächst für das Produktionsmodul selbst, vorzugsweise aber auch für die Technikmodule, in denen dann die Strömungswegabschnitte im wesentlichen in derselben Ebene liegen wie im Produktionsmodul. Durch diese Maßnahmen wird es möglich, in den Seitenwänden der Module für jeden Strömungsweg eine Vielzahl von Ein- und Austrittsöffnungen vorzusehen, die alle auf derselben Höhe liegen und innerhalb des jeweiligen Moduls miteinander in Verbindung stehen. Als Folge hiervon können die Technikmodule in beliebiger Orientierung an einer Vielzahl von Stellen einfach an das Produktionsmodul so angesetzt werden, daß zum gleichen Strömungsweg gehörende Ein- und Aus­trittsöffnungen einander genau gegenüberliegen. Um einen dich­ten Strömungsweg zu erhalten, genügt es dann, die nicht benötig­ten Ein- und Austrittsöffnungen durch Einsetzen entsprechender Verschlußelemente gas- und teilchendicht zu verschließen und zwischen den einander gegenüberliegenden Außenwänden der Module die offen gebliebenen Ein- und Austrittsöffnungen ringförmig umschließende Dichtanordnungen anzubringen, die an den Modul-­Außenwänden ebenfalls gas- und teilchendicht anliegen.According to a preferred embodiment, the feed flow paths leading to the individual areas of the production module interior and / or the return flow paths leading away from there are arranged in vertically superimposed planes. This initially applies to the production module itself, but preferably also to the technology modules, in which then the flow path sections lie essentially in the same plane as in the production module. These measures make it possible to provide a large number of inlet and outlet openings in the side walls of the modules for each flow path, all of which are at the same height and are connected to one another within the respective module. As a result, the technology modules can be attached to the production module in any orientation at a large number of positions in such a way that the inlet and outlet openings belonging to the same flow path lie exactly opposite one another. In order to obtain a dense flow path, it is then sufficient to seal the unneeded inlet and outlet openings in a gas-tight and particle-tight manner by inserting appropriate closure elements and to provide the open inlet and outlet openings in a ring-surrounding sealing arrangement between the opposite outer walls of the modules the module outer walls are also gas and particle-tight.

Dadurch, daß die Ein- und Austrittsöffnungen in den Modul-­Seitenwänden rastermäßig angeordnet werden, ergibt sich eine so große Zahl von möglichen Positionen, in denen die Technik­module sowohl an den Längs- als auch den Stirnseiten der Produktionsmodule angefügt werden können, daß sich auch bei sehr komplizierten und engen Außenraumverhältnissen eine ge­eignete Aufstellungsgeometrie finden läßt.The fact that the inlet and outlet openings are arranged in a grid pattern in the module side walls results in such a large number of possible positions in which the technical modules can be added to both the longitudinal and the end faces of the production modules that also at suitable installation geometry can be found in very complicated and narrow outdoor spaces.

Weiter erhöht wird die diesbezügliche Flexibilität eines er­findungsgemäßen Systems, wenn gemäß einer besonders bevor­zugten Ausführungsform in wenigstens einer Art von Technik­modulen wenigstens ein Durchgangs-Strömungswegabschnitt für einen Luftstrom vorgesehen ist, der von einem anderen Technikmodul aus­geht bzw. zu einem anderen Technikmodul zurückführt, wobei dieses andere Technikmodul zur gleichen oder einer anderen Art von Technikmodulen gehören kann. Dieser Durchgangs-Strömungs­wegabschnitt ist vorzugsweise in der gleichen Ebene bzw. Höhe angeordnet wie die zum gleichen Strömungsweg gehörenden Ab­schnitte in den anderen Modularten, so daß er über entspre­chend angeordnete Ein- und Austrittsöffnungen in den Modul­seitenwänden in der gleichen Weise in weiterführende Strömungs­wege eingefügt werden kann, wie dies oben beschrieben wurde.The flexibility of a system according to the invention in this regard is further increased if, according to a particularly preferred embodiment, at least one through-flow path section is provided for at least one type of technology module for an air flow which originates from another technology module or leads back to another technology module, this another Technology module of the same or a different type can belong to technology modules. This passage flow path section is preferably arranged at the same level or height as the sections belonging to the same flow path in the other module types, so that it can be inserted into further flow paths in the same way via correspondingly arranged inlet and outlet openings in the module side walls, as described above.

Das besondere an diesen Durchgangs-Strömungswegabschnitten, die nicht zu den Strömungswegen gehören, die von dem Technik­modul ausgehen bzw. dort enden, in dem sie sich befinden, be­steht darin, daß sie ein "serielles" Anfügen der Technikmodule an das oder die Produktionsmodule ermöglichen. Bei einer sol­chen Anordnung geht ein Luftstrom, der von einem vom Produk­tionsmodul weiter entfernt angeordneten Technikmodul erzeugt wird, durch die Durchgangs-Strömungswegabschnitte der näher am Produktionsmodul befindlichen Technikmodule hindurch ohne sich mit den dort erzeugten Luftströmen zu vermischen. Das gleiche gilt auch für vom Produktionsmodul zu einem entfernter angeordne­ten Technikmodul zurückkehrende Luftströme. Wenn also aufgrund der äußeren räumlichen Gegebenheiten nur an einer einzigen Stelle des Produktionsmoduls ein Anfügen von Technikmodulen möglich ist, so kann hier doch eine ganze Reihe solcher Mo­dule angesetzt werden, ohne daß das erfindungsgemäße Grund­prinzip der getrennten Führung von unterschiedlich aufberei­teten oder aufzübereitenden Luftströmen aufgegeben werden müßte.What is special about these passage flow path sections, which do not belong to the flow paths that start or end from the technology module in which they are located, is that they enable the technology modules to be "serially" attached to the production module or modules. With such an arrangement, an air flow which is generated by a technology module arranged further away from the production module passes through the passage flow path sections of the technology modules located closer to the production module without mixing with the air flows generated there. The same also applies to air flows returning from the production module to a remote technology module. If, due to the external spatial conditions, it is only possible to add technology modules at a single point in the production module, a whole series of such modules can still be used here without the basic principle according to the invention of separately guiding differently prepared or prepared air streams having to be abandoned .

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbei­spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt:

• Fig. 1 in perspektivischer Außenansicht ein erstes Anordnungsbeispiel des erfindungsgemäßen modularen Sonderklima-Raumsystems,
• Fig. 2 eine perspektivische Außenansicht des Systems aus Fig. 1 von der anderen Seite her gesehen,
• Fig. 3 einen Schnitt durch die Anordnung der Fig. 1 und 2 längs der Linie III-III,
• Fig. 4 einen der Fig. 3 entsprechenden Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfin­dungsgemäßen modularen Sonderklima-Raumsystems, und
• Fig. 5 im Detail eine Verbindungsstelle zwischen zwei Modulen des erfindungsgemäßen Systems.

The invention is described below using exemplary embodiments with reference to the drawing; in this shows:

• 1 is a perspective exterior view of a first arrangement example of the modular special climate room system according to the invention,
• 2 is an external perspective view of the system of FIG. 1 seen from the other side,
• 3 shows a section through the arrangement of FIGS. 1 and 2 along the line III-III,
• 4 shows a section corresponding to FIG. 3 through a further exemplary embodiment of a modular special climate room system according to the invention, and
• 5 shows in detail a connection point between two modules of the system according to the invention.

In den Fig. 1 und 2 ist ein Aufstellungsbeispiel des er­findungsgemäßen modularen Sonderklima-Raumsystems 1 dargestellt, das als Reinraumanordnung konzipiert ist und ein Produktionsmodul 3, ein Umluftmodul 4 und ein Außen­luftmodul 5 umfaßt. Jedes dieser Module ist als kompakte, transportable Einheit aufgebaut, die serienmäßig vorge­fertigt und dann mit vergleichsweise einfachen Mitteln am Einsatzort aufgestellt werden kann. Das wiedergegebene Bei­spiel ist eine Ausführungsform, wie sie innerhalb eines bereits vorhandenen Gebäudes zur Aufstellung kommt. Zur Aufstellung im Freien werden die gleichen Einheiten verwendet, die dann jedoch mit einer zusätzlichen gegen Witterungsein­ flüsse schützenden Außenhaut umgeben werden.1 and 2 show a set-up example of the modular special climate room system 1 according to the invention, which is designed as a clean room arrangement and comprises a production module 3, a circulating air module 4 and an outside air module 5. Each of these modules is constructed as a compact, transportable unit that can be prefabricated as standard and then set up at the place of use with comparatively simple means. The example shown is an embodiment as it is installed within an existing building. The same units are used for outdoor installation, but with an additional one against weather conditions protective outer skin.

Wie man den Fig. 1 und 2 entnimmt, besitzen die Module 2, 3 und 4 alle die gleiche Höhe und die gleiche Breite, während die Länge an den jeweiligen Innenraumbedarf angepaßt ist.1 and 2, the modules 2, 3 and 4 all have the same height and the same width, while the length is adapted to the respective interior requirements.

Dabei ist naturgemäß die Länge des Produktionsmoduls 3 am größten, weil sich in dessen Inneren die Aufenthalts- und Arbeitsbereiche befinden, für die ein Sonderklima bereit­gestellt werden soll. Da sich im Inneren des Produktions­moduls 3 Menschen aufhalten und dort arbeiten, besitzt es eine Tür 6, vor der im Bedarfsfall ein Schleusenmodul an­geordnet werden kann, sowie eine Reihe von Fenstern 7.Naturally, the length of the production module 3 is greatest because the interior contains the living and working areas for which a special climate is to be provided. Since 3 people are inside the production module and work there, it has a door 6, in front of which a lock module can be arranged if necessary, and a row of windows 7.

Das Produktionsmodul 3 weist ein in den Figuren nicht be­sonders dargestelltes Rahmengestell auf, das die tragende Struktur bildet und in das ein Hohldeckenbereich 9 und ein Hohlbodenbereich 10 integriert sind. Die Längswände werden von jeweils vier Wandpaneelen gebildet, die beispielsweise als Fensterpaneele 12, als Türpaneel 13, als geschlossene Wandpaneele 14, als Paneel mit Ein/Austrittsöffnungen 17 usw. ausgebildet und so am Rahmengestell befestigt sind, daß sie fugenlos und gas- und teilchendicht aneinander an­schließen. Diese Paneele können je nach Bedarf gegeneinander oder gegen weitere nicht dargestellte Paneele ausgetauscht werden.The production module 3 has a frame, not particularly shown in the figures, which forms the supporting structure and in which a hollow ceiling area 9 and a hollow floor area 10 are integrated. The longitudinal walls are each formed by four wall panels, which are designed, for example, as window panels 12, as door panels 13, as closed wall panels 14, as panels with inlet / outlet openings 17, etc. and are fastened to the frame so that they are seamless and gas and particle-tight to one another connect. These panels can be exchanged for one another or for other panels, not shown, as required.

