DK163538B - Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol - Google Patents

Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol Download PDF

Info

Publication number
DK163538B
DK163538B DK74390A DK74390A DK163538B DK 163538 B DK163538 B DK 163538B DK 74390 A DK74390 A DK 74390A DK 74390 A DK74390 A DK 74390A DK 163538 B DK163538 B DK 163538B
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
dust
adhesive film
measuring
adhesive
reference value
Prior art date
Application number
DK74390A
Other languages
English (en)
Other versions
DK74390A (da
DK74390D0 (da
DK163538C (da
Inventor
Ole Holm Petersen
Original Assignee
Abk Bygge & Miljoeteknik
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Abk Bygge & Miljoeteknik filed Critical Abk Bygge & Miljoeteknik
Priority to DK74390A priority Critical patent/DK163538C/da
Publication of DK74390D0 publication Critical patent/DK74390D0/da
Priority to PCT/DK1991/000086 priority patent/WO1991014935A1/en
Publication of DK74390A publication Critical patent/DK74390A/da
Publication of DK163538B publication Critical patent/DK163538B/da
Application granted granted Critical
Publication of DK163538C publication Critical patent/DK163538C/da
Priority to NO92923521A priority patent/NO923521L/no
Priority to FI924223A priority patent/FI924223A0/fi

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47LDOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47L9/00Details or accessories of suction cleaners, e.g. mechanical means for controlling the suction or for effecting pulsating action; Storing devices specially adapted to suction cleaners or parts thereof; Carrying-vehicles specially adapted for suction cleaners
    • A47L9/28Installation of the electric equipment, e.g. adaptation or attachment to the suction cleaner; Controlling suction cleaners by electric means
    • A47L9/2857User input or output elements for control, e.g. buttons, switches or displays
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47LDOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47L9/00Details or accessories of suction cleaners, e.g. mechanical means for controlling the suction or for effecting pulsating action; Storing devices specially adapted to suction cleaners or parts thereof; Carrying-vehicles specially adapted for suction cleaners
    • A47L9/28Installation of the electric equipment, e.g. adaptation or attachment to the suction cleaner; Controlling suction cleaners by electric means
    • A47L9/2805Parameters or conditions being sensed
    • A47L9/281Parameters or conditions being sensed the amount or condition of incoming dirt or dust
    • A47L9/2815Parameters or conditions being sensed the amount or condition of incoming dirt or dust using optical detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0606Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
    • G01N15/0612Optical scan of the deposits

