DK163538B - Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol - Google Patents
Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol Download PDFInfo
- Publication number
- DK163538B DK163538B DK74390A DK74390A DK163538B DK 163538 B DK163538 B DK 163538B DK 74390 A DK74390 A DK 74390A DK 74390 A DK74390 A DK 74390A DK 163538 B DK163538 B DK 163538B
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- dust
- adhesive film
- measuring
- adhesive
- reference value
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 5
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims description 38
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 30
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L—DOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L9/00—Details or accessories of suction cleaners, e.g. mechanical means for controlling the suction or for effecting pulsating action; Storing devices specially adapted to suction cleaners or parts thereof; Carrying-vehicles specially adapted for suction cleaners
- A47L9/28—Installation of the electric equipment, e.g. adaptation or attachment to the suction cleaner; Controlling suction cleaners by electric means
- A47L9/2857—User input or output elements for control, e.g. buttons, switches or displays
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L—DOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47L9/00—Details or accessories of suction cleaners, e.g. mechanical means for controlling the suction or for effecting pulsating action; Storing devices specially adapted to suction cleaners or parts thereof; Carrying-vehicles specially adapted for suction cleaners
- A47L9/28—Installation of the electric equipment, e.g. adaptation or attachment to the suction cleaner; Controlling suction cleaners by electric means
- A47L9/2805—Parameters or conditions being sensed
- A47L9/281—Parameters or conditions being sensed the amount or condition of incoming dirt or dust
- A47L9/2815—Parameters or conditions being sensed the amount or condition of incoming dirt or dust using optical detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0612—Optical scan of the deposits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
DK 163538 B
Opfindelsen angår en fremgangsmåde til rengøringskontrol ved måling af tilsmudsningsgraden af en overflade ved hjælp af en støvoptagende klæbefolie, ved hvilken der foretages en optisk måling af et støvekspo-5 neret område på klæbefolien og en sammenligning af den herved opnåede måleværdi med en referenceværdi, og et måleapparat til udøvelse af fremgangsmåden.
Der kendes fremgangsmåder og måleapparater af den nævnte art, hvor den optiske måling sædvanligvis 10 baserer sig på måling af diffust-transmitteret lys og hvor der foretages en analyse af størrelsen og mængden af partikler på klæbefolien ofte ved hjælp af avanceret billeddataanalyseudstyr. Disse typer måleapparater er imidlertid dyre og udpræget stationære, således at en 15 måling af rengøringskvaliteten ikke kan foretages på stedet, hvor klæbefolien eksponeres.
Fremgangsmåden ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at det støveksponerede område af klæbefolien anbringes i det væsentlige vinkelret på strålingsaksen 20 i et fra en laserstrålingskilde udsendt laserstrålebundt, som efter passagen gennem klæbefolien fokuseres på en intensitetsmålende fotodetektor, hvis udgangssignal føres til et måleinstrument, hvis visning sammenlignes med referenceværdien.
25 Herved opnås en væsentlig forenkling af målingen uden nævneværdige tab i nøjagtighed og reproducerbarhed af målingerne.
Måleapparatet ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at det omfatter en laserstrålingskilde med tilhø-30 rende optiske elementer til frembringelse af et i det væsentlige parallelt bundt af laserstråler, en til anbringelse af en støvoptagende klæbefolie udformet holder og midler til anbringelse af denne i nævnte parallelle strålebundt med klæbefolien i det væsentlige vin-35 kelret på strålingsaksen samt midler til fokusering af det gennem klæbefolieholderen passerede strålebundt på
DK 163538 B
2 en intensitetsmålende fotodetektor og et måleinstrument til måling af detektorens udgangssignal og sammenligning af dette med en referenceværdi.
Herved gøres det muligt at udforme måleapparatet 5 i en billig, enkelt fungerende, bærbar udgave, således at rengøringskontrollen kan foretages hurtigt og på stedet.
Forenklingen opnås ved, at man i stedet for at foretage en grundig analyse af mængden og størrelsen af 10 støvpartikler på klæbefolien blot foretager en måling af mængden af direkte transmitteret (laser-) lys, dvs. lys, der hverken absorberes eller spredes af støvpartiklerne på klæbefolien.