Die Stirnwände des Produktionsmoduls 3 werden von am Rahmen­gestell befestigten Stirnwandplatten 18 gebildet, von denen nur die eine in Fig. 2 sichtbar ist, während die andere in Fig. 1 vom Umluftmodul 4 weitgehend verdeckt wird.The end walls of the production module 3 are formed by end wall plates 18 fastened to the frame, of which only one is visible in FIG. 2, while the other one is largely covered by the air circulation module 4 in FIG. 1.

In den Hohldecken- und Hohlbodenbereichen 9, 10 ist sowohl in den Längs- als auch in den Stirnwänden des Produktions­moduls 3 eine Vielzahl von Ein/Austrittsöffnungen 19 vorge­sehen, die alle in den dahinterliegenden Deckenhohlraum 20 (siehe Fig. 3) bzw. den dahinterliegenden Bodenhohlraum 21 (Fig. 3) münden. Mit Ausnahme der Ein/Austrittsöffnungen 19, die sich in der durch das Umluftmodul 4 in Fig. 1 abgedeckten Stirnwandplatte 18 befinden, sind alle Ein/Austrittsöffnun­gen 19 durch nicht weiter dargestellte Verschlußelemente gas- und teilchendicht verschlossen.In the hollow ceiling and hollow floor areas 9, 10, a large number of inlet / outlet openings 19 are provided both in the longitudinal and in the end walls of the production module 3, all of them in the ceiling cavity 20 located behind (see FIG. 3) or the floor cavity located behind 21 (Fig. 3) open. With the exception of the inlet / outlet openings 19, which are located in the end wall plate 18 covered by the air circulation module 4 in FIG. 1, all inlet / outlet openings 19 are sealed gas-tight and particle-tight by closure elements (not shown).

Wie man insbesondere der Fig. 3 entnimmt, ist das Produktionsmo­dul 3 gemäß der Erfindung in fünf Ebenen E1 bis E5 unterteilt, die vertikal übereinander angeordnet sind. Dabei entspricht die oberste Ebene E1 dem Deckenhohlaum 20, der sich ebenso wie der der Ebene E5 entsprechende Bodenhohlraum 21 praktisch über die gesamte Grundrißfläche des Produktionsmoduls 3 erstreckt. Demgegenüber umfassen die (von oben gezählt) zweite und vierte Ebene E2 bzw. E4 Strömungswegabschnitte 23 bzw. 24, die sich nur über Teile der Grundrißfläche erstrecken. Die Ebene E3 entspricht dem Aufenthalts- und Arbeitsbereich der im Produktionsmodul tätigen Personen. Den Ebenen E1 und E5 sind die Ein/Austrittsöffnungen 19 zugeordnet, während die Ein/Austrittsöffnungen 17 zu den Ebenen E2 und E4 gehören. Da letztere, wie unter Bezugnahme auf Fig. 4 noch genauer erläutert wird, jeweils in zwei vertikal übereinander ange­ordnete Unterebenen E2a und E2b bzw. E4a und E4b unterteilt werden können, sind diejenigen Ein/Austrittsöffnungen 17, die nicht benötigt werden, durch zwei Verschlußelemente ver­schließbar, die voneinander unabhängig eingesetzt bzw. ent­fernt werden können, um einen individuellen Anschluß der Unterebenen E2a, E2b bzw. E4a, E4b zu ermöglichen.3, the production module 3 according to the invention is divided into five levels E1 to E5, which are arranged vertically one above the other. The top level E1 corresponds to the ceiling cavity 20, which, like the floor cavity 21 corresponding to the level E5, extends practically over the entire floor area of the production module 3. In contrast, the second and fourth levels (counted from above) E2 and E4 comprise flow path sections 23 and 24, which only extend over parts of the plan area. Level E3 corresponds to the living and working area of the people working in the production module. The entry / exit openings 19 are assigned to the levels E1 and E5, while the entry / exit openings 17 belong to the levels E2 and E4. Since the latter, as will be explained in more detail with reference to FIG. 4, can each be subdivided into two sub-planes E2a and E2b or E4a and E4b arranged vertically one above the other, those entry / exit openings 17 which are not required can be closed by two closure elements which can be used or removed independently of one another in order to enable individual connection of the sublevels E2a, E2b or E4a, E4b.

Reicht der Innenraum eines einzelnen Produktionsmoduls nicht aus, so können auch zwei oder mehr solcher Produktionsmodule 3 mit ihren Längsseiten und/oder ihren Stirnseiten aneinander­gesetzt und miteinander luft- und teilchendicht verbunden werden, wobei dann die entsprechenden Längswandpaneele bzw. die entsprechenden Stirnwandplatten 18 weggelassen werden. Wie man den Fig. 1 und 2 weiterhin entnimmt, weist das Umluftmodul 4 sowohl in seinen Seitenwänden als auch in seiner dem Produktionsmodul 3 zugewandten Stirnwand Ein/­Austrittsöffnungen 17 und 19 auf, die in ihrer Höhe gemäß der oben geschilderten Ebeneneinteilung so angeordnet sind, daß sie mit den entsprechenden Ein/Austrittsöffnungen des Produktionsmoduls 3 fluchten, wenn die beiden Module 3 und 4 auf einer gemeinsamen, ebenen Bodenfläche aufgestellt werden. In der dem Außenluftmodul 4 zugewandten Stirnfläche sind bei diesem Ausführungsbeispiel dagegen nur die zur obersten bzw. untersten Ebene E1 bzw. E5 gehörenden Ein/­Austrittsöffnungen 19 vorgesehen. Die in den Seitenwänden befindlichen Ein/Austrittsöffnungen 17 und 19 des Umluft­moduls 4 sind wieder durch Verschlußelemente dicht ver­schlossen.If the interior of a single production module is not sufficient, two or more of such production modules 3 can also be placed with their long sides and / or their end faces and connected to one another in an airtight and particle-tight manner, the corresponding longitudinal wall panels or the corresponding end wall panels 18 then being omitted. 1 and 2, the air recirculation module 4 has inlet / outlet openings 17 and 19 both in its side walls and in its end wall facing the production module 3, which are arranged in height in accordance with the level arrangement described above in such a way that they are aligned with the corresponding inlet / outlet openings of the production module 3 if the two modules 3 and 4 are set up on a common, flat floor surface. In contrast, in this exemplary embodiment only the inlet / outlet openings 19 belonging to the uppermost or lowest level E1 or E5 are provided in the end face facing the outside air module 4. The inlet / outlet openings 17 and 19 of the circulating air module 4 located in the side walls are again tightly closed by closure elements.

Auch das Außenluftmodul 5 weist in allen Seiten- und Stirnwänden den Ebenen E1 und E5 zugeordnete Ein/Austritts­öffnungen 19 auf, von denen aber nur diejenigen nicht durch Verschlußelemente abgedichtet sind, die sich in der dem Um­luftmodul 4 zugewandten Stirnwand befinden. Unter den der Ebene E1 zugeordneten bzw. über den der Ebene E5 zugeord­neten Ein/Austrittsöffnungen 19 befindet sich in den beiden Stirnwänden sowie in der in Fig. 2 sichtbaren Längs-Seiten­wand des Außenluftmoduls 5 jeweils eine horizontale Reihe von Ein/Austrittsöffnungen 26, die den bereits erwähnten Unterebenen E2a und E4b zugeordnet sind, wie dies unter Bezug auf die Fig. 4 noch genauer erläutert wird. Da diese Ein/Austrittsöffnungen 26 beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 3 nicht benötigt werden, sind sie durch nicht genauer dargestellte Verschlußelemente abgedichtet. In seinem Dach 27 weist das Außenluftmodul 5 eine Ansaugöffnung 28 für Um­gebungsluft und eine Luftabgabeöffnung 29 auf. Gewünschten­falls kann zwischen diesen beiden Öffnungen auf dem Dach 27 noch eine Trennwand angeordnet werden, um zu verhindern, daß aus der Austrittsöffnung 29 ausströmende Luft sofort wieder angesaugt wird.The outside air module 5 also has in all side and end walls the levels E1 and E5 associated with inlet / outlet openings 19, of which, however, only those are not sealed by closure elements which are located in the end wall facing the air circulation module 4. A horizontal row is located below the inlet / outlet openings 19 assigned to level E1 or above the level E5 assigned to the two end walls and in the longitudinal side wall of the outside air module 5 visible in FIG. 2 of inlet / outlet openings 26, which are assigned to the already mentioned sub-levels E2a and E4b, as will be explained in more detail with reference to FIG. 4. Since these inlet / outlet openings 26 are not required in the embodiment of FIGS. 1 to 3, they are sealed by closure elements (not shown in more detail). In its roof 27, the outside air module 5 has an intake opening 28 for ambient air and an air discharge opening 29. If desired, a partition can be arranged between these two openings on the roof 27 in order to prevent air flowing out of the outlet opening 29 from being sucked in again immediately.

In den in Fig. 1 sichtbaren Stirn- und Seitenwänden weist das Außenluftmodul 5 jeweils eine Tür 30 auf, durch die ein Teil des Innenraums dieses Moduls für Wartungs- und Repara­turarbeiten zugänglich ist. Die beiden einander gegenüber­liegenden Stirnwände des Außenluftmoduls 5 und des Umluft­moduls 4 besitzen ebenfalls Türöffnungen, durch die man aus dem Innenraum des Außenluftmoduls 5 an die Aggregate des Umluftmoduls 4 gelangen kann. Weiterhin sind in den oben erwähnten Wänden des Außenluftmoduls 5 Schachtöffnungen 32 vorgesehen, die es in Verbindung mit entsprechenden Öffnun­gen in den Wänden der anderen Module z.B. ermöglichen, durch­gehende Rohrleitungen und/oder die Module miteinander verbin­dende elektrische Leitungen zu verlegen. Auch diese Öffnungen können gewünschtenfalls dicht verschlossen werden.In the front and side walls visible in FIG. 1, the outside air module 5 each has a door 30 through which part of the interior of this module is accessible for maintenance and repair work. The two opposite end walls of the outside air module 5 and the recirculating air module 4 likewise have door openings through which the units of the recirculating air module 4 can be reached from the interior of the outside air module 5. Furthermore, 5 shaft openings 32 are provided in the above-mentioned walls of the outside air module, which, in connection with corresponding openings in the walls of the other modules, e.g. enable continuous pipelines and / or electrical lines connecting the modules to one another. If desired, these openings can also be closed tightly.

Zwischen den einander gegenüberliegenden Stirnwänden der Module sind Zwischenräume freigelassen, in denen sich Dicht­anordnungen 34 befinden, die die nicht verschlossenen Ein/Aus­ trittsöffnungen 17, 19 jeweils ringförmig umgeben und dicht so an den Außenwänden der Module befestigt sind bzw. an­liegen, daß sich dichte, durchgehende, d.h. sich von Modul zu Modul erstreckende Strömungswege ergeben, wie dies weiter unten noch genauer beschrieben wird.Gaps are left between the opposite end walls of the modules, in which there are sealing arrangements 34, which are the unclosed on / off outlet openings 17, 19 are each surrounded in a ring and are tightly attached to the outer walls of the modules or rest so that there are dense, continuous flow paths, that is to say from module to module, as will be described in more detail below.

