EP0224196B1 - Verfahren und Vorrichtung zur Reduktion der Datenrate bei der Fourierspektroskopie - Google Patents

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EP0224196B1
EP0224196B1 EP86116059A EP86116059A EP0224196B1 EP 0224196 B1 EP0224196 B1 EP 0224196B1 EP 86116059 A EP86116059 A EP 86116059A EP 86116059 A EP86116059 A EP 86116059A EP 0224196 B1 EP0224196 B1 EP 0224196B1
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EP
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frequency
signal
interferogram
electrical
interferometer
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EP86116059A
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EP0224196A1 (de
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Harald Dr.Dipl.-Phys. Rippel
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Erwin Kayser-Threde GmbH
Original Assignee
Erwin Kayser-Threde GmbH
Kayser Threde GmbH
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/45—Interferometric spectrometry
    • G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • G01J3/4535—Devices with moving mirror

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for reducing the data rate of the digitized measurement signal obtained in Fourier spectroscopy.
  • the interferogram of an unknown measuring radiation to be analyzed is generated in a two-beam interferometer, the moving mirror of which is shifted at a constant speed, and converted into an analog, first high-frequency electrical signal.
  • the electrical signal obtained in this way corresponds to the Fourier transform of the energy spectrum, that is to say the radiation intensity as a function of the wavelength of the interfering radiation.
  • v is the optical feed rate of the moving mirror in the interferometer. It can be seen from equation (1) above that a measurement signal is obtained with interferometers with a high feed rate of the mirror receives correspondingly high electrical frequencies. These frequencies are typically in the range from 10 to 500 kHz.
  • the interferogram signal is usually evaluated using digital computers. For this purpose, the analog electrical measurement signal must first be digitized.
  • the analog signal must be sampled at least twice the signal frequency in order to enable a faithful reconstruction of the original interferogram or the spectrum.
  • the interferogram provided by the interferometer contains all information about the spectrum of the measuring radiation to be analyzed from frequency 0 to the upper optical limit frequency. In general, however, it is not the entire frequency range of the spectrum that is of interest for analysis, but only a specific spectral range characterized by the lower corner frequency F u and the upper corner frequency F o .
  • the upper cut-off frequency F o of the spectral range of interest generally coincides with the upper optical cut-off frequency of the interferogram. Even if one only evaluates the upper spectral range of the interferogram with the connected computer, for example by filtering out the low frequencies using an electrical high pass, the problem of data rates of the digitized measurement signal that are too high and hardly manageable remains essentially.
  • a method for generating an interferogram of the type described at the beginning is assumed;
  • the object is achieved in a two-beam interferometer with a moving mirror in that, in addition to the actual optical interference signal, which is converted into an analog first electrical signal, a second analog electrical signal is generated, specifically by irradiating a laser beam with a fixed optical frequency in the interferometer parallel to the incident measuring radiation, detection of the optical interference signal of this laser beam and by converting the laser interference signal into a corresponding electrical signal, the frequency of which is modulated in proportion to the deviation of the current actual speed of the moving mirror from its constant target speed, and further in that the analog first electrical signal is frequency-mixed with the analog second electrical signal, and in that the differential frequencies obtained on the basis of this frequency mixing are filtered out and the filtered out Signal is digitized.
  • the starting point is a known double-beam interferometer, the moving mirror of which can be moved at a constant speed, and an opto-electrical converter for converting the interferogram into a corresponding, first electrical one Has signal; is solved Task by an additionally provided laser source, the laser beam incident parallel to the measuring radiation in the interferometer, another opto-electrical converter for converting the laser interferogram into a corresponding second electrical signal, further by a frequency mixer for mixing the electrical first signal representing the interferogram with the electrical second signal, an electrical low-pass filter for filtering out the differential frequencies generated in the frequency mixer and finally by an analog-digital converter for digitizing the filtered out signal.
  • a series of cosine functions is generated in parallel with and at the same time as the function H (u) .
  • the measuring radiation signal H (u) and the cosine functions generated in parallel are then multiplied in a multiplier and then in an integrator integrated. In this way, the Fourier transform F of H (u) is obtained as a result, provided certain boundary conditions are met.
  • the method described in the aforementioned German published application and the associated device differ fundamentally from the method according to the invention and the associated device both in terms of the intention and the physical procedure.
  • the method proposed here does not generate a number of different cosine functions, but exactly one.
  • the complicated boundary conditions of the previously known method need not be met here.