Opfindelsen og dens foretrukne udførelsesformer 15 forklares nærmere i det følgende under henvisning til tegningen, hvor fig. 1 viser en støvoptagende klæbefolie, fig. 2 klæbefolien set fra siden, fig. 3 en skitse af et måleapparat ifølge opfin-20 delsen, og fig. 4 en holder til eksponering af klæbefolien ved måling af tilsmudsningsgraden af en lådden overflade, anbragt på et støvsugerrør.
Den på fig. 1 og 2 viste klæbefolie er indtil 25 den tages i brug forsynet med en ikke vist dækfolie på klæbesiden. Umiddelbart før eksponering af klæbefolien fjernes dækfolien og der foretages enten straks en referencemåling af den ueksponerede klæbefolie, eller en del af klæbefolien bibeholdes ueksponeret (se fig. l og 30 2) for senere referencemåling.
På en glat overflade foretages eksponeringen ved at presse klæbefolien mod overfladen, med klæbesiden nedad; på en lådden overflade ved at anbringe klæbefolien i en holder, vist i fig. 4, der indsættes i et støv-35 sugerrør, og efterfølgende støvsugning af den lådne overflade i en forudbestemt tid. Denne holder kan, for
DK 163538 B
3 at få en jævn fordeling af støvpartiklerne over klæbefolien, have en turbulensdannende, konisk forsnævring som vist i fig. 4.
Efter eksponering anbringes klæbefolien i måle-5 positionen i måleapparatet i fig. 3, hvor et laserstrålebundt fra en laserdiode LD ved hjælp af linser L-l og L2 bringes til at ramme klæbefolien i et parallelt strålebundt ved målepositionen S. Herved vil en del af det indfaldende laserlys spredes og en del vil absorbe-10 res af støvpartiklerne på klæbefolien, medens resten ved hjælp af en linse L3 med relativt stor brændvidde (f) fokuseres, fortrinsvis via en pinholeblænde Ps, på en detektor Ds, til måling af den transmitterede intensitet, hvis udgangssignal føres til et måleinstru-15 ment M til fremvisning af et måletal.
Når den støveksponerede klæbefolieflade med et areal A(o) rammes af lys med en intensitet I(o), vil en del af lyset fjernes ved absorption i støvpartiklerne og en anden del fjernes ved spredning. Den mængde lys 20 I(fjernet), der fjernes af støvet er givet ved det effektive areal af støvet A(eff), dvs.
I(fjernet) _ A(eff) _ E * A
I(o) A(o) A(o)
Hvor E er ekstinktionskoefficienten og A er 25 arealet af støvets projektion vinkelret på lysstrålen.
E afhænger af forholdet mellem partikelstørrelse og bølgelængden for lyset, og er tæt på 2 når dette forhold er stort (Broomhead et al. 1960). I praksis er E en middelværdi, bestemt af de optiske egenskaber og den 30 aktuelle størrelse for partiklerne.
Idet der måles transmitterede lysintensiteter med og uden støv på klæbefolien (I(støv), I(ref)) fås: I(fjernet) _ I(støv) _ måletal(støv) I(o) I(ref) måletal(ref), 35 hvor I (støv) er den af måleinstrumentet M målte signalstrøm fra detektoren i forbindelse med en støvekspo-
Claims (13)
1. Fremgangsmåde til rengøringskontrol ved må-30 ling af tilsmudsningsgraden af en overflade ved hjælp af en støvoptagende klæbefolie, ved hvilken der foretages en optisk måling af et støveksponeret område på klæbefolien og en sammenligning af den herved opnåede måleværdi med en referenceværdi, kendetegnet 35 ved, at det støveksponerede område af klæbefolien anbringes i det væsentlige vinkelret på strålingsaksen i DK 163538 B 5 et fra en laserstrålingskilde udsendt laserstrålebundt, som efter passagen gennem klæbefolien fokuseres på en intensitetsmålende fotodetektor, hvis udgangssignal føres til et måleinstrument, hvis visning sammenlignes 5 med referenceværdien.
2. Fremgangsmåde ifølge krav l, kendetegnet ved, at referenceværdien frembringes ved måling af et ikke støveksponeret område af nævnte klæbefolie.
3. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kende tegnet ved, at der til prøvetagningen benyttes et klæbefolieemne, hvoraf kun en del benyttes til støveksponering, hvorefter der i samme måleoperation foretages måling på både den støveksponerede del og den 15 til frembringelse af referenceværdien tjenende ikke støveksponerede del af klæbefolieemnet.
4. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kendetegnet ved, at referenceværdien kalibreres ved inden støvprøvetagningen at foretage måling på den del 20 af klæbefolien, som efterfølgende benyttes til støvprøvetagningen .
5. Fremgangsmåde ifølge et af de foregående krav til måling af tilsmudsningsgraden af en glat overflade, kendetegnet ved, at en støvprøve tages fra 25 overfladen ved hjælp af et klæbefolieemne.
6. Fremgangsmåde ifølge ethvert af kravene 1-4 til måling af tilsmudsningsgraden af en lådden overflade, kendetegnet ved, at en støvprøve tages fra overfladen ved støvsugning i en forudbestemt tid 30 gennem et rør, hvori der er anbragt et klæbefolieemne, hvorved en del af det opsugede støv afsættes på klæbefolien.
7. Fremgangsmåde ifølge krav 6, kendetegnet ved, at luftstrømmen gennem nævnte rør 35 bibringes turbulens i området for klæbefolieemnet, hvorved der sker en jævn fordeling af støvet over klæbefolien. DK 163538 B 6
8. Fremgangsmåde ifølge et af de foregående krav, kendetegnet ved, at laserstrålebundtet fokuseres på fotodetektoren ved hjælp af en linse med forholdsvis stor brændvidde og gennem en pinholeblænde 5 med en sådan apertur, at strålingsdetekteringsvinklen er mindre end 0,12°.
9. Måleapparat til udøvelse af fremgangsmåden ifølge et af de foregående krav, kendetegnet ved, at det omfatter en laserstrålingskilde med tilhø- 10 rende optiske elementer til frembringelse af et i det væsentlige parallelt bundt af laserstråler, en til anbringelse af en klæbefoliestøvsonde udformet holder og midler til anbringelse af denne i nævnte parallelle strålebundt med klæbefolien i det væsentlige vinkelret 15 på strålingsaksen samt midler til fokusering af det gennem klæbefolieholderen passerede strålebundt på en intensitetsmålende fotodetektor og et måleinstrument til måling af detektorens udgangssignal og sammenligning af dette med en referenceværdi. 20
10. Måleapparat ifølge krav 9, kendeteg ne t ved, at strålingskilden er en laserdiode og fotodetektoren en fotodiode.
11. Måleapparat ifølge krav 10, kende tegnet ved, at der foran fotodioden er anbragt en 25 pinholeblænde og bagved klæbefolieholderen en linse med forholdsvis stor brændvidde.
12. Måleapparat ifølge krav 11, kende tegnet ved, at pinholeblændens apertur er valgt, så strålingsdetekteringsvinklen er mindre end 0,12°. 30
13. Måleapparat ifølge krav 9, 10, 11, 12 eller 13, kendetegnet ved, at det er bærbart.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DK74390A DK163538C (da) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol |
PCT/DK1991/000086 WO1991014935A1 (en) | 1990-03-22 | 1991-03-20 | A method and an apparatus for cleaning control |
NO92923521A NO923521L (no) | 1990-03-22 | 1992-09-10 | Fremgangsmaate og apparat for rengjoeringskontroll |
FI924223A FI924223A0 (fi) | 1990-03-22 | 1992-09-21 | Foerfarande och apparat foer rengoeringskontroll. |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DK74390A DK163538C (da) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol |
DK74390 | 1990-03-22 |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DK74390D0 DK74390D0 (da) | 1990-03-22 |
DK74390A DK74390A (da) | 1991-09-23 |
DK163538B true DK163538B (da) | 1992-03-09 |
DK163538C DK163538C (da) | 1992-08-03 |
Family
ID=8097027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DK74390A DK163538C (da) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DK (1) | DK163538C (da) |
FI (1) | FI924223A0 (da) |