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

DK 163538 B
Opfindelsen angår en fremgangsmåde til rengøringskontrol ved måling af tilsmudsningsgraden af en overflade ved hjælp af en støvoptagende klæbefolie, ved hvilken der foretages en optisk måling af et støvekspo-5 neret område på klæbefolien og en sammenligning af den herved opnåede måleværdi med en referenceværdi, og et måleapparat til udøvelse af fremgangsmåden.
Der kendes fremgangsmåder og måleapparater af den nævnte art, hvor den optiske måling sædvanligvis 10 baserer sig på måling af diffust-transmitteret lys og hvor der foretages en analyse af størrelsen og mængden af partikler på klæbefolien ofte ved hjælp af avanceret billeddataanalyseudstyr. Disse typer måleapparater er imidlertid dyre og udpræget stationære, således at en 15 måling af rengøringskvaliteten ikke kan foretages på stedet, hvor klæbefolien eksponeres.
Fremgangsmåden ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at det støveksponerede område af klæbefolien anbringes i det væsentlige vinkelret på strålingsaksen 20 i et fra en laserstrålingskilde udsendt laserstrålebundt, som efter passagen gennem klæbefolien fokuseres på en intensitetsmålende fotodetektor, hvis udgangssignal føres til et måleinstrument, hvis visning sammenlignes med referenceværdien.
25 Herved opnås en væsentlig forenkling af målingen uden nævneværdige tab i nøjagtighed og reproducerbarhed af målingerne.
Måleapparatet ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at det omfatter en laserstrålingskilde med tilhø-30 rende optiske elementer til frembringelse af et i det væsentlige parallelt bundt af laserstråler, en til anbringelse af en støvoptagende klæbefolie udformet holder og midler til anbringelse af denne i nævnte parallelle strålebundt med klæbefolien i det væsentlige vin-35 kelret på strålingsaksen samt midler til fokusering af det gennem klæbefolieholderen passerede strålebundt på
DK 163538 B
2 en intensitetsmålende fotodetektor og et måleinstrument til måling af detektorens udgangssignal og sammenligning af dette med en referenceværdi.
Herved gøres det muligt at udforme måleapparatet 5 i en billig, enkelt fungerende, bærbar udgave, således at rengøringskontrollen kan foretages hurtigt og på stedet.
Forenklingen opnås ved, at man i stedet for at foretage en grundig analyse af mængden og størrelsen af 10 støvpartikler på klæbefolien blot foretager en måling af mængden af direkte transmitteret (laser-) lys, dvs. lys, der hverken absorberes eller spredes af støvpartiklerne på klæbefolien.
Opfindelsen og dens foretrukne udførelsesformer 15 forklares nærmere i det følgende under henvisning til tegningen, hvor fig. 1 viser en støvoptagende klæbefolie, fig. 2 klæbefolien set fra siden, fig. 3 en skitse af et måleapparat ifølge opfin-20 delsen, og fig. 4 en holder til eksponering af klæbefolien ved måling af tilsmudsningsgraden af en lådden overflade, anbragt på et støvsugerrør.
Den på fig. 1 og 2 viste klæbefolie er indtil 25 den tages i brug forsynet med en ikke vist dækfolie på klæbesiden. Umiddelbart før eksponering af klæbefolien fjernes dækfolien og der foretages enten straks en referencemåling af den ueksponerede klæbefolie, eller en del af klæbefolien bibeholdes ueksponeret (se fig. l og 30 2) for senere referencemåling.
På en glat overflade foretages eksponeringen ved at presse klæbefolien mod overfladen, med klæbesiden nedad; på en lådden overflade ved at anbringe klæbefolien i en holder, vist i fig. 4, der indsættes i et støv-35 sugerrør, og efterfølgende støvsugning af den lådne overflade i en forudbestemt tid. Denne holder kan, for
DK 163538 B
3 at få en jævn fordeling af støvpartiklerne over klæbefolien, have en turbulensdannende, konisk forsnævring som vist i fig. 4.
Efter eksponering anbringes klæbefolien i måle-5 positionen i måleapparatet i fig. 3, hvor et laserstrålebundt fra en laserdiode LD ved hjælp af linser L-l og L2 bringes til at ramme klæbefolien i et parallelt strålebundt ved målepositionen S. Herved vil en del af det indfaldende laserlys spredes og en del vil absorbe-10 res af støvpartiklerne på klæbefolien, medens resten ved hjælp af en linse L3 med relativt stor brændvidde (f) fokuseres, fortrinsvis via en pinholeblænde Ps, på en detektor Ds, til måling af den transmitterede intensitet, hvis udgangssignal føres til et måleinstru-15 ment M til fremvisning af et måletal.
Når den støveksponerede klæbefolieflade med et areal A(o) rammes af lys med en intensitet I(o), vil en del af lyset fjernes ved absorption i støvpartiklerne og en anden del fjernes ved spredning. Den mængde lys 20 I(fjernet), der fjernes af støvet er givet ved det effektive areal af støvet A(eff), dvs.
I(fjernet) _ A(eff) _ E * A
I(o) A(o) A(o)
Hvor E er ekstinktionskoefficienten og A er 25 arealet af støvets projektion vinkelret på lysstrålen.
E afhænger af forholdet mellem partikelstørrelse og bølgelængden for lyset, og er tæt på 2 når dette forhold er stort (Broomhead et al. 1960). I praksis er E en middelværdi, bestemt af de optiske egenskaber og den 30 aktuelle størrelse for partiklerne.
Idet der måles transmitterede lysintensiteter med og uden støv på klæbefolien (I(støv), I(ref)) fås: I(fjernet) _ I(støv) _ måletal(støv) I(o) I(ref) måletal(ref), 35 hvor I (støv) er den af måleinstrumentet M målte signalstrøm fra detektoren i forbindelse med en støvekspo-

Claims (13)