Die Fig. 1 und 2 zeigen deutlich, daß alle für die Herstellung von separaten Strömungswegen erforderlichen Ein/Austrittsöff­nungen 17, 19, 26 an den Modulen an allen vier Wänden raster­mäßig so verteilt angeordnet sind, daß sich neben der wie­dergegebenen seriellen Anordnung der beiden Technikmodule 4, 5 jedes von ihnen auch in einer parallelen Anordnung entweder mit wenigstens einer seiner Stirnwände oder mit einer jeden seiner beiden Seitenwände an nahezu jeder Stelle des Produktionsmoduls 5 unmittelbar an dieses ansetzen läßt, wodurch man eine "parallele" Anordnung der Technikmodule er­hält. Soll das Anfügen eines der beiden Technikmodule an ei­ner oder beiden Längs-Seitenwänden des Produktionsmoduls 3 erfolgen, so werden an der betreffenden Stelle die passen­den Wandpaneele eingebaut. Für die Herstellung durchgehender Strömungswege benötigte Ein/Austrittsöffnungen 17, 19, 26 werden dabei jeweils offen gelassen, während alle anderen verschlossen werden. Entsprechendes gilt auch für die übrigen zum erfindungsgemäßen Raumsystem gehörenden, in den Figuren nicht dargestellten Module.1 and 2 clearly show that all the inlet / outlet openings 17, 19, 26 required for the production of separate flow paths are arranged in a grid pattern on the modules on all four walls such that, in addition to the serial arrangement shown, the two technology modules 4 , 5 each of them can also be attached directly to the production module 5 in a parallel arrangement either with at least one of its end walls or with each of its two side walls, thereby obtaining a "parallel" arrangement of the technology modules. If one of the two technology modules is to be attached to one or both longitudinal side walls of the production module 3, the appropriate wall panels are installed at the relevant point. Inlet / outlet openings 17, 19, 26 required for the production of continuous flow paths are each left open, while all others are closed. The same also applies to the other modules belonging to the room system according to the invention and not shown in the figures.

In Fig. 3 erkennt man, daß im Inneren des Außenluftmoduls 5 ein erstes Gebläse 36 angeordnet ist, das durch einen über die Ansaugöffnung 28 mit der Umgebung in Verbindung stehenden Schacht 37 Außenluft ansaugt, die, bevor sie zum Gebläse 36 gelangt, in einem ersten Grobfilter 38 vorgefiltert wird. Hin­ter dem Gebläse 36 strömt die angesaugte Außenluft in eine Kammer 40, in der weitere Luft-Aufbereitungsaggregate unter­gebracht sind, die in der Darstellung der Fig. 3 der Einfach­ heit halber jedoch weggelassen wurden. Von der Kammer 40 strömt die Luft durch einen vertikalen Schacht 41, in dem ein weiteres Filter 42 angeordnet ist, nach oben in einen Deckenhohlraum 43 des Außenluftmoduls 5, in den die in den Seitenwänden dieses Moduls angeordneten Ein/Austrittsöffnun­gen 19 und 26 münden. Mit Ausnahme der Ein/Austrittsöffnungen 19a, die sich in der in Fig. 3 rechten Stirnwand des Außenluft­moduls 5 befinden, sind alle diese Ein/Austrittsöffnungen 19, 26 in der bereits erwähnten Weise durch Verschlußkörper luft­dicht verschlossen. Durch die Ein/Austrittsöffnungen 19a, von denen im Schnitt der Fig. 3 nur eine zu sehen ist, strömt die vom das Gebläse 36 abgegebene Luft durch die Dichtanordnun­gen 34 und die ebenfalls nicht verschlossenen Ein/Austritts­öffnungen 19a in der in Fig. 3 linken Stirnwand des Umluft­moduls 4 in einen Deckenhohlraum 45 dieses Moduls, den sie durch die nicht verschlossenen Ein/Austrittsöffnungen 19a in der rechten Stirnwand dieses Moduls verläßt, um durch die zwischen dem Umluftmodul 4 und dem Produktionsmodul 3 befind­lichen Dichtanordnungen 34 in den Deckenhohlraum 20 des Pro­duktionsmoduls 3 zu gelangen. Die Bodenwand 46 dieses Decken­hohlraums 20 weist im linken Teil der Fig. 3 keine Öffnungen auf, so daß die Luft in Fig. 3 nach rechts strömen muß, wo sie durch die in der Bodenwand 46 vorgesehenen Luftaustritts­gitter 47 bzw. die perforierten Lochplatten 48 in den allge­meinen Reinraumbereich 50 des Produktionsmoduls 3 gelangt. Von dort strömt sie über in der Bodenplatte 51 vorgesehene Eintrittsöffnungen 52 in den Bodenhohlraum 21, den sie nur durch die in der linken Stirnwand des Produktionsmoduls 3 vorgesehenen Ein/Austrittsöffnungen 19a verlassen kann, um durch die Dichtanordnungen 34 und die in der rechten Stirn­wand des Umluftmoduls 4 vorgesehenen Ein/Austrittsöffnungen 19a in einen Bodenhohlraum 54 des Umluftmoduls zu gelangen.In Fig. 3 it can be seen that a first blower 36 is arranged in the interior of the outside air module 5, which sucks in outside air through a duct 37 which is connected to the surroundings via the suction opening 28 and which, before it reaches the blower 36, in a first one Coarse filter 38 is pre-filtered. Behind the blower 36, the sucked-in outside air flows into a chamber 40, in which further air treatment units are accommodated, which in the illustration in FIG. 3 are simple have been omitted for the sake of convenience. The air flows from the chamber 40 through a vertical shaft 41, in which a further filter 42 is arranged, upwards into a ceiling cavity 43 of the outside air module 5, into which the inlet / outlet openings 19 and 26 arranged in the side walls of this module open. With the exception of the inlet / outlet openings 19a, which are located in the right-hand end wall of the outside air module 5 in FIG. 3, all of these inlet / outlet openings 19, 26 are closed airtight in the manner already mentioned by closure bodies. Through the inlet / outlet openings 19a, of which only one can be seen in the section of FIG. 3, the air emitted by the blower 36 flows through the sealing arrangements 34 and the likewise unclosed inlet / outlet openings 19a in the left end wall in FIG. 3 of the air circulation module 4 into a ceiling cavity 45 of this module, which it leaves through the unclosed inlet / outlet openings 19a in the right end wall of this module, through the sealing arrangements 34 located between the air circulation module 4 and the production module 3 into the ceiling cavity 20 of the production module 3 reach. The bottom wall 46 of this ceiling cavity 20 has no openings in the left part of FIG. 3, so that the air in FIG. 3 must flow to the right, where it through the air outlet grille 47 provided in the bottom wall 46 or the perforated perforated plates 48 in the general clean room area 50 of the production module 3 arrives. From there, it flows through inlet openings 52 provided in the base plate 51 into the base cavity 21, which it can only leave through the inlet / outlet openings 19a provided in the left end wall of the production module 3, through the sealing arrangements 34 and through the right end wall of the air circulation module 4 provided entry / exit openings 19a to get into a floor cavity 54 of the air recirculation module.

Von dort strömt sie weiter über die in der linken Stirnwand des Umluftmoduls 4 vorgesehenen Ein/Austrittsöffnungen 19a, die dahinter befindlichen Dichtanordnungen 34 und die daran anschließenden in der rechten Stirnwand des Außenluftmoduls 5 befindlichen Ein/Austrittsöffnungen 19a in einen Boden­hohlraum 55 des Außenluftmoduls 5, in den wieder eine Viel­zahl der Ein/Austrittsöffnungen 19 und 26 münden, die jedoch alle mit Ausnahme der bereits erwähnten Öffnungen 19a ver­schlossen sind. Vom Bodenhohlraum 55 gelangt die Luft über einen senkrechten Schacht 56, in dem sich ein zur Nachberei­tung dienendes Filter 57 befindet, zu einem zweiten Gebläse 58, dessen Saugwirkung die bisher beschriebene Luftströmungs­bewegung unterstützt und das die durch es hindurchtretende Luft in einen Schacht 59 bläst, der mit der Luftabgabeöff­nung 29 in Verbindung steht, so daß hier Luft in die Umge­bung abgegeben werden kann.From there, it flows further via the inlet / outlet openings 19a provided in the left end wall of the air-circulator module 4, the sealing arrangements 34 located behind it and the adjoining inlet / outlet openings 19a located in the right-hand end wall of the outside air module 5 into a floor cavity 55 of the outside air module 5, in which in turn lead to a multiplicity of the inlet / outlet openings 19 and 26, which, however, are all closed except for the openings 19a already mentioned. From the floor cavity 55, the air passes through a vertical shaft 56, in which there is a filter 57 for post-processing, to a second fan 58, the suction effect of which supports the previously described air flow movement and which blows the air passing through it into a shaft 59, which communicates with the air discharge opening 29 so that air can be discharged into the environment here.

In den beiden Schächten 37 und 59 und in der sie voneinander trennenden Wand 60 sind drei steuerbare Klappenanordnungen 61, 62, 63 vorgesehen. Diese Klappenanordnungen 61, 62, 63 können voneinander unabhängig so gesteuert werden, daß sie entweder eine von zwei Extremstellungen, in denen sie völlig geöffnet bzw. völlig geschlossen sind, oder jede beliebige zwischen diesen beiden Extremstellungen liegende Stellung einnehmen. Auf diese Weise ist es möglich, beispielsweise die Klappenanordnungen 61, 63 völlig zu schließen und die Klappenanordnung 62 völlig zu öffnen. Bei dieser Klappen­stellung arbeitet auch das Außenluftmodul 5 im reinen Um­luftbetrieb, d.h. die dem Produktionsmodul 3 entzogene Luft wird nach entsprechender Aufbereitung dem Produktionsmodul wieder vollständig zugeführt, ohne daß irgendwelche Außen­luftanteile beigemischt werden. Sind demgegenüber die bei­den Klappenanordnungen 61, 63 vollständig geöffnet und die Klappenanordnung 62 vollständig geschlossen, so wird dem Produktionsmodul 3 nur frisch angesaugte und aufbereitete Luft zugeführt und die dem Produktionsmodul entnommene Luft vollständig wieder an die Umgebung abgegeben. Zwischen diesen beiden Betriebsfällen sind beliebige Übergänge möglich, bei denen die dem Produktionsmodul 3 zugeführte Luft wählbare Anteile von aus dem Produktionsmodul 3 abgesaugter und von außen her frisch zugeführter Luft enthält.Three controllable flap arrangements 61, 62, 63 are provided in the two shafts 37 and 59 and in the wall 60 separating them from one another. These flap assemblies 61, 62, 63 can be controlled independently of one another so that they either assume one of two extreme positions in which they are fully open or completely closed, or any position between these two extreme positions. In this way it is possible, for example, to completely close the flap arrangements 61, 63 and to fully open the flap arrangement 62. With this flap position, the outside air module 5 also works in pure recirculation mode, ie the air extracted from the production module 3 is fed back to the production module completely after appropriate preparation, without any outside air components being admixed. In contrast, if the two flap arrangements 61, 63 are completely open and the flap arrangement 62 is completely closed, then the Production module 3 only freshly sucked in and treated air supplied and the air removed from the production module completely released again to the environment. Arbitrary transitions are possible between these two operating cases, in which the air supplied to the production module 3 contains selectable portions of air sucked out of the production module 3 and freshly supplied from the outside.