WO (1) | WO1991014935A1 (da) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996009527A1 (en) * | 1994-09-23 | 1996-03-28 | Vinzents Peter S | A dust sampling equipment |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2896574A (en) * | 1956-05-15 | 1959-07-28 | Larsen Johannes Peter | Milking claw for a milking machine |
NO307675B1 (no) * | 1997-04-18 | 2000-05-08 | Lasse Leirfall | Anvendelse av en mÕleanordning til indikering av en forurenset, tilsmusset eller brannfarlig tilstand |
SE521948C2 (sv) * | 1998-12-17 | 2003-12-23 | Act Ab | Mätinstrument och förfarande för mätning av damm- och smutsbeläggningsgrad på en yta |
EP2410317A1 (de) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | Krämer AG Bassersdorf | Verfahren zum Beurteilen von an einem Körper anhaftenden Partikeln |
DE102010040069A1 (de) * | 2010-08-31 | 2012-03-01 | GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One Ltd. Liability Company & Co. KG | Verfahren und System zum Extrahieren von Proben nach der Strukturierung von Mikrostrukturbauelementen |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4402607A (en) * | 1980-05-16 | 1983-09-06 | Gca Corporation | Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces |
US4598997A (en) * | 1982-02-15 | 1986-07-08 | Rca Corporation | Apparatus and method for detecting defects and dust on a patterned surface |
JPS58162038A (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-26 | Canon Inc | 面状態検査装置 |
EP0231419A1 (de) * | 1986-02-05 | 1987-08-12 | Interlava AG | Optische Anzeige- und Funktionskontrolleinheit für Staubsauger |
EP0264427A1 (en) * | 1986-05-05 | 1988-04-27 | Hughes Aircraft Company | Method and apparatus for identifying particulate matter |
DE3626724C2 (de) * | 1986-08-07 | 1994-06-16 | Siemens Ag | Anordnung zur Oberflächenprüfung |
-
1990
- 1990-03-22 DK DK74390A patent/DK163538C/da not_active IP Right Cessation
-
1991
- 1991-03-20 WO PCT/DK1991/000086 patent/WO1991014935A1/en active Application Filing
-
1992
- 1992-09-21 FI FI924223A patent/FI924223A0/fi not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996009527A1 (en) * | 1994-09-23 | 1996-03-28 | Vinzents Peter S | A dust sampling equipment |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DK74390A (da) | 1991-09-23 |
WO1991014935A1 (en) | 1991-10-03 |
DK74390D0 (da) | 1990-03-22 |
FI924223A (fi) | 1992-09-21 |
DK163538C (da) | 1992-08-03 |
FI924223A0 (fi) | 1992-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL8103083A (nl) | Werkwijze voor het detecteren van deeltjes op het materiaal en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze. | |
US4638168A (en) | Apparatus for measurement of hollow fiber dimensions | |
JPH038686B2 (da) | ||
DK163538B (da) | Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol | |
KR950014849A (ko) | 콜로이드 매체의 박막에 의해 산란된 광도 측정용 검출기 | |
JPH049464B2 (da) | ||
JP3113720B2 (ja) | 花粉検出器 | |
GB1298658A (en) | Photometer for measuring total radiant energy at selected angles | |
JPH0771924A (ja) | 薄膜特性値測定方法及び装置 | |
JP2004163129A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP3106521B2 (ja) | 透明基板の光学的検査装置 | |
JPH05346368A (ja) | 光学要素の評価と格付けのための方法と装置 | |
JPS61167838A (ja) | 粒子解析装置 | |
JPH0431054B2 (da) | ||
Busselle et al. | Reply to the comment on the refractive index correction in luminescence spectroscopy | |
JP2709946B2 (ja) | 異物検査方法および異物検査装置 | |
JPH0718788B2 (ja) | 光学的微粒子測定装置 | |
JP2002323404A (ja) | 表面検査装置 | |
KR950015551A (ko) | 반도체 집적회로장치의 제조방법 및 제조장치 | |
JPH0725618Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP2565274B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
JPS5694742A (en) | Electronic beam exposure device | |
TWI545310B (zh) | 光分佈量測儀 | |
JPH0256875B2 (da) | ||
KR0123917B1 (ko) | 간극 측정장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PBP | Patent lapsed |
Country of ref document: DK |