EA025330B1 - Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system - Google Patents
Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system Download PDFInfo
- Publication number
- EA025330B1 EA025330B1 EA201201523A EA201201523A EA025330B1 EA 025330 B1 EA025330 B1 EA 025330B1 EA 201201523 A EA201201523 A EA 201201523A EA 201201523 A EA201201523 A EA 201201523A EA 025330 B1 EA025330 B1 EA 025330B1
- Authority
- EA
- Eurasian Patent Office
- Prior art keywords
- magnetic circuit
- magnetic
- longitudinal
- shaped
- gap
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к транспортным системам оборудования вакуумного напыления тонких пленок, расположенных на технологических держателях подложки при непрерывном и последовательном их перемещении вдоль вакуумного коридора.The invention relates to transport systems for vacuum deposition of thin films located on the technological holders of the substrate during continuous and sequential movement along the vacuum corridor.
Транспортные устройства такого типа известны и используются в оборудовании вакуумного напыления, в особенности при напылении многослойных тонких пленок. Например, известна транспортная система для вакуумного аппарата, содержащая поддерживающие средства для поддерживания материала, который должен быть обработан, транспортные средства для транспортировки указанных поддерживающих средств в вакуумном аппарате, при этом транспортное средство содержит линейный двигатель магнитного типа, выполненный с одной стороны указанного поддерживающего средства, при этом линейный двигатель содержит неподвижный элемент и подвижный элемент, подвижный элемент прикреплен к поддерживающему средству и взаимодействует с неподвижным элементом бесконтактно. Кроме того, устройство содержит роликовые средства, выполненные с другой стороны указанных поддерживающих средств, входящих в контакт с направляющим рельсом для движения вдоль указанного направляющего рельса, при этом указанные роликовые средства находятся в контакте и перемещаются вдоль указанного рельса, когда указанный подвижный элемент перемещается относительно неподвижного элемента в указанном бесконтактном состоянии [1].Transport devices of this type are known and used in vacuum spraying equipment, especially when spraying multilayer thin films. For example, a transport system for a vacuum apparatus is known, comprising supporting means for supporting the material to be processed, vehicles for transporting said supporting means in a vacuum apparatus, wherein the vehicle comprises a linear magnetic motor made on one side of said supporting means, wherein the linear motor comprises a fixed element and a movable element, the movable element is attached to the supporting means and interacts with a fixed element non-contact. In addition, the device comprises roller means made on the other side of said supporting means that come into contact with the guide rail for movement along said guide rail, said roller means being in contact and moving along said rail when said movable member moves relatively stationary element in the specified contactless state [1].
Известное устройство обеспечивает эффективную работу при транспортировке подложек вдоль вакуумного коридора. Однако описанное устройство сложно и дорого в изготовлении и существенно зависит от условий эксплуатации, поскольку требует постоянного электрического питания. С другой стороны, исполнение линейного двигателя вдоль всего пути транспортной системы требует значительного места.The known device provides efficient operation during transportation of substrates along the vacuum corridor. However, the described device is difficult and expensive to manufacture and significantly depends on operating conditions, since it requires constant electrical power. On the other hand, the execution of a linear motor along the entire path of the transport system requires considerable space.
В качестве прототипа принято транспортное приспособление для подложек, для транспортировки сквозь и в вакуумную камеру, имеющее плоские параллельные трубки, держатель подложки плоской формы с верхней и нижней удерживающими поверхностями так, что оно является подвижным в вертикальном положении вдоль транспортного пути сквозь вакуумную систему. Верхняя часть держателя подложки поддерживается без контакта и с возможностью движения относительно направляющей с помощью магнитного поля [2].As a prototype, a transport device for substrates was adopted for transporting through and into a vacuum chamber having flat parallel tubes, a flat-shaped substrate holder with upper and lower holding surfaces so that it is movable in a vertical position along the transport path through the vacuum system. The upper part of the substrate holder is supported without contact and with the possibility of movement relative to the guide using a magnetic field [2].