Wie Fig. 3 weiterhin zeigt, besitzt das Umluftmodul 4 ein eigenes Gebläse 64, das aus dem Produktionsmodul 3 angesaugte Luft nach oben in einen der Ebene E2 zugeordneten Hohlraum 65 drückt, in den die Ein/Austrittsöffnungen 17 münden. Mit Ausnahme der in der in Fig. 3 rechten Stirnwand des Umluft­moduls 4 befindlichen Ein/Austrittsöffnungen 17a sind alle diese Öffnungen verschlossen, so daß die durch das Gebläse 64 geförderte Luft nur durch die zuletzt erwähnten Öffnungen, die an sie anschließenden Dichtanordnungen 34 und die in der in Fig. 3 linken Stirnwand des Produktionsmoduls 3 vorgesehe­nen, nicht verschlossenen Ein/Austrittsöffnungen 17a in einen Strömungswegabschnitt 23 gelangt, der von einem unter der Decke des Produktonsmoduls 3 aufgehängten Oberkasten gebildet wird, in dessen Boden sich Feinstfilter 66 befinden, durch die die Luft nach unten in einen hochreinen Reinraumbereich 70 des Produktionsmoduls 3 strömt. In diesem Bereich ist ein Arbeitstisch 71 angeordnet. Durch die perforierte Tischplatte 72 und ein in der Vorderwand dieses Arbeitstisches 71 ange­ordnetes Luftgitter 73 wird die den hochreinen Reinraumbe­reich 70 durchströmende Luft in einen den Strömungswegab­schnitt 24 bildenden Hohlraum abgesaugt, von dem sie durch die in der linken Stirnwand des Produktionsmoduls 3 offen gelassenen Ein/Austrittsöffnungen 17a, die dahinter befind­liche Dichtanordnungen 34 und die sich hieran anschließenden Ein/Austrittsöffnungen 17a in der rechten Stirnwand des Um­ luftmoduls 4 in einen dort befindlichen unteren Hohlraum 75 strömt, von dem sie durch ein zur Nachbereitung dienendes Filter 76 wieder zum Gebläse 64 gelangt, von dem sie erneut in den eben beschriebenen Kreislauf eingespeist wird.As further shown in FIG. 3, the circulating air module 4 has its own fan 64, which presses the air sucked in from the production module 3 upward into a cavity 65 assigned to the plane E2, into which the inlet / outlet openings 17 open. With the exception of the inlet / outlet openings 17a located in the right-hand end wall of the recirculating air module 4 in FIG. 3, all of these openings are closed, so that the air conveyed by the blower 64 only through the last-mentioned openings, the sealing arrangements 34 connected to them and the in The left end wall of the production module 3, which is provided in FIG. 3 and is not closed, enters into a flow path section 23 which is formed by an upper box suspended under the ceiling of the product module 3, in the bottom of which there are fine filters 66 through which the air passes flows down into a high-purity clean room area 70 of the production module 3. A work table 71 is arranged in this area. Through the perforated table top 72 and an air grille 73 arranged in the front wall of this work table 71, the air flowing through the high-purity clean room area 70 is sucked off into a cavity forming the flow path section 24, from which it passes through the inlet / outlet openings left open in the left end wall of the production module 3 17a, the sealing arrangements 34 located behind it and the adjoining inlet / outlet openings 17a in the right end wall of the um Air module 4 flows into a lower cavity 75 located there, from which it passes through a filter 76 used for postprocessing to the blower 64, from which it is fed again into the circuit just described.

Wie die Fig. 3 deutlich zeigt, sind die zwischen dem Umluft­modul 4 und dem Produktionsmodul 3 befindlichen ringförmigen Dichtanordnungen 34 so ausgebildet, daß sie die vom Außen­luftmodul 5 zum Produktionsmodul 3 und von dort wieder zu­rückführenden Strömungswege völlig getrennt von den Strömungs­wegen halten, die vom Umluftmodul 4 zum Produktionsmodul 3 und von dort wieder zurück führen. Es wird also jede der Öffnungen 19a und 17a von einem ringförmigen Dichtkörper so vollständig umgeben, daß ein Übertritt der durch die jewei­lige Öffnung hindurchtretenden Luft in den benachbarten Strömungsweg ausgeschlossen ist.As clearly shown in FIG. 3, the annular sealing arrangements 34 located between the air circulation module 4 and the production module 3 are designed such that they keep the flow paths leading back from the outside air module 5 to the production module 3 and from there again completely separate from the flow paths leading from the air circulation module 4 lead to the production module 3 and back from there. Each of the openings 19a and 17a is thus completely surrounded by an annular sealing body in such a way that the air passing through the respective opening cannot pass into the adjacent flow path.

Allerdings sind in die die Strömungswege des Außenluftmo­duls von den Strömungswegen des Umluftmoduls trennenden Wände 77, 78 des Umluftmoduls 4 jeweils Luftklappenanord­nungen 79, 80 eingebaut, die so gesteuert werden können, daß sie entweder völlig geschlossen oder völlig geöffnet sind oder jeden zwischen diesen beiden Extremstellungen liegenden Zwischenzustand einnehmen können. Mit Hilfe dieser Luftklap­penanordnungen 79, 80 kann also eine gewisse Vermischung zwi­schen den Außenluftmodul- und Umluftmodul-Luftströmungen her­beigeführt werden.However, in the walls 77, 78 of the circulating air module 4 separating the flow paths of the outside air module from the flow paths of the circulating air module, air flap arrangements 79, 80 are installed, which can be controlled in such a way that they are either completely closed or completely open, or each lying between these two extreme positions Can take intermediate state. With the help of these air flap arrangements 79, 80, a certain mixing between the outside air module and recirculating air flows can be brought about.

Unbeschadet dieser Möglichkeiten zeigt die Fig. 3 aber sehr deutlich das Grundprinzip der Erfindung, nachdem die eben beschriebenen Luftströmungen die unterschiedlich aufbereitet zwei verschiedenen Bereichen 50, 70 des Produktonsmoduls 3 zu­geführt werden und von zwei getrennten Technikmodulen 4, 5 stammen bzw. zu diesen zurückkehren, im Grundsatz voneinander ge­ trennt gehalten werden. Weiterhin sieht man, daß es nicht erforderlich ist, das Umluftmodul 4 in der dargestellten Weise zwischen dem Außenluftmodul 5 und dem Produktionsmodul 3 anzuordnen. Vielmehr kann das Außenluftmodul 5 auch un­mittelbar an das Produktionsmodul an nahezu beliebigen Stel­len angeschlossen werden, ohne daß sich hierdurch am Prin­zip der voneinander getrennten Luftströmungen etwas ändert. Es werden dann lediglich die an der Anschlußstelle befind­lichen Ein/Austrittsöffnungen 19 des Produktionsmoduls ge­öffnet, so daß die aus den oberen Ein/Austrittsöffnungen 19a des Außenluftmoduls 5 austretende Luft direkt in den Deckenhohlraum 20 eintreten und die überschüssige Luft im allgemeinen Reinraumbereich 50 des Produktionsmoduls durch den Bodenhohlraum 21 wieder in den Bodenhohlraum 55 des Außen­luftmoduls 5 gelangen kann. Die in Fig. 3 in der linken Stirn­wand vorgesehenen Öffnungen 19a des Umluftmoduls 4 werden in diesem Fall verschlossen, so daß hier keine Verbin­dung zur Umgebung besteht. Erfindungsgemäß muß in einem solchen Fall das Umluftmodul 4 nicht notwendigerweise an eine der Stirnwände des Produktionsmoduls 3 angeschlossen werden. Es kann vielmehr auch über eine der Seitenwände mit dem Pro­duktionsmodul verbunden werden, wobei dann an der betreffen­den Stelle ein dem Paneel 15 entsprechendes Paneel eingesetzt wird, in dem die Verschlußkörper der Öffnungen 17 entfernt worden sind. Somit ist es möglich, die Aufteilung zwischen allgemeinem Reinraumbereich 50 und hochreinem Reinraumbereich 70 im Produktionsmodul 3 in beliebiger Weise zu verändern und insbesondere die im hochreinen Reinraumbereich 70 angeordneten Arbeitstische 71 auch an anderen als der in Fig. 3 wiederge­gebenen Stelle anzuordnen.Without prejudice to these possibilities, FIG. 3 shows very clearly the basic principle of the invention, after the air flows just described are supplied to two different areas 50, 70 of the production module 3 prepared differently and come from two separate technology modules 4, 5 or return to them, fundamentally different from each other be kept separate. Furthermore, it can be seen that it is not necessary to arrange the circulating air module 4 between the outside air module 5 and the production module 3 in the manner shown. Rather, the outside air module 5 can also be connected directly to the production module at almost any location, without changing the principle of the separate air flows. Then only the inlet / outlet openings 19 of the production module located at the connection point are opened, so that the air emerging from the upper inlet / outlet openings 19a of the outside air module 5 enter directly into the ceiling cavity 20 and the excess air in the general clean room area 50 of the production module through the Bottom cavity 21 can get back into the bottom cavity 55 of the outside air module 5. The openings 19a of the air circulation module 4 provided in the left end wall in FIG. 3 are closed in this case, so that there is no connection to the surroundings here. According to the invention, the circulating air module 4 does not necessarily have to be connected to one of the end walls of the production module 3 in such a case. Rather, it can also be connected to the production module via one of the side walls, in which case a panel corresponding to the panel 15, in which the closure bodies of the openings 17 have been removed, is then used at the relevant point. It is thus possible to change the division between the general clean room area 50 and the ultra-clean room area 70 in the production module 3 in any manner and in particular to arrange the work tables 71 arranged in the high-clean room area 70 also at a different location than that shown in FIG. 3.

Das in Fig. 4 in verkleinertem Maßstab dargestellte Aus­führungsbeispiel umfaßt wieder ein Produktionsmodul 3, ein Umluftmodul 4 und ein Außenluftmodul 5. Diese Module besitzen im wesentlichen den gleichen Aufbau und sind in der gleichen Weise angeordnet, wie dies unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 beschrieben wurde. Gleiche Teile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und es darf bezüglich deren Anordnung und Funktionsweise auf die obige Beschrei­bung verwiesen werden. Im folgenden werden lediglich die­jenigen Teile erläutert, hinsichtlich derer sich das Aus­führungsbeispiel nach Fig. 4 von dem zuvor beschriebenen Beispiel unterscheidet.The embodiment shown in Fig. 4 on a smaller scale again comprises a production module 3, a recirculation module 4 and an outside air module 5. These modules have essentially the same structure and are arranged in the same manner as that with reference to FIGS. 1 to 3 has been described. The same parts are provided with the same reference numerals and reference can be made to the above description with regard to their arrangement and mode of operation. In the following, only those parts are explained, with respect to which the exemplary embodiment according to FIG. 4 differs from the previously described example.