  • the analog first electrical signal which represents the interferogram
  • the integrator contained in the previously known arrangement brings about a temporal integration of the signal output by the multiplier.
  • the difference frequencies obtained due to the frequency mixing in the frequency mixer are filtered out, which limits the noise bandwidth or refolding effects in the frequency range of the signal.
  • a reduction in the data rate of a possibly digitized measurement signal is in any case not possible with the above-described method or the previously known arrangement.
  • An essential feature of the present invention is therefore the mixing of the first analog signal representing the interferogram with a second signal, the frequency of which is modulated by the movement or movement deviation of the moving mirror in the interferometer.
  • the speed deviations of the moving mirror are typically 1%.
  • the electrical signal frequency F s has the same relative error.
  • the increase in the relative error in the frequency transformation just described is now avoided if, instead of a constant mixed frequency, an electrical signal is used which has a frequency corresponding to the unavoidable Fluctuations in the ideal way constant feed speed of the moving mirror changes.
  • the relative error of the difference frequency F d then results - using equation (1) - as: Despite the transformation of the measurement signal to significantly lower frequencies, the relative error does not increase beyond the inevitable extent ⁇ v v the absolute error caused by the speed fluctuations in the feed of the moving mirror.
  • the frequency transformation is therefore error-neutral.
  • the difference signal obtained due to the frequency mixing has significantly lower frequencies than the original measurement signal.
  • the sampling frequency required for perfect digitization which allows a complete reconstruction of the interferogram, can also be significantly reduced as a result, so that the interferogram, which is finally in digital form, has a significantly reduced data rate.
  • the application of the method according to the invention therefore makes it possible to evaluate the interferogram with digital computers which would not be able to cope with the extremely high data rate of a non-frequency-transformed, digitized interferogram measurement signal without having to accept that the measurement signal was falsified at the same time.
  • the two electrical signals must be mixed with the same phase position.
  • a fade-in mirror is provided in front of the measurement opening of the interferometer, via which the measurement radiation is faded in, and this fade-in mirror has a small opening for the laser beam. In this way, it is easy to allow the laser beam to enter the interferometer parallel to the measuring radiation.
  • a deflecting mirror is expediently provided, which throws the optical interferogram onto an opto-electrical converter, and which likewise has a small opening through which the laser beam can pass unhindered.
  • the laser beam can then be detected by means of a further small deflection mirror, which throws the laser light onto the further opto-electrical converter. In this way, the beam paths are largely decoupled from measuring radiation and laser beam.
  • FIG. 1 shows the interferogram of a measuring radiation to be analyzed, which has already been converted into an analog electrical signal.
  • the radiation intensity I s is plotted against the frequency f.
  • the spectral range of interest for the analysis is defined by the lower corner frequency F u and the upper corner frequency F o .
  • the fundamental frequency of a second electrical signal F m which is to be mixed with the interferogram signal F s , is also entered.
  • the frequency of F m is only slightly above the upper corner frequency F o .
  • Fig. 3 illustrates the position of the mixed signals obtained by the frequency mixing in the frequency spectrum. Only the difference frequencies are provided for further processing. Their lower cut-off frequency F m - F o is already relatively close to frequency 0, while the upper cut-off frequency F m - F u is still several times lower than the lower cut-off frequency F u of the original interferogram signal.
  • the difference frequencies are generated by the others before digitization Mixing frequencies separated, for example by an electrical low-pass filter.
  • a Michelson interferometer forms the core of the measuring arrangement. It essentially consists of a beam splitter 1 in the form of a semitransparent mirror which splits the received measuring radiation MS into two partial beams. The one partial beam reflected downwards at right angles is thrown back by a fixed mirror 2 in the direction of the beam splitter 1, while the other partial beam passes the semi-transparent beam splitter 1 and strikes a mirror 3 which is moving at a constant feed rate. This partial beam is reflected from the surface of the moving mirror 3 and thrown upwards at right angles from the rear of the beam splitter 1. The two partial beams coming from the fixed mirror 2 or moving mirror 3 interfere.
  • a deflecting mirror 4 catches the optical interferogram of the measuring radiation MS generated in this way and throws it onto a first opto-electrical converter 5. This converts the optical interferogram into a corresponding electrical interferogram signal.
  • Such an interferogram is shown in Fig. 1. After amplification in an electronic amplifier 6, the measurement signal passes through an electrical high-pass filter 7 in order to filter out the low-frequency signal components of no interest.