Известное устройство обеспечивает эффективную работу при транспортировке подложек вдоль вакуумного коридора в вертикальном положении, однако размещение магнитных полюсов требует очень точного исполнения, поскольку при возникновении разности в магнитных потоках возникает опасность отклонения подложек от вертикального положения и соответственно теряется надежность технологического процесса.The known device provides efficient operation when transporting the substrates along the vacuum corridor in a vertical position, however, the placement of the magnetic poles requires very precise execution, since when a difference in the magnetic flux occurs, there is a danger of the substrates deviating from the vertical position and, accordingly, the process reliability is lost.
Задачей настоящего изобретения является устранение указанных недостатков, а именно упрощение устройства и повышение надежности бесконтактного удерживания подложек в необходимом положении.The objective of the present invention is to remedy these disadvantages, namely, simplifying the device and improving the reliability of non-contact holding of the substrates in the required position.
Поставленная задача решается тем, что в известном устройстве для перемещения подложек плоской формы в и сквозь вакуумную напыляющую систему, имеющую по меньшей мере одну станцию обработки, содержится прямоугольный держатель подложки, при этом держатель приспособлен удерживать подложку в вертикальном положении с допустимым наклоном держателя подложки от вертикали при перемещении в горизонтальном технологическом проходе, по крайней мере, при прохождении через станцию обработки, при этом устройство содержит приводное средство для привода и поддержания нижней кромки держателя подложки вдоль горизонтального прохода в станции обработки и магнитное направляющее средство, расположенное над верхней плоскостью кромки держателя подложки для бесконтактного удержания верхней кромки держателя подложки относительно магнитного средства и удержания вертикально положения держателя подложки во время перемещения держателя подложки вдоль горизонтального транспортного пути, согласно изобретению магнитное направляющее средство выполнено в виде С-образного продольного магнитопровода и продольной рейки, выполненной из магнитомягкого материала, укрепленной с зазором на держателе подложки у верхней его кромки, при этом продольная рейка установлена с вертикальными зазорами в разрыве С-образного магнитопровода.The problem is solved in that in the known device for moving flat substrates into and through a vacuum spraying system having at least one processing station, there is a rectangular substrate holder, while the holder is adapted to hold the substrate in a vertical position with an acceptable inclination of the substrate holder from vertical when moving in a horizontal technological passage, at least when passing through a processing station, the device contains drive means for ode and maintaining the lower edge of the substrate holder along the horizontal passage in the processing station and a magnetic guide means located above the upper plane of the edge of the substrate holder to contactlessly hold the upper edge of the substrate holder relative to the magnetic means and hold the substrate holder vertically while moving the substrate holder along the horizontal transport path , according to the invention, the magnetic guide means is made in the form of a C-shaped longitudinal magnet wires and a longitudinal rail made of soft magnetic material, reinforced with a gap on the substrate holder at its upper edge, while the longitudinal rail is installed with vertical gaps in the gap of the C-shaped magnetic circuit.
Поставленная задача решается также тем, что по меньшей мере на один край магнитопровода установлен постоянный магнит в виде полюсного наконечника.The problem is also solved by the fact that at least one edge of the magnetic circuit has a permanent magnet in the form of a pole tip.
Поставленная задача решается также тем, что полюсный наконечник установлен на нижний полюс магнитопровода.The problem is also solved by the fact that the pole piece is installed on the lower pole of the magnetic circuit.
Поставленная задача решается также тем, что на магнитопровод установлена соленоидная катушка, присоединенная к источнику тока.The problem is also solved by the fact that a solenoid coil connected to a current source is installed on the magnetic circuit.
Поставленная задача решается также тем, что С-образные продольные магнитопроводы установлены симметрично с двух сторон держателя подложки.The problem is also solved by the fact that the C-shaped longitudinal magnetic cores are installed symmetrically on both sides of the substrate holder.