Der Hauptunterschied besteht darin, daß in die serielle Anordnung zwischen dem Außenluftmodul 5 und dem Umluft­modul 4 ein weiteres Technikmodul 82 eingefügt ist, dem ein weiterer, von den übrigen Luftströmen zumindest teil­weise getrennter Luftstrom durch das Produktonsmodul 3 zugeordnet wird. Um diese teilweise Trennung durchführen zu können, sind bei diesem Ausführungsbeispiel die Ebenen E2 und E4 in Unterebenen E2a, E2b bzw. E4a und E4b aufge­spalten.The main difference is that a further technology module 82 is inserted into the serial arrangement between the outside air module 5 and the recirculating air module 4, to which a further air flow through the production module 3, at least partially separated from the other air flows, is assigned. In order to be able to carry out this partial separation, in this exemplary embodiment the levels E2 and E4 are split into sub-levels E2a, E2b or E4a and E4b.

Dies zeigt sich bei dem ansonsten mit dem Außenluftmodul 5 des vorausgehenden Ausführungsbeispiels identischen Außen­luftmodul darin, daß die in der rechten Stirnwand vorge­sehenen Öffnungen 26a nicht verschlossen sind, so daß der durch den vertikalen Schacht 41 aufsteigende Luftstrom den Deckenhohlraum 43 des Außenluftmoduls 5 auf zwei im folgenden voneinander getrennten Strömungswegen, nämlich zum einen durch die Ein/Austrittsöffnungen 19a und zum an­deren durch die Ein/Austrittsöffnungen 26a verläßt. Hinter beiden Öffnungsarten befinden sich wieder Dichtanordnungen 34, die den jeweiligen Luftstrom in einen Deckenhohlraum 83 bzw. einen oberen Hohlraum 85 des weiteren Technikmoduls weiter­leiten. Vom Deckenhohlraum 83 gelangt der Luftstrom über in der rechten Stirnwand des weiteren Technikmoduls 82 vorge­sehene Ein/Austrittsöffnungen 19a in den Deckenhohlraum 45 des Umluftmoduls 4, von wo er in der gleichen Weise in den Deckenhohlraum 20, den allgemeinen Reinluftbereich 50, den Bodenhohlraum 21 des Produktionsmoduls 3 und von dort in den Bodenhohlraum 54 des Umluftmoduls 4 weiterströmt, wie dies oben unter Bezugnahme auf die Fig. 3 bereits erläutert wurde. Vom Bodenhohlraum 54 gelangt der Luftstrom weiter über einen Bodenhohlraum 86 des weiteren Technikmoduls 82 in den Boden­hohlraum 55 des Außenluftmoduls 5, von wo er über den verti­kalen Schacht 56 und das zweite Gebläse 58 in der gleichen Weise weitergeleitet wird, wie dies oben beschrieben wurde. Man sieht also, daß bei dieser seriellen Anordnung der Decken­hohlraum 83 und der Bodenhohlraum 86 des weiteren Technik­moduls 82 für diesen Luftstrom nur als weiterleitende Strö­mungswegabschnitte dienen.This is shown in the outside air module, which is otherwise identical to the outside air module 5 of the previous exemplary embodiment, in that the openings 26a provided in the right end wall are not closed, so that the air flow rising through the vertical duct 41 divides the ceiling cavity 43 of the outside air module 5 into two in the following flow paths separated from one another, namely on the one hand through the inlet / outlet openings 19a and on the other hand through the inlet / outlet openings 26a. Sealing arrangements 34 are again located behind both types of opening, which forward the respective air flow into a ceiling cavity 83 or an upper cavity 85 of the further technology module. From the ceiling cavity 83, the air flow passes through inlet / outlet openings 19a provided in the right end wall of the further technology module 82 into the ceiling cavity 45 of the air-circulation module 4, from where it flows in the same way into the ceiling cavity 20, the general clean air area 50, and the floor cavity 21 of the production module 3 and flows from there into the floor cavity 54 of the air circulation module 4, as has already been explained above with reference to FIG. 3. From the floor cavity 54, the air flow continues through a floor cavity 86 of the further technology module 82 into the floor cavity 55 of the outside air module 5, from where it is passed on via the vertical duct 56 and the second fan 58 in the same manner as described above. It can thus be seen that in this serial arrangement the ceiling cavity 83 and the floor cavity 86 of the further technology module 82 only serve as forwarding flow path sections for this air flow.

Der in den oberen Hohlraum 85 gelangende Teil des vom Außen­luftmodul 5 ausgehenden Luftstroms durchströmt in diesem Hohlraum eine Filteranordnung 87 und gelangt über in der rechten Stirnwand des weiteren Technikmoduls 82 offen ge­lassene Ein/Austrittsöffnungen 26a in einen Zwischendecken-­Hohlraum 89 des Umluftmoduls 4. Das hier wiedergegebene Um­luftmodul 4 besitzt also einen etwas anderen Aufbau als das oben beschriebene Umluftmodul 4, was auch darin zum Ausdruck kommt, daß es in seinen Längs- und Stirn-Seitenwänden den Unterebenen E2a und E4b zugeordnete Ein/Austrittsöffnungen 26 besitzt, von denen die in den Längs-Seitenwänden vorge­sehenen Ein/Austrittsöffnungen 26 verschlossen sind, während die in den Stirn-Seitenwänden vorgesehenen Ein/Austrittsöff­ nungen 26a geöffnet und durch ringförmige Dichtanordnungen 34 mit den Ein/Austrittsöffnungen 26a der Nachbarmodule verbunden sind. Vom Zwischendeckenhohlraum 89 des Umluftmoduls 4 strömt der eben beschriebene Luftstrom weiter in einen Zwischendeckenhohlraum 90 des Produktionsmoduls 3, wo er über einen ersten Oberkasten 91 hinweg in einen zweiten Oberkasten 92 gelangt, aus dem er nach unten durch ein Feinstfilter 66 in einen zweiten hochreinen Reinraumbereich 93 des Produktionsmoduls 3 austritt. Aus diesem Bereich gelangt der Luftstrom durch das in der Seitenwand des Arbeitstisches 71 vorgesehene Luftaustrittsgitter 73 in einen Zwischenbodenhohlraum 95 des Produktionsmoduls 3, von wo er durch eine in der linken Stirnwand vorgesehene Ein/Austrittsöffnung 26 und die dahinter liegende Dichtan­ordnung 34 in einen Zwischenbodenhohlraum 96 des Umluft­moduls strömt. Von dort gelangt er über Ein/Austrittsöff­nungen 26a in den beiden einander gegenüberliegenden Stirn­wänden des Umluftmoduls 4 und des weiteren Technikmoduls 82 in einen Hohlraum 98, in dem das durchströmende Gas bei­spielsweise gewaschen wird. Vom Hohlraum 98 gelangt der ge­waschene Gasstrom durch ein Filter 99 und einen Schacht 100, den er nach unten durchströmt, zu den im unteren Bereich der linken Stirnwand des weiteren Technikmoduls 82 vorgesehenen Ein/Austrittsöffnungen 26a. Hier tritt er durch die zwischen den Technikmodulen befindliche Dichtanordnung 34 und die in der rechten Stirnwand des Außenluftmoduls 5 unten vorge­sehenen Ein/Austrittsöffnungen 26a in den Bodenhohlraum 55 des Außenluftmoduls 5 ein, wo er sich mit dem aus dem Boden­hohlraum 86 des weiteren Technikmoduls 82 kommenden Luft­strom vermischt und gemeinsam mit diesem weitergeführt wird.The part of the air flow coming from the outside air module 5 which flows into the upper cavity 85 flows through a filter arrangement 87 in this cavity and reaches an intermediate ceiling cavity 89 of the recirculating air module 4 via inlet / outlet openings 26a left open in the right end wall of the further technology module 82 shown air recirculation module 4 has a slightly different structure than the air recirculation module 4 described above, which is also expressed in the fact that it has in its longitudinal and front side walls the sub-levels E2a and E4b assigned inlet / outlet openings 26, of which the in the Longitudinal side walls provided entry / exit openings 26 are closed, while the entry / exit opening provided in the end side walls Openings 26a and are connected by annular sealing arrangements 34 to the inlet / outlet openings 26a of the neighboring modules. The air flow just described flows from the false ceiling cavity 89 of the recirculating air module 4 into a false ceiling cavity 90 of the production module 3, where it passes through a first upper box 91 into a second upper box 92, from which it passes down through a fine filter 66 into a second, high-purity clean room area 93 of the production module 3 exits. From this area, the air flow passes through the air outlet grille 73 provided in the side wall of the work table 71 into an intermediate floor cavity 95 of the production module 3, from where it flows into an intermediate floor cavity 96 through an inlet / outlet opening 26 provided in the left end wall and the sealing arrangement 34 located behind it Air circulation module flows. From there it passes through inlet / outlet openings 26a in the two opposite end walls of the recirculating air module 4 and the further technology module 82 into a cavity 98 in which the gas flowing through is washed, for example. The washed gas flow passes from the cavity 98 through a filter 99 and a shaft 100, through which it flows downward, to the inlet / outlet openings 26a provided in the lower region of the left end wall of the further technical module 82. Here it enters the bottom cavity 55 of the outside air module 5 through the sealing arrangement 34 located between the technology modules and the inlet / outlet openings 26a provided at the bottom in the right end wall of the outside air module 5, where it deals with the air flow coming from the bottom cavity 86 of the further technology module 82 mixed and continued together with this.

Man sieht also, daß es sich bei dem weiteren Technikmodul 82 im vorliegenden Fall um ein "passives" Technikmodul handelt, das kein eigenes Gebläse aufweist und deshalb auch nur in Serie mit einem dahinter angeordneten, ein Gebläse besitzen­den Technikmodul an das Produktionsmodul 3 entweder (wie dar­gestellt) mittelbar oder unmittelbar angeschlossen werden kann.It can thus be seen that the further technology module 82 in the present case is a "passive" technology module which does not have its own fan and therefore only in series with a technology module arranged behind it and having a fan module to the production module 3 either (as shown) can be connected directly or indirectly.