  • the measuring radiation MS is faded into the beam path of the interferometer by means of a fading-in mirror 8.
  • This fade-in mirror 8 has a small opening in the middle, through which the laser beam emitted by a laser source 9 strikes the interferometer parallel to the measuring radiation and strikes the moving mirror 3 as a partial beam.
  • This partial beam is reflected by the surface of the mirror 3 moved transversely to the optical axis.
  • the laser light reflected there is superimposed on the laser partial beam reflected on the fixed mirror 2, so that a laser interferogram is produced.
  • This is thrown upwards at right angles and shines through the deflecting mirror 4, which also has a small opening for this purpose.
  • the laser interferogram strikes a second opto-electrical converter 11 via a small deflecting mirror 10.
  • the converted electrical signal at the output of the opto-electrical converter 11 is frequency-modulated in proportion to the deviation of the instantaneous actual speed of the moving mirror 3 from its constant target speed.
  • the fundamental frequency of this second electrical signal is divided down in a frequency divider 14 to a frequency value which is close to the upper limit frequency of the interferogram signal.
  • the two signals are frequency mixed in phase in an electronic frequency mixer 15.
  • the mixed products appearing at the output of the frequency mixer 15 are shown in FIG. 3.
  • the differential frequencies obtained are filtered out by means of a downstream low-pass filter 16 and fed to an analog-to-digital converter 17.
  • the signal present in digital form at the output of the analog-digital converter 17 and representing the interferogram of the measuring radiation MS is distinguished by a significantly reduced data rate.

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Reduktion der Datenrate des bei der Fourierspektroskopie erhaltenen, digitalisierten Meßsignals. Dabei wird in einem Zweistrahl-Interferometer, dessen bewegter Spiegel mit möglichst konstanter Geschwindigkeit verschoben wird, das Interferogramm einer unbekannten, zu analysierenden Meßstrahlung erzeugt und in ein analoges, erstes elektrisches Signal hoher Frequenz umgewandelt.
  • Das so erhaltene elektrische Signal entspricht der Fourier-Transformierten des Energiespektrums, also der Strahlungsstärke in Abhängigkeit von der Wellenlänge der interferierenden Strahlung. Der Zusammenhang zwischen der optischen Frequenz K des Spektrums und der elektrischen Frequenz F ist gegeben durch

    F = v.K
    Figure imgb0001
     (1)

    v ist dabei die optische Vorschubgeschwindigkeit des bewegten Spiegels im Interferometer. Aus obiger Gleichung (1) wird ersichtlich, daß man bei Interferometern mit hoher Vorschubgeschwindigkeit des Spiegels ein Meßsignal entsprechend hoher elektrischer Frequenzen erhält. Diese Frequenzen liegen typischerweise im Bereich von 10 bis 500 KHz. Das Interferogramm-Signal wird üblicherweise mit digitalen Rechern ausgewertet. Hierzu muß das analoge elektrische Meßsignal zunächst digitalisiert werden. Gemäß dem Abtasttheorem der Informationstheorie muß das Analogsignal mindestens mit der doppelten Signalfrequenz abgetastet werden, um eine getreue Rekonstruktion des ursprünglichen Interferogramms bzw. des Spektrums zu ermöglichen. Dies führt bei den erwähnten hohen Frequenzen des Meßsignals zu sehr hohen Datenraten des digitalisierten Signals, dessen anschließende Weiterverarbeitung und Speicherung in dem angeschlossenen Rechner deshalb Probleme bereitet.
  • Das vom Interferometer gelieferte Interferogramm enthält alle Informationen über das Spektrum der zu analysierenden Meßstrahlung von der Frequenz 0 bis zur oberen optischen Grenzfrequenz. Im allgemeinen ist jedoch nicht der gesamte Frequenzbereich des Spektrums für die Analyse interessant, sondern nur ein bestimmter, durch die untere Eckfrequenz Fu und die obere Eckfrequenz Fo gekennzeichneter Spektralbereich. Die obere Eckfrequenz Fo des interessierenden Spektralbereichs fällt dabei in der Regel mit der oberen optischen Grenzfrequenz des Interferogramms zusammen. Selbst wenn man mit dem angeschlossenen Rechner also nur den oberen Spektralbereich des Interferogramms auswertet, beispielsweise durch Ausfilterung der niederen Frequenzen mittels eines elektrischen Hochpasses, bleibt das Problem zu hoher, kaum zu bewältigender Datenraten des digitalisierten Meßsignals im wesentlichen bestehen.
  • Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bzw. eine entsprechende Vorrichtung zur Reduktion der Datenrate des bei der Fourierspektroskopie erhaltenen, digitalisierten Meßsignals zu schaffen.
  • Bei der Lösung dieser Aufgabe wird von einem Verfahren zur Erzeugung eines Interferogramms der eingangs dargestellten Art ausgegangen; gelöst wird die Aufgabe bei einem Zweistrahl-Interferometer mit bewegtem Spiegel dadurch, daß zusätzlich zu dem eigentlichen optischen Interferenzsignal, das in ein analoges erstes elektrisches Signal umgewandelt wird, ein zweites analoges elektrisches Signal erzeugt wird, und zwar durch Einstrahlen eines Laserstrahls fester optischer Frequenz in das Interferometer parallel zur einfallenden Meßstrahlung, Detektion des optischen Interferenzsignals dieses Laserstrahls und durch Umwandlung des Laser-Interferenzsignals in ein entsprechendes elektrisches Signal, wobei dessen Frequenz proportional der Abweichung der momentanen Ist-Geschwindigkeit des bewegten Spiegels von dessen konstanter Soll-Geschwindigkeit moduliert ist, und ferner dadurch, daß eine Frequenzmischung des analogen ersten elektrischen Signals mit dem analogen zweiten elektrischen Signal erfolgt, und daß die aufgrund dieser Frequenzmischung erhaltenen Differenzfrequenzen herausgefiltert werden und das herausgefilterte Signal digitalisiert wird.
  • Bei der Lösung der auf die Angabe einer entsprechenden Vorrichtung gerichteten Aufgabe wird ausgegangen von einem an sich bekannten Zweistrahl-Interferometer, dessen bewegter Spiegel mit möglichst konstanter Geschwindigkeit verschiebbar ist, und das einen opto-elektrischen Wandler zur Umwandlung des Interferogramms in ein entsprechendes, erstes elektrisches Signal aufweist; gelöst wird die Aufgabe durch eine zusätzlich vorgesehene Laserquelle, deren Laserstrahl parallel zur Meßstrahlung in das Interferometer einfällt, einen weiteren opto-elektrischen Wandler zur Umwandlung des Laser-Interferogramms in ein entsprechendes zweites elektrisches Signal, ferner durch einen Frequenzmischer zur Mischung des das Interferogramm darstellenden, elektrischen ersten Signals mit dem elektrischen zweiten Signal, ein elektrisches Tiefpaßfilter zur Herausfilterung der im Frequenzmischer entstandenen Differenzfrequenzen und schließlich durch einen Analog-Digital-Wandler zur Digitalisierung des herausgefilterten Signals.
  • Aus der DE-Al 547 218 ist eine optisch-mechanisch-elektrische Anordnung zur Fourier-Transformation bekannt, mittels der die Fourier-Transformierte ohne Einsatz von analogen oder digitalen Rechnern erhalten werden kann. Bei dieser vorbekannten Anordnung wird das mittels eines Michelson-Interferometers erhaltene Interferogramm einer unbekannten Meßstrahlung in einem Empfänger aufgezeichnet. Man erhält somit die Fuktion H(u), die mit Hilfe der weiteren Anordnung Fourier-transformiert werden soll. Hierzu wird mittels eines zweiten Interferometers das Interferogramm einer Weißlichtquelle erzeugt, auf ein Spektrometer geleitet und dort spektral zerlegt. In der Brennebene des Spektrometers ist ein vielzelliger Empfänger angeordnet. Unter bestimmten Randbedingungen wird dort parallel und zeitgleich zur Funktion H(u) eine Reihe von Cosinus-Funktionen erzeugt. Das Meßstrahlungs-Signal H(u) und die parallel erzeugten Cosinus-Funktionen werden anschließend in einem Multiplikator multipliziert und danach in einem Integrator integriert. Auf diese Weise erhält man als Ergebnis, unter der Vorraussetzung der Einhaltung bestimmter Randbedingungen, die Fourier-Transformierte F von H(u).