Поставленная задача решается также тем, что продольные рейки закреплены с зазором от держателя подложки симметрично с двух сторон держателя подложки, при этом по меньшей мере одна рейка размещена в зазоре магнитопровода.The problem is also solved by the fact that the longitudinal rails are fixed with a gap from the substrate holder symmetrically from both sides of the substrate holder, with at least one rail placed in the gap of the magnetic circuit.
Поставленная задача решается также тем, что продольная рейка установлена в магнитопроводе с верхним зазором большим, чем нижний.The problem is also solved by the fact that the longitudinal rail is installed in the magnetic circuit with an upper gap greater than the lower one.
Поставленная задача решается также тем, что верхний зазор магнитопровода выполнен большим,The problem is also solved by the fact that the upper gap of the magnetic circuit is made large,
- 1 025330 чем нижний по меньшей мере на 6 мм.- 1,025,330 than the bottom by at least 6 mm.
Поставленная задача решается также тем, что С-образный продольный магнитопровод выполнен в виде цепочки отдельных последовательно установленных магнитопроводов.The problem is also solved by the fact that the C-shaped longitudinal magnetic circuit is made in the form of a chain of separate sequentially installed magnetic circuits.
Поставленная задача решается также тем, что верхняя и/или нижняя кромки продольной рейки выполнены заостренными.The problem is also solved by the fact that the upper and / or lower edges of the longitudinal rails are made pointed.
Поставленная задача решается также тем, что толщина рейки примерно равна ширине полюсного наконечника магнитопровода.The problem is also solved by the fact that the thickness of the rail is approximately equal to the width of the pole tip of the magnetic circuit.
Изобретение поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг. 1 показан общий вид вакуумной установки.In FIG. 1 shows a general view of a vacuum installation.
На фиг. 2 показан разрез А-А фиг. 1.In FIG. 2 shows a section AA of FIG. one.
На фиг. 3 показан общий вид одного из держателей подложки, С-образных магнитопроводов и приводных роликов транспортной системы.In FIG. 3 shows a general view of one of the substrate holders, C-shaped magnetic cores and drive rollers of the transport system.
На фиг. 4 показан разрез по магнитопроводу с рейкой с одной направляющей рейкой и одним магнитопроводом.In FIG. 4 shows a section through a magnetic circuit with a rail with one guide rail and one magnetic circuit.
На фиг. 5 показан разрез по магнитопроводу с двумя рейками и двумя магнитопроводами.In FIG. 5 shows a section through a magnetic circuit with two rails and two magnetic circuits.
На фиг. 6 показан разрез по магнитопроводу с двумя рейками и одним магнитопроводом, выполненным без полюсных наконечников с соленоидной катушкой.In FIG. 6 shows a section through a magnetic circuit with two rails and one magnetic circuit, made without pole pieces with a solenoid coil.
Установка состоит из вакуумного коридора 1, собранного из требуемого по технологии количества последовательно соединенных герметичных вакуумных камер 2 и смонтированных внутри них установок напыления 3, технологических подогревателей 4 и транспортной системы. Транспортная система состоит из нижних приводных роликов 5, и верхних бесконтактных направляющих 6. Вакуумная камера 2 оснащена вакуумным насосом 7. Вакуумный коридор смонтирован на основании 8. Каждая камера оснащена ребрами жесткости 9. В транспортную систему входит также технологическая кассета 10, которая оснащена цилиндрической направляющей 11, взаимодействующей с приводными роликами 5. В плоскости кассеты известными способами, например технологическим клеем, укреплена обрабатываемая подложка 12. Выбор вертикального положения обрабатываемой подложки 12 исключает провисание и прогиб ее, что позволяет повысить точность и качество обработки. Кроме того, такое как описано в изобретении исполнение верхнего подвеса позволяет работать с подложкой, установленной с отклонением от вертикали до 10°. При таком отклонении магнитопровод надежно удерживает технологическую кассету 10. Это можно использовать, например, в позиции загрузки кассет в транспортную систему. При этом надежность крепления подложки на кассете увеличивается. В процессе транспортировки крепление верхнего подвеса смещается, и кассета 10 в позиции напыления занимает вертикальное положение.The installation consists of a vacuum corridor 1, assembled from the required number of sealed vacuum chambers 2 in series and the spraying installations 3 mounted inside them, process heaters 4 and a transport system. The transport system consists of lower drive rollers 5 and upper non-contact guides 6. The vacuum chamber 2 is equipped with a vacuum pump 7. The vacuum corridor is mounted on the base 8. Each chamber is equipped with stiffeners 9. The transport system also includes a process cassette 10, which is equipped with a cylindrical guide 11, interacting with the drive rollers 5. In the plane of the cartridge by known methods, for example, technological glue, the processed substrate 12 is strengthened. Vai substrate 12 eliminates the sagging and its deflection, which improves the accuracy and quality of processing. In addition, such as described in the invention, the execution of the upper suspension allows you to work with a substrate installed with a deviation from vertical to 10 °. With this deviation, the magnetic circuit reliably holds the process cartridge 10. This can be used, for example, in the position of loading the cartridges into the transport system. At the same time, the reliability of mounting the substrate on the cassette increases. During transportation, the mount of the upper suspension is displaced, and the cartridge 10 in the spraying position is in a vertical position.