Um Platz für die Zwischendecken- und Zwischenboden-Hohlräume 89 und 96 zu schaffen, sind im hier dargestellten Umluftmodul 4 der obere Hohlraum 65 und der untere Hohlraum 75 etwas niedriger ausgebildet als bei dem zuvor beschriebenen Aus­führungsbeispiel. Entsprechendes gilt auch für die teilweise verschlossenen und teilweise offenen Ein/Austrittsöffnungen 17 bzw. 17a, mit denen diese beiden Hohlräume in weiterfüh­rende Strömungswege eingefügt werden können bzw. eingefügt sind. In Fig. 4 führt dieser weiterführende Strömungsweg vom oberen Hohlraum 65 in das der Unterebene E2b zugeordnete Innere des ersten Oberkastens 91 im Produktionsmodul 3, von wo die Luft durch ein Feinstfilter 66 in den ersten hochrei­nen Reinraumbereich 70 des Produktionsmoduls eintritt, der hier auf die Fläche des Arbeitstisches 71 beschränkt ist. Die Arbeitsplatte 72 dieses Arbeitstisches 71 ist wieder perforiert, so daß der Luftstrom durch den oberen Hohlraum 101 des Arbeitstisches 71 und die zugehörigen Ein/Austritts­öffnungen 17a, die dahinter befindlichen Dichtanordnungen 34 und die Ein/Austrittsöffnungen 17a im unteren Bereich der rechten Stirnwand des Umluftmoduls 4 in den dortigen unteren Hohlraum 75 gelangen kann.In order to make room for the false ceiling and false floor cavities 89 and 96, the upper cavity 65 and the lower cavity 75 are formed somewhat lower in the recirculation air module 4 shown here than in the exemplary embodiment described above. The same also applies to the partially closed and partially open inlet / outlet openings 17 and 17a, with which these two cavities can be inserted or are inserted into further flow paths. In Fig. 4, this further flow path leads from the upper cavity 65 into the interior of the first upper box 91 assigned to the lower level E2b in the production module 3, from where the air enters through a fine filter 66 into the first high-purity clean room area 70 of the production module, which here is on the surface of the work table 71 is limited. The worktop 72 of this worktable 71 is perforated again, so that the air flow through the upper cavity 101 of the worktable 71 and the associated inlet / outlet openings 17a, the sealing arrangements 34 located behind it and the inlet / outlet openings 17a in the lower region of the right end wall of the circulating air module 4 can get into the lower cavity 75 there.

Bei dieser Anordnung ist also der Innenraum des Produktions­moduls 3 in drei verschiedene Bereiche, nämlich einen all­gemeinen Reinraumbereich 50, einen ersten hochreinen Rein­raumbereich 70 und einen zweiten hochreinen Reinraumbereich 92 aufgeteilt. Diese Bereiche werden von voneinander weit­gehend getrennten Luftströmen durchströmt, wobei der den zweiten hochreinen Reinraumbereich 92 durchströmende Luft­strom im weiteren Technikmodul 82 zunächst einer zusätz­lichen Vorbehandlung und nach Durchströmen des Produktions­moduls 3 einer zusätzlichen Nachbehandlung unterzogen wird.With this arrangement, the interior of the production module 3 is therefore in three different areas, namely a general clean room area 50, a first high-purity clean room area 70 and a second high-purity clean room area 92 split. These areas are flowed through by air flows that are largely separate from one another, the air flow flowing through the second high-purity clean room area 92 being first subjected to additional pretreatment in the further technology module 82 and additional post-treatment after flowing through the production module 3.

Wie man der Abbildung 4 entnimmt, könnte das weitere Tech­nikmodul 82 aufgrund der in ihm vorgesehenen Ein/Austritts­öffnungen 19 und 26 auch zwischen dem Umluftmodul 4 und dem Produktionsmodul 3 angeordnet werden, ohne daß sich an den prinzipiellen Strömungsverläufen etwas ändert.As can be seen in FIG. 4, the further technology module 82 could also be arranged between the recirculation air module 4 and the production module 3 due to the inlet / outlet openings 19 and 26 provided therein, without the basic flow patterns changing anything.

Zusätzlich zu dem abgebildeten weiteren Technikmodul 82 umfaßt das erfindungsgemäße System auch weitere aktive und passive Technikmodule, die zwischen dem Umluftmodul 4 und dem Produktionsmodul 3 angeordnet werden können, um den vom Umluftmodul 4 durch das Produktionsmodul 3 erzeugten Luftstrom einer zusätzlichen Vor- und/oder Nachbehandlung zu unterziehen.In addition to the illustrated further technology module 82, the system according to the invention also comprises further active and passive technology modules, which can be arranged between the air circulation module 4 and the production module 3, for the additional air flow generated by the air circulation module 4 through the production module 3 for an additional pre- and / or post-treatment to undergo.

Die Aufspaltung der oberen Ebene E2 in zwei Unterebenen muß nicht immer gleichzeitig mit einer Aufspaltung der unteren Ebene E4 in zwei Unterebenen einhergehen und um­gekehrt. Wenn z.B. der aus dem zweiten hochreinen Rein­raumbereich 92 austretende Luftstrom keiner gesonderten Nachbehandlung zugeführt werden soll, kann er bereits im Produktionsmodul 3 oder in einem der nachfolgenden Technik­module mit dem den Bodenhohlraum 21 durchströmenden Luft­strom gemischt werden, bevor er in den Bodenhohlraum 55 des Außenluftmoduls 5 gelangt. Zusätzlich zu der in Ver­bindung mit den obigen Ausführungsbeispielen beschriebenen Aufteilung der Höhe des erfindungsgemäßen Sonderklima-Raum­systems in fünf bis sieben Ebenen ist im Rahmen der Erfindung auch eine Aufteilung in mehr als sieben Ebenen möglich.The split of the upper level E2 into two sublevels does not always have to go hand in hand with a split of the lower level E4 into two sublevels and vice versa. If, for example, the air stream emerging from the second high-purity clean room area 92 is not to be supplied to a separate aftertreatment, it can already be mixed in the production module 3 or in one of the subsequent technology modules with the air stream flowing through the floor cavity 21 before it reaches the floor cavity 55 of the outside air module 5 . In addition to the division of the height of the special climate room system according to the invention into five to seven levels described in connection with the above exemplary embodiments, a division into more than seven levels is also possible within the scope of the invention.

In Fig. 5 ist in vergrößertem Maßstab eine Verbindungs­stelle zwischen einem Produktionsmodul 3 und einem Tech­nikmodul 103 dargestellt, wobei alle für die wiedergegebene Verbindung nicht benötigten Ein/Austrittsöffnungen wegge­lassen sind.A connection point between a production module 3 and a technology module 103 is shown on an enlarged scale in FIG. 5, all the inlet / outlet openings which are not required for the reproduced connection being omitted.

Man sieht, daß sich durch die beiden Module 3 und 103 zwei nur teilweise wiedergegebene Strömungswege erstrecken, von denen der eine vom Deckenhohlraum 45 des Technikmoduls 103 durch die Ein/Austrittsöffnung 19a, die dahinter befind­liche Dichtanordnung 34 und die hierauf folgende Ein/Aus­trittsöffnung 19a in den Deckenhohlraum 20 des Produktions­moduls 3 verläuft, von wo die sich längs dieses Strömungs­weges bewegende Luft in den in Fig. 5 nicht dargestellten allgemeinen Reinraumbereich des Produktionsmoduls 3 strömt, um von dort in den Bodenhohlraum 21 zu gelangen, wie dies beispielsweise in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist. Vom Bodenhohlraum 21 des Produktionsmoduls 3 geht der darge­stellte Strömungsweg wieder durch zwei Ein/Austrittsöffnun­gen 19a und die dazwischen liegende Dichtanordnung 34 zurück in den Bodenhohlraum 54 des Technikmoduls 103.It can be seen that two only partially reproduced flow paths extend through the two modules 3 and 103, one of which flows from the ceiling cavity 45 of the technology module 103 through the inlet / outlet opening 19a, the sealing arrangement 34 located behind it and the subsequent inlet / outlet opening 19a in the ceiling cavity 20 of the production module 3 runs from where the air moving along this flow path flows into the general clean room area of the production module 3, not shown in FIG. 5, in order to get from there into the floor cavity 21, as is the case, for example, in FIG. 3 and 4 is shown. From the floor cavity 21 of the production module 3, the flow path shown goes back through two inlet / outlet openings 19a and the sealing arrangement 34 in between back into the floor cavity 54 of the technology module 103.

Der zweite Strömungsweg verläuft vom Hohlraum 65 des Tech­nikmoduls 103 durch zwei Ein/Austrittsöffnungen 17a und die dazwischen liegende Dichtanordnung 34 in den von einem Oberkasten des Produktionsmoduls 3 gebildeten Strömungsweg­abschnitt 23, von dort durch ein Feinstfilter 66 in den hoch­reinen Reinraumbereich 70 des Produktionsmoduls, von wo die Luft durch die gelochte Tischplatte 72 des Arbeitstisches 71 in den vom Tischkasten gebildeten Strömungswegabschnitt 24 gelangt, den sie durch die beiden Ein/Austrittsöffnungen 17a und die dazwischen liegende Dichtanordnung 34 verläßt, um in den Hohlraum 75 des Technikmoduls 103 zu gelangen. Geht man davon aus, daß es sich hierbei um ein den Umluft­ modulen 4 aus den Fig. 3 und 4 entsprechendes Technikmodul handelt, so wird die Luft aus dem Hohlraum 75 mit Hilfe eines nicht dargestellten Gebläses in den oberen Hohlraum 65 wei­tergeleitet, wobei sie weitere Aufbereitungsschritte durch­laufen kann.The second flow path runs from the cavity 65 of the technology module 103 through two inlet / outlet openings 17a and the sealing arrangement 34 in between into the flow path section 23 formed by an upper box of the production module 3, from there through a fine filter 66 into the high-purity clean room area 70 of the production module, from where the air passes through the perforated table top 72 of the work table 71 into the flow path section 24 formed by the table box, which it leaves through the two inlet / outlet openings 17a and the sealing arrangement 34 located therebetween in order to get into the cavity 75 of the technology module 103. If one assumes that this is a circulating air Modules 4 from FIGS. 3 and 4 corresponding technology module, the air from the cavity 75 is passed with the aid of a blower, not shown, into the upper cavity 65, whereby it can go through further processing steps.