1. Fremgangsmåde til rengøringskontrol ved må-30 ling af tilsmudsningsgraden af en overflade ved hjælp af en støvoptagende klæbefolie, ved hvilken der foretages en optisk måling af et støveksponeret område på klæbefolien og en sammenligning af den herved opnåede måleværdi med en referenceværdi, kendetegnet 35 ved, at det støveksponerede område af klæbefolien anbringes i det væsentlige vinkelret på strålingsaksen i DK 163538 B 5 et fra en laserstrålingskilde udsendt laserstrålebundt, som efter passagen gennem klæbefolien fokuseres på en intensitetsmålende fotodetektor, hvis udgangssignal føres til et måleinstrument, hvis visning sammenlignes 5 med referenceværdien.
2. Fremgangsmåde ifølge krav l, kendetegnet ved, at referenceværdien frembringes ved måling af et ikke støveksponeret område af nævnte klæbefolie.
3. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kende tegnet ved, at der til prøvetagningen benyttes et klæbefolieemne, hvoraf kun en del benyttes til støveksponering, hvorefter der i samme måleoperation foretages måling på både den støveksponerede del og den 15 til frembringelse af referenceværdien tjenende ikke støveksponerede del af klæbefolieemnet.
4. Fremgangsmåde ifølge krav 2, kendetegnet ved, at referenceværdien kalibreres ved inden støvprøvetagningen at foretage måling på den del 20 af klæbefolien, som efterfølgende benyttes til støvprøvetagningen .
5. Fremgangsmåde ifølge et af de foregående krav til måling af tilsmudsningsgraden af en glat overflade, kendetegnet ved, at en støvprøve tages fra 25 overfladen ved hjælp af et klæbefolieemne.
6. Fremgangsmåde ifølge ethvert af kravene 1-4 til måling af tilsmudsningsgraden af en lådden overflade, kendetegnet ved, at en støvprøve tages fra overfladen ved støvsugning i en forudbestemt tid 30 gennem et rør, hvori der er anbragt et klæbefolieemne, hvorved en del af det opsugede støv afsættes på klæbefolien.
7. Fremgangsmåde ifølge krav 6, kendetegnet ved, at luftstrømmen gennem nævnte rør 35 bibringes turbulens i området for klæbefolieemnet, hvorved der sker en jævn fordeling af støvet over klæbefolien. DK 163538 B 6
8. Fremgangsmåde ifølge et af de foregående krav, kendetegnet ved, at laserstrålebundtet fokuseres på fotodetektoren ved hjælp af en linse med forholdsvis stor brændvidde og gennem en pinholeblænde 5 med en sådan apertur, at strålingsdetekteringsvinklen er mindre end 0,12°.
9. Måleapparat til udøvelse af fremgangsmåden ifølge et af de foregående krav, kendetegnet ved, at det omfatter en laserstrålingskilde med tilhø- 10 rende optiske elementer til frembringelse af et i det væsentlige parallelt bundt af laserstråler, en til anbringelse af en klæbefoliestøvsonde udformet holder og midler til anbringelse af denne i nævnte parallelle strålebundt med klæbefolien i det væsentlige vinkelret 15 på strålingsaksen samt midler til fokusering af det gennem klæbefolieholderen passerede strålebundt på en intensitetsmålende fotodetektor og et måleinstrument til måling af detektorens udgangssignal og sammenligning af dette med en referenceværdi. 20
10. Måleapparat ifølge krav 9, kendeteg ne t ved, at strålingskilden er en laserdiode og fotodetektoren en fotodiode.
11. Måleapparat ifølge krav 10, kende tegnet ved, at der foran fotodioden er anbragt en 25 pinholeblænde og bagved klæbefolieholderen en linse med forholdsvis stor brændvidde.
12. Måleapparat ifølge krav 11, kende tegnet ved, at pinholeblændens apertur er valgt, så strålingsdetekteringsvinklen er mindre end 0,12°. 30
13. Måleapparat ifølge krav 9, 10, 11, 12 eller 13, kendetegnet ved, at det er bærbart.
DK74390A 1990-03-22 1990-03-22 Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol DK163538C (da)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK74390A DK163538C (da) 1990-03-22 1990-03-22 Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol
PCT/DK1991/000086 WO1991014935A1 (en) 1990-03-22 1991-03-20 A method and an apparatus for cleaning control
NO92923521A NO923521L (no) 1990-03-22 1992-09-10 Fremgangsmaate og apparat for rengjoeringskontroll
FI924223A FI924223A0 (fi) 1990-03-22 1992-09-21 Foerfarande och apparat foer rengoeringskontroll.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DK74390A DK163538C (da) 1990-03-22 1990-03-22 Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol
DK74390 1990-03-22