На технологической кассете 10 укреплены защитные щитки 13, позволяющие продлить срок службы кассеты. На верхней кромке кассеты 10 известными способами, например на кронштейнах 14, укреплена рейка 15 из магнитомягкого материала. Рейка помещена в зазор С-образного магнито провода 16. Магнитопровод может быть выполнен цельным или с полюсными наконечниками 17 из постоянных магнитов. В этом случае полюсные наконечники закрывают защитными щитками 18. Магнитопровод 16 может быть оснащен системой охлаждения 19. Вместо постоянных магнитов 17 может быть использована соленоидная катушка 20.Protective shields 13 are mounted on the process cassette 10 to extend the life of the cassette. On the upper edge of the cassette 10 by known methods, for example on brackets 14, a rail 15 of soft magnetic material is fixed. The rail is placed in the gap of the C-shaped magnet wire 16. The magnetic circuit can be made integral or with pole pieces 17 of permanent magnets. In this case, the pole pieces are covered with protective shields 18. The magnetic circuit 16 can be equipped with a cooling system 19. Instead of permanent magnets 17, a solenoid coil 20 can be used.
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
На кассете 10 известным способом крепят подложку 12, которую подвергают вакуумной обработке. На загрузочной позиции (не показана) вакуумного коридора 1 нижней кромкой 11 кассету 10 устанавливают на ролики 5 транспортной системы, при этом рейку 15 располагают в зазоре С-образного магнитопровода 16, где она под действием магнитного поля располагается в одной плоскости с наконечниками. Небольшие отклонения от вертикального положения и смещение рейки 15 от плоскости полюсных наконечников С-образного магнита вызывают возникновение сил, возвращающих рейку 15, в плоскость полюсных наконечников 17, а технологическую кассету 10 - в вертикальное положение. Предпочтительно С-образный магнитопровод 16 устанавливают так, чтобы верхний зазор между полюсным наконечником 17 и рейкой 15 был большим, чем зазор между нижним полюсным наконечником 17 и рейкой 15. При этом оптимальная разность зазоров Ьверх-Ьнижн определена опытным путем и соответствует 6 мм. Такая неравномерность зазора исключит отрыв кассеты 10 за счет магнитных приводных роликов и обеспечит прижатие кассеты 10 к роликам 5 и повышенную точность перемещения.On the cassette 10, in a known manner, a substrate 12 is mounted, which is subjected to vacuum processing. At the loading position (not shown) of the vacuum corridor 1, the lower edge 11 of the cassette 10 is mounted on the rollers 5 of the transport system, while the rail 15 is placed in the gap of the C-shaped magnetic circuit 16, where it is in the same plane with the tips under the influence of the magnetic field. Small deviations from the vertical position and the displacement of the rail 15 from the plane of the pole tips of the C-shaped magnet cause the forces that return the rail 15 to the plane of the pole pieces 17, and the process cassette 10 to the vertical position. Preferably, the C-shaped magnetic circuit 16 is set so that the upper gap between the pole piece 17 and the rail 15 is larger than the gap between the lower pole piece 17 and the rail 15. In this case, the optimal gap difference b upper- lower is determined empirically and corresponds to 6 mm . Such a non-uniformity of the gap eliminates the separation of the cartridge 10 due to the magnetic drive rollers and ensures that the cartridge 10 is pressed against the rollers 5 and increased accuracy of movement.