  • Das in der erwähnten Deutschen Offenlegungsschrift beschriebene Verfahren und die zugehörige Vorrichtung unterscheiden sich sowohl hinsichtlich der Intention als auch der physikalischen Vorgehensweise grundlegend von dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. der zugehörigen Vorrichtung. So wird bei dem hier vorgeschlagenen Verfahren nicht eine Reihe von verschiedenen Cosinus-Funktionen, sondern genau eine einzige erzeugt. Die komplizierten Randbedingungen des vorbekannten Verfahrens brauchen hierbei nicht erfüllt zu sein. Gemäß der vorliegenden Erfindung findet ferner eine Mischung des analogen ersten elektrischen Signals, welches das Interferogramm darstellt, mit einem analogen zweiten elektrischen Signal statt, und nicht eine Muliplikation. Der in der vorbekannten Anordnung enthaltene Integrator bewirkt eine zeitliche Aufintegration des vom Multiplikator abgegebenen Signals. Hingegen werden bei der vorliegenden Erfindung die aufgrund der Frequenzmischung im Frequenzmischer erhaltenen Differenzfrequenzen herausgefiltert, was die Rauschbandbreite bzw. Rückfaltungseffekte im Frequenzbereich des Signals begrenzt. Eine Reduktion der Datenrate eines gegebenenfalls digitalisierten Meßsignals ist jedenfalls mit dem vorbeschriebenen Verfahren bzw. der vorbekannten Anordnung nicht möglich.
  • Aus INTERNATIONAL LABORATORY, Band 15, Nr. 2, März 1985, Seiten 38-48, Fairfield, Connecticut, US; F.L. BAUDAIS et al.: "Electronic fourier transform spectroscopy" ist es bekannt, bei der Spektralmessung einen stabilisierten Helium-Neon-Laser als Referenz zur internen Wellenlängen-Kalibrierung einzusetzen.
  • Aus IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, Band 23, Nr. 6, November 1980, Seiten 2393, 2394; D. KUEHL et al.: "Circular wedge large aperture field widened interferometer" ist es bekannt, in einem Einblendspiegel eine kleine Öffnung vorzusehen, um auf diese Weise einen Refferenzstrahl in einen Meßstrahlengang einzublenden.
  • Wesentliches Merkmal vorliegender Erfindung ist also die Mischung des das Interferogramm darstellenden, ersten analogen Signals mit einem zweiten Signal, dessen Frequenz von der Bewegung, bzw. Bewegungsabweichung des bewegten Spiegels im Interferometer moduliert wird. Zum besseren Verständnis des erfindungsgemäßen Verfahrens, bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird kurz auf die Verhältnisse eingegangen, die sich ergeben, würde man das Interferogramm-Signal statt dessen mit einem Signal fester, unmodulierter Frequenz mischen.
  • Durch die Mischung der Signalfrequenz Fs mit einer festen Mischfrequenz Fm in einem analogen Frequenzmischer erhält man die Summenfrequenz Fm+Fs und die Differenzfrequenz Fm-Fs. Da das digitalisierte Meßsignal eine möglichst geringe Datenrate aufweisen soll, und man deshalb mit einer möglichst niedrigen Abtastfrequenz auskommen muß, werden die entstandenen Differenzfrequenzen herausgefiltert und nur diese in digitalisierter Form dem angeschlossenen Rechner zugeführt.
  • Da der Antrieb des optischen Vorschubs des bewegten Spiegels im Interferometer die gewünschte konstante Soll-Geschwindigkkeit v₀ nur mit einer bestimmten Genauigkeit Δv einhält, variiert die momentane Ist-Geschwindigkeit um eben diesen Wert Δv:
    Figure imgb0002
  • Aufgrund des Zusammenhangs zwischen optischer Frequenz K des Spektrums und elektrischer Frequenz F des Meßsignals gemäß Gleichung (1) geht die Abweichung der Ist-Geschwindigkeit des bewegten Spiegels von seiner Soll-Geschwindigkeit in die Signalfrequenz Fs ein:
    Figure imgb0003
  • Die Geschwindigkeitsabweichungen des bewegten Spiegels betragen typischerweise 1%. Die elektrische Signalfrequenz Fs ist mit demselben relativen Fehler behaftet.
  • Die Mischung der Signalfrequenz Fs mit der Mischfrequenz Fm läßt die Differenzfrequenz Fd entstehen:
    Figure imgb0004
     Diese Frequenz Fd ist sehr viel kleiner als die ursprüngliche Signalfrequenz Fs. Sie ist mit einem relativen Fehler behaftet:
    Figure imgb0005
     Der nunmehr auftretende relative Fehler ist also um den Faktor
    Figure imgb0006
     größer. Um eine möglichst geringe Differenzfrequenz zu erhalten, wird die Mischfrequenz Fm so gewählt, daß sie nur möglichst wenig über der Signalfrequenz Fs liegt. Je kleiner aber die Differenz Fm-Fs wird, um so größer wird der relative Fehler in der erzeugten Differenzfrequenz. Obwohl der absolute Fehler unverändert in der Größenordnung von 1% liegt, verhindert der um ein Vielfaches größere relative Fehler eine exakte Analyse des zu untersuchenden Spektrums.