Wie der Fig. 5 besonders deutlich zu entnehmen ist, umfaßt jede der zwischen den beiden Modulen 3, 103 vorgesehenen Dichtanordnungen 34 einen ersten Dichtkörper 104, der an der dem Produktionsmodul 3 zugewandten Seitenwand des Tech­nikmoduls 103 befestigt ist und jeweils eine Ein/Austritts­öffnung 17a und eine Ein/Austrittsöffnung 19a ringförmig umschließt. Jeder dieser Dichtkörper 104 besitzt einen oberen Quersteg 105, einen unteren Quersteg 106, einen Zwischensteg 107 sowie zwei vertikal verlaufende Stege, die in der Schnittansicht der Fig. 5 nicht unmittelbar zu sehen sind. Die vertikalen Stege sowie die beiden Quer­stege 105 und 106 bilden ein Rechteck, das die Außenkontur der zugehörigen Ein/Austrittsöffnungen 17a und 19a voll­ständig umschließt. Der parallel zu den beiden Querstegen 105, 106 verlaufende Zwischensteg 107, der ebenfalls die beiden vertikalen Stege miteinander verbindet, ist höhen­mäßig so angeordnet, daß er die beiden, den Ein/Austritts­öffnungen 17a bzw. 19a zugeordneten Strömungswege vonein­ander trennt.As can be seen particularly clearly from FIG. 5, each of the sealing arrangements 34 provided between the two modules 3, 103 comprises a first sealing body 104, which is fastened to the side wall of the technology module 103 facing the production module 3, and each has an inlet / outlet opening 17a and encloses an inlet / outlet opening 19a in a ring. Each of these sealing bodies 104 has an upper transverse web 105, a lower transverse web 106, an intermediate web 107 and two vertical webs, which cannot be seen directly in the sectional view in FIG. 5. The vertical webs and the two transverse webs 105 and 106 form a rectangle which completely surrounds the outer contour of the associated inlet / outlet openings 17a and 19a. The intermediate web 107, which runs parallel to the two transverse webs 105, 106 and also connects the two vertical webs to one another, is arranged in terms of height so that it separates the two flow paths associated with the inlet / outlet openings 17a and 19a.

Wie man der Fig. 5 entnimmt, besitzt jeder der Stege einen Querschnitt in Form eines langgestreckten gleichschenkeligen Dreiecks, das mit seiner kurzen Basis an der Außenwand des einen der beiden Module (hier des Technikmoduls 103) anliegt und sich mit seiner freien Spitze zur gegenüberliegenden Außenwand des anderen der beiden Module (hier des Produktions­moduls 3) erstreckt. An diesem anderen Technikmodul ist ein zweiter Dichtkörper 109 befestigt, der in gleicher Weise aus Stegen aufgebaut ist, wie dies oben für den ersten Dicht­körper 104 beschrieben wurde und der ebenfalls die beiden ihm zugeordneten Ein/Austrittsöffnungen 17a und 19a ring­förmig umschließt. Die Stege dieses zweiten Dichtkörpers 109 besitzen jeweils einen in etwa quadratischen Querschnitt mit einer ringsum verlaufenden, zum gegenüberliegenden Modul hin offenen Nut. Wird nun das die ersten Dichtkörper 104 tragende Modul an das die zweiten Dichtkörper 109 tragende Modul herangeschoben, so greifen die von den Querschnitts-­Dreieckspitzen gebildeten vorstehenden Stegkanten der ersten Dichtkörper 104 in die umlaufende Rinne bzw. Nut der zweiten Dichtkörper 109 ein, wodurch ein gasdichter Übergang für die Strömungswege von einem Modul in das andere erzeugt wird.As can be seen from FIG. 5, each of the webs has a cross section in the form of an elongated isosceles triangle, which rests with its short base on the outer wall of one of the two modules (here the technology module 103) and with its free tip to the opposite outer wall of the other of the two modules (here the production module 3). On this other technology module, a second sealing body 109 is attached, which is made in the same way Web is constructed, as described above for the first sealing body 104 and which also surrounds the two inlet / outlet openings 17a and 19a assigned to it in a ring. The webs of this second sealing body 109 each have an approximately square cross section with an all-round groove that is open toward the opposite module. If the module carrying the first sealing bodies 104 is now pushed towards the module carrying the second sealing bodies 109, the projecting ridge edges of the first sealing bodies 104 formed by the cross-sectional triangular tips engage in the circumferential groove or groove of the second sealing bodies 109, as a result of which a gastight Transition for the flow paths from one module to the other is created.

Der zwischen den beiden aneinandergefügten Modulen 3, 103 verbleibende Zwischenraum 110 wird ringsum, d.h. sowohl an den beiden vertikalen Seiten als auch an der Dach- und der Bodenseite von jeweils zwei im wesentlichen L-förmigen Pro­filen 112 abgedeckt, die mit dem freien Ende ihres langen Schenkels so an der Außenseite des betreffenden Moduls 3 bzw. 103 befestigt sind, daß ihre kurzen Schenkel einander in geringem Abstand gegenüberliegend nach außen vorstehen. Diese beiden kurzen Schenkel können dann durch eine Viel­zahl von Spannschrauben 114 miteinander verbunden werden. Der zwischen den beiden kurzen, nach außen vorstehenden Schenkeln der beiden L-förmigen Profile 112 verbleibende Zwischenraum wird durch ein U-förmiges Profil 115 abgedeckt. Mit Hilfe der elastisch gelagerten Spannschrauben 114 kön­nen die Dichtkörper 104 etwas komprimiert werden, so daß sich insgesamt eine schwingungsentkoppelte, dichte Verbin­dung zwischen den Modulen ergibt. Dabei ist der Zwischen­raum 110 nicht völlig dicht abgeschlossen. Über den in Fig. 5 wiedergegebenen Installationsschacht 117, in dem Rohrlei­tungen 118 verlaufen, kann in diesen Zwischenraum 110 Luft eingeblasen werden, wie dies durch die Strömungspfeile in Fig. 5 angedeutet ist. Diese Luft kann je nach Bedarf tem­periert, gefiltert oder auf einen bestimmten Feuchtigkeits­gehalt eingestellt sein, um die von den Dichtkörpern 104, 109 gebildeten Strömungswegverbindungen gegen äußere Ein­flüsse abzuschirmen. Umgekehrt kann über den Installations­schacht 117 dem Zwischenraum 110 auch Luft entzogen werden, wenn verhindert werden sol, daß eventuell aus den Strömungs­wegen in diesen Zwischenraum 110 hinein austretende Gase nach außen gelangen.The space 110 remaining between the two modules 3, 103 joined together is covered all around, ie both on the two vertical sides and on the roof and bottom sides by two essentially L-shaped profiles 112, which have the free end of their long Legs are attached to the outside of the module 3 or 103 concerned in such a way that their short legs protrude outward opposite one another at a short distance. These two short legs can then be connected to one another by a large number of clamping screws 114. The space remaining between the two short, outwardly projecting legs of the two L-shaped profiles 112 is covered by a U-shaped profile 115. With the help of the elastically mounted tensioning screws 114, the sealing bodies 104 can be somewhat compressed, so that overall a vibration-decoupled, tight connection between the modules results. The space 110 is not completely sealed. Air can flow into this space 110 via the installation shaft 117 shown in FIG. 5, in which pipes 118 run are blown in, as indicated by the flow arrows in FIG. 5. This air can be tempered, filtered or adjusted to a specific moisture content as required in order to shield the flow path connections formed by the sealing bodies 104, 109 against external influences. Conversely, air can also be withdrawn from the intermediate space 110 via the installation shaft 117 if it is to be prevented that gases escaping from the flow paths into this intermediate space 110 can escape to the outside.

Claims (25)