Заостренность граней реек 15 в направлении полюсных наконечников 17 продольного С-образного магнитопровода 16 позволяет увеличить стабильность удержания рейки в вертикальном положении.The sharpness of the faces of the rails 15 in the direction of the pole pieces 17 of the longitudinal C-shaped magnetic circuit 16 allows to increase the stability of holding the rail in a vertical position.
Продольный С-образный магнитопровод 16 может быть выполнен с разрывами, в виде цепочки отдельных последовательно установленных магнитопроводов (фиг. 3). Такое выполнение позволяет существенно снизить требования к точности изготовления магнитопровода за счет повышения точности монтажа. Также упрощается изготовление соленоидных катушек ограниченной длины. С другой стороны, разрывы в магнитопроводе выполняют в переходных зонах, где требования к точности вертикального положения кассеты 10 ниже.A longitudinal C-shaped magnetic circuit 16 can be made with gaps, in the form of a chain of separate sequentially installed magnetic circuits (Fig. 3). This embodiment can significantly reduce the requirements for precision manufacturing of the magnetic circuit by increasing the accuracy of installation. The manufacture of solenoid coils of limited length is also simplified. On the other hand, breaks in the magnetic circuit are performed in transition zones, where the requirements for the accuracy of the vertical position of the cartridge 10 are lower.
Рейки 15 можно расположить симметрично относительно вертикальной оси кассеты 10. Тогда кассету можно устанавливать в транспортную систему любой стороной и использовать обе стороны приспо- 2 025330 собления для крепления подложки 12. В тяжелых условиях работы можно использовать два магнитопровода 16 и две продольные рейки 15.The rails 15 can be positioned symmetrically with respect to the vertical axis of the cassette 10. Then the cassette can be installed in the transport system on either side and both sides of the assembly can be used to attach the substrate 12. In severe operating conditions, two magnetic cores 16 and two longitudinal rails 15 can be used.
В магнитопроводах может устанавливаться система охлаждения 19, поскольку технологический процесс вакуумного напыления предусматривает подогрев подложки. С повышением температуры магнитные свойства материалов могут снижаться, поэтому магнитный материал необходимо охлаждать.In the magnetic circuits, a cooling system 19 can be installed, since the technological process of vacuum deposition involves heating the substrate. As the temperature rises, the magnetic properties of the materials may decrease, so the magnetic material must be cooled.
Разработанная конструкция позволяет упростить конструкцию транспортных систем вакуумных установок, повысить точность перемещения при снижении затрат на изготовление оснастки.The developed design allows us to simplify the design of transport systems of vacuum plants, to increase the accuracy of movement while reducing the cost of manufacturing equipment.
Разработана конструкторская документация. Изготовлены и испытаны опытные образцы изделий в ООО Изовак, г. Минск, Беларусь.Design documentation has been developed. Prototypes of products were manufactured and tested at Izovak LLC, Minsk, Belarus.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:Sources of information taken into account during the examination:
1) патент США № 5170714, МПК В60Ь 13/04, опубликован 15.12.1992 г.1) US patent No. 5170714, IPC B60 13/04, published December 15, 1992.
2) патент США № 5909995, МПК В65О 49/07, опубликован 08.06.1999 - прототип.2) US patent No. 5909995, IPC B65O 49/07, published 08.06.1999 - prototype.