  • Gemäß der Erfindung wird nun das eben beschriebene Anwachsen des relativen Fehlers bei der Frequenztransformation vermieden, wenn anstelle einer konstanten Mischfrequenz ein elektrisches Signal verwendet wird, das seine Frequenz entsprechend den unvermeidbaren Schwankungen der idealer Weise konstanten Vorschubgeschwindigkeit des bewegten Spiegels ändert. Der relative Fehler der Differenzfrequenz Fd ergibt sich dann - unter Verwendung von Gleichung (1) - zu:
    Figure imgb0007
     Trotz der Transformation des Meßsignals zu wesentlich niedrigeren Frequenzen hin vergrößert sich der relative Fehler nicht über das unvermeidbare Maß △v v
    Figure imgb0008
     des absoluten Fehlers, der durch die Geschwindigkeitsschwankungen des Vorschubs des bewegten Spiegels verursacht wird. Die Frequenztransformation erfolgt also fehlerneutral.
  • Das aufgrund der Frequenzmischung erhaltene Differenzsignal weist wesentlich geringere Frequenzen auf als das ursprüngliche Meßsignal. Die zur einwandfreien, eine vollständige Rekonstruktion des Interferogramms erlaubende Digitalisierung erforderliche Abtastfrequenz kann dadurch ebenfalls wesentlich verringert werden, so daß das schließlich in digitaler Form vorliegende Interferogramm eine wesentlich verringerte Datenrate aufweist. Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahren ermöglicht deshalb die Auswertung des Interferogramms mit digitalen Rechnern, die die extrem hohe Datenrate eines nicht frequenztransformierten, digitalisierten Interferogramm-Meßsignals nicht bewältigen könnten, ohne daß gleichzeitig eine Verfälschung des Meßsignals in Kauf genommen werden müßte. Selbstverständlich müssen die beiden elektrischen Signale mit gleicher Phasenlage gemischt werden.
  • Um einen möglichst kleinen Frequenzabstand zwischen dem zweiten elektrischen Signal und dem Interferogramm-Signal zu erhalten, ist es zweckmäßig, die Grundfrequenz des zweiten elektrischen Signals vor der Frequenzmischung auf einen Frequenzwert herunterzuteilen, der in der Nähe der oberen Grenzfrequenz des das Interferogram darstellenden Signals liegt. Hierzu kann ein elektrischer Frequenzteiler dienen, der vor den Frequenzmischer geschaltet ist.
  • Bei einer bevorzugten Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist vor der Meßöffnung des Interferometers ein Einblendspiegel vorgesehen, über den die Meßstrahlung eingeblendet wird, und weist dieser Einblendspiegel eine kleine Öffnung für den Laserstrahl auf. Hierdurch gelingt es auf einfache Weise, den Laserstrahl parallel zur Meßstrahlung in das Interferometer einfallen zu lassen.
  • Zweckmäßigerweise ist ein Umlenkspiegel vorgesehen, der das optische Interferogramm auf einen opto-elektrischen Wandler wirft, und der ebenfalls eine kleine Öffnung aufweist, durch welche der Laserstrahl ungehindert hindurchstrahlen kann. Die Detektion des Laserstrahls kann dann mittels eines weiteren kleinen Umlenkspiegels erfolgen, der das Laserlicht auf den weiteren opto-elektrischen Wandler wirft. Auf diese Weise wird eine weitestgehende Entkopplung der Strahlengänge von Meßstrahlung und Laserstrahl erzielt.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
    • Fig. 1
    das mit einem Zweistrahl-Interferometer erzeugte Interferogramm einer zu analysierenden Meßstrahlung, schematisch,
    Fig. 2
    die Mischung des das Interferogramm darstellenden Signals Fs mit einem zweiten elektrischen Signal Fm, im Prinzip;
    Fig. 3
    die gemäß Fig. 2 erhaltenen Mischsignale, schematisch;
    Fig. 4
    eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit Laserquelle, in einem Prinzipbild.