1. Modulares Sonderklima-Raumsystem mit wenigstens einem Produktionsmodul, das Aufenthalts- und Arbeitsbereiche enthält, denen in unterschiedlicher Weise aufbereitete Luftströme zugeführt werden, und mit mehreren an das Produktionsmodul anfügbaren Technikmodulen, in denen für die Luftaufbereitung und/oder den Lufttransport in das Produktionsmodul dienende Aggregate enthalten sind, dadurch gekennzeichnet, daß für wenigstens zwei der Luftströme jeweils ein eigenes Technikmodul (3, 4, 82, 103) und ein eigener, aus die­sem Technikmodul (3, 4, 82, 103) zum betreffenden Be­reich (50, 70, 92) des Produktionsmoduls (3) führender Zuführströmungsweg vorgesehen ist.1. Modular special climate room system with at least one production module that contains lounge and work areas, to which air streams prepared in different ways are fed, and with several technology modules that can be added to the production module and that serve for air conditioning and / or air transport into the production module Units are included, characterized in that for at least two of the air flows each have their own technology module (3, 4, 82, 103) and their own technology module (3, 4, 82, 103) for the relevant area (50, 70, 92) of the production module (3) leading supply flow path is provided. 2. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 1, bei dem aus den Aufenthalts- und Arbeitsbereichen des Produktionsmoduls abströmende Luft zurückgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß für wenig­stens einen der Luftströme ein eigener Rückführströmungs­weg vorgesehen ist, der in das zugehörige Technikmodul (3, 4, 82, 103) zurück führt.2. Modular special climate room system according to claim 1, in which air flowing out of the living and working areas of the production module is returned, characterized in that a separate return flow path is provided for at least one of the air streams, which in the associated technology module (3, 4, 82, 103) leads back. 3. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Produktionsmodul (3) verlaufende Zuführströmungsweg­abschnitte für Luftströme, die verschiedenen Teilen der Aufenthalts- und Arbeitsbereiche zugeführt werden, in vertikal übereinanderliegenden Ebenen (E1, E2) an­geordnet sind.3. Modular special climate room system according to claim 1 or 2, characterized in that in the production module (3) extending supply flow path sections for air flows that are supplied to different parts of the lounge and work areas are arranged in vertically superimposed levels (E1, E2). 4. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Produktionsmodul (3) verlaufende Rückführströmungs­wegabschnitte für Luftströme, die aus verschiedenen Teilen der Aufenthalts- und Arbeitsbereiche abgeführt werden, in vertikal übereinanderliegenden Ebenen (E4, E5) angeordnet sind.4. Modular special climate room system according to claim 2 or 3, characterized in that in the production module (3) extending recirculation flow path sections for air flows which are discharged from different parts of the living and working areas are arranged in vertically superimposed levels (E4, E5). 5. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der oberste Zuführströmungswegabschnitt im Produktionsmodul (3) von einem sich nahezu über die gesamte Grundrißfläche des Produktionsmoduls (3) erstreckenden Deckenhohlraum (20) gebildet wird, während darunter liegende Zuführ­strömungswegabschnitte von Hohlräumen (23; 90, 92) ge­bildet werden, die sich jeweils nur über einen Teil der Grundrißfläche des Produktionsmoduls (3) erstrecken.5. Modular special climate room system according to claim 3, characterized in that the uppermost supply flow path section in the production module (3) is formed by a ceiling cavity (20) which extends almost over the entire plan area of the production module (3), while supply flow path sections of cavities ( 23; 90, 92) are formed, each of which only extends over part of the plan area of the production module (3). 6. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der unterste Rückführströmungswegabschnitt im Produktions­modul (3) von einem sich nahezu über die gesamte Grund­rißfläche des Produktonsmoduls (3) erstreckenden Boden­hohlraum (21) gebildet wird, während darüber liegende Rückführströmungswegabschnitte von Hohlräumen (24; 95, 101) gebildet werden, die sich jeweils nur über einen Teil der Grundrißfläche des Produktionsmoduls (3) er­strecken.6. Modular special climate room system according to claim 4 or 5, characterized in that the lowermost return flow path section in the production module (3) is formed by a floor cavity (21) which extends over almost the entire plan area of the product module (3), while overlying return flow path sections are formed by Cavities (24; 95, 101) are formed, each of which only extends over part of the plan area of the production module (3). 7. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungswege für verschiedene Luftströme durch im ge­schlossenen Zustand dicht schließende, steuerbare Klappen­anordnungen (79, 80) miteinander verbindbar sind, die so steuerbar sind, daß eine gewünschte Menge des jeweils ei­nen Luftstroms dem jeweils anderen Luftstrom beigemischt werden kann.7. Modular special climate room system according to one of claims 1 to 6, characterized in that the flow paths for different air flows by tightly closing, controllable flap arrangements (79, 80) can be connected to each other, which are controllable so that a desired amount of the one air flow can be mixed with the other air flow. 8. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich­net, daß in wenigstens einer Art von Technikmodulen (4) wenigstens ein Durchgangsströmungswegabschnitt (45, 54) für einen Luftstrom eines anderen Technikmoduls (5) vorgesehen ist.8. Modular special climate room system according to one of the preceding claims, characterized in that in at least one type of technology modules (4) at least one through-flow path section (45, 54) is provided for an air flow of another technology module (5). 9. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 8, da­durch gekennzeichnet, daß in den Technikmodulen (4, 5, 82, 103) die zu verschiedenen Luftströmen gehörenden Strömungswegabschnitte in ver­tikal übereinanderliegenden Ebenen verlaufen, deren Anordnung in etwa gleich der Anordnung der entsprechen­den Ebenen (E1, E2, E4, E5) im Produktionsmodul (3) ist.9. Modular special climate room system according to claim 8, characterized in that in the technology modules (4, 5, 82, 103) the flow path sections belonging to different air streams run in vertically superimposed levels, the arrangement of which is approximately equal to the arrangement of the corresponding levels (E1 , E2, E4, E5) in the production module (3). 10. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der An­sprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeich­net, daß die Ein/Austrittsöffnungen (17, 19, 26) für die verschiedenen Strömungswege in vertikalen Wänden des Produktionsmoduls (3) und vertikalen Wänden der betreffenden Technikmodule (4, 5, 82, 103) in Höhe der im Produktionsmodul (3) für den jeweiligen Strömungs­wegabschnitt vorgesehenen Ebene (E1, E2, E4, E5) ange­ordnet sind.10. Modular special climate room system according to one of claims 3 to 9, characterized in that the inlet / outlet openings (17, 19, 26) for the different flow paths in the vertical walls of the production module (3) and vertical walls of the relevant technology modules (4, 5, 82, 103) at the level of the level (E1, E2, E4, E5) provided for the respective flow path section in the production module (3). 11. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß für die Strömungswege jeweils mehrere Ein/Austrittsöffnungen (17, 19, 26) in wenigstens zwei einander nicht gegen­überliegenden vertikalen Wänden des Produktionsmoduls (3) und in wenigstens zwei einander nicht gegenüber­liegenden vertikalen Wänden der Technikmodule (4, 5, 82, 103) vorgesehen sind und daß nicht benötigte Ein/­Austrittsöffnungen (17, 19, 26) durch einsetzbare Ver­schlußelemente gasdicht verschließbar sind.11. Modular special climate room system according to claim 10, characterized in that for the flow paths in each case a plurality of inlet / outlet openings (17, 19, 26) in at least two vertical walls of the production module (3) not opposite one another and in at least two vertical ones not opposite one another Walls of the technology modules (4, 5, 82, 103) are provided and that unneeded inlet / outlet openings (17, 19, 26) can be closed gas-tight by insertable closure elements. 12. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein/Austrittsöffnungen (17, 19, 26) der Strö­mungswege in etwa bündig in den vertikalen Wänden des Produktionsmoduls (3) und der Technikmodule (4, 5, 82, 103) liegen, und daß jeweils eine von zwei Ein/Aus­trittsöffnungen (17, 19, 26), die beim Aneinanderfügen von zwei Modulen (3, 103) einander gegenüberliegen und von denen die eine als Austrittsöffnung und die andere als Eintrittsöffnung für einen Strömungsweg dient, vollständig von einem an der Außenseite der betreffen­den Seitenwand des einen Moduls (103) gasdicht befestig­ten und zum anderen Modul (3) hin vorspringenden ersten Dichtkörper (104) ringförmig umgeben ist, der beim Aneinanderfügen der Module (3, 103) mit seiner frei vorspringenden Endkante mit einem an der Außenseite des gegenüberliegenden Moduls (3) angeordneten, die dortige Öffnung ringförmig umgebenden zweiten Dicht­körper (109) in gasdichten Eingriff tritt.12. Modular special climate room system according to claim 10 or 11, characterized in that the inlet / outlet openings (17, 19, 26) of the flow paths approximately flush in the vertical walls of the production module (3) and the technology modules (4, 5, 82 , 103), and that in each case one of two inlet / outlet openings (17, 19, 26) which, when two modules (3, 103) are joined together, lie opposite one another and one of which acts as an outlet opening and the other as an inlet opening for a flow path serves, is completely surrounded by a ring on the outside of the relevant side wall of one module (103) gas-tight and protruding toward the other module (3) projecting first sealing body (104) which is free when the modules (3, 103) are joined together projecting end edge with a second sealing body (109) arranged on the outside of the opposite module (3) and surrounding the opening there in a gas-tight manner . 13. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß in die Zwischenräume (110) zwischen aneinandergefügten Modulen (3, 103) ein Gas eingeblasen werden kann.13. Modular special climate room system according to claim 12, characterized in that in the spaces (110) between modules joined together (3, 103) a gas can be injected. 14. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß aus den Zwischenräumen (110) zwischen aneinandergefügten Modulen (3, 103) Gas abgesaugt werden kann.14. Modular special climate room system according to claim 12, characterized in that gas can be extracted from the spaces (110) between modules (3, 103) joined together. 15. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der vor­hergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­zeichnet, daß eines der Technikmodule ein Außenluftmodul (5) ist, das aus dem Produktionsmodul (3) abgesaugte Umluft und aus der Umgebung angesaugte Außenluft in einem Verhältnis mischt, das von 100 % Umluft mit 0 % Außenluft bis zu 0 % Umluft mit 100 % Außenluft veränderbar ist, und das dieses Luftgemisch einem der Bereiche des Produktionsmoduls (3) zuführt.15. Modular special climate room system according to one of the preceding claims, characterized in that one of the technology modules is an outside air module (5) which mixes the recirculated air extracted from the production module (3) and the outside air drawn in from the environment in a ratio of 100%. Recirculating air with 0% outside air can be changed up to 0% recirculating air with 100% outside air, and this air mixture feeds one of the areas of the production module (3). 16. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der vor­hergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­zeichnet, daß eines der Technikmodule ein Umluftmodul (4) ist, das aus dem Produktionsmodul (3) abgesaugte Umluft nach entsprechender Aufbereitung einem der Bereiche des Produktionsmoduls (3) wieder zuführt.16. Modular special climate room system according to one of the preceding claims, characterized in that one of the technology modules is a recirculating air module (4), the recirculated air extracted from the production module (3) after appropriate preparation feeds one of the areas of the production module (3) again. 17. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die das Technikmodul (4, 5, 82, 103) durchströmende Luft im Technikmodul wenigstens einem Aufbereitungs­schritt unterworfen wird.17. Modular special climate room system according to claim 15 or 16, characterized in that the air flowing through the technology module (4, 5, 82, 103) in the technology module is subjected to at least one preparation step. 18. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der An­sprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeich­net, daß die vom Technikmodul (4, 5, 82, 103) dem Produktionsmodul (3) zugeführte Luft im Produktions­modul wenigstens einem Aufbereitungsschritt unterworfen wird.18. Modular special climate room system according to one of claims 15 to 17, characterized in that the air from the technology module (4, 5, 82, 103) to the production module (3) is subjected to at least one preparation step in the production module. 19. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem oder meh­reren der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekenn­zeichnet, daß im Produktionsmodul (3) ein allgemeiner Reinraumbereich (50), der Luft vom Außen­luftmodul (5) erhält, und wenigstens ein hochreiner Reinraumbereich (70) vorgesehen sind, der Luft vom Umluftmodul (4) erhält.19. Modular special climate room system according to one or more of claims 15 to 18, characterized in that in the production module (3) a general clean room area (50), which receives air from the outside air module (5), and at least one high-purity clean room area (70) is provided are receiving air from the air recirculation module (4). 20. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Luft vom Außenluftmodul (5) dem allgemeinen Reinraumbereich (50) über den Deckenhohlraum (20) des Produktionsmoduls (3) zugeführt und durch den Bodenhohlraum (21) des Pro­duktionsmoduls (3) entzogen wird.20. Modular special climate room system according to claim 19, characterized in that the air from the outside air module (5) to the general clean room area (50) via the ceiling cavity (20) of the production module (3) and through the floor cavity (21) of the production module (3rd ) is withdrawn. 21. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Luft, die das Umluftmodul (4) aus dem Produktions­modul (3) absaugt, im wesentlichen Luft aus dem hoch­reinen Reinraumbereich (70) ist.21. Modular special climate room system according to claim 19 or 20, characterized in that the air which the recirculating air module (4) sucks from the production module (3) is essentially air from the high-purity clean room area (70). 22. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der An­sprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeich­net, daß im Produktionsmodul (3) ein weiterer hoch­reiner Reinraumbereich (92) vorgesehen ist, der Luft vom Außenluftmodul (5) über einen Strömungsweg erhätl, der zumindest innerhalb des Produktionsmoduls (3) vom Stromungsweg der Luft getrennt ist, die der allgemeine Reinraumbereich (50) vom Außenluftmodul (5) erhält.22. Modular special climate room system according to one of claims 19 to 21, characterized in that in the production module (3) a further high-purity clean room area (92) is provided, which receives air from the outside air module (5) via a flow path, at least within the production module (3) from Flow path of the air is separated, which the general clean room area (50) receives from the outside air module (5). 23. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach einem der An­sprüche 15 bis 22, dadurch gekennzeich­net, daß zwischen das Außenluftmodul (5) und das Produktionsmodul (3) wenigstens ein weiteres Technik­modul (4; 82) eingefügt ist, das von der Luft für den allgemeinen Reinraumbreich (50) auf gesonderten Strö­mungswegen durchströmt wird.23. Modular special climate room system according to one of claims 15 to 22, characterized in that between the outside air module (5) and the production module (3) at least one further technology module (4; 82) is inserted, which of the air for the general clean room area (50) is flowed through on separate flow paths. 24. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Technikmodul (4; 82, das Umluftmodul (4) ist.24. Modular special climate room system according to claim 23, characterized in that the further technology module (4; 82, the air recirculation module (4). 25. Modulares Sonderklima-Raumsystem nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das weitere Technikmodul (4; 82) ein Modul (82) ist, in dem die vom Außenluftmodul (5) dem weiteren hoch­reinen Reinraumbereich (92) zuzuführende Luft einen zusätzlichen Aufbereitungsschritt durchläuft.25. Modular special climate room system according to claim 23, characterized in that the further technology module (4; 82) is a module (82) in which the air to be supplied from the outside air module (5) to the further high-purity clean room area (92) undergoes an additional preparation step .

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