Claims (11)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EA201201523A EA025330B1 (en) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EA201201523A EA025330B1 (en) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EA201201523A1 EA201201523A1 (en) | 2014-03-31 |
| EA025330B1 true EA025330B1 (en) | 2016-12-30 |
Family
ID=50386649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EA201201523A EA025330B1 (en) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| EA (1) | EA025330B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909995A (en) * | 1996-10-15 | 1999-06-08 | Balzers Aktiengesellschaft | Transport device for workpieces in a vacuum system |
| RU2198241C2 (en) * | 1999-08-31 | 2003-02-10 | Нитусов Юрий Евгеньевич | Levitation transport facility for motion of articles inside vacuum space |
| DE102009048341A1 (en) * | 2009-06-06 | 2011-01-27 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Substrate carrier for a vertical sputter-coating apparatus, comprises a substrate to be coated, where the substrate carrier is held through a sputter-coating chamber, where the substrate carrier is formed as rear support plate |
| DE102009038369A1 (en) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Substrate holder for disc- or plate-shaped substrate, comprises a basic structure with at least one substrate recorder, which exhibits a recording medium for at least one substrate, with a lower guide element and an upper guide element |
-
2012
- 2012-09-27 EA EA201201523A patent/EA025330B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909995A (en) * | 1996-10-15 | 1999-06-08 | Balzers Aktiengesellschaft | Transport device for workpieces in a vacuum system |
| RU2198241C2 (en) * | 1999-08-31 | 2003-02-10 | Нитусов Юрий Евгеньевич | Levitation transport facility for motion of articles inside vacuum space |
| DE102009048341A1 (en) * | 2009-06-06 | 2011-01-27 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Substrate carrier for a vertical sputter-coating apparatus, comprises a substrate to be coated, where the substrate carrier is held through a sputter-coating chamber, where the substrate carrier is formed as rear support plate |
| DE102009038369A1 (en) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Substrate holder for disc- or plate-shaped substrate, comprises a basic structure with at least one substrate recorder, which exhibits a recording medium for at least one substrate, with a lower guide element and an upper guide element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EA201201523A1 (en) | 2014-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6280220B2 (en) | Conveying device and system having the conveying device | |
| KR20170106464A (en) | Semiconductor process equipment | |
| CN109217622B (en) | Transport device in the form of a long stator linear motor | |
| US9156632B2 (en) | Conveying apparatus | |
| US8941271B2 (en) | Linear motor for lifting and lowering suction nozzle, and electronic component mounting apparatus | |
| KR102035210B1 (en) | Device for holding, positioning and/or moving an object | |
| KR102552246B1 (en) | Conveying system using linear motor and Operating method thereof | |
| KR20110058344A (en) | Horizontal type contactless deposition apparatus | |
| JP2008508738A (en) | Apparatus and process system for transporting substrates | |
| KR20110079888A (en) | Method and apparatus for controlling a linear motion system | |
| JP2019103225A (en) | Transport apparatus, processing system, and manufacturing method of article | |
| CN114599596B (en) | Conveyed body, container carrier, and conveying device | |
| US8673125B2 (en) | Substrate conveyer and vacuum processing apparatus | |
| KR101318173B1 (en) | Apparatus for transferring substrates | |
| CN112027527A (en) | Linear transport system | |
| EA025330B1 (en) | Device for conveying flat substrates through a vacuum deposition system | |
| JP6616507B2 (en) | Linear motor, head unit, surface mounter and single axis robot | |
| US11315818B2 (en) | Inline thin film processing device | |
| JP5353107B2 (en) | Transport device | |
| KR20180007194A (en) | Review measurement device that has both ends suporting structure | |
| JPS60261302A (en) | Article conveyor in high vacuum | |
| US20210242765A1 (en) | Transport system, processing system, and article manufacturing method | |
| US11772910B2 (en) | Linear conveyor | |
| CN111902925B (en) | On-line film processing device | |
| KR20210104134A (en) | Magnetic levitation system, carrier for magnetic levitation system, vacuum system, and method of transporting carrier |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s) |
Designated state(s): AM AZ BY KZ KG TJ TM RU |