  • In Fig. 1 ist das bereits in ein analoges elektrisches Signal umgewandelte Interferogramm einer zu analysierenden Meßstrahlung dargestellt. Es ist die Strahlungsintensität Is über der Frequenz f aufgetragen. Der für die Analyse interessante Spektralbereich, ist durch die untere Eckfrequenz Fu und die obere Eckfrequenz Fodefiniert ist. Ebenfalls eingetragen ist die Grundfrequenz eines zweiten elektrischen Signals Fm, das dem Interferogramm-Signal Fs zugemischt werden soll. Die Frequenz von Fm liegt nur wenig über der oberen Eckfrequenz Fo.
  • In Fig. 2 ist das Prinzip der Frequenzmischung des Interferogramm-Signals Fs und des zweiten elektrischen Signals Fm dargestellt. Am Ausgang des Frequenzmischers treten die Summenfrequenzen Fm + Fs und die Differenzfrequenzen Fm - Fs auf.
  • Fig. 3 verdeutlicht die Lage der durch die Frequenzmischung erhaltenen Mischsignale im Frequenzspektrum. Zur Weiterverarbeitung vorgesehen sind lediglich die Differenzfrequenzen. Deren untere Eckfrequenz Fm - Foliegt bereits relativ nahe bei der Frequenz 0, während die obere Eckfrequenz Fm - Fu immer noch um ein mehrfaches niedriger liegt als die untere Eckfrequenz Fudes ursprünglichen Interferogramm-Signals. Die Differenzfrequenzen werden vor der Digitalisierung von den übrigen entstandenen Mischfrequenzen getrennt, beispielsweise durch ein elektrisches Tiefpaßfilter.
  • In Fig. 4 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung dargestellt, bei der das zweite elektrische Signal zur Mischung mit dem Interferogramm-Signal mittels eines Laserstrahls erzeugt wird. Den Kern der Meßanordnung bildet ein Michelson-Interferometer. Es besteht im wesentlichen aus einem Strahlteiler 1 in Form eines halbdurchlässigen Spiegels, der die empfangene Meßstrahlung MS in zwei Teilstrahlen zerlegt. Der eine, rechtwinklig nach unten reflektierte Teilstrahl wird von einem festen Spiegel 2 in Richtung des Strahlteilers 1 zurückgeworfen, während der andere Teilstrahl den halbdurchlässigen Strahlteiler 1 passiert und auf einen mit möglichst konstanter Vorschubgeschwindigkeit bewegten Spiegel 3 auftrifft. Von der Oberfläche des bewegten Spiegels 3 wird dieser Teilstrahl reflektiert und von der Rückseite des Strahlteilers 1 rechtwinklig nach oben geworfen. Dabei interferieren die beiden vom festen Spiegel 2 bzw. bewegten Spiegel 3 kommenden Teilstrahlen. Ein Umlenkspiegel 4 fängt das so erzeugte optische Interferogramm der Meßstrahlung MS auf und wirft es auf einen ersten opto-elektrischen Wandler 5. Dieser wandelt das optische Interferogramm in ein entsprechendes elektrisches Interferogramm-Signal um. Ein solches Interferogramm ist in Fig. 1 dargestellt. Nach Verstärkung in einem elektronischen Verstärker 6 durchläuft das Meßsignal ein elektrisches Hochpaß-Filter 7, um die nicht interessierenden tieffrequenten Signalanteile herauszufiltern.
  • Die Meßstrahlung MS wird mittels eines Einblendspiegels 8 in den Strahlengang des Interferometers eingeblendet.
  • Dieser Einblendspiegel 8 weist in der Mitte eine kleine Öffnung auf, durch welche der von einer Laserquelle 9 ausgesandte Laserstrahl parallel zur Meßstrahlung in das Interferometer einfällt und als Teilstrahl auf dem bewegten Spiegel 3 auftrifft. Von der Oberfläche des quer zur optischen Achse bewegten Spiegels 3 wird dieser Teilstrahl reflektiert. Das dort reflektierte Laserlicht überlagert sich mit dem am festen Spiegel 2 reflektierten Laser-Teilstrahl, sodaß ein Laser-Interferogramm entsteht. Dieses wird rechtwinklig nach oben geworfen und strahlt durch den Umlenkspiegel 4 hindurch, der zu diesem Zweck ebenfalls eine kleine Öffnung besitzt. Uber einen kleinen Umlenkspiegel 10 trifft das Laser-Interferogramm auf einen zweiten opto-elektrischen Wandler 11 auf. Das umgewandelte elektrische Signal am Ausgang des opto-elektrischen Wandlers 11 ist proportional der Abweichung der momentanen Ist-Geschwindigkeit des bewegten Spiegels 3 von dessen konstanter Soll-Geschwindigkeit frequenzmoduliert. Nach Durchlaufen eines Verstärkers 12 und eines Bandpaß-Filters 13 wird die Grundfrequenz dieses zweiten elektrischen Signals in einem Frequenzteiler 14 auf einen Frequenzwert heruntergeteilt, der in der Nähe der oberen Grenzfrequenz des Interferogramm-Signals liegt. In einem elektronischen Frequenzmischer 15 werden die beiden Signale phasengleich frequenzgemischt. Die am Ausgang des Frequenzmischers 15 erscheinenden Mischprodukte sind in Fig. 3 dargestellt. Die erhaltenen Differenzfrequenzen werden mittels eines nachgeschalteten Tiefpaß-Filters 16 herausgefiltert und einem Analog-Digital-Wandler 17 zugeführt.