Publications (4)

Publication Number Publication Date
DK74390D0 DK74390D0 (da) 1990-03-22
DK74390A DK74390A (da) 1991-09-23
DK163538B true DK163538B (da) 1992-03-09
DK163538C DK163538C (da) 1992-08-03

Family

ID=8097027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK74390A DK163538C (da) 1990-03-22 1990-03-22 Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol

Country Status (3)

Country Link
DK (1) DK163538C (da)
FI (1) FI924223A0 (da)
WO (1) WO1991014935A1 (da)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996009527A1 (en) * 1994-09-23 1996-03-28 Vinzents Peter S A dust sampling equipment

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2896574A (en) * 1956-05-15 1959-07-28 Larsen Johannes Peter Milking claw for a milking machine
NO307675B1 (no) * 1997-04-18 2000-05-08 Lasse Leirfall Anvendelse av en mÕleanordning til indikering av en forurenset, tilsmusset eller brannfarlig tilstand
SE521948C2 (sv) * 1998-12-17 2003-12-23 Act Ab Mätinstrument och förfarande för mätning av damm- och smutsbeläggningsgrad på en yta
EP2410317A1 (de) * 2010-07-13 2012-01-25 Krämer AG Bassersdorf Verfahren zum Beurteilen von an einem Körper anhaftenden Partikeln
DE102010040069A1 (de) * 2010-08-31 2012-03-01 GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One Ltd. Liability Company & Co. KG Verfahren und System zum Extrahieren von Proben nach der Strukturierung von Mikrostrukturbauelementen

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4402607A (en) * 1980-05-16 1983-09-06 Gca Corporation Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces
US4598997A (en) * 1982-02-15 1986-07-08 Rca Corporation Apparatus and method for detecting defects and dust on a patterned surface
JPS58162038A (ja) * 1982-03-23 1983-09-26 Canon Inc 面状態検査装置
EP0231419A1 (de) * 1986-02-05 1987-08-12 Interlava AG Optische Anzeige- und Funktionskontrolleinheit für Staubsauger
EP0264427A1 (en) * 1986-05-05 1988-04-27 Hughes Aircraft Company Method and apparatus for identifying particulate matter
DE3626724C2 (de) * 1986-08-07 1994-06-16 Siemens Ag Anordnung zur Oberflächenprüfung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996009527A1 (en) * 1994-09-23 1996-03-28 Vinzents Peter S A dust sampling equipment

Also Published As

Publication number Publication date
DK74390A (da) 1991-09-23
WO1991014935A1 (en) 1991-10-03
DK74390D0 (da) 1990-03-22
FI924223A (fi) 1992-09-21
DK163538C (da) 1992-08-03
FI924223A0 (fi) 1992-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL8103083A (nl) Werkwijze voor het detecteren van deeltjes op het materiaal en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
US4638168A (en) Apparatus for measurement of hollow fiber dimensions
JPH038686B2 (da)
DK163538B (da) Fremgangsmaade og maaleapparat til rengoeringskontrol
KR950014849A (ko) 콜로이드 매체의 박막에 의해 산란된 광도 측정용 검출기
JPH049464B2 (da)
JP3113720B2 (ja) 花粉検出器
GB1298658A (en) Photometer for measuring total radiant energy at selected angles
JPH0771924A (ja) 薄膜特性値測定方法及び装置
JP2004163129A (ja) 欠陥検査方法
JP3106521B2 (ja) 透明基板の光学的検査装置
JPH05346368A (ja) 光学要素の評価と格付けのための方法と装置
JPS61167838A (ja) 粒子解析装置
JPH0431054B2 (da)
Busselle et al. Reply to the comment on the refractive index correction in luminescence spectroscopy
JP2709946B2 (ja) 異物検査方法および異物検査装置
JPH0718788B2 (ja) 光学的微粒子測定装置
JP2002323404A (ja) 表面検査装置
KR950015551A (ko) 반도체 집적회로장치의 제조방법 및 제조장치
JPH0725618Y2 (ja) 変位測定装置
JP2565274B2 (ja) 高さ測定装置
JPS5694742A (en) Electronic beam exposure device
TWI545310B (zh) 光分佈量測儀
JPH0256875B2 (da)
KR0123917B1 (ko) 간극 측정장치

Legal Events

Date Code Title Description
PBP Patent lapsed

Country of ref document: DK