  • Das am Ausgang des Analog-Digital-Wandlers 17 in digitaler Form vorliegende und das Interferogramm der Meßstrahlung MS darstellende Signal zeichnet sich durch eine wesentlich reduzierte Datenrate aus.

Claims (6)

  1. Verfahren zur Reduktion der Datenrate des bei der Fourierspektroskopie erhaltenen, digitalisierten Meßsignals, mit folgenen Merkmalen:
    - in einem Zweistrahl-Interferometer mit einem bewegten Spiegel, der mit möglichst konstanter Geschwindigkeit verschoben wird, wird ein Interferenzsignal von den beiden Teilstrahlen einer unbekannten, zu analysierenden Meßstrahlung erzeugt und in ein analoges erstes elektrisches Signal umgewandelt;
    - es wird ein zweites analoges elektrisches Signal erzeugt durch Einstrahlen eines Laserstrahls fester optischer Frequenz in das Interferometer parallel zur einfallenden Meßstrahlung, Detektion des optischen Interferenzsignals dieses Laserstrahls und durch Umwandlung des Laser-Interferenzsignals in ein entsprechendes elektrisches Signal, wobei dessen Frequenz proportional der Abweichung der momentanen Ist-Geschwindigkeit des bewegten Spiegels von dessen konstanter Soll-Geschwindigkeit moduliert ist;
    - es erfolgt eine Frequenzmischung des analogen ersten elektrischen Signals mit dem analogen zweiten elektrischen Signal;
    - die aufgrund dieser Frequenzmischung erhaltenen Differenzfrequenzen werden frequenzgefiltert;
    - das herausgefilterte Signal wird digitalisiert.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundfrequenz des zweiten elektrischen Signals vor der Frequenzmischung auf einen Frequenzwert heruntergeteilt wird, der in der Nähe des Frequenzbereichs des das Interferogramm darstellenden Signals liegt.
  3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit
    - einem Zweistrahl-Interferometer, dessen bewegter Spiegel (3) mit möglichst konstanter Geschwindigkeit verschiebbar ist;
    - einem opto-elektrischen Wandler (5) zur Umwandlung des Interferogramms in ein entsprechendes erstes elektrisches Signal;
    - einer Laserquelle (9), deren Laserstrahl parallel zur Meßstrahlung in das Interferometer einfällt;
    - einem weiteren opto-elektrischen Wandler (11) zur Umwandlung des Laser-Interferogramms in ein entsprechendes zweites elektrisches Signal;
    - einem Frequenzmischer (15) zur Mischung des das Interferogramm darstellenden, elektrischen ersten Signals mit dem elektrischen zweiten Signal;
    - einem elektrischen Tiefpaßfilter (16) zur Herausfilterung der im Frequenzmischer (15) entstandenen Differenzfrequenzen;
    - und einen Analog-Digital-Wandler (17) zur Digitalisierung des herausgefilterten Signals.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem weiteren opto-elektrischen Wandler (11) und dem Frequenzmischer (15) ein elektrischer Frequenzteiler (14) vorgesehen ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß
    - vor der Meßöffnung des Interferometers (1, 2, 3) ein Einblendspiegel (8) vorgesehen ist, über den die Meßstrahlung eingeblendet wird,
    - und dieser Einblendspiegel (8) eine kleine Öffnung für den Laserstrahl aufweist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
    - ein Umlenkspiegel (4) vorgesehen ist, der das optische Interferogramm auf den opto-elektrischen Wandler (5) wirft und
    - dieser Umlenkspiegel (4) eine kleine Öffnung aufweist.
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